JPH1028944A - 洗浄装置 - Google Patents

洗浄装置

Info

Publication number
JPH1028944A
JPH1028944A JP19056796A JP19056796A JPH1028944A JP H1028944 A JPH1028944 A JP H1028944A JP 19056796 A JP19056796 A JP 19056796A JP 19056796 A JP19056796 A JP 19056796A JP H1028944 A JPH1028944 A JP H1028944A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cleaning
washing
wash
cleaned
jigs
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP19056796A
Other languages
English (en)
Inventor
Shiyuuichi Sasako
秀一 小砂子
Yoshiki Togashi
義樹 富樫
Kenji Ogawa
謙二 小川
Hidefumi Tsuboi
秀文 坪井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Chemical Techno Plant Ltd
Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Hitachi Chemical Techno Plant Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd, Hitachi Chemical Techno Plant Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP19056796A priority Critical patent/JPH1028944A/ja
Publication of JPH1028944A publication Critical patent/JPH1028944A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 インライン方式の洗浄装置であり、且つ設置
スペースが従来よりも少なくてすむ洗浄装置を提供す
る。 【解決手段】 加工機から排出装置を介して排出される
被洗浄物を、受入装置により洗浄装置本体に投入し、洗
浄後に前記洗浄装置本体より受渡装置によって排出し後
工程へ送る洗浄装置において、前記洗浄装置本体が、駆
動モータにより垂直面を周回する搬送駆動部を有し、該
搬送駆動部に所定間隔毎に保持具及び落下防止装置から
なる洗浄治具を設け、前記搬送駆動部が通過するように
洗浄槽を設置したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、加工機から排出装
置を介して排出される被洗浄物、特に短冊状の被洗浄物
を洗浄する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】精密機器の生産性を上げるためには、不
良対策はなくてはならない。そして不良率の低減を図る
ために、洗浄装置はなくてはならない存在となってい
る。洗浄装置には、大きく分けると2種類あり、一方は
加工機から排出された被洗浄物を一旦洗浄用の容器又は
保管用の容器に移し、一定量になってからまとめて洗浄
を行うオフライン方法と、他方は図8に示すように被洗
浄物7をネットコンベア38に挾み水平方向に搬送しな
がらスプレー部を備えた少なくとも2槽以上の洗浄槽
(第1洗浄槽36、第2洗浄槽37)にて洗浄した後、
乾燥部25で被洗浄物7を乾燥させるインライン方法が
ある。
【0003】インライン方法について詳細に述べると、
図8に示すように、ネットコンベア38により搬送され
る被洗浄物7は、ポンプ16によって運転されるスプレ
ーを多数有した洗浄部39により洗浄した後、ブロワ2
0によって運転されるエアナイフ19を有した液切り部
26により洗浄液を吹き飛ばされる一連の工程を複数回
繰返し、その後加熱装置21を有したブロワ20によっ
て運転されるエアナイフ19により、乾燥が行われる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、オフライン方
法では、被洗浄物を一旦容器に保管する際に、被洗浄物
同志が密着あるいは重なることにより洗浄効率を悪化さ
せ、洗浄時間を長時間要する原因となっている。また被
洗浄物に付着した汚れは、時間経過と共に落ちにくくな
るものであるため、一定量たまるのを待つ間に刻々と洗
浄時間を伸ばす原因を作り続けるという問題があった。
更には、洗浄用の容器に被洗浄物を移し変えるために省
力化がはかれないとの問題もあった。
【0005】一方、インライン方法では、前述したよう
な被洗浄物の密着、保管時間による洗浄時間の長期化、
洗浄容器への移し変え等の問題がなくなるものの、図8
に示すように洗浄装置全体が広いスペースを占有するた
めに、製造工程の中に後から組み込む場合には、既存ラ
インの移設を伴う場合が多く莫大な費用が必要になって
くる。また、スプレーによって被洗浄物7が移動してし
まうために、移動を押さえるネットコンベア38等を使
用する機構が必要となるが、被洗浄物7を押さえる接点
部分に洗浄むらが発生しやすく、接点部分の形状によっ
ては被洗浄物7に傷が付く恐れもある。
【0006】本発明では、以上の点に鑑み被洗浄物を一
旦容器に保管する必要がなく、製造ラインに組み込むこ
とが可能で、洗浄むら及び傷をつけることなく、設置ス
ペースの小さな省スペース且つ省エネルギーである洗浄
装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、加工機から排
出装置を介して排出される被洗浄物を、受入装置により
洗浄装置本体に投入し、洗浄後に前記洗浄装置本体より
受渡装置によって排出し後工程へ送る洗浄装置におい
て、前記洗浄装置本体が、駆動モータにより垂直面を周
回する搬送駆動部を有し、該搬送駆動部に所定間隔毎に
保持具及び落下防止装置からなる洗浄治具を設け、前記
搬送駆動部が通過するように洗浄槽を設置したことを特
徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】本発明にて使用する洗浄治具は、
図7に示すように保持具30及び落下防止具29からな
り、被洗浄物7が水平方向にあるときは保持具30によ
り被洗浄物7を支え、被洗浄物7が垂直方向(図示して
いる状態)にあるときは、落下防止具29によって底面
を又保持具30によって左右方向への転倒を防止してい
る。
【0009】保持具30の形状は、図5及び図6に示す
ように形状略コ字状となっており、好適には、入口側
(a)よりも奥側(b)の方が幅広となっていることが
好ましい。これは、一旦保持具30内に設置された被洗
浄物7が飛び跳ね等により保持具30から外れるのを防
止するのに有効なためである。また、形状略コ字状の上
下部分(図5においてcに相当する部分)は、被洗浄物
7投入時に下側になる方は、被洗浄物7挿入時(図5の
状態)に奥に行くに従い傾斜させ、他方上側になる部分
は、水平方向となるように成形することが好ましい。こ
れは、被洗浄物7挿入時にあっては、確実に保持具の中
に収められるようにし、被洗浄物7取出し時にあって
は、取出ししやすいためである。
【0010】保持具の材質は、主にステンレスが用いら
れるが、他の金属にコーティングを施したものやめっき
を施したもの等、プラスチック成形品等をも使用するこ
とができる。更に、保持具を断面円形の金属棒を屈曲変
形してコ字状に成形すると被洗浄物7に傷が付きにくく
なる。
【0011】本発明に用いる洗浄槽には、洗浄液を満た
してある。ここで用いる洗浄液は、溶剤系、水系どちら
も用いることが可能であり、特に限定されるものではな
い。更に、本発明では、超音波振動子14を用いること
により短時間に洗浄可能な装置としている。尚、超音波
振動子14の周波数は、低周波程洗浄能力が高いもので
はあるが、被洗浄物7の違いにより適宜選べるものであ
る。
【0012】本発明の装置全体は、図2に示すようなも
のであり、従来水平方向に移動させていた被洗浄物7を
鉛直方向に移動させることにより省スペース化を図って
いる。洗浄装置自体は、インライン方法であるために被
洗浄物7を一旦容器に保管する必要もなく、洗浄時間を
長期化する原因を排除し省エネルギー化を図っている。
【0013】
【実施例】以下本発明の実施例について図面を用いて説
明する。尚本実施例では、被洗浄物として縦、横、高さ
が200mm、20mm、2mmのリードフレームを使
用している。図1は、加工機1から後工程6までの概略
処理工程を示すものであり、被洗浄物7の流れを説明す
ると、加工機1から排出された被洗浄物7は、排出装置
2により受入装置3に運ばれ、その後洗浄を行う洗浄装
置本体4を通過して受渡装置5により後工程6へと搬送
される。
【0014】洗浄装置本体4について図2、図3及び図
4を用いて詳細に説明すると、受入装置3から搬送され
る被洗浄物7は、投入ステージ10に投入され、投入位
置決具31によって洗浄治具11に収納できる範囲に位
置決めされる。位置決めされた被洗浄物7は、投入用駆
動装置32に接続された投入装置28により洗浄治具1
1に治められる。前記洗浄治具11は、断面円形のステ
ンレス丸棒を屈曲させて形成した保持具30及び落下防
止具29より製作されるものであり、図5及び図6に示
すように保持具30の被洗浄物7入口側端部を僅かに広
げた後幅a(5mm)まで絞り込み、その後幅b(10
mm)まで(a<b)広げている。入口側端部を広げた
のは、被洗浄物7の挿入を容易にするためであり、奥側
の幅を広げたのは前述したように、被洗浄物7の飛び跳
ね等により保持具30から外れるのを防止するためであ
る。尚cは、様々な被洗浄物7に対応できるように50
mmとしている。
【0015】洗浄治具11に治められた被洗浄物7は、
搬送駆動部8により上下方向に周回移動を行い、その過
程において洗浄槽12を通過することによって洗浄され
る。洗浄槽12には、洗浄液(溶剤系)13及び超音波
振動子14が設けられており、洗浄液及び超音波により
リードフレームに付着した油が分離される。
【0016】その後被洗浄物7は、洗浄槽12上に設置
されたノズル18により構成される液置換部27によ
り、洗浄槽12内の洗浄液13を蒸留方法を用いた再生
装置15により再生された再生液17を散布される。再
生液17の散布により、被洗浄物7に付着していた洗浄
液13は、再生液17に置換されることになる。これ
は、一旦被洗浄物7に付着していた油を洗浄液13にて
剥離させても、洗浄液中に溶け込んだ油を再付着させな
いための処置である。尚、実施例においては、ノズル1
8を使用しているが、他にスリットから再生液17を流
すような方法を取ることも可能である。
【0017】被洗浄物7は、液置換後に液置換部27上
部に設けられた液切り部26を通過する際に、エアナイ
フ19から噴出される常温風により再生液の液切りが行
われる。液切りを終了すると、乾燥部25により乾燥さ
せる。乾燥部25では、加熱装置21により温められた
温風が、液切り部26のエアナイフ19より風量を抑え
た状態にて噴出されており、温風は排気ダクト24の排
気によって他の部分に回り込むことがないようになって
いる。
【0018】乾燥部25にて乾燥の終了した被洗浄物7
は、取出装置22まで搬送され、取出用駆動装置33に
接続された洗浄治具11の保持具30に当たらないよう
に凹部を設けた取出装置22により受渡装置5に取り出
され、後工程6に受け渡される。尚、この時取り出した
被洗浄物7が受渡装置5上に確実に載置されるように、
受渡装置5をはさんで洗浄治具11の反対側に取出位置
決具35を設けてある。
【0019】本実施例では、タクトタイム1秒にて洗浄
した結果、被洗浄物7を確実に洗浄治具11に収納し、
搬送過程で被洗浄物7が落下することもなく、後工程6
に受け渡すことが可能であり、洗浄した被洗浄物7に傷
を付けることなく良好に洗浄することができる装置を約
1m2の小さなスペースに設置することができた。
【0020】
【発明の効果】本発明は、特定の接点を有することなく
被洗浄物を1枚毎、確実に収納できる洗浄治具を付設し
た、上下方向を周回する搬送駆動部を有することによ
り、洗浄用の容器に移すなどの作業を必要とせず、一定
量被洗浄物がたまるのを待つ必要もないために、洗浄時
間を短くすることが可能となり、設置スペースも非常に
狭い範囲でことたりるものとすることが可能となった。
従って、従来の洗浄装置に比較し、省スペース、省エネ
ルギー、省力化が可能な洗浄装置を提供することが可能
となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の洗浄装置を使用した場合の、加工機か
ら後工程までの処理工程ブロック図。
【図2】本発明の実施例を示す洗浄装置の用部断面図で
ある。
【図3】図2に示すP矢印方向から見た洗浄治具部分の
平面図である。
【図4】図2に示すQ矢印方向から見た洗浄治具部分の
平面図である。
【図5】本発明で使用する保持具の被洗浄物投入図であ
る。
【図6】本発明で使用する保持具の被洗浄物取出図であ
る。
【図7】本発明で使用する落下防止具の洗浄時状態説明
図である。
【図8】従来の洗浄装置を示す要部断面図である。
【符号の説明】
1.加工機 2.排出装置 3.受入装置 4.洗浄装
置本体 5.受渡装置 6.後工程 7.被洗浄物 8.搬送駆動部 9.駆動
モータ 10.投入ステージ 11.洗浄治具 12.
洗浄槽 13.洗浄液 14.超音波振動子 15.再
生装置 16.ポンプ 17.再生液 18.ノズル
19.エアナイフ 20.ブロワ 21.加熱装置 22.取出装置 2
3.覆い 24.排気ダクト 25.乾燥部 26.液
切り部 27.乾燥部 28.投入装置 29.落下防
止具 30.保持具 31.投入位置決具 32.投入
用駆動装置 33.取出用駆動装置 35.取出位置決
具 36.第1洗浄槽 37.第2洗浄槽 38.ネットコンベア 39.洗浄部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小川 謙二 茨城県下館市大字下江連1250番地 日立化 成テクノプラント株式会社内 (72)発明者 坪井 秀文 茨城県下館市大字下江連1250番地 日立化 成テクノプラント株式会社内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 加工機から排出装置を介して排出される
    被洗浄物を、受入装置により洗浄装置本体に投入し、洗
    浄後に前記洗浄装置本体より受渡装置によって排出し後
    工程へ送る洗浄装置において、前記洗浄装置本体が、駆
    動モータにより垂直面を周回する搬送駆動部を有し、該
    搬送駆動部に所定間隔毎に保持具及び落下防止装置から
    なる洗浄治具を設け、前記搬送駆動部が通過するように
    洗浄槽を設置したことを特徴とする洗浄装置。
  2. 【請求項2】 洗浄治具が、形状略コ字状である複数個
    の保持具と、一端又は両端に落下防止具を備えたことを
    特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。
  3. 【請求項3】 保持具が、入口側よりも奥側の方が幅広
    になっていることを特徴とする請求項1又は2に記載の
    洗浄装置。
  4. 【請求項4】 保持具が、断面円形の金属棒を屈曲変形
    して成形されたことを特徴とする請求項1、2又は3に
    記載の洗浄装置。
  5. 【請求項5】 洗浄槽に超音波振動子を設けたことを特
    徴とする請求項1、2、3又は4に記載の洗浄装置。
JP19056796A 1996-07-19 1996-07-19 洗浄装置 Pending JPH1028944A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19056796A JPH1028944A (ja) 1996-07-19 1996-07-19 洗浄装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19056796A JPH1028944A (ja) 1996-07-19 1996-07-19 洗浄装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1028944A true JPH1028944A (ja) 1998-02-03

Family

ID=16260218

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19056796A Pending JPH1028944A (ja) 1996-07-19 1996-07-19 洗浄装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1028944A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105499188A (zh) * 2016-01-06 2016-04-20 凤城市时代龙增压器制造有限公司 双层式涡轮增压器壳体零件全自动超声波一体化清洗机
JP2017035640A (ja) * 2015-08-06 2017-02-16 株式会社ジェイテクト 洗浄装置及び搬送装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017035640A (ja) * 2015-08-06 2017-02-16 株式会社ジェイテクト 洗浄装置及び搬送装置
CN105499188A (zh) * 2016-01-06 2016-04-20 凤城市时代龙增压器制造有限公司 双层式涡轮增压器壳体零件全自动超声波一体化清洗机

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5415890A (en) Modular apparatus and method for surface treatment of parts with liquid baths
JP3029107B1 (ja) フィルタ洗浄方法と洗浄装置
JPH1028944A (ja) 洗浄装置
JPH07249605A (ja) 基板洗浄装置
US4424082A (en) Method for cleaning parts in a tote box
US6514353B1 (en) Label removal system and method thereof
JP2921781B2 (ja) 洗浄装置及び洗浄方法
JPH0731941A (ja) 洗浄装置
US11872600B2 (en) Laned belt for cleaner
JP2767165B2 (ja) ウエーハ洗浄槽
US6125862A (en) Cleaning apparatus
JPH10128256A (ja) 超音波洗浄装置
US3246732A (en) Apparatus for spraying hollow bodies
JPS6188531A (ja) 集積回路装置の洗浄装置
CN211412989U (zh) 杯体清洗安装装置以及杯体清洗系统
KR100328258B1 (ko) 웨이퍼 세정장치
JPS5846170B2 (ja) 半導体ウェファ−の搬送方法および搬送装置
JP3093333B2 (ja) 洗浄方法及び装置
JP4541684B2 (ja) 電池缶洗浄装置
JP2000111254A (ja) ディスク用カセットの乾燥装置
JPH07176505A (ja) 基板保持具洗浄装置
JP2002126665A (ja) 洗浄治具、及びそれを用いた洗浄方法
JPH09234438A (ja) 洗浄装置及び洗浄システム
JPH06126258A (ja) 錆原因物質を含む多孔質品の洗浄方法及びその洗浄方法に用いる洗浄装置
JP3378155B2 (ja) 基板処理装置、基板処理システム、および基板処理方法