JPH1048038A - レーザ振動計 - Google Patents
レーザ振動計Info
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- JPH1048038A JPH1048038A JP21665296A JP21665296A JPH1048038A JP H1048038 A JPH1048038 A JP H1048038A JP 21665296 A JP21665296 A JP 21665296A JP 21665296 A JP21665296 A JP 21665296A JP H1048038 A JPH1048038 A JP H1048038A
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- light
- laser
- laser light
- signal
- irradiates
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数点を同時に測定できるレーザ振動計を提
供する。 【解決手段】 レーザ振動計１０は、ＢＳＯ結晶５２
と、レーザ光Ｌ1 を出力するレーザ光源５４と、レーザ
光Ｌ1 を参照光ＬｒとしてＢＳＯ結晶５２へ照射する参
照光発生部５６と、レーザ光Ｌ1 を振動子Ｍに照射する
とともにその反射光Ｌ2 からなる信号光ＬS1，ＬS2をＢ
ＳＯ結晶５２へ照射する信号光発生部１２と、ＢＳＯ結
晶５２を透過した信号光ＬS1，ＬS2を受光して振動子Ｍ
の振動情報を得る信号処理部１４とを備えている。信号
光発生部１２は、レーザ光Ｌ1 を二つに分岐させて振動
子Ｍに照射するビームスプリッタ１２１及びミラー５８
２を備えている。信号処理部１４は、信号光ＬS1，ＬS2
をそれぞれ別々に受光する光検出器１４１，１４２を備
えている。
供する。 【解決手段】 レーザ振動計１０は、ＢＳＯ結晶５２
と、レーザ光Ｌ1 を出力するレーザ光源５４と、レーザ
光Ｌ1 を参照光ＬｒとしてＢＳＯ結晶５２へ照射する参
照光発生部５６と、レーザ光Ｌ1 を振動子Ｍに照射する
とともにその反射光Ｌ2 からなる信号光ＬS1，ＬS2をＢ
ＳＯ結晶５２へ照射する信号光発生部１２と、ＢＳＯ結
晶５２を透過した信号光ＬS1，ＬS2を受光して振動子Ｍ
の振動情報を得る信号処理部１４とを備えている。信号
光発生部１２は、レーザ光Ｌ1 を二つに分岐させて振動
子Ｍに照射するビームスプリッタ１２１及びミラー５８
２を備えている。信号処理部１４は、信号光ＬS1，ＬS2
をそれぞれ別々に受光する光検出器１４１，１４２を備
えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光を用いて
測定対象の振動等を測定するレーザ振動計に関する。
測定対象の振動等を測定するレーザ振動計に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は、従来のレーザ振動計の一例を示
す構成図である。以下、この図面に基づき説明する。
す構成図である。以下、この図面に基づき説明する。
【０００３】従来のレーザ振動計５０は、ＢＳＯ結晶５
２と、レーザ光Ｌ1 を出力するレーザ光源５４と、レー
ザ光源５４から出力されたレーザ光Ｌ1 を参照光Ｌｒと
してＢＳＯ結晶５２へ照射する参照光発生部５６と、レ
ーザ光源５４から出力されたレーザ光Ｌ1 を測定対象と
しての振動子Ｍに照射するとともにその反射光Ｌ2 から
なる信号光ＬｓをＢＳＯ結晶５２へ照射する信号光発生
部５８と、ＢＳＯ結晶５２を透過した信号光Ｌｓを受光
して振動子Ｍの振動情報を得る信号処理部６０とを備え
ている。
２と、レーザ光Ｌ1 を出力するレーザ光源５４と、レー
ザ光源５４から出力されたレーザ光Ｌ1 を参照光Ｌｒと
してＢＳＯ結晶５２へ照射する参照光発生部５６と、レ
ーザ光源５４から出力されたレーザ光Ｌ1 を測定対象と
しての振動子Ｍに照射するとともにその反射光Ｌ2 から
なる信号光ＬｓをＢＳＯ結晶５２へ照射する信号光発生
部５８と、ＢＳＯ結晶５２を透過した信号光Ｌｓを受光
して振動子Ｍの振動情報を得る信号処理部６０とを備え
ている。
【０００４】参照光発生部５６は、ビームスプリッタ５
６１、円筒面レンズ５６２、ミラー５６３等によって構
成されている。信号光発生部５８は、ミラー５８１，５
８２、レンズ５８３，５８４等によって構成されてい
る。信号処理部６０は、レンズ６０１、光検出器６０
２、オシロスコープ６０３等によって構成されている。
また、振動子Ｍは図示しないパルス発生器よって駆動さ
れている。
６１、円筒面レンズ５６２、ミラー５６３等によって構
成されている。信号光発生部５８は、ミラー５８１，５
８２、レンズ５８３，５８４等によって構成されてい
る。信号処理部６０は、レンズ６０１、光検出器６０
２、オシロスコープ６０３等によって構成されている。
また、振動子Ｍは図示しないパルス発生器よって駆動さ
れている。
【０００５】レーザ光源５４より出力されたレーザ光Ｌ
1 は、ビームスプリッタ５６１を経て、二つの光束
ａ1 ，ａ2 に分岐される。信号光発生部５８において、
光束ａ1はミラー５８１，５８２を経て振動子Ｍの表面
Ｍｓで照射点Ｆを形成し、その反射光Ｌ2 はレンズ５８
３，５８４を経て信号光ＬｓとしてＢＳＯ結晶５２内に
焦点を結ぶ。一方、参照光発生部５６において、光束ａ
2 は、円筒面レンズ５６２によって図面に対して平行な
方向のみ拡大され、ミラー５６３を経て参照光Ｌｒとし
てＢＳＯ結晶５２の全幅にほぼ一定強度で照射される。
レンズ５８３等及びミラー５６３等は、信号光Ｌｓと参
照光ＬｒとがＢＳＯ結晶５２内で重なるように、予め調
整されている。そして、ＢＳＯ結晶５２を透過した信号
光Ｌｓは、レンズ６０１を経て光検出器６０２で受光さ
れる。したがって、信号光Ｌｓと参照光ＬｒとがＢＳＯ
結晶５２内で干渉することにより、信号光Ｌｓに含まれ
る振動情報が光の明暗として信号処理部６０で検出され
る。
1 は、ビームスプリッタ５６１を経て、二つの光束
ａ1 ，ａ2 に分岐される。信号光発生部５８において、
光束ａ1はミラー５８１，５８２を経て振動子Ｍの表面
Ｍｓで照射点Ｆを形成し、その反射光Ｌ2 はレンズ５８
３，５８４を経て信号光ＬｓとしてＢＳＯ結晶５２内に
焦点を結ぶ。一方、参照光発生部５６において、光束ａ
2 は、円筒面レンズ５６２によって図面に対して平行な
方向のみ拡大され、ミラー５６３を経て参照光Ｌｒとし
てＢＳＯ結晶５２の全幅にほぼ一定強度で照射される。
レンズ５８３等及びミラー５６３等は、信号光Ｌｓと参
照光ＬｒとがＢＳＯ結晶５２内で重なるように、予め調
整されている。そして、ＢＳＯ結晶５２を透過した信号
光Ｌｓは、レンズ６０１を経て光検出器６０２で受光さ
れる。したがって、信号光Ｌｓと参照光ＬｒとがＢＳＯ
結晶５２内で干渉することにより、信号光Ｌｓに含まれ
る振動情報が光の明暗として信号処理部６０で検出され
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
レーザ振動計５０では、測定できる箇所が照射点Ｆの一
つだけであり、複数点を同時に測定することができなか
った。
レーザ振動計５０では、測定できる箇所が照射点Ｆの一
つだけであり、複数点を同時に測定することができなか
った。
【０００７】
【発明の目的】そこで、本発明の目的は、複数点を同時
に測定できるレーザ振動計を提供することにある。
に測定できるレーザ振動計を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るレーザ振動計は、光屈折率材料と、レ
ーザ光を出力するレーザ光源と、このレーザ光源から出
力されたレーザ光を参照光として前記光屈折率材料へ照
射する参照光発生部と、前記レーザ光源から出力された
レーザ光を測定対象に照射するとともにその反射光から
なる信号光を前記光屈折率材料へ照射する信号光発生部
と、前記光屈折率材料を透過した前記信号光を受光して
前記測定対象の振動情報を得る信号処理部とを備えたレ
ーザ振動計を改良したものである。すなわち、前記信号
光発生部は、前記レーザ光を複数に分岐させて測定対象
に照射するレーザ光分岐手段を備えている。これに加
え、前記信号処理部は、複数の前記信号光をそれぞれ別
々に受光する受光手段を備えている。また、前記レーザ
光分岐手段は、前記レーザ光の一部を測定対象に照射す
るとともに当該レーザ光の残部を透過させるビームスプ
リッタと、このビームスプリッタを透過した前記レーザ
光を測定対象に照射するミラーとから構成されたものと
してもよい。
に、本発明に係るレーザ振動計は、光屈折率材料と、レ
ーザ光を出力するレーザ光源と、このレーザ光源から出
力されたレーザ光を参照光として前記光屈折率材料へ照
射する参照光発生部と、前記レーザ光源から出力された
レーザ光を測定対象に照射するとともにその反射光から
なる信号光を前記光屈折率材料へ照射する信号光発生部
と、前記光屈折率材料を透過した前記信号光を受光して
前記測定対象の振動情報を得る信号処理部とを備えたレ
ーザ振動計を改良したものである。すなわち、前記信号
光発生部は、前記レーザ光を複数に分岐させて測定対象
に照射するレーザ光分岐手段を備えている。これに加
え、前記信号処理部は、複数の前記信号光をそれぞれ別
々に受光する受光手段を備えている。また、前記レーザ
光分岐手段は、前記レーザ光の一部を測定対象に照射す
るとともに当該レーザ光の残部を透過させるビームスプ
リッタと、このビームスプリッタを透過した前記レーザ
光を測定対象に照射するミラーとから構成されたものと
してもよい。
【０００９】ここで、光屈折率材料（photo-refractive
material ）とは、光励起により生じた空間電荷により
内部に電界が生じ、電気光学効果を通して屈折率が変化
する材料をいい、例えばＢＳＯ（Ｂｉ12ＳｉＯ20）結
晶、ＢＴＯ（Ｂｉ12ＴｉＯ20）結晶、ＢＧＯ（Ｂｉ12Ｇ
ｅＯ20）結晶等がある。
material ）とは、光励起により生じた空間電荷により
内部に電界が生じ、電気光学効果を通して屈折率が変化
する材料をいい、例えばＢＳＯ（Ｂｉ12ＳｉＯ20）結
晶、ＢＴＯ（Ｂｉ12ＴｉＯ20）結晶、ＢＧＯ（Ｂｉ12Ｇ
ｅＯ20）結晶等がある。
【００１０】レーザ光源より出力されたレーザ光は、信
号光発生部及び参照光発生部に分かれて進む。信号光発
生部において、レーザ光はレーザ光分岐手段で複数に分
岐して測定対象に照射され、その反射光からなる複数の
信号光は光屈折率材料へ照射される。一方、参照光発生
部において、レーザ光は参照光として光屈折率材料へ照
射される。そして、光屈折率材料を透過した複数の信号
光は、受光手段で別々に受光される。これにより、参照
光と複数の信号光とが光屈折率材料内で干渉することに
より、複数の信号光に含まれる複数点での振動情報が、
光の明暗として信号処理部で同時に検出される。
号光発生部及び参照光発生部に分かれて進む。信号光発
生部において、レーザ光はレーザ光分岐手段で複数に分
岐して測定対象に照射され、その反射光からなる複数の
信号光は光屈折率材料へ照射される。一方、参照光発生
部において、レーザ光は参照光として光屈折率材料へ照
射される。そして、光屈折率材料を透過した複数の信号
光は、受光手段で別々に受光される。これにより、参照
光と複数の信号光とが光屈折率材料内で干渉することに
より、複数の信号光に含まれる複数点での振動情報が、
光の明暗として信号処理部で同時に検出される。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明に係るレーザ振動
計の第一実施形態を示す構成図である。以下、この図面
に基づき説明する。ただし、図６と同一部分は同一符号
を付すことにより重複説明を省略する。
計の第一実施形態を示す構成図である。以下、この図面
に基づき説明する。ただし、図６と同一部分は同一符号
を付すことにより重複説明を省略する。
【００１２】レーザ振動計１０は、ＢＳＯ結晶５２と、
レーザ光Ｌ1 を出力するレーザ光源５４と、レーザ光源
５４から出力されたレーザ光Ｌ1 を参照光ＬｒとしてＢ
ＳＯ結晶５２へ照射する参照光発生部５６と、レーザ光
源５４から出力されたレーザ光Ｌ1 を測定対象としての
振動子Ｍに照射するとともにその反射光Ｌ2 からなる信
号光ＬS1，ＬS2をＢＳＯ結晶５２へ照射する信号光発生
部１２と、ＢＳＯ結晶５２を透過した信号光ＬS1，ＬS2
を受光して振動子Ｍの振動情報を得る信号処理部１４と
を備えている。なお、図１では、拡散反射した信号光Ｌ
S1，ＬS2のうち、レンズ５８３，５８４の中心付近を通
過するものだけを模式的に示している。
レーザ光Ｌ1 を出力するレーザ光源５４と、レーザ光源
５４から出力されたレーザ光Ｌ1 を参照光ＬｒとしてＢ
ＳＯ結晶５２へ照射する参照光発生部５６と、レーザ光
源５４から出力されたレーザ光Ｌ1 を測定対象としての
振動子Ｍに照射するとともにその反射光Ｌ2 からなる信
号光ＬS1，ＬS2をＢＳＯ結晶５２へ照射する信号光発生
部１２と、ＢＳＯ結晶５２を透過した信号光ＬS1，ＬS2
を受光して振動子Ｍの振動情報を得る信号処理部１４と
を備えている。なお、図１では、拡散反射した信号光Ｌ
S1，ＬS2のうち、レンズ５８３，５８４の中心付近を通
過するものだけを模式的に示している。
【００１３】信号光発生部１２は、レーザ光Ｌ1 を二つ
に分岐させて振動子Ｍに照射するレーザ光分岐手段とし
ての、ビームスプリッタ１２１及びミラー５８２を備え
ている。ビームスプリッタ１２１は、レーザ光Ｌ1 の一
部を振動子Ｍに照射するとともに、レーザ光Ｌ1 の残部
を透過させる。ミラー５８２は、ビームスプリッタ１２
１を透過したレーザ光Ｌ1 を振動子Ｍに照射する。ビー
ムスプリッタ１２１及びミラー５８２の大きさは、拡散
反射してレンズ５８３に戻ってくる信号光ＬS1，ＬS2を
なるべく妨げないように、レンズ５８３に比べて十分に
小さくすることが好ましい。例えば、レンズ５８３の大
きさが50mmφであれば、ビームスプリッタ１２１及びミ
ラー５８２の大きさは２mm角程度とする。また、レンズ
５８３は平凸レンズであり、その平面にビームスプリッ
タ１２１及びミラー５８２が取り付けられた構造となっ
ている。そのため、ビームスプリッタ１２１及びミラー
５８２は、接着剤等によりレンズ５８３に簡単に取り付
けることができる。
に分岐させて振動子Ｍに照射するレーザ光分岐手段とし
ての、ビームスプリッタ１２１及びミラー５８２を備え
ている。ビームスプリッタ１２１は、レーザ光Ｌ1 の一
部を振動子Ｍに照射するとともに、レーザ光Ｌ1 の残部
を透過させる。ミラー５８２は、ビームスプリッタ１２
１を透過したレーザ光Ｌ1 を振動子Ｍに照射する。ビー
ムスプリッタ１２１及びミラー５８２の大きさは、拡散
反射してレンズ５８３に戻ってくる信号光ＬS1，ＬS2を
なるべく妨げないように、レンズ５８３に比べて十分に
小さくすることが好ましい。例えば、レンズ５８３の大
きさが50mmφであれば、ビームスプリッタ１２１及びミ
ラー５８２の大きさは２mm角程度とする。また、レンズ
５８３は平凸レンズであり、その平面にビームスプリッ
タ１２１及びミラー５８２が取り付けられた構造となっ
ている。そのため、ビームスプリッタ１２１及びミラー
５８２は、接着剤等によりレンズ５８３に簡単に取り付
けることができる。
【００１４】信号処理部１４は、信号光ＬS1，ＬS2をそ
れぞれ別々に受光する受光手段としての、光検出器１４
１，１４２を備えている。光検出器１４１，１４２は、
例えばフォトダイオードである。光検出器１４１，１４
２には、それぞれオシロスコープ１４３，１４４が接続
されている。もちろん、オシロスコープ１４３，１４４
の代わりに、測定用コンピュータ等を接続してもよい。
れぞれ別々に受光する受光手段としての、光検出器１４
１，１４２を備えている。光検出器１４１，１４２は、
例えばフォトダイオードである。光検出器１４１，１４
２には、それぞれオシロスコープ１４３，１４４が接続
されている。もちろん、オシロスコープ１４３，１４４
の代わりに、測定用コンピュータ等を接続してもよい。
【００１５】ＢＳＯ結晶５２は、化学式Ｂｉ12ＳｉＯ20
で表される立方晶系の光屈折率材料であり、例えば５kV
/cm 程度の直流電圧ＶDCが電極５２１，５２２（図３）
を介して印加されている。レーザ光源５４は、Ａｒイオ
ンレーザや、Ｎｄ：ＹＡＧレーザの第二高調波等、グリ
ーン波長のレーザ光を発振するものである。レーザ光Ｌ
1 は、図示しないコリメータレンズによって、平行光と
して出力されている。
で表される立方晶系の光屈折率材料であり、例えば５kV
/cm 程度の直流電圧ＶDCが電極５２１，５２２（図３）
を介して印加されている。レーザ光源５４は、Ａｒイオ
ンレーザや、Ｎｄ：ＹＡＧレーザの第二高調波等、グリ
ーン波長のレーザ光を発振するものである。レーザ光Ｌ
1 は、図示しないコリメータレンズによって、平行光と
して出力されている。
【００１６】図２は、レーザ振動計１０における振動子
Ｍを示す斜視図である。図３は、レーザ振動計１０にお
けるＢＳＯ結晶５２を示す斜視図である。以下、図１乃
至図３に基づきレーザ振動計１０の動作を説明する。
Ｍを示す斜視図である。図３は、レーザ振動計１０にお
けるＢＳＯ結晶５２を示す斜視図である。以下、図１乃
至図３に基づきレーザ振動計１０の動作を説明する。
【００１７】レーザ光源５４より出力されたレーザ光Ｌ
1 は、ビームスプリッタ５６１を経て二つの光束ａ1 ，
ａ2 に分岐される。信号光発生部１２において、光束ａ
1 は、ビームスプリッタ１２１を経てさらに二つの光束
ｂ1 ，ｂ2 に分岐され、振動子Ｍの表面Ｍｓでそれぞれ
照射点Ｆ1 ，Ｆ2 を形成する。その反射光Ｌ2 はレンズ
５８３，５８４を経て信号光ＬS1，ＬS2としてＢＳＯ結
晶５２内に焦点ｆ1 ，ｆ2 （図３）を結ぶ。一方、参照
光発生部５６において、光束ａ2 は、円筒面レンズ５６
２によって図面に対して平行な方向のみ拡大され、ミラ
ー５６３を経て参照光ＬｒとしてＢＳＯ結晶５２の全幅
にほぼ一定強度で照射される。レンズ５８３等及びミラ
ー５６３等は、信号光ＬS1，ＬS2と参照光ＬｒとがＢＳ
Ｏ結晶５２内で重なるように、予め調整されている。そ
して、ＢＳＯ結晶５２を透過した信号光ＬS1，ＬS2は、
レンズ６０１を経て光検出器１４１，１４２で別々に受
光される。したがって、信号光ＬS1，ＬS2と参照光Ｌｒ
とがＢＳＯ結晶５２内で干渉することにより、信号光Ｌ
S1，ＬS2に含まれる照射点Ｆ1 ，Ｆ2 での振動情報が、
光の明暗として光検出器１４１，１４２で同時に検出さ
れる。
1 は、ビームスプリッタ５６１を経て二つの光束ａ1 ，
ａ2 に分岐される。信号光発生部１２において、光束ａ
1 は、ビームスプリッタ１２１を経てさらに二つの光束
ｂ1 ，ｂ2 に分岐され、振動子Ｍの表面Ｍｓでそれぞれ
照射点Ｆ1 ，Ｆ2 を形成する。その反射光Ｌ2 はレンズ
５８３，５８４を経て信号光ＬS1，ＬS2としてＢＳＯ結
晶５２内に焦点ｆ1 ，ｆ2 （図３）を結ぶ。一方、参照
光発生部５６において、光束ａ2 は、円筒面レンズ５６
２によって図面に対して平行な方向のみ拡大され、ミラ
ー５６３を経て参照光ＬｒとしてＢＳＯ結晶５２の全幅
にほぼ一定強度で照射される。レンズ５８３等及びミラ
ー５６３等は、信号光ＬS1，ＬS2と参照光ＬｒとがＢＳ
Ｏ結晶５２内で重なるように、予め調整されている。そ
して、ＢＳＯ結晶５２を透過した信号光ＬS1，ＬS2は、
レンズ６０１を経て光検出器１４１，１４２で別々に受
光される。したがって、信号光ＬS1，ＬS2と参照光Ｌｒ
とがＢＳＯ結晶５２内で干渉することにより、信号光Ｌ
S1，ＬS2に含まれる照射点Ｆ1 ，Ｆ2 での振動情報が、
光の明暗として光検出器１４１，１４２で同時に検出さ
れる。
【００１８】図４は、レーザ振動計１０を用いた第一測
定例を示す説明図である。図５は、レーザ振動計１０を
用いた第二測定例を示す説明図である。以下、図１、図
４及び図５に基づき説明する。
定例を示す説明図である。図５は、レーザ振動計１０を
用いた第二測定例を示す説明図である。以下、図１、図
４及び図５に基づき説明する。
【００１９】図４において、照射点Ｆ1 ，Ｆ2 における
表面Ｍｓは、互いに逆位相Ｍｓ’で振動している。この
とき、表面Ｍｓから得られる信号光ＬS1，ＬS2は、図１
のオシロスコープ１４３，１４４の画面に示すように、
互いに逆位相となる波形として検出される。レーザ振動
計１０では、複数点を同時に測定できるので、このよう
な測定が可能となる。
表面Ｍｓは、互いに逆位相Ｍｓ’で振動している。この
とき、表面Ｍｓから得られる信号光ＬS1，ＬS2は、図１
のオシロスコープ１４３，１４４の画面に示すように、
互いに逆位相となる波形として検出される。レーザ振動
計１０では、複数点を同時に測定できるので、このよう
な測定が可能となる。
【００２０】図５において、表面ＭS1は静止しており、
表面ＭS2は振動している。このとき、表面ＭS1，ＭS2か
ら得られる信号光ＬS1，ＬS2をそれぞれ光検出器１４
１，１４２で検出し、光検出器１４１，１４２で検出さ
れた信号の差をとることにより、レーザ光の光路中での
揺らぎや、外部の音響等による外乱を除去できる。この
方法は、空気中に放射されにくい超音波等の測定に有効
である。また、このとき、レーザ光源５４のノイズも当
然除去できる。
表面ＭS2は振動している。このとき、表面ＭS1，ＭS2か
ら得られる信号光ＬS1，ＬS2をそれぞれ光検出器１４
１，１４２で検出し、光検出器１４１，１４２で検出さ
れた信号の差をとることにより、レーザ光の光路中での
揺らぎや、外部の音響等による外乱を除去できる。この
方法は、空気中に放射されにくい超音波等の測定に有効
である。また、このとき、レーザ光源５４のノイズも当
然除去できる。
【００２１】なお、本発明は、いうまでもなく、上記実
施形態に限定されるものではない。例えば、検出精度を
上げるために、偏光フィルタ、１／２波長板、１／４波
長板、ミラー付き圧電素子等を付設してもよい。また、
上記実施形態は二点を測定するものであるが、例えば、
レーザ光分岐手段においてビームスプリッタのレーザ光
入射側に別のビームスプリッタを設け、これに対応させ
て光検出器を追加することにより、三点以上の測定が可
能となる。
施形態に限定されるものではない。例えば、検出精度を
上げるために、偏光フィルタ、１／２波長板、１／４波
長板、ミラー付き圧電素子等を付設してもよい。また、
上記実施形態は二点を測定するものであるが、例えば、
レーザ光分岐手段においてビームスプリッタのレーザ光
入射側に別のビームスプリッタを設け、これに対応させ
て光検出器を追加することにより、三点以上の測定が可
能となる。
【００２２】
【発明の効果】請求項１又は２記載のレーザ振動計によ
れば、レーザ光を複数に分岐させて測定対象に照射する
レーザ光分岐手段を備えたことにより、測定対象の複数
点からそれぞれ信号光を得ることができ、なおかつ複数
の信号光をそれぞれ別々に受光する受光手段を備えたこ
とにより、複数点における振動情報を同時に検出するこ
とができる。
れば、レーザ光を複数に分岐させて測定対象に照射する
レーザ光分岐手段を備えたことにより、測定対象の複数
点からそれぞれ信号光を得ることができ、なおかつ複数
の信号光をそれぞれ別々に受光する受光手段を備えたこ
とにより、複数点における振動情報を同時に検出するこ
とができる。
【００２３】請求項２記載のレーザ振動計によれば、レ
ーザ光の一部を測定対象に照射するとともにレーザ光の
残部を透過させるビームスプリッタと、このビームスプ
リッタを透過したレーザ光を測定対象に照射するミラー
とから、レーザ光分岐手段を構成したことにより、ビー
ムスプリッタを追加するだけという簡単な構成で、複数
の信号光を得ることができる。
ーザ光の一部を測定対象に照射するとともにレーザ光の
残部を透過させるビームスプリッタと、このビームスプ
リッタを透過したレーザ光を測定対象に照射するミラー
とから、レーザ光分岐手段を構成したことにより、ビー
ムスプリッタを追加するだけという簡単な構成で、複数
の信号光を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るレーザ振動計の一実施形態を示す
構成図である。
構成図である。
【図２】図１のレーザ振動計における振動子を示す斜視
図である。
図である。
【図３】図１のレーザ振動計におけるＢＳＯ結晶を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図４】図１のレーザ振動計を用いた第一測定例を示す
説明図である。
説明図である。
【図５】図１のレーザ振動計を用いた第二測定例を示す
説明図である。
説明図である。
【図６】従来のレーザ振動計の一例を示す構成図であ
る。
る。
１０ レーザ振動計 １２ 信号光発生部 １４ 信号処理部 ５２ ＢＳＯ結晶（光屈折率材料） ５４ レーザ光源 ５６ 参照光発生部 １２１ ビームスプリッタ（レーザ光分岐手段） １４１，１４２ 光検出器（受光手段） ５８２ ミラー（レーザ光分岐手段） Ｍ 振動子（測定対象） Ｍｓ 振動子の表面 Ｌ1 レーザ光源から出力されたレーザ光 Ｌ2 振動子の表面からの反射光 Ｌｒ 参照光 ＬS1，ＬS2 信号光
Claims (2)
- 【請求項１】 光屈折率材料と、レーザ光を出力するレ
ーザ光源と、このレーザ光源から出力されたレーザ光を
参照光として前記光屈折率材料へ照射する参照光発生部
と、前記レーザ光源から出力されたレーザ光を測定対象
に照射するとともにその反射光からなる信号光を前記光
屈折率材料へ照射する信号光発生部と、前記光屈折率材
料を透過した前記信号光を受光して前記測定対象の振動
情報を得る信号処理部とを備えたレーザ振動計におい
て、 前記信号光発生部が、前記レーザ光を複数に分岐させて
測定対象に照射するレーザ光分岐手段を備え、 前記信号処理部が、複数の前記信号光をそれぞれ別々に
受光する受光手段を備えたことを特徴とするレーザ振動
計。 - 【請求項２】 前記レーザ光分岐手段は、前記レーザ光
の一部を測定対象に照射するとともに当該レーザ光の残
部を透過させるビームスプリッタと、このビームスプリ
ッタを透過した前記レーザ光を測定対象に照射するミラ
ーとから構成された、請求項１記載のレーザ振動計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21665296A JPH1048038A (ja) | 1996-07-30 | 1996-07-30 | レーザ振動計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21665296A JPH1048038A (ja) | 1996-07-30 | 1996-07-30 | レーザ振動計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1048038A true JPH1048038A (ja) | 1998-02-20 |
Family
ID=16691814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21665296A Withdrawn JPH1048038A (ja) | 1996-07-30 | 1996-07-30 | レーザ振動計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1048038A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111095127A (zh) * | 2017-03-24 | 2020-05-01 | 勒芒大学 | 用于测量振动的投射系统 |
-
1996
- 1996-07-30 JP JP21665296A patent/JPH1048038A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111095127A (zh) * | 2017-03-24 | 2020-05-01 | 勒芒大学 | 用于测量振动的投射系统 |
| CN111095127B (zh) * | 2017-03-24 | 2021-11-30 | 勒芒大学 | 用于测量振动的投射系统 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031007 |