JPH10239149A - 加振機における振動ピックアップの支持装置 - Google Patents
加振機における振動ピックアップの支持装置Info
- Publication number
- JPH10239149A JPH10239149A JP9057077A JP5707797A JPH10239149A JP H10239149 A JPH10239149 A JP H10239149A JP 9057077 A JP9057077 A JP 9057077A JP 5707797 A JP5707797 A JP 5707797A JP H10239149 A JPH10239149 A JP H10239149A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- magnetic pole
- movable body
- movable
- vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 加振機における振動ピックアップの支持装置
において、加振時に振動子である可動体が振動しても、
防振台に反力が殆ど作用しないようにする。 【解決手段】 加振機における振動ピックアップの支持
装置は、防振台３０に対して相対移動自在の磁極構成体
４１と、磁極構成体４１を防振台３０に対する中立位置
に復帰させる板ばね等の磁極構成体復帰手段３５と、可
動コイル３９を有するとともに振動ピックアップ１０を
支持し、磁極３２と可動コイル３９との間の磁力作用に
より磁極構成体４１および防振台３０に対して振動をす
る可動体３８と、防振台３０上に磁極構成体４１とは分
離して配設されて、可動体３８の振動の反力の合力の作
用線が磁極構成体４１の概ね重心位置を通るように可動
体３８を相対移動自在に支持する可動体支持部３６と、
可動体３８を可動体支持部３６に対する中立位置に復帰
させる可動体復帰手段とを備える。
において、加振時に振動子である可動体が振動しても、
防振台に反力が殆ど作用しないようにする。 【解決手段】 加振機における振動ピックアップの支持
装置は、防振台３０に対して相対移動自在の磁極構成体
４１と、磁極構成体４１を防振台３０に対する中立位置
に復帰させる板ばね等の磁極構成体復帰手段３５と、可
動コイル３９を有するとともに振動ピックアップ１０を
支持し、磁極３２と可動コイル３９との間の磁力作用に
より磁極構成体４１および防振台３０に対して振動をす
る可動体３８と、防振台３０上に磁極構成体４１とは分
離して配設されて、可動体３８の振動の反力の合力の作
用線が磁極構成体４１の概ね重心位置を通るように可動
体３８を相対移動自在に支持する可動体支持部３６と、
可動体３８を可動体支持部３６に対する中立位置に復帰
させる可動体復帰手段とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、加振機における振
動ピックアップの支持装置に関する。
動ピックアップの支持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、レーザ光により加振機の正確な振
動加速度Ａ〔ｍ／ｓ2〕を計測するとともに、同加振機
の振動を検出する振動ピックアップの検出出力Ｖ〔ｍ
Ｖ〕を計測することにより、振動ピックアップの感度Ｓ
＝ Ｖ／Ａ〔ｍＶ・ｓ2／ｍ〕を校正することが行なわれ
ている。
動加速度Ａ〔ｍ／ｓ2〕を計測するとともに、同加振機
の振動を検出する振動ピックアップの検出出力Ｖ〔ｍ
Ｖ〕を計測することにより、振動ピックアップの感度Ｓ
＝ Ｖ／Ａ〔ｍＶ・ｓ2／ｍ〕を校正することが行なわれ
ている。
【０００３】その際、レーザ干渉計を用いて加振機の加
振時における振動部の変位の絶対値を測定して振動の加
速度を検知し、加振機の振動部に取付けられた振動ピッ
クアップの感度を計測することによって、同振動ピック
アップを校正することが知られている（国際標準規格Ｉ
ＳＯ５３４７−１）。
振時における振動部の変位の絶対値を測定して振動の加
速度を検知し、加振機の振動部に取付けられた振動ピッ
クアップの感度を計測することによって、同振動ピック
アップを校正することが知られている（国際標準規格Ｉ
ＳＯ５３４７−１）。
【０００４】図３はレーザ干渉計の原理を説明するため
の説明図である。図３において、光源としてのレーザ発
信器０１から放射されたレーザ光が、ハーフミラー等の
分割鏡０２を通過する際、分割鏡０２によって２分さ
れ、レーザ光のほぼ半分はそのまま直進して加振機の振
動部に固定された振動鏡０３により反射された後、分割
鏡０２へ戻り、さらにその一部が分割鏡０２により反射
されて光電変換器０４へ到達する。これに対しレーザ発
信機０１から放射され分割鏡０２により２分されたレー
ザ光の他のほぼ半分は分割鏡０２により反射されて固定
鏡０５へと向かい、固定鏡０５により反射された後、分
割鏡０２へ戻り、その一部が分割鏡０２を透過して光電
変換器０４へ到達する。その結果、振動鏡０３により反
射された後に光電変換器０４に到達したレーザ光と、固
定鏡０５により反射された後に光電変換器０４に到達し
たレーザ光とが干渉し合って干渉光として合成され、干
渉光の強度すなわち輝度は、加振機の加振による振動鏡
０３の振動に伴って干渉縞を形成し、最大値、最小値を
繰り返す。
の説明図である。図３において、光源としてのレーザ発
信器０１から放射されたレーザ光が、ハーフミラー等の
分割鏡０２を通過する際、分割鏡０２によって２分さ
れ、レーザ光のほぼ半分はそのまま直進して加振機の振
動部に固定された振動鏡０３により反射された後、分割
鏡０２へ戻り、さらにその一部が分割鏡０２により反射
されて光電変換器０４へ到達する。これに対しレーザ発
信機０１から放射され分割鏡０２により２分されたレー
ザ光の他のほぼ半分は分割鏡０２により反射されて固定
鏡０５へと向かい、固定鏡０５により反射された後、分
割鏡０２へ戻り、その一部が分割鏡０２を透過して光電
変換器０４へ到達する。その結果、振動鏡０３により反
射された後に光電変換器０４に到達したレーザ光と、固
定鏡０５により反射された後に光電変換器０４に到達し
たレーザ光とが干渉し合って干渉光として合成され、干
渉光の強度すなわち輝度は、加振機の加振による振動鏡
０３の振動に伴って干渉縞を形成し、最大値、最小値を
繰り返す。
【０００５】図４は、振動ピックアップの校正装置の全
体構成の１例を説明するための模式図である。図４にお
いて、床面上に例えば空気ばねやゴムばね等の防振手段
を介して設置された防振台３０上には、レーザ発振器
１、ハーフミラー等の分割鏡２、固定鏡３および振動発
生装置としての加振機４が配設されている。加振機４に
は振動ピックアップ１０が取付けられており、振動ピッ
クアップ１０の端面には振動鏡４ａが一体的に支持され
ている。振動ピックアップ１０は、検知した振動を電気
信号の形に変換し、同電気信号を出力信号として前置増
幅器１１へ送る。前置増幅器１１は、振動ピックアップ
１０から送られた電気信号を増幅し、増幅した電気信号
を実効値形電圧計１２ヘ送る。実効値形電圧計１２は、
振動ピックアップ１０から前置増幅器１１を介して送ら
れた電気信号の電圧を、振動ピックアップ１０の検出出
力電圧として表示する。
体構成の１例を説明するための模式図である。図４にお
いて、床面上に例えば空気ばねやゴムばね等の防振手段
を介して設置された防振台３０上には、レーザ発振器
１、ハーフミラー等の分割鏡２、固定鏡３および振動発
生装置としての加振機４が配設されている。加振機４に
は振動ピックアップ１０が取付けられており、振動ピッ
クアップ１０の端面には振動鏡４ａが一体的に支持され
ている。振動ピックアップ１０は、検知した振動を電気
信号の形に変換し、同電気信号を出力信号として前置増
幅器１１へ送る。前置増幅器１１は、振動ピックアップ
１０から送られた電気信号を増幅し、増幅した電気信号
を実効値形電圧計１２ヘ送る。実効値形電圧計１２は、
振動ピックアップ１０から前置増幅器１１を介して送ら
れた電気信号の電圧を、振動ピックアップ１０の検出出
力電圧として表示する。
【０００６】光電変換器としてのフォトトランジスタ１
５は、検知した光の干渉縞を電気信号の形に変換する。
フォトトランジスタ１５が検知した光の干渉縞を表す電
気信号は、前置増幅器１３および増幅器１４により増幅
され、パルス発生器１６を経て比カウンタ２０へ入力さ
れる。他方、加振器４の発振器１７は、加振器４に振動
を発生させるのに必要な出力電圧の大きさを調整するた
めの出力調整用ボリュウム手段１７ａを備えており、出
力調整用ボリュウム手段１７ａにより調整された発振器
１７の出力は、電力増幅器１８により増幅された後、加
振器４へ送られる。同時に、発振器１７の出力は、周波
数カウンタ２０ａへ送られるとともに、比カウンタ２０
へも送られる。
５は、検知した光の干渉縞を電気信号の形に変換する。
フォトトランジスタ１５が検知した光の干渉縞を表す電
気信号は、前置増幅器１３および増幅器１４により増幅
され、パルス発生器１６を経て比カウンタ２０へ入力さ
れる。他方、加振器４の発振器１７は、加振器４に振動
を発生させるのに必要な出力電圧の大きさを調整するた
めの出力調整用ボリュウム手段１７ａを備えており、出
力調整用ボリュウム手段１７ａにより調整された発振器
１７の出力は、電力増幅器１８により増幅された後、加
振器４へ送られる。同時に、発振器１７の出力は、周波
数カウンタ２０ａへ送られるとともに、比カウンタ２０
へも送られる。
【０００７】比カウンタ２０においては、振動鏡４ａに
おいて生成される測定用照射光であるレーザ光の干渉縞
の振動数と加振器４が発生する振動の振動数との比、す
なわち振動鏡の振動の１周期当たりの干渉縞の数の値が
計数される。
おいて生成される測定用照射光であるレーザ光の干渉縞
の振動数と加振器４が発生する振動の振動数との比、す
なわち振動鏡の振動の１周期当たりの干渉縞の数の値が
計数される。
【０００８】フォトトランジスタ１５により電気信号の
形で検出され、増幅器１４により増幅された光の干渉縞
を表す電気信号は、さらに、周波数分析器１９ａを介し
てオシロスコープ１９へ、あるいは直接オシロスコープ
１９へ送られて表示される一方、フィルタ２１を介し
て、オシロスコープ２２へ送られて表示されるととも
に、電圧計２３へも送られて電圧の測定も行われる。
形で検出され、増幅器１４により増幅された光の干渉縞
を表す電気信号は、さらに、周波数分析器１９ａを介し
てオシロスコープ１９へ、あるいは直接オシロスコープ
１９へ送られて表示される一方、フィルタ２１を介し
て、オシロスコープ２２へ送られて表示されるととも
に、電圧計２３へも送られて電圧の測定も行われる。
【０００９】図２に、加振機４の駆動部の基本的な構成
を説明するための模式的な要部拡大縦断面図を示す。図
２において、加振機４の本体を構成する磁極３２が、ベ
ースとしての防振台３０により、同防振台３０に対して
相対移動をしないように固定した状態で支持されてい
る。磁極３２は、中央磁極３２ａとこの中央磁極３２ａ
を取り囲む外部磁極３２ｂとを有し、中央磁極３２ａと
外部磁極３２ｂとの間の環状の空隙部内に配設された励
磁コイル３４により生成された磁力が、中央磁極３２ａ
および外部磁極３２ｂに沿って閉じた磁束を形成するよ
うに構成されている。
を説明するための模式的な要部拡大縦断面図を示す。図
２において、加振機４の本体を構成する磁極３２が、ベ
ースとしての防振台３０により、同防振台３０に対して
相対移動をしないように固定した状態で支持されてい
る。磁極３２は、中央磁極３２ａとこの中央磁極３２ａ
を取り囲む外部磁極３２ｂとを有し、中央磁極３２ａと
外部磁極３２ｂとの間の環状の空隙部内に配設された励
磁コイル３４により生成された磁力が、中央磁極３２ａ
および外部磁極３２ｂに沿って閉じた磁束を形成するよ
うに構成されている。
【００１０】図２において、磁極３２の端面側に固定さ
れた可動体支持部３６の可動体支持面部には、例えば空
気軸受等の摩擦抵抗が極めて小さな軸受３７を介して、
振動子を構成する可動体３８が、可動体支持部３６に対
して磁極３２の中心線方向に相対移動自在に支持されて
いる。可動体３８は、磁極３２の中心線と同心で中央磁
極３２ａと外部磁極３２ｂの端面との間の環状の空隙部
を軸方向に貫通するようにして延設された可動コイル３
９を有するとともに、可動コイル３９の中心線方向に可
動体３８が振動する際に可動体３８と一体となって振動
する振動ピックアップ１０を、例えば着脱ねじ等の着脱
手段を介して、着脱自在に支持している。振動ピックア
ップ１０の先端部には、重錘４０およびミラーとしての
振動鏡４ａが装着されている。
れた可動体支持部３６の可動体支持面部には、例えば空
気軸受等の摩擦抵抗が極めて小さな軸受３７を介して、
振動子を構成する可動体３８が、可動体支持部３６に対
して磁極３２の中心線方向に相対移動自在に支持されて
いる。可動体３８は、磁極３２の中心線と同心で中央磁
極３２ａと外部磁極３２ｂの端面との間の環状の空隙部
を軸方向に貫通するようにして延設された可動コイル３
９を有するとともに、可動コイル３９の中心線方向に可
動体３８が振動する際に可動体３８と一体となって振動
する振動ピックアップ１０を、例えば着脱ねじ等の着脱
手段を介して、着脱自在に支持している。振動ピックア
ップ１０の先端部には、重錘４０およびミラーとしての
振動鏡４ａが装着されている。
【００１１】図２の可動体３８は、磁極３２と可動コイ
ル３９との間の磁力作用により磁極３２に対して磁極３
２の中心線方向に振動するとともに、防振台３０に対し
ても振動することができる。可動体３８は、磁極３２と
可動コイル３９との間の磁力作用により可動体支持部３
６に対する中立位置から変位しても、周知の可動体復帰
手段により、常に可動体支持部３６に対する中立位置へ
と復帰するように復帰力を受ける。可動体復帰手段とし
ては、例えば、可動体３８を可動体支持部３６に対して
弾力的に支持する板ばね等の機械的な可動体復帰手段、
あるいは可動体３８の可動体支持部３６に対する中立位
置からの変位を例えばレーザ干渉計等の変位検出手段に
より検出し、検出した変位量に応じて可動コイル３９へ
の通電の向きおよび通電量を変化させて可動コイル３９
の電磁力を制御する電磁的な可動体復帰手段等が、良く
知られている。
ル３９との間の磁力作用により磁極３２に対して磁極３
２の中心線方向に振動するとともに、防振台３０に対し
ても振動することができる。可動体３８は、磁極３２と
可動コイル３９との間の磁力作用により可動体支持部３
６に対する中立位置から変位しても、周知の可動体復帰
手段により、常に可動体支持部３６に対する中立位置へ
と復帰するように復帰力を受ける。可動体復帰手段とし
ては、例えば、可動体３８を可動体支持部３６に対して
弾力的に支持する板ばね等の機械的な可動体復帰手段、
あるいは可動体３８の可動体支持部３６に対する中立位
置からの変位を例えばレーザ干渉計等の変位検出手段に
より検出し、検出した変位量に応じて可動コイル３９へ
の通電の向きおよび通電量を変化させて可動コイル３９
の電磁力を制御する電磁的な可動体復帰手段等が、良く
知られている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
加振機において、加振時に振動子である可動体３８が振
動すると、可動体３８の振動の反力が磁極３２に作用す
る。その際、可動体３８の振動の反力の合力Ｆの作用線
が加振機および加振機を支持する防振台を合わせた構成
体の重心点Ｇから例えばｌだけずれていると、加振機に
曲げモーメントｌ×Ｆや片揺れモーメント等の好ましく
ないモーメントによる振動が発生する。その結果、被加
振供試体に横揺れ加速度や片揺れ加速度が作用し、被加
振供試体が横感度をも持っているため、横揺れ加速度や
片揺れ加速度が被加振供試体の出力を変動させることと
もなる。このような好ましくないモーメントによる加振
機の振動を抑制するため、可動体３８の振動の反力を磁
極３２および磁極３２と一体の構造部分の質量によって
吸収することができるように、磁極３２および磁極３２
と一体の構造部分の質量を可動体３８の質量に比しはる
かに大きな質量となるように設定することが考えられ
た。例えば、ＩＳＯ規格（国際標準規格）においては磁
極３２および防振台３０を含む磁極３２と一体の構造部
分の質量を可動体３８の質量の２千倍以上とすることを
要求している。しかしながら、それでもなお加振機に曲
げモーメントや片揺れモーメント等の好ましくないモー
メントが作用するのを防止し、校正精度を上げるために
は、可動体３８の振動の反力の合力の作用線が加振機お
よび防振台を合わせた構成体の重心点を通るようにしな
ければならず、そのためには加振機の構造が複雑となり
大型とならざるをえず、供試体の取付け作業においても
制約を受けることとなる。
加振機において、加振時に振動子である可動体３８が振
動すると、可動体３８の振動の反力が磁極３２に作用す
る。その際、可動体３８の振動の反力の合力Ｆの作用線
が加振機および加振機を支持する防振台を合わせた構成
体の重心点Ｇから例えばｌだけずれていると、加振機に
曲げモーメントｌ×Ｆや片揺れモーメント等の好ましく
ないモーメントによる振動が発生する。その結果、被加
振供試体に横揺れ加速度や片揺れ加速度が作用し、被加
振供試体が横感度をも持っているため、横揺れ加速度や
片揺れ加速度が被加振供試体の出力を変動させることと
もなる。このような好ましくないモーメントによる加振
機の振動を抑制するため、可動体３８の振動の反力を磁
極３２および磁極３２と一体の構造部分の質量によって
吸収することができるように、磁極３２および磁極３２
と一体の構造部分の質量を可動体３８の質量に比しはる
かに大きな質量となるように設定することが考えられ
た。例えば、ＩＳＯ規格（国際標準規格）においては磁
極３２および防振台３０を含む磁極３２と一体の構造部
分の質量を可動体３８の質量の２千倍以上とすることを
要求している。しかしながら、それでもなお加振機に曲
げモーメントや片揺れモーメント等の好ましくないモー
メントが作用するのを防止し、校正精度を上げるために
は、可動体３８の振動の反力の合力の作用線が加振機お
よび防振台を合わせた構成体の重心点を通るようにしな
ければならず、そのためには加振機の構造が複雑となり
大型とならざるをえず、供試体の取付け作業においても
制約を受けることとなる。
【００１３】さらに、加振機および同加振機を支持する
防振台３０を合わせた構成体の質量が大きいため、同構
成体の固有振動数が低くなり、その結果、同固有振動数
が校正振動数の帯域に存在する場合には、可動体３８の
振動の反力が直接同構成体に加わって、その固有振動数
付近においては同構成体の振動の振幅が大きくなり、測
定の不確かさが増大する。
防振台３０を合わせた構成体の質量が大きいため、同構
成体の固有振動数が低くなり、その結果、同固有振動数
が校正振動数の帯域に存在する場合には、可動体３８の
振動の反力が直接同構成体に加わって、その固有振動数
付近においては同構成体の振動の振幅が大きくなり、測
定の不確かさが増大する。
【００１４】そこで、本発明は、加振時に振動子である
可動体が振動しても、防振台に可動体の振動の反力が殆
ど作用することがないようにし、可動体の振動の反力の
合力の作用線が加振機および防振台を合わせた構成体の
重心点を正確に通っていなくても、加振機に曲げモーメ
ントや片揺れモーメント等の好ましくないモーメントに
よる振動が発生することがないようにし、その分、被加
振供試体の横揺れや片揺れを最小限に抑えて被加振供試
体の加振軸以外の方向の振動による出力変動を極力抑え
ることができるようにし、さらに磁極や防振台等の可動
体支持構造部分の質量が小さくとも済むようにした、加
振機における振動ピックアップの支持装置を提供しよう
とするものである。
可動体が振動しても、防振台に可動体の振動の反力が殆
ど作用することがないようにし、可動体の振動の反力の
合力の作用線が加振機および防振台を合わせた構成体の
重心点を正確に通っていなくても、加振機に曲げモーメ
ントや片揺れモーメント等の好ましくないモーメントに
よる振動が発生することがないようにし、その分、被加
振供試体の横揺れや片揺れを最小限に抑えて被加振供試
体の加振軸以外の方向の振動による出力変動を極力抑え
ることができるようにし、さらに磁極や防振台等の可動
体支持構造部分の質量が小さくとも済むようにした、加
振機における振動ピックアップの支持装置を提供しよう
とするものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明の加振機における振動ピックアップの支持装
置は、磁極および同磁極と不可分の励磁コイル等を含み
防振台に対して相対移動自在に支持された磁極構成体
と、同磁極構成体を上記防振台に対する中立位置に復帰
させるように同磁極構成体に対して常時復帰力を作用さ
せる磁極構成体復帰手段と、可動コイルを有するととも
に振動ピックアップを支持し、上記磁極構成体を構成す
る磁極と上記可動コイルとの間の磁力作用により上記磁
極構成体に対して振動をするとともに上記防振台に対し
ても振動をすることができる可動体と、上記防振台上に
上記磁極構成体とは分離して配設されて、上記可動体の
振動の反力の合力の作用線が上記磁極構成体の概ね重心
位置を通るように上記可動体を相対移動自在に支持する
可動体支持部と、上記可動体を上記可動体支持部に対す
る中立位置に復帰させるように上記可動体に対して常時
復帰力を作用させる可動体復帰手段とを備えている。
め、本発明の加振機における振動ピックアップの支持装
置は、磁極および同磁極と不可分の励磁コイル等を含み
防振台に対して相対移動自在に支持された磁極構成体
と、同磁極構成体を上記防振台に対する中立位置に復帰
させるように同磁極構成体に対して常時復帰力を作用さ
せる磁極構成体復帰手段と、可動コイルを有するととも
に振動ピックアップを支持し、上記磁極構成体を構成す
る磁極と上記可動コイルとの間の磁力作用により上記磁
極構成体に対して振動をするとともに上記防振台に対し
ても振動をすることができる可動体と、上記防振台上に
上記磁極構成体とは分離して配設されて、上記可動体の
振動の反力の合力の作用線が上記磁極構成体の概ね重心
位置を通るように上記可動体を相対移動自在に支持する
可動体支持部と、上記可動体を上記可動体支持部に対す
る中立位置に復帰させるように上記可動体に対して常時
復帰力を作用させる可動体復帰手段とを備えている。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図面により本発明の実施の
形態について説明する。図１は、本発明の１実施の形態
に係る、加振機における振動ピックアップの支持装置の
基本的な構成を説明するための模式的な要部拡大縦断面
図である。
形態について説明する。図１は、本発明の１実施の形態
に係る、加振機における振動ピックアップの支持装置の
基本的な構成を説明するための模式的な要部拡大縦断面
図である。
【００１７】図１において、加振機４の本体を構成し、
励磁コイル３４とともに磁極構成体４１を構成する磁極
３２が、ベースとしての防振台３０上に、例えばスライ
ド支持手段３１ａ、３１ｂを介して、防振台３０に対し
て相対移動自在に支持されている。そして、磁極３２し
たがって磁極構成体４１は、防振台３０に対する中立位
置から変位しても、常に磁極３２を防振台３０に対する
中立位置へと復帰させる例えば板ばね等の磁極復帰手段
３５を介して、防振台３０に対して支持されている。こ
の板ばね等の磁極復帰手段３５の作用により、 磁極３
２および励磁コイル３４により構成される磁極構成体４
１が、 防振台３０に対する中立位置から変位しても、
常に防振台３０に対する中立位置へと復帰するように復
帰力を受けている。磁極３２は、中央磁極３２ａとこの
中央磁極３２ａを取り囲む外部磁極３２ｂとを有し、中
央磁極３２ａと外部磁極３２ｂとの間の環状の空隙部内
に配設された励磁コイル３４により生成された磁力が、
中央磁極３２ａおよび外部磁極３２ｂに沿って閉じた磁
束を形成するように構成されている。磁極構成体４１
は、図１のように磁極 ３２ が励磁コイル ３４ により
励磁され、励磁コイル３４が磁極３２から不可分で磁極
３２と一体的に構成された場合には磁極３２と励磁コイ
ル３４とを含んで構成され、また例えば磁極３２の少な
くとも一部が永久磁石により形成され、励磁コイル３４
を付設する必要のない場合には、磁極３２のみにより構
成される。
励磁コイル３４とともに磁極構成体４１を構成する磁極
３２が、ベースとしての防振台３０上に、例えばスライ
ド支持手段３１ａ、３１ｂを介して、防振台３０に対し
て相対移動自在に支持されている。そして、磁極３２し
たがって磁極構成体４１は、防振台３０に対する中立位
置から変位しても、常に磁極３２を防振台３０に対する
中立位置へと復帰させる例えば板ばね等の磁極復帰手段
３５を介して、防振台３０に対して支持されている。こ
の板ばね等の磁極復帰手段３５の作用により、 磁極３
２および励磁コイル３４により構成される磁極構成体４
１が、 防振台３０に対する中立位置から変位しても、
常に防振台３０に対する中立位置へと復帰するように復
帰力を受けている。磁極３２は、中央磁極３２ａとこの
中央磁極３２ａを取り囲む外部磁極３２ｂとを有し、中
央磁極３２ａと外部磁極３２ｂとの間の環状の空隙部内
に配設された励磁コイル３４により生成された磁力が、
中央磁極３２ａおよび外部磁極３２ｂに沿って閉じた磁
束を形成するように構成されている。磁極構成体４１
は、図１のように磁極 ３２ が励磁コイル ３４ により
励磁され、励磁コイル３４が磁極３２から不可分で磁極
３２と一体的に構成された場合には磁極３２と励磁コイ
ル３４とを含んで構成され、また例えば磁極３２の少な
くとも一部が永久磁石により形成され、励磁コイル３４
を付設する必要のない場合には、磁極３２のみにより構
成される。
【００１８】図１において、磁極３２の端面側には、磁
極３２から分離して、防振台３０上に固定状態に可動体
支持部３６が配設されており、この可動体支持部３６の
可動体支持面部３６ａ、３６ｂには、例えば空気軸受等
の摩擦抵抗が極めて小さく、油圧軸受に対して温度変化
の少ない軸受３７を介して、振動子を構成する可動体３
８が、可動体支持部３６に対して磁極３２および励磁コ
イル３４よりなる磁極構成体４１の中心線方向に相対移
動自在に支持されている。可動体３８は、磁極３２およ
び励磁コイル３４よりなる磁極構成体４１の中心線と同
心で中央磁極３２ａと外部磁極３２ｂの端面との間の環
状の空隙部を軸方向に貫通するようにして延設された可
動コイル３９を有するとともに、可動コイル３９の中心
線方向の可動体３８と一体となって振動する振動ピック
アップ１０を、例えば着脱ねじ等の着脱手段を介して、
着脱自在に支持している。振動ピックアップ１０の先端
部には、重錘４０およびミラーとしての振動鏡４ａが装
着されている。
極３２から分離して、防振台３０上に固定状態に可動体
支持部３６が配設されており、この可動体支持部３６の
可動体支持面部３６ａ、３６ｂには、例えば空気軸受等
の摩擦抵抗が極めて小さく、油圧軸受に対して温度変化
の少ない軸受３７を介して、振動子を構成する可動体３
８が、可動体支持部３６に対して磁極３２および励磁コ
イル３４よりなる磁極構成体４１の中心線方向に相対移
動自在に支持されている。可動体３８は、磁極３２およ
び励磁コイル３４よりなる磁極構成体４１の中心線と同
心で中央磁極３２ａと外部磁極３２ｂの端面との間の環
状の空隙部を軸方向に貫通するようにして延設された可
動コイル３９を有するとともに、可動コイル３９の中心
線方向の可動体３８と一体となって振動する振動ピック
アップ１０を、例えば着脱ねじ等の着脱手段を介して、
着脱自在に支持している。振動ピックアップ１０の先端
部には、重錘４０およびミラーとしての振動鏡４ａが装
着されている。
【００１９】振動ピックアップ１０の形態によっては、
図１のように振動ピックアップ１０を直接可動体３８に
取付けることに代えて、例えば図５に示すように、振動
ピックアップ１０を、可動体３８に固定された支持枠体
４２を介して可動体３８に取付けるようにしても良い。
図１のように振動ピックアップ１０を直接可動体３８に
取付けることに代えて、例えば図５に示すように、振動
ピックアップ１０を、可動体３８に固定された支持枠体
４２を介して可動体３８に取付けるようにしても良い。
【００２０】図１において、振動子としての可動体３８
は、磁極３２と可動コイル３９との間の磁力作用により
磁極３２および励磁コイル３４よりなる磁極構成体４１
に対して磁極構成体４１の中心線方向に振動するととも
に、防振台３０および可動体支持部３６に対しても振動
をすることができる。可動体３８は、磁極３２と可動コ
イル３９との間の磁力作用により可動体支持部３６に対
する中立位置から変位しても、周知の可動体復帰手段に
より、常に可動体支持部３６に対する中立位置へと復帰
するように復帰力を受ける。可動体復帰手段としては、
例えば、可動体３８を可動体支持部３６に対して弾力的
に支持する板ばね等の機械的な可動体復帰手段、あるい
は可動体３８の可動体支持部３６に対する中立位置から
の変位を例えばレーザ干渉計等の変位検出手段により検
出し、検出した変位量に応じて可動コイル３９への通電
の向きおよび通電量を変化させて可動コイル３９の電磁
力を制御する電磁的な可動体復帰手段を採用することが
できる。
は、磁極３２と可動コイル３９との間の磁力作用により
磁極３２および励磁コイル３４よりなる磁極構成体４１
に対して磁極構成体４１の中心線方向に振動するととも
に、防振台３０および可動体支持部３６に対しても振動
をすることができる。可動体３８は、磁極３２と可動コ
イル３９との間の磁力作用により可動体支持部３６に対
する中立位置から変位しても、周知の可動体復帰手段に
より、常に可動体支持部３６に対する中立位置へと復帰
するように復帰力を受ける。可動体復帰手段としては、
例えば、可動体３８を可動体支持部３６に対して弾力的
に支持する板ばね等の機械的な可動体復帰手段、あるい
は可動体３８の可動体支持部３６に対する中立位置から
の変位を例えばレーザ干渉計等の変位検出手段により検
出し、検出した変位量に応じて可動コイル３９への通電
の向きおよび通電量を変化させて可動コイル３９の電磁
力を制御する電磁的な可動体復帰手段を採用することが
できる。
【００２１】図１に示す加振機４は以上のように構成さ
れているので、加振時に振動子である可動体３８が振動
しても、防振台３０および可動体支持部３６に可動体３
８の振動の反力が殆ど作用することがなく、可動体３８
の振動の反力の合力の作用線が加振機と防振台とを合わ
せた構成体の重心点を正確に通っていなくても、加振機
４に曲げモーメントや片揺れモーメント等の好ましくな
いモーメントによる振動が発生することがなく、その
分、被加振供試体の横揺れや片揺れを最小限に抑えて被
加振供試体の加振軸以外の方向の振動による出力変動を
極力抑えることができ、さらに磁極３２の質量や防振台
３０等の可動体支持構造部分の質量を小さくすることが
可能となる。
れているので、加振時に振動子である可動体３８が振動
しても、防振台３０および可動体支持部３６に可動体３
８の振動の反力が殆ど作用することがなく、可動体３８
の振動の反力の合力の作用線が加振機と防振台とを合わ
せた構成体の重心点を正確に通っていなくても、加振機
４に曲げモーメントや片揺れモーメント等の好ましくな
いモーメントによる振動が発生することがなく、その
分、被加振供試体の横揺れや片揺れを最小限に抑えて被
加振供試体の加振軸以外の方向の振動による出力変動を
極力抑えることができ、さらに磁極３２の質量や防振台
３０等の可動体支持構造部分の質量を小さくすることが
可能となる。
【００２２】図１に示した加振機４においては、振動ピ
ックアップ１０が水平な姿勢で校正をするようにしたも
のであるが、これに代えて、振動ピックアップが水平面
に対して垂直な姿勢で校正をするようにした場合におい
ても、本発明を適用することにより、加振時に振動子で
ある可動体が振動した際、加振機に曲げモーメントや片
揺れモーメント等の好ましくないモーメントによる振動
が発生することがなく、その分、被加振供試体の横揺れ
や片揺れを最小限に抑えて被加振供試体の加振軸以外の
方向の振動による出力変動を極力抑えることができ、さ
らに磁極の質量や防振台等の可動体支持構造部分の質量
を小さくすることが可能となる。
ックアップ１０が水平な姿勢で校正をするようにしたも
のであるが、これに代えて、振動ピックアップが水平面
に対して垂直な姿勢で校正をするようにした場合におい
ても、本発明を適用することにより、加振時に振動子で
ある可動体が振動した際、加振機に曲げモーメントや片
揺れモーメント等の好ましくないモーメントによる振動
が発生することがなく、その分、被加振供試体の横揺れ
や片揺れを最小限に抑えて被加振供試体の加振軸以外の
方向の振動による出力変動を極力抑えることができ、さ
らに磁極の質量や防振台等の可動体支持構造部分の質量
を小さくすることが可能となる。
【００２３】
【発明の効果】本発明の加振機における振動ピックアッ
プの支持装置によれば、以下のような効果が得られる。 （１）磁極および同磁極と不可分の励磁コイル等を含み
防振台に対して相対移動自在に支持された磁極構成体
と、同磁極構成体を上記防振台に対する中立位置に復帰
させるように同磁極構成体に対して常時復帰力を作用さ
せる磁極構成体復帰手段と、可動コイルを有するととも
に振動ピックアップを支持し、上記磁極構成体を構成す
る磁極と上記可動コイルとの間の磁力作用により上記磁
極構成体に対して振動をするとともに上記防振台に対し
ても振動をすることができる可動体と、上記防振台上に
上記磁極構成体とは分離して配設されて、上記可動体の
振動の反力の合力の作用線が上記磁極構成体の概ね重心
位置を通るように上記可動体を相対移動自在に支持する
可動体支持部と、上記可動体を上記可動体支持部に対す
る中立位置に復帰させるように上記可動体に対して常時
復帰力を作用させる可動体復帰手段とを備えているの
で、加振時に振動子である可動体が振動しても、防振台
や可動体支持部に可動体の振動の反力が殆ど作用するこ
とがなく、可動体の振動の反力の合力の作用線が加振機
と防振台とを合わせた構成体の重心点を通っていなくて
も、加振機に曲げモーメントや片揺れモーメント等の好
ましくないモーメントによる振動が発生することがな
く、その分、被加振供試体の横揺れや片揺れを最小限に
抑えて被加振供試体の加振軸以外の方向の振動による出
力変動を極力抑えることができ、さらに磁極の質量や防
振台等の可動体支持構造部分の質量を小さくすることが
可能となる（請求項１）。
プの支持装置によれば、以下のような効果が得られる。 （１）磁極および同磁極と不可分の励磁コイル等を含み
防振台に対して相対移動自在に支持された磁極構成体
と、同磁極構成体を上記防振台に対する中立位置に復帰
させるように同磁極構成体に対して常時復帰力を作用さ
せる磁極構成体復帰手段と、可動コイルを有するととも
に振動ピックアップを支持し、上記磁極構成体を構成す
る磁極と上記可動コイルとの間の磁力作用により上記磁
極構成体に対して振動をするとともに上記防振台に対し
ても振動をすることができる可動体と、上記防振台上に
上記磁極構成体とは分離して配設されて、上記可動体の
振動の反力の合力の作用線が上記磁極構成体の概ね重心
位置を通るように上記可動体を相対移動自在に支持する
可動体支持部と、上記可動体を上記可動体支持部に対す
る中立位置に復帰させるように上記可動体に対して常時
復帰力を作用させる可動体復帰手段とを備えているの
で、加振時に振動子である可動体が振動しても、防振台
や可動体支持部に可動体の振動の反力が殆ど作用するこ
とがなく、可動体の振動の反力の合力の作用線が加振機
と防振台とを合わせた構成体の重心点を通っていなくて
も、加振機に曲げモーメントや片揺れモーメント等の好
ましくないモーメントによる振動が発生することがな
く、その分、被加振供試体の横揺れや片揺れを最小限に
抑えて被加振供試体の加振軸以外の方向の振動による出
力変動を極力抑えることができ、さらに磁極の質量や防
振台等の可動体支持構造部分の質量を小さくすることが
可能となる（請求項１）。
【図１】本発明の１実施の形態に係る、加振機における
振動ピックアップの支持装置の基本的な構成を説明する
ための模式的な要部拡大縦断面図である。
振動ピックアップの支持装置の基本的な構成を説明する
ための模式的な要部拡大縦断面図である。
【図２】従来の加振機の駆動部の基本的な構成を説明す
るための模式的な要部拡大縦断面図である。
るための模式的な要部拡大縦断面図である。
【図３】従来のレーザ干渉計の原理を説明するための説
明図である。
明図である。
【図４】従来の振動ピックアップの校正装置の全体構成
の１例を説明するための模式図である。
の１例を説明するための模式図である。
【図５】図１の振動ピックアップの取付け形態とは異な
った取付け形態によって可動体に取付けられた振動ピッ
クアップの１例を示す要部側面断面図である。
った取付け形態によって可動体に取付けられた振動ピッ
クアップの１例を示す要部側面断面図である。
０１ レーザ発振器 ０２ ハーフミラー等の分割鏡 ０３ 振動鏡 ０４ 光電変換器 ０５ 固定鏡 １ レーザ発振器 ２ 分割鏡 ３ 固定鏡 ４ 加振機 ４ａ ミラー等の振動鏡 １０ 振動ピックアップ １１ 前置増幅器 １２ 実効値形電圧計 １３ 前置増幅器 １４ 増幅器 １５ フォトトランジスタ １６ パルス発生器 １７ 発信器 １７ａ 出力調整用ボリュウム手段 １８ 電力増幅器 １９ オシロスコープ １９ａ 周波数分析器 ２０ 比カウンタ ２１ フィルタ ２２ オシロスコープ ２３ 電圧計 ３０ 防振台 ３１ａ，３１ｂ スライド支持手段 ３２ 磁極 ３２ａ 中央磁極 ３２ｂ 外部磁極 ３４ 励磁コイル ３５ 板ばね等の磁極復帰手段 ３６ 可動体支持部 ３６ａ，３６ｂ 可動体支持面部 ３７ 空気軸受等の軸受 ３８ 可動体としての振動子 ３９ 可動コイル ４０ 重錘 ４１ 磁極構成体 ４２ 支持枠体
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成９年６月３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 加振機における振動ピックアップの支
持装置
持装置
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、加振機における振
動ピックアップの支持装置に関する。
動ピックアップの支持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、レーザ光により加振機の正確な振
動加速度Ａ〔ｍ／ｓ２〕を計測するとともに、同加振機
の振動を検出する振動ピックアップの検出出力Ｖ〔ｍ
Ｖ〕を計測することにより、振動ピックアップの感度Ｓ
＝Ｖ／Ａ〔ｍＶ・ｓ２／ｍ〕を校正することが行なわれ
ている。
動加速度Ａ〔ｍ／ｓ２〕を計測するとともに、同加振機
の振動を検出する振動ピックアップの検出出力Ｖ〔ｍ
Ｖ〕を計測することにより、振動ピックアップの感度Ｓ
＝Ｖ／Ａ〔ｍＶ・ｓ２／ｍ〕を校正することが行なわれ
ている。
【０００３】その際、レーザ干渉計を用いて加振機の加
振時における振動部の変位の絶対値を測定して振動の加
速度を検知し、加振機の振動部に取付けられた振動ピッ
クアップの感度を計測することによって、同振動ピック
アップを校正することが知られている（国際標準規格Ｉ
ＳＯ５３４７−１）。
振時における振動部の変位の絶対値を測定して振動の加
速度を検知し、加振機の振動部に取付けられた振動ピッ
クアップの感度を計測することによって、同振動ピック
アップを校正することが知られている（国際標準規格Ｉ
ＳＯ５３４７−１）。
【０００４】図３はレーザ干渉計の原理を説明するため
の説明図である。図３において、光源としてのレーザ発
振器０１から放射されたレーザ光が、ハーフミラー等の
分割鏡０２を通過する際、分割鏡０２によって２分さ
れ、レーザ光のほぼ半分はそのまま直進して加振機の振
動部に固定された振動鏡０３により反射された後、分割
鏡０２へ戻り、さらにその一部が分割鏡０２により反射
されて光電変換器０４へ到達する。これに対しレーザ発
振機０１から放射され分割鏡０２により２分されたレー
ザ光の他のほぼ半分は分割鏡０２により反射されて固定
鏡０５へと向かい、固定鏡０５により反射された後、分
割鏡０２へ戻り、その一部が分割鏡０２を透過して光電
変換器０４へ到達する。その結果、振動鏡０３により反
射された後に光電変換器０４に到達したレーザ光と、固
定鏡０５により反射された後に光電変換器０４に到達し
たレーザ光とが干渉し合って干渉光として合成され、干
渉光の強度すなわち輝度は、加振機の加振による振動鏡
０３の振動に伴って干渉縞を形成し、最大値、最小値を
繰り返す。
の説明図である。図３において、光源としてのレーザ発
振器０１から放射されたレーザ光が、ハーフミラー等の
分割鏡０２を通過する際、分割鏡０２によって２分さ
れ、レーザ光のほぼ半分はそのまま直進して加振機の振
動部に固定された振動鏡０３により反射された後、分割
鏡０２へ戻り、さらにその一部が分割鏡０２により反射
されて光電変換器０４へ到達する。これに対しレーザ発
振機０１から放射され分割鏡０２により２分されたレー
ザ光の他のほぼ半分は分割鏡０２により反射されて固定
鏡０５へと向かい、固定鏡０５により反射された後、分
割鏡０２へ戻り、その一部が分割鏡０２を透過して光電
変換器０４へ到達する。その結果、振動鏡０３により反
射された後に光電変換器０４に到達したレーザ光と、固
定鏡０５により反射された後に光電変換器０４に到達し
たレーザ光とが干渉し合って干渉光として合成され、干
渉光の強度すなわち輝度は、加振機の加振による振動鏡
０３の振動に伴って干渉縞を形成し、最大値、最小値を
繰り返す。
【０００５】図４は、振動ピックアップの校正装置の全
体構成の１例を説明するための模式図である。図４にお
いて、床面上に例えば空気ばねやゴムばね等の防振手段
を介して設置された防振台３０上には、レーザ発振器
１、ハーフミラー等の分割鏡２、固定鏡３および振動発
生装置としての加振機４が配設されている。加振機４に
は振動ピックアップ１０が取付けられており、振動ピッ
クアップ１０の端面には振動鏡４ａが一体的に支持され
ている。振動ピックアップ１０は、検知した振動を電気
信号の形に変換し、同電気信号を出力信号として前置増
幅器１１へ送る。前置増幅器１１は、振動ピックアップ
１０から送られた電気信号を増幅し、増幅した電気信号
を実効値形電圧計１２へ送る。実効値形電圧計１２は、
振動ピックアップ１０から前置増幅器１１を介して送ら
れた電気信号の電圧を、振動ピックアップ１０の検出出
力電圧として表示する。
体構成の１例を説明するための模式図である。図４にお
いて、床面上に例えば空気ばねやゴムばね等の防振手段
を介して設置された防振台３０上には、レーザ発振器
１、ハーフミラー等の分割鏡２、固定鏡３および振動発
生装置としての加振機４が配設されている。加振機４に
は振動ピックアップ１０が取付けられており、振動ピッ
クアップ１０の端面には振動鏡４ａが一体的に支持され
ている。振動ピックアップ１０は、検知した振動を電気
信号の形に変換し、同電気信号を出力信号として前置増
幅器１１へ送る。前置増幅器１１は、振動ピックアップ
１０から送られた電気信号を増幅し、増幅した電気信号
を実効値形電圧計１２へ送る。実効値形電圧計１２は、
振動ピックアップ１０から前置増幅器１１を介して送ら
れた電気信号の電圧を、振動ピックアップ１０の検出出
力電圧として表示する。
【０００６】光電変換器としてのフォトトランジスタ１
５は、検知した光の干渉縞を電気信号の形に変換する。
フォトトランジスタ１５が検知した光の干渉縞を表す電
気信号は、前置増幅器１３および増幅器１４により増幅
され、パルス発生器１６を経て比カウンタ２０へ入力さ
れる。他方、加振機４の発振器１７は、加振機４に振動
を発生させるのに必要な出力電圧の大きさを調整するた
めの出力調整用ボリュウム手段１７ａを備えており、出
力調整用ボリュウム手段１７ａにより調整された発振器
１７の出力は、電力増幅器１８により増幅された後、加
振機４へ送られる。同時に、発振器１７の出力は、周波
数カウンタ２０ａへ送られるとともに、比カウンタ２０
へも送られる。
５は、検知した光の干渉縞を電気信号の形に変換する。
フォトトランジスタ１５が検知した光の干渉縞を表す電
気信号は、前置増幅器１３および増幅器１４により増幅
され、パルス発生器１６を経て比カウンタ２０へ入力さ
れる。他方、加振機４の発振器１７は、加振機４に振動
を発生させるのに必要な出力電圧の大きさを調整するた
めの出力調整用ボリュウム手段１７ａを備えており、出
力調整用ボリュウム手段１７ａにより調整された発振器
１７の出力は、電力増幅器１８により増幅された後、加
振機４へ送られる。同時に、発振器１７の出力は、周波
数カウンタ２０ａへ送られるとともに、比カウンタ２０
へも送られる。
【０００７】比カウンタ２０においては、振動鏡４ａに
おいて生成される測定用照射光であるレーザ光の干渉縞
の振動数と加振機４が発生する振動の振動数との比、す
なわち振動鏡の振動の１周期当たりの干渉縞の数の値が
計数される。
おいて生成される測定用照射光であるレーザ光の干渉縞
の振動数と加振機４が発生する振動の振動数との比、す
なわち振動鏡の振動の１周期当たりの干渉縞の数の値が
計数される。
【０００８】フォトトランジスタ１５により電気信号の
形で検出され、増幅器１４により増幅された光の干渉縞
を表す電気信号は、さらに、周波数分析器１９ａを介し
てオシロスコープ１９へ、あるいは直接オシロスコープ
１９へ送られて表示される一方、フィルタ２１を介し
て、オシロスコープ２２へ送られて表示されるととも
に、電圧計２３へも送られて電圧の測定も行われる。
形で検出され、増幅器１４により増幅された光の干渉縞
を表す電気信号は、さらに、周波数分析器１９ａを介し
てオシロスコープ１９へ、あるいは直接オシロスコープ
１９へ送られて表示される一方、フィルタ２１を介し
て、オシロスコープ２２へ送られて表示されるととも
に、電圧計２３へも送られて電圧の測定も行われる。
【０００９】図２に、加振機４の駆動部の基本的な構成
を説明するための模式的な要部拡大縦断面図を示す。図
２において、加振機４の本体を構成する磁極３２が、ベ
ースとしての防振台３０により、同防振台３０に対して
相対移動をしないように固定した状態で支持されてい
る。磁極３２は、中央磁極３２ａとこの中央磁極３２ａ
を取り囲む外部磁極３２ｂとを有し、中央磁極３２ａと
外部磁極３２ｂとの間の環状の空隙部内に配設された励
磁コイル３４により生成された磁力が、中央磁極３２ａ
および外部磁極３２ｂに沿って閉じた磁束を形成するよ
うに構成されている。
を説明するための模式的な要部拡大縦断面図を示す。図
２において、加振機４の本体を構成する磁極３２が、ベ
ースとしての防振台３０により、同防振台３０に対して
相対移動をしないように固定した状態で支持されてい
る。磁極３２は、中央磁極３２ａとこの中央磁極３２ａ
を取り囲む外部磁極３２ｂとを有し、中央磁極３２ａと
外部磁極３２ｂとの間の環状の空隙部内に配設された励
磁コイル３４により生成された磁力が、中央磁極３２ａ
および外部磁極３２ｂに沿って閉じた磁束を形成するよ
うに構成されている。
【００１０】図２において、磁極３２の端面側に固定さ
れた可動体支持部３６の可動体支持面部には、例えば空
気軸受等の摩擦抵抗が極めて小さな軸受３７を介して、
振動子を構成する可動体３８が、可動体支持部３６に対
して磁極３２の中心線方向に相対移動自在に支持されて
いる。可動体３８は、磁極３２の中心線と同心で中央磁
極３２ａと外部磁極３２ｂの端面との間の環状の空隙部
を軸方向に貫通するようにして延設された可動コイル３
９を有するとともに、可動コイル３９の中心線方向に可
動体３８が振動する際に可動体３８と一体となって振動
する振動ピックアップ１０を、例えば着脱ねじ等の着脱
手段を介して、着脱自在に支持している。振動ピックア
ップ１０の先端部には、重錘４０およびミラーとしての
振動鏡４ａが装着されている。
れた可動体支持部３６の可動体支持面部には、例えば空
気軸受等の摩擦抵抗が極めて小さな軸受３７を介して、
振動子を構成する可動体３８が、可動体支持部３６に対
して磁極３２の中心線方向に相対移動自在に支持されて
いる。可動体３８は、磁極３２の中心線と同心で中央磁
極３２ａと外部磁極３２ｂの端面との間の環状の空隙部
を軸方向に貫通するようにして延設された可動コイル３
９を有するとともに、可動コイル３９の中心線方向に可
動体３８が振動する際に可動体３８と一体となって振動
する振動ピックアップ１０を、例えば着脱ねじ等の着脱
手段を介して、着脱自在に支持している。振動ピックア
ップ１０の先端部には、重錘４０およびミラーとしての
振動鏡４ａが装着されている。
【００１１】図２の可動体３８は、磁極３２と可動コイ
ル３９との間の磁力作用により磁極３２に対して磁極３
２の中心線方向に振動するとともに、防振台３０に対し
ても振動することができる。可動体３８は、磁極３２と
可動コイル３９との間の磁力作用により可動体支持部３
６に対する中立位置から変位しても、周知の可動体復帰
手段により、常に可動体支持部３６に対する中立位置へ
と復帰するように復帰力を受ける。可動体復帰手段とし
ては、例えば、可動体３８を可動体支持部３６に対して
弾力的に支持する板ばね等の機械的な可動体復帰手段、
あるいは可動体３８の可動体支持部３６に対する中立位
置からの変位を例えばレーザ干渉計等の変位検出手段に
より検出し、検出した変位量に応じて可動コイル３９へ
の通電の向きおよび通電量を変化させて可動コイル３９
の電磁力を制御する電磁的な可動体復帰手段等が、良く
知られている。
ル３９との間の磁力作用により磁極３２に対して磁極３
２の中心線方向に振動するとともに、防振台３０に対し
ても振動することができる。可動体３８は、磁極３２と
可動コイル３９との間の磁力作用により可動体支持部３
６に対する中立位置から変位しても、周知の可動体復帰
手段により、常に可動体支持部３６に対する中立位置へ
と復帰するように復帰力を受ける。可動体復帰手段とし
ては、例えば、可動体３８を可動体支持部３６に対して
弾力的に支持する板ばね等の機械的な可動体復帰手段、
あるいは可動体３８の可動体支持部３６に対する中立位
置からの変位を例えばレーザ干渉計等の変位検出手段に
より検出し、検出した変位量に応じて可動コイル３９へ
の通電の向きおよび通電量を変化させて可動コイル３９
の電磁力を制御する電磁的な可動体復帰手段等が、良く
知られている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
加振機において、加振時に振動子である可動体３８が振
動すると、可動体３８の振動の反力が磁極３２に作用す
る。その際、可動体３８の振動の反力の合力Ｆの作用線
が加振機および加振機を支持する防振台を合わせた構成
体の重心点Ｇから例えばｌだけずれていると、加振機に
曲げモーメントｌ×Ｆや片揺れモーメント等の好ましく
ないモーメントによる振動が発生する。その結果、被加
振供試体に横揺れ加速度や片揺れ加速度が作用し、被加
振供試体が横感度をも持っているため、横揺れ加速度や
片揺れ加速度が被加振供試体の出力を変動させることと
もなる。このような好ましくないモーメントによる加振
機の振動を抑制するため、可動体３８の振動の反力を磁
極３２および磁極３２と一体の構造部分の質量によって
吸収することができるように、磁極３２および磁極３２
と一体の構造部分の質量を可動体３８の質量に比しはる
かに大きな質量となるように設定することが考えられ
た。例えば、ＩＳＯ規格（国際標準規格）においては磁
極３２および防振台３０を含む磁極３２と一体の構造部
分の質量を可動体３８の質量の２千倍以上とすることを
要求している。しかしながら、それでもなお加振機に曲
げモーメントや片揺れモーメント等の好ましくないモー
メントが作用するのを防止し、校正精度を上げるために
は、可動体３８の振動の反力の合力の作用線が加振機お
よび防振台を合わせた構成体の重心点を通るようにしな
ければならず、そのためには加振機の構造が複雑となり
大型とならざるをえず、供試体の取付け作業においても
制約を受けることとなる。
加振機において、加振時に振動子である可動体３８が振
動すると、可動体３８の振動の反力が磁極３２に作用す
る。その際、可動体３８の振動の反力の合力Ｆの作用線
が加振機および加振機を支持する防振台を合わせた構成
体の重心点Ｇから例えばｌだけずれていると、加振機に
曲げモーメントｌ×Ｆや片揺れモーメント等の好ましく
ないモーメントによる振動が発生する。その結果、被加
振供試体に横揺れ加速度や片揺れ加速度が作用し、被加
振供試体が横感度をも持っているため、横揺れ加速度や
片揺れ加速度が被加振供試体の出力を変動させることと
もなる。このような好ましくないモーメントによる加振
機の振動を抑制するため、可動体３８の振動の反力を磁
極３２および磁極３２と一体の構造部分の質量によって
吸収することができるように、磁極３２および磁極３２
と一体の構造部分の質量を可動体３８の質量に比しはる
かに大きな質量となるように設定することが考えられ
た。例えば、ＩＳＯ規格（国際標準規格）においては磁
極３２および防振台３０を含む磁極３２と一体の構造部
分の質量を可動体３８の質量の２千倍以上とすることを
要求している。しかしながら、それでもなお加振機に曲
げモーメントや片揺れモーメント等の好ましくないモー
メントが作用するのを防止し、校正精度を上げるために
は、可動体３８の振動の反力の合力の作用線が加振機お
よび防振台を合わせた構成体の重心点を通るようにしな
ければならず、そのためには加振機の構造が複雑となり
大型とならざるをえず、供試体の取付け作業においても
制約を受けることとなる。
【００１３】さらに、加振機および同加振機を支持する
防振台３０を合わせた構成体の質量が大きいため、同構
成体の固有振動数が低くなり、その結果、同固有振動数
が校正振動数の帯域に存在する場合には、可動体３８の
振動の反力が直接同構成体に加わって、その固有振動数
付近においては同構成体の振動の振幅が大きくなり、測
定の不確かさが増大する。
防振台３０を合わせた構成体の質量が大きいため、同構
成体の固有振動数が低くなり、その結果、同固有振動数
が校正振動数の帯域に存在する場合には、可動体３８の
振動の反力が直接同構成体に加わって、その固有振動数
付近においては同構成体の振動の振幅が大きくなり、測
定の不確かさが増大する。
【００１４】そこで、本発明は、加振時に振動子である
可動体が振動しても、防振台に可動体の振動の反力が殆
ど作用することがないようにし、可動体の振動の反力の
合力の作用線が加振機および防振台を合わせた構成体の
重心点を正確に通っていなくても、加振機に曲げモーメ
ントや片揺れモーメント等の好ましくないモーメントに
よる振動が発生することがないようにし、その分、被加
振供試体の横揺れや片揺れを最小限に抑えて被加振供試
体の加振軸以外の方向の振動による出力変動を極力抑え
ることができるようにし、さらに磁極や防振台等の可動
体支持構造部分の質量が小さくとも済むようにした、加
振機における振動ピックアップの支持装置を提供しよう
とするものである。
可動体が振動しても、防振台に可動体の振動の反力が殆
ど作用することがないようにし、可動体の振動の反力の
合力の作用線が加振機および防振台を合わせた構成体の
重心点を正確に通っていなくても、加振機に曲げモーメ
ントや片揺れモーメント等の好ましくないモーメントに
よる振動が発生することがないようにし、その分、被加
振供試体の横揺れや片揺れを最小限に抑えて被加振供試
体の加振軸以外の方向の振動による出力変動を極力抑え
ることができるようにし、さらに磁極や防振台等の可動
体支持構造部分の質量が小さくとも済むようにした、加
振機における振動ピックアップの支持装置を提供しよう
とするものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明の加振機における振動ピックアップの支持装
置は、磁極および同磁極と不可分の励磁コイル等を含み
防振台に対して相対移動自在に支持された磁極構成体
と、同磁極構成体を上記防振台に対する中立位置に復帰
させるように同磁極構成体に対して常時復帰力を作用さ
せる磁極構成体復帰手段と、可動コイルを有するととも
に振動ピックアップを支持し、上記磁極構成体を構成す
る磁極と上記可動コイルとの間の磁力作用により上記磁
極構成体に対して振動をするとともに上記防振台に対し
ても振動をすることができる可動体と、上記防振台上に
上記磁極構成体とは分離して配設されて、上記可動体の
振動の反力の合力の作用線が上記磁極構成体の概ね重心
位置を通るように上記可動体を相対移動自在に支持する
可動体支持部と、上記可動体を上記可動体支持部に対す
る中立位置に復帰させるように上記可動体に対して常時
復帰力を作用させる可動体復帰手段とを備えている。
め、本発明の加振機における振動ピックアップの支持装
置は、磁極および同磁極と不可分の励磁コイル等を含み
防振台に対して相対移動自在に支持された磁極構成体
と、同磁極構成体を上記防振台に対する中立位置に復帰
させるように同磁極構成体に対して常時復帰力を作用さ
せる磁極構成体復帰手段と、可動コイルを有するととも
に振動ピックアップを支持し、上記磁極構成体を構成す
る磁極と上記可動コイルとの間の磁力作用により上記磁
極構成体に対して振動をするとともに上記防振台に対し
ても振動をすることができる可動体と、上記防振台上に
上記磁極構成体とは分離して配設されて、上記可動体の
振動の反力の合力の作用線が上記磁極構成体の概ね重心
位置を通るように上記可動体を相対移動自在に支持する
可動体支持部と、上記可動体を上記可動体支持部に対す
る中立位置に復帰させるように上記可動体に対して常時
復帰力を作用させる可動体復帰手段とを備えている。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図面により本発明の実施の
形態について説明する。図１は、本発明の１実施の形態
に係る、加振機における振動ピックアップの支持装置の
基本的な構成を説明するための模式的な要部拡大縦断面
図である。
形態について説明する。図１は、本発明の１実施の形態
に係る、加振機における振動ピックアップの支持装置の
基本的な構成を説明するための模式的な要部拡大縦断面
図である。
【００１７】図１において、加振機４の本体を構成し、
励磁コイル３４とともに磁極構成体４１を構成する磁極
３２が、ベースとしての防振台３０上に、例えばスライ
ド支持手段３１ａ、３１ｂを介して、防振台３０に対し
て相対移動自在に支持されている。そして、磁極３２し
たがって磁極構成体４１は、防振台３０に対する中立位
置から変位しても、常に磁極３２を防振台３０に対する
中立位置へと復帰させる例えば板ばね等の磁極復帰手段
３５を介して、防振台３０に対して支持されている。こ
の板ばね等の磁極復帰手段３５の作用により、磁極３２
および励磁コイル３４により構成される磁極構成体４１
が、防振台３０に対する中立位置から変位しても、常に
防振台３０に対する中立位置へと復帰するように復帰力
を受けている。磁極３２は、中央磁極３２ａとこの中央
磁極３２ａを取り囲む外部磁極３２ｂとを有し、中央磁
極３２ａと外部磁極３２ｂとの間の環状の空隙部内に配
設された励磁コイル３４により生成された磁力が、中央
磁極３２ａおよび外部磁極３２ｂに沿って閉じた磁束を
形成するように構成されている。磁極構成体４１は、図
１のように磁極３２が励磁コイル３４により励磁され、
励磁コイル３４が磁極３２から不可分で磁極３２と一体
的に構成された場合には磁極３２と励磁コイル３４とを
含んで構成され、また例えば磁極３２の少なくとも一部
が永久磁石により形成され、励磁コイル３４を付設する
必要のない場合には、磁極３２のみにより構成される。
励磁コイル３４とともに磁極構成体４１を構成する磁極
３２が、ベースとしての防振台３０上に、例えばスライ
ド支持手段３１ａ、３１ｂを介して、防振台３０に対し
て相対移動自在に支持されている。そして、磁極３２し
たがって磁極構成体４１は、防振台３０に対する中立位
置から変位しても、常に磁極３２を防振台３０に対する
中立位置へと復帰させる例えば板ばね等の磁極復帰手段
３５を介して、防振台３０に対して支持されている。こ
の板ばね等の磁極復帰手段３５の作用により、磁極３２
および励磁コイル３４により構成される磁極構成体４１
が、防振台３０に対する中立位置から変位しても、常に
防振台３０に対する中立位置へと復帰するように復帰力
を受けている。磁極３２は、中央磁極３２ａとこの中央
磁極３２ａを取り囲む外部磁極３２ｂとを有し、中央磁
極３２ａと外部磁極３２ｂとの間の環状の空隙部内に配
設された励磁コイル３４により生成された磁力が、中央
磁極３２ａおよび外部磁極３２ｂに沿って閉じた磁束を
形成するように構成されている。磁極構成体４１は、図
１のように磁極３２が励磁コイル３４により励磁され、
励磁コイル３４が磁極３２から不可分で磁極３２と一体
的に構成された場合には磁極３２と励磁コイル３４とを
含んで構成され、また例えば磁極３２の少なくとも一部
が永久磁石により形成され、励磁コイル３４を付設する
必要のない場合には、磁極３２のみにより構成される。
【００１８】図１において、磁極３２の端面側には、磁
極３２から分離して、防振台３０上に固定状態に可動体
支持部３６が配設されており、この可動体支持部３６の
可動体支持面部３６ａ、３６ｂには、例えば空気軸受等
の摩擦抵抗が極めて小さく、油圧軸受に対して温度変化
の少ない軸受３７を介して、振動子を構成する可動体３
８が、可動体支持部３６に対して磁極３２および励磁コ
イル３４よりなる磁極構成体４１の中心線方向に相対移
動自在に支持されている。可動体３８は、磁極３２およ
び励磁コイル３４よりなる磁極構成体４１の中心線と同
心で中央磁極３２ａと外部磁極３２ｂの端面との間の環
状の空隙部を軸方向に貫通するようにして延設された可
動コイル３９を有するとともに、可動コイル３９の中心
線方向の可動体３８と一体となって振動する振動ピック
アップ１０を、例えば着脱ねじ等の着脱手段を介して、
着脱自在に支持している。振動ピックアップ１０の先端
部には、重錘４０およびミラーとしての振動鏡４ａが装
着されている。
極３２から分離して、防振台３０上に固定状態に可動体
支持部３６が配設されており、この可動体支持部３６の
可動体支持面部３６ａ、３６ｂには、例えば空気軸受等
の摩擦抵抗が極めて小さく、油圧軸受に対して温度変化
の少ない軸受３７を介して、振動子を構成する可動体３
８が、可動体支持部３６に対して磁極３２および励磁コ
イル３４よりなる磁極構成体４１の中心線方向に相対移
動自在に支持されている。可動体３８は、磁極３２およ
び励磁コイル３４よりなる磁極構成体４１の中心線と同
心で中央磁極３２ａと外部磁極３２ｂの端面との間の環
状の空隙部を軸方向に貫通するようにして延設された可
動コイル３９を有するとともに、可動コイル３９の中心
線方向の可動体３８と一体となって振動する振動ピック
アップ１０を、例えば着脱ねじ等の着脱手段を介して、
着脱自在に支持している。振動ピックアップ１０の先端
部には、重錘４０およびミラーとしての振動鏡４ａが装
着されている。
【００１９】振動ピックアップ１０の形態によっては、
図１のように振動ピックアップ１０を直接可動体３８に
取付けることに代えて、例えば図５に示すように、振動
ピックアップ１０を、可動体３８に固定された支持枠体
４２を介して可動体３８に取付けるようにしても良い。
図１のように振動ピックアップ１０を直接可動体３８に
取付けることに代えて、例えば図５に示すように、振動
ピックアップ１０を、可動体３８に固定された支持枠体
４２を介して可動体３８に取付けるようにしても良い。
【００２０】図１において、振動子としての可動体３８
は、磁極３２と可動コイル３９との間の磁力作用により
磁極３２および励磁コイル３４よりなる磁極構成体４１
に対して磁極構成体４１の中心線方向に振動するととも
に、防振台３０および可動体支持部３６に対しても振動
をすることができる。可動体３８は、磁極３２と可動コ
イル３９との間の磁力作用により可動体支持部３６に対
する中立位置から変位しても、周知の可動体復帰手段に
より、常に可動体支持部３６に対する中立位置へと復帰
するように復帰力を受ける。可動体復帰手段としては、
例えば、可動体３８を可動体支持部３６に対して弾力的
に支持する板ばね等の機械的な可動体復帰手段、あるい
は可動体３８の可動体支持部３６に対する中立位置から
の変位を列えばレーザ干渉計等の変位検出手段により検
出し、検出した変位量に応じて可動コイル３９への通電
の向きおよび通電量を変化させて可動コイル３９の電磁
力を制御する電磁的な可動体復帰手段を採用することが
できる。
は、磁極３２と可動コイル３９との間の磁力作用により
磁極３２および励磁コイル３４よりなる磁極構成体４１
に対して磁極構成体４１の中心線方向に振動するととも
に、防振台３０および可動体支持部３６に対しても振動
をすることができる。可動体３８は、磁極３２と可動コ
イル３９との間の磁力作用により可動体支持部３６に対
する中立位置から変位しても、周知の可動体復帰手段に
より、常に可動体支持部３６に対する中立位置へと復帰
するように復帰力を受ける。可動体復帰手段としては、
例えば、可動体３８を可動体支持部３６に対して弾力的
に支持する板ばね等の機械的な可動体復帰手段、あるい
は可動体３８の可動体支持部３６に対する中立位置から
の変位を列えばレーザ干渉計等の変位検出手段により検
出し、検出した変位量に応じて可動コイル３９への通電
の向きおよび通電量を変化させて可動コイル３９の電磁
力を制御する電磁的な可動体復帰手段を採用することが
できる。
【００２１】図１に示す加振機４は以上のように構成さ
れているので、加振時に振動子である可動体３８が振動
しても、防振台３０および可動体支持部３６に可動体３
８の振動の反力が殆ど作用することがなく、可動体３８
の振動の反力の合力の作用線が加振機と防振台とを合わ
せた構成体の重心点を正確に通っていなくても、加振機
４に曲げモーメントや片揺れモーメント等の好ましくな
いモーメントによる振動が発生することがなく、その
分、被加振供試体の横揺れや片揺れを最小限に抑えて被
加振供試体の加振軸以外の方向の振動による出力変動を
極力抑えることができ、さらに磁極３２の質量や防振台
３０等の可動体支持構造部分の質量を小さくすることが
可能となる。
れているので、加振時に振動子である可動体３８が振動
しても、防振台３０および可動体支持部３６に可動体３
８の振動の反力が殆ど作用することがなく、可動体３８
の振動の反力の合力の作用線が加振機と防振台とを合わ
せた構成体の重心点を正確に通っていなくても、加振機
４に曲げモーメントや片揺れモーメント等の好ましくな
いモーメントによる振動が発生することがなく、その
分、被加振供試体の横揺れや片揺れを最小限に抑えて被
加振供試体の加振軸以外の方向の振動による出力変動を
極力抑えることができ、さらに磁極３２の質量や防振台
３０等の可動体支持構造部分の質量を小さくすることが
可能となる。
【００２２】図１に示した加振機４においては、振動ピ
ックアップ１０が水平な姿勢で校正をするようにしたも
のであるが、これに代えて、振動ピックアップが水平面
に対して垂直な姿勢で校正をするようにした場合におい
ても、本発明を適用することにより、加振時に振動子で
ある可動体が振動した際、加振機に曲げモーメントや片
揺れモーメント等の好ましくないモーメントによる振動
が発生することがなく、その分、被加振供試体の横揺れ
や片揺れを最小限に抑えて被加振供試体の加振軸以外の
方向の振動による出力変動を極力抑えることができ、さ
らに磁極の質量や防振台等の可動体支持構造部分の質量
を小さくすることが可能となる。
ックアップ１０が水平な姿勢で校正をするようにしたも
のであるが、これに代えて、振動ピックアップが水平面
に対して垂直な姿勢で校正をするようにした場合におい
ても、本発明を適用することにより、加振時に振動子で
ある可動体が振動した際、加振機に曲げモーメントや片
揺れモーメント等の好ましくないモーメントによる振動
が発生することがなく、その分、被加振供試体の横揺れ
や片揺れを最小限に抑えて被加振供試体の加振軸以外の
方向の振動による出力変動を極力抑えることができ、さ
らに磁極の質量や防振台等の可動体支持構造部分の質量
を小さくすることが可能となる。
【００２３】
【発明の効果】本発明の加振機における振動ピックアッ
プの支持装置によれば、以下のような効果が得られる。 （１）磁極および同磁極と不可分の励磁コイル等を含み
防振台に対して相対移動自在に支持された磁極構成体
と、同磁極構成体を上記防振台に対する中立位置に復帰
させるように同磁極構成体に対して常時復帰力を作用さ
せる磁極構成体復帰手段と、可動コイルを有するととも
に振動ピックアップを支持し、上記磁極構成体を構成す
る磁極と上記可動コイルとの間の磁力作用により上記磁
極構成体に対して振動をするとともに上記防振台に対し
ても振動をすることができる可動体と、上記防振台上に
上記磁極構成体とは分離して配設されて、上記可動体の
振動の反力の合力の作用線が上記磁極構成体の概ね重心
位置を通るように上記可動体を相対移動自在に支持する
可動体支持部と、上記可動体を上記可動体支持部に対す
る中立位置に復帰させるように上記可動体に対して常時
復帰力を作用させる可動体復帰手段とを備えているの
で、加振時に振動子である可動体が振動しても、防振台
や可動体支持部に可動体の振動の反力が殆ど作用するこ
とがなく、可動体の振動の反力の合力の作用線が加振機
と防振台とを合わせた構成体の重心点を通っていなくて
も、加振機に曲げモーメントや片揺れモーメント等の好
ましくないモーメントによる振動が発生することがな
く、その分、被加振供試体の横揺れや片揺れを最小限に
抑えて被加振供試体の加振軸以外の方向の振動による出
力変動を極力抑えることができ、さらに磁極の質量や防
振台等の可動体支持構造部分の質量を小さくすることが
可能となる（請求項１）。
プの支持装置によれば、以下のような効果が得られる。 （１）磁極および同磁極と不可分の励磁コイル等を含み
防振台に対して相対移動自在に支持された磁極構成体
と、同磁極構成体を上記防振台に対する中立位置に復帰
させるように同磁極構成体に対して常時復帰力を作用さ
せる磁極構成体復帰手段と、可動コイルを有するととも
に振動ピックアップを支持し、上記磁極構成体を構成す
る磁極と上記可動コイルとの間の磁力作用により上記磁
極構成体に対して振動をするとともに上記防振台に対し
ても振動をすることができる可動体と、上記防振台上に
上記磁極構成体とは分離して配設されて、上記可動体の
振動の反力の合力の作用線が上記磁極構成体の概ね重心
位置を通るように上記可動体を相対移動自在に支持する
可動体支持部と、上記可動体を上記可動体支持部に対す
る中立位置に復帰させるように上記可動体に対して常時
復帰力を作用させる可動体復帰手段とを備えているの
で、加振時に振動子である可動体が振動しても、防振台
や可動体支持部に可動体の振動の反力が殆ど作用するこ
とがなく、可動体の振動の反力の合力の作用線が加振機
と防振台とを合わせた構成体の重心点を通っていなくて
も、加振機に曲げモーメントや片揺れモーメント等の好
ましくないモーメントによる振動が発生することがな
く、その分、被加振供試体の横揺れや片揺れを最小限に
抑えて被加振供試体の加振軸以外の方向の振動による出
力変動を極力抑えることができ、さらに磁極の質量や防
振台等の可動体支持構造部分の質量を小さくすることが
可能となる（請求項１）。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施の形態に係る、加振機における
振動ピックアップの支持装置の基本的な構成を説明する
ための模式的な要部拡大縦断面図である。
振動ピックアップの支持装置の基本的な構成を説明する
ための模式的な要部拡大縦断面図である。
【図２】従来の加振機の駆動部の基本的な構成を説明す
るための模式的な要部拡大縦断面図である。
るための模式的な要部拡大縦断面図である。
【図３】従来のレーザ干渉計の原理を説明するための説
明図である。
明図である。
【図４】従来の振動ピックアップの校正装置の全体構成
の１例を説明するための模式図である。
の１例を説明するための模式図である。
【図５】図１の振動ピックアップの取付け形態とは異な
った取付け形態によって可動体に取付けられた振動ピッ
クアップの１例を示す要部側面断面図である。
った取付け形態によって可動体に取付けられた振動ピッ
クアップの１例を示す要部側面断面図である。
【符号の説明】 ０１ レーザ発振器 ０２ ハーフミラー等の分割鏡 ０３ 振動鏡 ０４ 光電変換器 ０５ 固定鏡 １ レーザ発振器 ２ 分割鏡 ３ 固定鏡 ４ 加振機 ４ａ ミラー等の振動鏡 １０ 振動ピックアップ １１ 前置増幅器 １２ 実効値形電圧計 １３ 前置増幅器 １４ 増幅器 １５ フォトトランジスタ １６ パルス発生器 １７ 発振器 １７ａ 出力調整用ボリュウム手段 １８ 電力増幅器 １９ オシロスコープ １９ａ 周波数分析器 ２０ 比カウンタ ２１ フィルタ ２２ オシロスコープ ２３ 電圧計 ３０ 防振台 ３１ａ，３１ｂ スライド支持手段 ３２ 磁極 ３２ａ 中央磁極 ３２ｂ 外部磁極 ３４ 励磁コイル ３５ 板ばね等の磁極復帰手段 ３６ 可動体支持部 ３６ａ，３６ｂ 可動体支持面部 ３７ 空気軸受等の軸受 ３８ 可動体としての振動子 ３９ 可動コイル ４０ 重錘 ４１ 磁極構成体 ４２ 支持枠体
Claims (1)
- 【請求項１】 磁極および同磁極と不可分の励磁コイル
等を含み防振台に対して相対移動自在に支持された磁極
構成体と、同磁極構成体を上記防振台に対する中立位置
に復帰させるように同磁極構成体に対して常時復帰力を
作用させる磁極構成体復帰手段と、可動コイルを有する
とともに振動ピックアップを支持し、上記磁極構成体を
構成する磁極と上記可動コイルとの間の磁力作用により
上記磁極構成体に対して振動をするとともに上記防振台
に対しても振動をすることができる可動体と、上記防振
台上に上記磁極構成体とは分離して配設されて、上記可
動体の振動の反力の合力の作用線が上記磁極構成体の概
ね重心位置を通るように上記可動体を相対移動自在に支
持する可動体支持部と、上記可動体を上記可動体支持部
に対する中立位置に復帰させるように上記可動体に対し
て常時復帰力を作用させる可動体復帰手段とを備えたこ
とを特徴とする、加振機における振動ピックアップの支
持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05707797A JP3679886B2 (ja) | 1997-02-25 | 1997-02-25 | 加振機における振動ピックアップの支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05707797A JP3679886B2 (ja) | 1997-02-25 | 1997-02-25 | 加振機における振動ピックアップの支持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10239149A true JPH10239149A (ja) | 1998-09-11 |
| JP3679886B2 JP3679886B2 (ja) | 2005-08-03 |
Family
ID=13045416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05707797A Expired - Fee Related JP3679886B2 (ja) | 1997-02-25 | 1997-02-25 | 加振機における振動ピックアップの支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3679886B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0487386A (ja) * | 1990-07-31 | 1992-03-19 | Toshiba Corp | パルス色素レーザシステム |
| KR20140028024A (ko) * | 2011-04-26 | 2014-03-07 | 고쿠사이 게이소쿠키 가부시키가이샤 | 동전형 액추에이터 및 동전형 가진 장치 |
| WO2016017744A1 (ja) * | 2014-07-30 | 2016-02-04 | 国際計測器株式会社 | 加振装置、動電型アクチュエータ、クロスガイドウェイ、リニアガイドウェイ及び振動テーブル |
| JP2016035471A (ja) * | 2011-04-26 | 2016-03-17 | 国際計測器株式会社 | 動電型アクチュエータ及び動電型加振装置 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57132036A (en) * | 1981-02-09 | 1982-08-16 | Kokusai Kikai Shindo Kenkyusho:Kk | Measuring device of dynamic spring constant |
| JPS6061637U (ja) * | 1983-10-03 | 1985-04-30 | 株式会社ミツトヨ | 振動試験装置 |
| JPS60206472A (ja) * | 1984-03-29 | 1985-10-18 | 株式会社ミツトヨ | 動電型振動発生装置 |
| JPH01141441U (ja) * | 1988-03-24 | 1989-09-28 | ||
| JPH06323950A (ja) * | 1993-05-14 | 1994-11-25 | Emitsuku Kk | 動電式振動発生機 |
| JPH0743244A (ja) * | 1993-07-30 | 1995-02-14 | Shimadzu Corp | 加振装置 |
-
1997
- 1997-02-25 JP JP05707797A patent/JP3679886B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57132036A (en) * | 1981-02-09 | 1982-08-16 | Kokusai Kikai Shindo Kenkyusho:Kk | Measuring device of dynamic spring constant |
| JPS6061637U (ja) * | 1983-10-03 | 1985-04-30 | 株式会社ミツトヨ | 振動試験装置 |
| JPS60206472A (ja) * | 1984-03-29 | 1985-10-18 | 株式会社ミツトヨ | 動電型振動発生装置 |
| JPH01141441U (ja) * | 1988-03-24 | 1989-09-28 | ||
| JPH06323950A (ja) * | 1993-05-14 | 1994-11-25 | Emitsuku Kk | 動電式振動発生機 |
| JPH0743244A (ja) * | 1993-07-30 | 1995-02-14 | Shimadzu Corp | 加振装置 |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0487386A (ja) * | 1990-07-31 | 1992-03-19 | Toshiba Corp | パルス色素レーザシステム |
| KR20140028024A (ko) * | 2011-04-26 | 2014-03-07 | 고쿠사이 게이소쿠키 가부시키가이샤 | 동전형 액추에이터 및 동전형 가진 장치 |
| US11824416B2 (en) | 2011-04-26 | 2023-11-21 | Kokusai Keisokuki Kabushiki Kaisha | Electrodynamic actuator and electrodynamic excitation device |
| JP2016035471A (ja) * | 2011-04-26 | 2016-03-17 | 国際計測器株式会社 | 動電型アクチュエータ及び動電型加振装置 |
| US11289991B2 (en) | 2011-04-26 | 2022-03-29 | Kokusai Keisokuki Kabushiki Kaisha | Electrodynamic actuator and electrodynamic excitation device with movable part support mechanism and fixed part support mechanism |
| US10281356B2 (en) | 2014-07-30 | 2019-05-07 | Kokusai Keisokuki Kabushiki Kaisha | Oscillating device, electrodynamic actuator, cross guideway, linear guideway and vibrating table |
| JP2018185341A (ja) * | 2014-07-30 | 2018-11-22 | 国際計測器株式会社 | 加振装置、アクチュエータ及びアクチュエータの固定部支持機構 |
| US10436670B2 (en) | 2014-07-30 | 2019-10-08 | Kokusai Keisokuki Kabushiki Kaisha | Oscillating device, electrodynamic actuator, cross guideway, linear guideway and vibrating table |
| CN110530591A (zh) * | 2014-07-30 | 2019-12-03 | 国际计测器株式会社 | 电动型致动器、激振装置、致动器及其固定部支承机构 |
| CN110530592A (zh) * | 2014-07-30 | 2019-12-03 | 国际计测器株式会社 | 激振装置 |
| CN110530591B (zh) * | 2014-07-30 | 2021-12-10 | 国际计测器株式会社 | 电动型致动器、激振装置、致动器及其固定部支承机构 |
| CN110530592B (zh) * | 2014-07-30 | 2022-02-22 | 国际计测器株式会社 | 激振装置 |
| CN106605134A (zh) * | 2014-07-30 | 2017-04-26 | 国际计测器株式会社 | 激振装置、电动型致动器、交叉导轨、线性导轨和振动台 |
| WO2016017744A1 (ja) * | 2014-07-30 | 2016-02-04 | 国際計測器株式会社 | 加振装置、動電型アクチュエータ、クロスガイドウェイ、リニアガイドウェイ及び振動テーブル |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3679886B2 (ja) | 2005-08-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2013104188A1 (zh) | 基于位移反馈型振动台的次声发生装置 | |
| WO1997011344A1 (fr) | Ensemble table vibrante et procede de commande associe | |
| JP3314187B2 (ja) | 慣性質量測定器の力補償器 | |
| JP2007085815A (ja) | 微小押し込み試験装置 | |
| US10641663B2 (en) | Dynamic force contactor, providing a dynamic force, and calibrating a force sensor to be traceable to the international system of units | |
| JPH10239149A (ja) | 加振機における振動ピックアップの支持装置 | |
| JP2005265804A (ja) | 電子天びん | |
| Reeves | An alternating force magnetometer | |
| JP2003337079A (ja) | 動電式振動試験装置 | |
| JP3679891B2 (ja) | 振動ピックアップの校正装置 | |
| CN108507771B (zh) | 用于微小扭矩校准装置的被动式电磁阻尼器 | |
| JPH11351958A (ja) | 振動ピックアップの校正装置 | |
| JP4571333B2 (ja) | 振動発生機における転倒モーメント測定方法 | |
| JPH1030951A (ja) | 質量測定装置 | |
| US20160109478A1 (en) | Magnetic field value measuring device and method for measuring magnetic field value | |
| JPH05142090A (ja) | 振動検出装置 | |
| JP2000292303A (ja) | 動電式振動発生機および振動制御方法 | |
| JP2805881B2 (ja) | 振動検出器 | |
| JP3452314B2 (ja) | 形状測定器 | |
| JPH06308180A (ja) | 表面電位計及び形状測定器 | |
| US3948087A (en) | Vibration apparatus for minute vibrations | |
| JP2010048751A (ja) | 動電型振動計 | |
| JP2004219196A (ja) | 動電式振動発生機 | |
| JP4150479B2 (ja) | 電子部品用振動試験装置 | |
| JPH1151968A (ja) | 振動センサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040213 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20050301 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050415 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050427 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050516 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080520 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080520 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110520 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110520 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140520 Year of fee payment: 9 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |