JP2012195336A - 回転駆動装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の回転駆動装置は、隔壁と、駆動ユニットと、支持体とを具備する。隔壁は、搬送機構が収容されるチャンバに固定され、チャンバに導通する真空室を画成する。駆動ユニットは、真空室に収容され、搬送機構を駆動する。支持体は、上記真空室の外部に臨む放熱面を有し、上記隔壁に固定され上記駆動ユニットを支持する。
この構成により、真空室に収容された駆動ユニットにおいて発生する熱は、支持体に伝導し、放熱面から大気中に放熱される。このため、駆動ユニットにおいて発生する熱を有効に放熱させることが可能となる。
【選択図】図2
Description
上記隔壁は、搬送機構が収容されるチャンバに固定され、上記チャンバに導通する真空室を画成する。
上記駆動ユニットは、上記真空室に収容され、上記搬送機構を駆動する。
上記支持体は、上記真空室の外部に臨む放熱面を有し、上記隔壁に固定され上記駆動ユニットを支持する。
上記隔壁は、搬送機構が収容されるチャンバに固定され、上記チャンバに導通する真空室を画成する。
上記駆動ユニットは、上記真空室に収容され、上記搬送機構を駆動する。
上記支持体は、上記真空室の外部に臨む放熱面を有し、上記隔壁に固定され上記駆動ユニットを支持する。
伝導し、放熱面から大気中に放熱される。このため、駆動ユニットにおいて発生する熱を有効に放熱させることが可能である。駆動ユニットを真空室外に配置する必要がないため、回転動力を真空室内に導入するための軸シール等が不要となる。
をさらに具備していてもよい。
本発明の第1の実施形態について説明する。
本実施形態に係る基板搬送システムの構成について説明する。
図1は搬送システム1の構成を示す模式図である。
図2は、回転駆動装置2の構造を示す断面図である。
図2に示すように、回転駆動装置2は、チャンバ接続部10、固定板11、第1モータ31、第2モータ41、第1ハウジング32、第2ハウジング42、第1駆動軸33、第2駆動軸43、第1駆動ギヤ34、第2駆動ギヤ44、第1従動ギヤ35、第2従動ギヤ45、第1従動軸36、第2従動軸46、複数の軸受け12、複数のOリング13及び容器14を有する。チャンバ接続部10には、回転駆動装置2を真空チャンバ5に接続するためのフランジ部10aが形成されている。
回転駆動装置2の動作について説明する。
図示しない真空排気手段によって真空チャンバ5が真空排気されると、真空チャンバ5に連通する回転駆動装置2の真空室も真空排気される。即ち、第1モータ31及び第2モータ41は真空雰囲気に置かれる。
本発明の第2の実施形態について説明する。なお、本実施形態において第1の実施形態と同様の構成については説明を省略する。本実施形態では、第1の実施形態と回転駆動装置の構成が異なる。
図3は、本実施形態に係る回転駆動装置102の構造を示す断面図である。
図3に示すように、回転駆動装置102は、チャンバ接続部110、固定板111、第1モータ131、第2モータ141、第1ハウジング132、第2ハウジング142、第1駆動軸133、第2駆動軸143、第1駆動ギヤ134、第2駆動ギヤ144、第1従動ギヤ135、第2従動ギヤ145、第1従動軸136、第2従動軸146、複数の軸受け112及び容器113を有する。チャンバ接続部110には、回転駆動装置102を真空チャンバ5に接続するためのフランジ部110aが形成されている。
回転駆動装置102の動作について説明する。
図示しない真空排気手段によって真空チャンバ5が真空排気されると、真空チャンバ5に連通する回転駆動装置102の真空室も真空排気される。即ち、第1モータ131及び第2モータ141は真空雰囲気に置かれる。
5…真空チャンバ
11、111…固定板
14…カバー
31、41、131、141…モータ
32、42、132、142…ハウジング
33、43、133、142…駆動軸
113…真空容器
Claims (8)
- 搬送機構が収容されるチャンバに固定され、前記チャンバに導通する真空室を画成する隔壁と、
前記真空室に収容され、前記搬送機構を駆動する駆動ユニットと、
前記真空室の外部に臨む放熱面を有し、前記隔壁に固定され前記駆動ユニットを支持する支持体と
を具備する回転駆動装置。 - 請求項1に記載の回転駆動装置であって、
前記隔壁は、前記チャンバに対向する第1の端部と反対側の第2の端部とを有する筒体であり、
前記支持体は、前記第2の端部に固定された板状の本体部を含む
回転駆動装置。 - 請求項2に記載の回転駆動装置であって、
前記駆動ユニットは、搬送機構に回転動力を伝達する駆動軸と、前記駆動軸を回転させる駆動源とを有し、
前記本体部は、前記真空室に臨む第1の面と、前記駆動源が配置され前記第1の面とは反対側の第2の面とを有し、
前記回転駆動装置は、前記第2の面に固定され、前記駆動源を収容する収容空間を形成する容器をさらに具備する
回転駆動装置。 - 請求項2に記載の回転駆動装置であって、
前記隔壁は、第1の駆動軸を回転可能に支持する第1のハウジングと第2の駆動軸を回転可能に支持する第2のハウジングとがシールを介して積層された第1の隔壁部と、第1の駆動軸を回転駆動する第1の駆動源と第2の駆動軸を回転駆動する第2の駆動源とを収容する第2の隔壁部とを有する
回転駆動装置。 - 請求項1に記載の回転駆動装置であって、
前記支持体は、前記真空室に収容される第1の部分と、前記真空室の外部に臨む第2の部分とを有し、
前記放熱面は前記第2の部分に形成される
回転駆動装置。 - 請求項5に記載の回転駆動装置であって、
前記隔壁は、第1の駆動軸を回転可能に支持する第1のハウジングと、前記第1のハウジングに積層された第2の駆動軸を回転可能に支持する第2のハウジングと、前記第1の駆動軸を回転駆動する第1の駆動源と、前記第2の駆動軸を回転駆動する第2の駆動源とを収容する容器であり、
前記放熱面は、大気に面する第1の面と、前記容器と接する第2の面とを有する
回転駆動装置。 - 請求項6に記載の回転駆動装置であって、
前記第2の部分は、前記チャンバに当接するフランジである
回転駆動装置。 - 請求項1に記載の回転駆動装置であって、
前記真空室の外に配置され、前記放熱面を冷却する冷却機構
をさらに具備する回転駆動装置。
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