JPH102787A - レーザ振動計用のビーム分岐装置 - Google Patents
レーザ振動計用のビーム分岐装置Info
- Publication number
- JPH102787A JPH102787A JP17411396A JP17411396A JPH102787A JP H102787 A JPH102787 A JP H102787A JP 17411396 A JP17411396 A JP 17411396A JP 17411396 A JP17411396 A JP 17411396A JP H102787 A JPH102787 A JP H102787A
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- Japan
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- beam splitter
- polarized light
- laser
- piezoelectric element
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 偏光ビームスプリッタで生じる反射光に基づ
く干渉信号を解消することにより、レーザ振動計の測定
精度を向上させる。 【解決手段】 ビーム分岐装置１は、レーザ光Ｌをｐ偏
光及びｓ偏光に分岐させる偏光ビームスプリッタ２２
と、偏光ビームスプリッタ２２を振動させるとともにｐ
偏光を透過させる中空部２を有する圧電素子３とを備
え、ｐ偏光をそのまま信号光Ｌｓとして出力し、ｓ偏光
を圧電素子３により位相を変調させて参照光Ｌｒとして
出力するものである。
く干渉信号を解消することにより、レーザ振動計の測定
精度を向上させる。 【解決手段】 ビーム分岐装置１は、レーザ光Ｌをｐ偏
光及びｓ偏光に分岐させる偏光ビームスプリッタ２２
と、偏光ビームスプリッタ２２を振動させるとともにｐ
偏光を透過させる中空部２を有する圧電素子３とを備
え、ｐ偏光をそのまま信号光Ｌｓとして出力し、ｓ偏光
を圧電素子３により位相を変調させて参照光Ｌｒとして
出力するものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光を用いて
測定対象の振動等を測定するレーザ振動計に用いられ、
レーザ光を信号光と参照光とに分岐させるためのビーム
分岐装置に関する。
測定対象の振動等を測定するレーザ振動計に用いられ、
レーザ光を信号光と参照光とに分岐させるためのビーム
分岐装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来のビーム分岐装置１９を示
す構成図である。図４乃至図６は、それぞれ偏光ビーム
スプリッタ、１／２波長板、１／４波長板の動作原理を
示す説明図である。以下、これらの図面に基づき説明す
る。
す構成図である。図４乃至図６は、それぞれ偏光ビーム
スプリッタ、１／２波長板、１／４波長板の動作原理を
示す説明図である。以下、これらの図面に基づき説明す
る。
【０００３】ビーム分岐装置１９は、１／２波長板２
０、偏光ビームスプリッタ２２、１／４波長板２４、ミ
ラー付き圧電素子２６等によって構成されている。ミラ
ー付き圧電素子２６は、正反射ミラー２６ａと圧電素子
２６ｂとによって構成されている。偏光ビームスプリッ
タ２２は、一対の直角プリズムの斜面同士を接着したキ
ューブ形状をしている。偏光ビームスプリッタ２２に入
射するレーザ光Ｌは、直角プリズムの貼合せ面２２０
で、偏光面が直交した二つの直線偏光（ｐ偏光及びｓ偏
光）に分岐され、90°の分岐角で隣接する二つの外表面
から射出される。ｐ偏光及びｓ偏光の光量の比率は、入
射するレーザ光Ｌの偏光方向に依存するので、１／２波
長板２０を回転させることにより変えることができる。
０、偏光ビームスプリッタ２２、１／４波長板２４、ミ
ラー付き圧電素子２６等によって構成されている。ミラ
ー付き圧電素子２６は、正反射ミラー２６ａと圧電素子
２６ｂとによって構成されている。偏光ビームスプリッ
タ２２は、一対の直角プリズムの斜面同士を接着したキ
ューブ形状をしている。偏光ビームスプリッタ２２に入
射するレーザ光Ｌは、直角プリズムの貼合せ面２２０
で、偏光面が直交した二つの直線偏光（ｐ偏光及びｓ偏
光）に分岐され、90°の分岐角で隣接する二つの外表面
から射出される。ｐ偏光及びｓ偏光の光量の比率は、入
射するレーザ光Ｌの偏光方向に依存するので、１／２波
長板２０を回転させることにより変えることができる。
【０００４】次に、ビーム分岐装置１９の動作を説明す
る。１／２波長板２０によって任意の偏光方向に回転し
たレーザ光Ｌは、偏光ビームスプリッタ２２でｐ偏光及
びｓ偏光に分岐される。ｐ偏光はそのまま信号光Ｌｓと
して用いられる。一方、ｓ偏光は、１／４波長板２４と
正反射ミラー２６ａとの組み合わせによって偏光方向が
90°回転して折り返され、再び偏光ビームスプリッタ２
２を透過することにより、参照光Ｌｒとして用いられ
る。また、参照光Ｌｒの位相は、ミラー付き圧電素子２
６の駆動によって変調されている。
る。１／２波長板２０によって任意の偏光方向に回転し
たレーザ光Ｌは、偏光ビームスプリッタ２２でｐ偏光及
びｓ偏光に分岐される。ｐ偏光はそのまま信号光Ｌｓと
して用いられる。一方、ｓ偏光は、１／４波長板２４と
正反射ミラー２６ａとの組み合わせによって偏光方向が
90°回転して折り返され、再び偏光ビームスプリッタ２
２を透過することにより、参照光Ｌｒとして用いられ
る。また、参照光Ｌｒの位相は、ミラー付き圧電素子２
６の駆動によって変調されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】偏光ビームスプリッタ
２２にレーザ光Ｌが入射するとき、又は偏光ビームスプ
リッタ２２からレーザ光Ｌが射出するとき、光学ガラス
と空気との境界面でレーザ光Ｌの一部が反射する。これ
を防ぐために、偏光ビームスプリッタ２２の入射面及び
射出面に減反射コーティングが施されている。それで
も、次の場合は偏光ビームスプリッタ２２の入射面又は
射出面で反射光が生ずる。．入射するレーザ光Ｌの光
量が大きい場合。．減反射コーティングが完全でない
場合。．入射面又は射出面に汚れがある場合。しか
し、これらの〜の全てを解決することは困難であ
る。
２２にレーザ光Ｌが入射するとき、又は偏光ビームスプ
リッタ２２からレーザ光Ｌが射出するとき、光学ガラス
と空気との境界面でレーザ光Ｌの一部が反射する。これ
を防ぐために、偏光ビームスプリッタ２２の入射面及び
射出面に減反射コーティングが施されている。それで
も、次の場合は偏光ビームスプリッタ２２の入射面又は
射出面で反射光が生ずる。．入射するレーザ光Ｌの光
量が大きい場合。．減反射コーティングが完全でない
場合。．入射面又は射出面に汚れがある場合。しか
し、これらの〜の全てを解決することは困難であ
る。
【０００６】一方、偏光ビームスプリッタ２２におい
て、レーザ光Ｌをｐ偏光とｓ偏光とに完全に分離するこ
とは困難である。そのため、ｐ偏光及びｓ偏光には、偏
光方向が直交する成分がわずかに含まれている。
て、レーザ光Ｌをｐ偏光とｓ偏光とに完全に分離するこ
とは困難である。そのため、ｐ偏光及びｓ偏光には、偏
光方向が直交する成分がわずかに含まれている。
【０００７】したがって、ｐ偏光射出面２２１からの反
射光Ｌｓ’は、参照光Ｌｒと同じ偏光方向の成分を含
み、貼合せ面２２０で反射して参照光Ｌｒと同軸で射出
される。参照光Ｌｒと反射光Ｌｓ’とは干渉するので、
ミラー付き圧電素子２６の駆動によって干渉信号が発生
する。そして、この干渉信号が光検出器に混入すること
により、測定誤差が発生するという問題があった。
射光Ｌｓ’は、参照光Ｌｒと同じ偏光方向の成分を含
み、貼合せ面２２０で反射して参照光Ｌｒと同軸で射出
される。参照光Ｌｒと反射光Ｌｓ’とは干渉するので、
ミラー付き圧電素子２６の駆動によって干渉信号が発生
する。そして、この干渉信号が光検出器に混入すること
により、測定誤差が発生するという問題があった。
【０００８】
【発明の目的】そこで、本発明の主な目的は、偏光ビー
ムスプリッタで生じる反射光に基づく干渉信号を解消す
ることにより、レーザ振動計の測定精度を向上できる、
ビーム分岐装置を提供することにある。
ムスプリッタで生じる反射光に基づく干渉信号を解消す
ることにより、レーザ振動計の測定精度を向上できる、
ビーム分岐装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るビーム分岐装置は、レーザ光をｐ偏光
及びｓ偏光に分岐させる偏光ビームスプリッタと、この
偏光ビームスプリッタを振動させるとともに前記ｐ偏光
を透過させる圧電素子とを備え、前記ｐ偏光をそのまま
信号光として出力し、前記ｓ偏光を前記圧電素子により
位相を変調させて参照光として出力するものである。
に、本発明に係るビーム分岐装置は、レーザ光をｐ偏光
及びｓ偏光に分岐させる偏光ビームスプリッタと、この
偏光ビームスプリッタを振動させるとともに前記ｐ偏光
を透過させる圧電素子とを備え、前記ｐ偏光をそのまま
信号光として出力し、前記ｓ偏光を前記圧電素子により
位相を変調させて参照光として出力するものである。
【００１０】レーザ光は、偏光ビームスプリッタの貼合
せ面で、真っ直ぐに進むｐ偏光と入射方向に対して90°
の方向に進むｓ偏光とに分岐される。ｐ偏光は、そのま
ま圧電素子の中空部を透過して信号光として出力され
る。ｓ偏光は、圧電素子により位相を変調されて参照光
として出力される。また、偏光ビームスプリッタのｐ偏
光射出面での反射光は、偏光ビームスプリッタの貼合せ
面でｓ偏光と異なる方向に進む。
せ面で、真っ直ぐに進むｐ偏光と入射方向に対して90°
の方向に進むｓ偏光とに分岐される。ｐ偏光は、そのま
ま圧電素子の中空部を透過して信号光として出力され
る。ｓ偏光は、圧電素子により位相を変調されて参照光
として出力される。また、偏光ビームスプリッタのｐ偏
光射出面での反射光は、偏光ビームスプリッタの貼合せ
面でｓ偏光と異なる方向に進む。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明に係るビーム分岐
装置の一実施形態を示す一部を切り欠いた構成図であ
る。以下、この図面に基づき説明する。ただし、図３と
同一部分は同一符号を付すことにより重複説明を省略す
る。
装置の一実施形態を示す一部を切り欠いた構成図であ
る。以下、この図面に基づき説明する。ただし、図３と
同一部分は同一符号を付すことにより重複説明を省略す
る。
【００１２】ビーム分岐装置１は、レーザ光Ｌをｐ偏光
及びｓ偏光に分岐させる偏光ビームスプリッタ２２と、
偏光ビームスプリッタ２２を振動させるとともにｐ偏光
を透過させる中空部２を有する圧電素子３とを備え、ｐ
偏光をそのまま信号光Ｌｓとして出力し、ｓ偏光を圧電
素子３により位相を変調させて参照光Ｌｒとして出力す
るものである。また、レーザ光Ｌの入射側には、１／２
波長板２０が設けられ、信号光Ｌｓの射出側には１／２
波長板４が設けられている。
及びｓ偏光に分岐させる偏光ビームスプリッタ２２と、
偏光ビームスプリッタ２２を振動させるとともにｐ偏光
を透過させる中空部２を有する圧電素子３とを備え、ｐ
偏光をそのまま信号光Ｌｓとして出力し、ｓ偏光を圧電
素子３により位相を変調させて参照光Ｌｒとして出力す
るものである。また、レーザ光Ｌの入射側には、１／２
波長板２０が設けられ、信号光Ｌｓの射出側には１／２
波長板４が設けられている。
【００１３】圧電素子３は、光軸方向に沿った中空部２
を有し、全体としてドーナツ型形状となっている。圧電
素子３の材質は例えばチタン酸バリウム等のセラミック
スであり、圧電素子３の形状は切削加工等により容易に
得ることができる。
を有し、全体としてドーナツ型形状となっている。圧電
素子３の材質は例えばチタン酸バリウム等のセラミック
スであり、圧電素子３の形状は切削加工等により容易に
得ることができる。
【００１４】次に、ビーム分岐装置１の動作を説明す
る。１／２波長板２０によって任意の偏光方向に回転し
たレーザ光Ｌは、偏光ビームスプリッタ２２でｐ偏光及
びｓ偏光に分岐される。ｐ偏光は、中空部２を透過し
て、１／２波長板４でｓ偏光と偏光方向が一致し、信号
光Ｌｓとして用いられる。ｓ偏光は、圧電素子３の駆動
によって位相が変調され、参照光Ｌｒとして用いられ
る。また、ｐ偏光射出面２２１での反射光Ｌｓ’は、貼
合せ面２２０で参照光Ｌｒと異なる方向に進行するの
で、参照光Ｌｒと混合することがない。したがって、参
照光Ｌｒと反射光Ｌｓ’との干渉による測定誤差は発生
しない。
る。１／２波長板２０によって任意の偏光方向に回転し
たレーザ光Ｌは、偏光ビームスプリッタ２２でｐ偏光及
びｓ偏光に分岐される。ｐ偏光は、中空部２を透過し
て、１／２波長板４でｓ偏光と偏光方向が一致し、信号
光Ｌｓとして用いられる。ｓ偏光は、圧電素子３の駆動
によって位相が変調され、参照光Ｌｒとして用いられ
る。また、ｐ偏光射出面２２１での反射光Ｌｓ’は、貼
合せ面２２０で参照光Ｌｒと異なる方向に進行するの
で、参照光Ｌｒと混合することがない。したがって、参
照光Ｌｒと反射光Ｌｓ’との干渉による測定誤差は発生
しない。
【００１５】図２は、ビーム分岐装置１を用いたレーザ
振動計の一例を示す構成図である。以下、この図面に基
づき説明する。ただし、図１と同一部分は同一符号を付
すことにより重複説明を省略する。
振動計の一例を示す構成図である。以下、この図面に基
づき説明する。ただし、図１と同一部分は同一符号を付
すことにより重複説明を省略する。
【００１６】レーザ振動計１０は、光屈折率材料として
のＢＳＯ結晶１２と、レーザ光Ｌを出力するレーザ光源
１４と、レーザ光源１４から出力されたレーザ光Ｌを参
照光Ｌｒ及び信号光Ｌｓに分岐するビーム分岐装置１
と、参照光ＬｒをＢＳＯ結晶１２へ照射する参照光発生
部１６と、信号光Ｌｓを測定対象としての振動子Ｍに照
射するとともにその反射光をＢＳＯ結晶１２へ照射する
信号光発生部１７と、ＢＳＯ結晶１２を透過した信号光
Ｌｓを受光して振動子Ｍの振動情報を得る信号処理部１
８とを備えている。
のＢＳＯ結晶１２と、レーザ光Ｌを出力するレーザ光源
１４と、レーザ光源１４から出力されたレーザ光Ｌを参
照光Ｌｒ及び信号光Ｌｓに分岐するビーム分岐装置１
と、参照光ＬｒをＢＳＯ結晶１２へ照射する参照光発生
部１６と、信号光Ｌｓを測定対象としての振動子Ｍに照
射するとともにその反射光をＢＳＯ結晶１２へ照射する
信号光発生部１７と、ＢＳＯ結晶１２を透過した信号光
Ｌｓを受光して振動子Ｍの振動情報を得る信号処理部１
８とを備えている。
【００１７】ＢＳＯ結晶１２は、化学式Ｂｉ12ＳｉＯ20
で表される立方晶系の光屈折率材料であり、直流電圧電
源１２１により例えば５kV/cm 程度となる高電圧が印加
されている。レーザ光源１４は、Ａｒイオンレーザや、
Ｎｄ：ＹＡＧレーザの第二高調波等、グリーン波長のレ
ーザ光を発振するものである。レーザ光Ｌは、図示しな
いコリメータレンズによって平行光となっている。
で表される立方晶系の光屈折率材料であり、直流電圧電
源１２１により例えば５kV/cm 程度となる高電圧が印加
されている。レーザ光源１４は、Ａｒイオンレーザや、
Ｎｄ：ＹＡＧレーザの第二高調波等、グリーン波長のレ
ーザ光を発振するものである。レーザ光Ｌは、図示しな
いコリメータレンズによって平行光となっている。
【００１８】参照光発生部１６は、円筒面レンズ１６
５、ミラー１６６，１６７等によって構成されている。
信号光発生部１７は、ミラー１７１，１７２、偏光フィ
ルタ１７３、レンズ１７４，１７５、透明窓１７６等に
よって構成されている。信号処理部１８は、レンズ１８
１、光検出器１８２、オシロスコープ１８３等によって
構成されている。
５、ミラー１６６，１６７等によって構成されている。
信号光発生部１７は、ミラー１７１，１７２、偏光フィ
ルタ１７３、レンズ１７４，１７５、透明窓１７６等に
よって構成されている。信号処理部１８は、レンズ１８
１、光検出器１８２、オシロスコープ１８３等によって
構成されている。
【００１９】次に、レーザ振動計１０の動作を説明す
る。レーザ光源１４より発射されたレーザ光Ｌは、ビー
ム分岐装置１を経て、偏光方向の等しい参照光Ｌｒ及び
信号光Ｌｓに分岐される。信号光発生部１７において、
信号光Ｌｓはミラー１７１，１７２、偏光フィルタ１７
３、レンズ１７４を経て振動子Ｍの表面Ｍｓに焦点Ｆを
結び、その反射光はレンズ１７４、偏光フィルタ１７
３、透明窓１７６、レンズ１７５を経てＢＳＯ結晶１２
内に焦点を結ぶ。一方、参照光発生部１６において、参
照光Ｌｒは円筒面レンズ１６５によって図面に対して平
行な方向のみ拡大され、ミラー１６６，１６７を経てＢ
ＳＯ結晶１２の全幅にほぼ一定強度で照射される。レン
ズ１７４，…、ミラー１６７，…等は、信号光Ｌｓと参
照光ＬｒとがＢＳＯ結晶１２内で重なるように、予め調
整されている。そして、ＢＳＯ結晶１２を透過した信号
光Ｌｓが、レンズ１８１を経て光検出器１８２で受光さ
れる。したがって、信号光Ｌｓと参照光ＬｒとがＢＳＯ
結晶１２内で干渉することにより、信号光Ｌｓに含まれ
る振動情報は光の明暗として信号処理部１８で検出され
る。このときの検出精度は、参照光Ｌｒと反射光Ｌｓ’
（図１）との干渉による誤差が含まれないので、極めて
高い。また、振動子Ｍの表面Ｍｓにおける焦点Ｆの位置
合わせは、レンズ１７４のみを移動させればよいので、
非常に簡単である。
る。レーザ光源１４より発射されたレーザ光Ｌは、ビー
ム分岐装置１を経て、偏光方向の等しい参照光Ｌｒ及び
信号光Ｌｓに分岐される。信号光発生部１７において、
信号光Ｌｓはミラー１７１，１７２、偏光フィルタ１７
３、レンズ１７４を経て振動子Ｍの表面Ｍｓに焦点Ｆを
結び、その反射光はレンズ１７４、偏光フィルタ１７
３、透明窓１７６、レンズ１７５を経てＢＳＯ結晶１２
内に焦点を結ぶ。一方、参照光発生部１６において、参
照光Ｌｒは円筒面レンズ１６５によって図面に対して平
行な方向のみ拡大され、ミラー１６６，１６７を経てＢ
ＳＯ結晶１２の全幅にほぼ一定強度で照射される。レン
ズ１７４，…、ミラー１６７，…等は、信号光Ｌｓと参
照光ＬｒとがＢＳＯ結晶１２内で重なるように、予め調
整されている。そして、ＢＳＯ結晶１２を透過した信号
光Ｌｓが、レンズ１８１を経て光検出器１８２で受光さ
れる。したがって、信号光Ｌｓと参照光ＬｒとがＢＳＯ
結晶１２内で干渉することにより、信号光Ｌｓに含まれ
る振動情報は光の明暗として信号処理部１８で検出され
る。このときの検出精度は、参照光Ｌｒと反射光Ｌｓ’
（図１）との干渉による誤差が含まれないので、極めて
高い。また、振動子Ｍの表面Ｍｓにおける焦点Ｆの位置
合わせは、レンズ１７４のみを移動させればよいので、
非常に簡単である。
【００２０】
【発明の効果】本発明に係るビーム分岐装置によれば、
レーザ光をｐ偏光及びｓ偏光に分岐させる偏光ビームス
プリッタと、この偏光ビームスプリッタを振動させると
ともにｐ偏光を透過させる圧電素子とを備えたことによ
り、次の効果を奏する。
レーザ光をｐ偏光及びｓ偏光に分岐させる偏光ビームス
プリッタと、この偏光ビームスプリッタを振動させると
ともにｐ偏光を透過させる圧電素子とを備えたことによ
り、次の効果を奏する。
【００２１】．偏光ビームスプリッタのｐ偏光射出面
で生じる反射光が参照光と異なる方向に進行するので、
この反射光と参照光との干渉による測定誤差を解消でき
る。したがって、本発明に係るビーム分岐装置を用いる
ことにより、レーザ振動計の検出精度を向上できる。
で生じる反射光が参照光と異なる方向に進行するので、
この反射光と参照光との干渉による測定誤差を解消でき
る。したがって、本発明に係るビーム分岐装置を用いる
ことにより、レーザ振動計の検出精度を向上できる。
【００２２】．偏光ビームスプリッタを圧電素子で振
動させることで参照光を変調させることにより、参照光
の反射回数を一回にできる。そのため、レーザ光の反射
回数を減少できるので、光学素子でのレーザ光の損失を
低減できる。
動させることで参照光を変調させることにより、参照光
の反射回数を一回にできる。そのため、レーザ光の反射
回数を減少できるので、光学素子でのレーザ光の損失を
低減できる。
【００２３】．偏光ビームスプリッタ及びミラー付き
圧電素子の代わりに偏光ビームスプリッタに固設された
単なる圧電素子を用いることにより、構成を簡略化でき
るので、小型化及び低価格化を達成できる。
圧電素子の代わりに偏光ビームスプリッタに固設された
単なる圧電素子を用いることにより、構成を簡略化でき
るので、小型化及び低価格化を達成できる。
【図１】本発明に係るビーム分岐装置の一実施形態を示
す一部を切り欠いた構成図である。
す一部を切り欠いた構成図である。
【図２】図１のビーム分岐装置を用いたレーザ振動計の
一例を示す構成図である。
一例を示す構成図である。
【図３】従来のビーム分岐装置を示す構成図である。
【図４】偏光ビームスプリッタの動作原理を示す説明図
である。
である。
【図５】１／２波長板の動作原理を示す説明図である。
【図６】１／４波長板の動作原理を示す説明図である。
１ ビーム分岐装置 ２ 圧電素子の中空部 ３ 圧電素子 ４，２０ １／２波長板 １０ レーザ振動計 ２２ 偏光ビームスプリッタ Ｌ レーザ光 Ｌｒ 参照光 Ｌｓ 信号光
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ光を用いて測定対象の振動等を測
定するレーザ振動計に用いられ、 レーザ光をｐ偏光及びｓ偏光に分岐させる偏光ビームス
プリッタと、この偏光ビームスプリッタを振動させると
ともに前記ｐ偏光を透過させる圧電素子とを備え、 前記ｐ偏光をそのまま信号光として出力し、前記ｓ偏光
を前記圧電素子により位相を変調させて参照光として出
力する、レーザ振動計用のビーム分岐装置。 - 【請求項２】 前記信号光の偏光方向を前記参照光に一
致させる１／２波長板を備えたことを特徴とする、請求
項１記載のレーザ振動計用のビーム分岐装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17411396A JPH102787A (ja) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | レーザ振動計用のビーム分岐装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17411396A JPH102787A (ja) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | レーザ振動計用のビーム分岐装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH102787A true JPH102787A (ja) | 1998-01-06 |
Family
ID=15972875
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17411396A Withdrawn JPH102787A (ja) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | レーザ振動計用のビーム分岐装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH102787A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106840359A (zh) * | 2017-01-16 | 2017-06-13 | 北京航空航天大学 | 一种用于激光测振仪的双光束干涉校准装置 |
-
1996
- 1996-06-13 JP JP17411396A patent/JPH102787A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106840359A (zh) * | 2017-01-16 | 2017-06-13 | 北京航空航天大学 | 一种用于激光测振仪的双光束干涉校准装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030902 |