DE10007055A1 - Tropfenerzeuger für Mikrotropfen, insbesondere Düsenkopf für Tintendrucker - Google Patents

Abstract

Ein Tropfenerzeuger für Mikrotropfen, insbesondere ein Düsenkopf für Tintendrucker, weist in einem Gehäuse (2) einen Biegewandler (1) auf, dessen Biegekamm aus einem rückwärtigen, passiven Abschnitt (3) der Kammzähne mit einem quer verlaufenden Verbindungsdamm (4) und dessen vorderer, den Düsen (5) zugeordneter, aktiver Abschnitt (6) aus Biegezungen (7) besteht. DOLLAR A Um die Frequenzkriterien zu verbessern, wird vorgeschlagen, dass der Biegewandler (1), der aus einer Trägerschicht (8) und aus der verbundenen piezoelektrischen Schicht (9) besteht, an der Unterseite (3a) im passiven Abschnitt (3) der Trägerschicht (8) Stufenausschnitte (10) aufweist, derart, dass zumindest ein vorstehender Auflageabschnitt (11) gebildet ist.

Description

Die Erfindung betrifft einen Tropfenerzeuger für Mikrotropfen, insbesondere einen Düsenkopf für Tintendrucker, der einen piezoelektrisch betätigbaren Biegewandler in einem Gehäuse aufweist, mit einem Biegekamm, dessen rückwärtiger Bereich einen passiven Abschnitt der Kammzähne mit einem querverlaufenden Verbindungsdamm und dessen vorderer, den Düsen zugeordneter Bereich, den aktiven, aus Biegezun­ gen bestehenden Abschnitt bildet.

Ein derartiger Tropfenerzeuger ist z. B. aus der DE 691 20 806 T2 bekannt. Diese Bauweise ist jedoch sehr kompliziert aufgebaut und kompliziert in der Herstellung. Vom System abhängige Maße, wie z. B. Formsteifigkeit, wirksame Länge der Kamm­ zähne und die Fluidspalte, werden über große Maßketten hergestellt. Es werden ex­ treme Anforderungen an die Vielzahl der Einzelteile und an die Montage gestellt. Zu hohe Toleranzen in der Fertigung führen zu Unterschieden in der Tropfengröße, dem Ausstoßwinkel und in der Frequenz der einzelnen Biegewandler. Dadurch entstehen Ausdrucke (Punktmuster), die fehlerhaft und ungleichmäßig in der Lage der Einzel­ punkte sind, so dass Informationsverfälschungen auftreten und die automatische Auswertung derartiger Informationen nicht ohne Probleme erfolgen kann.

Ein besonderes Problem stellt die Aufrechterhaltung einer gewählten Ausstoß- Frequenz dar, die größer als 8 kHz liegen kann. Auf diese Frequenz muß der Biege­ wandler mittels seiner Struktursteifigkeit abgestimmt sein. Für die Funktion des Bie­ gewandlers sind aber auch weitere Größen von Bedeutung: Die exakte Lage der Biegekante der Biegezunge, die Länge des Biegebalkens, die Konstanz des Randspaltes zur Nachbar-Biegezunge oder zu einer Zwischenwand, der Abstand der Biegezunge zur stirnseitigen Wand, in der sich die Düse befindet, der Abstand der Biegezunge zu einer Bodenplatte, die Steifigkeit der Einspannstelle der Biegezunge, die Steifigkeit der Biegezunge selbst, die Verluste durch Flüssigkeitsreibung im Randspalt zur Begrenzungswand, der Zulaufquerschnitt für die nachfolgende Flüs­ sigkeit, die Dämpfung durch das Flüssigkeitspolster unter der Biegezunge, die Fluid­ geschwindigkeit in der Düse und die damit verbundene Kompression.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, von den geschilderten Kriterien diejenigen zu verbessern, die der Stabilisierung der Frequenz dienen oder damit zusammen­ hängen.

Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass der Biegewandler, der aus einer Trägerschicht und aus der verbundenen piezoelektrischen Schicht be­ steht, an der Unterseite im passiven Abschnitt der Trägerschicht Stufenausschnitte aufweist derart, dass zumindest ein vorstehender Auflageabschnitt gebildet ist. Da­ durch wird der Biegewandler frequenzstabiler, d. h. er kann mit immer gleichbleibend hoher Frequenz betrieben werden. Die Biegezunge erhält dadurch eine genau be­ stimmte Einspannstelle bei unveränderter Masse. Besonders vorteilhaft ist eine fluchtende Lage des Auflageabschnittsendes mit der Kante des auf der Piezo- Schicht gegenüberliegenden Verbindungsdamms.

Der Auflageabschnitt kann nach einem weiteren Merkmal auflaminiert sein. Dadurch kann eine exakte Lagerkante hergestellt werden. Außerdem kann eine exakte Stu­ fenhöhe und Stufenlage zum freien Ende der Biegezunge erreicht werden.

Eine Keramikplatte kann auch auf andere Art bearbeitet werden. So ist vorgesehen, dass der Auflageabschnitt durch Abschleifen hergestellt ist. An der Keramikplatte lassen sich die Biegekante, die Länge der Biegezunge und das Stufenmaß zusam­ men mit anderen Außenmaßen leicht und genau herstellen.

Eine andere Verbesserung sieht vor, dass der Auflageabschnitt des Biegewandlers sich bis in den aktiven Abschnitt stetig zur Spitze hin verjüngt. Diese Verjüngung der Biegezunge reduziert die zu bewegende Masse, ohne das Biegemoment zu beein­ flussen. Die Piezo-Schicht (ein Piezomultilayer) bleibt davon unberührt, so dass die Antriebskraft voll erhalten bleibt. Ferner wird dem Phänomen entgegengewirkt, dass die Biegezunge auf der Grundplatte aufschlagen könnte. Ein Flüssigkeitspolster un­ ter der Biegezunge wirkt dämpfend und reduziert die erreichbare Frequenz. Die Ver­ jüngung führt daher zu einem Ausdrücken der Flüssigkeit in Richtung der Düse und erhöht dadurch das Verhältnis der bewegten Flüssigkeitsmenge zur ausgestoßenen Flüssigkeitsmenge und die erreichbare Frequenz.

Eine andere Ausgestaltung sieht vor, dass der Biegewandler an der Spitze im Be­ reich der Verjüngung einen Vorsprung bildet, der gegen eine Grundplatte gerichtet ist. Dadurch kann die Fluid-Kompression in der Düse erhöht werden. Der Vorsprung kann durch Anformen in Verbindung mit dem Stufenausschnitt mittels eines Formfrä­ sers oder einer Schleifscheibe in einem Arbeitsgang erfolgen. Das Verhältnis zwi­ schen bewegtem und verdrängtem Fluid wird dadurch noch weiter verbessert und man nähert sich dem Ziel, die durch die Biegezunge bewegte Flüssigkeit möglichst vollständig aus der Düse auszustoßen.

Dabei kann der Vorsprung in Längsrichtung etwa rechteckigen Umriss aufweisen, was für die Herstellung vorteilhaft ist.

Nach einer anderen Ausgestaltung ist vorgeschlagen, dass zwischen zwei Auflage­ abschnitten eine Mulde als Stufenausschnitt gebildet ist. Eine solche Mulde kann auch aus Gründen des Verlaufs des Biegemomentes rund oder oval sein. Für die Steifigkeit und die Lage der Einspannstelle ist eine volle Klebefläche mit dünnem Klebstofffilm von großer Bedeutung. Überschüssiger Klebstoff kann in der Mulde auf­ genommen werden. Der Klebstoff kann als Tropfen (bumps) im Bereich der Mulde aufgetragen werden und wird durch Kapillarkräfte in den Klebspalt gezogen.

Weitere Vorteile ergeben sich daraus, dass mittels des Steigungswinkels der Verjün­ gung die Länge des aktiven Abschnitts beeinflussbar ist. Dadurch kann auch der Verdrängungsverlauf geändert werden.

Eine anderer Vorteil ergibt sich dadurch, dass mittels des Steigungswinkels der Ver­ jüngung die Größe des Verdrängungsraums für die Flüssigkeit beeinflussbar ist. Da­ durch können die Strömungsverhältnisse beim Ausstoßen der Flüssigkeit variiert werden.

Eine weitere Ausgestaltung sieht vor, dass die Herstellung der Auflageabschnitte, der Mulde und/oder der Verjüngung vor dem Trennen in eine Gruppe von Biegezungen durchführbar ist. Dadurch ergibt sich eine gleichmäßige Ausbildung der Biegezun­ gen.

Weiter wird vorgeschlagen, dass der Biegekamm in Ausnehmungen einer Rahmen­ platte mit den Biegezungen positionierbar ist, dass das hintere Ende einer mittleren Biegezunge in einer Biegezungen-Gruppe in einer mittleren Ausnehmung toleriert geführt ist und dass jeweils äußere Biegezungen der Gruppe gegen die Enden der äußeren Ausnehmungen angeschlagen positionierbar sind. Dadurch wird eine sehr genaue Lage der Biegezungen in der Rahmenplatte bestimmt.

Ein anderer Vorschlag besteht darin, dass in den Ausnehmungen der Rahmenplatte im aktiven Abschnitt für die Biegezungen jeweils beidseitig einer Ausnehmung Taschen für einen verstärkten Flüssigkeitszufluss vorgesehen sind. Dadurch wird eine Frequenzbeeinflussung durch hydraulische Dämpfung weitestgehend vermieden oder herabgesetzt. Je kleiner sich die gegenüberliegenden Flächen sind, desto klei­ ner wird die Reibung und damit die Dämpfungskraft.

Nach anderen Ausgestaltungen ist vorgesehen, dass die Ausnehmungen in der Rahmenplatte einen partiellen Bodenbereich mit Auflagerabschnitten bilden. Der Biegewandler kann dadurch in seiner Höhenlage unter Einhaltung eines Zwischen­ raums eingestellt werden.

Nach anderen Merkmalen wird vorgeschlagen, dass der Auflageabschnitt eine Stufe zu einer unter der Rahmenplatte dicht angeordneten Grundplatte bildet, die dem ver­ stärkten Flüssigkeitszulauf dient. Es entsteht dadurch ein größeres verfügbares Flüs­ sigkeitsvolumen.

Eine vorteilhafte Herstellung eines solchen Auflageabschnitts wird ferner dadurch ermöglicht, dass der Auflageabschnitt durch partiellen Auftrag mittels Siebdrucks herstellbar ist. Daher kann der Auflageabschnitt entweder an dem Biegewandler oder an der Grundplatte leicht angebracht werden.

Im Fall der Anbringung eines weiteren Auflageabschnittes an der Grundplatte können verschiedene Kriterien erfüllt werden, indem der Auflageabschnitt ein solches Stu­ fenmaß zur Grundplatte bildet, dass die Biegezungen berührungsfrei relativ zur Grundplatte beim Überschwingen bleiben.

Eine alternative Ausführungsform der Erfindung ergibt sich dadurch, dass die Stufe oder das Stufenmaß zwischen der Grundplatte und der Biegezunge in Ruhelage mittels auf der Grundplatte angeordneten, vorspringenden Auflagerabschnitten gebil­ det ist, wobei die Unterseite der Biegezunge im aktiven Abschnitt eben ausgeführt ist. Dadurch kann ebenso ein richtiges Maß für das Überschwingen der Biegezungen eingestellt werden bei entsprechend großem Nachschub an Flüssigkeit.

Es ist auch möglich den richtigen Abstand der bei Bestromung schwingenden Biege­ zungen zur Grundplatte dahingehend einzustellen, dass sowohl an dem Biegewand­ ler als auch an der Grundplatte sich ergänzende Auflageabschnitte und Auflagerab­ schnitte vorgesehen sind.

In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt, die nachste­ hend näher erläutert werden.

Es zeigen:

Fig. 1 eine Seitenansicht eines Biegewandlers in einer ersten Ausführungs­ form,

Fig. 2 die Draufsicht auf eine Gruppe von Biegewandlern in einer Herstel­ lungsphase,

Fig. 3 eine perspektivische Ansicht des Biegewandlers aus Fig. 1,

Fig. 4 eine Seitenansicht des Biegewandlers in einer zweiten Ausführungs­ form,

Fig. 5 eine Draufsicht auf den Biegewandler zu Fig. 4,

Fig. 6 eine perspektivische Ansicht des Biegewandlers aus Fig. 4,

Fig. 7 eine Seitenansicht des Biegewandlers in einer dritten Ausführungs­ form,

Fig. 8 eine Draufsicht auf den Biegewandler zu Fig. 7,

Fig. 9 eine perspektivische Ansicht des Biegewandlers zu Fig. 7,

Fig. 10 einen ebenen Längsschnitt durch den fertig montierten Tropfenerzeuger ohne Gehäuse,

Fig. 11 einen Querschnitt durch den Tropfenerzeuger in einer weiteren Ausfüh­ rungsform mit einem veränderten Verdrängungsraum,

Fig. 12 einen vergrößerten Ausschnitt einer Einzelheit "X" aus Fig. 13,

Fig. 13 eine Draufsicht auf eine Gruppe von Biegewandlern in einer Herstel­ lungsphase,

Fig. 14 eine Explosionsdarstellung des Tropfenerzeugers in einer weiteren Ausführungsform,

Fig. 15 eine vereinfachte Darstellung des Tropfenerzeugers in Explosionsdar­ stellung in einer weiteren Ausführungsform und

Fig. 16 einen ebenen Teilschnitt aus Fig. 15 durch die Rahmenplatte.

Der Tropfenerzeuger für Mikrotropfen dient z. B. als Düsenkopf für Tintendrucker, und weist als wesentliche Baugruppe einen piezoelektrisch betätigbaren Biegewandler 1 auf. Ein solcher Biegewandler 1 ist zur Umhüllung eines dichten Flüssigkeitsraums von einem Gehäuse 2 umschlossen. Der Biegewandler 1 besitzt einen passiven Ab­ schnitt 3 im rückwärtigen Bereich, in dem die Kammzähne unter einem querverlau­ fenden Verbindungsdamm 4 ihre Biegelinie im Werkstoff besitzen. Demgegenüber besteht der den Düsen 5 zugewandte Bereich aus dem aktiven Abschnitt 6, der aus Biegezungen 7 gebildet ist, die in einer der Düsenzahl entsprechenden Anzahl par­ allel nebeneinander verlaufen.

Der Biegewandler 1 ist gemäß den Fig. 1 bis 3 innerhalb der Biegezunge 7 jeweils aus einer Trägerschicht 8 und aus einer piezoelektrischen Schicht 9 aufgebaut. In der Trägerschicht 8 ist an der Unterseite 3a ein Stufenausschnitt 10 eingebracht. Da­ durch entsteht zumindest ein vorstehender Auflageabschnitt 11. Diese Formgebung trägt zur Biegeversteifung bei und damit zur Beeinflussung der Frequenzstabilität (im Bereich von größer als 8 kHz). Der Auflageabschnitt 11 kann z. B. auflaminiert sein oder durch Abschleifen hergestellt werden (vor dem Auftrennen in Biegezungen 7).

Der Auflageabschnitt 11 des Biegewandlers 1 kann in Verbindung mit anderen Merkmalen zur Frequenzstabilisierung beitragen. Hierzu ist der aktive Abschnitt 6, gemäß den Fig. 4 bis 6 stetig zur Spitze 12 hin verjüngt.

Der Biegewandler 1, Fig. 7 bis 9, kann an der Spitze 12 im Bereich der Verjüngung 13 einen Vorsprung 14 bilden, der gegen eine Grundplatte 15 gerichtet ist (vgl. Fig. 10). Der Vorsprung 14 ist in Längsrichtung 16 etwa mit einem rechteckigen Umriss 17 ausgeführt.

Wie in Fig. 10 gezeigt ist, können die Stufenausschnitte 10 allgemein als eine Mulde 18 ausgeführt sein, so dass abweichend von einem rechteckigen Stufenausschnitt 10 auch andere Muldenformen anwendbar sind. Mittels des Steigungswinkels 19 der Verjüngung 13 ist die Länge des aktiven Abschnitts 6 des Biegewandlers 1 beein­ flussbar. Über den Steigungswinkel 19 der Verjüngung 13 kann gleichzeitig die Grö­ ße des Verdrängungsraumes 20 für die jeweilige Flüssigkeitsmenge, Tropfengröße u. dgl. beeinflusst werden.

In den Fig. 4 und 8 ist angezeigt, dass die Herstellung der Auflagenabschnitte 11, der Mulde 18 und/oder der Verjüngung 13 vor dem Trennen in eine Gruppe 21 von Bie­ gezungen 7 stattfindet.

In den Fig. 11 bis 13 ist die Montage des Biegewandlers 1 näher dargestellt. Der Biegekamm (passiver Abschnitt 3) ist in Ausnehmungen 22 einer Rahmenplatte 23 mit den Biegezungen 7 in der Art positioniert, dass das hintere Ende 7a einer mittle­ ren Biegezunge 7b einer Gruppe 21 von Biegezungen 7 in einer (mittleren) Ausneh­ mung 22 seitlich toleriert geführt ist, was bedeutet, dass die Toleranz zwischen der Ausnehmung 22 und der Breite der Biegezunge 7 sehr gering angesetzt ist. Die je­ weils äußere Biegezunge 7c der Gruppe 21 ist gegen die Enden 22a der äußeren Ausnehmungen 22 als ein Anschlag positioniert.

Gemäß Fig. 12 sind in den Ausnehmungen 22 der Rahmenplatte 23 im aktiven Ab­ schnitt 6 für die Biegezungen 7 jeweils beidseitig in Längsrichtung 16 einer Ausneh­ mung 22 Taschen 24 für einen verstärkten Flüssigkeitsfluss vorgesehen.

In Fig. 14 sind neben dem Gehäuse 2, der Biegewandler 1, die Rahmenplatte 23 und die Grundplatte 15 in Explosionsdarstellung gezeigt, wobei in das Gehäuse 2 noch ein Sieb 25 für die zuzuführende Flüssigkeit eingesetzt wird.

Die Grundplatte 15 weist neben den Düsen 5, die oben und unten an der Vorder­ kante der Grundplatte 15 für ein Stapeln der Biegewandler 1 vorgesehen sind, noch vorstehende Auflagerabschnitte 26 in der Art der Auflageabschnitte 11 auf. Der Auflagerabschnitt 11 ist durch partiellen Auftrag mittels Siebdruck oder flächigem Abtrag der Umgebung durch Ätzen hergestellt. Sodann sind in Fig. 14 in der Rah­ menplatte 23 die Ausnehmungen 22, die Taschen 24, das Ende 22a einer Ausneh­ mung 22 und der Anschlag durch das Ende 22a für das hintere Ende 7a der Biege­ zunge 7 erkennbar, das Teil des Biegekamms ist und durch den Verbindungsdamm 4 starr gehalten wird.

In Fig. 15 sind das Gehäuse 2, der Biegewandler 1, die Rahmenplatte 23 und die Grundplatte 15 ebenfalls als Explosionsdarstellung derart perspektivisch gezeigt, dass ein Boden 27 die Ausnehmungen 22 nach unten abschließt, und der einen Auflagerabschnitt 27a mit einem fest bestimmten Stufenmaß 27b aufweist. Der Auf­ lagerabschnitt 27a ist in einem separaten Ätzschritt zusammen mit den Ausnehmun­ gen 22 hergestellt.

Gemäß Fig. 16 ist die Stufe 10a mit einem solchen Stufenmaß 27b zur Grundplatte 15 festgelegt, dass die Biegezunge 7 jeweils berührungsfrei (z. B. in Fig. 11 sichtbar) relativ zur Grundplatte 15 während der Schwingbewegung bleibt. Neben dem Bo­ denbereich 27 und dem Auflagerabschnitt 27a ergibt sich eine langgestreckte Öff­ nung 28.

Die Stufen 10a oder das Stufenmaß 27b zwischen der Grundplatte 15 und der jewei­ ligen Biegezunge 7 wird andererseits mittels auf der Grundplatte 15 angeordneten Auflagerabschnitten (Lagerstellen) 26 gebildet, wobei die Unterseite 3a der Biege­ zunge 7 eben ausgeführt sein kann.

Auf diese Art können sowohl an dem Biegewandler 1 als auch an der Grundplatte 15 sich ergänzende Auflageabschnitte 11 bzw. Auflagerabschnitte 26 durch Stufen 10a von Auflageabschnitten 11 oder Auflagerabschnitten 26 vorgesehen sein. Dadurch kann ein ausreichend großer Verdrängungsraum 20 für die Flüssigkeit zur Tropfen­ bildung in geeigneter Größe geschaffen werden.

Gemäß Fig. 16 sind die Trägerschicht 8 und die Piezoschicht 9 auf den Auflagerab­ schnitten 27a aufgelegt, wobei die Stufenausschnitte 10 mit einem Stufenmaß 27b ausgeführt sind. In Fig. 17 liegt die Biegezunge 7, bestehend aus der Trägerschicht 8 und der Piezoschicht 9 durch eine Klebstoffschicht 29 auf den Auflagerabschnitten 27a auf und ist dadurch sicher befestigt und bildet somit die Biegestelle für die jewei­ lige Biegezunge 7. Sofern beim Kleben ein Klebstoffüberhang 30 entsteht, fällt dieser in den betreffenden Stufenausschnitt 10 innerhalb des Stufenmaßes 27b.

Bezugszeichenliste

1

Biegewandler

2

Gehäuse

3

passiver Abschnitt

3

a Unterseite

4

Verbindungsdamm

5

Düse

6

aktiver Abschnitt

7

Biegezunge

7

a hinteres Ende

7

b mittlere Biegezunge

7

c äußere Biegezunge

8

Trägerschicht

9

piezoelektrische Schicht

10

Stufenausschnitt

10

a Stufe

11

vorstehender Auflageabschnitt

12

Spitze

13

Verjüngung

14

Vorsprung

15

Grundplatte

16

Längsrichtung

17

Umriss

18

Mulde

19

Steigungswinkel

20

Verdrängungsraum

21

Gruppe von Biegezungen

22

Ausnehmungen

22

a Ende

23

Rahmenplatte

24

Tasche

25

Sieb

26

Auflagerabschnitt der Grundplatte

27

Bodenbereich

27

a Auflagerabschnitte

27

b Stufenmaß

28

Öffnung

29

Klebstoffschicht

30

Klebstoffüberhang (bumps)

Claims (18)

1. Tropfenerzeuger für Mikrotropfen, insbesondere Düsenkopf für Tintendrucker, der einen piezoelektrisch betätigbaren Biegewandler in einem Gehäuse auf­ weist, mit einem Biegekamm, dessen rückwärtiger Bereich einen passiven Abschnitt der Kammzähne mit einem querverlaufenden Verbindungsdamm und dessen vorderer, den Düsen zugeordneter Bereich, den aktiven, aus Bie­ gezungen bestehenden Abschnitt bildet, dadurch gekennzeichnet, dass der Biegewandler (1), der aus einer Trägerschicht (8) und aus der ver­ bundenen piezoelektrischen Schicht (9) besteht, an der Unterseite (3a) im passiven Abschnitt (3) der Trägerschicht (8) Stufenausschnitte (10) aufweist derart, dass zumindest ein vorstehender Auflageabschnitt (11) gebildet ist.

2. Tropfenerzeuger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Auflageabschnitt (11) auflaminiert ist.

3. Tropfenerzeuger nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Auflageabschnitt (11) durch Abschleifen hergestellt ist.

4. Tropfenerzeuger nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Auflageabschnitt (11) des Biegewandlers (1) sich bis in den aktiven Abschnitt (6) stetig zur Spitze (12) hin verjüngt.

5. Tropfenerzeuger nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Biegewandler (1) an der Spitze (12) im Bereich der Verjüngung (13) einen Vorsprung (14) bildet, der gegen eine Grundplatte (15) gerichtet ist.

6. Tropfenerzeuger nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Vorsprung (14) in Längsrichtung (16) etwa rechteckigen Umriss (17) aufweist.

7. Tropfenerzeuger nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen zwei Auflageabschnitten (11) eine Mulde (18) als Stufenaus­ schnitt (10) gebildet ist.

8. Tropfenerzeuger nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass mittels des Steigungswinkels (19) der Verjüngung (13) die Länge des aktiven Abschnitts (6) beeinflussbar ist.

9. Tropfenerzeuger nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass mittels des Steigungswinkels (19) der Verjüngung (13) die Größe des Verdrängungsraums (20) für die Flüssigkeit beeinflussbar ist.

10. Tropfenerzeuger nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Herstellung der Auflageabschnitte (11), der Mulde (18) und/oder der Verjüngung (13) vor dem Trennen in eine Gruppe (21) von Biegezungen (7) durchführbar ist.

11. Tropfenerzeuger nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Biegekamm in Ausnehmungen (22) einer Rahmenplatte (23) mit den Biegezungen (7) positionierbar ist, dass das hintere Ende (7a) einer mittleren Biegezunge (7) in einer Biegezungen-Gruppe (21) in einer mittleren Ausneh­ mung (22) toleriert geführt ist und dass jeweils äußere Biegezungen (7c) der Gruppe (21) gegen die Enden (22a) der äußeren Ausnehmungen (22) ange­ schlagen positionierbar sind.

12. Tropfenerzeuger nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass in den Ausnehmungen (22) der Rahmenplatte (23) im aktiven Abschnitt (6) für die Biegezungen (7) jeweils beidseitig einer Ausnehmung (22) Taschen (24) für einen verstärkten Flüssigkeitszufluss vorgesehen sind.

13. Tropfenerzeuger nach einem der Ansprüche 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmungen (22) in der Rahmenplatte (23) einen partiellen Bo­ denbereich (27) mit Auflagerabschnitten (27a) bilden.

14. Tropfenerzeuger nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Auflageabschnitt (11) eine Stufe (10a) zu einer unter der Rahmen­ platte (23) dicht angeordneten Grundplatte (15) bildet, die dem verstärkten Flüssigkeitszulauf dient.

15. Tropfenerzeuger nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass der Auflageabschnitt (11) durch partiellen Auftrag mittels Siebdrucks her­ stellbar ist.

16. Tropfenerzeuger nach einem der Ansprüche 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Auflageabschnitt (11; 27a) ein solches Stufenmaß (27b) zur Grund­ platte (15) bildet, dass die Biegezungen (7) berührungsfrei relativ zur Grund­ platte (15) beim Überschwingen bleiben.

17. Tropfenerzeuger nach einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Stufe (10a) oder das Stufenmaß (27b) zwischen der Grundplatte (15) und der Biegezunge (7) in Ruhelage mittels auf der Grundplatte (15) angeord­ neten, vorspringenden Auflagerabschnitten (26) gebildet ist, wobei die Unter­ seite (3a) der Biegezunge (7) im aktiven Abschnitt (6) eben ausgeführt ist.

18. Tropfenerzeuger nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl an dem Biegewandler (1) als auch an der Grundplatte (15) sich ergänzende Auflageabschnitte (11) und Auflagerabschnitte (26) vorgesehen sind.