JPH0743244A - 加振装置 - Google Patents
加振装置Info
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- JPH0743244A JPH0743244A JP5189847A JP18984793A JPH0743244A JP H0743244 A JPH0743244 A JP H0743244A JP 5189847 A JP5189847 A JP 5189847A JP 18984793 A JP18984793 A JP 18984793A JP H0743244 A JPH0743244 A JP H0743244A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は空気圧シリンダとコイルアクチュエ
ータを直列に接続することにより、これらの駆動力が定
盤に作用する力点を一致させ、床面が振動した状態であ
っても、所望とする振動を起振させることができる加振
装置を提供する。 【構成】 図示しない制御手段によってエア入出力部１
６に所定圧力の空気が圧入されるとともにコイルアクチ
ュエータ３に所定の振動関数の振動を発生するよう所定
電流が流され、定盤２の駆動軸２２が付勢される。かか
るコイルアクチュエータ３は、基台１に立設したコイル
３ｂを、定盤２に凹設し側面にマグネット３ａを埋設し
た遊嵌孔２３に遊嵌することで形成されているため、空
気圧シリンダ１ｃとコイルアクチュエータ３が直列に接
続された構造となり、これらの力が定盤２の略同一位置
に作用する。
ータを直列に接続することにより、これらの駆動力が定
盤に作用する力点を一致させ、床面が振動した状態であ
っても、所望とする振動を起振させることができる加振
装置を提供する。 【構成】 図示しない制御手段によってエア入出力部１
６に所定圧力の空気が圧入されるとともにコイルアクチ
ュエータ３に所定の振動関数の振動を発生するよう所定
電流が流され、定盤２の駆動軸２２が付勢される。かか
るコイルアクチュエータ３は、基台１に立設したコイル
３ｂを、定盤２に凹設し側面にマグネット３ａを埋設し
た遊嵌孔２３に遊嵌することで形成されているため、空
気圧シリンダ１ｃとコイルアクチュエータ３が直列に接
続された構造となり、これらの力が定盤２の略同一位置
に作用する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、測定器等に所望の振動
を与えることにより、振動が測定結果に及ぼす影響を調
べたり、物体が真の剛体でない場合に物体内部の柔軟部
の振動による破壊検査等を行う加振装置に関する。
を与えることにより、振動が測定結果に及ぼす影響を調
べたり、物体が真の剛体でない場合に物体内部の柔軟部
の振動による破壊検査等を行う加振装置に関する。
【０００２】
【従来技術】一般に加振装置は、測定器等に所望の振動
を与えることにより、振動が測定結果に及ぼす影響を調
べたり、物体が真の剛体でない場合に物体内部の柔軟部
の振動による破壊検査等を行うために用いられる。
を与えることにより、振動が測定結果に及ぼす影響を調
べたり、物体が真の剛体でない場合に物体内部の柔軟部
の振動による破壊検査等を行うために用いられる。
【０００３】この加振装置には、一定加速度型と一定振
幅型の２種類があり、一定加速度型は加振しようとする
定盤上の振動を振動センサで検出し加速度を一定に保っ
たまま加振周波数を変化させる方法であり、一定振幅型
は加振しようとする定盤上の振動の振幅を位置センサで
検出し、定盤などの振動振幅を一定に保ったまま加振周
波数を変化させる方法である。一定加速度型によれば周
波数が大きくなるにつれて振動の振幅は小さくなり、一
定振幅型によれば周波数が大きくなるにつれて加速度は
大きくなる。そして、いずれの場合も定盤と床面との間
にアクチュエータおよび振動センサを配設し、振動セン
サで定盤の振動を検出し、その振動が所望の振動になる
ようにアクチュエータを駆動制御している。
幅型の２種類があり、一定加速度型は加振しようとする
定盤上の振動を振動センサで検出し加速度を一定に保っ
たまま加振周波数を変化させる方法であり、一定振幅型
は加振しようとする定盤上の振動の振幅を位置センサで
検出し、定盤などの振動振幅を一定に保ったまま加振周
波数を変化させる方法である。一定加速度型によれば周
波数が大きくなるにつれて振動の振幅は小さくなり、一
定振幅型によれば周波数が大きくなるにつれて加速度は
大きくなる。そして、いずれの場合も定盤と床面との間
にアクチュエータおよび振動センサを配設し、振動セン
サで定盤の振動を検出し、その振動が所望の振動になる
ようにアクチュエータを駆動制御している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た方法によれば、定盤の振動を起振させるアクチュエー
タは床から反力を受るため、外部の交通機関等に起因す
る振動や地震の振動等によって床が振動している状態で
は、振動センサで検出された振動に基づいてアクチュエ
ータを駆動しても床面からの振動が余分に加わり正確に
所望とする振動を定盤に与えることが困難であった。
た方法によれば、定盤の振動を起振させるアクチュエー
タは床から反力を受るため、外部の交通機関等に起因す
る振動や地震の振動等によって床が振動している状態で
は、振動センサで検出された振動に基づいてアクチュエ
ータを駆動しても床面からの振動が余分に加わり正確に
所望とする振動を定盤に与えることが困難であった。
【０００５】また、床面からの振動を排除するために振
動除去装置の上に加振装置を設置する方法も検討される
が、加振装置自体の重量が大きいため装置が全体として
大がかりとなる。さらに、振動除去装置上に加振装置を
設置した場合、それぞれ両装置の定盤に作用する力点が
一致しないため、かえって床面からの振動の低減を妨げ
る要因となり、所望とする振動を与えることができな
い。
動除去装置の上に加振装置を設置する方法も検討される
が、加振装置自体の重量が大きいため装置が全体として
大がかりとなる。さらに、振動除去装置上に加振装置を
設置した場合、それぞれ両装置の定盤に作用する力点が
一致しないため、かえって床面からの振動の低減を妨げ
る要因となり、所望とする振動を与えることができな
い。
【０００６】本発明は、これらの問題点を解消するため
に創案されたものであって、空気圧シリンダとコイルア
クチュエータを直列に接続することにより、これらの駆
動力が定盤に作用する力点を一致させ、床面が振動した
状態でも所望とする振動を定盤に与えることができる加
振装置を提供することを目的とする。
に創案されたものであって、空気圧シリンダとコイルア
クチュエータを直列に接続することにより、これらの駆
動力が定盤に作用する力点を一致させ、床面が振動した
状態でも所望とする振動を定盤に与えることができる加
振装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の課題を解決する
ための手段を本発明の一実施例である図１、図２を用い
て説明する。本発明にかかる加振装置は、物体を載置す
る定盤２と、前記定盤２の振動を検出する振動センサ６
と、基台１内に配設され前記定盤２を支持する空気圧シ
リンダ１ｃと、前記定盤２に凹設され側面にマグネット
３ａを埋設した遊嵌孔２３と、前記基台１に立設したコ
イル３ｂとを有し、前記基台１に立設したコイル３ｂを
前記側面にマグネット３ａを埋設した遊嵌孔２３に遊嵌
することによって形成したコイルアクチュエータ３と、
前記定盤２に与えるべき所望の振動関数の信号を発生す
る目標振動発生手段４ａと前記振動関数の信号と前記振
動センサ６の信号との差分を前記コイルアクチュエータ
３に供給する差分供給手段４ｂとからなる制御手段４
と、を備えたことを特徴とする。
ための手段を本発明の一実施例である図１、図２を用い
て説明する。本発明にかかる加振装置は、物体を載置す
る定盤２と、前記定盤２の振動を検出する振動センサ６
と、基台１内に配設され前記定盤２を支持する空気圧シ
リンダ１ｃと、前記定盤２に凹設され側面にマグネット
３ａを埋設した遊嵌孔２３と、前記基台１に立設したコ
イル３ｂとを有し、前記基台１に立設したコイル３ｂを
前記側面にマグネット３ａを埋設した遊嵌孔２３に遊嵌
することによって形成したコイルアクチュエータ３と、
前記定盤２に与えるべき所望の振動関数の信号を発生す
る目標振動発生手段４ａと前記振動関数の信号と前記振
動センサ６の信号との差分を前記コイルアクチュエータ
３に供給する差分供給手段４ｂとからなる制御手段４
と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明の作用を図１、図２を用いて説明する。
振動センサ６によって検出された定盤２の振動を示す信
号は差分供給手段４ｂで目標振動発生手段４ａが出力す
る振動関数信号との差分が求められ、アンプ８を介して
コイルアクチュエータ３に供給される。これにより、コ
イルアクチュエータ３は振動センサ６で検出される信号
が前記振動関数信号に近づくよう定盤２を駆動する。こ
の際、空気圧シリンダ１ｃとコイルアクチュエータ３が
直列に接続されているため、これらの駆動力が定盤２に
作用する力点が一致し、空気圧シリンダ１ｃで吸収され
た床面の振動はコイルアクチュエータ３及び定盤２に伝
わらない。このため、床面が無振動である場合と略同一
環境で加振制御ができ、所望とする振動をより高精度に
定盤２に与えることができる。
振動センサ６によって検出された定盤２の振動を示す信
号は差分供給手段４ｂで目標振動発生手段４ａが出力す
る振動関数信号との差分が求められ、アンプ８を介して
コイルアクチュエータ３に供給される。これにより、コ
イルアクチュエータ３は振動センサ６で検出される信号
が前記振動関数信号に近づくよう定盤２を駆動する。こ
の際、空気圧シリンダ１ｃとコイルアクチュエータ３が
直列に接続されているため、これらの駆動力が定盤２に
作用する力点が一致し、空気圧シリンダ１ｃで吸収され
た床面の振動はコイルアクチュエータ３及び定盤２に伝
わらない。このため、床面が無振動である場合と略同一
環境で加振制御ができ、所望とする振動をより高精度に
定盤２に与えることができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を第１図，第２図及
び第３図に基づいて説明する。◎図１は本発明の加振装
置の機構部の一実施例を示した図で、１は円柱上の形状
をした基台であり、その内部に中空部を有し、その中空
部は分離壁１５によって第一室１１と第２室１２の２室
に区分けされ、この分離壁１５には一方が絞られた貫通
孔１３が貫設されている。そして、第一室１１の円柱側
面にエア入出力部１６が形成され、ここから空気が第一
室１１に供給される。そして、第一室１１の上部は第一
室１１の側壁に端部が固定された弾性体１４で覆われて
おり、これらにより第一室１１は空気バネ１ａを構成す
る。弾性体１４はその下部を弾性支持体１８で支持され
ることにより後述する定盤２の駆動軸２２の載置部が平
面状の形状に保たれる。また、分離壁１５の貫通孔１３
を介して圧入された空気によって第２室１２を所定圧力
に保つことにより空気ダンパ１ｂが構成される。そし
て、これらの空気バネ１ａと空気ダンパ１ｂによって空
気圧シリンダ１ｃが構成され、定盤２を床面から分離し
て載置することを可能とする。なお、本実施例では図１
に示すように空気圧シリンダ１ｃを空気バネ１ａと空気
ダンパ１ｂで構成したが、空気圧シリンダ１ｃを空気ダ
ンパ１ｂのみで構成してもよい。この場合は、分離壁１
５を排除し、前記中空部内の空気圧を一定に保てばよ
い。１７は空気圧シリンダ１ｃが動作していないときに
定盤２の駆動軸２２を載置するための支持部である。
び第３図に基づいて説明する。◎図１は本発明の加振装
置の機構部の一実施例を示した図で、１は円柱上の形状
をした基台であり、その内部に中空部を有し、その中空
部は分離壁１５によって第一室１１と第２室１２の２室
に区分けされ、この分離壁１５には一方が絞られた貫通
孔１３が貫設されている。そして、第一室１１の円柱側
面にエア入出力部１６が形成され、ここから空気が第一
室１１に供給される。そして、第一室１１の上部は第一
室１１の側壁に端部が固定された弾性体１４で覆われて
おり、これらにより第一室１１は空気バネ１ａを構成す
る。弾性体１４はその下部を弾性支持体１８で支持され
ることにより後述する定盤２の駆動軸２２の載置部が平
面状の形状に保たれる。また、分離壁１５の貫通孔１３
を介して圧入された空気によって第２室１２を所定圧力
に保つことにより空気ダンパ１ｂが構成される。そし
て、これらの空気バネ１ａと空気ダンパ１ｂによって空
気圧シリンダ１ｃが構成され、定盤２を床面から分離し
て載置することを可能とする。なお、本実施例では図１
に示すように空気圧シリンダ１ｃを空気バネ１ａと空気
ダンパ１ｂで構成したが、空気圧シリンダ１ｃを空気ダ
ンパ１ｂのみで構成してもよい。この場合は、分離壁１
５を排除し、前記中空部内の空気圧を一定に保てばよ
い。１７は空気圧シリンダ１ｃが動作していないときに
定盤２の駆動軸２２を載置するための支持部である。
【００１０】２は定盤で、その上部に物体を載置するた
めのテーブル２１、下部に空気圧シリンダ１ｃの付勢力
をテーブル２１に伝えるための駆動軸２２、及び駆動軸
２２の端部に後述するコイル３ｂを遊嵌するための遊嵌
孔２３を有する。この定盤２は空気圧シリンダ１ｃの非
駆動時には基台１の支持部１７に載置され、駆動時には
空気圧シリンダ１ｃの付勢力によって弾性部１４を介し
て支えられる。
めのテーブル２１、下部に空気圧シリンダ１ｃの付勢力
をテーブル２１に伝えるための駆動軸２２、及び駆動軸
２２の端部に後述するコイル３ｂを遊嵌するための遊嵌
孔２３を有する。この定盤２は空気圧シリンダ１ｃの非
駆動時には基台１の支持部１７に載置され、駆動時には
空気圧シリンダ１ｃの付勢力によって弾性部１４を介し
て支えられる。
【００１１】３はコイルアクチュエータで、基台１に立
設され定盤２の遊嵌孔２３に遊嵌されたコイル３ｂと、
定盤２の遊嵌孔２３の側壁に埋設されたマグネット３ａ
及び磁性体３ｃから構成される。このコイルアクチュエ
ータ３はコイル３ｂに供給される所定電流によって発生
する電磁力によって定盤２の駆動軸２２を付勢する。図
２は本発明の構成をブロック図によって表したもので、
図１で示されたコイルアクチュエータ３、空気バネ３ａ
と、図１では図示されていない位置センサ５、振動セン
サ６からなる機構部と、コイルアクチュエータ３及び空
気バネ１ａの駆動力を制御する制御手段４、及び制御手
段４の指示を受けてコイルアクチュエータ３に対して所
定電流を供給するアンプ８と制御手段４の指示を受けて
空気バネ１ａに対して所定圧力の空気を供給する空気ポ
ンプ７が示されている。位置センサ５は定盤２のテーブ
ル２１の高さを検出するもので赤外線センサ等で構成さ
れ、振動センサ６は定盤２の振動を検出するもので速度
センサや加速度センサ等で構成される。
設され定盤２の遊嵌孔２３に遊嵌されたコイル３ｂと、
定盤２の遊嵌孔２３の側壁に埋設されたマグネット３ａ
及び磁性体３ｃから構成される。このコイルアクチュエ
ータ３はコイル３ｂに供給される所定電流によって発生
する電磁力によって定盤２の駆動軸２２を付勢する。図
２は本発明の構成をブロック図によって表したもので、
図１で示されたコイルアクチュエータ３、空気バネ３ａ
と、図１では図示されていない位置センサ５、振動セン
サ６からなる機構部と、コイルアクチュエータ３及び空
気バネ１ａの駆動力を制御する制御手段４、及び制御手
段４の指示を受けてコイルアクチュエータ３に対して所
定電流を供給するアンプ８と制御手段４の指示を受けて
空気バネ１ａに対して所定圧力の空気を供給する空気ポ
ンプ７が示されている。位置センサ５は定盤２のテーブ
ル２１の高さを検出するもので赤外線センサ等で構成さ
れ、振動センサ６は定盤２の振動を検出するもので速度
センサや加速度センサ等で構成される。
【００１２】ここで、制御手段４は目標振動発生手段４
ａ、差分供給手段４ｂ、目標位置発生手段４ｃ、及び第
２の差分供給手段４ｄから構成される。目標振動発生手
段４ａは定盤２に与えるべき所望の振動を表す振動関数
信号を発生し、差分供給手段４ｂは前記振動関数信号と
振動センサ６で検出された信号との差分をアンプ８に供
給する。これにより、コイルアクチュエータ３は振動セ
ンサ６の信号が振動関数信号に近づくよう定盤２を駆動
するため、定盤２に所望とする振動を与えることが可能
となる。なお、目標振動発生手段４は所望とする振動関
数、例えば正弦波や鋸波等の種々の関数が自由に設定で
きるよう構成されている。一方、目標位置発生手段４ｃ
は定盤２の所望とする高さ位置を表す信号を発生し、第
２の差分供給手段４ｄは目標位置発生手段４ｃによって
与えられた信号と位置センサ５で検出された信号との差
分を空気ポンプ７に供給する。これにより、空気バネ１
ａは位置センサ５の信号が目標位置発生手段４ｃの信号
値に近づくよう定盤２を駆動するため、定盤２を所望と
する高さに保つことが可能となる。
ａ、差分供給手段４ｂ、目標位置発生手段４ｃ、及び第
２の差分供給手段４ｄから構成される。目標振動発生手
段４ａは定盤２に与えるべき所望の振動を表す振動関数
信号を発生し、差分供給手段４ｂは前記振動関数信号と
振動センサ６で検出された信号との差分をアンプ８に供
給する。これにより、コイルアクチュエータ３は振動セ
ンサ６の信号が振動関数信号に近づくよう定盤２を駆動
するため、定盤２に所望とする振動を与えることが可能
となる。なお、目標振動発生手段４は所望とする振動関
数、例えば正弦波や鋸波等の種々の関数が自由に設定で
きるよう構成されている。一方、目標位置発生手段４ｃ
は定盤２の所望とする高さ位置を表す信号を発生し、第
２の差分供給手段４ｄは目標位置発生手段４ｃによって
与えられた信号と位置センサ５で検出された信号との差
分を空気ポンプ７に供給する。これにより、空気バネ１
ａは位置センサ５の信号が目標位置発生手段４ｃの信号
値に近づくよう定盤２を駆動するため、定盤２を所望と
する高さに保つことが可能となる。
【００１３】以上のように構成された加振装置の動作を
図１の機構図、図２のブロック図、制御手段４の動作を
表した図３のフロチャートに基づいて説明する。まず、
空気圧シリンダ１ｃに所定圧力の空気が圧入されていな
い状態では、定盤２は基台１の支持部１７に載置され、
定盤２の全重量はこの支持部１７を介して直接基台１で
支持される。
図１の機構図、図２のブロック図、制御手段４の動作を
表した図３のフロチャートに基づいて説明する。まず、
空気圧シリンダ１ｃに所定圧力の空気が圧入されていな
い状態では、定盤２は基台１の支持部１７に載置され、
定盤２の全重量はこの支持部１７を介して直接基台１で
支持される。
【００１４】まず、図３のＳ１で、定盤２に与えるべき
所望の振動関数を目標振動発生手段４ａに設定する。振
動関数は正弦波や鋸波等の所望とする振動を表すもので
ある。次に、Ｓ２で位置センサ５の目標設定値を目標位
置発生手段４ｃに設定し、Ｓ３で位置センサ５の信号が
読み込まれる。制御手段４の第２の差分供給手段４ｄは
Ｓ２で設定された目標設定値と位置センサ５の信号の差
分を空気ポンプ７に供給し、定盤２が位置センサ５の目
標設定値に対応する位置に近づくように空気バネ１ａの
空気圧を増加する（Ｓ４）。次にＳ５に進んで振動セン
サ６の信号を読み込み、Ｓ６においてＳ１で設定された
振動関数に基づく振動関数信号と振動センサ６により検
出された信号との差分信号をアンプ８を介してコイルア
クチュエータ３に供給する。そして、上述のＳ１〜Ｓ６
の動作を繰り返すことにより、定盤２の高さを目標位置
発生手段４ｃで設定した高さに保った状態で目標振動発
生手段４ａで設定した所望の振動関数で示される振動を
起振することができる。
所望の振動関数を目標振動発生手段４ａに設定する。振
動関数は正弦波や鋸波等の所望とする振動を表すもので
ある。次に、Ｓ２で位置センサ５の目標設定値を目標位
置発生手段４ｃに設定し、Ｓ３で位置センサ５の信号が
読み込まれる。制御手段４の第２の差分供給手段４ｄは
Ｓ２で設定された目標設定値と位置センサ５の信号の差
分を空気ポンプ７に供給し、定盤２が位置センサ５の目
標設定値に対応する位置に近づくように空気バネ１ａの
空気圧を増加する（Ｓ４）。次にＳ５に進んで振動セン
サ６の信号を読み込み、Ｓ６においてＳ１で設定された
振動関数に基づく振動関数信号と振動センサ６により検
出された信号との差分信号をアンプ８を介してコイルア
クチュエータ３に供給する。そして、上述のＳ１〜Ｓ６
の動作を繰り返すことにより、定盤２の高さを目標位置
発生手段４ｃで設定した高さに保った状態で目標振動発
生手段４ａで設定した所望の振動関数で示される振動を
起振することができる。
【００１５】上述したように、本発明によればコイルア
クチュエータ３と空気圧シリンダ１ｃを直列に接続した
構成を採用したため、これらの駆動力を定盤２の略同一
位置に作用させることが可能となる。このため、床面の
振動は空気圧シリンダ１ｃに吸収され、コイルアクチュ
エータ３にほとんど伝わることはない。従って、外部の
交通機関等に起因する振動や地震の振動によって床が振
動している状態であっても、空気圧シリンダ１ｃ上では
略無振動の環境を作り出すことが可能となるため、床面
が振動していない状態と同等の精度でコイルアクチュエ
ータ３による定盤２の加振制御が可能となる。
クチュエータ３と空気圧シリンダ１ｃを直列に接続した
構成を採用したため、これらの駆動力を定盤２の略同一
位置に作用させることが可能となる。このため、床面の
振動は空気圧シリンダ１ｃに吸収され、コイルアクチュ
エータ３にほとんど伝わることはない。従って、外部の
交通機関等に起因する振動や地震の振動によって床が振
動している状態であっても、空気圧シリンダ１ｃ上では
略無振動の環境を作り出すことが可能となるため、床面
が振動していない状態と同等の精度でコイルアクチュエ
ータ３による定盤２の加振制御が可能となる。
【００１６】また、図１に示すように、基台１の空気圧
シリンダ１ｃ上に定盤２を載置する構成を採用すること
により基台１の全重量を空気圧シリンダ１ｃで支えるこ
とができる。このため、空気圧シリンダ１ｃ上に設けら
れたコイルアクチュエータ３は定盤２の重量を支える必
要がなくなり、より精度が高い加振制御が可能となる。
なお、実施例に示したように空気圧シリンダ１ｃを空
気ダンパ１ｂと空気バネ１ａで構成し、位置センサ５、
目標位置発生手段４ｃ、第２の差分供給手段４ｄ及び空
気ポンプ７を組み合わせれば、定盤２の振動の中心とな
る高さを自由に調節することができる。
シリンダ１ｃ上に定盤２を載置する構成を採用すること
により基台１の全重量を空気圧シリンダ１ｃで支えるこ
とができる。このため、空気圧シリンダ１ｃ上に設けら
れたコイルアクチュエータ３は定盤２の重量を支える必
要がなくなり、より精度が高い加振制御が可能となる。
なお、実施例に示したように空気圧シリンダ１ｃを空
気ダンパ１ｂと空気バネ１ａで構成し、位置センサ５、
目標位置発生手段４ｃ、第２の差分供給手段４ｄ及び空
気ポンプ７を組み合わせれば、定盤２の振動の中心とな
る高さを自由に調節することができる。
【００１７】
【発明の効果】本発明にかかる加振装置は、空気圧シリ
ンダとコイルアクチュエータを直列に接続する構造を採
用したため、これらの駆動力を定盤の略同一位置に作用
させることが可能となる。このため、空気圧シリンダ上
に直列に配設したコイルアクチュエータに床面の振動が
伝わることがなく、床面が振動していない状態と同等の
精度でコイルアクチュエータによる定盤の加振制御を行
うことが可能となる。
ンダとコイルアクチュエータを直列に接続する構造を採
用したため、これらの駆動力を定盤の略同一位置に作用
させることが可能となる。このため、空気圧シリンダ上
に直列に配設したコイルアクチュエータに床面の振動が
伝わることがなく、床面が振動していない状態と同等の
精度でコイルアクチュエータによる定盤の加振制御を行
うことが可能となる。
【００１８】また、空気圧シリンダ上に定盤を載置する
構成を採用したため、基台の全重量を空気圧シリンダで
支えることができる。このため空気圧シリンダ上に設け
られたコイルアクチュエータは定盤の重量を支える必要
がなくなり、より精度が高い加振制御が可能となる。
構成を採用したため、基台の全重量を空気圧シリンダで
支えることができる。このため空気圧シリンダ上に設け
られたコイルアクチュエータは定盤の重量を支える必要
がなくなり、より精度が高い加振制御が可能となる。
【図１】本発明の機構部を示した一実施例である。
【図２】本発明の一実施例を示したブロック図である。
【図３】制御手段の動作を示したフローチャートであ
る。
る。
１・・・・・基台 １ａ・・・・空気バネ ２・・・・・定盤 ３ａ・・・・マグネット ３ｂ・・・・コイル ３・・・・・コイルアクチュエータ ４・・・・・制御手段 ４ａ・・・・目標振動発生手段 ４ｂ・・・・差分供給手段
Claims (1)
- 【請求項１】 物体を載置する定盤と、前記定盤の振動
を検出する振動センサと、基台内に配設され前記定盤を
支持する空気圧シリンダと、前記定盤に凹設され側面に
マグネットを埋設した遊嵌孔と、前記基台に立設したコ
イルと、を有し、 前記基台に立設したコイルを前記側面にマグネットを埋
設した遊嵌孔に遊嵌することによって形成したコイルア
クチュエータと、 前記定盤に与えるべき所望の振動関数の信号を発生する
目標振動発生手段と、前記振動関数の信号と前記振動セ
ンサの信号との差分を前記コイルアクチュエータに供給
する差分供給手段からなる制御手段と、 を備えたことを特徴とする加振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18984793A JP3282303B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 加振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18984793A JP3282303B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 加振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0743244A true JPH0743244A (ja) | 1995-02-14 |
| JP3282303B2 JP3282303B2 (ja) | 2002-05-13 |
Family
ID=16248198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18984793A Expired - Fee Related JP3282303B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 加振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3282303B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10239149A (ja) * | 1997-02-25 | 1998-09-11 | Akashi:Kk | 加振機における振動ピックアップの支持装置 |
| JP2013024733A (ja) * | 2011-07-21 | 2013-02-04 | Toyota Motor Corp | 加振装置 |
| RU2745105C1 (ru) * | 2019-11-25 | 2021-03-19 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Кыргызско-Российский Славянский университет (КРСУ) | Гидравлический вибровозбудитель |
-
1993
- 1993-07-30 JP JP18984793A patent/JP3282303B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10239149A (ja) * | 1997-02-25 | 1998-09-11 | Akashi:Kk | 加振機における振動ピックアップの支持装置 |
| JP2013024733A (ja) * | 2011-07-21 | 2013-02-04 | Toyota Motor Corp | 加振装置 |
| RU2745105C1 (ru) * | 2019-11-25 | 2021-03-19 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Кыргызско-Российский Славянский университет (КРСУ) | Гидравлический вибровозбудитель |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3282303B2 (ja) | 2002-05-13 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |