JPH10275830A - 微細ボール搭載装置 - Google Patents
微細ボール搭載装置Info
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- JPH10275830A JPH10275830A JP8142597A JP8142597A JPH10275830A JP H10275830 A JPH10275830 A JP H10275830A JP 8142597 A JP8142597 A JP 8142597A JP 8142597 A JP8142597 A JP 8142597A JP H10275830 A JPH10275830 A JP H10275830A
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- Japan
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- suction
- fine
- balls
- fine ball
- ball
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3457—Solder materials or compositions; Methods of application thereof
- H05K3/3478—Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 つらら状に吸着した余剰な微細ボールを確実
に取り除き、吸着治具のそれぞれの吸着孔へ微細ボール
を１個ずつ吸着させる。 【解決手段】 吸引手段６Ｄによって吸着治具６Ｂに形
成された吸着孔６Ａから吸引して微細ボール９を吸着さ
せる吸着ヘッド６を設ける。吸着ヘッド６へ吸着させる
微細ボール９を貯留するストック皿７を設ける。ストッ
ク皿７の上部に、吸着治具６Ｂの吸着孔６Ａと対応した
位置に微細ボール９の直径よりも僅かに大きな径を有す
る除去孔１１Ａが形成された余剰微細ボール除去フィル
タ１１を設ける。余剰微細ボール除去フィルタ１１を介
してストック皿７の上部に吸着ヘッド６を設置して除去
孔１１Ａと吸着孔６Ａとを連通させ、吸引手段６Ｄによ
る吸着孔６Ａへの微細ボール９の吸着後、余剰微細ボー
ル除去フィルタ１１をスライドさせるスライド機構１３
を設ける。
に取り除き、吸着治具のそれぞれの吸着孔へ微細ボール
を１個ずつ吸着させる。 【解決手段】 吸引手段６Ｄによって吸着治具６Ｂに形
成された吸着孔６Ａから吸引して微細ボール９を吸着さ
せる吸着ヘッド６を設ける。吸着ヘッド６へ吸着させる
微細ボール９を貯留するストック皿７を設ける。ストッ
ク皿７の上部に、吸着治具６Ｂの吸着孔６Ａと対応した
位置に微細ボール９の直径よりも僅かに大きな径を有す
る除去孔１１Ａが形成された余剰微細ボール除去フィル
タ１１を設ける。余剰微細ボール除去フィルタ１１を介
してストック皿７の上部に吸着ヘッド６を設置して除去
孔１１Ａと吸着孔６Ａとを連通させ、吸引手段６Ｄによ
る吸着孔６Ａへの微細ボール９の吸着後、余剰微細ボー
ル除去フィルタ１１をスライドさせるスライド機構１３
を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、バンプとなる微
細ボールを吸着して、基板やチップ等のワークへ搭載さ
せる微細ボール搭載装置に関するものである。
細ボールを吸着して、基板やチップ等のワークへ搭載さ
せる微細ボール搭載装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、バンプとなる微細ボールを吸
着して、基板やチップ等のワークへ搭載させる微細ボー
ル搭載装置には、ワークへ搭載させる数の微細ボールを
吸着する吸着装置が設けられている。この種の微細ボー
ル搭載装置における吸着装置について、図３に示すもの
を例にとって説明する。図において、符号６は、吸着ヘ
ッドである。この吸着ヘッド６は、微細ボールが搭載さ
れるワークに応じた任意の数の吸着孔６Ａの開いた板状
の吸着治具６Ｂと、吸引手段６Ｄをブロック６Ｃに備え
たもので、ベース５に取り付けられたガイド４Ａ、４Ｂ
に摺動可能に支持されたガイドシャフト３Ａ、３Ｂに接
続されている。そして、シリンダからなる昇降機構２に
より上下に昇降されるようになっている。
着して、基板やチップ等のワークへ搭載させる微細ボー
ル搭載装置には、ワークへ搭載させる数の微細ボールを
吸着する吸着装置が設けられている。この種の微細ボー
ル搭載装置における吸着装置について、図３に示すもの
を例にとって説明する。図において、符号６は、吸着ヘ
ッドである。この吸着ヘッド６は、微細ボールが搭載さ
れるワークに応じた任意の数の吸着孔６Ａの開いた板状
の吸着治具６Ｂと、吸引手段６Ｄをブロック６Ｃに備え
たもので、ベース５に取り付けられたガイド４Ａ、４Ｂ
に摺動可能に支持されたガイドシャフト３Ａ、３Ｂに接
続されている。そして、シリンダからなる昇降機構２に
より上下に昇降されるようになっている。
【０００３】吸引手段６Ｄは、吸着治具６Ｂに形成され
た吸着孔６Ａから吸引させることにより、これら吸着孔
６Ａに微細ボール９を真空吸着させるものである。ま
た、ストック皿７は微細ボール浮遊部８と共にダイ１０
上に設置されている。そして、ストック皿７上には多数
の微細ボール９が収容され、微細ボール浮遊部８により
浮遊するようになっている。微細ボール浮遊部８は吸着
治具６Ｂに微細ボール９を吸引しやすくする機能を有す
るもので、昇降機構２、吸引手段６Ｄと共に制御部１に
より制御されるようになっている。また、微細ボール９
の浮遊方法については様々な方法があり、例えば、特開
平７−１５３７６５号公報、特開平８−１６２４９４号
公報にて詳しく説明されている。
た吸着孔６Ａから吸引させることにより、これら吸着孔
６Ａに微細ボール９を真空吸着させるものである。ま
た、ストック皿７は微細ボール浮遊部８と共にダイ１０
上に設置されている。そして、ストック皿７上には多数
の微細ボール９が収容され、微細ボール浮遊部８により
浮遊するようになっている。微細ボール浮遊部８は吸着
治具６Ｂに微細ボール９を吸引しやすくする機能を有す
るもので、昇降機構２、吸引手段６Ｄと共に制御部１に
より制御されるようになっている。また、微細ボール９
の浮遊方法については様々な方法があり、例えば、特開
平７−１５３７６５号公報、特開平８−１６２４９４号
公報にて詳しく説明されている。
【０００４】次に、図４に示すフローチャート図によっ
て、微細ボールの吸着方法について説明する。まず、昇
降機構２によって吸着ヘッド６がストック皿７に近接し
た位置に位置決めされ（ステップ２０１）、次いで、微
細ボール浮遊部８によって微細ボール９が浮遊される
（ステップ２０２）。次に、吸引手段６Ｄにて微細ボー
ル９が吸引され（ステップ２０３）、一定時間だけ停止
した後（ステップ２０４）、昇降機構２により上昇され
（ステップ２０５）、その後、吸着した微細ボール９の
ワークへの搭載工程へと移行する。
て、微細ボールの吸着方法について説明する。まず、昇
降機構２によって吸着ヘッド６がストック皿７に近接し
た位置に位置決めされ（ステップ２０１）、次いで、微
細ボール浮遊部８によって微細ボール９が浮遊される
（ステップ２０２）。次に、吸引手段６Ｄにて微細ボー
ル９が吸引され（ステップ２０３）、一定時間だけ停止
した後（ステップ２０４）、昇降機構２により上昇され
（ステップ２０５）、その後、吸着した微細ボール９の
ワークへの搭載工程へと移行する。
【０００５】ところで、上記従来の方法のようにストッ
ク皿７から微細ボール９を吸引して保持した場合、各吸
着孔６Ａに１個づつ保持したいにもかかわらず保持して
いる微細ボール９がつらら状になることがあった。その
ため従来の微細ボール搭載装置では、微細ボール９を吸
引、保持している吸着ヘッド６に振動を加えて余分な微
細ボールを振り落とす等の方法を用いていた。なお、上
記方法については、特開平８−１６２４９４号公報、特
開平８−１６２４９５号公報にて詳しく説明されてい
る。
ク皿７から微細ボール９を吸引して保持した場合、各吸
着孔６Ａに１個づつ保持したいにもかかわらず保持して
いる微細ボール９がつらら状になることがあった。その
ため従来の微細ボール搭載装置では、微細ボール９を吸
引、保持している吸着ヘッド６に振動を加えて余分な微
細ボールを振り落とす等の方法を用いていた。なお、上
記方法については、特開平８−１６２４９４号公報、特
開平８−１６２４９５号公報にて詳しく説明されてい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、微細ボ
ール９は軽量であるため上記方法では、つらら状の微細
ボール９を確実に振り落とす事は困難であり、かつ正常
に吸着されている微細ボール９が振動によって振り落と
されてしまう恐れもあった。
ール９は軽量であるため上記方法では、つらら状の微細
ボール９を確実に振り落とす事は困難であり、かつ正常
に吸着されている微細ボール９が振動によって振り落と
されてしまう恐れもあった。
【０００７】この発明は、上記事情に鑑みてなされたも
ので、吸着ヘッドに微細ボ−ルを吸着させる際に、つら
ら状に吸着された余分な微細ボールを取り除き、微細ボ
−ルを吸着孔に１個づつ正確に吸着させることが可能な
吸着装置が設けられた微細ボール搭載装置を提供するこ
とを目的としている。
ので、吸着ヘッドに微細ボ−ルを吸着させる際に、つら
ら状に吸着された余分な微細ボールを取り除き、微細ボ
−ルを吸着孔に１個づつ正確に吸着させることが可能な
吸着装置が設けられた微細ボール搭載装置を提供するこ
とを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の微細ボール搭載装置は、バンプとな
る微細ボールを吸着し、この吸着した微細ボールをワー
クへ搭載させる微細ボール搭載装置であって、複数の吸
着孔が形成された吸着治具を有し、吸引手段によって吸
着孔に前記微細ボールを吸着させる吸着ヘッドと、該吸
着ヘッドへ吸着させる微細ボールが貯留されたボール供
給部とを有する吸着装置を具備してなり、前記ボール供
給部には、前記吸着治具に形成された吸着孔と対応した
位置に、前記微細ボールの直径よりも僅かに大きな径の
貫通孔が形成された余剰微細ボール除去フィルタが設け
られてなり、該余剰微細ボール除去フィルタは、前記ボ
ール供給部の上部に前記吸着ヘッドを設置した際に前記
貫通孔が前記吸着孔と連通され、前記吸引手段によって
前記吸着孔へ前記貫通孔を介して前記微細ボールが吸着
された後に、前記吸着治具に対して相対的にスライドさ
れることを特徴としている。
に、請求項１記載の微細ボール搭載装置は、バンプとな
る微細ボールを吸着し、この吸着した微細ボールをワー
クへ搭載させる微細ボール搭載装置であって、複数の吸
着孔が形成された吸着治具を有し、吸引手段によって吸
着孔に前記微細ボールを吸着させる吸着ヘッドと、該吸
着ヘッドへ吸着させる微細ボールが貯留されたボール供
給部とを有する吸着装置を具備してなり、前記ボール供
給部には、前記吸着治具に形成された吸着孔と対応した
位置に、前記微細ボールの直径よりも僅かに大きな径の
貫通孔が形成された余剰微細ボール除去フィルタが設け
られてなり、該余剰微細ボール除去フィルタは、前記ボ
ール供給部の上部に前記吸着ヘッドを設置した際に前記
貫通孔が前記吸着孔と連通され、前記吸引手段によって
前記吸着孔へ前記貫通孔を介して前記微細ボールが吸着
された後に、前記吸着治具に対して相対的にスライドさ
れることを特徴としている。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の微細ボール搭載装
置の実施の形態を図によって説明する。なお、前述した
従来技術と同一構造部分には、同一符号を付して説明を
省略する。図１に示すように、本実施の形態の微細ボー
ル搭載装置を構成する吸着装置には、前記ストック皿
（ボール供給部）７の上部にスライド機構１３を介して
余剰微細ボール除去フィルタ１１が設けられている。こ
の余剰微細ボール除去フィルタ１１は、その厚さ寸法が
微細ボール９の直径よりも大きなもので、前記吸着治具
６Ｂに形成された吸着孔６Ａと対応した位置に、微細ボ
ール９の直径よりも僅かに大径の除去孔（貫通孔）１１
Ａがそれぞれ表裏に貫通されている。
置の実施の形態を図によって説明する。なお、前述した
従来技術と同一構造部分には、同一符号を付して説明を
省略する。図１に示すように、本実施の形態の微細ボー
ル搭載装置を構成する吸着装置には、前記ストック皿
（ボール供給部）７の上部にスライド機構１３を介して
余剰微細ボール除去フィルタ１１が設けられている。こ
の余剰微細ボール除去フィルタ１１は、その厚さ寸法が
微細ボール９の直径よりも大きなもので、前記吸着治具
６Ｂに形成された吸着孔６Ａと対応した位置に、微細ボ
ール９の直径よりも僅かに大径の除去孔（貫通孔）１１
Ａがそれぞれ表裏に貫通されている。
【００１０】そして、この余剰微細ボール除去フィルタ
１１は、制御部１によって駆動が制御されるスライド機
構１３によりスライドされるようになっている。また、
この余剰微細ボール除去フィルタ１１の上端部には、外
周側にＯリング１２Ａが設けられている。
１１は、制御部１によって駆動が制御されるスライド機
構１３によりスライドされるようになっている。また、
この余剰微細ボール除去フィルタ１１の上端部には、外
周側にＯリング１２Ａが設けられている。
【００１１】次に、上記構造の吸着装置を有する微細ボ
ール搭載装置の作動を、図２に示すフローチャート図に
沿って説明する。まず、図示しない移動機構によって吸
着ヘッド６が、ストック皿７の上方位置へ移動され、こ
の状態にて、シリンダからなる昇降機構２によって吸着
ヘッド６が下降されて、この吸着ヘッド６がストック皿
７上に、余剰微細ボール除去フィルタ１１を介して設置
される。これにより、吸着ヘッド６がＯリング１２Ａに
密着され、吸着治具６Ｂの下方側の空間が密閉される
（ステップ１０１）。なお、このとき、この吸着治具６
Ｂの吸着孔６Ａが余剰微細ボール除去フィルタ１１の除
去孔１１Ａに対応した位置、つまり、連通した位置に位
置決めされる。また、吸着治具６Ｂと余剰微細ボール除
去フィルタ１１との間には、吸着治具６Ｂの吸着孔６Ａ
に微細ボール９が吸着した際に、その吸着した微細ボー
ル９の突出寸法よりも広い隙間が形成されるようになっ
ている。
ール搭載装置の作動を、図２に示すフローチャート図に
沿って説明する。まず、図示しない移動機構によって吸
着ヘッド６が、ストック皿７の上方位置へ移動され、こ
の状態にて、シリンダからなる昇降機構２によって吸着
ヘッド６が下降されて、この吸着ヘッド６がストック皿
７上に、余剰微細ボール除去フィルタ１１を介して設置
される。これにより、吸着ヘッド６がＯリング１２Ａに
密着され、吸着治具６Ｂの下方側の空間が密閉される
（ステップ１０１）。なお、このとき、この吸着治具６
Ｂの吸着孔６Ａが余剰微細ボール除去フィルタ１１の除
去孔１１Ａに対応した位置、つまり、連通した位置に位
置決めされる。また、吸着治具６Ｂと余剰微細ボール除
去フィルタ１１との間には、吸着治具６Ｂの吸着孔６Ａ
に微細ボール９が吸着した際に、その吸着した微細ボー
ル９の突出寸法よりも広い隙間が形成されるようになっ
ている。
【００１２】次いで、制御部１によって微細ボール浮遊
部８が駆動されて、ストック皿７内に収容されている微
細ボール９が浮遊され（ステップ１０２）、さらに、制
御部１によって吸引手段６Ｄが駆動されて、吸着治具６
Ｂの吸着孔６Ａから吸引される（ステップ１０３）。こ
れにより、微細ボール浮遊部８によって浮遊された微細
ボール９は、余剰微細ボール除去フィルタ１１に形成さ
れた除去孔１１Ａ内へ吸引されて入り込み、一つの微細
ボール９が吸着治具６Ｂの吸着孔６Ａに吸着される。つ
まり、吸着孔６Ａに吸着された微細ボール９以外の微細
ボール９は、余剰微細ボール除去フィルタ１１の除去孔
１１Ａ内に入り込んだ状態となる。
部８が駆動されて、ストック皿７内に収容されている微
細ボール９が浮遊され（ステップ１０２）、さらに、制
御部１によって吸引手段６Ｄが駆動されて、吸着治具６
Ｂの吸着孔６Ａから吸引される（ステップ１０３）。こ
れにより、微細ボール浮遊部８によって浮遊された微細
ボール９は、余剰微細ボール除去フィルタ１１に形成さ
れた除去孔１１Ａ内へ吸引されて入り込み、一つの微細
ボール９が吸着治具６Ｂの吸着孔６Ａに吸着される。つ
まり、吸着孔６Ａに吸着された微細ボール９以外の微細
ボール９は、余剰微細ボール除去フィルタ１１の除去孔
１１Ａ内に入り込んだ状態となる。
【００１３】一定時間の停止後（ステップ１０４）、制
御部１によってスライド機構１３が駆動され、このスラ
イド機構１３によって余剰微細ボール除去フィルタ１１
がスライドされる（ステップ１０５）。これにより、吸
着治具６Ｂの吸着孔６Ａには、それぞれ一つの微細ボー
ル９のみが吸着された状態となり、他の微細ボール９
は、余剰微細ボール除去フィルタ１１の除去孔１１Ａ内
に残留してストック皿７内へ落下する。そして、この状
態にて、昇降機構２によって吸着ヘッド６が上昇される
とともに（ステップ１０６）、余剰微細ボール除去フィ
ルタ１１がスライド機構１３によって元の位置に戻され
る（ステップ１０７）。
御部１によってスライド機構１３が駆動され、このスラ
イド機構１３によって余剰微細ボール除去フィルタ１１
がスライドされる（ステップ１０５）。これにより、吸
着治具６Ｂの吸着孔６Ａには、それぞれ一つの微細ボー
ル９のみが吸着された状態となり、他の微細ボール９
は、余剰微細ボール除去フィルタ１１の除去孔１１Ａ内
に残留してストック皿７内へ落下する。そして、この状
態にて、昇降機構２によって吸着ヘッド６が上昇される
とともに（ステップ１０６）、余剰微細ボール除去フィ
ルタ１１がスライド機構１３によって元の位置に戻され
る（ステップ１０７）。
【００１４】その後は、それぞれの吸着孔６Ａに一つず
つ微細ボール９が吸着された状態にて吸着ヘッド６が図
示しないワークの上方へ移動されて下降され、ワークの
所定位置に、微細ボール９が搭載される。このように、
上記の吸着装置を備えた微細ボール搭載装置によれば、
吸着治具６Ｂの吸着孔６Ａへ微細ボール９を吸着させる
際に、余剰微細ボール除去フィルタ１１によってつらら
状に吸着される余剰な微細ボール９を確実に除去して、
それぞれの吸着孔６Ａへ一つずつ微細ボール９を吸着さ
せることができる。つまり、従来のように、吸着治具６
Ｂに振動を与えて余剰に吸着した微細ボール９を振り落
とすものと比較して、正常に吸着された微細ボール９を
誤って振り落とすようなこともなく、余剰の微細ボール
９だけを確実に除去することができる。
つ微細ボール９が吸着された状態にて吸着ヘッド６が図
示しないワークの上方へ移動されて下降され、ワークの
所定位置に、微細ボール９が搭載される。このように、
上記の吸着装置を備えた微細ボール搭載装置によれば、
吸着治具６Ｂの吸着孔６Ａへ微細ボール９を吸着させる
際に、余剰微細ボール除去フィルタ１１によってつらら
状に吸着される余剰な微細ボール９を確実に除去して、
それぞれの吸着孔６Ａへ一つずつ微細ボール９を吸着さ
せることができる。つまり、従来のように、吸着治具６
Ｂに振動を与えて余剰に吸着した微細ボール９を振り落
とすものと比較して、正常に吸着された微細ボール９を
誤って振り落とすようなこともなく、余剰の微細ボール
９だけを確実に除去することができる。
【００１５】なお、上記の微細ボール搭載装置では、余
剰の微細ボール９を除去する際に、余剰微細ボール除去
フィルタ１１をスライド機構１３によってスライドさせ
たが、吸着ヘッド６の吸着治具６Ｂ側をスライドさせて
も良いことは勿論である。
剰の微細ボール９を除去する際に、余剰微細ボール除去
フィルタ１１をスライド機構１３によってスライドさせ
たが、吸着ヘッド６の吸着治具６Ｂ側をスライドさせて
も良いことは勿論である。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の微細ボー
ル搭載装置によれば、下記の効果を得ることができる。
請求項１記載の微細ボール搭載装置によれば、吸着治具
の吸着孔へ微細ボールを吸着させる際に、余剰微細ボー
ル除去フィルタによってつらら状に吸着される余剰な微
細ボールを確実に除去して、それぞれの吸着孔へ一つず
つ微細ボールを吸着させることができる。つまり、従来
のように、吸着治具に振動を与えて余剰の微細ボールを
振り落とす場合と比較して、正常に吸着された微細ボー
ルを誤って振り落とすようなこともなく、余剰の微細ボ
ールだけを確実に除去することができる。
ル搭載装置によれば、下記の効果を得ることができる。
請求項１記載の微細ボール搭載装置によれば、吸着治具
の吸着孔へ微細ボールを吸着させる際に、余剰微細ボー
ル除去フィルタによってつらら状に吸着される余剰な微
細ボールを確実に除去して、それぞれの吸着孔へ一つず
つ微細ボールを吸着させることができる。つまり、従来
のように、吸着治具に振動を与えて余剰の微細ボールを
振り落とす場合と比較して、正常に吸着された微細ボー
ルを誤って振り落とすようなこともなく、余剰の微細ボ
ールだけを確実に除去することができる。
【図１】 本発明の実施の形態の微細ボール搭載装置を
構成する吸着装置の断面図である。
構成する吸着装置の断面図である。
【図２】 本発明の実施の形態の微細ボール搭載装置を
構成する吸着装置による微細ボールの吸着工程を説明す
るフローチャート図である。
構成する吸着装置による微細ボールの吸着工程を説明す
るフローチャート図である。
【図３】 微細ボール搭載装置を構成する吸着装置の従
来技術を説明する吸着装置の断面図である。
来技術を説明する吸着装置の断面図である。
【図４】 従来の吸着装置による微細ボールの吸着工程
を説明するフローチャート図である。
を説明するフローチャート図である。
６ 吸着ヘッド ６Ａ 吸着孔 ６Ｂ 吸着治具 ６Ｄ 吸引手段 ７ ストック皿（ボール供給部） ９ 微細ボール １１ 余剰微細ボール除去フィルタ １１Ａ 除去孔（貫通孔）
Claims (1)
- 【請求項１】 バンプとなる微細ボールを吸着し、この
吸着した微細ボールをワークへ搭載させる微細ボール搭
載装置であって、 複数の吸着孔が形成された吸着治具を有し、吸引手段に
よって吸着孔に前記微細ボールを吸着させる吸着ヘッド
と、該吸着ヘッドへ吸着させる微細ボールが貯留された
ボール供給部とを有する吸着装置を具備してなり、 前記ボール供給部には、前記吸着治具に形成された吸着
孔と対応した位置に、前記微細ボールの直径よりも僅か
に大きな径の貫通孔が形成された余剰微細ボール除去フ
ィルタが設けられてなり、 該余剰微細ボール除去フィルタは、前記ボール供給部の
上部に前記吸着ヘッドを設置した際に前記貫通孔が前記
吸着孔と連通され、前記吸引手段によって前記吸着孔へ
前記貫通孔を介して前記微細ボールが吸着された後に、
前記吸着治具に対して相対的にスライドされることを特
徴とする微細ボール搭載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8142597A JPH10275830A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 微細ボール搭載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8142597A JPH10275830A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 微細ボール搭載装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10275830A true JPH10275830A (ja) | 1998-10-13 |
Family
ID=13746021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8142597A Withdrawn JPH10275830A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 微細ボール搭載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10275830A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010140918A (ja) * | 2008-12-09 | 2010-06-24 | Hioki Ee Corp | 吸着ヘッド、球状体搭載装置および球状体吸着方法 |
-
1997
- 1997-03-31 JP JP8142597A patent/JPH10275830A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010140918A (ja) * | 2008-12-09 | 2010-06-24 | Hioki Ee Corp | 吸着ヘッド、球状体搭載装置および球状体吸着方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040601 |