JPH10243609A - 真空用モ−タの冷却装置 - Google Patents
真空用モ−タの冷却装置Info
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- JPH10243609A JPH10243609A JP5696197A JP5696197A JPH10243609A JP H10243609 A JPH10243609 A JP H10243609A JP 5696197 A JP5696197 A JP 5696197A JP 5696197 A JP5696197 A JP 5696197A JP H10243609 A JPH10243609 A JP H10243609A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】電機子巻線等で発生した熱を効率良く真空チャ
ンバ外へ放熱し、回転軸の変形や軸受の破損の問題を解
消する真空用モータの冷却装置を提供する。 【解決手段】 真空用モータ１は、回転軸５が、反負荷
側から負荷側に向かって穿設された中空部５１を有する
カップ状のものからなり、フレーム２は、反負荷側の端
面に回転軸５の軸径より大きな穴部２１を有するベ−ス
取付け面２２が形成されるとともに、ベ−ス７の上面に
は、ベ−ス取付け面２２の間に設けた穴部２１から中空
部５１の負荷側の端面に向かって回転軸５と僅かな空隙
を介して伝熱用固定軸９を設けてあり、伝熱用固定軸９
の内部に冷却用通路１０を配設し冷却水を流すようにし
てある。これにより、真空用モータ１を回転させると、
電機子巻線３１等からの発生熱を回転軸５側へ伝熱し、
その熱を静止した伝熱用固定軸９との間で輻射による伝
熱を行った後、真空チャンバ８の外へ熱を伝える。
ンバ外へ放熱し、回転軸の変形や軸受の破損の問題を解
消する真空用モータの冷却装置を提供する。 【解決手段】 真空用モータ１は、回転軸５が、反負荷
側から負荷側に向かって穿設された中空部５１を有する
カップ状のものからなり、フレーム２は、反負荷側の端
面に回転軸５の軸径より大きな穴部２１を有するベ−ス
取付け面２２が形成されるとともに、ベ−ス７の上面に
は、ベ−ス取付け面２２の間に設けた穴部２１から中空
部５１の負荷側の端面に向かって回転軸５と僅かな空隙
を介して伝熱用固定軸９を設けてあり、伝熱用固定軸９
の内部に冷却用通路１０を配設し冷却水を流すようにし
てある。これにより、真空用モータ１を回転させると、
電機子巻線３１等からの発生熱を回転軸５側へ伝熱し、
その熱を静止した伝熱用固定軸９との間で輻射による伝
熱を行った後、真空チャンバ８の外へ熱を伝える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空チャンバ内に
おいて、半導体製造装置や液晶製造装置などの試料搬送
やハンドリングを行うアクチュエータに用いる真空用モ
ータに係り、特に真空用モータの冷却装置に関する。
おいて、半導体製造装置や液晶製造装置などの試料搬送
やハンドリングを行うアクチュエータに用いる真空用モ
ータに係り、特に真空用モータの冷却装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば真空環境中での半導体製造
工程において、ウェハ搬送用の動力伝達装置に用いられ
る真空用モータは、固定子鉄心に巻装された電機子巻線
の発熱による温度上昇が大気中に比べて激しいため、真
空環境を汚すことなく十分な冷却が行われることが要求
されている。従来の回転形の真空用モータの冷却装置に
ついて説明する。図３は第１の従来例を示す同装置の断
面図である。真空用モータ１は、円筒形状をしたフレー
ム２と、フレーム２の内側に設けた電機子巻線３１を有
する固定子鉄心３と、フレーム２の内側に軸受６を介し
て支持され一端に負荷１１を接続した回転軸５と、この
回転軸５の外側に嵌着され固定子鉄心３と空隙を介して
設けた回転子４とで構成されている。また、真空用モー
タ１は、図示しない真空排気装置と接続された真空チャ
ンバ８内に置かれ、真空チャンバ８の内周壁面上に水平
に固定された熱伝導部材からなるベ−スを介して設置さ
れている。このような構成の真空用モータ１は固定子鉄
心３に巻装された電機子巻線３１や軸受６などで発生し
た熱がフレーム２へ伝わり、フレーム２に取り付けであ
るベース７を介して真空チャンバ８の外周壁面へ伝熱し
て冷却されるものである。また、第２の従来例として、
真空チャンバの外の大気側に接続しているパイプをフレ
ーム部に設けた水冷ジャケットに埋設して、そのパイプ
中に水などの液体を流すことにより、モータの電機子巻
線から発生した熱を液体を媒介とし、その液体をチラー
等で循環させることで熱伝達により放熱する冷却装置が
提案されている。また、第３の従来例として、フレーム
部内に作動流体を封入して、モータの電機子巻線での発
生熱を作動流体の蒸発により離れた位置にある凝縮部ま
で運び、凝縮部で蒸発潜熱を外部へ放出する冷却装置が
提案されている（例えば、特開平７ー２３６２５６号公
報）。図４は第３の従来例を示す真空用モータの冷却装
置の断面図である。図において、第１の従来例と異なる
点を説明する。発熱する固定子鉄心３の周囲を囲むフレ
ーム２の内部に作動流体が蒸発する蒸発部となる環状の
空洞部１２を形成しており、フレーム２には、その上下
に間隔を置いて蒸気通路用パイプ１３及び液流通路用パ
イプ１４の一端部を接続し、空洞部１２と連通する。蒸
気通路用パイプ１３及び液通路用パイプ１４の他端部は
真空チャンバ８の外壁部を貫通して外部まで延び、外部
において凝縮部１５に連通しており、接続具１６、１７
により凝縮部１５と着脱自在に接続されている。また、
空洞部１２、蒸気通路用パイプ１３及び液通路用パイプ
１４、凝縮部１５内に水やフロン等の作動流体を封入す
る。なお、空洞部１２の内周壁には毛細管作用を行う金
網等からなるウイック１２ａが張設されている。ここ
で、１３ａ、１４ａはそれぞれモータ側の蒸気通路用、
液通路用パイプで、１３ｂ、１４ｂはそれぞれ凝縮部側
の蒸気通路用、液通路用パイプである。このような構成
において、真空用モータ１の作動により電機子巻線３１
が発熱すると、この熱はフレーム２の内壁部を介して空
洞部１２に伝達され、空洞部１２内でウイック１２ａの
作動流体の蒸発によって取り去られる。この作動流体の
蒸発により、空洞部１２内の気圧が凝縮部１５内の気圧
よりも高くなり、両部間で圧力差が生じ、上記の蒸発し
た作動流体の蒸気は、フレーム２の空洞部１２から蒸気
通路用パイプ１３を経て凝縮部１５内へ移動せしめら
れ、凝縮部１５を通じて蒸発潜熱が外部へ放出されて凝
縮し、それから凝縮により液化した作動流体は液通路用
パイプ１４を経て空洞部１２へ戻るようにしてある。
工程において、ウェハ搬送用の動力伝達装置に用いられ
る真空用モータは、固定子鉄心に巻装された電機子巻線
の発熱による温度上昇が大気中に比べて激しいため、真
空環境を汚すことなく十分な冷却が行われることが要求
されている。従来の回転形の真空用モータの冷却装置に
ついて説明する。図３は第１の従来例を示す同装置の断
面図である。真空用モータ１は、円筒形状をしたフレー
ム２と、フレーム２の内側に設けた電機子巻線３１を有
する固定子鉄心３と、フレーム２の内側に軸受６を介し
て支持され一端に負荷１１を接続した回転軸５と、この
回転軸５の外側に嵌着され固定子鉄心３と空隙を介して
設けた回転子４とで構成されている。また、真空用モー
タ１は、図示しない真空排気装置と接続された真空チャ
ンバ８内に置かれ、真空チャンバ８の内周壁面上に水平
に固定された熱伝導部材からなるベ−スを介して設置さ
れている。このような構成の真空用モータ１は固定子鉄
心３に巻装された電機子巻線３１や軸受６などで発生し
た熱がフレーム２へ伝わり、フレーム２に取り付けであ
るベース７を介して真空チャンバ８の外周壁面へ伝熱し
て冷却されるものである。また、第２の従来例として、
真空チャンバの外の大気側に接続しているパイプをフレ
ーム部に設けた水冷ジャケットに埋設して、そのパイプ
中に水などの液体を流すことにより、モータの電機子巻
線から発生した熱を液体を媒介とし、その液体をチラー
等で循環させることで熱伝達により放熱する冷却装置が
提案されている。また、第３の従来例として、フレーム
部内に作動流体を封入して、モータの電機子巻線での発
生熱を作動流体の蒸発により離れた位置にある凝縮部ま
で運び、凝縮部で蒸発潜熱を外部へ放出する冷却装置が
提案されている（例えば、特開平７ー２３６２５６号公
報）。図４は第３の従来例を示す真空用モータの冷却装
置の断面図である。図において、第１の従来例と異なる
点を説明する。発熱する固定子鉄心３の周囲を囲むフレ
ーム２の内部に作動流体が蒸発する蒸発部となる環状の
空洞部１２を形成しており、フレーム２には、その上下
に間隔を置いて蒸気通路用パイプ１３及び液流通路用パ
イプ１４の一端部を接続し、空洞部１２と連通する。蒸
気通路用パイプ１３及び液通路用パイプ１４の他端部は
真空チャンバ８の外壁部を貫通して外部まで延び、外部
において凝縮部１５に連通しており、接続具１６、１７
により凝縮部１５と着脱自在に接続されている。また、
空洞部１２、蒸気通路用パイプ１３及び液通路用パイプ
１４、凝縮部１５内に水やフロン等の作動流体を封入す
る。なお、空洞部１２の内周壁には毛細管作用を行う金
網等からなるウイック１２ａが張設されている。ここ
で、１３ａ、１４ａはそれぞれモータ側の蒸気通路用、
液通路用パイプで、１３ｂ、１４ｂはそれぞれ凝縮部側
の蒸気通路用、液通路用パイプである。このような構成
において、真空用モータ１の作動により電機子巻線３１
が発熱すると、この熱はフレーム２の内壁部を介して空
洞部１２に伝達され、空洞部１２内でウイック１２ａの
作動流体の蒸発によって取り去られる。この作動流体の
蒸発により、空洞部１２内の気圧が凝縮部１５内の気圧
よりも高くなり、両部間で圧力差が生じ、上記の蒸発し
た作動流体の蒸気は、フレーム２の空洞部１２から蒸気
通路用パイプ１３を経て凝縮部１５内へ移動せしめら
れ、凝縮部１５を通じて蒸発潜熱が外部へ放出されて凝
縮し、それから凝縮により液化した作動流体は液通路用
パイプ１４を経て空洞部１２へ戻るようにしてある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、第１の従来
例の真空用モータの冷却装置において、回転軸端部に負
荷１１を取り付けた真空用モータ１を回転させると、真
空用モータ１の主要な発熱部位である電機子巻線３１の
ジュール熱や軸受の摩擦熱などの影響を受けて、その熱
がフレーム２が固定されているベース７を介して真空チ
ャンバ８の外周壁面から放熱されるが、この伝熱経路以
外には、電機子巻線３１あるいは固定子鉄心３からの輻
射熱として、固定子鉄心３と空隙を介している回転子
４、回転子４を嵌合する回転軸５に伝熱される経路があ
る。このような伝熱経路を通った熱で回転子４および回
転軸５の温度が上昇して変形を起こしたり、回転軸５の
温度上昇に伴ってその接触要素である軸受６が変形を生
じて破損を起こすという問題があった。また、第２の従
来例および第３の従来例に示した冷却装置では、固定子
鉄心３側の熱を真空チャンバ８の外部へ強制的に熱伝達
し放熱することができるが、電機子巻線３１あるいは固
定子鉄心３の輻射熱により回転子４へ伝熱したり、ある
いは回転軸５の負荷１１により発生する熱が回転軸５に
伝わったりして、回転子４および回転軸５の温度上昇す
る問題があった。また、第３の従来例は冷却用配管で接
続されているため熱輸送経路が長くなり構造が複雑化
し、メンテナンス等の分解、組立時においてモータ本体
に接続する冷却用配管を真空チャンバ８から取り外して
作業を行わなくてはならず作業性が悪く、コストがかか
るという問題もあった。そこで、本発明は第１の目的
は、真空中において、電機子巻線や軸受で発生した熱を
効率良く真空チャンバ外へ放熱し、回転軸の変形あるい
は軸受の破損などの問題を解消することのできる真空用
モータの冷却装置を提供することにある。また、第２の
目的は、冷却装置のメンテナンス等の分解、組立時の作
業を解消し、作業コストのかからない構造が簡単な真空
用モータの冷却装置を提供することにある。
例の真空用モータの冷却装置において、回転軸端部に負
荷１１を取り付けた真空用モータ１を回転させると、真
空用モータ１の主要な発熱部位である電機子巻線３１の
ジュール熱や軸受の摩擦熱などの影響を受けて、その熱
がフレーム２が固定されているベース７を介して真空チ
ャンバ８の外周壁面から放熱されるが、この伝熱経路以
外には、電機子巻線３１あるいは固定子鉄心３からの輻
射熱として、固定子鉄心３と空隙を介している回転子
４、回転子４を嵌合する回転軸５に伝熱される経路があ
る。このような伝熱経路を通った熱で回転子４および回
転軸５の温度が上昇して変形を起こしたり、回転軸５の
温度上昇に伴ってその接触要素である軸受６が変形を生
じて破損を起こすという問題があった。また、第２の従
来例および第３の従来例に示した冷却装置では、固定子
鉄心３側の熱を真空チャンバ８の外部へ強制的に熱伝達
し放熱することができるが、電機子巻線３１あるいは固
定子鉄心３の輻射熱により回転子４へ伝熱したり、ある
いは回転軸５の負荷１１により発生する熱が回転軸５に
伝わったりして、回転子４および回転軸５の温度上昇す
る問題があった。また、第３の従来例は冷却用配管で接
続されているため熱輸送経路が長くなり構造が複雑化
し、メンテナンス等の分解、組立時においてモータ本体
に接続する冷却用配管を真空チャンバ８から取り外して
作業を行わなくてはならず作業性が悪く、コストがかか
るという問題もあった。そこで、本発明は第１の目的
は、真空中において、電機子巻線や軸受で発生した熱を
効率良く真空チャンバ外へ放熱し、回転軸の変形あるい
は軸受の破損などの問題を解消することのできる真空用
モータの冷却装置を提供することにある。また、第２の
目的は、冷却装置のメンテナンス等の分解、組立時の作
業を解消し、作業コストのかからない構造が簡単な真空
用モータの冷却装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に、本発明は真空チャンバと、この真空チャンバの内周
壁面上に固定されたベ−スと、このベ−スを介して設置
された真空用モータと、を備え、前記真空用モータが、
前記ベ−スと垂直方向に設けたフレームと、このフレー
ムの内側に設けた電機子巻線を有する固定子鉄心と、前
記フレームの内側に軸受を介して支持され一端に負荷を
接続した回転軸と、この回転軸の外側に嵌着され前記固
定子鉄心と空隙を介して設けた回転子とで構成される真
空用モータの冷却装置において、前記回転軸は、反負荷
側から負荷側に向かって穿設された中空部を有するカッ
プ状に形成されたものからなり、前記フレームは、反負
荷側の端面に前記回転軸の軸径より大きな穴部を有する
ベ−ス取付け面が形成されるとともに、前記ベ−スの上
面には、前記ベ−ス取付け面の間に設けた穴部から前記
中空部の負荷側の端面に向かって前記回転軸と僅かな空
隙を介して同軸状の伝熱用固定軸を設けたものである。
また、前記伝熱用固定軸は、冷却流体を流通させる冷却
用通路を配設してあるものである。
に、本発明は真空チャンバと、この真空チャンバの内周
壁面上に固定されたベ−スと、このベ−スを介して設置
された真空用モータと、を備え、前記真空用モータが、
前記ベ−スと垂直方向に設けたフレームと、このフレー
ムの内側に設けた電機子巻線を有する固定子鉄心と、前
記フレームの内側に軸受を介して支持され一端に負荷を
接続した回転軸と、この回転軸の外側に嵌着され前記固
定子鉄心と空隙を介して設けた回転子とで構成される真
空用モータの冷却装置において、前記回転軸は、反負荷
側から負荷側に向かって穿設された中空部を有するカッ
プ状に形成されたものからなり、前記フレームは、反負
荷側の端面に前記回転軸の軸径より大きな穴部を有する
ベ−ス取付け面が形成されるとともに、前記ベ−スの上
面には、前記ベ−ス取付け面の間に設けた穴部から前記
中空部の負荷側の端面に向かって前記回転軸と僅かな空
隙を介して同軸状の伝熱用固定軸を設けたものである。
また、前記伝熱用固定軸は、冷却流体を流通させる冷却
用通路を配設してあるものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明を図に示す実施例について
説明する。図１は本発明の第１の実施例を示す真空用モ
ータの断面図である。従来例と同じ構成要素については
同一符号を付し、その説明は省略する。真空用モータ１
が真空チャンバ８内のベース７に固定された構成は第１
の従来例と同じである。従来例と異なる点は、真空用モ
ータ１において、回転軸５が、反負荷側から負荷側に向
かって穿設された中空部５１を有するカップ状のものか
らなり、フレーム２は、反負荷側の端面に回転軸５の軸
径より大きな穴部２１を有するベ−ス取付け面２２が形
成されるとともに、ベ−ス７の上面には、ベ−ス取付け
面２２の間に設けた穴部２１から中空部５１の負荷側の
端面に向かって回転軸５と僅かな空隙を介して同軸状の
伝熱用固定軸９を設けたものである。なお、伝熱用固定
軸９は高熱伝導性の材料からなるものである。このよう
な構成において、動作について説明する。真空チャンバ
８の内部で回転軸端部に負荷１１を取り付けた真空用モ
ータ１を回転させると、電機子巻線３１や軸受６からの
発生熱がフレーム２へ伝熱し、フレーム２からベース７
を介して真空チャンバ８の外周壁面から放熱されること
になる。また、電機子巻線３１あるいは固定子鉄心３か
らの輻射熱として固定子鉄心３と空隙を介している回転
子４に熱が伝わる。この回転子４に伝わった熱は、回転
子４の内周を嵌着している回転軸５に熱伝導し、回転軸
５と僅かな空隙を介して設けた伝熱用固定軸９へ輻射に
より伝熱した後、伝熱用固定軸９からベース７、真空チ
ャンバ８の外周壁面へと熱を伝える。真空チャンバ８は
真空用モータ１に比べて熱容量が大きいうえ、真空チャ
ンバ８の外周壁面は、大気に接しているため自然対流に
より放熱がおこなわれ、真空用モータ１の温度上昇は抑
制される。したがって、真空用モータ１の運転による電
機子巻線３１等からの発熱は、固定子鉄心３のフレーム
２から真空チャンバ８へと伝熱する以外に、回転軸５の
内側から伝熱用固定軸９へ輻射熱により伝熱されるた
め、回転子４および回転軸５ならびに軸受６で発生した
熱を効率良く真空チャンバ８外へ放熱し、さらに回転軸
４の温度上昇に伴う変形あるいは軸受６の破損などの問
題を解消することもできる。
説明する。図１は本発明の第１の実施例を示す真空用モ
ータの断面図である。従来例と同じ構成要素については
同一符号を付し、その説明は省略する。真空用モータ１
が真空チャンバ８内のベース７に固定された構成は第１
の従来例と同じである。従来例と異なる点は、真空用モ
ータ１において、回転軸５が、反負荷側から負荷側に向
かって穿設された中空部５１を有するカップ状のものか
らなり、フレーム２は、反負荷側の端面に回転軸５の軸
径より大きな穴部２１を有するベ−ス取付け面２２が形
成されるとともに、ベ−ス７の上面には、ベ−ス取付け
面２２の間に設けた穴部２１から中空部５１の負荷側の
端面に向かって回転軸５と僅かな空隙を介して同軸状の
伝熱用固定軸９を設けたものである。なお、伝熱用固定
軸９は高熱伝導性の材料からなるものである。このよう
な構成において、動作について説明する。真空チャンバ
８の内部で回転軸端部に負荷１１を取り付けた真空用モ
ータ１を回転させると、電機子巻線３１や軸受６からの
発生熱がフレーム２へ伝熱し、フレーム２からベース７
を介して真空チャンバ８の外周壁面から放熱されること
になる。また、電機子巻線３１あるいは固定子鉄心３か
らの輻射熱として固定子鉄心３と空隙を介している回転
子４に熱が伝わる。この回転子４に伝わった熱は、回転
子４の内周を嵌着している回転軸５に熱伝導し、回転軸
５と僅かな空隙を介して設けた伝熱用固定軸９へ輻射に
より伝熱した後、伝熱用固定軸９からベース７、真空チ
ャンバ８の外周壁面へと熱を伝える。真空チャンバ８は
真空用モータ１に比べて熱容量が大きいうえ、真空チャ
ンバ８の外周壁面は、大気に接しているため自然対流に
より放熱がおこなわれ、真空用モータ１の温度上昇は抑
制される。したがって、真空用モータ１の運転による電
機子巻線３１等からの発熱は、固定子鉄心３のフレーム
２から真空チャンバ８へと伝熱する以外に、回転軸５の
内側から伝熱用固定軸９へ輻射熱により伝熱されるた
め、回転子４および回転軸５ならびに軸受６で発生した
熱を効率良く真空チャンバ８外へ放熱し、さらに回転軸
４の温度上昇に伴う変形あるいは軸受６の破損などの問
題を解消することもできる。
【０００６】図２は第２の実施例を示す真空用モータの
断面図である。第１の実施例と異なる点は、伝熱用固定
軸９の内部に冷却用通路１０を配設したものである。冷
却用通路１０の両端口は、図示していないチラーへと接
続されている。このような構成において、チラー（図示
せず）から冷却用通路１０に冷却水を流通させることに
よって伝熱用固定軸９の内部に冷却水が循環するので、
真空用モータ１の電機子巻線からの発熱で回転軸に伝熱
された熱は伝熱用固定軸９の内部に循環する冷却水と熱
交換されるようにしてある。したがって、回転子４およ
び回転軸５ならびに軸受６で発生した熱による温度上昇
をさらに抑制することができ、効率良く真空チャンバ８
外へ放熱することができる。また、ベース７に固定した
伝熱用固定軸９の内部に冷却用通路１０を配設した簡単
な構造のため、冷却装置としてのメンテナンス等の分
解、組立時の作業をなくし、作業コストがかからない真
空用モータの冷却装置を得る効果がある。
断面図である。第１の実施例と異なる点は、伝熱用固定
軸９の内部に冷却用通路１０を配設したものである。冷
却用通路１０の両端口は、図示していないチラーへと接
続されている。このような構成において、チラー（図示
せず）から冷却用通路１０に冷却水を流通させることに
よって伝熱用固定軸９の内部に冷却水が循環するので、
真空用モータ１の電機子巻線からの発熱で回転軸に伝熱
された熱は伝熱用固定軸９の内部に循環する冷却水と熱
交換されるようにしてある。したがって、回転子４およ
び回転軸５ならびに軸受６で発生した熱による温度上昇
をさらに抑制することができ、効率良く真空チャンバ８
外へ放熱することができる。また、ベース７に固定した
伝熱用固定軸９の内部に冷却用通路１０を配設した簡単
な構造のため、冷却装置としてのメンテナンス等の分
解、組立時の作業をなくし、作業コストがかからない真
空用モータの冷却装置を得る効果がある。
【０００７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、真
空用モータの運転で発生した熱を従来のようにフレーム
などの固定側から熱伝導をおこなう以外に、中空部を有
する回転軸の内側から僅かな空隙を介して設置している
伝熱用固定軸へ、輻射熱として伝熱する経路を考慮した
構成を設けてあるため、真空中において、電機子巻線や
軸受で発生した熱を効率良く真空チャンバ外へ放熱する
ことのできる真空用モータの冷却装置を得る効果があ
る。これにより回転軸の変形あるいは軸受の破損の問題
も解消することができる。また、冷却装置のメンテナン
ス等の分解、組立時の作業をなくすことができるため、
作業コストがかからず、構造を簡単にできる。
空用モータの運転で発生した熱を従来のようにフレーム
などの固定側から熱伝導をおこなう以外に、中空部を有
する回転軸の内側から僅かな空隙を介して設置している
伝熱用固定軸へ、輻射熱として伝熱する経路を考慮した
構成を設けてあるため、真空中において、電機子巻線や
軸受で発生した熱を効率良く真空チャンバ外へ放熱する
ことのできる真空用モータの冷却装置を得る効果があ
る。これにより回転軸の変形あるいは軸受の破損の問題
も解消することができる。また、冷却装置のメンテナン
ス等の分解、組立時の作業をなくすことができるため、
作業コストがかからず、構造を簡単にできる。
【図１】 本発明の第１の実施例を示す真空用モータの
冷却装置の断面図である。
冷却装置の断面図である。
【図２】 本発明の第２の実施例を示す真空用モータの
冷却装置の断面図である。
冷却装置の断面図である。
【図３】 第１の従来例を示す真空用モータの冷却装置
の断面図である。
の断面図である。
【図４】 第３の従来例を示す真空用モータの冷却装置
の断面図である。
の断面図である。
１： 真空用モータ ２：フレーム ２１：穴部 ２２：フレ−ム取付け面 ３：固定子鉄心 ３１：電機子巻線 ４：回転子 ５：回転軸 ５１：中空部 ６：軸受 ７：ベース ８：真空チャンバ ９：伝熱用固定軸 １０：冷却用通路 １１：負荷
Claims (2)
- 【請求項１】 真空チャンバと、この真空チャンバの内
周壁面上に固定されたベ−スと、このベ−スを介して設
置された真空用モータとを備え、前記真空用モータが、
前記ベ−スと垂直方向に設けたフレームと、このフレー
ムの内側に設けた電機子巻線を有する固定子鉄心と、前
記フレームの内側に軸受を介して支持され一端に負荷を
接続した回転軸と、この回転軸の外側に嵌着され前記固
定子鉄心と空隙を介して設けた回転子とで構成される真
空用モータの冷却装置において、 前記回転軸は、反負荷側から負荷側に向かって穿設され
た中空部を有するカップ状に形成されたものからなり、
前記フレームは、反負荷側の端面に前記回転軸の軸径よ
り大きな穴部を有するベ−ス取付け面が形成されるとと
もに、前記ベ−スの上面には、前記ベ−ス取付け面の間
に設けた穴部から前記中空部の負荷側の端面に向かって
前記回転軸と僅かな空隙を介して同軸状の伝熱用固定軸
を設けたことを特徴とする真空用モータの冷却装置。 - 【請求項２】 前記伝熱用固定軸は、冷却流体を流通さ
せる冷却用通路を配設してある請求項１に記載の真空用
モータの冷却装置。
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1997
- 1997-02-24 JP JP05696197A patent/JP3716890B2/ja not_active Expired - Fee Related
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