JPH10281649A

JPH10281649A - 連続式熱処理炉

Info

Publication number: JPH10281649A
Application number: JP9082857A
Authority: JP
Inventors: Isao Yano; 功谷野
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1997-04-01
Filing date: 1997-04-01
Publication date: 1998-10-23
Anticipated expiration: 2017-04-01
Also published as: JP3985289B2

Abstract

(57)【要約】【課題】熱処理中に加熱マッフルが延伸しても、加熱
マッフルの支持状態を損なうことがなく、かつ、加熱マ
ッフルが支持台の熱容量の影響を受けない連続式熱処理
炉を提供する。【解決手段】入口４ａと出口４ｂとを有する連続式熱
処理炉本体３と、前記熱処理炉本体３内に配置されてお
り、熱処理ゾーンを形成する加熱マッフル５ａと、加熱
マッフル５ａの近傍に設けられるとともにワークを加熱
するモジュールヒータブロック７ａと、加熱マッフル５
ａ内を通って炉本体３の入口４ａから出口４ｂまでワー
クを搬送する搬送手段９と、加熱マッフル５ａを支持す
る支持部材１１とからなる連続式熱処理炉１であって、
支持部材１１は、支持台１１ａと、加熱マッフル５ａを
支持するとともに支持台１１ａ上に設けられる回転体と
からなることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、連続式熱処理炉、
特にマッフルを有するものに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、セラミック成形体（以下、ワ
ークとする）の焼成には、マッフルを有する連続式熱処
理炉が用いられている。

【０００３】図６に示すように、この連続式熱処理炉２
０は、入口２２ａと出口２２ｂとを有する熱処理炉本体
２１内に、加熱マッフル２３ａと冷却マッフル２３ｂと
からなる熱処理マッフル２３が設けられている。加熱マ
ッフル２３ａは、入口２２ａに連通して設けられ、加熱
ゾーンを形成している。また、冷却マッフル２３ｂは、
加熱マッフル２３ａに連通して設けられるとともに、出
口２２ｂに連通し、冷却ゾーンを形成している。また、
加熱マッフル２３ａと冷却マッフル２３ｂとの境界には
マッフル固定部２４が設けられており、加熱マッフル２
３ａと冷却マッフル２３ｂとを熱処理炉本体２１に固定
している。また、加熱マッフル２３ａの下方には、加熱
マッフル２３ａを支持する支持レンガ２７が設けられて
いる。このほか、連続式熱処理炉２０は、断熱材中にヒ
ータを埋め込んだモジュールヒータブロック２５と、搬
送ベルト２６とを有している。

【０００４】従来の連続式熱処理炉２０において、加熱
マッフル２３ａおよび冷却マッフル２３ｂは、加熱マッ
フル２３ａと冷却マッフル２３ｂとの境界にあるマッフ
ル固定部２４に固定されており、モジュールヒータブロ
ック２５よって加熱されると、熱膨張のため、加熱マッ
フル２３ａは入口２２ａ方向に伸びる。このため、加熱
マッフル２３ａは、支持レンガ２７上を移動できるよう
に支持レンガ２７には固定されていない。

【０００５】また、ワークの熱処理工程について説明す
ると、ワークは、搬送ベルト２６上に載置されて熱処理
炉本体２１内に搬送され、加熱マッフル２３ａ内の加熱
ゾーン２３ｂにおいて脱脂と焼成とのそれぞれの熱処理
をされた後、冷却マッフル２３ｂ内の冷却ゾーンで冷却
され、焼結体として次工程に送られる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
連続式熱処理炉２０には以下のような問題点があった。１．加熱マッフル２３ａがモジュールヒータブロック２
５によって加熱され、入口２２ａ方向に延伸すると、支
持レンガ２７が摩擦力により加熱マッフル２３ａに引っ
張られ、倒れてしまったり、破損してしまうことがあ
る。

【０００７】２．加熱マッフル２３ａは、支持レンガ２
７の上面によって支持されているため、加熱マッフル２
３ａと支持レンガ２７との当接面積が大きく、熱容量の
大きい支持レンガ２７の影響を受けてしまう。例えば、
最高温度の均熱部分では、ワークが支持レンガ２７の上
を通過するとき、ワークの熱処理温度が２〜５℃落ち込
むことなどがある。

【０００８】本発明の目的は、熱処理中に加熱マッフル
が延伸しても、加熱マッフルの支持状態を損なうことが
なく、かつ、加熱マッフルが支持台の熱容量の影響を受
けない連続式熱処理炉を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は上記のような目
的に鑑みてなされたものである。本願第１の発明の連続
式熱処理炉は、入口と出口とを有する連続式熱処理炉本
体と、熱処理炉本体に配置されており、熱処理ゾーンを
形成する加熱マッフルと、前記加熱マッフルの近傍に設
けられるとともに被熱処理物を加熱する加熱手段と、前
記加熱マッフル内を通って前記熱処理炉本体の前記入口
から前記出口まで前記被熱処理物を搬送する搬送手段
と、前記加熱マッフルを支持する支持部材とからなる連
続式熱処理炉であって、前記支持部材は、支持台と、前
記加熱マッフルを支持するとともに前記支持台上に設け
られる回転体とからなることを特徴とする。

【００１０】このような構成にすることによって、熱処
理中に加熱マッフルが延伸しても、加熱マッフルの支持
状態を損なうことがなく、かつ、加熱マッフルが支持台
の熱容量の影響を受けない連続式熱処理炉とすることが
できる。

【００１１】すなわち、上記加熱マッフルが熱膨張のた
め上記熱処理本体の入口方向に延伸したとしても、加熱
マッフルを支持している上記回転体が回転することによ
り、上記支持台が受ける加熱マッフルのモーメント力が
逃がされ、支持台にかかる負担が大幅に軽減できる。こ
のため、加熱マッフルが延伸することによって、支持台
が倒れたり、破損したりすることを防止することができ
る。

【００１２】また、回転体で加熱マッフルを支持するた
め、加熱マッフルが支持台の熱容量の影響を受けること
を防止できる。

【００１３】また、本願第１の発明の連続式熱処理炉に
おいては、前記回転体は、前記加熱マッフルの長手方向
に直交する方向に設けられる円柱状部材であることが好
ましい。

【００１４】このような構成にすることによって、加熱
マッフルが延伸しても、その延伸方向に円柱状部材が回
転し、支持台に負担がかかることを防止することができ
る。

【００１５】また、本願第１の発明の連続式熱処理炉に
おいては、前記回転体は、球状部材であることが好まし
い。

【００１６】このような構成にすることによって、加熱
マッフルが延伸しても、その延伸方向に球状部材が回転
し、支持台に負担がかかることを防止することができ
る。

【００１７】また、本願第２の発明の連続式熱処理炉に
おいては、入口と出口とを有する連続式熱処理炉本体
と、熱処理炉本体内に配置されており、熱処理ゾーンを
形成する加熱マッフルと、前記加熱マッフルの近傍に設
けられるとともに被熱処理物を加熱する加熱手段と、前
記加熱マッフル内を通って前記熱処理炉本体の入口から
出口まで前記被熱処理物を搬送する搬送手段と、前記加
熱マッフルを支持する支持部材とからなる連続式熱処理
炉であって、前記支持部材は、前記加熱マッフルに固定
される脚部材であることを特徴とする。

【００１８】すなわち、上記加熱マッフルが熱膨張のた
め熱処理本体の入口方向に延伸するが、上記加熱マッフ
ルに脚部材を設けることによって、支持台を介さずに加
熱マッフルを支持することができる。

【００１９】また、脚部材が加熱マッフルを支持するた
め、加熱マッフルが支持台の熱容量の影響を受けること
を防止することができる。

【００２０】さらに、脚部材の高さを調節することによ
って、加熱マッフルの底部と断熱材との距離を調節する
ことができ、加熱マッフルの底部と断熱材との間に十分
なスペースを設けることができる。

【００２１】また、本願第２の発明の連続式熱処理炉に
おいては、前記脚部材の先端は、設置面と面接触する平
面部を有することが好ましい。

【００２２】このような構成にすることによって、脚部
材をより安定した状態で設置面に設置することができ
る。

【００２３】また、本願第２の発明の連続式熱処理炉に
おいては、前記脚部材は、台部材の上に設置されること
が好ましい。

【００２４】このような構成にすることによって、支持
台の高さを必要最低限にすることができ、支持台の損傷
を防ぐことができるとともに、加熱マッフルを設ける高
さを調節することができる。

【００２５】また、加熱マッフルから熱処理炉本体への
熱伝導を抑制することができる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。本願第１の発明の連続式熱処理炉において
は、加熱手段は、（Ｆｅ）Ａｌ−Ｃｒ系やＮｉ−Ｃｒ系
等の金属を材質とし、形状や設置方法などは特に限定し
ない。具体的には、断熱材に埋め込んで加熱マッフルの
周囲に設置するものが挙げられる。

【００２７】また、円柱状部材の本数や径の大きさなど
は、使用する加熱マッフルの重量により変化するので、
特に限定はしない。また、円柱状部材の材質は特に限定
しないが、具体的には、耐熱金属のほか、アルミナ、ム
ライト、炭化珪素等のセラミックなどが挙げられる。ま
た、円柱状部材の形状は、中実状でも中空状でもよい。
また、球状部材の材質は特に限定はしないが、具体的に
は、耐熱金属あるいはセラミックなどが挙げられる。

【００２８】また、球状部材の個数や径の大きさなど
は、使用する加熱マッフルの重量により変化するので、
特に限定はしない。また、球状部材の設置方法は、球状
部材が回転でき、かつ、一定箇所に保持できるものであ
れば特に限定はしない。

【００２９】また、支持台は、加熱マッフルを下方から
支持し、回転体の保持部を有していれば、形状や設置数
などのその他の要素は特に限定はしない。また、支持台
の材質としては、高強度であり、かつ、断熱性がよいと
いう理由から、耐熱レンガであることが好ましい。

【００３０】本願第２の発明の連続式熱処理炉において
は、加熱手段は、炭化珪素、ＭｏＳｉ₂等からなるセラ
ミックヒータや、（Ｆｅ）Ａｌ−Ｃｒ系、Ｎｉ−Ｃｒ系
等からなる金属ヒータなど特に限定するものではない
が、ヒータの温度をより高温にし、処理品を高速に加熱
することが必要な場合は、セラミックヒータを使用する
ことになる。なお、ヒータの形状や設置方法などは特に
限定しない。

【００３１】また、脚部材は、加熱マッフルと同じステ
ンレスやインコネルなどの耐熱金属を材質とし、加熱マ
ッフルに固定されている。なお、脚部材の加熱マッフル
への固定方法は特に限定しない。

【００３２】ここで、本発明の連続式熱処理炉における
熱処理炉本体は、加熱マッフルおよび冷却マッフルと、
加熱手段と、支持部材と、入口および出口を有してい
る。

【００３３】また、加熱マッフルは、熱処理ゾーンを形
成するトンネル形状のものであれば、その他の形状は特
に限定しない。また、加熱マッフルの材質は、ステンレ
スやインコネル等の耐熱金属が挙げられる。

【００３４】また、搬送手段は、熱処理炉本体の入口か
ら加熱マッフル内を介して熱処理炉本体の出口まで搬送
できるものであれば、特に限定しないが、具体的には、
耐熱金属からなる搬送ベルト等が挙げられる。

【００３５】次に、本発明を実施例に基づき、さらに具
体的に説明するが、本発明はかかる実施例のみに限定さ
れるものではない。

【００３６】（実施例１）本発明の実施例１について説
明する。図１は実施例１の連続式熱処理炉の概略断面
図、図２は実施例１の支持部材の概略斜視図、図３は支
持部材の変形例の概略斜視図を示す。

【００３７】図１に示すように、本実施例の連続式熱処
理炉１は、炉台２と、熱処理炉本体３と、加熱マッフル
５ａと冷却マッフル５ｂとからなる熱処理マッフル５
と、マッフル固定部６と、モジュールヒータブロック７
ａと、搬送手段９と、支持部材１１とから構成されてい
る。

【００３８】さらに詳しく説明すると、熱処理炉本体３
は、入口４ａと出口４ｂとを備えている。また、熱処理
炉本体３は、連続式熱処理炉１の熱処理マッフル５、マ
ッフル固定部６、モジュールヒータブロック７ａ、支持
部材１１を内部に収納し、箱形を組み合わせた形状であ
る。

【００３９】加熱マッフル５ａは、耐熱金属（ｓｕｓ３
１０ｓ、インコネル）からなり、底部が平面のトンネル
状である。また、加熱マッフル５ａは、一方の端部が熱
処理炉本体３の入口４ａに連通し、他方の端部が冷却マ
ッフル５ｂに連通するように配置され、支持部材１１に
よって支持されている。また、加熱マッフル５ａは、冷
却マッフル５ｂとの境界に設けられたマッフル固定部６
により、熱処理炉本体３に固定されている。

【００４０】冷却マッフル５ｂは、加熱マッフル５ａと
同じ耐熱金属（ｓｕｓ３１０ｓ、インコネル）からな
り、底部が平面のトンネル状である。また、冷却マッフ
ル５ｂは、一方の端部が加熱マッフル５ａに連通し、他
方の端部が熱処理炉本体３の出口４ｂと連通するように
配置され、加熱マッフル５ａとの境界に設けられたマッ
フル固定部６により、熱処理炉本体３に固定されてい
る。

【００４１】モジュールヒータブロック７ａは、加熱手
段であるヒータを断熱材の中に埋め込んだもので、加熱
マッフル５ａを取り囲むように設けられている。また、
加熱マッフル５ａ中でワークを加熱するにあたり、所望
の昇温曲線が得られるように、モジュールヒータブロッ
ク７ａは、複数の種類のものが配置され、それぞれが異
なる温度で熱処理を行うようになっている。なお、本実
施例では、モジュールヒータブロック７ａは６箇所に設
けられており、熱処理温度調節も６段階にわたってでき
るようになっている。ここで、モジュールヒータブロッ
ク７ａに使用されるヒータは、（Ｆｅ）Ａｌ−Ｃｒ系か
らなる金属ヒータである。また、モジュールヒータブロ
ック７ａに使用される断熱材は、セラミック繊維からな
るものである。

【００４２】搬送ベルト９は、耐熱金属（ｓｕｓ３１０
ｓ、インコネル）からなるメッシュタイプのものを使用
し、熱処理炉本体３の入口４ａから出口４ｂにわたって
ワークを搬送する。搬送ベルト９は、熱処理炉本体３の
内部に設けられたベルト駆動機構（図示しない）によっ
て動力を得ている。また、実施例１では、ベルト駆動機
構を炉台２の中に設けているが、炉台２の外に設けても
よい。

【００４３】支持部材１１は、加熱マッフル５ａを支持
する支持台１１ａと、支持台１１ａ上にあって加熱マッ
フル５ａと当接している回転体とからなり、加熱マッフ
ル５ａの下側に設けられている。具体的な設置位置とし
ては、モジュールヒータブロック７ａの両端とモジュー
ルヒータブロック７ａの種類が変化する箇所との７箇所
に設けられている。

【００４４】支持部材１１のうち回転体は、本実施例で
は、耐熱金属（ｓｕｓ３１０ｓ、インコネル）からなる
中実状の支持ローラ１１ｂである。図２に示すように、
本実施例では１箇所につき３本の支持ローラ１１ｂを加
熱マッフル５ａの延伸方向１３に直交する方向に設けて
いる。また、支持ローラ１１ｂの回転位置を固定するた
めに、両サイド（図２では一方のサイドを示している）
に４個のベアリング１１ｄ1とベアリング１１ｄ1を固定
するブラケット１１ｄ2とからなる支持ローラ固定台１
１ｄを設けている。図２のように、３本の支持ローラ１
１ｂを４個（両サイドで８個）のベアリング１１ｄ1で
支持しているので支持ローラ１１ｂの回転位置を固定で
きるとともに、スムーズな回転ができるようになってい
る。

【００４５】支持部材１１のうち支持台１１ａは、耐熱
レンガであり、加熱マッフル５ａを支持しているととも
に、加熱マッフル５ａの重みによって生じる支持ローラ
１１ｂの反りを防止している。また、支持台１１ａに
は、支持ローラ１１ｂに当接するための凹部１１ｅが設
けられている。なお、支持台１１ａの側面の下部を取り
囲むように金枠１１ｆが設けられており、この金枠１１
ｆを熱処理炉本体３に固定することによって、加熱マッ
フル５ａの延伸による位置ズレを起こさないようになっ
ている。

【００４６】また、図３に示すように、回転体の変形例
として支持ボール１１ｃを使用する。支持ボール１１ｃ
の材質は、Ａｌ₂Ｏ₃系セラミックである。支持ボール１
１ｃは、支持台１１ａ上に設けられた凹部１１ｅに２５
個載置され、加熱マッフル５ａの延伸に合わせてそれぞ
れが回転する。このとき、支持ボール１１ｃがスムーズ
に回転するように、支持ボール１１ｃと凹部１１ｅの周
縁との間に若干の遊び空間ができるようにする。

【００４７】（実施例２）本発明の実施例２について説
明する。図４は実施例２の連続式熱処理炉の概略断面
図、図５は実施例２の支持部材の概略斜視図を示す。

【００４８】図４に示すように、本実施例の連続式熱処
理炉１は、炉台２と、熱処理炉本体３と、加熱マッフル
５ａと冷却マッフル５ｂとからなる熱処理マッフル５
と、マッフル固定部６と、ヒータ７ｂと、断熱材８と、
搬送手段９と、支持部材１２とから構成されている。

【００４９】さらに詳しく説明すると、熱処理炉本体３
は、入口４ａと出口４ｂとを備えている。また、熱処理
炉本体３は、連続式熱処理炉１の熱処理マッフル５、マ
ッフル固定部６、ヒータ７ｂ、支持部材１２を内部に収
納し、箱形を組み合わせた形状である。

【００５０】加熱マッフル５ａは、耐熱金属（ｓｕｓ３
１０ｓ、インコネル）からなり、底部が平面のトンネル
状である。また、加熱マッフル５ａは、一方の端部が熱
処理炉本体３の入口４ａに連通し、他方の端部が冷却マ
ッフル５ｂに連通するように配置され、支持部材１２に
よって支持されている。また、加熱マッフル５ａは、冷
却マッフル５ｂとの境界に設けられたマッフル固定部６
により、熱処理炉本体３に固定されている。

【００５１】冷却マッフル５ｂは、加熱マッフル５ａと
同じ耐熱金属（ｓｕｓ３１０ｓ）からなり、底部が平面
のトンネル状である。また、冷却マッフル５ｂは、一方
の端部が加熱マッフル５ａに連通し、他方の端部が熱処
理炉本体３の出口４ｂと連通するように配置され、加熱
マッフル５ａとの境界に設けられたマッフル固定部６に
より、熱処理炉本体３に固定されている。

【００５２】ヒータ７ｂは、炭化珪素からなる棒状のも
のを使用し、加熱マッフル５ａの上下に加熱マッフル５
ａの長手方向に直交するように設けられている。また、
加熱マッフル５ａ中でワークを加熱するにあたり、所望
の昇温曲線が得られるように、ヒータ７ｂは、複数の区
画ごとに配置され、それぞれの区画のヒータ７ｂが異な
る温度で熱処理を行うようになっている。なお、本実施
例では、ヒータ７ｂは１ブロックにつき上下２本ずつ計
４本設けられ、区画はそれぞれ６箇所に、支持部材１２
または断熱材８を介して連続して配置されており、熱処
理温度調節も６段階にわたってできるようになってい
る。

【００５３】断熱材８は、セラミック繊維からなり、加
熱マッフル５ａとヒータ７ｂを取り囲むように設けられ
ている。また、加熱マッフル５ａの上部では、ヒータ７
ｂを各ブロックに区分けするように、断熱材８を区画壁
８ａとして配置している。

【００５４】搬送ベルト９は、耐熱金属（ｓｕｓ３１０
ｓ、インコネル）からなるメッシュタイプのものを使用
し、熱処理炉本体３の入口４ａから出口４ｂにわたって
ワークを搬送する。搬送ベルト９は、熱処理炉本体３の
内部に設けられたベルト駆動機構（図示しない）によっ
て動力を得ている。また、実施例２では、ベルト駆動機
構を炉台２の中に設けているが、炉台２の外に設けても
よい。

【００５５】図５に示すように、支持部材１２は、加熱
マッフル５ａを支持する支持台１２ａと、支持台１２ａ
上にあって加熱マッフル５ａに固定されている脚部材１
２ｂとからなり、加熱マッフル５ａの下側に設けられて
いる。具体的な設置位置としては、ヒータ７ａが設けら
れている区画の両端と、区画と区画との境界の箇所との
７箇所に設けられている。

【００５６】支持部材１２のうち支持台１２ａは、耐熱
レンガであり、加熱マッフル５ａを支持しているととも
に、脚部材１２ｂを支持している。また、支持台１２ａ
は、１箇所につき加熱マッフル５ａの両サイドに２本設
けられている。なお、支持台１２ａは、加熱マッフル５
ａの延伸方向に平行な面に沿って金枠１２ｃが設けられ
ており、加熱マッフル５ａの延伸によって、加熱マッフ
ル５ａの延伸方向に垂直な方向に位置ズレを起こさない
ようになっている。

【００５７】支持部材１２のうち脚部材１２ｂは、加熱
マッフル５ａと同じ耐熱金属（ｓｕｓ３１０ｓ）からな
り、加熱マッフル５ａに溶接することによって固定され
ている。また、脚部材１２ｂの形状は、Ｌ字型のフレー
ム１２ｂ1にマッフル支持板１２ｂ2を組み合わせたもの
で、支持台１２ａの熱容量の影響をできるだけ受けない
ようになっている。

【００５８】

【発明の効果】本発明の連続式熱処理炉を用いれば、熱
処理中に加熱マッフルが延伸しても、加熱マッフルの支
持状態を損なうことがなく、かつ、加熱マッフルが支持
台の熱容量の影響を受けないようにすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる実施例１の連続式熱処理炉の概
略断面図。

【図２】本発明にかかる実施例１の支持部材の概略斜視
図。

【図３】本発明にかかる支持部材の変形例の概略斜視
図。

【図４】本発明にかかる実施例２の連続式熱処理炉の概
略断面図。

【図５】本発明にかかる実施例２の支持部材の概略断面
図。

【図６】従来の連続式熱処理炉の概略断面図。

【符号の説明】

１連続式熱処理炉３熱処理炉本体５熱処理マッフル５ａ加熱マッフル５ｂ冷却マッフル７モジュールヒータブロック（加熱手
段）９搬送ベルト（搬送手段）１１、１２支持部材１１ａ、１２ａ支持台１１ｂ支持ローラ（円柱状部材）１１ｃ支持ボール（球状部材）１２ｂ脚部材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】入口と出口とを有する連続式熱処理炉本
体と、前記熱処理炉本体内に配置されており、熱処理ゾ
ーンを形成する加熱マッフルと、前記加熱マッフルの近
傍に設けられるとともに被熱処理物を加熱する加熱手段
と、前記加熱マッフル内を通って前記熱処理炉本体の前
記入口から前記出口まで前記被熱処理物を搬送する搬送
手段と、前記加熱マッフルを支持する支持部材とからな
る連続式熱処理炉であって、前記支持部材は、支持台と、前記加熱マッフルを支持す
るとともに前記支持台上に設けられる回転体とからなる
ことを特徴とする連続式熱処理炉。
【請求項２】前記回転体は、前記加熱マッフルの長手
方向に直交するように設けられた円柱状部材であること
を特徴とする請求項１に記載の連続式熱処理炉。
【請求項３】前記回転体は、球状部材であることを特
徴とする請求項１に記載の連続式熱処理炉。
【請求項４】入口と出口とを有する連続式熱処理炉本
体と、前記熱処理炉本体内に配置されており、熱処理ゾ
ーンを形成する加熱マッフルと、前記加熱マッフルの近
傍に設けられるとともに被熱処理物を加熱する加熱手段
と、前記加熱マッフル内を通って前記熱処理炉本体の前
記入口から前記出口まで前記被熱処理物を搬送する搬送
手段と、前記加熱マッフルを支持する支持部材とからな
る連続式熱処理炉であって、前記支持部材は、前記加熱マッフルに固定される脚部材
であることを特徴とする連続式熱処理炉。
【請求項５】前記脚部材の先端は、設置面と面接触す
る平面部を有することを特徴とする請求項４に記載の連
続式熱処理炉。
【請求項６】前記脚部材は、台部材の上に設置される
ことを特徴とする請求項４または請求項５に記載の連続
式熱処理炉。