JPH10235874A - インクジェットプリンタ用プリントヘッド - Google Patents
インクジェットプリンタ用プリントヘッドInfo
- Publication number
- JPH10235874A JPH10235874A JP10022090A JP2209098A JPH10235874A JP H10235874 A JPH10235874 A JP H10235874A JP 10022090 A JP10022090 A JP 10022090A JP 2209098 A JP2209098 A JP 2209098A JP H10235874 A JPH10235874 A JP H10235874A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- orifice
- ink
- opening
- orifice plate
- shape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 description 22
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 16
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 2
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000003251 chemically resistant material Substances 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/1433—Structure of nozzle plates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
- B41J2/1603—Production of bubble jet print heads of the front shooter type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/162—Manufacturing of the nozzle plates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1625—Manufacturing processes electroforming
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14475—Structure thereof only for on-demand ink jet heads characterised by nozzle shapes or number of orifices per chamber
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/11—Embodiments of or processes related to ink-jet heads characterised by specific geometrical characteristics
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Ink Jet (AREA)
- Pens And Brushes (AREA)
Abstract
するプリントヘッド。 【解決手段】本発明では、インクしぶきを低減するた
め、噴射されたインク滴の形状に着目し、長く伸びるテ
ール部分が原因であることを見出し、オリフィスの開口
の形状を改変する。好適には、非円形が好ましく、一実
施例では、互いに対向する二つの三日月部分を覆った砂
時計型の開口を設けることで著しくインクしぶきを低減
した。
Description
の設計を改良したインクジェット・プリンタのプリント
ヘッドに関し、より詳細には、インクしぶきあるいはイ
ンクスプレイ(ink spray)を低減する特性を有する開口
部を有するプリントヘッドのオリフィスの設計に関す
る。
た方法でインクの滴を噴射して滴が媒体上の所望の位置
に降下させるようにすることによって、紙等の媒体上に
文字およびイメージを形成する。かかるプリンタは、そ
の最も簡単な形式において、インク滴を媒体上に配置す
ることができるような位置に媒体を移動し配置する機
構、インクの流れを制御してインクの滴を媒体に噴射す
るプリントカートリッジ、および適当な制御ハードウェ
アおよびソフトウェア、として概念化することができ
る。インクジェット・プリンタ用の従来のプリントカー
トリッジは、インクを蓄え必要に応じて供給するインク
収容部およびプリンタ制御ソフトウェアによって指示さ
れるようにインク滴を加熱し噴射するプリントヘッドを
含む。通常、プリントヘッドは、半導体のベース、イン
クの流れのチャネルでハニカム状になった障壁材料構造
およびインク滴が噴射できるようなパターンに配置され
た小さい穴またはオリフィスがあけられたオリフィスプ
レートを含む積層構造である。
て、噴射機構は、半導体基板に形成され、障壁層内に形
成された複数のインク発射チャンバのうちの1つとオリ
フィスプレート内の複数のオリフィスのうちの1つとそ
れぞれ連結している複数の加熱抵抗素子から成る。各加
熱抵抗素子は、別個に通電されてインクの一部を急速に
気化して気泡にし、次にその気泡がオリフィスからイン
クの滴を噴射するように、プリンタの制御ソフトウェア
に接続されている。インクは、障壁層内のそれぞれの加
熱抵抗素子のまわりに形成された発射チャンバに流入
し、加熱抵抗素子の通電を待つ。インク滴が噴出してイ
ンク気泡がつぶれた後、オリフィスを横切ってメニスカ
スが形成される点まで、発射チャンバをインクが再充填
される。そこを通ってインクが流入して発射チャンバを
再充填される障壁層チャネルの形状および収縮によっ
て、インクが発射チャンバを再充填する速度およびイン
クのメニスカスの原動力の両方が確立される。プリン
タ、プリントカートリッジおよびプリントヘッドの構造
のさらなる詳細は、1985年5月号のヒューレット・
パッカード・ジャーナル、第36巻第5号および199
4年2月号のヒューレット・パッカード・ジャーナル、
第45巻第1号において見出される。
問題の1つは、高速のプリント速度を達成しながら高い
プリント品質を維持する、ということである。発射チャ
ンバ内のインクの急速な沸騰のために滴がオリフィスか
ら噴射されると、噴出されたインクの質量の大部分は、
媒体に向かう滴に濃縮されている。しかし、噴射された
インクのほんの一部は、滴からオリフィスの表面の開口
部へと延びるテール部分にある。テール部分に見出され
るインクの速度は、一般的に滴に見出されるインクの速
度よりも低く、滴の軌跡の間のある時点で、テール部分
の多くが滴から切り離される。切り離されたテール部分
のインクのうちのいくらかは、噴射された滴に再び加わ
り、すなわち滴のひずみとして残り、プリントされた材
料上にぎざぎざの縁を作り出す。テール部分内の噴射さ
れたインクのうちのいくらかは、プリントヘッドに戻
り、プリントヘッドのオリフィスプレートの表面上にイ
ンクだまり(puddle)を形成する。切り離されたテール部
分内のインクのうちのいくらかは、小滴(subdroplets)
(「しぶき、スプレー」)を形成し、これはインク滴の
一般的な方向に進みランダムに広がる。このしぶきは、
媒体上に到着してインクでかすんだバックグランドを作
り出すことが多い。
に、プリント動作の速度を低減した者もいたが、これで
は、プリンタが与えられた時間内にプリントできるペー
ジ数が減ってしまう。しぶきの問題はまた、障壁層内の
インク発射チャンバおよび連結するインク供給管路の構
成または幾何学的形状を最適化することによって取り組
まれてもきた。オリフィスの幾何学的形状もまたしぶき
に影響を及ぼす。
の1つは、前もって製造されたマンドレル上への無電解
めっき技術を利用する。かかるマンドレルを図1に示す
(正確な縮尺率で描かれたものではない)。図1におい
て、基板101は、シリコンまたはガラスで構成された
少なくとも1つの平らな表面を有する。基板101の平
らな表面上には、通常クロムまたはステンレス鋼の膜で
ある、導電層103が配置されている。プレーナ・マグ
ネトロン法等の真空ポジション法(vacuum deposition p
rocess)を用いて、この導電膜103を被着してもよ
い。他の真空デポジション法を用いて、絶縁層105を
被着してもよい。これは通常窒化ケイ素であり、プラズ
マ・エンハンストCVD(化学蒸着)法等の真空デポジ
ション法によって被着される。絶縁層105は、望まし
くは非常に薄く、通常約0.30μmの厚さを有する。
絶縁層105は、フォトレジストマスクでマスクされ、
紫外線に露光され、プラズマエッチング法に導入され
て、導電層103上の前もって選択された位置にある絶
縁材料の「ボタン」を除いて大部分の絶縁層が除去され
る。もちろん、これらの位置は、マンドレルの頂部に作
り出されるオリフィスプレートのそれぞれのオリフィス
の位置になるように前もって定められている。
内に配置され、そこで導電層103はカソードとして確
立し、典型的にはニッケルのベース材料はアノードとし
て確立する。電着処理の間、ニッケル金属がアノードか
らカソードへと運ばれ、ニッケル(層107として示
す)が、導電層103の導電領域に付着する。ニッケル
金属がマンドレルのそれぞれの導電プレートから均一に
めっきされるため、絶縁ボタン105の表面にいったん
到達すると、ニッケルは絶縁層を、均一で予測可能なパ
ターンに重畳めっきされる。めっき時間を含むめっき処
理のパラメータは注意深く制御され、絶縁層のボタン1
05の上に形成されるニッケル層107の開口部が、絶
縁表面において所定の直径(典型的には、約45μm)
になるようにしている。この直径は、通常絶縁層のボタ
ン105の直径の1/3から1/5であり、それによっ
て、ニッケル107の頂部層がオリフィスプレートの内
側表面において有する開口部の直径d2が、結果とし
て、オリフィスプレートの外側表面におけるオリフィス
開口部となる開口部の直径d1の約3から5倍になるよ
うにしている。無電解めっき処理が完了すると、新しく
形成されたオリフィスプレートがマンドレルから除去さ
れ、オリフィスに耐食性を与えるために金めっきされ
る。金属のオリフィスプレートの製造のさらなる説明
は、米国特許第4,773,971号、第5,167,
776号、第5,443,713号および5,560,
837号に見出すことができる。
多くは、結果として商業的に成功した生産および製品と
なったが、それぞれの個々のオリフィス間の間隔を小さ
くして、プリントヘッドおよびその関連するオリフィス
プレートが用いられるプリンタからより高品質のプリン
トイメージを生み出すことが要求されている。このよう
にオリフィス同士の間隔をより小さくすることによっ
て、1つのオリフィスの穴の内径d2が、隣接するオリ
フィスの内径d2と重なり合ってしまう。この重なり合
い、すなわち干渉は、オリフィスプレートにおいて非円
形のオリフィスが用いられ、その長軸が発射抵抗素子の
列と同じ方向を向いている場合には悪化する。従って、
非円形のオリフィスがより密にパッキングされることが
防止され、より高解像度でプリントし、インク滴に関連
するしぶきを低減し、インク滴の軌跡を改良することを
課題とする。
レートのオリフィスからインクを噴射するインク噴射器
を利用するインクジェット・プリンタ用のプリントヘッ
ドを包含する。オリフィスプレートは、オリフィスプレ
ートを通って、インク噴射器に対向するオリフィスプレ
ートの第1の表面から、第1の表面と略平行であるオリ
フィスプレートの第2の表面へと延びる、少なくとも1
つのオリフィスを有する。オリフィスは、第2の表面に
おいて、第2の表面と平行な第1の線形寸法(lineal di
mension)および第2の表面と平行で第1の線形寸法と垂
直な第2の線形寸法を有する、開口部を含む。さらに、
第1の線形寸法は、第2の線形寸法よりも大きい。第2
の表面におけるオリフィスの開口部は、1点において第
2の寸法の距離だけ間隔をおいて配置され、他のすべて
の点において第2の寸法よりも大きい距離だけ間隔をお
いて配置された、第2の表面の少なくとも2つの交差し
ない縁によって画定される。
す。薄膜抵抗素子201が、半導体基板203の表面に
作り出され、典型的には半導体基板203の表面上の金
属化層(metalization)(図示せず)によって電気的入力
に接続されている。さらに、加熱抵抗素子201の上に
は、化学的および機械的に腐食、破損される(attack)こ
とから保護する様々な層を配置してもよいが、わかりや
すくするために、図2には示していない。シリコン基板
203の表面には、障壁材料の層205が選択的又は一
部に配置されており、それによって加熱抵抗素子201
のまわりに開口部又はインク発射チャンバ207を残
し、これにより、加熱抵抗素子201が稼動されてイン
クがオリフィス209を通って噴射する前に、インクは
発射チャンバに蓄積される。障壁層205の障壁材料
は、従来では、E. I. Dupont De Nemours and Company
(デュポン社)から入手可能なParad(商標)または同
等の材料である。オリフィス209は、オリフィスプレ
ートの内側表面からオリフィスプレートの外側表面へと
延びるオリフィスプレート107の穴で、前述のように
オリフィスプレートの一部として形成することができ
る。
表面213からオリフィス209を見た、従来のプリン
トヘッドの平面図である(図2の断面A−Aを示す)。
インクをより大きいインク源(図示せず)からインク発
射チャンバに供給するインク供給チャネル301が、障
壁層205内に存在する。図4は、インクがオリフィス
209から噴射されてから22マイクロ秒後における、
インク滴401内のインクの構造を示す。従来のオリフ
ィスプレート(円形のオリフィス開口部が用いられてい
る)において、インク滴401は、少なくともオリフィ
スプレート107内のオリフィス209まで戻って延び
ているのを見ることができる長いテール部分403を維
持している。
滴を噴射した蒸発されたインクの気泡がつぶれた後、毛
細管力によってインクがインク源からインク供給チャネ
ル301を通って引き出される。減衰が不十分なシステ
ムにおいては、インクが発射チャンバ内に非常に急速に
逆流するので、発射チャンバ207がいっぱいになりす
ぎ、それによって膨張したメニスカスが作り出される。
このメニスカスは次に、落ち着くまでに何周期かその平
衡位置を中心として往復する。メニスカスの膨張中に滴
が噴射されれば、膨張メニスカス内の余分なインクが、
インク滴の体積につけ加わる。周期のうちのメニスカス
が収縮する部分の間で滴が噴射されれば、収縮メニスカ
スによって滴の体積が小さくなる。プリントヘッドの設
計者は、インク再充填チャネルの流体抵抗を増大させる
ことによって、インクの再充填およびメニスカスの系の
減衰を改良し最適化してきた。典型的には、この改良
は、インク再充填チャネルを長くしたり、インク再充填
チャネルの断面積を小さくしたり、またはインクの粘度
を増大させることによって達成されてきた。インクの再
充填の流体抵抗をこのように増大させると、再充填時間
が長くなり、滴噴出の速度やプリント速度が低減する結
果となることが多い。
と、例えば図5に示す機械モデルになる。図5におい
て、噴射される滴の質量と同等の質量501が、オリフ
ィスの有効半径の逆数に比例するばね定数Kを有するば
ね505によって、固定構造503に連結されている。
質量501はまたチャネルの流体抵抗その他インクチャ
ネルの特性に関係する減衰機能又はダンピング機能50
7によっても固定構造503に連結されている。本構成
において、滴の重量質量(weight mass)501は、オリ
フィスの直径に比例する。従って、メニスカスの特性お
よび性能を制御しようと思えば、インクチャネルを最適
化するか又は機械モデルにおいてばね505のばね定数
を調整することによって、減衰機能507の減衰係数(f
actor)を調整することができる。
滴の質量の大部分は滴401の先頭に含まれ、最大速度
はこの質量内に見出される。残りのテール部分403は
インクの質量のうちの少数を含み、その速度分布は、イ
ンク滴の先頭付近の位置におけるインク滴の先頭とほぼ
同じものから、オリフィスの開口部に最も近いところに
位置するインク滴内に見出されるインクの速度よりも低
い速度までの範囲である。滴の通過中のある時点で、テ
ール部分内のインクは、テール部分が滴から分離する点
まで伸ばされる。テール部分内に残るインクの一部は、
プリントヘッドのオリフィスプレート107に引き戻さ
れ、そこで通常、オリフィスを取り囲むインクだまりを
形成する。こういったインクだまりは、次のインク滴を
誤った方向に向かわせることによって、プリントされた
材料の品質を低下させる。インク滴のテール部分の他の
部分は、インク滴が媒体上にデポジットされる前に、イ
ンク滴の先頭に吸収される。最後に、インク滴のテール
部分において見出されるインクのうちのいくらかは、プ
リントヘッドにも戻らず、インク滴にも残ったり吸収さ
れたりせず、ランダムな方向に広がる微細な小滴のしぶ
き又はスプレーを作り出す。このしぶきのうちのいくら
かは、プリントが行われている媒体に達し、それによっ
て、インク滴が形成するドットにぎざぎざの縁を作り出
し、媒体上に不所望のスポットを配置してしまい、それ
によって所望のプリントされた材料の明瞭度が低減され
る。かかる望まれないの結果を図6のプリントドットを
拡大した表示に示す。
出口面積が、噴射されるインク滴の滴重量を確定すると
いうことが確認されている。さらに、メニスカスの復原
力(モデルにおいては定数K)が、一部分は、オリフィ
ス開口部の縁同士の近接によって決定されるということ
が確認されている。従って、メニスカスの堅さ(stiffne
ss)を増大するためには、オリフィスの穴の側面および
開口部は、できる限り互いに近接するようにするべきで
ある。これは、もちろん、滴に対して与えられた滴重量
(これはオリフィスの出口面積によって決定される)を
維持する必要と矛盾する。非円形の幾何学的形状によっ
てメニスカスに加わる復原力が大きくなると、インク滴
のテール部分がより早く、よりオリフィスプレートに近
いところで分離し、それによってインク滴のテール部分
がより短くなり、しぶきがかなり低減される結果とな
る。
る非円形のオリフィスの中には、長軸および短軸を有し
長軸が短軸よりも寸法が大きく両軸がオリフィスプレー
トの外面に平行な、細長い開口部のものがある。かかる
細長い構造は、長方形および平行四辺形、または、楕円
や平行な辺を持つ「レーストラック」構造等の長円形で
あってもよい。モデル番号HP51649Aのプリント
カートリッジ(ヒューレット・パッカード・カンパニー
から入手可能)内に収容されたインク、およびHP51
649Aのカートリッジ内で用いられるオリフィス開口
部領域の面積と等しいオリフィス開口部面積を用いて、
長軸対短軸の比が2対1から5対1である楕円が、所望
のメニスカスの堅さおよびおよびテール部分の短いイン
ク滴の噴射を示すことを見出した。
リフィスの穴の寸法を示すオリフィスプレートの外面の
平面図である。図7Aは、外側の寸法において半径rを
有し、外側の寸法rと発射チャンバへの開口部の間に半
径でr2の差がある円形のオリフィスを示す。HP51
649Aのカートリッジにおいて、r=17.5ミクロ
ンであり、r2=45ミクロンである。これによって、
オリフィスプレートの外面における開口部面積(r2・
π)は962平方ミクロンとなる。図7Bは、長軸/短
軸の比が2対1に等しい楕円の外部オリフィス開口部の
幾何学的形状を示す。同じ滴重量を維持するために、オ
リフィス開口部の外面積は962平方ミクロンに維持さ
れる。従って、楕円の面積を求める式(A=π・a・
b)より、楕円の長軸および短軸(a、b)は、2:1
の楕円については、それぞれ28.5ミクロンおよび1
2.4ミクロンである。
しをよりよくしてその後のしぶきを低減するのに主に寄
与する要因は、楕円の短軸の大きさを小さくすることで
ある。両軸の比が2:1から約5:1の範囲内で、しぶ
きの低減が観察された。1つの問題は、これも上で触れ
たが、楕円のオリフィスの表面の開口部には、オリフィ
スの内面において(インク発射チャンバにおいて)それ
よりも大きい対応する開口部があるということである。
こういった内部の開口部は、プリント解像度を改良する
ためにオリフィスが互いに接近して配置されると、重な
り合い干渉する。この干渉は、1つの発射チャンバから
のインクが隣接する発射チャンバに吹き込まれたり、そ
の他微細ではあるが悪影響の形をとる。
方向において湾曲し、本質的に三日月や上弦・下弦の月
(quarter moon)の形状を作り出している。この三日月の
形状であれば、オリフィス開口部全体の面積は一定のま
までありながら、短軸の寸法は維持されて有効長軸が短
くなる。三日月のオリフィス開口部の形状を用いれば、
適切なしぶきの低減は達成され続ける。しかし三日月の
形状であれば、この形のプリントヘッドで実現されるプ
リントの品質に、別の問題が導入される。オリフィスプ
レートを離れるインク滴の軌跡は、オリフィスプレート
の表面に垂直ではなく、オリフィス開口部の負の曲率半
径方向に向かって垂直から遠ざかる方向に傾いている。
合の軌跡の問題を解決するために、三日月の突出部が互
いから遠ざかって対向する状態で2つの三日月の形状を
重ねることによって、対称になる別の形状が作り出され
る。かかる形状を図8に示す。この修正されたオリフィ
ス開口部の形状は、「砂時計」の形状であるとみなされ
ている。好適な実施例において、修正された短軸(b
H)は26μmに設定され、修正された長軸(aH)は6
9μmで確立された。修正された短軸を規定する縁は、
約47μmの曲率半径(rH)を有する。この独特のオ
リフィス開口部の形状では、固定したオリフィス開口部
面積に要求される必要な長軸の寸法を低減しながら、短
軸の開口部が狭く維持される。長軸の寸法を低減するこ
とによって、そうでない場合にオリフィス開口部面積が
同じ楕円で実現することができるものよりも、オリフィ
ス同士の間隔をより接近させることができる。さらに、
オリフィス開口部を砂時計の形状にすることによって、
長軸に関しても短軸に関しても対称となり、インク滴の
軌跡の誤差の問題が克服される。砂時計の形状のオリフ
ィス開口部がもたらす、従来技術の円形の開口部よりも
優れた改良は、図9Bを図9Aと比較することによって
理解することができる。図9Bの非常に拡大した文字
は、図9Aのプリントに見られるような無関係の滴がほ
とんどない。
来、マンドレル上でニッケルまたは同様の金属を電気め
っきし、次にオリフィスプレートを金等の耐化学性の材
料でめっきすることによって形成される。所望の最終結
果、すなわち円形のオリフィス開口部の形状の非導電性
のボタンを利用することが、以前から知られている。し
かし、砂時計の形状のオリフィス開口部を作り出すため
には、砂時計の形状よりもはるかに単純な形状を有する
ボタンを用いることができる、ということが確認されて
いる。オリフィスプレートの電気めっき中には、ベース
の金属が導電表面(自身の表面を含む)からそれぞれの
応じられる(available)方向に均一に成長するために、
非導電性のボタンの形状の細部は、ベースの金属の成長
によって不明瞭になる。同様に、ボタンの形状の細部
は、ベースの金属が成長するにつれて全く異なる形状に
変形されうる。ベースの金属107が、非導電性の絶縁
ボタン105の頂部の表面の上に成長する図1に再び注
目されたい。平面図で見ると、ベースの金属107が絶
縁ボタン105の頂部の表面の上に成長するにつれて、
ボタン105の輪郭の細部は、不明瞭になったり他の形
状に変形されうる。
有する一群の円を利用した解析技術を、所望のオリフィ
スの形状の外側の輪郭と同一平面内でその接線方向に実
施することができることが見出された。円の円周上の、
接点と対向し同じ直径線(diameter line)を共有する点
を、一群の円の同様の点と互いにつなぐと、非導電性の
ボタンがとらねばならない形状が明らかになる。代替の
方法では、最初の形状の外側の輪郭上のすべてまたは代
表的な数の点からひいた半径の弧を用いる。それぞれの
弧の半径(最初の輪郭の点の接線方向にひいた線と垂
直)の終点は、めっき処理の完了後結果として生じるオ
リフィスの形状上の点を規定する。図10はこの一連の
円を用いた技術の理解を助かるために示すものである。
ス開口部を1001として識別する。ベースの金属の所
望の成長に等しい半径を有する一連の円を円1003で
表す。非導電性のボタンの輪郭を1005で示す。一連
の円の各円は、砂時計の形状の縁に沿った点において砂
時計のオリフィスの形状と接している。それぞれの円の
直径を直接横切る点をとってそういった点をつないでい
くと、非導電性のボタンの形状が得られる。もっと複雑
なオリフィスの形状を扱う場合には、非導電性のボタン
の形状はオリフィスの形状と同一である必要はないとい
うことがわかった。砂時計の形状1001の突出部にお
いては、その形状を規定するのに必要な円の数が減少す
る。
作り出すのに必要な構成円を示す。接点に対向する円周
上の点をつなぐと、所望の砂時計のオリフィス開口部を
作り出すのに必要な最小限のボタンの輪郭が得られる。
こういった輪郭の構成には、長軸の末端を形成する縁を
作り出す弧1101と弧1103および短軸の末端を形
成する縁を作り出す放物線の部分1105、1107が
含まれる。ボタンの輪郭の残りの部分よりも円の直径の
方が所望のオリフィスの形状に近い限り、オリフィスプ
レートを電気めっきすることによって作り出される砂時
計のオリフィスの形状は、識別された弧および放物線の
部分以外は、ボタンの輪郭から独立している。
本発明の一実施例に用いて、オリフィスプレートの障壁
材料への接合を改良して、発射チャンバにより大きい体
積のインクが入るように設計することができる。図12
は、非導電性のマンドレルのボタンの形状がオリフィス
の表面の穴の形状から部分的に独立している場合に得ら
れるプリントヘッドを示す。わかりやすくするために、
オリフィス開口部1001およびボタンの形状1201
を実線で示すが、オリフィスの穴1101はオリフィス
プレートの外面上に配置され、ボタンの形状はオリフィ
スプレートの内面上に配置されている。インク発射チャ
ンバに始まりオリフィスプレートの表面の開口部まで横
切るオリフィスの穴を見ていくと、オリフィスの穴は、
ボタンの形状1201から砂時計の形状の開口部100
1に変わっていく。本実施例において、障壁層材料の構
成を破線で示す。障壁材料1203のアイランドによっ
て、発射チャンバ1205へのインク入口は2つのイン
クチャネル1207、1209に分割され、発射チャン
バ1205の残りは、障壁材料の壁1211、121
3、1215等によって規定される。障壁層材料とオリ
フィスプレートの間の接触面積の改良は、障壁アイラン
ド1203のまわりの(そして仮想の円形のボタンの輪
郭を表すさらなる破線で示す)ゾーンにおいて実現され
る。このように接触面積が改良されるのは、そうでない
場合には円形になる部分でボタンの形状を四角にして、
四角に実施した障壁材料により合致するようにし、オリ
フィスプレートのミスアライメントが起こった場合であ
っても基板における長方形の断面が変わらないようにし
た結果である。さらに、四角に実施することによって、
発射チャンバ内のインク体積が増大する。従って、本発
明によって、オリフィス同士の間隔を小さくして、しぶ
きを低減し、インク滴の軌跡を改良することができる。
が、以下、本発明の各実施態様の例を示す。 (実施態様1)インクが噴射されるオリフィスを含むイ
ンクジェット・プリンタ用のプリントヘッドにおいて、
インク噴射器とオリフィスプレートを含み、前記オリフ
ィスプレートは、前記オリフィスプレートを貫通して、
前記オリフィスプレートの前記インク噴射器と逆側の第
1の表面から前記第1の表面と前記オリフィスプレート
の第2の表面まで延長した少なくとも1つのオリフィス
を有し、前記オリフィスは、前記第2の表面と平行な第
1の線形寸法を備え、前記第2の表面に平行で前記第1
の線形寸法に垂直な第2の線形寸法を備える開口を有す
るものであり、前記第1の線形寸法は、前記第2の線形
寸法より大きいものであり、前記第2の表面における前
記オリフィスの前記開口はさらに前記第2の表面の少な
くとも第1と第2の非交差エッジによって画定され、こ
れらエッジは、一点において前記第2の線形寸法の距離
だけ間隔があいており、残りの点位置においては前記第
2の線形寸法の最小寸法より大きい距離だけ間隔があい
ていることを特徴とするインクジェットプリンタ用プリ
ントヘッド。 (実施態様2)前記オリフィスはさらに前記第1の表面
において、前記第2の表面における前記開口部の幾何学
的形状と一致せず異なる幾何学的形状を有する第2の開
口部を含むことを特徴とする前項1記載のプリントヘッ
ド。 (実施態様3)前記インク噴射器はさらに前記少なくと
も1つのオリフィスと連結した所定のチャンバ形状のイ
ンク噴射チャンバを含み、前記所定のチャンバ形状が前
記所定のチャンバ形状の一部に合致する少なくとも第1
の部分および前記第1の開口部の幾何学的形状の一部に
合致する少なくとも第2の部分を有することを特徴とす
る前項1記載のプリントヘッド。 (実施態様4)インクが噴射されるオリフィスを含むイ
ンクジェット・プリンタ用のプリントヘッドを操作する
方法において、ある質量のインクに速度を与えるステッ
プと、前記第2の表面において、前記第2の表面と平行
な第1の線形寸法および前記第2の表面と平行で前記第
1の線形寸法と垂直な第2の線形寸法を有する開口部を
含むオリフィスから前記質量のインクを噴射させるステ
ップを含むプリントヘッドの動作方法であって、前記第
1の線形寸法は、前記第2の線形寸法よりも大きく、前
記第2の表面における前記オリフィスの前記開口部はさ
らに、一点において前記第2の寸法の距離だけ間隔をお
いて配置され、他のすべての点において前記第2の寸法
の前記最小値よりも大きい距離だけ間隔をおいて配置さ
れた、前記第2の表面の第1および第2の交差しないエ
ッジによって画定されるインクジェット・プリンタ用の
プリントヘッドを操作する方法。 (実施態様5)前記質量のインクを噴射する前記段階が
さらに前記第2の表面において、第1の幾何学的形状を
有する第1の開口部および、前記第1の表面において、
第2の幾何学的形状を有する第2の開口部を含むステッ
プを含み、前記第1の幾何学的形状と前記第2の幾何学
的形状が一致せず異なることを特徴とする、前項4に記
載のプリントヘッドを操作する方法。 (実施態様6)インクジェット・プリンタ用のプリント
ヘッドの製造方法において、第1の表面および前記第1
の表面と略平行である第2の表面およびそこを通って前
記第1の表面から前記第2の表面へと延びる少なくとも
1つのオリフィスを有するオリフィスプレートを形成
し、前記オリフィスは、前記第2の表面において、前記
第2の表面と平行な第1の線形寸法および前記第2の表
面と平行で前記第1の線形寸法と垂直な第2の線形寸法
で形成される開口部を含み、前記第1の線形寸法は、前
記第2の線形寸法よりも大きく、前記開口部は、一点に
おいて前記第2の寸法の距離だけ間隔をおいて配置さ
れ、他のすべての点において前記第2の寸法よりも大き
い距離だけ間隔をおいて配置された前記第2の表面の少
なくとも第1および第2の非交差のエッジによって画定
されるものであり、前記オリフィスプレートの前記第1
の表面に、それによってインクが前記少なくとも1つの
オリフィスの前記開口部から噴射されるインク噴射器を
取り付けることを含むインクジェットプリンタ用のプリ
ントヘッドの製造方法。 (実施態様7)前記取り付ける段階がさらに前記少なく
とも1つのオリフィスと連結した所定のチャンバ形状の
インク噴出チャンバを形成する段階を含み、前記所定の
チャンバ形状が、前記インク噴出チャンバの前記チャン
バ形状の一部に合う少なくとも第1の部分および前記第
1の開口部の第1の幾何学的形状の一部に合う少なくと
も第2の部分を有する形状に形成されていることを特徴
とする前項6に記載のインクジェット・プリンタ用のプ
リントヘッドの製造方法。 (実施態様8)オリフィスプレートを形成する前記ステ
ップがさらに、前記第2の表面において、第1の幾何学
的形状を有する第1の開口部および、前記第1の表面に
おいて、第2の幾何学的形状を有する第2の開口部を含
む段階を含み、前記第1の幾何学的形状と前記第2の幾
何学的形状が一致せず異なることを特徴とする、前項6
に記載のインクジェット・プリンタ用のプリントヘッド
の製造方法。
該マンドレル上に形成されたオリフィスプレートの断面
図。
論モデルを示す図。
平面図。
示す図。
図。
トの平面図。
Claims (1)
- 【請求項1】インクが噴射されるオリフィスを含むイン
クジェット・プリンタ用のプリントヘッドにおいて、イ
ンク噴射器とオリフィスプレートを含み、前記オリフィ
スプレートは、前記オリフィスプレートを貫通して、前
記オリフィスプレートの前記インク噴射器と逆側の第1
の表面から前記第1の表面と前記オリフィスプレートの
第2の表面まで延長した少なくとも1つのオリフィスを
有し、前記オリフィスは、前記第2の表面と平行な第1
の線形寸法を備え、前記第2の表面に平行で前記第1の
線形寸法に垂直な第2の線形寸法を備える開口を有する
ものであり、前記第1の線形寸法は、前記第2の線形寸
法より大きいものであり、前記第2の表面における前記
オリフィスの前記開口はさらに前記第2の表面の少なく
とも第1と第2の非交差エッジによって画定され、これ
らエッジは、一点において前記第2の線形寸法の距離だ
け間隔があいており、残りの点位置においては前記第2
の線形寸法の最小寸法より大きい距離だけ間隔があいて
いることを特徴とするインクジェットプリンタ用プリン
トヘッド。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US805,488 | 1997-02-25 | ||
US08/805,488 US6123413A (en) | 1995-10-25 | 1997-02-25 | Reduced spray inkjet printhead orifice |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004369644A Division JP4006441B2 (ja) | 1997-02-25 | 2004-12-21 | インクジェットプリンタ用プリントヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10235874A true JPH10235874A (ja) | 1998-09-08 |
JP3982892B2 JP3982892B2 (ja) | 2007-09-26 |
Family
ID=25191697
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP02209098A Expired - Fee Related JP3982892B2 (ja) | 1997-02-25 | 1998-02-03 | インクジェット・プリンタ用プリントヘッドならびにその操作方法および製造方法 |
JP2004369644A Expired - Fee Related JP4006441B2 (ja) | 1997-02-25 | 2004-12-21 | インクジェットプリンタ用プリントヘッド |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004369644A Expired - Fee Related JP4006441B2 (ja) | 1997-02-25 | 2004-12-21 | インクジェットプリンタ用プリントヘッド |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6123413A (ja) |
EP (1) | EP0865922B1 (ja) |
JP (2) | JP3982892B2 (ja) |
KR (1) | KR100439392B1 (ja) |
CN (1) | CN1092571C (ja) |
DE (1) | DE69814503T2 (ja) |
TW (1) | TW345543B (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007064021A1 (ja) | 2005-11-29 | 2007-06-07 | Canon Kabushiki Kaisha | 液体吐出方法、液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置 |
EP1995069A1 (en) | 2007-05-25 | 2008-11-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejecting head and ink jet printing apparatus |
JP2009006704A (ja) * | 2007-05-25 | 2009-01-15 | Canon Inc | 液体吐出方法 |
US7824009B2 (en) | 2007-05-25 | 2010-11-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejection head |
US8936350B2 (en) | 2011-06-13 | 2015-01-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Print head and inkjet printing apparatus |
JP2017123391A (ja) * | 2016-01-06 | 2017-07-13 | ローム株式会社 | 孔を有する基板およびその製造方法ならびに赤外線センサおよびその製造方法 |
JP2023086065A (ja) * | 2021-12-09 | 2023-06-21 | エレファンテック株式会社 | 印刷システム |
JP2023086073A (ja) * | 2021-12-09 | 2023-06-21 | エレファンテック株式会社 | 印刷装置 |
Families Citing this family (62)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5758637A (en) | 1995-08-31 | 1998-06-02 | Aerogen, Inc. | Liquid dispensing apparatus and methods |
US20020121274A1 (en) * | 1995-04-05 | 2002-09-05 | Aerogen, Inc. | Laminated electroformed aperture plate |
US6371596B1 (en) * | 1995-10-25 | 2002-04-16 | Hewlett-Packard Company | Asymmetric ink emitting orifices for improved inkjet drop formation |
AUPP654598A0 (en) | 1998-10-16 | 1998-11-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical device and method (ij46h) |
AUPP654398A0 (en) | 1998-10-16 | 1998-11-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical device and method (ij46g) |
AUPP653998A0 (en) | 1998-10-16 | 1998-11-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical device and method (ij46B) |
US6742873B1 (en) | 2001-04-16 | 2004-06-01 | Silverbrook Research Pty Ltd | Inkjet printhead construction |
US7111924B2 (en) | 1998-10-16 | 2006-09-26 | Silverbrook Research Pty Ltd | Inkjet printhead having thermal bend actuator heating element electrically isolated from nozzle chamber ink |
US7677686B2 (en) | 1998-10-16 | 2010-03-16 | Silverbrook Research Pty Ltd | High nozzle density printhead ejecting low drop volumes |
US7419250B2 (en) | 1999-10-15 | 2008-09-02 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micro-electromechanical liquid ejection device |
US20040263551A1 (en) | 1998-10-16 | 2004-12-30 | Kia Silverbrook | Method and apparatus for firing ink from a plurality of nozzles on a printhead |
US7384131B2 (en) | 1998-10-16 | 2008-06-10 | Silverbrook Research Pty Ltd | Pagewidth printhead having small print zone |
AU1139100A (en) | 1998-10-16 | 2000-05-08 | Silverbrook Research Pty Limited | Improvements relating to inkjet printers |
US7216956B2 (en) | 1998-10-16 | 2007-05-15 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printhead assembly with power and ground connections along single edge |
US6918655B2 (en) | 1998-10-16 | 2005-07-19 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink jet printhead with nozzles |
US7815291B2 (en) | 1998-10-16 | 2010-10-19 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printhead integrated circuit with low drive transistor to nozzle area ratio |
US6863378B2 (en) | 1998-10-16 | 2005-03-08 | Silverbrook Research Pty Ltd | Inkjet printer having enclosed actuators |
US6994424B2 (en) | 1998-10-16 | 2006-02-07 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printhead assembly incorporating an array of printhead chips on an ink distribution structure |
US7028474B2 (en) | 1998-10-16 | 2006-04-18 | Silverbook Research Pty Ltd | Micro-electromechanical actuator with control logic circuitry |
US7182431B2 (en) | 1999-10-19 | 2007-02-27 | Silverbrook Research Pty Ltd | Nozzle arrangement |
AUPP702198A0 (en) | 1998-11-09 | 1998-12-03 | Silverbrook Research Pty Ltd | Image creation method and apparatus (ART79) |
US6235177B1 (en) | 1999-09-09 | 2001-05-22 | Aerogen, Inc. | Method for the construction of an aperture plate for dispensing liquid droplets |
US8336545B2 (en) | 2000-05-05 | 2012-12-25 | Novartis Pharma Ag | Methods and systems for operating an aerosol generator |
US7971588B2 (en) | 2000-05-05 | 2011-07-05 | Novartis Ag | Methods and systems for operating an aerosol generator |
US6676250B1 (en) | 2000-06-30 | 2004-01-13 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink supply assembly for a print engine |
US6875402B2 (en) * | 2000-10-16 | 2005-04-05 | Ngk Insulators, Ltd. | Micropipette, dispenser and method for producing biochip |
US6752685B2 (en) | 2001-04-11 | 2004-06-22 | Lai East Laser Applications, Inc. | Adaptive nozzle system for high-energy abrasive stream cutting |
EP1297959A1 (en) * | 2001-09-28 | 2003-04-02 | Hewlett-Packard Company | Inkjet printheads |
AU2003202925B2 (en) | 2002-01-07 | 2008-12-18 | Aerogen, Inc. | Devices and methods for nebulizing fluids for inhalation |
US7677467B2 (en) | 2002-01-07 | 2010-03-16 | Novartis Pharma Ag | Methods and devices for aerosolizing medicament |
ES2603067T3 (es) | 2002-01-15 | 2017-02-23 | Novartis Ag | Métodos y sistemas para hacer funcionar un generador de aerosol |
US7757574B2 (en) | 2002-01-24 | 2010-07-20 | Kla-Tencor Corporation | Process condition sensing wafer and data analysis system |
US6889568B2 (en) | 2002-01-24 | 2005-05-10 | Sensarray Corporation | Process condition sensing wafer and data analysis system |
US6938986B2 (en) * | 2002-04-30 | 2005-09-06 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Surface characteristic apparatus and method |
WO2003097126A2 (en) | 2002-05-20 | 2003-11-27 | Aerogen, Inc. | Aerosol for medical treatment and methods |
KR100438842B1 (ko) * | 2002-10-12 | 2004-07-05 | 삼성전자주식회사 | 금속 노즐 플레이트를 가진 일체형 잉크젯 프린트헤드 및그 제조방법 |
US20050206679A1 (en) * | 2003-07-03 | 2005-09-22 | Rio Rivas | Fluid ejection assembly |
US8616195B2 (en) | 2003-07-18 | 2013-12-31 | Novartis Ag | Nebuliser for the production of aerosolized medication |
US7040959B1 (en) * | 2004-01-20 | 2006-05-09 | Illumina, Inc. | Variable rate dispensing system for abrasive material and method thereof |
US7946291B2 (en) | 2004-04-20 | 2011-05-24 | Novartis Ag | Ventilation systems and methods employing aerosol generators |
US7293359B2 (en) * | 2004-04-29 | 2007-11-13 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method for manufacturing a fluid ejection device |
US7387370B2 (en) * | 2004-04-29 | 2008-06-17 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Microfluidic architecture |
US20050276933A1 (en) * | 2004-06-14 | 2005-12-15 | Ravi Prasad | Method to form a conductive structure |
US20050276911A1 (en) * | 2004-06-15 | 2005-12-15 | Qiong Chen | Printing of organometallic compounds to form conductive traces |
US7709050B2 (en) * | 2004-08-02 | 2010-05-04 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Surface treatment for OLED material |
US7655275B2 (en) * | 2004-08-02 | 2010-02-02 | Hewlett-Packard Delopment Company, L.P. | Methods of controlling flow |
US7290860B2 (en) * | 2004-08-25 | 2007-11-06 | Lexmark International, Inc. | Methods of fabricating nozzle plates |
AU2006249574B2 (en) | 2005-05-25 | 2012-01-19 | Novartis Ag | Vibration systems and methods |
EP1945457A4 (en) * | 2005-10-10 | 2010-01-06 | Silverbrook Res Pty Ltd | LOW LOSS ELECTRODE CONNECTION FOR INKJET PRINT HEAD |
US7744195B2 (en) | 2005-10-11 | 2010-06-29 | Silverbrook Research Pty Ltd | Low loss electrode connection for inkjet printhead |
US7712884B2 (en) | 2005-10-11 | 2010-05-11 | Silverbrook Research Pty Ltd | High density thermal ink jet printhead |
US7753496B2 (en) | 2005-10-11 | 2010-07-13 | Silverbrook Research Pty Ltd | Inkjet printhead with multiple chambers and multiple nozzles for each drive circuit |
US8604361B2 (en) | 2005-12-13 | 2013-12-10 | Kla-Tencor Corporation | Component package for maintaining safe operating temperature of components |
JP2012507417A (ja) * | 2008-10-31 | 2012-03-29 | フジフィルム ディマティックス, インコーポレイテッド | ノズル噴出口成形 |
US8197029B2 (en) | 2008-12-30 | 2012-06-12 | Fujifilm Corporation | Forming nozzles |
US8303082B2 (en) * | 2009-02-27 | 2012-11-06 | Fujifilm Corporation | Nozzle shape for fluid droplet ejection |
US10717278B2 (en) | 2010-03-31 | 2020-07-21 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Noncircular inkjet nozzle |
US10112393B2 (en) | 2010-03-31 | 2018-10-30 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Noncircular inkjet nozzle |
US8681493B2 (en) | 2011-05-10 | 2014-03-25 | Kla-Tencor Corporation | Heat shield module for substrate-like metrology device |
JP2018199235A (ja) * | 2017-05-26 | 2018-12-20 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
JP2019063699A (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-25 | Tdk株式会社 | 液体吐出ノズル |
JP7118716B2 (ja) | 2018-04-17 | 2022-08-16 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3114259A1 (de) * | 1981-04-08 | 1982-11-04 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Mit fluessigkeitstroepfchen arbeitendes schreibgeraet |
US4528577A (en) * | 1982-11-23 | 1985-07-09 | Hewlett-Packard Co. | Ink jet orifice plate having integral separators |
US4587534A (en) * | 1983-01-28 | 1986-05-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid injection recording apparatus |
US4502060A (en) * | 1983-05-02 | 1985-02-26 | Hewlett-Packard Company | Barriers for thermal ink jet printers |
US4550326A (en) * | 1983-05-02 | 1985-10-29 | Hewlett-Packard Company | Fluidic tuning of impulse jet devices using passive orifices |
DE3425092A1 (de) * | 1984-07-07 | 1986-02-06 | SMS Schloemann-Siemag AG, 4000 Düsseldorf | Verfahren und vorrichtung zum kuehlen von kontinuierlich gefoerderten giessstraengen in einer stranggiessanlage |
JPS61134262A (ja) * | 1984-12-05 | 1986-06-21 | Ricoh Co Ltd | 荷電偏向型インクジエツトヘツド |
US4773971A (en) * | 1986-10-30 | 1988-09-27 | Hewlett-Packard Company | Thin film mandrel |
DE68907434T2 (de) * | 1988-04-12 | 1994-03-03 | Seiko Epson Corp | Tintenstrahlkopf. |
CA2025538C (en) * | 1989-09-18 | 1995-03-14 | Akira Goto | Ink jet recording head, cartridge and apparatus |
JP2559515B2 (ja) * | 1990-02-23 | 1996-12-04 | 株式会社日立製作所 | 燃料噴射弁装置とその製造方法 |
US5255017A (en) * | 1990-12-03 | 1993-10-19 | Hewlett-Packard Company | Three dimensional nozzle orifice plates |
US5167776A (en) * | 1991-04-16 | 1992-12-01 | Hewlett-Packard Company | Thermal inkjet printhead orifice plate and method of manufacture |
US5194877A (en) * | 1991-05-24 | 1993-03-16 | Hewlett-Packard Company | Process for manufacturing thermal ink jet printheads having metal substrates and printheads manufactured thereby |
EP0577383B1 (en) * | 1992-06-29 | 2003-10-08 | Hewlett-Packard Company, A Delaware Corporation | Thin film resistor printhead for thermal ink jet printers |
US5560837A (en) * | 1994-11-08 | 1996-10-01 | Hewlett-Packard Company | Method of making ink-jet component |
US5443713A (en) * | 1994-11-08 | 1995-08-22 | Hewlett-Packard Corporation | Thin-film structure method of fabrication |
US6527369B1 (en) * | 1995-10-25 | 2003-03-04 | Hewlett-Packard Company | Asymmetric printhead orifice |
-
1997
- 1997-02-25 US US08/805,488 patent/US6123413A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-09-24 TW TW086113911A patent/TW345543B/zh not_active IP Right Cessation
- 1997-11-14 CN CN97123111A patent/CN1092571C/zh not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-01-22 DE DE69814503T patent/DE69814503T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-01-22 EP EP98300438A patent/EP0865922B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-02-03 JP JP02209098A patent/JP3982892B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1998-02-24 KR KR10-1998-0005742A patent/KR100439392B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2004
- 2004-12-21 JP JP2004369644A patent/JP4006441B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4818276B2 (ja) * | 2005-11-29 | 2011-11-16 | キヤノン株式会社 | 液体吐出方法、液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置 |
US8382248B2 (en) | 2005-11-29 | 2013-02-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge method, liquid discharge head and liquid discharge apparatus using discharge port having projections |
US8167407B2 (en) | 2005-11-29 | 2012-05-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge method, liquid discharge head and liquid discharge apparatus having projections within discharge port |
US7506962B2 (en) | 2005-11-29 | 2009-03-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge method, liquid discharge head and liquid discharge apparatus |
WO2007064021A1 (ja) | 2005-11-29 | 2007-06-07 | Canon Kabushiki Kaisha | 液体吐出方法、液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置 |
JP2011235650A (ja) * | 2005-11-29 | 2011-11-24 | Canon Inc | 液体吐出方法 |
US7926912B2 (en) | 2005-11-29 | 2011-04-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge method, liquid discharge head and liquid discharge apparatus |
US8025362B2 (en) | 2005-11-29 | 2011-09-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge method, liquid discharge head and liquid discharge apparatus |
US7824009B2 (en) | 2007-05-25 | 2010-11-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejection head |
US7887159B2 (en) | 2007-05-25 | 2011-02-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejecting head and ink jet printing apparatus |
JP2009006704A (ja) * | 2007-05-25 | 2009-01-15 | Canon Inc | 液体吐出方法 |
EP1995069A1 (en) | 2007-05-25 | 2008-11-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejecting head and ink jet printing apparatus |
US8936350B2 (en) | 2011-06-13 | 2015-01-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Print head and inkjet printing apparatus |
JP2017123391A (ja) * | 2016-01-06 | 2017-07-13 | ローム株式会社 | 孔を有する基板およびその製造方法ならびに赤外線センサおよびその製造方法 |
JP2023086065A (ja) * | 2021-12-09 | 2023-06-21 | エレファンテック株式会社 | 印刷システム |
JP2023086073A (ja) * | 2021-12-09 | 2023-06-21 | エレファンテック株式会社 | 印刷装置 |
WO2023162395A1 (ja) * | 2022-02-22 | 2023-08-31 | エレファンテック株式会社 | 印刷システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1092571C (zh) | 2002-10-16 |
DE69814503T2 (de) | 2004-03-25 |
JP2005096479A (ja) | 2005-04-14 |
EP0865922A3 (en) | 1999-06-16 |
EP0865922B1 (en) | 2003-05-14 |
CN1191807A (zh) | 1998-09-02 |
DE69814503D1 (de) | 2003-06-18 |
TW345543B (en) | 1998-11-21 |
KR19980071648A (ko) | 1998-10-26 |
JP3982892B2 (ja) | 2007-09-26 |
KR100439392B1 (ko) | 2005-05-09 |
US6123413A (en) | 2000-09-26 |
JP4006441B2 (ja) | 2007-11-14 |
EP0865922A2 (en) | 1998-09-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3982892B2 (ja) | インクジェット・プリンタ用プリントヘッドならびにその操作方法および製造方法 | |
US6371596B1 (en) | Asymmetric ink emitting orifices for improved inkjet drop formation | |
US6254219B1 (en) | Inkjet printhead orifice plate having related orifices | |
US5350616A (en) | Composite orifice plate for ink jet printer and method for the manufacture thereof | |
US6557974B1 (en) | Non-circular printhead orifice | |
JP4332228B2 (ja) | 非対称なオリフィスを有するプリントヘッド | |
US6158846A (en) | Forming refill for monolithic inkjet printhead | |
EP0471157B1 (en) | Photo-ablated components for inkjet printhead | |
KR100408270B1 (ko) | 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드 | |
EP1525983B1 (en) | Orifice plate and method of forming orifice plate for fluid ejection device | |
US7980662B2 (en) | Ink jet print head | |
KR100614735B1 (ko) | 잉크젯 프린터용 프린트헤드 및 그 제조 방법 | |
US6390610B1 (en) | Active compensation for misdirection of drops in an inkjet printhead using electrodeposition | |
US6637868B2 (en) | Inkjet head and method of manufacturing the same | |
JPH0999560A (ja) | 長アレイ高密度ノズル板の製造方法 | |
JP2725612B2 (ja) | インクジェット式プリントヘッド | |
JP2004074685A (ja) | 精密部品の製造方法とインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 | |
KR19990077695A (ko) | 잉크젯 프린팅 장치용 프린트헤드, 다공성판과 그 형성 방법 및 프린트헤드 구성 방법 | |
JPH0469249A (ja) | インクジェットプリンタヘッド | |
JPH10100408A (ja) | インクジェットプリントヘッドおよびその作製方法 | |
JPH10278264A (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
JPH05261910A (ja) | インクジェットヘッド | |
JPH0473153A (ja) | インクジェットプリンタヘッド | |
JPH06171086A (ja) | インクジェットヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20031126 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040220 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040831 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041224 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20050121 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20050408 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070522 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070703 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100713 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110713 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110713 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120713 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120713 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130713 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130713 Year of fee payment: 6 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130713 Year of fee payment: 6 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |