JPH10237639A5 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH10237639A5 JPH10237639A5 JP1997055550A JP5555097A JPH10237639A5 JP H10237639 A5 JPH10237639 A5 JP H10237639A5 JP 1997055550 A JP1997055550 A JP 1997055550A JP 5555097 A JP5555097 A JP 5555097A JP H10237639 A5 JPH10237639 A5 JP H10237639A5
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- JP
- Japan
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- sputtering
- substrate
- titanium
- chamber
- annealing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9055550A JPH10237639A (ja) | 1997-02-24 | 1997-02-24 | 集積回路用バリア膜を作成するスパッタリング装置 |
| TW086115675A TW350978B (en) | 1997-02-24 | 1997-10-23 | Splash coating device for manufacturing of IC barrier films |
| KR1019970054594A KR19980070035A (ko) | 1997-02-24 | 1997-10-24 | 집적회로용 배리어막을 작성하는 스퍼터링장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9055550A JPH10237639A (ja) | 1997-02-24 | 1997-02-24 | 集積回路用バリア膜を作成するスパッタリング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10237639A JPH10237639A (ja) | 1998-09-08 |
| JPH10237639A5 true JPH10237639A5 (enrdf_load_stackoverflow) | 2005-01-13 |
Family
ID=13001823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9055550A Pending JPH10237639A (ja) | 1997-02-24 | 1997-02-24 | 集積回路用バリア膜を作成するスパッタリング装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10237639A (enrdf_load_stackoverflow) |
| KR (1) | KR19980070035A (enrdf_load_stackoverflow) |
| TW (1) | TW350978B (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN115074689B (zh) * | 2022-07-21 | 2023-06-02 | 苏州大学 | 一种螺旋波等离子体反应溅射沉积制备氮化钛薄膜的方法 |
-
1997
- 1997-02-24 JP JP9055550A patent/JPH10237639A/ja active Pending
- 1997-10-23 TW TW086115675A patent/TW350978B/zh active
- 1997-10-24 KR KR1019970054594A patent/KR19980070035A/ko not_active Ceased
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