JPH10301032A

JPH10301032A - 顕微鏡用透明加温器具および観察用透明加温器具

Info

Publication number: JPH10301032A
Application number: JP9127896A
Authority: JP
Inventors: Tamotsu Inoue; 保井上
Original assignee: Kitazato Supply KK
Current assignee: Kitazato Supply KK
Priority date: 1997-04-30
Filing date: 1997-04-30
Publication date: 1998-11-13
Anticipated expiration: 2017-04-30
Also published as: DE69841634D1; JP3659445B2; EP0875779A1; EP0875779B1; US5973301A

Abstract

(57)【要約】【課題】顕微鏡用透明加温プレートを十分に薄くで
き、中央に開口部を有しなくても、倒立顕微鏡のステー
ジに固定した場合に倍率レンズの回転に障害となること
がなく、かつ、十分な強度を有することができる顕微鏡
用透明加温器具を提供する。【解決手段】顕微鏡用透明加温器具１は、透明発熱用
プレート２と、透明発熱用プレート２を収納する環状ハ
ウジング３を備える。透明発熱用プレート２は、透明板
５と、透明板５の一方の面に形成された発熱用透明導電
性薄膜７と、発熱用透明導電性薄膜７と接触し向かい合
う一対の発熱用電極１０ａ，１０ｂと、導電性薄膜７を
被覆する実質的に絶縁性を有する透明薄膜（透明硬化薄
膜）８を有している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、上面に載置される
観察対象物、培養容器などを加温するための顕微鏡用透
明加温器具もしくは観察用透明加温器具に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、家畜の改良、増殖などの目的
で人工授精が行われている。また、不妊症対策などの目
的より、人類にも人工授精が行われて来ている。このよ
うな人工授精に際して、予め輸送される精子の活力や性
状を顕微鏡で検査してその適性を確認する必要がある。
そして、動物の種類によっても異なるが、一般的に精子
は、３７〜３８℃にて至適活性を有するため、検査もこ
の温度にて行うことが好ましい。このような目的より、
例えば、特開昭６２−１３５８０３号公報に示すような
顕微鏡観察用加温装置を本発明者は提案している。この
加温装置は、ヒーターステージと、その加温手段を有し
ている。そして、ヒーターステージは、上下の透明なガ
ラス板の間に透明な導電膜を有している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】最近では、倒立顕微鏡
が普及して来ている。倒立顕微鏡では、レンズ部分がス
テージの下方に設けられているため、ステージの中央が
貫通口となっていることが好ましい。このように貫通口
があることにより、倒立顕微鏡の倍率レンズの確認が容
易となる。このため、顕微鏡透明加温プレートのほぼ中
央にも貫通口を設けることが必要となっていた。しか
し、本発明者が検討したところ、プレートの厚さが十分
に薄くできれば、このような開口を設ける必要がないこ
とがわかった。しかし、プレートを薄くすると強度面で
の問題も生じる。そこで、本発明の第１の目的は、加温
プレートを十分に薄くでき、中央に開口部を有しなくて
も、倒立顕微鏡のステージに固定した場合に倍率レンズ
の回転に障害となることがなく、かつ、十分な強度を有
することができる顕微鏡用透明加温器具を提供する。

【０００４】また、上述のように、倒立顕微鏡が普及し
て来ている。倒立顕微鏡では、レンズ部分がステージの
下方に設けられている。そして、このステージに取り付
けられる透明加温器具は、通電のためのコードを備えて
いる。通常コードは、透明加温器具の枠状のハウジング
の下面より、下方に延びている。このため、倒立顕微鏡
の倍率レンズの操作中に、倍率レンズにコードがからむ
ことがあった。そこで、本発明の第２の目的は、透明加
温器具のコードが、顕微鏡の倍率レンズなどにからまな
いようにすることができる透明加温器具を提供するもの
である。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るものは、透明板と、透明板の一方の面に形成された発
熱用透明導電性薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜と接触
し向かい合う一対の発熱用電極と、前記発熱用透明導電
性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する透明薄膜とを
有する透明発熱用プレートを備える顕微鏡用透明加温器
具である。そして、前記透明板は、該透明板の他方の面
に形成された非発熱用透明導電性薄膜と、該非発熱用透
明導電性薄膜と接触するアース線と、前記非発熱用透明
導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する第二の透
明薄膜を有していることが好ましい。そして、前記非発
熱用透明導電性薄膜は、前記透明板の他方の面のほぼ全
体を被覆するものであることが好ましい。

【０００６】また、上記第１の目的を達成するものは、
紫外線透過性透明板と、透明板の一方の面に形成された
発熱用透明導電性薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜と接
触し向かい合う一対の発熱用電極と、前記紫外線透過性
透明板の前記発熱用透明導電性薄膜形成面に形成された
発熱用透明導電性薄膜非形成部と、前記発熱用透明導電
性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する透明薄膜とを
有する透明発熱用プレートを備える顕微鏡用透明加温器
具である。

【０００７】そして、前記透明板は、該透明板の他方の
面に形成された非発熱用透明導電性薄膜と、該紫外線透
過性透明板の前記非発熱用透明導電性薄膜形成面であっ
て、前記発熱用透明導電性薄膜非形成部に対応する位置
に形成され非発熱用透明導電性薄膜非形成部と、該非発
熱用透明導電性薄膜と接触するアース線と、前記非発熱
用透明導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する第
二の透明薄膜を有していることが好ましい。さらに、前
記第二の透明薄膜は、前記非発熱用透明導電性薄膜非形
成部を実質的に被覆していないものであってもよい。ま
た、前記第二の透明薄膜は、実質的に紫外線透過性を有
するとともに、前記非発熱用透明導電性薄膜非形成部を
被覆しているものであってもよい。

【０００８】そして、前記透明薄膜は、前記電極を被覆
していてもよい。また、前記電極が設けられた透明板の
周縁部には、全周にわたり発熱用透明導電性薄膜が設け
られていない部分を有し、さらに、前記電極も前記透明
板の周縁より若干内側に設けられていることが好まし
い。さらに、前記透明発熱用プレートの厚さは、１ｍｍ
以下であることが好ましい。

【０００９】上記第二の目的を達成するものは、透明板
と、透明板の一方の面に形成された発熱用透明導電性薄
膜と、該発熱用透明導電性薄膜と接触し向かい合う一対
の発熱用電極と、前記発熱用電極のそれぞれに固着され
た導電線とを有する透明発熱用プレートと、該透明発熱
プレートの周縁部を保持するハウジングとを備える透明
加温器具であって、該ハウジングは、前記導電線をハウ
ジングの外部に導出するための開口部を有し、前記透明
加温器具は、該開口部より導出される導電線を任意の形
状に保持できる形状付け用部材を有している顕微鏡用透
明加温器具である。

【００１０】そして、前記形状付け用部材は、例えば、
前記開口部付近より外方に延びる塑性変形可能な金属線
もしくは金属板である。また、前記形状付け用部材は、
例えば、前記開口部より導出された通電線に巻き付けら
れた塑性変形可能な金属線もしくは金属板である。

【００１１】また、上記目的を達成するものは、透明板
と、透明板の一方の面に形成された発熱用透明導電性薄
膜と、該発熱用透明導電性薄膜と接触し向かい合う一対
の発熱用電極と、前記発熱用透明導電性薄膜を被覆する
実質的に絶縁性を有する透明薄膜とを有する透明発熱用
プレートを備える観察用透明加温器具である。

【００１２】また、透明加温器具としては、耐熱性透明
板と、該透明板の一方の面に形成された発熱用透明導電
性薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜と接触し向かい合う
一対の発熱用電極と、該発熱用電極のそれぞれに固着さ
れた通電線とを有する透明発熱用プレートを備える透明
加温器具であって、前記透明発熱用プレートは、通電に
よる加温可能領域と通電による加温不能領域を有し、前
記一対の発熱用電極のそれぞれは、一端が前記加温可能
領域に位置し、他端が前記加温不能領域に位置し、前記
通電線は、前記加温不能領域に位置する部分において前
記電極と固着されているものであってもよい。そして、
前記通電線は、前記電極の他端付近と固着されているこ
とが好ましい。また、前記透明発熱用プレートは、例え
ば、発熱用透明導電性薄膜形成部と、発熱用透明導電性
薄膜非形成部を有し、該発熱用透明導電性薄膜形成部に
より加温可能領域が形成され、前記発熱用透明導電性薄
膜非形成部により加温不能領域が形成されている。ま
た、前記透明発熱用プレートは、前記発熱用透明導電性
薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する透明薄膜を有し
ていることが好ましい。

【００１３】

【発明の実施の形態】そこで、本発明の顕微鏡用透明加
温器具について、図面を用いて説明する。本発明の透明
加温器具を顕微鏡用透明加温器具に応用した実施例を用
いて説明する。顕微鏡用透明加温器具は、言い換えれ
ば、顕微鏡用試料支持板である。図１は、本発明の一実
施例の顕微鏡用透明加温器具の斜視図であり、図２は、
本発明の一実施例の顕微鏡用透明加温器具の正面図であ
り、図３は、図２のＡ−Ａ線断面図である。図４は、本
発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図であ
り、図５は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器
具の断面図である。

【００１４】この実施例の顕微鏡用透明加温器具１は、
図１および図２に示すように、透明発熱用プレート２
と、この透明発熱用プレート２を収納する環状ハウジン
グ３とを備えている。透明発熱用プレート２は、透明板
５と、透明板５の一方の面に形成された発熱用透明導電
性薄膜７と、発熱用透明導電性薄膜７と接触し向かい合
う一対の発熱用電極１０ａ，１０ｂと、発熱用透明導電
性薄膜７を被覆する実質的に絶縁性を有する透明薄膜８
を有している。そして、顕微鏡用透明加温器具１は、透
明発熱用プレート２の裏面に固定された温度センサ１４
を備えている。

【００１５】この実施例では、透明板５は、円形であ
り、透明板５の一方の面、言い換えれば、透明板５の裏
面の周縁部を除く全面に、図３に示すように、発熱用透
明導電性薄膜７が設けられている。透明板５には、その
円形形状に対応するように、全周のほぼ４分の１の長さ
の円弧で向かい合う２つの電極１０ａ，１０ｂが設けら
れている。透明板５には、全周のほぼ４分の１の長さの
円弧で向かい合う２つの電極１０ａ，１０ｂが存在しな
い部分が形成されている。また、温度センサ１４は、こ
の電極１０ａ，１０ｂが存在しない部分に対応する位置
に取り付けられている。

【００１６】透明板５としては、ガラス板、合成樹脂製
板であり、透明かつ絶縁性板状物が使用される。合成樹
脂板としては、透明性と絶縁性を有するものであれば特
に制限はないが、アクリル板、ポリカーボネート板、ス
チレン板などの透明性の高いものが好ましく、さらに、
硬質のものが好適である。なお、透明板５としては、透
明性が高いこと、熱伝導率があまり高くないことより、
ガラス板が好適である。ガラスとしては、ソーダライム
シリケートガラス、アルミノシリケートガラス、硼珪酸
塩ガラス、リチウムアルミノシリケートガラスなどのア
ルカリ含有ガラス、低アルカリ含有ガラス、無アルカリ
含有ガラス、石英ガラスなどが用いられる。透明板５と
しては厚さが、０．８ｍｍ以下、特には、０．２〜０．
６ｍｍのものを用いることが好ましい。透明発熱用プレ
ート２としては、厚さが、１ｍｍ以下、特に、０．２〜
０．６ｍｍとすることが好ましい。透明板５の形状は、
上述した円形のものに限られない。なお、円形とは、真
円形、楕円形、長方円形などを含むものである。四角
形、六角形などの多角形であってもよい。また、電極１
０ａ，１０ｂの大きさは、透明板５の全周の４分の１よ
り大きくても、逆に小さくてもよい。

【００１７】発熱用透明導電性薄膜７は、導電性金属薄
膜により形成されており、導電性金属薄膜としては、通
電により発熱する性質を有するものが使用される。具体
的には、酸化スズ、ＳｉＯ²−インジウム合金、酸化イ
ンジウム、スズまたはアンチモンをドープした酸化イン
ジウム、アンチモンをドープした酸化スズなどが好適に
使用できる。導電性金属薄膜（ＩＴＯ膜）を透明板５の
内面に形成する方法としては、蒸着法（例えば、真空蒸
着法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法な
どの真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学
蒸着法（ＣＶＤ法）、デッピング法などを利用すること
ができる。

【００１８】電極１０ａ，１０ｂとしては、銅、銀など
の導電性の高い金属薄膜を接着したもの、もしくは、透
明板５の所定部位に、銅、銀などの導電性の高い金属
を、例えば、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタ
リング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、
加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ
法）、デッピング法などにより、薄膜状に付着させたも
のにより形成されている。そして、電極１０ａ，１０ｂ
のそれぞれには導電線１２ａ，１２ｂが、接続されてお
り、これら導電線１２ａ，１２ｂおよび温度センサ１４
は、使用時には、後述する温度制御器３１と電気的に接
続される。

【００１９】透明板５は、その周縁部の全周にわたり発
熱用透明導電性薄膜７が設けられていない部分を有して
いる。電極１０ａ，１０ｂも透明発熱用プレート２の周
縁より離間した内側、言い換えれば、透明板５の周縁部
より所定距離内側となる位置に設けられている。このよ
うに、電極１０ａ，１０ｂおよび発熱用透明導電性薄膜
７が、透明板５の周縁より内側となるように、言い換え
れば、透明板５の周縁部の全周にわたり発熱用透明導電
性薄膜および電極の両者が存在しない部分が形成されて
いるため、電極１０ａ，１０ｂおよび発熱用透明導電性
薄膜７より生じた電磁波が、透明板５の上方に飛ぶこと
を抑制する。これにより、電極１０ａ，１０ｂおよび発
熱用透明導電性薄膜７より、もし電磁波（ノイズ）が発
生しても、透明板５の上に載置される観察対象物に影響
を与えることを防止する。透明板５の端部と発熱用透明
導電性薄膜７および電極１０ａ，１０ｂの端部との距離
は、０．５〜１０ｍｍ程度が好ましい。特に、１〜５ｍ
ｍが好ましい。

【００２０】そして、透明板５の底面には、発熱用透明
導電性薄膜７の全体を被覆する透明薄膜８を有してい
る。透明薄膜８は、実質的に絶縁性を有するものにより
形成されている。この実施例では、透明薄膜８は、電極
１０ａ，１０ｂの全体を被包し、さらに、発熱用透明導
電性薄膜７が形成されていない透明板５の周縁部も被覆
している。透明板５の底面がこのような透明硬化薄膜に
より保護されるため、傷が付きにくいとともに、透明発
熱用プレート２が、例えば、１ｍｍ以下という薄いもの
であっても、十分な強度を有する。

【００２１】透明薄膜８としては、透明硬化薄膜が用い
られている。透明硬化薄膜としては、酸化ジルコニウム
（ＺｒＯ₂）膜、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）膜、酸化珪素
（ＳｉＯ₂）膜、炭化チタン膜などいずれかもしくは複
合物を主成分とするものが好適である。特に、酸化ジル
コニウム（ＺｒＯ₂）膜、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）膜、酸
化珪素（ＳｉＯ₂）膜のそれぞれの単体物より形成され
ていることが好ましい。また、シリコン系ハードコート
剤と呼ばれるものも使用できる。シリコン系ハードコー
ト剤は、オルガノアルコキシシランの加水分解縮合物が
加熱によりシラノール基同士が反応して高度な架橋体を
形成することを利用するものである。形成される薄膜
は、酸化珪素（ＳｉＯ₂）の編み目構造の一部に有機基
（例えば、アルキル基、具体的には、メチル基、エチル
基）が取り込まれた形のものとなる。

【００２２】透明硬化薄膜８は、上記のような材料を用
いて、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング
法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分
解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、さ
らには、デッピング法、コート法（例えば、スプレー
法、ロール法、スピンナー法）により付着させた後硬化
させることにより形成される。硬化は、加熱法、プラズ
マ法、常温放置などにより行われる。透明硬化薄膜８と
しては、厚さが０．０１〜１００μｍ程度であることが
好ましい。

【００２３】透明硬化薄膜としては、具体的には、以下
のような方法により形成することができる。例えば、透
明導電性薄膜７を形成したガラス板に、ＳｉＯ₂、Ｚｒ
Ｏ₂、もしくはＡｌ₂Ｏ₃を、３００゜Ｃ、アルゴン雰囲気
中、真空度＝５．０×１０^-1Ｐａ、印加高周波電力５０
０Ｗの条件下で、スパッタリングすることにより、Ｓｉ
Ｏ₂、ＺｒＯ₂、もしくはＡｌ₂Ｏ₃からなる透明硬化薄膜
を形成することができる。また、テトラエトキシシラン
重合体、ポリシルセスキオキサン等のオルガノアルコキ
シシランの加水分解縮合物のを所定量エタノールなどの
有機溶媒に溶解した溶液を、透明導電性薄膜７を形成し
たガラス板に、スプレー法、ロール法、スピンナー法な
どにより、厚さ約０．１〜１０μｍ程度に塗布し、約５
０゜Ｃで１０分間乾燥させた後、約３５０〜４５０゜Ｃで
所定時間焼成することにより、多少の有機基を含むもの
の、実質的にＳｉＯの架橋硬化膜を形成することができ
る。

【００２４】透明硬化薄膜は、上記のような実質的に無
機材料からなるものが好ましいが、透明樹脂により形成
してもよい。透明硬化性樹脂としては、メラミン系樹
脂、グアナミン系樹脂、アミノ樹脂、硬化型アクリル樹
脂、イソシアネート硬化型アクリル樹脂、熱硬化性スチ
レン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂など
が使用できる。

【００２５】ハウジング３は、図１、図２および図３に
示すように、中央に設けられた開口２１と、この開口２
１を取り囲むように設けられた透明発熱用プレート載置
部２２と、電極１０ａ，１０ｂおよび温度センサ１４と
接続された接続線を通すための開口部１８を有してい
る。温度センサ１４は、透明発熱用プレート２の底面に
接触するように設けられている。なお、センサ１４は、
透明発熱用プレート２内に設けてもよい。さらには、温
度センサ１４は、透明発熱用プレート２の表面に設けて
もよい。温度センサ１４としては、温度検知可能なもの
であれば特に制限はないが、熱電対、サーミスタなどが
好適である。

【００２６】電極１０ａ，１０ｂに接続された導電線１
２ａ，１２ｂおよび温度センサ１４に接続された信号線
は束ねられて１本のコード１６となって、ハウジング３
の小口１８より外部に延びている。そして、このコード
１６の端部には、コネクタ２５が取り付けられている。
このコネクタ２５は、後述する温度制御器との接続端子
を形成している。

【００２７】そして、この実施例の顕微鏡用透明加温器
具は、上記のようにハウジング３が、導電線１２ａ，１
２ｂをハウジング３の外部に導出するための開口部１８
を有し、開口部１８より導出される導電線１２ａ，１２
ｂを任意の形状に保持できる形状付け用部材２０を有し
ている。具体的には、開口部１８内に一端が設けられ外
方に延びるチューブ１９を備え、このチューブ１９内に
導電線１２ａ，１２ｂを含むコード１６が貫通してい
る。そして、このチューブ１９内には、一端がハウジン
グ３の開口部１８内に固定もしくは離脱防止用の係止部
２０ａを備え、コード１６と平行に延びる金属線２０
（例えば、針金）が収納されている。金属線２０として
は、手で曲げることができる程度の易塑性変形性を有す
るものが用いられている。金属線は、一本でも複数本設
けてもよい。一本の場合には、例えば、線径が、２〜７
ｍｍ程度の針金が公的であり、複数本設ける場合には、
１〜５ｍｍ程度の針金が好適に使用される。なお、形状
付け用部材は、金属線に限られるものではなく、上記チ
ューブ１９内に収納可能な程度の幅の金属板を用いても
よい。さらに、形状付け用部材は、上述のような形態の
ものに限定されるものではない。例えば、上記のような
チューブを用いる場合には、チューブの外面もしくはコ
ード１６の外面（チューブとコード１６の間となる）に
塑性変形可能な金属線もしくは金属板を巻き付けたもの
であってもよい。また、チューブを用いない場合には、
コード１６の外面に塑性変形可能な金属線もしくは金属
板を巻き付けたものであってもよい。金属線もしくは金
属板の形成材料としては、ステンレス、銅などが使用さ
れる。

【００２８】そして、この顕微鏡用透明加温器具１は、
顕微鏡ステージに組み込まれて使用される。顕微鏡用透
明加温器具１と温度制御器３１により、温度制御装置が
構成されている。図１１は、本発明の透明加温装置に使
用される温度制御器のブロック図である。温度制御器３
１は、図１１に示すように、透明加温器具（顕微鏡用試
料支持板）１のコネクター２５と接続可能なコネクター
３２と、透明加温器具１の温度センサ１４により検知さ
れたアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコン
バーター３３と、このコンバーター３３からの信号が入
力される温度制御部３５と、温度制御部３５より出力さ
れる透明発熱用プレート２の実測温度を表示する測定温
度表示部３６と、設定温度を入力する設定温度入力部３
７と、設定温度入力部より入力された設定温度を表示す
る設定温度表示部３９とを有している。そして、温度制
御部３５は、温度制御器３１のコネクター３２および透
明加温器具１のコネクター２５を介して、発熱用透明導
電性薄膜７と接触する電極１０ａ，１０ｂと電気的に接
続されており、発熱用透明導電性薄膜７の温度調整機能
を有している。そして、設定温度入力部３７は、入力ス
イッチ３７ａを、また、測定温度表示部３６は、表示窓
３６ａを、設定温度表示部３９も表示窓３９ａを備えて
いる。温度制御部３５は、設定温度と測定温度とを比較
する比較機能と、この比較機能による比較結果に基づ
き、発熱用透明導電性薄膜への電力供給状態を調整する
温度調整機能（言い換えれば、電力供給調整機能）を有
している。温度調整機能（電力供給調整機能）として
は、印加電圧を調整する機能、負荷電流を調整する機
能、通電のＯＮ／ＯＦＦ状態を調整する機能などのいず
れでもよい。

【００２９】温度制御部は、具体的には、検知された測
定温度が、設定温度入力部により入力された設定温度よ
り低い場合には、通電をＯＮし、逆に、検知された測定
温度が、設定温度入力部により入力された設定温度より
高い場合には、通電をＯＦＦするように制御する。ま
た、温度制御は、ＯＮ／ＯＦＦ制御でない場合には、検
知された測定温度が、設定温度入力部により入力された
設定温度より低い場合には、電圧または電流を高くする
ように制御し、逆に、検知された測定温度が、設定温度
入力部により入力された設定温度より高い場合には、電
圧また電流を低くするか、一時的に通電を中止し、測定
温度が設定温度と等しい場合には、与えている電圧また
電流を維持することにより行われる。

【００３０】次に、図４に示す実施例の顕微鏡用透明加
温器具４０について説明する。この実施例の透明加温器
具４０の基本構成は、図１ないし図３に示した透明加温
器具１と同じである。相違は、透明発熱用プレート４２
の構造である。この透明加温器具４０では、透明発熱用
プレート４２の透明薄膜４８は、透明樹脂フィルムによ
り形成されている。透明樹脂フィルムとしては、膜厚が
０．０５〜０．２ｍｍ程度のものが用いられる。透明樹
脂フィルムとしては、実質的に絶縁性を有するものによ
り形成されている。具体的には、ポリエステルフィルム
（具体的には、ポリエチレンテレフタレートフィル
ム）、ポリカーボネートフィルム、ポリオレフィンフィ
ルム（例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレン
フィルム）、ポリビニリデンフィルム（具体的には、ポ
リフッ化ビニリデンフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィ
ルムなどが使用できる。強度および膜厚の均一性より、
樹脂フィルムは、延伸されていることが好ましい。延伸
樹脂フィルムとしては、一軸延伸フィルムでも、二軸延
伸フィルムでもよいが、強度の点より、二軸延伸フィル
ムが特に好適である。

【００３１】そして、この透明薄膜４８を形成する透明
樹脂フィルムは、透明板５の底面に形成された発熱用透
明導電性薄膜７の全体を被覆している。この実施例で
は、透明薄膜４８は、電極１０ａ，１０ｂの全体を被包
し、さらに、発熱用透明導電性薄膜７が形成されていな
い透明板５の周縁部も被覆している。透明薄膜４８は、
透明板５の底面に、接着剤により固着されている。作図
上、図４の接着剤層４９が厚いが、透明薄膜４８を透明
板５の底面に接着できればよく、実際には薄い層とな
る。接着剤としては、実質的に絶縁性を有するものが用
いられる。接着剤しては、ホットメルト系接着剤、ＲＴ
Ｖシリコン系接着剤、ＬＴＶシリコン系接着剤などが使
用できる。この実施例の透明加温器具４０におけるその
他の構造は、上述した透明加温器具１と同じである。こ
の透明加温器具４０に用いられている透明発熱用プレー
ト４２としても、厚さが、１ｍｍ以下、特に、０．２〜
０．６ｍｍとすることが好ましい。

【００３２】次に、図５に示す実施例の顕微鏡用透明加
温器具５０について説明する。この実施例の透明加温器
具５０の基本構成は、図１ないし図３に示した透明加温
器具１と同じである。相違は、透明発熱用プレート５２
の構造である。この透明発熱用プレート５２では、透明
板５は、透明板５の他方の面（表面、発熱用透明導電性
薄膜７が形成されていない面）に形成された非発熱用透
明導電性薄膜９と、非発熱用透明導電性薄膜９と接触す
るアース線１９と、非発熱用透明導電性薄膜９を被覆す
る実質的に絶縁性を有する第二の透明薄膜１１が形成さ
れている。

【００３３】非発熱用透明導電性薄膜９は、発熱用透明
導電性薄膜７の周縁に対応する部分を越え、透明板５の
全面を被覆している。透明板５の全面を被覆している。
また、非発熱用透明導電性薄膜９としては、上述した発
熱用透明導電性薄膜と同じものであってもい。しかし、
非発熱用透明導電性薄膜９は、通電により発熱させるこ
とを目的とするものでないので、発熱用透明導電性薄膜
より抵抗値がより低いものであってもよい。非発熱用透
明導電性薄膜９としては、具体的には、金、銅、酸化ス
ズ、ＳｉＯ₂−インジウム合金、酸化インジウム、スズ
またはアンチモンをドープした酸化インジウム、アンチ
モンをドープした酸化スズなどが好適に使用できる。導
電性金属薄膜（ＩＴＯ膜）を透明板５の表面に形成する
方法としては、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッ
タリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜
法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶ
Ｄ法）、デッピング法などにより行うことができる。そ
して、非発熱用透明導電性薄膜９には、アース線１９が
接続されている。透明板５の表面（上面）に当接し、非
発熱用透明導電性薄膜９に到達した電磁波はアース線に
流れ消失する。

【００３４】さらに、透明板５には、非発熱用透明導電
性薄膜９を被覆する第二の透明薄膜１１が形成されてい
る。透明薄膜としては、上述した透明加温器具１におい
て用いた透明硬化薄膜膜８と同じものが好適に利用でき
る。具体的には、透明薄膜１１としては、透明硬化薄膜
が用いられている。透明硬化薄膜としては、酸化ジルコ
ニウム（ＺｒＯ₂）膜、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）膜、酸化
珪素（ＳｉＯ₂）膜、炭化チタン膜などいずれかもしく
は複合物を主成分とするものが好適である。特に、好ま
しくは、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）膜、アルミナ
（Ａｌ₂Ｏ₃）膜、酸化珪素（ＳｉＯ₂）膜のそれぞれの
単体物より形成されていることが好ましい。

【００３５】また、シリコン系ハードコート剤と呼ばれ
るものも使用できる。シリコン系ハードコート剤は、オ
ルガノアルコキシシランの加水分解縮合物が加熱により
シラノール基同士が反応して高度な架橋体を形成するこ
とを利用するものである。形成される薄膜は、酸化珪素
（ＳｉＯ₂）の編み目構造の一部に有機基（例えば、ア
ルキル基、具体的には、メチル基、エチル基）が取り込
まれた形のものとなる。透明硬化薄膜１１は、上記の
ような材料を用いて、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、
スパッタリング法、イオンプレーティング法などの真空
製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法
（ＣＶＤ法）、さらには、デッピング法、コート法（例
えば、スプレー法、ロール法、スピンナー法）により付
着させた後硬化させることにより形成される。硬化は、
加熱法、プラズマ法、常温放置などにより行われる。透
明硬化薄膜８としては、厚さが０．０１〜１００μｍ程
度であることが好ましい。

【００３６】なお、透明硬化膜薄膜１１と、第二の透明
硬化薄膜１１は、形成材料が異なっていてもよい。例え
ば、透明硬化膜薄膜８を、ＳｉＯ₂、ＺｒＯ₂、もしくは
Ａｌ₂Ｏ₃のいずれかにより形成し、第二の透明硬化薄膜
１１は、透明硬化膜薄膜８の形成用いられた以外のも
の、さらには、上述のシリコン系ハードコート剤により
形成してもよい。第二の透明硬化薄膜１１としては、厚
さが０．０１〜１００μｍ程度であることが好ましい。
このような透明硬化薄膜１１を設けても、透明発熱用プ
レート５２の肉厚はそれほど増加することはない。透明
板５は、表裏両面が透明硬化薄膜により保護されるた
め、傷が付きにくく、透明発熱用プレート５２の強度も
高い。この透明加温器具５０に用いられている透明発熱
用プレート５２としても、厚さが、１ｍｍ以下、特に、
０．２〜０．６ｍｍとすることが好ましい。また、この
ように、透明板５の表面側にも透明硬化薄膜を設ける場
合には、透明板５として、より薄いもの、例えば、上述
した透明加温器具１に用いられた透明板５より薄いもの
を用いることもできる。

【００３７】この実施例の透明加温器具におけるその他
の構造は、上述した透明加温器具１と同じである。次
に、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具６０に
ついて説明する。図６は、本発明の他の実施例の顕微鏡
用透明加温器具の正面図であり、図７は、図６のＢ−Ｂ
線断面図である。図８は、本発明の他の実施例の顕微鏡
用透明加温器具の断面図であり、図９および図１０は、
本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図で
ある。

【００３８】この実施例の顕微鏡用透明加温器具６０
は、紫外線透過性透明板６５と、透明板６５の一方の面
に形成された発熱用透明導電性薄膜７と、発熱用透明導
電性薄膜７と接触し向かい合う一対の発熱用電極１０
ａ，１０ｂと、紫外線透過性透明板６５の発熱用透明導
電性薄膜形成面に形成された発熱用透明導電性薄膜非形
成部７ａと、発熱用透明導電性薄膜７を被覆する実質的
に絶縁性を有する透明薄膜８とを有する透明発熱用プレ
ート６２を備えている。顕微鏡用透明加温器具６０は、
透明発熱用プレート６２と、この透明発熱用プレートを
収納する環状ハウジング３と、透明発熱用プレート６２
の裏面に固定された温度センサ１４を備えている。

【００３９】この実施例では、紫外線透過性透明板６５
は、円形であり、紫外線透過性透明板６５の一方の面、
言い換えれば、透明板６５の裏面の周縁部と中央部を除
く全面に発熱用透明導電性薄膜７が設けられている。紫
外線透過性透明板６５には、その円形形状に対応するよ
うに、全周のほぼ４分の１の長さの円弧で向かい合う２
つの電極１０ａ，１０ｂが設けられている。紫外線透過
性透明板６５には、全周のほぼ４分の１の長さの円弧で
向かい合う２つの電極１０ａ，１０ｂが存在しない部分
が形成されている。また、温度センサ１４は、この電極
１０ａ，１０ｂが存在しない部分に対応する位置に取り
付けられている。

【００４０】紫外線透過性透明板６５としては、紫外線
透過性を有するガラス板、合成樹脂製板であり、透明か
つ絶縁性板状物が使用される。具体的には、石英ガラス
が好適である。透明板６５としては厚さが、０，８ｍｍ
以下、特には、０．２〜０．６ｍｍのものを用いること
が好ましい。透明発熱用プレート６２としては、厚さ
が、１ｍｍ以下、特に、０．２〜０．６ｍｍとすること
が好ましい。透明板６５の形状は、上述した円形のもの
に限られない。なお、円形とは、真円形、楕円形、長方
円形などを含むものである。四角形、六角形などの多角
形であってもよい。また、電極１０ａ，１０ｂの大きさ
は、透明板６５の全周の４分の１より大きくても、逆に
小さくてもよい。

【００４１】発熱用透明導電性薄膜７は、導電性金属薄
膜により形成されており、導電性金属薄膜としては、通
電により発熱する性質を有するものが使用される。具体
的には、酸化スズ、ＳｉＯ²−インジウム合金、酸化イ
ンジウム、スズまたはアンチモンをドープした酸化イン
ジウム、アンチモンをドープした酸化スズなどが好適に
使用できる。導電性金属薄膜（ＩＴＯ膜）を紫外線透過
性透明板６５の内面に形成する方法としては、蒸着法
（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング法、イオンプ
レーティング法などの真空製膜法、加水分解反応、熱分
解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、デッピング法な
どにより行うことができる。

【００４２】電極１０ａ，１０ｂとしては、銅、銀など
の導電性の高い金属薄膜を接着したもの、もしくは、透
明板６５の所定部位に、銅、銀などの導電性の高い金属
を、例えば、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタ
リング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、
加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ
法）、デッピング法などにより、薄膜状に付着させたも
のにより形成されている。そして、電極１０ａ，１０ｂ
のそれぞれには導電線１２ａ，１２ｂが、接続されてお
り、これら導電線１２ａ，１２ｂおよび温度センサ１４
は、使用時には、温度制御器と電気的に接続される。

【００４３】紫外線透過性透明板６５は、使用時に顕微
鏡の倍率レンズが位置する部分、具体的には、この実施
例では、透明板６５の中央部に発熱用透明導電性薄膜非
形成部７ａが設けられている。このように、使用時に顕
微鏡の倍率レンズが位置する部分となる中央部を、発熱
用透明導電性薄膜非形成部７ａとすることにより、蛍光
顕微鏡を用いても、発熱用透明導電性薄膜が存在しない
ため、発熱用透明導電性薄膜に起因する紫外線の吸収も
しくは散乱がない。発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａ
は、例えば、非形成部７ａとなる部分をマスキングした
状態にて、上述のような発熱用透明導電性薄膜を作製す
ることにより、また、非形成部７ａ部分を含むように発
熱用透明導電性薄膜を形成した後、非形成部７ａとなる
部分の導電性薄膜を機械的もしくは化学的方法により除
去することにより形成することができる。上述したマス
キング法によることが好ましい。

【００４４】また、透明板６５の周縁部の全周にわたり
発熱用透明導電性薄膜７が設けられていない部分も形成
されている。電極１０ａ，１０ｂも透明発熱用プレート
６２の周縁より離間した内側、言い換えれば、紫外線透
過性透明板６５の周縁部より所定距離内側となる位置に
設けられている。このように、電極１０ａ，１０ｂおよ
び発熱用透明導電性薄膜が、透明板６５の周縁より内側
となるように、言い換えれば、透明板６５の周縁部の全
周にわたり発熱用透明導電性薄膜および電極の両者が存
在しない部分が形成されているため、電極１０ａ，１０
ｂおよび発熱用透明導電性薄膜より生じた電磁波が、紫
外線透過性透明板６５の上方に飛ぶことを抑制する。こ
れにより、電極１０ａ，１０ｂおよび発熱用透明導電性
薄膜より、もし電磁波（ノイズ）が発生しても、紫外線
透過性透明板６５の上に載置される観察対象物に影響を
与えることを防止する。紫外線透過性透明板６５の端部
と発熱用透明導電性薄膜７および電極１０ａ，１０ｂの
端部との距離は、０．５〜１０ｍｍ程度が好ましい。特
に、１〜５ｍｍが好ましい。

【００４５】そして、紫外線透過性透明板６５の底面に
は、発熱用透明導電性薄膜７の全体を被覆する透明薄膜
８を有している。透明薄膜８は、実質的に絶縁性を有す
るものにより形成されている。この実施例では、透明薄
膜８は、電極１０ａ，１０ｂの全体を被包し、さらに、
発熱用透明導電性薄膜７が形成されていない紫外線透過
性透明板６５の周縁部も被覆している。透明薄膜８とし
ては、上述した透明加温器具１において用いたものが好
適に使用できる。透明硬化薄膜としては、酸化ジルコニ
ウム（ＺｒＯ₂）膜、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）膜、酸化珪
素（ＳｉＯ₂）膜、炭化チタン膜などいずれかもしくは
複合物を主成分とするものが好適である。特に、好まし
くは、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）膜、アルミナ（Ａ
ｌ₂Ｏ₃）膜、酸化珪素（ＳｉＯ₂）膜のそれぞれの単体
物より形成されていることが好ましい。

【００４６】また、シリコン系ハードコート剤と呼ばれ
るものも使用できる。シリコン系ハードコート剤は、オ
ルガノアルコキシシランの加水分解縮合物が加熱により
シラノール基同士が反応して高度な架橋体を形成するこ
とを利用するものである。形成される薄膜は、酸化珪素
（ＳｉＯ₂）の編み目構造の一部に有機基（例えば、ア
ルキル基、具体的には、メチル基、エチル基）が取り込
まれた形のものとなる。紫外線透過性透明板６５の底面
がこのような透明硬化薄膜により保護されるため、傷が
付きにくいとともに、透明発熱用プレート６２が、例え
ば、１ｍｍ以下という薄いものであっても、十分な強度
を有する。

【００４７】透明硬化薄膜８は、上記のような材料を用
いて、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング
法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分
解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、さ
らには、デッピング法、コート法（例えば、スプレー
法、ロール法、スピンナー法）により付着させた後硬化
させることにより形成される。硬化は、加熱法、プラズ
マ法、常温放置などにより行われる。透明硬化薄膜８と
しては、厚さが０．０１〜１００μｍ程度であることが
好ましい。この実施例では、透明硬化薄膜８は、透明板
６５の発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａ部分を被覆し
ないものとなっている。このようにすることにより、透
明硬化薄膜８に起因する紫外線の吸収、散乱を防止でき
る。しかし、透明硬化薄膜８として、紫外線透過性の高
いもの、言い換えれば、紫外線透過性透明硬化薄膜を用
いる場合には、図８に示すように、透明硬化薄膜８が、
透明板６５の発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａ部分も
被覆するものとしてもよい。このようにすることによ
り、透明加温プレートの中央部での物性の低下がなくな
る。紫外線透過性透明硬化薄膜は、例えば、酸化珪素
（ＳｉＯ₂）のみにより薄膜を形成することにより作製
できる。

【００４８】ハウジング３は、図１、図２および図３に
示すように、中央に設けられた開口２１と、この開口２
１を取り囲むように設けられた透明発熱用プレート載置
部２２と、電極１０ａ，１０ｂおよび温度センサ１４と
接続された接続線を通すための開口部１８を有してい
る。温度センサ１４は、透明発熱用プレート６２の底面
に接触するように設けられている。なお、センサ１４
は、透明発熱用プレート６２内に設けてもよい。さらに
は、温度センサ１４は、透明発熱用プレートの表面に設
けてもよい。温度センサ１４としては、温度検知可能な
ものであれば特に制限はないが、熱電対、サーミスタな
どが好適である。電極１０ａ，１０ｂに接続された導電
線１２ａ，１２ｂおよび温度センサ１４に接続された信
号線は束ねられて１本のコード１６となって、ハウジン
グ３の小口１８より外部に延びている。そして、このコ
ード１６の端部には、コネクタ２５が取り付けられてい
る。このコネクタ２５は、後述する温度制御器との接続
端子を形成している。

【００４９】そして、この実施例の顕微鏡用透明加温器
具は、上記のようにハウジング３が、導電線１２ａ，１
２ｂをハウジング３の外部に導出するための開口部１８
を有し、開口部１８より導出される導電線１２ａ，１２
ｂを任意の形状に保持できる形状付け用部材２０を有し
ている。具体的には、開口部１８内に一端が設けられ外
方に延びるチューブ１９を備え、このチューブ１９内に
導電線１２ａ，１２ｂを含むコードが貫通している。そ
して、このチューブ１９内には、一端がハウジング３の
開口部１８内に固定もしくは離脱防止用の係止部２０ａ
を備え、コードと平行に延びる金属線２０（例えば、針
金）が収納されている。金属線２０としては、手で曲げ
ることができる程度の易塑性変形性を有するものが用い
られている。この実施例の透明加温器具におけるその他
の構造は、上述した透明加温器具１と同じである。そし
て、この顕微鏡用透明加温器具１は、顕微鏡ステージに
組み込まれて使用される。顕微鏡用透明加温器具１と上
述した温度制御器３１により、温度制御装置が構成され
る。

【００５０】次に、図９に示す実施例の顕微鏡用透明加
温器具９０について説明する。この実施例の透明加温器
具９０の基本構成は、図６および図７に示した透明加温
器具６０と同じである。相違は、透明発熱用プレート９
２の構造である。この透明発熱用プレート９２では、紫
外線透過性透明板６５は、透明板６５の他方の面（表
面、発熱用透明導電性薄膜が形成されていない面）に形
成された非発熱用透明導電性薄膜１１と、透明板６５の
非発熱用透明導電性薄膜形成面であって、発熱用透明導
電性薄膜非形成部７ａに対応する位置に形成され非発熱
用透明導電性薄膜非形成部９ａと、非発熱用透明導電性
薄膜９と接触するアース線１９と、非発熱用透明導電性
薄膜９を被覆する実質的に絶縁性を有する第二の透明薄
膜１１を有している。

【００５１】非発熱用透明導電性薄膜９は、紫外線透過
性透明板６５の中央部を除く全面を被覆している。ま
た、非発熱用透明導電性薄膜としては、上述した発熱用
透明導電性薄膜と同じものであってもい。しかし、非発
熱用透明導電性薄膜９は、通電により発熱させることを
目的とするものでないので、発熱用透明導電性薄膜より
抵抗値がより低いものであってもよい。非発熱用透明導
電性薄膜９としては、具体的には、金、銅、酸化スズ、
ＳｉＯ²−インジウム合金、酸化インジウム、スズまた
はアンチモンをドープした酸化インジウム、アンチモン
をドープした酸化スズなどが好適に使用できる。導電性
金属薄膜（ＩＴＯ膜）を紫外線透過性透明板６５の表面
に形成する方法としては、蒸着法（例えば、真空蒸着
法）、スパッタリング法、イオンプレーティング法など
の真空製膜法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸
着法（ＣＶＤ法）、デッピング法などにより行うことが
できる。

【００５２】また、紫外線透過性透明板６５は、使用時
に顕微鏡の倍率レンズが位置する部分、具体的には、発
熱用透明導電性薄膜非形成部７ａに対応する位置に、非
発熱用透明導電性薄膜非形成部９ａが設けられている。
このように、使用時に顕微鏡の倍率レンズが位置する部
分となる発熱用透明導電性薄膜非形成部７ａに対応する
位置（中央部）を、導電性薄膜非形成部９ａとすること
により、蛍光顕微鏡を用いても、発熱用透明導電性薄膜
が存在しないため、発熱用透明導電性薄膜に起因する紫
外線の吸収もしくは散乱がない。発熱用透明導電性薄膜
非形成部９ａは、例えば、非形成部９ａとなる部分をマ
スキングした状態にて、上述のような発熱用透明導電性
薄膜を作製することにより、また、非形成部９ａ部分を
含むように発熱用透明導電性薄膜を形成した後、非形成
部９ａとなる部分の導電性薄膜を機械的もしくは化学的
方法により除去することにより形成することができる。
上述したマスキング法によることが好ましい。そして、
非発熱用透明導電性薄膜９には、アース線１９が接続さ
れている。透明板６５の表面（上面）に当接し、非発熱
用透明導電性薄膜９に到達した電磁波はアース線に流れ
消失する。

【００５３】さらに、紫外線透過性透明板６５には、非
発熱用透明導電性薄膜９を被覆する第二の透明薄膜１１
が形成されている。透明薄膜としては、上述した透明加
温器具１もしくは透明加温器具６０において説明した透
明硬化薄膜膜８と同じものが好適に利用できる。具体的
には、透明薄膜１１としては、透明硬化薄膜が用いられ
ている。透明硬化薄膜としては、酸化ジルコニウム（Ｚ
ｒＯ₂）膜、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）膜、酸化珪素（Ｓｉ
Ｏ₂）膜、炭化チタン膜などいずれかもしくは複合物を
主成分とするものが好適である。特に、好ましくは、酸
化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）膜、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）
膜、酸化珪素（ＳｉＯ₂）膜のそれぞれの単体物より形
成されていることが好ましい。また、シリコン系ハード
コート剤と呼ばれるものも使用できる。シリコン系ハー
ドコート剤は、オルガノアルコキシシランの加水分解縮
合物が加熱によりシラノール基同士が反応して高度な架
橋体を形成することを利用するものである。形成される
薄膜は、酸化珪素（ＳｉＯ₂）の編み目構造の一部に有
機基（例えば、アルキル基、具体的には、メチル基、エ
チル基）が取り込まれた形のものとなる。

【００５４】透明硬化薄膜１１は、上記のような材料を
用いて、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリン
グ法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水
分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、
さらには、デッピング法、コート法（例えば、スプレー
法、ロール法、スピンナー法）により付着させた後硬化
させることにより形成される。硬化は、加熱法、プラズ
マ法、常温放置などにより行われる。透明硬化薄膜８と
しては、厚さが０．０１〜１００μｍ程度であることが
好ましい。

【００５５】なお、透明硬化膜薄膜１１と、第二の透明
硬化薄膜１１は、形成材料が異なっていてもよい。例え
ば、透明硬化膜薄膜８を、ＳｉＯ₂、ＺｒＯ₂、もしくは
Ａｌ₂Ｏ₃のいずれかにより形成し、第二の透明硬化薄膜
１１は、透明硬化膜薄膜８の形成用いられた以外のも
の、さらには、上述のシリコン系ハードコート剤により
形成してもよい。第二の透明硬化薄膜１１８としては、
厚さが０．０１〜１００μｍ程度であることが好まし
い。このような透明硬化薄膜１１を設けても、透明発熱
用プレート５２の肉厚はそれほど増加することはない。
透明板６５は、表裏両面ともに透明硬化薄膜により保護
されるため、傷が付きにくくなるとともに、透明発熱用
プレート５２の強度がより高いものとなる。この透明加
温器具５０に用いられている透明発熱用プレート５２と
しても、厚さが、１ｍｍ以下、特に、０．２〜０．６ｍ
ｍとすることが好ましい。また、このように、透明板６
５の表面側にも透明硬化薄膜を設ける場合には、透明板
６５として、より薄いもの、例えば、上述した透明加温
器具１に用いられた透明板６５より薄いものを用いるこ
ともできる。

【００５６】この実施例では、透明硬化薄膜１１は、透
明板６５の非発熱用透明導電性薄膜非形成部９ａ部分を
被覆しないものとなっている。このようにすることによ
り、透明硬化薄膜１１に起因する紫外線の吸収、散乱を
防止できる。しかし、図１０に示すように、透明硬化薄
膜８、１１として、紫外線透過性の高いもの、言い換え
れば、紫外線透過性透明硬化薄膜を用いる場合には、透
明硬化薄膜１１が、透明板６５の発熱用透明導電性薄膜
非形成部７ａ、１１ａ部分も被覆するものとしてもよ
い。このようにすることにより、透明加温プレートの中
央部での物性の低下がなくなる。紫外線透過性透明硬化
薄膜は、例えば、酸化珪素（ＳｉＯ₂）のみにより薄膜
を形成することにより作成できる。この実施例の透明加
温器具におけるその他の構造は、上述した透明加温器具
６０と同じである。

【００５７】なお、上述した実施例のものは、顕微鏡用
透明加温器具であるが、顕微鏡ではなく、肉眼により観
察するための観察用透明加温器具とすることもできる。
構成はすべて同じである。観察用透明加温器具として
は、動物、植物などの細胞、微生物（細菌、酵母、カ
ビ）、樹脂のガラス転移点、軟化点もしくは融点などが
考えられる。

【００５８】次に、図１２ないし図１４の本発明の顕微
鏡用透明加温器具について説明する。図１２は、本発明
の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の平面図であり、
図１３は、図１２のＣ−Ｃ線断面図であり、図１４は、
図１２のＤ−Ｄ線断面図である。図１５は、本発明の他
の実施例の顕微鏡用透明加温器具の断面図である。この
実施例の顕微鏡用透明加温器具１００は、図１２および
図１３に示すように、透明発熱用プレート１０２と、こ
の透明発熱用プレート１０２を収納する環状ハウジング
３とを備えている。ハウジング３は、透明発熱用プレー
ト１０２の周縁部を保持している。

【００５９】具体的には、図１２ないし図１４に示すよ
うに、この実施例の透明発熱用プレート１０２は、透明
板５と、この透明板５の一方の面（裏面）に形成された
第１の発熱用透明導電性薄膜７と、発熱用透明導電性薄
膜７と接触し向かい合う一対の発熱用電極１０ａ，１０
ｂと、発熱用透明導電性薄膜７を被覆する実質的に絶縁
性を有する第１の透明薄膜８を有し、さらに、透明板５
の他方の面（表面）に形成された第２の発熱用透明導電
性薄膜２７と、この第２の発熱用透明導電性薄膜２７と
接触し向かい合う一対の第２の発熱用電極３０ａ，３０
ｂと、発熱用透明導電性薄膜２７を被覆する実質的に絶
縁性を有する第２の透明薄膜２８を有している。

【００６０】このため、透明加温プレートの形状が、円
形であっても、また、透明加温プレートの中央部が発熱
用透明導電性薄膜非形成部となっていても、さらには、
貫通口が設けられていても、プレートの形態に影響され
る事なく、観察に使用される透明加温プレートの中央付
近をほぼ均一な温度に加温することができる。なお、透
明発熱用プレート１０２の形態は、このようなものに限
られるものではない。例えば、図１５に示すように、透
明発熱用プレートは、透明板５と、この透明板５の一方
の面に形成された第１の発熱用透明導電性薄膜７と、発
熱用透明導電性薄膜７と接触し向かい合う一対の発熱用
電極１０ａ，１０ｂと、発熱用透明導電性薄膜７を被覆
する実質的に絶縁性を有する第１の透明薄膜８を有し、
さらに、透明板５の第１の透明薄膜８を被覆する第２の
発熱用透明導電性薄膜２７と、この第２の発熱用透明導
電性薄膜２７と接触し向かい合う一対の発熱用電極３０
ａ，３０ｂと、発熱用透明導電性薄膜２７を被覆する実
質的に絶縁性を有する第２の透明薄膜２８を有するもの
であってもよい。

【００６１】この顕微鏡用透明加温器具１００の基本構
成は、上述した顕微鏡用透明加温器具１と同じであり、
相違は、透明板の表面側に第２の発熱用透明導電性薄膜
２７と、この第２の発熱用透明導電性薄膜２７と接触し
向かい合う一対の発熱用電極３０ａ，３０ｂと、発熱用
透明導電性薄膜２７を被覆する実質的に絶縁性を有する
第２の透明薄膜２８を有している点である。同一部分に
ついて、同じ符号を付し、上述の説明を参照する。そし
て、顕微鏡用透明加温器具１００は、透明発熱用プレー
ト１０２の裏面に固定された温度センサ１４を備えてい
る。そして、向かい合う一対の第２の発熱用電極３０
ａ，３０ｂの中心線は、図１２に示すように、向かい合
うの透明板用電極１０ａ，１０ｂの中心線とほぼ直交す
るように設けられている。

【００６２】この実施例では、透明板５は、円形であ
り、裏面の周縁部を除くほぼ全面に発熱用透明導電性薄
膜７が設けられている。透明板５には、その円形形状に
対応するように、全周のほぼ４分の１より若干短い長さ
の円弧で向かい合う２つの電極１０ａ，１０ｂが設けら
れている。また、透明板５には、全周のほぼ４分の１の
長さの円弧で向かい合う２つの電極１０ａ，１０ｂが存
在しない部分が形成されている。また、温度センサ１４
は、この電極が存在しない部分に取り付けられている。
また、透明板５の表面にも、表面の周縁部を除くほぼ全
面に発熱用透明導電性薄膜７が設けられており、さら
に、その円形形状に対応するように、全周のほぼ４分の
１より若干短い長さの円弧で向かい合う２つの電極３０
ａ，３０ｂが設けられている。透明板５の表面側にも、
全周のほぼ４分の１の長さの円弧で向かい合う２つの電
極が存在しない部分が形成されている。

【００６３】図１２に示すように、透明板５に設けた電
極１０ａ，１０ｂと電極３０ａ，３０ｂが実質的に重な
らないように両電極は形成されている。これにより、電
極１０ａ，１０ｂの中心線は、電極３０ａ，３０ｂの中
心線とプレート中央部にてほぼ直交している。ほぼ直交
するとは、９０°で直交するものに限られず、８０〜１
１０°程度で交差するものを含んでいる。

【００６４】透明板の形状は、上述した円形のものに限
られない。なお、円形とは、真円形、楕円形、長方円形
などを含むものである。四角形、六角形などの多角形で
あってもよい。また、電極の形状は、設けられた電極１
０ａ，１０ｂ、３０ａ，３０ｂのすべてが同じ大きさで
あることが好ましいが、これに限らず、例えば、透明板
５の裏面側に設けられる電極１０ａ，１０ｂを全周の４
分の１より大きく（具体的には、全周の３分の１）形成
し、第２の電極３０ａ，３０ｂを全周の４分の１より小
さく（具体的には、全周の６分の１）してもよい。設け
られた電極１０ａ，１０ｂ、３０ａ，３０ｂにより、透
明発熱用プレートの全周が包囲されるものに限られず、
例えば、透明板５に設けられる電極１０ａ，１０ｂを全
周の５分の１程度とし、第２透明板の電極３０ａ，３０
ｂも全周の５分の１程度とし、かつ両電極の中心線がほ
ぼ直交するように形成してもよい。これにより、透明発
熱用プレートの周縁部に加温されない部分が形成される
が、透明発熱用プレートの中央部分は良好な加温状態を
得ることができる。また、電極１０ａ，１０ｂと電極３
０ａ，３０ｂは、相互に通電しないので、端部部分が重
なるように配置してもよい。さらに、電極１０ａ，１０
ｂと電極３０ａ，３０ｂの形態は、上述した円弧状のも
のに限られず、例えば、図１６に示すように、直線状も
のとしてもよい。この場合においても、電極１０ａ，１
０ｂと電極３０ａ，３０ｂは、相互に通電しないので、
端部部分が重なるように配置してもよく、また、逆に、
電極１０ａ，１０ｂと電極３０ａ，３０ｂの端部部分が
重ならないように配置してもよく。

【００６５】透明板５は、その周縁部の全周にわたり発
熱用透明導電性薄膜７，２７が設けられていない部分を
有している。電極１０ａ，１０ｂ、および電極３０ａ，
３０ｂも透明発熱用プレート２の周縁より離間した内
側、言い換えれば、透明板５の周縁部より所定距離内側
となる位置に設けられている。このように、発熱用透明
導電性薄膜７、２７、電極１０ａ，１０ｂ、３０ａ，３
０ｂが、透明板５の周縁より内側となるように、言い換
えれば、透明板５の周縁部の全周にわたり発熱用透明導
電性薄膜および電極の両者が存在しない部分が形成され
ているため、電極および発熱用透明導電性薄膜より生じ
た電磁波が、透明板５の上方に飛ぶことを抑制する。こ
れにより、電極および発熱用透明導電性薄膜より、もし
電磁波（ノイズ）が発生しても、透明板５の上に載置さ
れる観察対象物に影響を与えることを防止する。透明板
５の端部と発熱用透明導電性薄膜７、２７および電極１
０ａ，１０ｂの端部との距離は、０．５〜１０ｍｍ程度
が好ましい。特に、１〜５ｍｍが好ましい。

【００６６】そして、透明板５は、裏面側に形成された
発熱用透明導電性薄膜７の全体を被覆する透明薄膜８お
よび表面側に形成された発熱用透明導電性薄膜２７の全
体を被覆する透明薄膜２８を有している。透明薄膜８，
２８は、実質的に絶縁性を有するものにより形成されて
いる。この実施例では、透明薄膜８は、電極１０ａ，１
０ｂの全体を被包し、さらに、発熱用透明導電性薄膜７
が形成されていない透明板５の周縁部も被覆している。
透明板５の裏面（底面）がこのような透明硬化薄膜によ
り保護されるため、傷が付きにくい。同様に、この実施
例では、透明薄膜２８は、電極３０ａ，３０ｂの全体を
被包し、さらに、発熱用透明導電性薄膜２７が形成され
ていない透明板５の周縁部も被覆している。透明板５の
表面（上面）もこのような透明硬化薄膜により保護され
るため、傷が付きにくい。また、透明薄膜を有すること
により、透明発熱用プレート２が、例えば、１ｍｍ以下
という薄いものであっても、十分な強度を有する。ま
た、透明薄膜としては、上述した透明硬化薄膜が好適で
ある。

【００６７】また、透明板として、紫外線透過性のもの
を用いて、図６から図１０に示し、上述した実施例のよ
うに、透明板５の中央部（透明発熱用プレート１０２の
中央部）に発熱用透明導電性薄膜７、２７が設けられて
いない部分（発熱用透明導電性薄膜非形成部）を設けた
ものとしてもよい。この場合、発熱用透明導電性薄膜非
形成部には、上述したように、透明薄膜（特に、透明硬
化薄膜）も設けないものとするか、透明薄膜（特に、透
明硬化薄膜）を紫外線透過性材料により形成することが
好ましい。透明板、発熱用透明導電性薄膜、発熱用電
極、透明薄膜（透明硬化薄膜）、ハウジング、センサな
どとしては、上述したものと同じである。

【００６８】次に、図１７および図１８の本発明の顕微
鏡用透明加温器具について説明する。図１７は、本発明
の他の実施例の顕微鏡用透明加温器具の平面図であり、
図１８は、図１７のＥ−Ｅ線断面図である。この実施例
の顕微鏡用透明加温器具１１０は、図１７および図１８
に示すように、透明発熱用プレート１０２と、この透明
発熱用プレート１０２を収納する環状ハウジング３とを
備えている。この顕微鏡用透明加温器具１１０は、図１
２ないし図１４に示し、上述した顕微鏡用透明加温器具
１００と同じであり、相違は、透明板が多角形（四角
形、特に正方形）となっており、かつ、中央部に円形の
貫通口１１１が設けられている点のみである。また、こ
の実施例の顕微鏡用透明加温器具１１０においても、基
本構成は、上述した顕微鏡用透明加温器具１とも同じで
ある。よって、同一部分は、同じ符号を付し、上述の説
明を参照する。

【００６９】この顕微鏡用透明加温器具１１０の透明発
熱用プレート１１２においても、透明発熱用プレート１
１２は、透明板５と、この透明板５に形成された第１の
発熱用透明導電性薄膜７と、発熱用透明導電性薄膜７と
接触し向かい合う一対の発熱用電極１０ａ，１０ｂと、
第２の発熱用透明導電性薄膜２７と、この第２の発熱用
透明導電性薄膜２７と接触し向かい合う一対の発熱用電
極３０ａ，３０ｂと、発熱用透明導電性薄膜２７を被覆
する実質的に絶縁性を有する第２の透明薄膜２８を有し
ている。そして、向かい合う一対の第２の発熱用電極３
０ａ，３０ｂの中心線は、図１７に示すように、向かい
合うの透明板用電極１０ａ，１０ｂの中心線とほぼ直交
するように設けられている。

【００７０】図１７に示すように、透明板５に設けた電
極１０ａ，１０ｂと電極３０ａ，３０ｂが実質的に重な
らないように両電極は形成されている。これにより、電
極１０ａ，１０ｂの中心線は、電極３０ａ，３０ｂの中
心線とプレート中央部にてほぼ直交している。ほぼ直交
するとは、９０°で直交するものに限られず、８０〜１
１０°程度で交差するものを含んでいる。このため、透
明加温プレート１１２の中央部に貫通口１１１が形成さ
れていてもこれに影響される事なく、観察に使用される
透明加温プレートの中央付近をほぼ均一な温度に加温す
ることができる。

【００７１】透明板５としては、正方形のものが用いら
れているが、これに限られるものではなく、長方形であ
ってもよい。また、透明板の中央の貫通口の大きさは、
５〜３０ｍｍ程度のものが好適である。そして、貫通口
１１１の内表面では、透明板５に形成された発熱用透明
導電性薄膜７の端面および発熱用透明導電性薄膜２７
は、透明薄膜（透明硬化薄膜）８，２８により、被覆さ
れている。さらに、透明板５の貫通口の内側面も透明薄
膜により、（図示するものでは、透明薄膜８，２８がそ
れぞれ半分ずつ）被覆されており、透明薄膜（透明硬化
薄膜）８，２８は、透明板５の貫通口の内周面の中央付
近にて接合した状態となっている。発熱用透明導電性薄
膜の端面が透明薄膜により被覆されているので、発熱用
透明導電性薄膜より生じた電磁波が、透明板５の上方に
飛ぶことを抑制する。また、透明加温プレートの中央部
の貫通口の周縁部を補強している。透明板、発熱用透明
導電性薄膜、発熱用電極、透明薄膜（透明硬化薄膜）、
ハウジング、センサなどとしては、上述したものと同じ
である。

【００７２】次に、図１９および図２０に示す本発明の
透明加温器具について説明する。図１９は、本発明の高
温用透明加温器具の平面図であり、図２０は、図１９の
Ｆ−Ｆ線断面図である。この高温用透明加温器具は、耐
熱性透明板５と、透明板５の一方の面に形成された発熱
用透明導電性薄膜７と、発熱用透明導電性薄膜７と接触
し向かい合う一対の発熱用電極１２５，１２６と、発熱
用電極１２５，１２６のそれぞれに固着された通電線１
２７，１２８とを有する透明発熱用プレート１２２を備
える。透明発熱用プレート１２２は、通電による加温可
能領域１２３と通電による加温不能領域１２４を有し、
一対の発熱用電極１２５，１２６のそれぞれは、一端が
前記加温可能領域１２３に位置し、他端１２５ａ，１２
６ａが加温不能領域１２４に位置し、通電線１２７，１
２８は、加温不能領域に位置する部分（１２５ａ，１２
６ａ部分）において電極１２５，１２６と固着されてい
る。

【００７３】このため、透明加温器具を通電し、加熱さ
せても、通電線１２７，１２８と電極１２５，１２６と
固着部分は直接発熱せず、伝熱による加温のみであるた
め、発熱領域に比べて温度が低く、通電線１２７，１２
８を電極１２５，１２６に固着するために用いられた導
電性接着剤が溶融することがない。この透明加温器具１
２０の基本構成は、上述した顕微鏡用透明加温器具１と
同じであり、相違は、透明板５として耐熱性のものを用
いている点と、透明発熱用プレート１２２が通電による
加温不能領域１２４を有し、一対の発熱用電極１２５，
１２６のそれぞれは、通電線１２７，１２８と加温不能
領域に位置する部分（１２５ａ，１２６ａ部分）におい
て接続されている点のみである。この実施例の透明加温
器具１２０では、透明発熱用プレート１２２は、発熱用
透明導電性薄膜形成部１２３と、発熱用透明導電性薄膜
非形成部１２４を有し、発熱用透明導電性薄膜形成部に
より加温可能領域が形成され、発熱用透明導電性薄膜非
形成部により加温不能領域が形成されている。

【００７４】透明板５の一方の面（下面、裏面）の中央
部にのみ発熱用透明導電性薄膜７が設けられている。そ
して、電極１２５，１２６が発熱用透明導電性薄膜７の
周縁部に設けられている。また、電極１２５，１２６
は、透明板５の発熱用透明導電性薄膜非形成部１２４内
に延び、透明板５の周縁部に至る延長部１２５ａ，１２
６ａを有している。そして、延長部１２５ａ，１２６ａ
の端部付近に、通電線１２７，１２８が導電性接着剤に
より固定されている。なお、このような形態のものに限
られるものではない。例えば、透明発熱用プレートは、
透明板の一方の面のほぼ全面に発熱用透明導電性薄膜が
設け、かつ、電極１２５，１２６がプレートの端部より
所定距離中央に寄った位置に設け、さらに、電極の他端
部１２５ａ，１２６ａがプレートの周縁部付近に位置す
るようにしたものでもよい。つまり、図１９において、
電極１２５，１２６の形態は同じとし、発熱用透明導電
性薄膜を透明板のほぼ全面に設けてもよい。このように
全面に設けても、実質的に加温されるのは向かい合う電
極１２５，１２６間（加温可能領域）であり、加温不能
領域に位置する電極の他端部１２５ａ，１２６ａの端部
は加温されない。

【００７５】耐熱性透明板としては、耐熱性ガラス板、
耐熱性透明樹脂板が使用できる。耐熱性ガラス板として
は、石英ガラスなどのシリカガラス板、高ケイ酸ガラス
板、硼珪酸塩ガラス板などが使用できる。透明板５とし
ては厚さが、０．３〜５ｍｍ程度のものが使用される。
透明板５の形状は、図示する四角形のものに限定される
ものではなく、円形、（真円形、楕円形、長方円形）、
六角形などの多角形であってもよい。発熱用透明導電性
薄膜７は、導電性金属薄膜により形成されており、導電
性金属薄膜としては、通電により発熱する性質を有する
ものが使用される。具体的には、酸化スズ、ＳｉＯ²−
インジウム合金、酸化インジウム、スズまたはアンチモ
ンをドープした酸化インジウム、アンチモンをドープし
た酸化スズなどが好適に使用できる。導電性金属薄膜
（ＩＴＯ膜）を透明板５の内面に形成する方法として
は、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタリング
法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、加水分
解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ法）、デ
ッピング法などを利用することができる。特に、この透
明器具では、８０゜Ｃ以上に加熱可能であることが好ま
しく、特に、１００゜Ｃ以上、さらには、２００゜Ｃ以上
の高温に加熱可能であることが好ましい。このため導電
性金属薄膜は上述した透明加温器具１より高抵抗となっ
ている。このような高抵抗（高発熱性）導電性金属薄膜
は、抵抗値が高い導電性金属を用いること、もしくは、
各種添加剤を加えて薄膜の抵抗値を高くすること、導電
性金属薄膜を極めて薄いものとすることなどにより作製
できる。

【００７６】電極１２５，１２６としては、銅、銀など
の導電性の高い金属薄膜を接着したもの、もしくは、透
明板５の所定部位に、銅、銀などの導電性の高い金属
を、例えば、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッタ
リング法、イオンプレーティング法などの真空製膜法、
加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶＤ
法）、デッピング法などにより、薄膜状に付着させたも
のにより形成されている。そして、電極１２５，１２６
のそれぞれには導電線１２７，１２８が、接続されてお
り、これら導電線１２７，１２８および温度センサ１４
は、使用時には、上述した後述する温度制御器３１と電
気的に接続される。

【００７７】そして、透明板５の底面には、少なくとも
発熱用透明導電性薄膜７の全体を被覆する透明薄膜８を
有している。透明薄膜８は、実質的に絶縁性を有するも
のにより形成されている。この実施例では、透明薄膜８
は、電極１２５，１２６の全体を被包し、さらに、発熱
用透明導電性薄膜７が形成されていない透明板５の周縁
部も被覆している。透明板５の底面がこのような透明硬
化薄膜により保護されるため、傷が付きにくいととも
に、透明発熱用プレート２が、例えば、１ｍｍ以下とい
う薄いものであっても、十分な強度を有する。

【００７８】透明薄膜８としては、透明硬化薄膜、特
に、耐熱性透明硬化薄膜が用いられている。耐熱性透明
硬化薄膜としては、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）膜、
アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）膜、酸化珪素（ＳｉＯ₂）膜、炭
化チタン膜などいずれかもしくは複合物を主成分とする
ものが好適である。特に、酸化ジルコニウム（Ｚｒ
Ｏ₂）膜、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）膜、酸化珪素（Ｓｉ
Ｏ₂）膜のそれぞれの単体物より形成されていることが
好ましい。透明硬化薄膜としては、具体的には、以下の
ような方法により形成することができる。例えば、透明
導電性薄膜７を形成したガラス板に、ＳｉＯ₂、Ｚｒ
Ｏ₂、もしくはＡｌ₂Ｏ₃を、３００゜Ｃ、アルゴン雰囲気
中、真空度＝５．０×１０^-1Ｐａ、印加高周波電力５０
０Ｗの条件下で、スパッタリングすることにより、Ｓｉ
Ｏ₂、ＺｒＯ₂、もしくはＡｌ₂Ｏ₃からなる透明硬化薄膜
を形成することができる。

【００７９】ハウジング３は、図１９および図２０に示
すように、中央に設けられた開口と、この開口を取り囲
むように設けられた透明発熱用プレート載置部と、導電
線１２７，１２８および温度センサ１４と接続された接
続線を通すための開口部を有している。温度センサ１４
は、透明発熱用プレート１２２の底面に接触するように
設けられている。なお、温度センサ１４は、透明発熱用
プレートの内部に設けてもよい。さらには、温度センサ
１４は、透明発熱用プレート２の表面に設けてもよい。
温度センサ１４としては、温度検知可能なものであれば
特に制限はないが、熱電対、サーミスタなどが好適であ
る。

【００８０】電極１２５，１２６に接続された導電線１
２７，１２８および温度センサ１４に接続された信号線
は束ねられて１本のコード１６となって、ハウジング３
の小口１８より外部に延びている。そして、このコード
１６の端部には、コネクタ（図示せず）が取り付けられ
ている。このコネクタは、後述する温度制御器との接続
端子を形成している。また、ハウジング３の透明発熱用
プレート載置部と透明発熱用プレート１２２間には、円
盤状の断熱材１３４が設けられており、また、透明発熱
用プレートの側面とハウジング３の内面間には、リング
状の断熱材１３５が設けられている。これら断熱材によ
り、透明発熱用プレートの熱のハウジング３への伝達を
少なくしている。断熱材としては、グラスウール、炭素
繊維、石綿などで形成されたものが使用できる。

【００８１】さらに、ハウジング３としては、ある程度
の耐熱性を有するもので形成されている。具体的には、
耐熱性樹脂もしくは金属により形成されている。そし
て、この加温器具では、透明板が発熱することにより、
ハウジング３内の空間も加熱され、空間内の空気が膨張
し内圧が上昇する。ハウジング３には、この内圧上昇を
逃がすための開口１３７ａ，１３７ｂが形成されてい
る。開口１３７ａ，１３７ｂは、ハウジング３の側面に
設けられており、ハウジング３の内面、透明板５、段悦
材１３４，１３５により形成される環状空間を外部と連
通させている。

【００８２】また、透明発熱用プレート１２２として
は、図２１に示すように、透明板５の他方の面（表面、
発熱用透明導電性薄膜７が形成されていない面）に形成
された非発熱用透明導電性薄膜９と、非発熱用透明導電
性薄膜９と接触するアース線１９と、非発熱用透明導電
性薄膜９を被覆する実質的に絶縁性を有する第二の透明
薄膜１１が形成されたものとしてもよい。非発熱用透明
導電性薄膜９は、発熱用透明導電性薄膜７の周縁に対応
する部分を越え、透明板５の全面を被覆している。ま
た、非発熱用透明導電性薄膜９としては、上述した発熱
用透明導電性薄膜と同じものであってもい。しかし、非
発熱用透明導電性薄膜９は、通電により発熱させること
を目的とするものでないので、発熱用透明導電性薄膜よ
り抵抗値がより低いものであってもよい。非発熱用透明
導電性薄膜９としては、具体的には、金、銅、酸化ス
ズ、ＳｉＯ₂−インジウム合金、酸化インジウム、スズ
またはアンチモンをドープした酸化インジウム、アンチ
モンをドープした酸化スズなどが好適に使用できる。導
電性金属薄膜（ＩＴＯ膜）を透明板５の表面に形成する
方法としては、蒸着法（例えば、真空蒸着法）、スパッ
タリング法、イオンプレーティング法などの真空製膜
法、加水分解反応、熱分解反応などの化学蒸着法（ＣＶ
Ｄ法）、デッピング法などにより行うことができる。

【００８３】そして、非発熱用透明導電性薄膜９には、
アース線１９が接続されている。透明板５の表面（上
面）に当接し、非発熱用透明導電性薄膜９に到達した電
磁波はアース線に流れ消失する。さらに、透明板５に
は、非発熱用透明導電性薄膜９を被覆する第二の透明薄
膜１１が形成されている。透明薄膜としては、上述した
透明加温器具１において用いた透明硬化薄膜膜８と同じ
ものが好適に利用できる。このような透明硬化薄膜１
１を設けることにより、透明板５は、表裏両面が透明硬
化薄膜により保護されるため、傷が付きにくく、透明発
熱用プレートの強度も高くなる。

【００８４】

【発明の効果】本発明の顕微鏡用透明加温器具は、透明
板と、透明板の一方の面に形成された発熱用透明導電性
薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜と接触し向かい合う一
対の発熱用電極と、前記発熱用透明導電性薄膜を被覆す
る実質的に絶縁性を有する透明薄膜とを有する透明発熱
用プレートを備えている。このため、加温プレートを十
分に薄くでき、中央に開口部を有しなくても、倒立顕微
鏡のステージに固定した場合に倍率レンズの回転に障害
となることがなく、かつ、透明薄膜を有するため十分な
強度も有する。

【００８５】また、本発明の顕微鏡用透明加温器具は、
紫外線透過性透明板と、透明板の一方の面に形成された
発熱用透明導電性薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜と接
触し向かい合う一対の発熱用電極と、前記紫外線透過性
透明板の前記発熱用透明導電性薄膜形成面に形成された
発熱用透明導電性薄膜非形成部と、前記発熱用透明導電
性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する透明薄膜とを
有する透明発熱用プレートを備えている。このため、加
温プレートを十分に薄くでき、中央に開口部を有しなく
ても、倒立顕微鏡のステージに固定した場合に倍率レン
ズの回転に障害となることがなく、かつ、透明薄膜を有
するため十分な強度も有する。さらに、蛍光顕微鏡に用
いても、紫外線の吸収もしくは反射が少ないため、観察
を容易かつ確実なものとできる。

【００８６】また、本発明の顕微鏡用透明加温器具は、
透明板と、透明板の一方の面に形成された発熱用透明導
電性薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜と接触し向かい合
う一対の発熱用電極と、前記発熱用電極のそれぞれに固
着された導電線とを有する透明発熱用プレートと、該透
明発熱プレートの周縁部を保持するハウジングとを備え
る透明加温器具であって、該ハウジングは、前記導電線
をハウジングの外部に導出するための開口部を有し、前
記透明加温器具は、該開口部より導出される導電線を任
意の形状に保持できる形状付け用部材を有している。こ
のため、透明加温器具のコードを顕微鏡の倍率レンズな
どにからまないような任意の形状とすることおよびその
状態の保持ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の一実施例の顕微鏡用透明加温
器具の斜視図である。

【図２】図２は、本発明の一実施例の顕微鏡用透明加温
器具の正面図である。

【図３】図３は、図２のＡ−Ａ線断面図である。

【図４】図４は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加
温器具の断面図である。

【図５】図５は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加
温器具の断面図である。

【図６】図６は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加
温器具の正面図である。

【図７】図７は、図６のＢ−Ｂ線断面図である。

【図８】図８は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加
温器具の断面図である。

【図９】図９は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透明加
温器具の断面図である。

【図１０】図１０は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透
明加温器具の断面図である。

【図１１】図１１は、本発明の透明加温装置に使用され
る温度制御器の一例のブロック図である。

【図１２】図１２は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透
明加温器具の平面図である。

【図１３】図１３は、図１２のＣ−Ｃ線断面図である。

【図１４】図１４は、図１２のＤ−Ｄ線断面図である。

【図１５】図１５は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透
明加温器具の断面図である。

【図１６】図１６は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透
明加温器具の平面図である。

【図１７】図１７は、本発明の他の実施例の顕微鏡用透
明加温器具の平面図である。

【図１８】図１８は、図１７のＥ−Ｅ線断面図である。

【図１９】図１９は、本発明の高温用透明加温器具の平
面図である。

【図２０】図２０は、図１９のＦ−Ｆ線断面図である。

【図２１】図２１は、本発明のたの実施例の高温用透明
加温器具の断面図である。

【符号の説明】

１顕微鏡用透明加温器具２透明発熱用プレート３環状ハウジング５透明板７発熱用透明導電性薄膜８透明薄膜１０ａ，１０ｂ発熱用電極

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透明板と、透明板の一方の面に形成され
た発熱用透明導電性薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜と
接触し向かい合う一対の発熱用電極と、前記発熱用透明
導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する透明薄膜
とを有する透明発熱用プレートを備えることを特徴とす
る顕微鏡用透明加温器具。
【請求項２】前記透明板は、該透明板の他方の面に形
成された非発熱用透明導電性薄膜と、該非発熱用透明導
電性薄膜と接触するアース線と、前記非発熱用透明導電
性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する第二の透明薄
膜を有している請求項１に記載の顕微鏡用透明加温器
具。
【請求項３】前記非発熱用透明導電性薄膜は、前記透
明板の他方の面のほぼ全体を被覆するものである請求項
１または２に記載の顕微鏡用透明加温器具。
【請求項４】紫外線透過性透明板と、透明板の一方の
面に形成された発熱用透明導電性薄膜と、該発熱用透明
導電性薄膜と接触し向かい合う一対の発熱用電極と、前
記紫外線透過性透明板の前記発熱用透明導電性薄膜形成
面に形成された発熱用透明導電性薄膜非形成部と、前記
発熱用透明導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有す
る透明薄膜とを有する透明発熱用プレートを備えること
を特徴とする顕微鏡用透明加温器具。
【請求項５】前記透明板は、該透明板の他方の面に形
成された非発熱用透明導電性薄膜と、該紫外線透過性透
明板の前記非発熱用透明導電性薄膜形成面であって、前
記発熱用透明導電性薄膜非形成部に対応する位置に形成
され非発熱用透明導電性薄膜非形成部と、該非発熱用透
明導電性薄膜と接触するアース線と、前記非発熱用透明
導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する第二の透
明薄膜を有している請求項４に記載の顕微鏡用透明加温
器具。
【請求項６】前記第二の透明薄膜は、前記非発熱用透
明導電性薄膜非形成部を実質的に被覆していない請求項
４または５に記載の顕微鏡用透明加温器具。
【請求項７】前記第二の透明薄膜は、実質的に紫外線
透過性を有するとともに、前記非発熱用透明導電性薄膜
非形成部を被覆している請求項４または５に記載の顕微
鏡用透明加温器具。
【請求項８】前記透明薄膜は、前記電極を被覆してい
る請求項１ないし７のいずれかに記載の顕微鏡用透明加
温器具。
【請求項９】前記電極が設けられた透明板の周縁部に
は、全周にわたり発熱用透明導電性薄膜が設けられてい
ない部分を有し、さらに、前記電極も前記透明板の周縁
より若干内側に設けられている請求項１ないし８のいず
れかに記載の顕微鏡用透明加温器具。
【請求項１０】前記透明発熱用プレートの厚さは、１
ｍｍ以下である請求項１ないし９のいずれかに記載の顕
微鏡用透明加温器具。
【請求項１１】透明板と、透明板の一方の面に形成さ
れた発熱用透明導電性薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜
と接触し向かい合う一対の発熱用電極と、前記発熱用電
極のそれぞれに固着された導電線とを有する透明発熱用
プレートと、該透明発熱プレートの周縁部を保持するハ
ウジングとを備える透明加温器具であって、該ハウジン
グは、前記導電線をハウジングの外部に導出するための
開口部を有し、前記透明加温器具は、該開口部より導出
される導電線を任意の形状に保持できる形状付け用部材
を有していることを特徴とする顕微鏡用透明加温器具。
【請求項１２】前記形状付け用部材は、前記開口部付
近より外方に延びる塑性変形可能な金属線もしくは金属
板である請求項１１に記載の顕微鏡用透明加温器具。
【請求項１３】前記形状付け用部材は、前記開口部よ
り導出された通電線に巻き付けられた塑性変形可能な金
属線もしくは金属板である請求項１１に記載の顕微鏡用
透明加温器具。
【請求項１４】透明板と、透明板の一方の面に形成さ
れた発熱用透明導電性薄膜と、該発熱用透明導電性薄膜
と接触し向かい合う一対の発熱用電極と、前記発熱用透
明導電性薄膜を被覆する実質的に絶縁性を有する透明薄
膜とを有する透明発熱用プレートを備えることを特徴と
する観察用透明加温器具。