JP2002318077A - ローラハース式連続焼成炉 - Google Patents
ローラハース式連続焼成炉Info
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- JP2002318077A JP2002318077A JP2001119746A JP2001119746A JP2002318077A JP 2002318077 A JP2002318077 A JP 2002318077A JP 2001119746 A JP2001119746 A JP 2001119746A JP 2001119746 A JP2001119746 A JP 2001119746A JP 2002318077 A JP2002318077 A JP 2002318077A
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- roller
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B35/00—Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms
- C03B35/14—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands
- C03B35/16—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands by roller conveyors
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 セッターを用いずに板状被加熱物を直接ハー
スローラー上に載置して搬送しても、板状被加熱物に歪
みが発生するのを抑えることができるローラハース式連
続焼成炉を提供する。 【解決手段】 少なくとも板状被加熱物Ａが熱歪みを生
じる温度以上になる領域のハースローラー２のピッチ間
隔ｄを、板状被加熱物Ａを直接ハースローラー２上に載
置しても歪みが生じないように狭くした。
スローラー上に載置して搬送しても、板状被加熱物に歪
みが発生するのを抑えることができるローラハース式連
続焼成炉を提供する。 【解決手段】 少なくとも板状被加熱物Ａが熱歪みを生
じる温度以上になる領域のハースローラー２のピッチ間
隔ｄを、板状被加熱物Ａを直接ハースローラー２上に載
置しても歪みが生じないように狭くした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板等の板
状被処理物に熱処理を行うローラハース式連続焼成炉に
関するものである。
状被処理物に熱処理を行うローラハース式連続焼成炉に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えばプラズマディスプレイパネル用基
板等のガラス基板に電極、誘電体、蛍光体等の膜形成を
行うためには、ローラハース式連続焼成炉が用いられて
いる。このローラハース式連続焼成炉では、例えばガラ
ス基板等の板状被加熱物は、トンネル型の炉内を、所定
温度まで加熱される加熱ゾーン、徐冷が行われる徐冷ゾ
ーン、さらに常温程度まで冷却する冷却ゾーンに順次搬
送されながら熱処理が行われている。図３は従来のロー
ラハース式連続焼成炉を示す概略断面図であり、このロ
ーラハース式連続焼成炉について説明する。
板等のガラス基板に電極、誘電体、蛍光体等の膜形成を
行うためには、ローラハース式連続焼成炉が用いられて
いる。このローラハース式連続焼成炉では、例えばガラ
ス基板等の板状被加熱物は、トンネル型の炉内を、所定
温度まで加熱される加熱ゾーン、徐冷が行われる徐冷ゾ
ーン、さらに常温程度まで冷却する冷却ゾーンに順次搬
送されながら熱処理が行われている。図３は従来のロー
ラハース式連続焼成炉を示す概略断面図であり、このロ
ーラハース式連続焼成炉について説明する。
【０００３】このローラハース式連続焼成炉には、図３
に示すように板状被加熱物Ａを通過させるトンネル型の
炉内２１の下方に板状被加熱物Ａを搬送するための複数
のハースローラー２２が設けられている。このハースロ
ーラー２２は、一般的に外径ｓが約５０〜６０ｍｍ程度
であり、ピッチ間隔ｄが約２００ｍｍ程度で取り付けら
れている。また、ハースローラー２２はモータ（図示し
ない）により回転され、この回転によってハースローラ
ー２２上に載置された板状被加熱物Ａが搬送される。こ
のとき、板状被加熱物Ａに歪みが発生しないよう安定し
た状態で搬送するために、板状被加熱物Ａは直接ハース
ローラー２２上に載置されるのではなく、耐熱ガラス等
のセッター２３上に載置されて、このセッター２３をハ
ースローラー２２上に載置することで搬送されている。
に示すように板状被加熱物Ａを通過させるトンネル型の
炉内２１の下方に板状被加熱物Ａを搬送するための複数
のハースローラー２２が設けられている。このハースロ
ーラー２２は、一般的に外径ｓが約５０〜６０ｍｍ程度
であり、ピッチ間隔ｄが約２００ｍｍ程度で取り付けら
れている。また、ハースローラー２２はモータ（図示し
ない）により回転され、この回転によってハースローラ
ー２２上に載置された板状被加熱物Ａが搬送される。こ
のとき、板状被加熱物Ａに歪みが発生しないよう安定し
た状態で搬送するために、板状被加熱物Ａは直接ハース
ローラー２２上に載置されるのではなく、耐熱ガラス等
のセッター２３上に載置されて、このセッター２３をハ
ースローラー２２上に載置することで搬送されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ように板状被加熱物Ａをセッター２３上に載置して搬送
する方法では、焼成時に板状被加熱物Ａおよびセッター
２３が同時に加熱されることになるので、消費電力が多
くなるという問題があった。このとき、セッター２３は
板状被加熱物Ａと熱容量は略同じで体積比では大きいの
で、セッター２３の加熱に消費される電力の割合が多く
なり、本来必要がない電力を消費することになってい
た。また、セッター２３は、平坦度を高めるために表面
研磨されているので非常に高価であった。
ように板状被加熱物Ａをセッター２３上に載置して搬送
する方法では、焼成時に板状被加熱物Ａおよびセッター
２３が同時に加熱されることになるので、消費電力が多
くなるという問題があった。このとき、セッター２３は
板状被加熱物Ａと熱容量は略同じで体積比では大きいの
で、セッター２３の加熱に消費される電力の割合が多く
なり、本来必要がない電力を消費することになってい
た。また、セッター２３は、平坦度を高めるために表面
研磨されているので非常に高価であった。
【０００５】なお、従来のローラハース式連続焼成炉
で、板状被加熱物Ａを直接ハースローラー２２上に載置
して搬送しようとすると、加熱ゾーンや徐冷ゾーンのう
ち、特に板状被加熱物が熱歪みを生じる温度以上になる
領域において、板状被加熱物Ａに大きな歪みが発生する
こととなり、要求される精度を満足することはできなか
った。本発明は上記の事情に鑑みて提案されたものであ
って、セッターを用いずに板状被加熱物を直接ハースロ
ーラー上に載置して搬送しても、板状被加熱物に歪みが
発生するのを抑えることができるローラハース式連続焼
成炉を提供することを目的とする。
で、板状被加熱物Ａを直接ハースローラー２２上に載置
して搬送しようとすると、加熱ゾーンや徐冷ゾーンのう
ち、特に板状被加熱物が熱歪みを生じる温度以上になる
領域において、板状被加熱物Ａに大きな歪みが発生する
こととなり、要求される精度を満足することはできなか
った。本発明は上記の事情に鑑みて提案されたものであ
って、セッターを用いずに板状被加熱物を直接ハースロ
ーラー上に載置して搬送しても、板状被加熱物に歪みが
発生するのを抑えることができるローラハース式連続焼
成炉を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために以下の手段を採用している。すなわち、板状
の板状被加熱物を所定の温度条件に従って加熱、徐冷を
含む一連の熱処理を行うトンネル型の炉内に、この板状
被加熱物を搬送するための複数のハースローラーが所定
のピッチ間隔で配列されたローラハース式連続焼成炉に
おいて、少なくとも上記板状被加熱物が熱歪みを生じる
温度以上になる領域の上記ピッチ間隔を、上記板状被加
熱物に歪みを生じることなく、この板状被加熱物をハー
スローラー上に直接載置して搬送可能な間隔としたもの
である（請求項１）。このようにハースローラーのピッ
チ間隔を狭くすることにより、板状被加熱物とハースロ
ーラーが接する面積、すなわち板状被加熱物を支持する
面積を多くすることができる。これによって、板状被加
熱物がハースローラー間の隙間により撓むことを防止す
ることができるので、セッターを用いずに板状被加熱物
を直接ハースローラー上に載置して搬送しても、板状被
加熱物に歪みが発生するのを抑えることができる。
するために以下の手段を採用している。すなわち、板状
の板状被加熱物を所定の温度条件に従って加熱、徐冷を
含む一連の熱処理を行うトンネル型の炉内に、この板状
被加熱物を搬送するための複数のハースローラーが所定
のピッチ間隔で配列されたローラハース式連続焼成炉に
おいて、少なくとも上記板状被加熱物が熱歪みを生じる
温度以上になる領域の上記ピッチ間隔を、上記板状被加
熱物に歪みを生じることなく、この板状被加熱物をハー
スローラー上に直接載置して搬送可能な間隔としたもの
である（請求項１）。このようにハースローラーのピッ
チ間隔を狭くすることにより、板状被加熱物とハースロ
ーラーが接する面積、すなわち板状被加熱物を支持する
面積を多くすることができる。これによって、板状被加
熱物がハースローラー間の隙間により撓むことを防止す
ることができるので、セッターを用いずに板状被加熱物
を直接ハースローラー上に載置して搬送しても、板状被
加熱物に歪みが発生するのを抑えることができる。
【０００７】また、上記ローラハース式連続焼成炉は、
少なくとも上記板状被加熱物が熱歪みを生じる温度以上
になる領域の上記ハースローラーの少なくとも表面が、
溶融シリカで形成されることが望ましい（請求項２）。
この場合、板状被加熱物と接触するハースローラーの表
面が溶融シリカであるので、板状被加熱物の表面にキズ
をつけ難くすることができる。また、少なくとも上記板
状被加熱物が熱歪みを生じる温度以上になる領域の上記
ハースローラーの表面粗さは、板状被加熱物の表面粗さ
以下であることが望ましい（請求項３）。この場合、板
状被加熱物と接触するハースローラーの表面が滑らかに
仕上げられているので、板状被加熱物の表面にキズがつ
くのをより効果的に防止することができる。
少なくとも上記板状被加熱物が熱歪みを生じる温度以上
になる領域の上記ハースローラーの少なくとも表面が、
溶融シリカで形成されることが望ましい（請求項２）。
この場合、板状被加熱物と接触するハースローラーの表
面が溶融シリカであるので、板状被加熱物の表面にキズ
をつけ難くすることができる。また、少なくとも上記板
状被加熱物が熱歪みを生じる温度以上になる領域の上記
ハースローラーの表面粗さは、板状被加熱物の表面粗さ
以下であることが望ましい（請求項３）。この場合、板
状被加熱物と接触するハースローラーの表面が滑らかに
仕上げられているので、板状被加熱物の表面にキズがつ
くのをより効果的に防止することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１は本発明に係るローラハース
式連続焼成炉の一実施の形態を示す概略断面図であり、
図２はこのローラハース式連続焼成炉の全体構成を示す
概略図である。以下、図に基づいてこのローラハース式
連続焼成炉について説明する。この連続焼成炉には、図
２に示すようにガラス基板等の板状被加熱物Ａを所定温
度まで加熱する加熱ゾーンＢと、所定温度まで加熱され
た板状被加熱物Ａを徐冷する徐冷ゾーンＣと、徐冷され
た板状被加熱物Ａをさらに常温程度まで冷却する冷却ゾ
ーンＤとが設けられている。板状被加熱物Ａは、トンネ
ル型の炉内１を加熱ゾーンＢ、徐冷ゾーンＣ、冷却ゾー
ンＤと順次移動されながら熱処理が行われる。
式連続焼成炉の一実施の形態を示す概略断面図であり、
図２はこのローラハース式連続焼成炉の全体構成を示す
概略図である。以下、図に基づいてこのローラハース式
連続焼成炉について説明する。この連続焼成炉には、図
２に示すようにガラス基板等の板状被加熱物Ａを所定温
度まで加熱する加熱ゾーンＢと、所定温度まで加熱され
た板状被加熱物Ａを徐冷する徐冷ゾーンＣと、徐冷され
た板状被加熱物Ａをさらに常温程度まで冷却する冷却ゾ
ーンＤとが設けられている。板状被加熱物Ａは、トンネ
ル型の炉内１を加熱ゾーンＢ、徐冷ゾーンＣ、冷却ゾー
ンＤと順次移動されながら熱処理が行われる。
【０００９】このローラハース式連続焼成炉の加熱ゾー
ンＢおよび徐冷ゾーンＣでは、図１に示すように板状被
加熱物Ａを通過させるトンネル型の炉内１は、上面、下
面および側面が断熱材で構成される断熱層５で覆われる
ように構成されている。なお、徐冷ゾーンＣでは、断熱
層５の厚みが板状被加熱物Ａの進行方向に進むにしたが
って薄くなるように構成されている。炉内１には、下方
にこの炉内１を加熱するためのボトムヒーター３、この
ボトムヒーター３の上方に板状被加熱物Ａを搬送するた
めの複数のハースローラー２、また上方にこの炉内１を
加熱するためのトップヒーター４が設けられている。
ンＢおよび徐冷ゾーンＣでは、図１に示すように板状被
加熱物Ａを通過させるトンネル型の炉内１は、上面、下
面および側面が断熱材で構成される断熱層５で覆われる
ように構成されている。なお、徐冷ゾーンＣでは、断熱
層５の厚みが板状被加熱物Ａの進行方向に進むにしたが
って薄くなるように構成されている。炉内１には、下方
にこの炉内１を加熱するためのボトムヒーター３、この
ボトムヒーター３の上方に板状被加熱物Ａを搬送するた
めの複数のハースローラー２、また上方にこの炉内１を
加熱するためのトップヒーター４が設けられている。
【００１０】ハースローラー２は、隣接するハースロー
ラー２間に生じる隙間が少なくなるようにピッチ間隔ｄ
を狭くして取り付けられている。ここでは、例えば外径
ｓが３０ｍｍであり、ピッチ間隔ｄを５０ｍｍとして取
り付けられている。このようにハースローラー２のピッ
チ間隔ｄを狭くすることにより、板状被加熱物Ａとハー
スローラー２が接する面積、すなわち板状被加熱物Ａを
支持する面積が多くなる。これによって、板状被加熱物
Ａを直接ハースローラー２上に載置して搬送する時に、
板状被加熱物Ａに歪みが発生するのを抑えることができ
る。なお、ハースローラー２のピッチ間隔ｄを狭くする
と、板状被加熱物Ａが接触するハースローラー２の数増
えることにより１つのハースローラー２にかかる荷重が
減少するので、ハースローラー２の外径ｓを小さくする
ことができる。よって、板状被加熱物Ａの特性（強度、
大きさ等）に応じて歪みの発生を極力抑えることができ
るハースローラー２の外径ｓおよびピッチ間隔ｄを決定
する。
ラー２間に生じる隙間が少なくなるようにピッチ間隔ｄ
を狭くして取り付けられている。ここでは、例えば外径
ｓが３０ｍｍであり、ピッチ間隔ｄを５０ｍｍとして取
り付けられている。このようにハースローラー２のピッ
チ間隔ｄを狭くすることにより、板状被加熱物Ａとハー
スローラー２が接する面積、すなわち板状被加熱物Ａを
支持する面積が多くなる。これによって、板状被加熱物
Ａを直接ハースローラー２上に載置して搬送する時に、
板状被加熱物Ａに歪みが発生するのを抑えることができ
る。なお、ハースローラー２のピッチ間隔ｄを狭くする
と、板状被加熱物Ａが接触するハースローラー２の数増
えることにより１つのハースローラー２にかかる荷重が
減少するので、ハースローラー２の外径ｓを小さくする
ことができる。よって、板状被加熱物Ａの特性（強度、
大きさ等）に応じて歪みの発生を極力抑えることができ
るハースローラー２の外径ｓおよびピッチ間隔ｄを決定
する。
【００１１】また、ハースローラー２は、溶融シリカで
形成されており、表面が表面粗さ（中心線平均粗さ）５
μｍ以下で仕上げられている。このように板状被加熱物
Ａと接触するハースローラー２が溶融シリカで、かつ表
面が滑らかに仕上げられているので、板状被加熱物の表
面にキズがつくのを効果的に防止することができる。ま
た、ハースローラー２はモータ（図示しない）により回
転され、この回転によってハースローラー２上に直接載
置された板状被加熱物Ａが搬送される。
形成されており、表面が表面粗さ（中心線平均粗さ）５
μｍ以下で仕上げられている。このように板状被加熱物
Ａと接触するハースローラー２が溶融シリカで、かつ表
面が滑らかに仕上げられているので、板状被加熱物の表
面にキズがつくのを効果的に防止することができる。ま
た、ハースローラー２はモータ（図示しない）により回
転され、この回転によってハースローラー２上に直接載
置された板状被加熱物Ａが搬送される。
【００１２】なお、本実施の形態では、ハースローラー
２の取り付け等についての上記のような構成を加熱ゾー
ンＢおよび徐冷ゾーンＣに採用しているが、これに限ら
れるものではない。例えば、炉内１の全てのゾーンのハ
ースローラー２についても上記同様に構成することも可
能であるが、少なくとも加熱ゾーンＢおよび徐冷ゾーン
Ｃのうち板状被加熱物が熱歪みを生じる温度以上になる
領域が上記同様に構成されていればよい。ここで、板状
被加熱物が熱歪みを生じる温度は、ガラス基板の場合、
歪点以上というのが理論上の目安となっているが、これ
に限られるものではなく、実用上はこれより１００〜２
００℃低い温度までマージンをとり、例えば４００℃前
後までとする場合もある。また、本実施の形態では、ハ
ースローラー２を溶融シリカで形成しているが、例えば
表面を溶融シリカでコーティングした金属管等のよう
に、少なくともハースローラー２の表面が溶融シリカで
形成されていればよい。
２の取り付け等についての上記のような構成を加熱ゾー
ンＢおよび徐冷ゾーンＣに採用しているが、これに限ら
れるものではない。例えば、炉内１の全てのゾーンのハ
ースローラー２についても上記同様に構成することも可
能であるが、少なくとも加熱ゾーンＢおよび徐冷ゾーン
Ｃのうち板状被加熱物が熱歪みを生じる温度以上になる
領域が上記同様に構成されていればよい。ここで、板状
被加熱物が熱歪みを生じる温度は、ガラス基板の場合、
歪点以上というのが理論上の目安となっているが、これ
に限られるものではなく、実用上はこれより１００〜２
００℃低い温度までマージンをとり、例えば４００℃前
後までとする場合もある。また、本実施の形態では、ハ
ースローラー２を溶融シリカで形成しているが、例えば
表面を溶融シリカでコーティングした金属管等のよう
に、少なくともハースローラー２の表面が溶融シリカで
形成されていればよい。
【００１３】
【発明の効果】以上のように、本発明に係るローラハー
ス式連続焼成炉では、板状被加熱物に歪みを生じること
なく、この板状被加熱物をハースローラー上に直接載置
して搬送可能なように、少なくとも板状被加熱物が熱歪
みを生じる温度以上になる領域のハースローラーのピッ
チ間隔を狭く構成しているので、板状被加熱物がハース
ローラー間の隙間により撓むことを防止することができ
る。これによって、セッターを用いずに板状被加熱物を
直接ハースローラー上に載置して搬送しても、板状被加
熱物に歪みが発生するのを抑えることができる。また、
焼成にセッターを必要としないので、セッターにかかる
コストを無くすことが可能である。また、焼成にセッタ
ーを必要としないので、板状被加熱物だけを加熱すれば
よく、消費電力が少なくなる。また、板状被加熱物より
寸法が大きいセッターを使用しないので、炉自体を小さ
くすることができる。
ス式連続焼成炉では、板状被加熱物に歪みを生じること
なく、この板状被加熱物をハースローラー上に直接載置
して搬送可能なように、少なくとも板状被加熱物が熱歪
みを生じる温度以上になる領域のハースローラーのピッ
チ間隔を狭く構成しているので、板状被加熱物がハース
ローラー間の隙間により撓むことを防止することができ
る。これによって、セッターを用いずに板状被加熱物を
直接ハースローラー上に載置して搬送しても、板状被加
熱物に歪みが発生するのを抑えることができる。また、
焼成にセッターを必要としないので、セッターにかかる
コストを無くすことが可能である。また、焼成にセッタ
ーを必要としないので、板状被加熱物だけを加熱すれば
よく、消費電力が少なくなる。また、板状被加熱物より
寸法が大きいセッターを使用しないので、炉自体を小さ
くすることができる。
【００１４】また、上記ハースローラーの少なくとも表
面が溶融シリカで形成される場合、板状被加熱物と接触
するハースローラーの表面が溶融シリカであるので、板
状被加熱物の表面にキズをつけ難くすることができる。
また、上記ハースローラーの表面粗さが板状被加熱物の
表面粗さ以下である場合、板状被加熱物と接触するハー
スローラーの表面が滑らかに仕上げられているので、板
状被加熱物の表面にキズがつくのをより効果的に防止す
ることができる。
面が溶融シリカで形成される場合、板状被加熱物と接触
するハースローラーの表面が溶融シリカであるので、板
状被加熱物の表面にキズをつけ難くすることができる。
また、上記ハースローラーの表面粗さが板状被加熱物の
表面粗さ以下である場合、板状被加熱物と接触するハー
スローラーの表面が滑らかに仕上げられているので、板
状被加熱物の表面にキズがつくのをより効果的に防止す
ることができる。
【図１】本発明に係るローラハース式連続焼成炉の一実
施の形態を示す概略断面図である。
施の形態を示す概略断面図である。
【図２】本発明に係るローラハース式連続焼成炉の一実
施の形態の全体構成を示す概略図である。
施の形態の全体構成を示す概略図である。
【図３】従来のローラハース式連続焼成炉を示す概略断
面図である。
面図である。
Ａ 板状被加熱物 Ｂ 加熱ゾーン １ 炉内 ２ ハースローラー ｓ 外径 ｄ ピッチ間隔
Claims (3)
- 【請求項１】板状被加熱物を所定の温度条件に従って加
熱、徐冷を含む一連の熱処理を行うトンネル型の炉内
に、この板状被加熱物を搬送するための複数のハースロ
ーラーが所定のピッチ間隔で配列されたローラハース式
連続焼成炉において、 少なくとも上記板状被加熱物が熱歪みを生じる温度以上
になる領域の上記ピッチ間隔を、上記板状被加熱物に歪
みを生じることなく、この板状被加熱物をハースローラ
ー上に直接載置して搬送可能な間隔としたことを特徴と
するローラハース式連続焼成炉。 - 【請求項２】少なくとも上記板状被加熱物が熱歪みを生
じる温度以上になる領域の上記ハースローラーの少なく
とも表面が、溶融シリカで形成された請求項１に記載の
ローラハース式連続焼成炉。 - 【請求項３】少なくとも上記板状被加熱物が熱歪みを生
じる温度以上になる領域の上記ハースローラーの表面粗
さは、板状被加熱物の表面粗さ以下である請求項１また
は請求項２に記載のローラハース式連続焼成炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001119746A JP2002318077A (ja) | 2001-04-18 | 2001-04-18 | ローラハース式連続焼成炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001119746A JP2002318077A (ja) | 2001-04-18 | 2001-04-18 | ローラハース式連続焼成炉 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006215502A Division JP2007040699A (ja) | 2006-08-08 | 2006-08-08 | ローラハース式連続焼成炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002318077A true JP2002318077A (ja) | 2002-10-31 |
Family
ID=18969913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001119746A Pending JP2002318077A (ja) | 2001-04-18 | 2001-04-18 | ローラハース式連続焼成炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002318077A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013100963A (ja) * | 2011-11-09 | 2013-05-23 | Ngk Insulators Ltd | ローラーハースキルンおよびこれを用いたワークの加熱処理方法 |
| TWI813847B (zh) * | 2019-01-22 | 2023-09-01 | 日商日本碍子股份有限公司 | 熱處理爐 |
-
2001
- 2001-04-18 JP JP2001119746A patent/JP2002318077A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013100963A (ja) * | 2011-11-09 | 2013-05-23 | Ngk Insulators Ltd | ローラーハースキルンおよびこれを用いたワークの加熱処理方法 |
| TWI813847B (zh) * | 2019-01-22 | 2023-09-01 | 日商日本碍子股份有限公司 | 熱處理爐 |
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Legal Events
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| A02 | Decision of refusal |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060808 |
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| A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20061222 |