JPH10264392A - インクジェット式記録ヘッド - Google Patents

インクジェット式記録ヘッド

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JPH10264392A
JPH10264392A JP10021411A JP2141198A JPH10264392A JP H10264392 A JPH10264392 A JP H10264392A JP 10021411 A JP10021411 A JP 10021411A JP 2141198 A JP2141198 A JP 2141198A JP H10264392 A JPH10264392 A JP H10264392A
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conductive layer
recording head
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ink jet
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仁俊 木村
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  • Accessory Devices And Overall Control Thereof (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Ink Jet (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 振動子ユニットとフレキシブルケーブルとの
接続時の圧電振動子の破損を防止して、確実な接続を得
ること。 【解決手段】 圧電振動子21の並び方向の両端に、圧
電振動子21を固定している固定基板27と対向するよ
うに、フレキシブルケーブル40の接続部44が圧電振
動子の間に落ち込まない程度に間隙を維持する凸部4
5、45をフレキシブルケーブル40に形成し、半田付
け時にフレキシブルケーブル40を圧電振動子21から
若干浮いた状態でセットさせる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、縦振動モードの圧
電振動子の伸縮によりノズル開口からインク滴を吐出さ
せて画像や文字を記録用紙に記録するインクジェット式
記録ヘッド、より詳細には複数の圧電振動子を固定基板
に一定のピッチで固定して構成された振動子ユニットに
駆動信号を供給するフレキシブルケーブルに関する。
【0002】
【従来の技術】インクジェット式記録ヘッドの中でも、
高速駆動が可能である縦振動モードの圧電振動子を使用
した記録ヘッドは、ノズル開口、及びリザーバに連通す
る圧力発生室の一部を弾性板によりインク吐出部を形成
し、軸長方向に伸縮する圧電振動子を、その一端を一定
ピッチで固定基板に固定した振動子ユニットにより駆動
するように構成されている。
【0003】このような振動子ユニットCは、図11
(イ)に示したような圧電振動子の配列ピッチに合わせ
て、先端に接続パターンA、A、A‥‥が形成されたフ
レキシブルケーブルBを用い、図11(ロ)に示したよ
うに振動子ユニットCの各圧電振動子D、D、D‥‥の
接続部E、E、E、‥‥にフレキシブルケーブルBの接
続パターンA、A、A‥‥を半田付けにより接続して外
部駆動回路からの駆動信号を圧電振動子D、D、D‥‥
に供給して、圧電振動子D、D、D‥‥を伸縮させるよ
うに構成されている。
【0004】フレキシブルケーブルBと振動子ユニット
Cとの接続は、フレキシブルケーブルBの接続パターン
A、A、A‥‥を圧電振動子D、D、D‥‥の接続部
E、E、E、‥‥のおおよその位置にセットした後、拡
大鏡等で観察しながらフレキシブルケーブルBを圧電振
動子D、D、D‥‥の表面に沿ってスライドさせて精密
に位置決めし、位置決め終了後に半田付けするという手
法が採られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、圧電振
動子との接続を容易に行うために、接続パターンA、
A、A‥‥にはフレキシブルケーブルBの表面から若干
突出する半田層が形成され、かつ溶融した半田による短
絡を防止するため、圧電振動子D、D、D‥‥の配列間
隔よりも接続パターンA、A、A‥‥の幅が狭く設定さ
れているため、図11(ハ)に示したように接続パター
ンA、A、A‥‥が圧電振動子D、D、D‥‥の間に落
ち込み、この状態でフレキシブルケーブルBを移動させ
て位置合わせすると、圧電振動子D、D、D‥‥のエッ
ジがフレキシブルケーブルBの接続パターンA、A、A
‥‥に引っ掛けられて大きな力を受け、これに起因して
欠けが生じて接続面積が減少し、接続不良が生じる等の
問題がある。本発明はこのような問題に鑑みてなされた
ものであって、その目的とするところは縦振動モードの
振動子ユニットに破損を招くこと無く、確実に接続する
ことができる振動子ユニットのフレキシブルケーブルを
提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、ノズル開口が穿設されたノ
ズルプレート、圧力発生室及びリザーバを形成する流路
形成板、及び弾性板を積層して形成された流路ユニット
と、縦振動モードで作動する圧電振動子を、複数個、所
定のピッチで固定基板に一端を固定して構成された振動
子ユニットと、前記圧電振動子に駆動信号を供給するフ
レキシブルケーブルとからなるインクジェット式記録ヘ
ッドにおいて、前記フレキシブルケーブルの前記圧電振
動子の並び方向の両端に、前記圧電振動子の間に落ち込
まない程度の間隙を維持する凸部を形成するようにし
た。
【0007】
【作用】フレキシブルケーブルが凸部により圧電振動子
から若干浮いた状態となっているため、たとえフレキシ
ブルケーブルを位置決めために移動させても引っ掛かり
を起こすことなくスムーズに移動するから、圧電振動子
がフレキシブルケーブル40の移動で破損されることは
ない。
【0008】
【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図1、図2は本発明の
フレキシブルケーブルが使用されるインクジェット式記
録ヘッドの一実施例を示すものであって、図中符号1は
ノズルプレートで、所定のピッチ、例えば180DPI
となるようにノズル開口2、2、2‥‥が穿設されてい
る。
【0009】3は、後述する弾性板4とノズルプレート
1の間に挟まれて配置される流路形成板で、ノズル開口
2に対応するように圧力発生室5、リザーバ6、これら
を接続するインク供給口7を形成するための通孔を形成
して構成されている。
【0010】4は前述の弾性板で、流路形成板3を介し
てノズルプレート1と対向するように固定されて圧力発
生室5を形成するもので、後述する振動子ユニット20
の圧電振動子21の先端が当接して圧力発生室5の容積
を膨張、収縮させるものである。
【0011】図3(イ)、(ロ)は、同上振動子ユニッ
ト20の一実施例を示すものであって、図中符号21、
21、21‥‥は、圧電振動子で、一方の極となる電極
22と、他方の極となる電極23とを圧電材料24を介
してサンドイッチ状に積層し、一方の電極22を先端側
に、また他方の電極23を後端側に露出させて、各端面
で共通電極25、及びセグメント電極26に接続されて
構成され、固定基板27に一定のピッチで固定されてい
る。
【0012】これら圧電振動子21、21、21‥‥の
両側にはダミーの圧電振動子28、28が配置されてい
て、各圧電振動子21、21、21、‥‥の共通電極2
5は、ダミーの圧電振動子28、28に固定された導電
性材料からなる接続部材29により共通に接続されて導
電パターン30を介して固定基板27の接続パターン3
1に導かれている。
【0013】一方、各圧電振動子21、21、21‥‥
のセグメント電極26は、それぞれが独立していて、圧
電振動子21、21、21‥‥の後端の表面に露出され
ていて、ここをフレキシブルケーブル40との接続部と
するように構成されている。
【0014】再び図1、図2に戻って、図中符号10
は、フレームで、高分子材料の射出成形等により振動子
ユニット20の収容室11を備えた筒状体として構成さ
れ、一端に振動子ユニット20を収容する開口12を、
また他端には弾性板4、流路形成板3、及びノズルプレ
ート1を積層する固定部13を残すように固定部12と
同一面に圧電振動子21の先端を露出させる窓14を形
成して構成されている。
【0015】図4、図5は、本発明が特徴とするフレキ
シブルケーブル40で、この実施例においてはポリイミ
ド等の耐熱性電気絶縁フィルムをベース材41とし、こ
れの表面に銅箔等を張り付けて導電層42を形成し、こ
の導電層42を圧電振動子21、21、21‥‥に信号
を供給するのに適したパターンにエッチングするととも
に、図5(ハ)に示したように先端には圧電振動子2
1、21、21‥‥のセグメント電極26、26、26
‥‥に一致するピッチで、望ましくはセグメント電極2
6、26、26‥‥の幅よりも若干狭い幅、例えばセグ
メント電極26、26、26‥‥の幅が60乃至80μ
mの場合には、50μm程度の幅を持つ半田メッキが施
された接続部44、44、44‥‥が形成されている。
導電層42の表面を覆うカバーコート43は、少なくも
圧電振動子21に接続されたとき、圧電振動子21の後
端21aよりも圧電振動子21の先端側に若干延びる位
置から後端側に形成されている。
【0016】また固定基板27に形成された共通電極2
5の接続パターン31、31に対向する両側には、カバ
ーコート43を除去してベース材41ともに導電層42
をエンボス加工したり(図5(イ))、またはベース材
41をも除去して導電層42だけをエンボス加工して
(図5(ロ))、フレキシブルケーブル40を振動子ユ
ニット20の表面にセットしたとき、フレキシブルケー
ブル40の接続部44、44、44‥‥が圧電振動子2
1、21、21‥‥の間隙に落ち込まない程度の高さに
位置させる高さを備えた凸部45、45が形成され、そ
の突出側の面には半田層が形成されている。
【0017】この実施例において、振動子ユニット20
を、そのセグメント電極26、26、26‥‥を上面と
するようにして治具に固定し、またフレキシブルケーブ
ル40の接続部44、44、44‥‥を下方にして振動
子ユニット20に当接させると、図6に示したようにフ
レキシブルケーブル40の先端の両側に形成されている
接続用の凸部45、45が固定基板27に当接して、フ
レキシブルケーブル40の接続部44、44、44‥‥
は、圧電振動子21、21、21‥‥の間隙に落ち込ま
ない程度の高さに位置する。
【0018】この状態で、フレキシブルケーブル40を
上下方向にたわませることなく、フレキシブルケーブル
40の接続部44、44、44‥‥が圧電振動子21の
セグメント電極26の所定の位置に対向するように移動
させる。もとより、フレキシブルケーブル40の接続部
44、44、44‥‥は圧電振動子21、21、21‥
‥から若干浮いた状態となっているため、たとえフレキ
シブルケーブル40の接続部44、44、44‥‥の幅
が、圧電振動子21と圧電振動子21との間隙よりも狭
くてもここに落ち込むことがなく、フレキシブルケーブ
ル40は引っ掛かりを起こすことなくスムーズに移動す
るから、圧電振動子21、21、21‥‥がフレキシブ
ルケーブル40の移動で破損されることはない。
【0019】所定の位置に位置合わせできた段階で、フ
レキシブルケーブル40のベース材41の側から加熱治
具により圧力を掛けながら加熱すると、フレキシブルケ
ーブル40の接続部44、凸部45、及び接続パターン
31の半田が溶融してセグメント電極26、26、26
‥‥とフレキシブルケーブル40の接続部44、44、
44‥‥、及びフレキシブルケーブル40の凸部45、
45と固定基板27の接続パターン31、31とが同時
に半田付けされる。
【0020】この半田付け時の押圧によりフレキシブル
ケーブル40の凸部45が、固定基板27の接続パター
ン31に、凸部が存在しない場合よりも強い力で圧接さ
れるため、フレキシブルケーブル40の両側が固定基板
27に確実に半田付けされ、外力に抗して剥がれを防止
することができる。
【0021】このようにしてフレキシブルケーブル40
が接続された圧電振動子20は、フレーム10に挿入さ
れ、ケーブル40の他端が窓17を備えた回路基板16
等に接続される。このときフレキシブルケーブル40に
応力等が作用するが、フレキシブルケーブル40の先端
側は固定基板27に接着剤46で接着、固定され、かつ
圧電振動子21、21、21、‥‥の端部のエッジ21
aに対向する領域はフレキシブルケーブル40のカバー
コート43で覆われているため、ケーブル40の導電層
42にクラックが入る等の虞はない。なお、図中符号1
5は、シールド手段を兼ねる枠体を示す。
【0022】図7は、本発明の第2実施例を示すもので
あって、フレキシブルケーブル40の凸部45を、ダミ
ーの圧電振動子28、28と対向する領域にカバーコー
ト43を除去して前述の図5(イ)に示すのと同様にベ
ース材41とともに導電層42をエンボス加工したり、
またカーバコート43とベース材41とを除去して導電
層42だけを図5(ロ)に示すのと同様にエンボス加工
して、フレキシブルケーブル40を圧電振動子ユニット
20の表面にセットしたとき、フレキシブルケーブル4
0の接続部44、44、44、‥‥が圧電振動子21、
21、21、‥‥の間隙に落ち込まない程度の高さを備
えるとともに、その突出端近傍には半田層が形成されて
いる。
【0023】この実施例において、振動子ユニット20
を、そのセグメント電極26、26、26、‥‥を上面
とするように治具に固定し、またフレキシブルケーブル
40の接触部44、44、44、‥‥を下方として振動
子ユニット20に当接させると、図7に示したようにフ
レキシブルケーブル40の凸部45、45がダミーの振
動子28、28に当接するから、フレキシブルケーブル
40の接続部44、44、44、‥‥が圧電振動子2
1、21、21、‥‥の表面から若干浮き上がり、圧電
振動子21、21、21、‥‥の間隙に落ち込むことが
ない。
【0024】この状態でフレキシブルケーブル40を上
下方向にたわませることなく、フレキシブルケーブル4
0の接続部44、44、44、‥‥が圧電振動子21の
セグメント電極26に対して所定の位置となるようにフ
レキシブルケーブル40を移動させる。もとより、フレ
キシブルケーブル40の接続部44、44、44、‥‥
は、上述したように圧電振動子21、21、21、‥‥
から若干浮いた状態となっているため、たとえフレキシ
ブルケーブル40の接続部44、44、44、‥‥の幅
が、隣接する圧電振動子21間の間隙より狭くても、こ
の間隙に落ち込むことがなく、フレキシブルケーブル4
0は圧電振動子21に引っ掛かりを起こすことなくスム
ーズに移動するから、圧電振動子21がフレキシブルケ
ーブル40により破損されることはない。
【0025】振動子ユニット20とフレキシブルケーブ
ル40との位置合わせが終了した段階で、フレキシブル
ケーブル40のベース材41側から加熱治具により圧力
を掛けながら加熱すると、フレキシブルケーブル40の
接続部44、凸部45の半田が溶融し、接続部44、4
4、44、‥‥と振動子ユニット20の各圧電振動子2
1、21、21、‥‥のセグメント電極26、26、2
6、‥‥、及びフレキシブルケーブル40の凸部45、
45とダミー振動子28、28の共通電極25、25が
同時に半田付けされる。
【0026】この半田付け時の押圧によりフレキシブル
ケーブル40の凸部45が、ダミーの圧電振動子28、
28の共通電極25、25またはセグメント電極26、
26に、凸部45の分だけ突出しているため強い力で圧
接されるため、フレキシブルケーブルの両端がダミーの
圧電振動子28に確実に半田付けされ、外力に十分に抗
して剥がれを防止できる。そして、この実施例によれば
前述の実施例において振動子ユニット20に形成されて
いる導電パターン30及び接続パターン31(図3
(イ))が不要となる。
【0027】図8は、凸部45を形成するための他の実
施例を示すものであって、図8(イ)に示した実施例に
おいては、カバーコート43を剥離してエンボス加工す
べき領域にほぼカバーコート43と同程度の厚みを有す
る半田層47が形成されている。
【0028】図8(ロ)に示した実施例においては凸部
45の領域のフレキシブルケーブル40のベース材41
を隔離する一方、前述の実施例と同様にカバーコート4
3を剥離してエンボス加工すべき領域にほぼカバーコー
ト43と同程度の厚みを有する半田層47が形成されて
いる。
【0029】なお、これら半田層47は、エンボス加工
の前後のいずれの時点で形成しても同様の作用を奏する
ことは明らかである。
【0030】図9は本発明の他の実施例を示すものであ
って、この実施例においてはフレキシブルケーブル40
の先端に、振動子ユニット20上の接続部材29と同様
の形状の接続パターン46を半田層として形成し、圧電
振動子21の共通電極25に加熱治具により圧力を掛け
ながら加熱すると、フレキシブルケーブル40の他の接
続部と同様に半田が溶融して、各圧電振動子21、2
1、21、‥‥の共通電極25とダミーの圧電振動子2
8、28のセグメント電極26、26とがフレキシブル
ケーブル40の接続パターン46に半田付けされて圧電
振動子ユニット20に接続部材29を形成する必要がな
くなる。
【0031】なお、上述の実施例においては、導電関係
の形成を半田付けにより行う場合について説明したが、
異方性導電材料や導電性接着剤を用いても同様の作用を
奏することは明らかである。
【0032】また、上述の実施例においては、凸部を用
い圧電振動子の共通電極に対して導電関係を形成する場
合について説明したが、凸部による導電関係の形成が必
要でない場合、例えば圧電振動子の形成領域外での導電
接続を必要としない圧電振動子ユニットにあっては、図
10(イ)に示したようにフレキシブルケーブル全体を
エンボス加工したり、また図10(ロ)に示したように
凸部45を形成すべき領域には導電層42を形成するこ
となくこの領域をカバーコート43により他の領域と同
一程度にまで被覆してエンボス加工したり、さらには
(ハ)に示したように凸部45となる領域のベース材4
1、及び導電層42を剥離してカバーコート材43だけ
をエンボス加工するようにしても、落ち込みを防止でき
ることは明らかである。
【0033】
【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、ノズル開口が穿設されたノズルプレート、圧力発生
室及びリザーバを形成する流路形成板、及び弾性板を積
層して形成された流路ユニットと、縦振動モードで作動
する圧電振動子を、複数個、所定のピッチで固定基板に
一端を固定して構成された振動子ユニットと、圧電振動
子に駆動信号を供給するフレキシブルケーブルとからな
るインクジェット式記録ヘッドにおいて、フレキシブル
ケーブルの圧電振動子の並び方向の両端に、前記固定基
板に対向する領域に圧電振動子の間に落ち込まない程度
に間隙を維持する凸部を形成したので、フレキシブルケ
ーブルが凸部により圧電振動子から若干浮いた状態にセ
ットでき、フレキシブルケーブルを位置決めのために移
動させても引っ掛かりを起こすことなくスムーズに移動
させて、圧電振動子の接続部の破損を防止して確実な接
続を得ることができる。
【0034】またフレキシブルケーブルの凸部により、
凸部が形成されていないものに比較して半田付け時に相
手の接続パターンに強い力で圧接されて、確実に半田付
けを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を示す組み立て斜視図である。
【図2】同上装置の断面構造を示す図である。
【図3】図(イ)、(ロ)は、それぞれ振動子ユニット
の一実施例を示す斜視図と、断面図である。
【図4】本発明のフレキシブルケーブルの一実施例を斜
視図である。
【図5】図(イ)、(ロ)は、それぞれ同上フレキシブ
ルケーブルのA−A線における断面図、及び図(ハ)は
正面図である。
【図6】同上フレキシブルケーブルの接続部と圧電振動
子の接続部との位置合わせ時の状態を示す図である。
【図7】本発明の他の実施例を、フレキシブルケーブル
の接続部と圧電振動子の接続部との位置合わせ時の状態
を示す図である。
【図8】図(イ)、(ロ)は、それぞれ本発明の他の実
施例を、凸部の形状で示す図である。
【図9】本発明のフレキシブルケーブルの他の実施例を
斜視図である。
【図10】図(イ)乃至(ハ)は、それぞれ本発明の他
の実施例を、凸部の形状で示す図である。
【図11】図(イ)乃至(ハ)は、それぞれ従来のフレ
キシブルケーブル、振動子ユニットとフレキシブルケー
ブルとの接続状態、及び位置合わ時の状態を示す図であ
る。
【符号の説明】
20 振動子ユニット 21 圧電振動子 25 共通電極 26 セグメント電極 28 ダミーの振動子 40 フレキシブルケーブル 41 ベース材 42 導電層 43 カバーコート 44 セグメント電極との接続部 45 共通電極と接続する凸部 47 半田層

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ノズル開口が穿設されたノズルプレー
    ト、圧力発生室及びリザーバを形成する流路形成板、及
    び弾性板を積層して形成された流路ユニットと、縦振動
    モードで作動する圧電振動子を、複数個、所定のピッチ
    で固定基板に一端を固定して構成された振動子ユニット
    と、前記圧電振動子に駆動信号を供給するフレキシブル
    ケーブルとからなるインクジェット式記録ヘッドにおい
    て、 前記フレキシブルケーブルの前記圧電振動子の並び方向
    の両端に、前記圧電振動子の間に落ち込まない程度の間
    隙を維持する凸部を形成してなるインクジェット式記録
    ヘッド。
  2. 【請求項2】 前記フレキシブルケーブルが少なくとも
    ベース材と導電層とを積層して構成され、前記ベース材
    と前記導電層とを一体にエンボス加工して前記凸部が形
    成されている請求項1に記載のインクジェット式記録ヘ
    ッド。
  3. 【請求項3】 前記凸部の形成領域に前記導電層のみが
    露出され、前記導電層をエンボス加工して前記凸部が形
    成されている請求項1に記載のインクジェット式記録ヘ
    ッド。
  4. 【請求項4】 前記凸部が形成されている領域の前記導
    電層の表面に半田層が形成されている請求項2、また請
    求項3に記載のインクジェット式記録ヘッド。
  5. 【請求項5】 前記凸部が前記圧電振動子の共通電極に
    導通されている請求項2、請求項3、または請求項4に
    記載のインクジェット式記録ヘッド。
  6. 【請求項6】 前記フレキシブルケーブルがベース材と
    導電層とカバーコートとを積層して構成され、前記ベー
    ス材と前記導電層と前記カバーコートとを一体にエンボ
    ス加工して前記凸部がされている請求項1に記載のイン
    クジェット式記録ヘッド。
  7. 【請求項7】 前記フレキシブルケーブルがベース材と
    導電層とカバーコートとを積層して構成され、前記凸部
    を形成する領域の導電層が除去されて前記カバーコート
    が積層され、前記ベース材と前記カバーコートを一体に
    エンボス加工して前記凸部が形成されている請求項1に
    記載のインクジェット式記録ヘッド。
  8. 【請求項8】 前記フレキシブルケーブルがベース材と
    導電層とカバーコートとを積層して構成され、前記凸部
    を形成する領域のベース材と導電層が除去されて前記カ
    バーコートをエンボス加工して前記凸部が形成されてい
    る請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
  9. 【請求項9】 前記フレキシブルケーブルが少なくとも
    ベース材と導電層とを積層して構成され、前記圧電振動
    子のエッジに対向する領域よりも先端側から引出し側に
    カバーコートが施されている請求項1に記載のインクジ
    ェット式記録ヘッド。
  10. 【請求項10】 ノズル開口が穿設されたノズルプレー
    ト、圧力発生室及びリザーバを形成する流路形成板、及
    び弾性板を積層して形成された流路ユニットと、縦振動
    モードで作動する圧電振動子を、複数個、所定のピッチ
    で固定基板に一端を固定して構成された振動子ユニット
    と、前記圧電振動子に駆動信号を供給するフレキシブル
    ケーブルとからなるインクジェット式記録ヘッドにおい
    て、 前記振動子ユニットが前記圧電振動子の並び方向の両端
    にダミーの圧電振動子を有し、前記フレキシブルケーブ
    ルの前記ダミーの圧電振動子に対向する領域に、前記圧
    電振動子の間に落ち込まない程度の間隙を維持する凸部
    を形成してなるインクジェット式記録ヘッド。
  11. 【請求項11】 前記フレキシブルケーブルが少なくと
    もベース材と導電層とを積層して構成され、前記ベース
    材と前記導電層とを一体にエンボス加工して前記凸部が
    形成されている請求項10に記載のインクジェット式記
    録ヘッド。
  12. 【請求項12】 前記凸部の形成領域に前記導電層のみ
    が露出され、前記導電層をエンボス加工して前記凸部が
    形成されている請求項10に記載のインクジェット式記
    録ヘッド。
  13. 【請求項13】 前記凸部が形成されている領域の前記
    導電層の表面に半田層が形成されている請求項11、ま
    た請求項12に記載のインクジェット式記録ヘッド。
  14. 【請求項14】 前記凸部が前記圧電振動子の共通電極
    に導通されている請求項11、請求項12、または請求
    項13に記載のインクジェット式記録ヘッド。
  15. 【請求項15】 前記フレキシブルケーブルがベース材
    と導電層とカバーコートとを積層して構成され、前記ベ
    ース材と前記導電層と前記カバーコートとを一体にエン
    ボス加工して前記凸部がされている請求項10に記載の
    インクジェット式記録ヘッド。
  16. 【請求項16】 前記フレキシブルケーブルがベース材
    と導電層とカバーコートとを積層して構成され、前記凸
    部を形成する領域の導電層が除去されて前記カバーコー
    トが積層され、前記ベース材と前記カバーコートを一体
    にエンボス加工して前記凸部が形成されている請求項1
    0に記載のインクジェット式記録ヘッド。
  17. 【請求項17】 前記フレキシブルケーブルがベース材
    と導電層とカバーコートとを積層して構成され、前記凸
    部を形成する領域のベース材と導電層が除去されて前記
    カバーコートをエンボス加工して前記凸部が形成されて
    いる請求項10に記載のインクジェット式記録ヘッド。
  18. 【請求項18】 前記フレキシブルケーブルが少なくと
    もベース材と導電層とを積層して構成され、前記圧電振
    動子のエッジに対向する領域よりも先端側から引出し側
    にカバーコートが施されている請求項10に記載のイン
    クジェット式記録ヘッド。
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