JPH10244669A - インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法、並びにインクジェットプリンタ - Google Patents

インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法、並びにインクジェットプリンタ

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JPH10244669A
JPH10244669A JP5007397A JP5007397A JPH10244669A JP H10244669 A JPH10244669 A JP H10244669A JP 5007397 A JP5007397 A JP 5007397A JP 5007397 A JP5007397 A JP 5007397A JP H10244669 A JPH10244669 A JP H10244669A
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ink jet
printer head
jet printer
piezoelectric element
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JP5007397A
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Kazuaki Kurihara
和明 栗原
Mineharu Tsukada
峰春 塚田
Katsuharu Hida
勝春 肥田
Yoshihiko Imanaka
佳彦 今中
Koji Omote
孝司 表
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 接合部における圧力ロスが少なく、圧電材料
層の変位量が大きく、小型化・高性能化が可能なインク
ジェットプリンタヘッドを提供する。また、このような
インクジェットプリンタヘッドを用い、低価格で高精細
な特性を有するインクジェットプリンタを提供する。 【解決手段】 圧力室を形成するための溝１６が表面に
形成された絶縁基板１０と、溝１６が形成された領域の
絶縁基板１０内部に、第１の電極１８と、圧電材料層２
０と、第２の電極１８とが積層してなる変位層を少なく
とも一層以上有する圧電素子と、溝１６が形成された側
の絶縁基板１０表面に接合された蓋体１４とにより構成
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットプ
リンタに関する技術に係り、特に、圧電体を用いたイン
クジェットプリンタヘッド及びその製造方法、並びにイ
ンクジェットプリンタに関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェットプリンタは、液体のイン
クを小滴、液柱、又は霧状にして空気中に飛翔させ、記
録紙上に文字、グラフ、画像等を印字する方式のプリン
タである。インクジェットプリンタは、低騒音、且つ小
型化・軽量化が可能であるため、その実用化が進められ
ている。
【０００３】インクジェットプリンタに用いられるヘッ
ドとしては、ヒーターで圧力室内に気泡（バブル）を発
生させ、気泡の力によりノズルからインクを飛翔させる
バブルジェット方式と、圧力室の底面に振動板を設け、
この振動板を圧電体で押圧することによりインクをノズ
ルから飛翔させるインパクト方式とが主流となってい
る。
【０００４】このような２つの方式のうち、バブルジェ
ット方式は、インクの特性によってヘッドの性能がほぼ
決定されるため、印字速度及び印字品質には限界があ
り、今後の高速化・高画質化への対応が困難となってい
る。そこで、インク特性への対応範囲が広く、高速化に
向き・制御性に優れたインパクト方式が注目されてい
る。
【０００５】インパクト方式のヘッドは、例えば、図１
８に示すような構造を有している。図１８に示すインク
ジェットプリンタヘッドは、圧電素子８０、圧力室板８
２、ノズル板８４により構成されている。圧電素子８０
は、セラミック等の絶縁基板８６上に、比較的広い面積
を有する下部電極８８と、圧電材料よりなる圧電材料層
９０と、上部電極９２とを積層して形成されている。圧
力室板８２には、その一方の面に開放された圧力室９４
と、圧力室９４へインクを供給するインク供給路９６
と、圧力室９４からインクを他方の面側に導くインク導
通路９８が形成されている。ノズル板８４には、インク
を噴射するノズル１００が形成されている。
【０００６】そして、圧電素子８０の上部電極９２が形
成されている領域に圧力室９４が合致するように、圧電
素子８０と圧力室板８２とが結合されており、圧力室９
４内にインクを装填できるようになっている。また、圧
力室板８２にはノズル板８４が結合されており、圧力室
板８２のインク導通路９８から導かれたインクをノズル
板８４のノズル１００から飛翔できるようになってい
る。
【０００７】この状態で、下部電極８８と上部電極９２
との間に所定の電圧を印加すると、上部電極９２が形成
された領域の圧電材料層９０が変位し、圧力室９４内の
インクに圧力が加わる。この圧力により、インクはノズ
ル１００から飛翔される。このようにして、インパクト
方式のインクジェットプリンタヘッドが構成されてい
た。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のインクジェットプリンタヘッドでは、その表面に駆
動層が形成された圧電素子８０上に、圧力室９４を有す
る圧力室板８２が樹脂等の接着剤により張り合わせた構
造となっていたため、接合部の剛性に劣り、圧電素子８
０と圧力室板８２との接合面において圧力ロスが生じる
ことがあった。
【０００９】また、変位する圧電材料層９０上に圧力室
板８２を接合していたため、使用によって接合部の劣化
が生じることがあった。また、ヘッドを小型化するには
圧電材料層９０の変位量を大きくすることが望ましい
が、変位量を大きくすると、圧電材料層９０の変位部周
辺の応力が大きくなり、応力破壊が生じることがあっ
た。このため、変位量が限定され、小型化・高速化の妨
げとなっていた。
【００１０】また、近年、環境保護の観点から鉛の使用
を抑える動きが活発化しているが、圧電素子に用いる圧
電材料には鉛が含まれるため、圧電材料を多量に使用す
ることは好ましくない。また、圧電材料は比重が高いた
め、素子を軽量化するためにも圧電材料の使用を少なく
することが望まれていた。本発明の第１の目的は、接合
部における圧力ロスが少ないインクジェットプリンタヘ
ッドを提供することにある。
【００１１】また、本発明の第２の目的は、圧電材料層
の変位量が大きく、小型化・高性能化が可能なインクジ
ェットプリンタヘッドを提供することにある。また、本
発明の第３の目的は、鉛化合物の使用が少なく、軽量な
インクジェットプリンタヘッドを提供することにある。
さらにまた、本発明の第４の目的は、上記のインクジェ
ットプリンタヘッドを用いることにより、低価格で高精
細な特性を有するインクジェットプリンタを提供するこ
とにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的は、圧力室を形
成するための溝が表面に形成された絶縁基板と、前記溝
が形成された領域の前記絶縁基板内部に、第１の電極
と、圧電材料層と、第２の電極とが積層してなる変位層
を少なくとも一層以上有する圧電素子と、前記溝が形成
された側の前記絶縁基板表面に接合された蓋体とを有す
ることを特徴とするインクジェットプリンタヘッドによ
って達成される。このようにしてインクジェットプリン
タヘッドを構成すれば、駆動層の駆動により発生する圧
力ロスを低減することができる。また、従来のインクジ
ェットプリンタヘッドと比較して、製造工程をも簡略に
することができる。
【００１３】また、上記のインクジェットプリンタヘッ
ドにおいて、前記溝は、角部を丸くしたＵ字型であるこ
とが望ましい。このようにインクジェットプリンタヘッ
ドを構成すれば、駆動層の変位量を多くすることができ
る。また、上記のインクジェットプリンタヘッドにおい
て、複数の前記圧電素子が一つの前記絶縁基板上に形成
されており、それぞれの前記圧電素子が形成された領域
は、前記絶縁基板内に形成されたスリットにより仕切ら
れていることが望ましい。このようにインクジェットプ
リンタヘッドを構成すれば、隣り合う圧電素子間の干渉
を抑えてインク飛翔特性を良好にすることができる。
【００１４】また、圧力室を形成するための溝が表面に
形成された絶縁基板と、前記溝の側壁及び底面に、第１
の電極と、圧電材料層と、第２の電極とが積層して形成
された変位層とを有する圧電素子と、前記溝が形成され
た側の前記絶縁基板表面に接合された蓋体とを有するこ
とを特徴とするインクジェットプリンタヘッドによって
も達成される。このようにしてインクジェットプリンタ
ヘッドを構成すれば、製造工程を大幅に簡略にできる。
また、鉛化合物である圧電材料の使用量を大幅に減少で
きるので、軽量化が可能であるとともに、環境保護の面
からも効果がある。
【００１５】また、絶縁基板と；前記絶縁基板内に形成
され、第１の電極と、第１の圧電材料層と、第２の電極
とからなる積層体が少なくとも一層以上積層されてなる
変位層と；前記変位層の両側に設けられた溝と、前記圧
電素子上に形成され、前記第２の電極上に圧力室を形成
するための開口が形成された基板とを有することを特徴
とするインクジェットプリンタヘッドによっても達成さ
れる。このようにインクジェットプリンタヘッドを構成
すれば、圧電材料層が変位する領域と変位しない領域と
の間に発生する応力が緩和され、無理なく大きな変位量
が得ることができる。これにより、駆動面積を小さくす
ることが可能となり、インクジェットプリンタヘッドの
小型化・高速化を達成することができる。
【００１６】また、上記のインクジェットプリンタヘッ
ドを有することを特徴とするインクジェットプリンタに
よっても達成される。上記のインクジェットプリンタヘ
ッドを用いてインクジェットプリンタを形成すれば、高
性能のインクジェットプリンタを構成することができ
る。また、表面に電極が形成された第１のグリーンシー
トと、表面に電極が形成されていない第２のグリーンシ
ートをそれぞれ複数枚用意し、前記第１のグリーンシー
ト及び前記第２のグリーンシートを複数枚積層して焼成
し、その内部に前記電極が埋め込まれた基板を形成する
基板形成工程と、前記電極が埋め込まれた領域上の前記
基板表面に圧力室となる溝を形成し、前記溝の底部に変
位層を有する圧電素子を形成する圧電素子形成工程と、
前記溝が形成された側の前記圧電素子上に蓋体を接合す
る蓋体接合工程とを有することを特徴とするインクジェ
ットプリンタヘッドの製造方法によっても達成される。
このようにしてインクジェットプリンタを製造すれば、
従来の製造方法と比較して大幅に製造工程を削減するこ
とができる。
【００１７】また、基板上に、剥離剤をコーティングす
る剥離剤コーティング工程と、前記剥離剤がコーティン
グされた側の前記基板表面に、圧力室となる溝を形成す
る溝形成工程と、前記溝が形成された前記基板表面に、
両面に電極が印刷された圧電体材料よりなるグリーンシ
ートをプレスにより一体化するプレス工程と、前記溝が
形成されていない前記基板の領域上の前記グリーンシー
トを、前記剥離剤とともに除去し、前記溝の内壁及び底
部にのみ前記グリーンシートを残存させる剥離工程と、
前記グリーンシートが一体化された前記基板を焼成し、
前記溝の内壁及び底部に変位層が形成された圧電素子を
形成する圧電素子形成工程と、前記圧電素子上に蓋体を
接合する蓋体接合工程とを有することを特徴とするイン
クジェットプリンタヘッドの製造方法によっても達成さ
れる。このようにしてインクジェットプリンタヘッドを
製造すれば、鉛化合物である圧電材料の使用量を大幅に
減少することができる。
【００１８】また、変位層を有する圧電素子と、前記変
位層が形成された側の前記圧電素子上に形成され、前記
変位層上に圧力室を形成するための開口が形成された基
板とを有するインクジェットプリンタの製造方法におい
て、少なくとも前記圧電素子と前記基板とが接合する部
位の前記圧電素子及び前記基板を同一の物質により構成
し、前記圧電素子と前記基板を焼成して一体化すること
を特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法
によっても達成される。このようにしてインクジェット
プリンタヘッドを製造すれば、圧電素子と基板との接合
部の剛性を高めることができる。これにより、インク飛
翔特性を向上することができる。
【００１９】また、上記のインクジェットプリンタヘッ
ドの製造方法において、前記圧電素子と前記基板との接
合部に金属層を設け、前記金属層を構成する金属の拡散
反応を利用して接合することが望ましい。このようにし
てインクジェットプリンタヘッドを製造すれば、より低
温の焼成で圧電素子と基板とを接合することができる。
【００２０】また、上記のインクジェットプリンタヘッ
ドの製造方法において、表面に電極が形成された第１の
グリーンシートと、表面に電極が形成されていない第２
のグリーンシートをそれぞれ複数枚形成するグリーンシ
ート形成工程と、前記第１のグリーンシート及び前記第
２のグリーンシートを複数枚積層し、前記圧電素子とな
る第１の積層体を形成する第１の積層体形成工程と、前
記第２のグリーンシートを複数枚積層した後、その表面
に前記圧力室を形成するための前記開口を形成し、基板
となる第２の積層体を形成する第２の積層体形成工程
と、前記第１の積層体と前記第２の積層体とを積層して
焼成し、前記圧電素子と前記基板とを一体化する焼成工
程とを有することが望ましい。このようにしてインクジ
ェットプリンタヘッドを製造すれば、一回の焼成のみで
インクジェットプリンタヘッドを形成することができ
る。
【００２１】
【発明の実施の形態】
［第１実施形態］本発明の第１実施形態によるインクジ
ェットプリンタヘッド及びその製造方法について図１乃
至図６を用いて説明する。図１は本実施形態によるイン
クジェットプリンタヘッドの構造を示す概略断面図、図
２は駆動層の厚さとクロストークとの関係を示すグラ
フ、図３及び図４は本実施形態によるインクジェットプ
リンタヘッドの製造方法を示す工程図、図５及び図６は
本実施形態の変形例によるインクジェットプリンタの構
造を示す概略断面図である。
【００２２】始めに、本実施形態によるインクジェット
プリンタヘッドの構造を説明する。圧電素子により形成
された基板１０上には、接着剤１２により接合された蓋
体１４が形成されている。基板１０には、インクタンク
となる溝１６が形成されている。溝１６直下の基板１０
内部には、所定の間隔をもって積層された内部電極１８
が埋め込まれている。図１では、内部電極１８を４枚積
層し、各内部電極１８の間に形成された三層の駆動層２
０を形成している。
【００２３】このように、本実施形態によるインクジェ
ットプリンタヘッドは、基板１０に形成された溝１６の
直下に内部電極１８が埋め込まれていることに特徴があ
る。このようにインクジェットプリンタヘッドを構成す
れば、一体焼成された基板１０に、溝１６と、内部電極
１８とを形成することができるので、駆動層の駆動によ
り発生する圧力ロスを低減することができる。
【００２４】例えば図１８に示す従来のインクジェット
プリンタヘッドでは、表面に駆動層が形成された圧電素
子８０上に、圧力室９４を有する圧力室板８２が接着剤
により張り合わせた構造となっていたため、圧電素子８
０と圧力室板８２との接合面における圧力ロスが生じる
ことがあったが、本実施形態によるインクジェットプリ
ンタヘッドではこのような圧力ロスは生じない。
【００２５】また、本実施形態によるインクジェットプ
リンタヘッドでは、このような接合部がないため、駆動
による接合部の劣化を生じることもない。また、図１８
に示す従来のインクジェットプリンタヘッドでは、変位
する圧電材料層９０上に圧力室板８２を接合していたた
め、使用によって接合部の劣化が生じることがあった
が、本実施形態によるインクジェットプリンタヘッドで
はこのようなことは起こらない。
【００２６】次に、上記のインクジェットプリンタヘッ
ドにおける駆動層の厚さの影響について説明する。図２
は、駆動層の厚さとクロストークとの関係を示したグラ
フである。本明細書にいうクロストークとは、隣接して
形成された駆動層２０の影響によるインク噴出量の低下
率を表すものであり、１６個のノズルを同時に稼働した
場合の平均噴射量を、１個のノズルを稼働した場合の噴
射量で規格化した値である。
【００２７】なお、上記の測定には、深さが０．２ｍ
ｍ、幅が０．２ｍｍ、長さが１３ｍｍの溝１６を、０．
０８ｍｍ間隔で基板１０に形成し、駆動層２０を一層の
み設けたインクジェットプリンタヘッドを用い、溝１６
に設けられたノズルからのインク噴射量を測定した。図
２に示すように、駆動層２０の厚さを増加すると、クロ
ストークの値が減少しており、隣接した駆動層２０の影
響によりインク噴射量が低下していることが判る。イン
ク噴射量の許容量を、１個のノズルを駆動したときの９
０％程度とすると、駆動層２０の厚さは３５μｍより薄
いことが望ましい。
【００２８】なお、インクの飛翔特性を良好にするに
は、溝１６の直下のみに内部電極１８を形成することが
望ましい。次に、本実施形態によるインクジェットプリ
ンタヘッドの製造方法について説明する。まず、基板１
０となるグリーンシートを以下の方法により作成する。
【００２９】グリーンシートの原料となるスラリーを、
例えば、粒径約１．０μｍのＰＮＮ系圧電粉末と、有機
バインダであるＰＶＢと、可塑剤であるＤＢＰと、有機
溶剤であるエタノールとを、ボールミルで混合して作成
する。次いで、ドクターブレード法により、このように
作成したスラリーからグリーンシートを成形する。この
後、成形したグリーンシートを、例えば１００ｍｍ□の
大きさに打ち抜き、１００ＭＰａの圧力による一軸プレ
スにて加圧処理する。こうして、グリーンシートを作成
する。
【００３０】続いて、このように形成したグリーンシー
トの一部に、内部電極１８となる電極パターンを印刷す
る。例えば、Ａｇ−Ｐｄペーストを用いたスクリーン印
刷法により、内部電極１８を形成する。このようにし
て、表面に内部電極１８が形成されたグリーンシート２
２ａと、電極が形成されていないグリーンシート２２ｂ
を複数用意する（図３（ａ））。
【００３１】次いで、このように形成したグリーンシー
トを積層し（図３（ｂ））、１０００℃で３時間の焼成
を大気中にて行う（図３（ｃ））。続いて、得られた焼
成品の外形を切断し、その内部に内部電極１８が形成さ
れた基板１０を形成する（図３（ｄ））。この後、この
ように形成した基板１０の表面にダイシングソーを用い
て溝１６を形成する（図４（ａ））。
【００３２】次いで、溝１６が形成された基板１０上
に、接着剤１２を用いて蓋体１４を接合し、インクジェ
ットプリンタヘッドを構成する（図４（ｂ））。なお、
接合に用いる接着剤１２としては、樹脂系の接着剤より
金属やガラス等のセラミックよりなる接着剤が望まし
い。ガラス等の接着剤を用いることにより、樹脂系の接
着剤を用いた場合より接合部の変位量を小さくできるか
らである。
【００３３】このようにしてインクジェットプリンタヘ
ッドを形成することにより、従来の製造方法と比較して
接着剤を用いた張り合わせ工程を減少することができる
ので、製造工程を簡略にすることができる。このよう
に、本実施形態によれば、一体焼成された基板１０に、
溝１６と、内部電極１８とを形成するので、駆動層の駆
動により発生する圧力ロスを低減することができる。
【００３４】また、従来のインクジェットプリンタヘッ
ドと比較して、製造工程をも簡略にすることができる。
なお、上記実施形態では、溝１６の底部に角があるイン
クジェットプリンタヘッドを示したが、例えば、図５に
示すように角を丸くしたＵ字型にすることにより、イン
ク飛翔特性を更に向上することができる。すなわち、こ
のように溝１６をＵ字型にすることにより、駆動層２０
が変位するときに溝１６底面の両サイドに発生するくぼ
みを解消することができるので、駆動層２０の変位量を
向上することができる。
【００３５】溝１６の形状は、単にダイシングソーのブ
レードを変更することにより変化することができる。ま
た、図６に示すように、溝１６の間にそれぞれスリット
２４を設けることもできる。このようにスリット２４を
設けることにより、駆動層２０の横方向に働く拘束を解
消することができるので、駆動層２０の変位量を更に向
上することができる。
【００３６】また、上記実施形態では、駆動層２０を３
層積層した場合について示したが、駆動層２０は、所望
の変位量が得られるに必要なだけ積層することが望まし
い。 ［第２実施形態］本発明の第２実施形態によるインクジ
ェットプリンタヘッド及びその製造方法について図７乃
至図１０を用いて説明する。
【００３７】図７は本実施形態によるインクジェットプ
リンタヘッドの構造を示す概略図、図８及び図９は本実
施形態によるインクジェットプリンタヘッドの製造方法
を示す工程断面図、図１０は本実施形態の変形例による
インクジェットプリンタヘッドの製造方法を示す工程図
である始めに、本実施形態によるインクジェットプリン
タヘッドの構造を説明する。
【００３８】アルミナよりなるアルミナ基板１０には、
インクタンクとなる溝１６が形成されている。溝１６の
内壁及び底面には、圧電材料層が２枚の電極により挟ん
で形成された変位層３２が形成されている。アルミナ基
板１０上には、アルミナ基板３６が接合されている。こ
のように、本実施形態によるインクジェットプリンタヘ
ッドは、基板１０に設けられた溝１６の内壁及び底面に
変位層３２が設けられていることに特徴がある。このよ
うにインクジェットプリンタヘッドを構成することによ
り、圧電材料の使用量を大幅に減少することができるの
で、鉛化合物の使用量を大幅に低減できるとともに、小
型化・軽量化を図ることができる。
【００３９】次に、本実施形態によるインクジェットプ
リンタヘッドの製造方法について説明する。まず、第１
実施形態によるインクジェットプリンタヘッドの製造方
法と同様にして、圧電体材料よりなるグリーンシート２
２を形成する。次いで、このように形成したグリーンシ
ート２２の両面に、例えばＡｇ−Ｐｄペーストを用いた
スクリーン印刷法により、電極２８、３０を形成する
（図８（ａ））。
【００４０】続いて、アルミナ基板１０上に、後に剥離
剤として機能する粘着フィルム３４を形成し、ダイシン
グソーにより幅約１５０μｍ、深さ１００μｍの溝１６
を形成する（図８（ｂ））。この後、電極２８、３０が
形成されたグリーンシート２２を、溝１６が形成された
アルミナ基板１０上に重ね、密封袋に入れて真空パック
する。この状態で、静水圧プレスなどの等方等圧プレス
によりグリーンシート２２が重ねられたアルミナ基板１
０を加圧し、これらを積層する。静水圧プレスは、例え
ば８０℃、４０ＭＰａの条件にて行う。
【００４１】次いで、アルミナ基板１０を密閉袋から出
し、粘着フィルム３４を剥離する。粘着フィルム３４の
剥離とともに電極２８、３０が形成されたグリーンシー
ト２２も除去されるが、粘着フィルム３４は、溝１６が
形成されていない領域のアルミナ基板１０表面のみに形
成されているので、電極２８、３０が形成されたグリー
ンシート２２は、溝１６の内壁及び底面にのみ残存す
る。このようにして、溝１６内に変位層３２を形成する
（図８（ｃ）〜図９（ａ））。
【００４２】電気炉にて１０００℃、３時間の焼成を行
った後、絶縁ペーストによりアルミナ基板３６をアルミ
ナ基板１０上に張り付ける。次いで、６００℃の熱処理
を行い、アルミナ基板１０とアルミナ基板３６とを焼き
付ける（図９（ｂ））。続いて、このように張り合わさ
れた基板を切断し、溝１６が形成された側面にノズル３
８を有する基板４０を張り合わせ、インクジェットプリ
ンタヘッドを形成する（図９（ｃ））。
【００４３】このように、本実施形態によれば、アルミ
ナ基板１０に形成された溝１６の内壁及び底部に変位層
３２を形成するので、圧電体材料の使用量を大幅に減少
することができる。これにより、鉛化合物の使用量を大
幅に低減できるとともに、小型化・軽量化を図ることが
できる。なお、上記実施形態では、アルミナ基板１０を
一枚用いた場合について示したが、図１０に示すよう
に、複数枚のアルミナ基板１０を積層することもでき
る。
【００４４】すなわち、変位層３２が形成されたアルミ
ナ基板１０を複数積層し、その最上層にアルミナ基板３
６を張り合わせ（図１０（ａ））、その側面に、ノズル
３８がマトリクス状に形成された基板４０を張り合わせ
れば（図１０（ｂ））。ノズルがマトリクス状に形成さ
れたインクジェットプリンタヘッドを容易に形成するこ
とができる。 ［第３実施形態］本発明の第３実施形態によるインクジ
ェットプリンタヘッドについて図１１を用いて説明す
る。
【００４５】図１１は本実施形態によるインクジェット
プリンタヘッドの構造を示す概略断面図、図１２は本実
施形態によるインクジェットプリンタヘッドにおける印
加電圧と圧電材料層の変位量との関係を示すグラフであ
る。始めに、本実施形態によるインクジェットプリンタ
ヘッドの構造を説明する。本実施形態によるインクジェ
ットプリンタヘッドは、圧電素子と、圧力室板とが積層
されてなるインクジェットプリンタヘッドにおいて、変
位する圧電材料層の領域と、変位しない圧電材料層の領
域とが分離されていることに特徴がある。
【００４６】すなわち、本実施形態による圧電素子４０
は、セラミック等の絶縁基板４２上に、電極４４と、圧
電材料よりなる圧電材料層４６と、電極４８とが積層し
て形成されている。圧電材料層４６には、電極４４、４
８が形成されている領域とされていない領域とを分離す
る溝５０が形成されている。溝５０内には、インクが入
り込まないように弾性体が緩和材として埋め込まれてい
る。このように形成された圧電素子上には、各電極４８
上に圧力室５２を形成する圧力室板５４が接合されてい
る（図１１（ａ））。
【００４７】このように、本実施形態では、電極４４、
４８が設けられた領域、すなわち圧電材料層４６が変位
する領域と、電極４４、４８が設けられていない領域、
すなわち圧電材料層４６が変位しない領域とが溝５０に
より分離されているが、これは次の理由による。すなわ
ち、従来のインクジェットプリンタヘッドでは、図１１
（ｂ）に示すように、電極４４、４８間に電圧を印加し
て圧電材料層４６を変位させると、圧電材料層４６が変
位する領域と、圧電材料層４６が変位しない領域との間
において応力が発生し、電極４８端部の圧電材料層４６
に割れが生じやすい。
【００４８】しかし、図１１（ａ）に示すように圧電材
料層４６が変位する領域と変位しない領域との間に溝５
０を設ければ、圧電材料層４６が変位する領域と変位し
ない領域とが分離されるので、圧電層４６の変位による
応力を緩和することができる。上記のインクジェットプ
リンタヘッドにおいて印加電圧と圧電材料層４６の変位
量との関係を測定した結果、従来の構造の約３倍程度の
変位量を得ることができた。
【００４９】このように、本実施形態によれば、圧電材
料層が変位する領域と変位しない領域との間に溝を設
け、これら領域間に発生する応力を緩和するので、無理
なく大きな変位量が得ることができる。これにより、駆
動面積を小さくすることが可能となり、インクジェット
プリンタヘッドの小型化・高速化を達成することができ
る。
【００５０】なお、上記実施形態では、電極４４と電極
４８とにより挟まれた一層の圧電材料層４６を駆動層と
して用いているが、変位層を多層構造にしてもよい。例
えば、図１３に示すように、電極４４、４８、５６を設
け、これら電極に挟まれた圧電材料層４６、５８により
二層の変位層を形成することができる。このように変位
層を多層にすることにより、一定の電圧を印加した場合
の変位量を増加することができるので、駆動電圧を増加
せずに変位量を大きくすることができる。また、三層以
上の変位層を形成してもよい。
【００５１】また、上記実施形態では、圧電材料層４６
が変位しない領域には電極４４、４８を形成しなかった
が、図１４に示すように、圧電材料層４６が変位しない
領域に電極を形成してもよい。このように電極を残存さ
せることにより、製造過程を簡略にすることができる。
すなわち、溝５０を形成する際に、電極４４、４８との
微細な位置合わせを行う必要がないため、製造工程を簡
略にすることができる。なお、電極が残存していても、
溝５０に変位領域と分離、絶縁されていれば、インクジ
ェットプリンタヘッドの特性を劣化させることはない。
【００５２】また、上記実施形態では、圧力室内に電極
４８が露出する構造のインクジェットプリンタヘッドを
示したが、図１５に示すように、圧電素子４０の内部に
電極が埋め込まれた構造にも、本実施形態を適用するこ
とができる。また、溝５０に埋め込む緩和材は、溝５０
へのインクの侵入を目的としており、弾性係数が高く、
疲労しにくい絶縁材料が適している。例えば、エポキ
シ、ポリイミド、ポリウレタン等の樹脂を適用すること
ができる。弾性係数として規定すれば、圧電素子を構成
する圧電材料の１／１０以下であることが望ましい。
【００５３】［実施例１］厚さ３０μｍのＰＮＮ：Ｐｂ
（Ｎｉ，Ｎｂ）Ｏ3系圧電材料からなるグリーンシート
表面に、Ａｇ−Ｐｄペーストを用いたスクリーン印刷法
により電極パターンを形成した。パターンは、幅７０μ
ｍ、長さ２ｍｍとし、１４０μｍピッチで６４本印刷し
た。
【００５４】次いで、このように電極パターンを印刷し
たグリーンシート４枚と、電極パターンを印刷していな
いグリーンシートをアルミナ基板上に積層、プレスし
た。このように形成した積層体を大気中１０００℃で焼
成した後、電極端部に沿って、幅２０μｍ、深さ８０μ
ｍの溝を研削加工により形成した。続いて、この溝にエ
ポキシ樹脂を真空充填して硬化した後、その表面を研磨
し、圧電素子を形成した。
【００５５】この後、幅１００μｍ、深さ１００μｍ、
長さ２．２ｍｍの圧力室が１４０μｍピッチで６４本形
成され、口径３０μｍのノズル穴６４個が形成されたサ
ス製の圧力室板を形成し、圧電素子上にプレス加工によ
り接着した。次いで、インク供給系、配線を取り付け、
インクジェットプリンタヘッドを作成した。
【００５６】このようにして形成したインクジェットプ
リンタヘッドについてインク飛翔特性の測定を行うとと
もに、このヘッドを４個搭載した７２０ｄｐｉの分解能
を有するカラープリンタを試作し、描画を試みた。この
結果、粒子量６０ｐｌ、粒子速度１０ｍ／ｓ、繰り返し
周波数２０ｋＨｚの飛翔特性が得られた。
【００５７】また、試作したカラープリンタで顔料イン
クを用いて描画を試みたところ、鮮明な画質を得ること
ができた。 ［比較例１］実施例１と同様の手順により、溝が形成さ
れていないインクジェットプリンタヘッドを制作し、イ
ンク飛翔特性の測定を行った。
【００５８】この結果、粒子速度を５ｍ／ｓとした段階
で圧電材料層の破壊により電極間がショートし、飛翔が
止まってしまった。 ［実施例２］実施例１と同様の方法により、表面及び表
面から１００μｍの深さにＡｇ−Ｐｄの電極を有するＰ
ＮＮ：Ｐｂ（Ｎｉ，Ｎｂ）Ｏ3系圧電板を製造した。
【００５９】次いで、長さ１０ｍｍ、幅５０μｍ、深さ
１５０μｍの溝を研削加工により形成し、幅２００μ
ｍ、ピッチ５６０μｍの駆動部を８本形成した。続い
て、この溝にエポキシ樹脂を真空充填して硬化した後、
その表面を研磨し、圧電素子を形成した。この後、幅２
５０μｍ、深さ２００μｍ、長さ１１ｍｍの圧力室が５
６０μｍピッチで８本形成されたサス製の圧力室板と、
口径４０μｍのノズル穴８個が形成されたサス製のノズ
ル板を形成し、圧電素子上にプレス加工により接着し
た。
【００６０】次いで、インク供給系、配線を取り付け、
インクジェットプリンタヘッドを作成した。このように
して形成したインクジェットプリンタヘッドについてイ
ンク飛翔特性の測定を行った結果、粒子量１２０ｐｌ、
粒子速度８ｍ／ｓ、繰り返し周波数１０ｋＨｚの飛翔特
性が得られた。
【００６１】［比較例２］実施例２と同様の手順によ
り、溝が形成されていないインクジェットプリンタヘッ
ドを制作し、インク飛翔特性の測定を行った。この結
果、粒子速度を４ｍ／ｓとした段階で圧電材料層の破壊
により電極間がショートし、飛翔が止まってしまった。 ［第４実施形態］本発明の第４実施形態によるインクジ
ェットプリンタヘッド及びその製造方法について図１６
及び図１７を用いて説明する。
【００６２】図１６は本実施形態によるインクジェット
プリンタヘッドの構造を示す概略図、図１７は本実施形
態によるインクジェットプリンタヘッドの製造方法を示
す工程図である。本実施形態によるインクジェットプリ
ンタヘッドは、変位層が形成された圧電素子と、圧力室
を構成する圧力室板とが、ともに同一の圧電体材料によ
り形成されていることに特徴がある。
【００６３】すなわち、図１６に示すインクジェットプ
リンタヘッドにおいて、複数の電極６２が積層して埋め
込まれて形成された、圧電体材料のセラミックよりなる
圧電素子６０上には、圧電素子６０と同じセラミックよ
りなり、電極６２が形成された領域上に圧力室６６を構
成する圧力室板６４が接合されている。本実施形態で
は、このように圧電素子６０と圧力室板６４を構成する
材料を同一の圧電体材料に形成しているが、これは次の
理由による。
【００６４】すなわち、圧電素子６０と圧力室板６４
は、別々に形成された後に接着剤によって張り付けられ
るが、これらの材料が異なると熱膨張係数も異なるた
め、動作時に界面に生ずるずれ応力により剥離などが発
生することがあるからである。接合部に剥離が生じる
と、インクが界面ににじみ出てしまい、所望のインク飛
翔量を得ることができなくなる。
【００６５】一方、圧電素子６０と圧力室板６４とを同
一の圧電体材料により構成すると、これらを積層して焼
成することだけで容易に強固な接合を形成することがで
きる。また、圧電素子６０と圧力室板６４との熱膨張係
数も同じにできるので、動作時の応力によって剥離が生
じることを防止することができる。次に、本実施形態に
よるインクジェットプリンタヘッドの製造方法について
説明する。
【００６６】まず、第１実施形態によるインクジェット
プリンタヘッドの製造方法と同様にして、圧電体材料よ
りなるグリーンシートを形成する。次いで、このように
形成したグリーンシートの一部に、電極となる電極パタ
ーンを印刷する。例えば、Ａｇ−Ｐｄペーストを用いた
スクリーン印刷法により、グリーンシート上に電極を形
成する。
【００６７】続いて、このように形成した２種類のグリ
ーンシートを積層し、その内部に電極６２が形成された
積層体６８と（図１７（ａ））、その内部に電極が形成
されていない無垢の積層体７０を形成する（図１７
（ｂ））。この後、積層体６８、７０を別々に焼成す
る。例えば、１１００℃、３時間の焼成を大気中にて行
う。
【００６８】次いで、焼成した積層体７０の表面に、接
合用の金属ろう材ペースト７２（例えば、Ａｇ−Ｃｕ−
Ｔｉペースト）を塗布し、７００℃で仮焼きする。続い
て、積層体７０の金属ろう材ペースト７２を塗布した面
に、ダイシングソーにより溝７４を形成する（図１７
（ｃ））。こうして、積層体６８により構成された圧電
素子６０と、積層体７０により構成された圧力室板６４
を形成する。
【００６９】この後、圧電素子６０と圧力室板６４を重
ね、加重を加えながら焼成する。例えば、１０００℃、
５時間の焼成により、圧電素子６０と圧力室板６４とを
接合する。こうして、圧電素子６０、圧力室板６４が接
合されたインクジェットプリンタヘッドを形成する（図
１７（ｄ））。
【００７０】このように、本実施形態によれば、圧電素
子６０と、圧力室板６４とを同一の圧電材料のセラミッ
クにより形成するので、その接合部を強固にすることが
できる。これにより、界面へのインクのにじみがないイ
ンクジェットプリンタヘッドを製造することができる。
なお、上記実施形態では、圧電素子６０と圧力室板６４
とを接合する際に、その接合部に金属ろう材ペースト７
２を塗布したが、金属ろう材ペーストは必ずしも必要は
ない。すなわち、圧電素子６０と圧力室板６４とは同一
の材料により構成しているので、これらを重ね合わせ、
焼成することだけでも接合することができる。例えば、
１１００℃、１時間の焼成により、圧電素子６０と圧力
室板６４とを接合することができる。
【００７１】また、金属ろう材ペーストの代わりに、Ａ
ｕ、Ａｇ−Ｐｄなどの各種厚膜導体を用い、金属の拡散
反応を利用して接合することもできる。また、上記実施
形態では、積層体６８と積層体７０を焼成して圧電素子
６０と圧力室板６４を形成した後にこれらを接合した
が、積層体６８と積層体７０とを同時に焼成して結合し
てもよい。
【００７２】すなわち、焼成前に積層体７０に予め溝７
４を形成しておき、溝７４を有する積層体７０と積層体
６８とを重ねた状態で焼成することができる。このよう
にすれば、一回の焼成でインクジェットプリンタヘッド
を形成することができるので、製造工程を簡略にするこ
とができる。また、上記実施形態では、圧電素子６０及
び圧力室板６４を、ともにグリーンシートを積層して形
成したが、少なくとも接合面におけるこれらの材料が同
じであれば上記の効果を達成できるので、必ずしもグリ
ーンシートを積層して形成したセラミックである必要は
ない。
【００７３】例えば、圧力室板６４を圧粉体法により形
成してもよいし、圧電素子６０の駆動層のみを圧電材料
により形成してもよい。また、上記実施形態では、圧電
素子６０上に、圧力室６６を有する圧力室板を設けたイ
ンクジェットプリンタヘッドについて説明したが、他の
インクジェットプリンタヘッドの構造にも適用すること
ができる。
【００７４】例えば、第１実施形態によるインクジェッ
トプリンタヘッドにおいて、基板１０と蓋体１４を同じ
セラミック材料により形成すれば、本実施形態による効
果を得ることができる。
【００７５】
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、圧力室を
形成するための溝が表面に形成された絶縁基板と、溝が
形成された領域の絶縁基板内部に、第１の電極と、圧電
材料層と、第２の電極とが積層してなる変位層を少なく
とも一層以上有する圧電素子と、溝が形成された側の絶
縁基板表面に接合された蓋体とによりインクジェットプ
リンタヘッドを構成するので、駆動層の駆動により発生
する圧力ロスを低減することができる。また、従来のイ
ンクジェットプリンタヘッドと比較して、製造工程をも
簡略にすることができる。
【００７６】また、上記のインクジェットプリンタヘッ
ドにおいて、溝の形状を、角部を丸くしたＵ字型にすれ
ば、駆動層の変位量を多くすることができる。また、上
記のインクジェットプリンタヘッドにおいて、複数の圧
電素子を一つの絶縁基板上に形成し、それぞれの圧電素
子が形成された領域を、絶縁基板内に形成されたスリッ
トにより仕切れば、隣り合う圧電素子間の干渉を抑えて
インク飛翔特性を良好にすることができる。
【００７７】また、圧力室を形成するための溝が表面に
形成された絶縁基板と、溝の側壁及び底面に、第１の電
極と、圧電材料層と、第２の電極とが積層して形成され
た変位層とを有する圧電素子と、溝が形成された側の絶
縁基板表面に接合された蓋体とによりインクジェットプ
リンタヘッドを構成するので、インクジェットプリンタ
ヘッドの製造工程を大幅に簡略にすることができる。ま
た、鉛化合物である圧電材料の使用量を大幅に減少でき
るので、軽量化が可能であるとともに、環境保護の面か
らも効果がある。
【００７８】また、絶縁基板と；絶縁基板内に形成さ
れ、第１の電極と、第１の圧電材料層と、第２の電極と
からなる積層体が少なくとも一層以上積層されてなる変
位層と；変位層の両側に設けられた溝と、圧電素子上に
形成され、第２の電極上に圧力室を形成するための開口
が形成された基板とによりインクジェットプリンタヘッ
ドを構成するので、圧電材料層が変位する領域と変位し
ない領域との間に発生する応力が緩和され、無理なく大
きな変位量が得ることができる。これにより、駆動面積
を小さくすることが可能となり、インクジェットプリン
タヘッドの小型化・高速化を達成することができる。
【００７９】また、上記のインクジェットプリンタヘッ
ドを用いてインクジェットプリンタを形成すれば、高性
能のインクジェットプリンタを構成することができる。
また、表面に電極が形成された第１のグリーンシート
と、表面に電極が形成されていない第２のグリーンシー
トをそれぞれ複数枚用意し、第１のグリーンシート及び
第２のグリーンシートを複数枚積層して焼成し、その内
部に電極が埋め込まれた基板を形成する基板形成工程
と、電極が埋め込まれた領域上の基板表面に圧力室とな
る溝を形成し、溝の底部に変位層を有する圧電素子を形
成する圧電素子形成工程と、溝が形成された側の圧電素
子上に蓋体を接合する蓋体接合工程とによりインクジェ
ットプリンタヘッドを製造するので、従来の製造方法と
比較して大幅に製造工程を削減することができる。
【００８０】また、基板上に、剥離剤をコーティングす
る剥離剤コーティング工程と、剥離剤がコーティングさ
れた側の基板表面に、圧力室となる溝を形成する溝形成
工程と、溝が形成された基板表面に、両面に電極が印刷
された圧電体材料よりなるグリーンシートをプレスによ
り一体化するプレス工程と、溝が形成されていない基板
の領域上のグリーンシートを、剥離剤とともに除去し、
溝の内壁及び底部にのみグリーンシートを残存させる剥
離工程と、グリーンシートが一体化された基板を焼成
し、溝の内壁及び底部に変位層が形成された圧電素子を
形成する圧電素子形成工程と、圧電素子上に蓋体を接合
する蓋体接合工程とによりインクジェットプリンタヘッ
ドを製造するので、鉛化合物である圧電材料の使用量を
大幅に減少することができる。
【００８１】また、変位層を有する圧電素子と、変位層
が形成された側の圧電素子上に形成され、変位層上に圧
力室を形成するための開口が形成された基板とを有する
インクジェットプリンタの製造方法において、少なくと
も圧電素子と基板とが接合する部位の圧電素子及び基板
を同一の物質により構成し、圧電素子と基板を焼成して
一体化するので、圧電素子と基板との接合部の剛性を高
めることができる。これにより、インク飛翔特性を向上
することができる。
【００８２】また、上記のインクジェットプリンタヘッ
ドの製造方法において、圧電素子と基板との接合部に金
属層を設け、金属層を構成する金属の拡散反応を利用し
て接合すれば、より低温の焼成で圧電素子と基板とを接
合することができる。また、上記のインクジェットプリ
ンタヘッドの製造方法において、表面に電極が形成され
た第１のグリーンシートと、表面に電極が形成されてい
ない第２のグリーンシートをそれぞれ複数枚形成するグ
リーンシート形成工程と、第１のグリーンシート及び第
２のグリーンシートを複数枚積層し、圧電素子となる第
１の積層体を形成する第１の積層体形成工程と、第２の
グリーンシートを複数枚積層した後、その表面に圧力室
を形成するための開口を形成し、基板となる第２の積層
体を形成する第２の積層体形成工程と、第１の積層体と
第２の積層体とを積層して焼成し、圧電素子と基板とを
一体化する焼成工程とによりインクジェットプリンタヘ
ッドを製造すれば、一回の焼成でインクジェットプリン
タヘッドを形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態によるインクジェットプ
リンタヘッドの構造を示す概略断面図である。
【図２】駆動層の厚さとクロストークとの関係を示すグ
ラフである。
【図３】本発明の第１実施形態によるインクジェットプ
リンタヘッドの製造方法を示す工程図（その１）であ
る。
【図４】本発明の第１実施形態によるインクジェットプ
リンタヘッドの製造方法を示す工程図（その２）であ
る。
【図５】本発明の第１実施形態の変形例によるインクジ
ェットプリンタヘッドの構造を示す概略断面図（その
１）である。
【図６】本発明の第１実施形態の変形例によるインクジ
ェットプリンタヘッドの構造を示す概略断面図（その
２）である。
【図７】本発明の第２実施形態によるインクジェットプ
リンタヘッドの構造を示す概略図である。
【図８】本発明の第２実施形態によるインクジェットプ
リンタヘッドの製造方法を示す工程図（その１）であ
る。
【図９】本発明の第２実施形態によるインクジェットプ
リンタヘッドの製造方法を示す工程図（その２）であ
る。
【図１０】本発明の第２実施形態の変形例によるインク
ジェットプリンタヘッドの製造方法を示す工程図であ
る。
【図１１】本発明の第３実施形態によるインクジェット
プリンタヘッドの構造を示す概略断面図である。
【図１２】本発明の第３実施形態によるインクジェット
プリンタヘッドにおける印加電圧と圧電材料層の変位量
との関係を示すグラフである。
【図１３】本発明の第３実施形態の変形例によるインク
ジェットプリンタヘッドの構造を示す概略断面図（その
１）である。
【図１４】本発明の第３実施形態の変形例によるインク
ジェットプリンタヘッドの構造を示す概略断面図（その
２）である。
【図１５】本発明の第３実施形態の変形例によるインク
ジェットプリンタヘッドの構造を示す概略断面図（その
３）である。
【図１６】本発明の第４実施形態によるインクジェット
プリンタヘッドの構造を示す概略図である。
【図１７】本発明の第４実施形態によるインクジェット
プリンタヘッドの製造方法を示す工程図である。
【図１８】従来のインクジェットプリンタヘッドの構造
を示す概略図である。
【符号の説明】
１０…基板 １２…接着剤 １４…蓋体 １６…溝 １８…内部電極 ２０…駆動層 ２２…グリーンシート ２４…スリット ２８…電極 ３０…電極 ３２…変位層 ３４…粘着フィルム ３６…アルミナ基板 ４０…圧電素子 ４２…絶縁基板 ４４…電極 ４６…圧電材料層 ４８…電極 ５０…溝 ５２…圧力室 ５４…圧力室板 ５６…電極 ５８…圧電材料層 ６０…圧電素子 ６２…電極 ６４…圧力室板 ６６…圧力室 ６８…積層体 ７０…積層体 ７２…金属ろう材ペースト ７４…溝 ８０…圧電素子 ８２…圧力室板 ８４…ノズル板 ８６…絶縁基板 ８８…下部電極 ９０…圧電材料層 ９２…上部電極 ９４…圧力室 ９６…インク供給路 ９８…インク導通路 １００…ノズル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 41/22 (72)発明者 肥田 勝春 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 今中 佳彦 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 表 孝司 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 圧力室を形成するための溝が表面に形成
    された絶縁基板と、前記溝が形成された領域の前記絶縁
    基板内部に、第１の電極と、圧電材料層と、第２の電極
    とが積層してなる変位層を少なくとも一層以上有する圧
    電素子と、 前記溝が形成された側の前記絶縁基板表面に接合された
    蓋体とを有することを特徴とするインクジェットプリン
    タヘッド。
  2. 【請求項２】 請求項１記載のインクジェットプリンタ
    ヘッドにおいて、 前記溝は、角部を丸くしたＵ字型であることを特徴とす
    るインクジェットプリンタヘッド。
  3. 【請求項３】 請求項１又は２記載のインクジェットプ
    リンタヘッドにおいて、 複数の前記圧電素子が一つの前記絶縁基板上に形成され
    ており、それぞれの前記圧電素子が形成された領域は、
    前記絶縁基板内に形成されたスリットにより仕切られて
    いることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
  4. 【請求項４】 圧力室を形成するための溝が表面に形成
    された絶縁基板と、前記溝の側壁及び底面に、第１の電
    極と、圧電材料層と、第２の電極とが積層して形成され
    た変位層とを有する圧電素子と、 前記溝が形成された側の前記絶縁基板表面に接合された
    蓋体とを有することを特徴とするインクジェットプリン
    タヘッド。
  5. 【請求項５】 絶縁基板と；前記絶縁基板内に形成さ
    れ、第１の電極と、第１の圧電材料層と、第２の電極と
    からなる積層体が少なくとも一層以上積層されてなる変
    位層と；前記変位層の両側に設けられた溝と、 前記圧電素子上に形成され、前記第２の電極上に圧力室
    を形成するための開口が形成された基板とを有すること
    を特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
  6. 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれかに記載のイン
    クジェットプリンタヘッドを有することを特徴とするイ
    ンクジェットプリンタ。
  7. 【請求項７】 表面に電極が形成された第１のグリーン
    シートと、表面に電極が形成されていない第２のグリー
    ンシートをそれぞれ複数枚用意し、前記第１のグリーン
    シート及び前記第２のグリーンシートを複数枚積層して
    焼成し、その内部に前記電極が埋め込まれた基板を形成
    する基板形成工程と、 前記電極が埋め込まれた領域上の前記基板表面に圧力室
    となる溝を形成し、前記溝の底部に変位層を有する圧電
    素子を形成する圧電素子形成工程と、 前記溝が形成された側の前記圧電素子上に蓋体を接合す
    る蓋体接合工程とを有することを特徴とするインクジェ
    ットプリンタヘッドの製造方法。
  8. 【請求項８】 基板上に、剥離剤をコーティングする剥
    離剤コーティング工程と、 前記剥離剤がコーティングされた側の前記基板表面に、
    圧力室となる溝を形成する溝形成工程と、 前記溝が形成された前記基板表面に、両面に電極が印刷
    された圧電体材料よりなるグリーンシートをプレスによ
    り一体化するプレス工程と、 前記溝が形成されていない前記基板の領域上の前記グリ
    ーンシートを、前記剥離剤とともに除去し、前記溝の内
    壁及び底部にのみ前記グリーンシートを残存させる剥離
    工程と、 前記グリーンシートが一体化された前記基板を焼成し、
    前記溝の内壁及び底部に変位層が形成された圧電素子を
    形成する圧電素子形成工程と、 前記圧電素子上に蓋体を接合する蓋体接合工程とを有す
    ることを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製
    造方法。
  9. 【請求項９】 変位層を有する圧電素子と、前記変位層
    が形成された側の前記圧電素子上に形成され、前記変位
    層上に圧力室を形成するための開口が形成された基板と
    を有するインクジェットプリンタの製造方法において、 少なくとも前記圧電素子と前記基板とが接合する部位の
    前記圧電素子及び前記基板を同一の物質により構成し、 前記圧電素子と前記基板を焼成して一体化することを特
    徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
  10. 【請求項１０】 請求項９記載のインクジェットプリン
    タヘッドの製造方法において、 前記圧電素子と前記基板との接合部に金属層を設け、前
    記金属層を構成する金属の拡散反応を利用して接合する
    ことを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造
    方法。
  11. 【請求項１１】 請求項９記載のインクジェットプリン
    タヘッドの製造方法において、 表面に電極が形成された第１のグリーンシートと、表面
    に電極が形成されていない第２のグリーンシートをそれ
    ぞれ複数枚形成するグリーンシート形成工程と、 前記第１のグリーンシート及び前記第２のグリーンシー
    トを複数枚積層し、前記圧電素子となる第１の積層体を
    形成する第１の積層体形成工程と、 前記第２のグリーンシートを複数枚積層した後、その表
    面に前記圧力室を形成するための前記開口を形成し、前
    記基板となる第２の積層体を形成する第２の積層体形成
    工程と、 前記第１の積層体と前記第２の積層体とを積層して焼成
    し、前記圧電素子と前記基板とを一体化する焼成工程と
    を有することを特徴とするインクジェットプリンタヘッ
    ドの製造方法。
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