JPH10226070A - ノズル板、インクジェットヘッド、プリンタ、ノズル板の製造方法、及びノズル板の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は圧電式インクジェットヘッドのノズ
ル板に関し、インク粒の飛翔特性の向上を図ることを課
題とする。 【解決手段】 ノズル孔２１は、先端がインク吐出孔２
４である円柱孔部２５と、環状の曲面部２６と、後端が
インク室に対向するテーパ孔部２２とよりなる。環状の
曲面部２６は、円柱孔部２５とテーパ孔部２２との間に
存在しており、０．０３ｍｍの半径を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は圧電式インクジェッ
トヘッドのノズル板に関する。圧電式インクジェットヘ
ッドの特性、例えば、インクの飛翔特性は、用紙への印
刷品質と密に関連している。また、ノズル板のノズル孔
の形状等が、圧電式インクジェットヘッドの特性を決定
する大きな要因となっている。よって、ノズル板のノズ
ル孔の形状等は、用紙への印刷品質の向上を図るのに重
要である。

【０００２】また、圧電式インクジェットヘッドのノズ
ル板は径が０．０３ｍｍ程度の小さいノズル孔が０．３
ｍｍ程度のピッチで数十個程度並んで形成されているも
のであり、製造が難しいものであり、コストも高くなり
やすい。よって、製造し易い製造方法が望まれている。

【０００３】

【従来の技術】図２３は、特開平７−６０９７１号の特
許公報に開示されている従来の圧電式インクジェットヘ
ッドのノズル板１０を示す。ノズル板１０のノズル孔１
１は、後端がインク室に対向するテーパ孔部１２と、テ
ーパ孔部１２に続いており、先端がインク吐出口１３で
ある円柱孔部１４とよりなり、テーパ孔部１２の先端と
円柱孔部１４の後端とのつなぎ目は角部１５となってい
る。

【０００４】このノズル孔１１は、図２４に示すよう
に、プレス加工によってテーパ孔部１２を成形→研磨加
工によってダボ部１６を除去→リーマ加工によって円柱
孔部１４を形成→研磨加工によってバリを除去、の工程
を経て製造されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ノズル板１０を使用し
ている圧電式インクジェットヘッドにあっては、インク
の飛翔が安定しなかった。このため、特に、画数の多い
小さい文字を印字するときに、文字が踊った状態となっ
て、印刷品質が問題となる虞れがあった。また、ノズル
孔１１を形成するには、プレス加工とリーマ加工とが必
要となり、即ち、二段階の加工が必要となり、、しか
も、リーマ加工はプレス加工した個所に正確に行う必要
があり、よって、加工工数がかかってしまっていた。

【０００６】そこで、本発明は、上記課題を解決したノ
ズル板、インクジェットヘッド、プリンタ、ノズル板の
製造方法、及びノズル板の製造装置を提供することを目
的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、イン
クジェットヘッドのノズル板において、ノズル孔が、円
柱孔部とテーパ孔部との間に、環状の曲面部を有し、該
円柱孔部と該テーパ孔部とが上記曲面部を介してつなが
っている形状を有する構成としたものである。

【０００８】請求項２の発明は、請求項１において、環
状の曲面部は、半径が０．０３〜０．０６ｍｍである構
成としたものである。請求項３の発明は、請求項１にお
いて、テーパ孔部は、テーパ角が４０度以下である構成
としたものである。請求項４の発明は、請求項１乃至３
のうちいずれか一項記載のノズル板を有する構成とした
ものである。

【０００９】請求項５の発明は、請求項４記載のインク
ジェットヘッドを有する構成としたものである。請求項
６の発明は、先端の円柱部と円錐部と両者を繋ぐ曲面部
とを有するパンチと該パンチの円柱部の径より大きい径
のダイ孔を有する金型とを使用して、テーパ孔部と有底
の円柱孔部とよりなるノズルめくら孔と、上記ダイ孔内
に押し出されたダボを成形するノズルめくら孔成形工程
と、上記ダボを除去してノズルめくら孔を貫通したノズ
ル孔とするダボ除去工程と、上記ノズル孔の開口の縁の
バリを取るバリ取り工程とよりなる構成としたものであ
る。

【００１０】請求項７の発明は、請求項６において、該
ノズルめくら孔成形工程は、板材にノズル板のノズル孔
のピッチの２倍のピッチで該ノズル板のノズル孔の数の
半分の数のノズルめくら孔を成形する１回目のノズルめ
くら孔成形工程と、該板材をノズル板のノズル孔のピッ
チ分ずらして行う２回目のノズルめくら孔成形工程とよ
りなる構成としたものである。

【００１１】請求項８の発明は、先端の円柱部と円錐部
と両者を繋ぐ曲面部とを有するパンチと該パンチの円柱
部の径より大きい径のダイ孔を有する金型とを使用し
て、テーパ孔部と有底の円柱孔部とよりなるノズルめく
ら孔と、上記ダイ孔内に押し出されたダボを成形するプ
レス機と、上記ダボを研磨除去してノズルめくら孔を貫
通したノズル孔とする研磨機と、上記ノズル孔の開口の
縁のバリを取る超音波洗浄装置とよりなる構成としたも
のである。

【００１２】請求項９の発明は、請求項８において、プ
レス機は、該金型の該パンチの数が形成すべきノズル孔
の半分の数であり、該パンチのピッチが形成すべきノズ
ル孔のピッチの２倍のピッチであり、且つ、板材を該パ
ンチのピッチの半分の距離移動させるノズル孔形成用送
り機構を備えた構成であり、プレス機は、プレス動作
を、間で該ノズル孔形成用送り機構を動作させて、２回
に分けて行う構成としたものである。

【００１３】請求項１０の発明は、請求項８又は請求項
９において、パンチは、超硬合金製であり、チタンナイ
トライド保護膜を有する構成としたものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下の順序で説明する。 １．プリンタ ２．圧電式インクジェットヘッド ３．ノズル板 ４．圧電式インクジェットヘッドのインクの飛翔特性 ５．ノズル板（ノズル孔）の製造 図１は、本発明の一実施例になるノズル板２０の一のノ
ズル孔２１を拡大して示す。

【００１５】説明の便宜上、先ず、プリンタ及び圧電式
インクジェットヘッドについて説明する。 〔１．プリンタ〕図２はプリンタ４０を示す。プリンタ
４０は、内部に、圧電式インクジェットヘッド４１が、
ガイドロッド４２に沿ってＺ１，Ｚ２方向（紙面に垂直
の方向）に往復移動可能に設けてある。圧電式インクジ
ェットヘッド４１は、本発明の一実施例になるノズル板
２０を備えた構成である。圧電式インクジェットヘッド
４１にはインクタンク４３が装着してある。用紙４５
は、圧電式インクジェットヘッド４１の下側をＸ１方向
に通過し、Ｙ１，Ｙ２方向に往復走査する圧電式インク
ジェットヘッド４１によって印刷され、その後、排紙ト
レイ４７上に排紙される。

【００１６】〔２．圧電式インクジェットヘッド〕図３
は圧電式インクジェットヘッド４１の要部を拡大して示
す。圧電式インクジェットヘッド４１は、第１の本体５
１と、第２の本体５２と、第１の本体５１と第２の本体
５２とで挟まれて固定された振動板５３と、第１の本体
５１の下面に固定されたノズル板２０と、圧電素子５５
とを有する。第１の本体５１には、インク供給通路５６
と、インク室５７が形成してある。一のインク室５７に
対して一のノズル孔２１が対向している。圧電素子５５
は、一のインク室５７に対して一つづつ、基部側を第２
の本体５２に固定して、先端側を振動板５３に固定して
設けてある。インクタンク内のインクがインク供給通路
５６に供給されている。

【００１７】圧電素子５５に所定の波形の駆動電圧が印
加されると、それまで伸びていた圧電素子５５が縮んで
もとの状態に戻るように歪み、振動板５３が変形して、
供給通路５６内のインクがインク室５７に吸引され、続
いて、圧電素子５５が伸びるように歪み、振動板５３が
圧電素子５５によって押されて変形する。このときに、
インク室５７内のインクのうち数１０ピコリットル（ｐ
ｌ）のインクが、ノズル孔２１より、符号５８で示す粒
状に吐出され、用紙４５に付着される。

【００１８】〔３．ノズル板〕次に、ノズル板２０につ
いて説明する。図４に示すように、ノズル板２０には、
２つの基準孔６０、６１と、例えば約２００個と多数の
ノズル孔２１とが形成してある。ノズル孔２１は、圧電
式インクジェットヘッド４１の走査方向（Ｙ１，Ｙ２方
向）にピッチｐ１で４列で、各列について５４個のノズ
ル孔２１がピッチｐ２で用紙送り方向（Ｘ１方向）に整
列している。ピッチｐ１は約３．７ｍｍであり、ピッチ
ｐ２は約０．３ｍｍである。

【００１９】図１に示すように、ノズル板２０は厚さｔ
１が約０．０８ｍｍのステンレス板である。インク粒が
吐出される方向（Ｚ２方向）を先端と言い、インク室側
を後端と言う。ノズル孔２１の形状は、後述する本発明
者がインクの飛翔特性について行った実験の結果にもと
づいて、以下に述べる形状としてある。

【００２０】ノズル孔２１は、後端（Ｚ１方向端）の開
口２８が大きい径を有するテーパ孔部２２と、先端（Ｚ
２方向端）がインク吐出口２４である円柱孔部２５と、
テーパ孔部２２の先端と円柱孔部２５の後端とをつなぐ
環状の曲面部２６とよりなる。テーパ孔部２２の後端の
開口２８は、ノズル板２０が圧電式インクジェットヘッ
ド４１に組み込まれた状態で、インク室に対向する。

【００２１】円柱孔部２５は、径ｄ１が約０．０３ｍｍ
であり、深さａは約０．０１ｍｍであり、ノズル板２０
の厚さｔ１の約８分の１である。テーパ孔部２２は、テ
ーパ角αが約４０度であり、深さｂは約０．０６ｍｍで
あり、ノズル板２０の厚さｔ１の約４分の３を占める。
テーパ孔部２２は、図１の断面図に表れる線２７が直線
である形状を有する。

【００２２】環状の曲面部２６は、半径ｒ１が約０．０
３ｍｍである。環状の曲面部２６が占める角度βは約２
０度であり、Ｚ１、Ｚ２方向の長さｃは約０．０２ｍｍ
である。また、テーパの孔部２２、円柱孔部２５、及び
曲面部２６の面は粗さが１Ｓ以下となるように仕上げら
れている。よって、ノズル孔２１内でのインクの動きが
良く、これだけでも、インクの飛翔特性は良好となって
いる。

【００２３】〔４．圧電式インクジェットヘッドのイン
クの飛翔特性〕次に、実験によって得た、圧電式インク
ジェットヘッド４１のインクの飛翔特性について説明す
る。図５（Ａ），（Ｂ）は、図３の圧電式インクジェッ
トヘッド４１のインクの飛翔特性を示す。図６（Ａ），
（Ｂ）は、図２２に示すノズル孔１１（図１中の環状の
曲面部２６を有しない）を有する圧電式インクジェット
ヘッドのインクの飛翔特性を示す。

【００２４】実験したところ、図２２に示すノズル孔１
１を有する圧電式インクジェットヘッドの場合には、図
６（Ａ）に示すように、各回のインク粒の吐出が完了し
た（インクを引いた）直後のインクのメニスカス面は、
ノズル孔１１内において線７０と線７１との範囲７２内
の不特定の位置に形成され、インクのメニスカス面が形
成される位置はばらついている。吐出されたインク粒が
用紙上に付着した点を×マークでプロットすると、図６
（Ｂ）に示すようになった。図６（Ｂ）より、吐出され
たインク粒が飛翔する拡がり角度θ２は、±１．３度と
大きいことがわかる。吐出されたインク粒が飛翔する拡
がり角度θ２が大きい原因の一つは、インクのメニスカ
ス面が形成される位置のばらつきにあると考えられる。
また、吐出されたインク粒が飛翔する拡がり角度θ２が
大きい別の原因は、インクを吐出する場合に、ノズル孔
内をメニスカス面が吐出口の方向に移動する際に屈曲部
でメニスカス面が乱れて非対称になり、飛翔方向のばら
つきが大きくなるためと考えられる。

【００２５】また、図７（Ａ）は、実験の結果である、
テーパ孔部１２Ａのテーパ角αが５０度のノズル孔１１
Ａを有する圧電式インクジェットヘッドのインクの飛翔
特性を示す。吐出されたインク粒が用紙上に付着した点
を×マークでプロットすると、図７（Ｂ）に示すように
なった。図７（Ｂ）より、吐出されたインク粒が飛翔す
る拡がり角度θ３は、上記の角度θ２よりも大きいこと
がわかる。

【００２６】吐出されたインク粒が飛翔する拡がり角度
θ３が大きい原因の一つは、インクを吐出する場合に、
ノズル孔内を吐出口の方向に移動するインクの指向性が
α＝４０度の場合より悪いためと考えられる。これに対
して、図３の圧電式インクジェットヘッド４１の場合に
は、図５（Ａ）に示すように、各回のインク粒の吐出が
完了した（インクを引いた）直後のインクのメニスカス
面は、符号７５で示すように、ノズル孔２１内におい
て、略、同じ位置に形成される。吐出されたインク粒が
用紙上に付着した点を×マークでプロットすると、図５
（Ｂ）に示すようになった。図５（Ｂ）より、吐出され
たインク粒が飛翔する拡がり角度θ１は、約０．４度と
従来に比べて相当に小さくなっていることがわかる。こ
のため、画数の多い小さい文字も良好に印字出来る。

【００２７】吐出されたインク粒が飛翔する拡がり角度
θ１が、約０．４度と従来に比べて相当に小さいのは、
インクのメニスカス面が形成される位置が一定であるこ
と、及び、インクを吐出する場合に、ノズル孔内を吐出
口の方向に移動するインクの指向性がα＝４０度と小さ
いことで良くなったためであると考えられる。 〔５．ノズル板２０の製造〕次に、上記のノズル板２０
の製造について説明する。

【００２８】図８はノズル板２０の製造工程と製造設備
を示す。ステンレス製のフープ材１００が、レベラ１０
１を使用して行う平坦化工程１２１、プレス機１０２を
使用して行う基準孔抜き工程１２２、プレス機１０３を
使用して行ってノズルめくら孔１４０を形成するととも
にダボ１４１を出すノズルめくら孔成形工程１２３（図
９（Ａ）参照）、超音波洗浄機１０４を使用して行って
加工油を除去する洗浄工程１２４、テープ研磨機１０５
を使用して行ってダボ１４１を研磨して除去すると共に
テーパ孔部の周囲の盛り上がり部１４２を除去するダボ
取り工程１２５（図９（Ｂ）参照）、バフ研磨機１０６
を使用して行ってフープ材１００の表面面粗度を向上さ
せる両面研磨工程１２６（図９（Ｃ）参照）、アルミナ
砥粒入り超音波洗浄機１０７を使用して行ってノズル孔
２１の開口の縁のバリ１４３、１４４を除去するバリ取
り工程１２７（図９（Ｄ）参照）、バフ研磨機１０８を
使用して行ってフープ材１００の表面面粗度を向上させ
る両面研磨工程１２８、レベラ１０９を使用して行う平
坦化工程１２９、プレス機１１０を使用して行ってノズ
ル孔２１が形成されたフープ材１００をノズル板の大き
さの小片に切断する小片切断工程１３０、超音波洗浄機
１１１を使用して行って加工油を除去する洗浄工程１３
１、最後の検査工程１３２を経て製造される。

【００２９】次に、上記の製造設備と製造工程のうち主
要な製造設備及び製造工程について説明する。〔ノズル
めくら孔成形工程１２３及びこの工程に使用するプレス
機１０３〕図１０は、基準孔抜き工程１２２に使用する
プレス機１０２と、ノズルめくら孔成形工程１２３に使
用するプレス機１０３とを示す。

【００３０】フープ材１００は送り機構１５０によって
Ａ方向に送られる。プレス機１０２は、パンチを有する
上金型１５１と、下金型１５２と、上金型１５１を上下
動させる上下動駆動ユニット１５３とよりなり、フープ
材１００に基準孔６０、６１をあける。プレス機１０３
は、図１１に併せて示すように、上金型１５５と、下金
型１５６と、フープ材保持板１５７と、上金型１５５を
上下動させる上下動駆動ユニット１５８と、後述するノ
ズル孔成形用送り機構２５０とを有する。

【００３１】上金型１５５は、図１２に示すように、基
台１５８に、多数のパンチ１６０が植設されており、前
記のノズル孔２１の配置に対応して７列に整列している
構成である。各列の間のピッチは、前記のピッチｐ１と
同じであるピッチｐ１であり、約３．７ｍｍである。各
列のパンチ１６０のピッチは、ｐ３である。ピッチｐ３
は、前記のピッチｐ２の２倍であり、約０．６ｍｍであ
る。ノズル孔２１のｐ１基台１５８の四隅には、下金型
１５６の四隅に固定してあるガイド柱に嵌合するガイド
孔１６１が形成してある。

【００３２】図１１に示すように、フープ材保持板１５
７には、上金型１５５のパンチ１６０の配列に対応し
て、多数のガイド孔１６２が形成してある。同じく、図
１１に示すように、下金型１５６には、上金型１５５の
パンチ１６０の配列に対応して、パンチ１６０のピッチ
ｐ３の２分の１のピッチ、即ち、形成すべきノズル孔の
ピッチと同じピッチｐ２で、多数のダイ孔１６３が形成
してある。一つおきのダイ孔１６３とガイド孔１６２と
が整列している。ガイド孔１６２とが整列しているダイ
孔１６３は、ダボが形成されるためのものであり、ガイ
ド孔１６２とずれているダイ孔１６３ａは、後述する２
回目のプレスのときに、１回目のプレスで形成されたダ
ボを受け入れるためのものである。

【００３３】上金型１５５は、図１２に示す姿勢から上
下反転した姿勢で、ガイド孔１６１をガイド柱に嵌合さ
せて組み込んであり、各パンチ１６０がフープ材保持板
１５７の対応するガイド孔１６２に嵌合している。パン
チ１６０は、図１３に示すように、径ｄ１０が約０．４
ｍｍである本体部１７０と、先端の円柱部１７１と、本
体部１７０の先端側の円錐部１７２と、円柱部１７１と
円錐部１７２の間の曲面部１７３とを有する。

【００３４】円柱部１７１は、径ｄ１１が、約０．０３
ｍｍであり、長さｌ１０は約０．０２ｍｍである。円錐
部１７２は、テーパ角α１０が約４０度である。曲面部
１７３は積極的に形成されているものであり、半径ｒ１
０が約０．０３ｍｍである。曲面部１７３が占める角度
β１０は約２０度であり、Ｚ１、Ｚ２方向の長さｌ１１
は約０．０２ｍｍである。曲面部１７３を積極的に形成
しない場合には、円錐部１７２と円柱部１７１とがつな
がっている部分は角となる。角を形成しようとしても、
この角の個所に機械加工上自然に出来てしまう丸みの半
径は０．０１ｍｍ程度である。よって、曲面部１７３の
半径ｒ１０である約０．０３ｍｍは、機械加工上自然に
出来てしまう丸みの半径である０．０１ｍｍ程度より相
当に大きい。半径ｒ１０が約０．０３ｍｍの曲面部１７
３が存在することによって、パンチ１６０の先端側部の
強度が向上している。

【００３５】パンチ１６０の材質は、超微粒子超硬合金
である。パンチ１６０はセンタレス研削で加工されて製
造されたものである。円柱部１７１と、円錐部１７２
と、曲面部１７３との表面には、チタンナイトライド
（ＴｉＮ）保護膜１７４が形成してある。図１３におい
ては、図示の便宜上、チタンナイトライド（ＴｉＮ）保
護膜１７４の厚みは誇張して示してある。チタンナイト
ライド（ＴｉＮ）保護膜１７４は、イオンプレーティン
グによって形成されたものである。

【００３６】チタンナイトライド（ＴｉＮ）保護膜１７
４を形成することによって、チタンナイトライド（Ｔｉ
Ｎ）保護膜を形成しない場合に比べて、パンチ１６０と
フープ材１００との間の摩擦係数が低下する。また、パ
ンチ１６０の先端側はラップ仕上げ等がされており、円
柱部１７１と、円錐部１７２と、曲面部１７３との表面
は粗さが１Ｓ以下となるように仕上げられている。

【００３７】下金型１５６のダイ孔１６３の径ｄ１２
は、約０．２ｍｍである。この径ｄ１２は、上記の円柱
部１７１の径ｄ１１（約０．０３ｍｍ）より相当に大き
い。円柱部１７１の径ｄ１１とダイ孔１６３の径ｄ１２
とは、後述するようにダボが形成されるように、且つ、
パンチ１６０の先端がフープ材を押し退ける体積と形成
されるダボの体積とが同じになるように定めてある。円
柱部１７１の径ｄ１１が０．０２〜０．０５ｍｍである
場合に、ダイ孔１６３の径ｄ１２は、０．０７〜０．２
ｍｍであることがよい。

【００３８】また、プレス機１０３は、上金型１５５
が、パンチ１６０の先端が、図１１中二点鎖線で示すよ
うに、ダイ孔１６３に下金型１５６の上面１５６ａより
下方に図１中の円柱孔部２５の深さａが確保できる寸法
ｉだけ入り込んだ最終位置まで降下して止まるようにし
てある。寸法ｉは約０．０１ｍｍである。次に、上記構
成のプレス機１０３の動作、及びプレス機１０３による
ノズルめくら孔の成形について説明する。

【００３９】上下動駆動ユニット１５８が動作すると、
図１１に示す状態から上金型１５５とフープ材保持板１
５７とが同時に一定の速度で降下し、先ず、図１４
（Ａ）に示すように、フープ材保持板１５７が下金型１
５６との間でフープ材１００をクランプする。続いて、
上金型１５５が更に降下し最終位置まで降下する。この
過程で、図１４（Ｂ）に示すように、パンチ１６０の先
端がフープ材１００に食い込み、フープ材１００の一部
がダイ孔１６３内に押し出される。

【００４０】続いて、上金型１５５が上動して、図１４
（Ｃ）に示すように、パンチ１６０の先端が、フープ材
保持板１５７と下金型１５６との間でクランプされてい
るフープ材１００から離れる。この後、フープ材保持板
１５７が上動し、図１１に示す元の状態に戻る。図１４
（Ｃ）に示すように、フープ材１００には、ノズルめく
ら孔１４０とダボ１４１が成形される。ノズルめくら孔
１４０は、パンチ１６０の先端の形状に対応した形状を
有し、大略、テーパ孔部２２Ａと、有底の円柱孔部２５
Ａと、テーパ孔部２２Ａと有底の円柱孔部２５Ａとをつ
なぐ環状の曲面部２６とよりなる。

【００４１】ダボ１４１は、フープ材１００のうちノズ
ルめくら孔１４０の体積に相当する体積分がダイ孔１６
３内に押し出されて、フープ材１００の下面１００ｂに
突き出ている。フープ材１００の上面１００ａには、テ
ーパ孔部２２Ａの周囲に盛り上がり部１４２が形成され
る。盛り上がり部１４２は、パンチ１６０の先端がフー
プ材１００に食い込むときに、パンチ１６０の先端によ
って押し退けられたフープ材１００の材料の一部が、図
１３（Ｂ）中、矢印Ｑで示すように、パンチ１６０の円
錐部１７２を擦りつつ流れて、フープ材１００の上面１
００ａに盛り上がることによって形成される。

【００４２】ノズルめくら孔１４０の内面はパンチ１６
０の先端側の表面の状態がそのまま転写された状態とな
る。ここで、パンチ１６０の先端側は表面粗さが１Ｓ以
下となるように仕上げられているため、ノズルめくら孔
１４０の内面の表面粗さも１Ｓ以下となっている。ま
た、パンチ１６０の先端側は表面粗さが１Ｓ以下となる
ように仕上げられているため、及び、チタンナイトライ
ド（ＴｉＮ）保護膜１７４を有するため、パンチ１６０
の先端がフープ材１００に食い込む動作は滑らかに行わ
れる。このことが、約１００個と多くのノズルめくら孔
が精度良く同時に形成可能である理由の一つである。

【００４３】図１２に示す上金型１５５の構造から分か
るように、一回のプレス動作で、図４中、黒塗りの円で
示すノズル孔２１に対応する約１００個のノズルめくら
孔が同時に形成される。上下動駆動ユニット１５８の一
回の動作が完了したのちに、図２２（Ａ），（Ｂ）に示
すノズル孔成形用送り機構２５０によって、フープ材１
００がその長手方向にパンチ１６０のピッチｐ３の半分
の距離送られ、その位置に位置決めされ、この状態で上
下動駆動ユニット１５８が動作する。上下動駆動ユニッ
ト１５８の二回目の動作で、一回目の動作で形成された
ノズルめくら孔の隣合うノズルめくら孔の間の位置に、
図４中、白抜きの円で示すノズル孔２１に対応する約１
００個のノズルめくら孔が同時に形成される。一回目の
動作で形成されたダボは、ガイド孔１６２とずれている
ダイ孔１６３ａ（図１１参照）内に収まり、二回目の動
作で一回目の動作で形成されたノズルめくら孔が潰され
ることはない。

【００４４】このように、約２００個のノズルめくら孔
がたった二回のプレス動作で形成される。よって、ノズ
ル孔を一個づつ加工している従来に比べて、格段に少な
い加工工数で、ノズル板２０を製造出来る。また、プレ
ス動作は、ノズルめくら孔が形成された場所には行わな
いため、パンチする位置の芯ずれの問題は起きず、芯ず
れが原因でのパンチ１６０の先端の破損は起きない。

【００４５】また、プレス動作によって形成されるのは
ダボ１４１（ノズルめくら孔１４０）であるため、抜き
かすは発生せず、よって、抜きかすが原因でのトラブル
は起きない。ここで、図２２を参照して、ノズル孔成形
用送り機構２５０について説明する。ノズル孔成形用送
り機構２５０は、プレス機１０３に関連して設けてあ
り、フープ材クランプ機構２５１と、フープ材クランプ
機構２５１を往復移動させるアクチュエータ２５２とを
有する構成である。フープ材クランプ機構２５１は、下
側クランパ２５３と上側クランパ２５４とよりなり、プ
レス機１０３が動作するときには、フープ材１００をク
ランプする。下側クランパ２５３は、下金型１５６より
大きい枠形状を有し、下金型１５６を囲んでおり、ガイ
ドレール２５５上に載っており、アクチュエータ２５２
により移動される。下側クランパ２５３の内側と下金型
１５６との間には、寸法ｓの隙間２５５がある。この隙
間２５５の寸法ｓは、上記ピッチｐ２と等しい寸法に定
めてある。よって、アクチュエータ２５２が駆動される
と、フープ材クランプ機構２５１が上記隙間２５５の範
囲内でＹ２方向、次いでＹ１方向に、ピッチｐ３の半分
の距離（ピッチｐ２の距離）往復移動される。

【００４６】一回目のプレス動作時には、フープ材クラ
ンプ機構２５１は、図２２（Ａ）に示すように、Ｙ２方
向に移動しており、面２５３ａが面１５６ａに突き当た
った状態にある。一回目のプレス動作が完了すると、図
２２（Ｂ）に示すように、アクチュエータ２５２が駆動
され、フープ材クランプ機構２５１がＹ１方向に、面２
５３ｂが面１５６ｂに突き当たるまで移動される。即
ち、ピッチｐ３の半分の距離移動される。フープ材１０
０はフープ材クランプ機構２５１と共にピッチｐ３の半
分の距離移動される。二回目のプレス動作が完了と、上
側クランパ２５４が上動し、フープ材１００のクランプ
が解除され、アクチュエータ２５２が駆動され、フープ
材クランプ機構２５１がＹ１方向に移動され、図２２
（Ａ）に示す元の状態となる。

【００４７】次に、パンチ１６０の寿命について説明す
る。本発明者は、先端の形状を少しづつ変えた複数種類
のパンチを用意し、これを使用してプレス動作を行っ
て、パンチ１６０の寿命についての実験を行った。この
結果、以下の結果を得た。ここで、パンチの寿命とは、
所望の表面粗さのノズルめくら孔が形成出来なくなった
とき、又は、パンチが欠けたときまでのプレス動作の回
数をいう。

【００４８】 円錐部１７２のテーパ角α１０につい
て。 円錐部のテーパ角α１０を、２０度、３０度、４０度、
５０度、６０度としたパンチを使用してプレス動作を繰
り返し行なう実験を行った。ダイ孔１６３は径が０．２
ｍｍである。この実験の結果、図１５に示す結果を得
た。図１５より、円錐部のテーパ角α１０が２０度であ
るパンチは使用後間もなく寿命となってしまい、円錐部
のテーパ角α１０が３０度であるパンチの寿命は大幅に
増えて約６，０００回、円錐部のテーパ角α１０が４０
度であるパンチの寿命は更に増えて約１０，０００回、
円錐部のテーパ角α１０が５０度であるパンチの寿命は
更に増えて約１２，０００回であり、円錐部のテーパ角
α１０が更に大きくなって６０度であるパンチの寿命は
少し減って約７，５００であることが分かる。これよ
り、パンチの寿命の点から、円錐部のテーパ角α１０
は、３０度〜６０度の範囲内の角度が良好な角度である
ことが分かる。

【００４９】本実施例では、パンチ１６０の円錐部１７
２のテーパ角α１０が４０度であるため、パンチ１６０
は十分に長い寿命を有する。 曲面部１７３の半径ｒ１０について。 曲面部の半径ｒ１０を、０．０１ｍｍ（曲面部１７３を
積極的に形成していないもの）、０．０３ｍｍ、０．０
６ｍｍとしたパンチを使用してプレス動作を繰り返し行
なう実験を行った。ダイ孔１６３は径が０．２ｍｍであ
る。この実験の結果、図１６に示す結果を得た。 図１
６より、曲面部の半径ｒ１０が０．０１ｍｍであるパン
チは使用後間もなく寿命となってしまい、曲面部の半径
ｒ１０が０．０２ｍｍであるパンチの寿命は大幅に増え
て約５０，０００回、曲面部の半径ｒ１０が０．０６ｍ
ｍであるパンチの寿命は更に増えて約１００，０００回
であることが分かる。これより、パンチの寿命の点か
ら、曲面部の半径ｒ１０は、０．０２〜０．０６ｍｍ程
度あれば良好であることが分かる。

【００５０】本実施例では、パンチ１６０の曲面部１７
３の半径ｒ１０が約０．０２ｍｍであるため、パンチ１
６０は十分に長い寿命を有する。 ダイ孔１６３の径ｄ１２について。 ダイ孔の径ｄ１２を０．０７ｍｍ、０．１０ｍｍ、０．
１３ｍｍ、０．２０ｍｍとした下金型を使用し、円錐部
のテーパ角α１０が３０度であるパンチを使用してプレ
ス動作を繰り返し行なう実験を行った。この実験の結
果、図１７に示す結果を得た。

【００５１】図１７より、ダイ孔の径ｄ１２が０．０７
ｍｍの下金型、ダイ孔の径ｄ１２が０．１０ｍｍの下金
型を使用した場合には、パンチは使用後間もなく寿命と
なってしまい、ダイ孔の径ｄ１２が０．１３ｍｍの下金
型を使用した場合には、パンチの寿命は５００回程度と
なり、ダイ孔の径ｄ１２が０．２０ｍｍの下金型を使用
した場合には、パンチの寿命は更に増えて１，０００回
程度であることが分かる。これより、パンチの寿命の点
から、下金型のダイ孔の径ｄ１２は０．１３〜０．２０
ｍｍ程度は必要であることことが分かる。

【００５２】本実施例では、下金型１５６のダイ孔１６
３の径ｄ１２は、０．１３〜０．２０ｍｍであり、パン
チ１６０は長い寿命を有する。 チタンナイトライド（ＴｉＮ）保護膜１７４につい
て。 チタンナイトライド（ＴｉＮ）保護膜を有しないパンチ
とチタンナイトライド（ＴｉＮ）保護膜をイオンプレー
ティングによって形成したパンチとを比較した結果、チ
タンナイトライド（ＴｉＮ）保護膜を有するパンチの寿
命が、チタンナイトライド（ＴｉＮ）保護膜を有しない
パンチの寿命より長いことが分かった。

【００５３】本実施例では、パンチ１６０は、チタンナ
イトライド（ＴｉＮ）保護膜１７４を有しており、長い
寿命を有する。。 〔ダボ取り工程１２５及びこの工程に使用するテープ研
磨機１０５〕図１８（Ａ），（Ｂ）は、ダボ取り工程１
２５のためのテープ研磨機１０５を示す。

【００５４】テープ研磨機１０５は、垂直中心軸１８０
を中心にＢ方向に回転する回転テーブル組立体１８１
と、研磨テープ１８２と、フープ材押さえ板１８３とを
有する。回転テーブル組立体１８１は、正方形の回転テ
ーブル１８５と、回転テーブル１８５の両側より張り出
ている二つのフランジ対１８６、１８７と、その一のフ
ランジ対１８６の間に取り付けてあり、回転テーブル１
８５の一の辺側に配してある研磨テープ供給リール１８
８、ガイドロール１８９、１９０と、別のフランジ対１
８７の間に取り付けてあり、回転テーブル１８５の反対
側の辺側に配してある研磨テープ巻取リール１９１、ガ
イドロール１９２、１９３と、フランジ対１８７に固定
してあり、研磨テープ巻取リール１９１を研磨テープを
巻き取る方向に回転させる研磨テープ巻取機構１９４
と、回転テーブル１８５の幅と同じ幅の研磨テープ１８
２とを有する。

【００５５】上記研磨テープ１８２は、研磨テープ供給
リール１８８より出てガイドロール１８９、１９０によ
って案内されたのち、回転テーブル１８５の上面に出
て、回転テーブル１８５の上面を横切り、ガイドロール
１９３、１９２によって案内され、研磨テープ巻取リー
ル１９１に到っている。フープ材押さえ板１８３は、フ
ープ材の長手方向に長い長方形を有し、図１８（Ｂ）に
示すように、平面図上、垂直中心軸１８０よりずれた位
置に設けてある。フープ材押さえ板１８３は、通常は、
図１８（Ａ）に示すように、回転テーブル１８５より上
方に離れており、ダボ取り動作時に下降する。フープ材
押さえ板１８３は、３枚のノズル板が打ち抜かれる部分
に対向する大きさを有する。また、フープ材押さえ板１
８３の両側の位置には、テンションローラ１９５、１９
６が配設してある。

【００５６】ダボ１４１（ノズルめくら孔１４０）が形
成されたフープ材１００Ａは、図１８（Ａ）に示すよう
に、テンションローラ１９５とテンションローラ１９６
とに案内されており、フープ材押さえ板１８３の下側を
通っている。ダボ１４１は、フープ材１００Ａの下面側
にある。ダボを除去するときには、フープ材押さえ板１
８３が下降し、回転テーブル組立体１８１がＢ方向に回
転し、研磨テープ巻取機構１９４が動作する。研磨テー
プ１８２は、回転テーブル１８５の上面を矢印Ｃ方向に
微速で送られつつ、回転テーブル１８５と共にＢ方向に
回転している。フープ材押さえ板１８３がフープ材１０
０Ａを回転テーブル１８５上に押さえつける。これによ
って、３枚のノズル板分のダボ１４１が回転している研
磨テープ１８２によって、図９（Ｂ）に示すように、一
度に研磨除去される。また、図９（Ｂ）に示すように、
テーパ孔部の周囲の盛り上がり部１４２が除去される。
ここで、研磨テープ１８２については、研磨テープ供給
リール１８８より引き出された未使用の部分が使用され
るため、ダボ取りは効率良く行われる。研磨テープ１８
２に代えて、研磨布でもよい。

【００５７】〔両面研磨工程１２６及びこの工程に使用
するバフ研磨機１０６〕図１９（Ａ），（Ｂ）は、両面
研磨工程１２６に使用するバフ研磨機１０６を示す。バ
フ研磨機１０６は、回転テーブル２００と一体に回転す
るポリッシングシート２０１と、下動するフープ材押さ
え板２０２と、フープ材１００Ｂを案内するテンション
ローラ２０３、２０４とを有する。フープ材押さえ板２
０２が下動し、移動しつつあるフープ材１００Ｂが、研
磨材２０５を供給されて回転しているポリッシングシー
ト２０１上に押しつけられ、研磨される。これによっ
て、フープ材１００Ｂの上面及び下面の面粗度が向上さ
れる。

【００５８】〔バリ取り工程１２７及びこの工程に使用
するアルミナ砥粒入り超音波洗浄機１０７〕図２０及び
図２１は、バリ取り工程１２７に使用するアルミナ砥粒
入り超音波洗浄機１０７を示す。アルミナ砥粒入り超音
波洗浄機１０７は、外側槽２１０と、外側槽２１０の底
板上に設けてある超音波発振子２１１と、外側槽２１０
より一回り小さいサイズであり、外側槽２１０の内側に
設けてある内側槽２１２と、内側槽２１１内のガイドロ
ール２１３、２１４と、外側槽２１０内の水２１５と、
内側槽２１２内の純水２１６とを有する。内側槽２１２
は、水２１５がはられた外側槽２１０内に浮いた状態に
ある。内側槽２１２内の純水２１６には、無数の（図２
１では、図示の便宜上、数個が示してある）アルミナ砥
粒２１７が分散されている。

【００５９】超音波発振子２１１が駆動されている状態
で、テーパ孔部の周囲の盛り上がり部１４２が除去され
たフープ材１００Ｃが、ガイドロール２１３、２１４に
案内されて内側槽２１２内を移動される。超音波発振子
２１１の駆動によって発生した超音波振動が水２１５を
介して内側槽２１２に伝わって内側槽２１２が超音波振
動し、内側槽２１２が超音波振動することによって、ア
ルミナ砥粒２１７が純水２１６と共に超音波振動し、超
音波振動しているアルミナ砥粒２１７によって、図９
（Ｃ）に示すバリ１４３、１４４が図９（Ｄ）に示すよ
うに除去される。

【００６０】アルミナ砥粒２１７の超音波振動を利用す
ることによって、バリ１４３、１４４は良好に除去され
る。バリが除去されたフープ材１００Ｄは、次のシャワ
ーリンスエアーブロウ槽２２０に入って、洗浄される。 〔両面研磨１２８〕両面研磨１２６と同じで、前工程に
て傷が付いた場合に行う。

【００６１】なお、ノズル板２０は、圧電式でない方式
のインクジェットヘッドにも適用可能である。また、上
記の各部の寸法は一つの例であって、インクジェットヘ
ッドの仕様の変更等に伴って適宜変更されるものであ
る。また、例えばノズル孔のピッチが広い場合には、上
金型１５５を全部のノズル孔に対応する数のパンチを有
する構成とすることによって、一度のパンチ動作で、全
部のノズルめくら孔を形成するようにすることも可能で
ある。

【００６２】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、ノズル孔が、円柱孔部とテーパ孔部との間に、
環状の曲面部を有し、円柱孔部とテーパ孔部とが曲面部
を介してつながっている構成としたため、インク粒が吐
出する方向のバラツキを０．４度程度と従来に比べて小
さく抑えることが出来、インク粒の飛翔特性を向上させ
ることが出来、よって、例えば、画数の多い小さい文字
も良好に印字出来、印字品質の向上を図ることが出来
る。また、プレス加工で円柱孔部とテーパ孔部とを同時
に成形する場合に、パンチは先端側に上記の曲面部に対
応する曲面部を有することになり、強度が向上してパン
チの寿命を長くすることが出来る。

【００６３】請求項２の発明によれば、環状の曲面部
は、半径が０．０２〜０．０６ｍｍである構成であるた
め、インク粒が吐出する方向のバラツキを０．４度程度
と従来に比べて小さく抑えることが出来、インク粒の飛
翔特性を向上させることが出来、よって、例えば、画数
の多い小さい文字も良好に印字出来、印字品質の向上を
図ることが出来る。また、プレス加工で円柱孔部とテー
パ孔部とを同時に成形する場合に、パンチは先端側に上
記の曲面部に対応する曲面部を有することになり、強度
が向上してパンチの寿命を長くすることが出来る。

【００６４】請求項３の発明によれば、テーパ孔部は、
テーパ角が４０度以下である構成であるため、インク粒
が吐出する方向のバラツキを０．４度程度と従来に比べ
て小さく抑えることが出来、インク粒の飛翔特性を向上
させることが出来、よって、例えば、画数の多い小さい
文字も良好に印字出来、印字品質の向上を図ることが出
来る。また、プレス加工で円柱孔部とテーパ孔部とを同
時に成形する場合に、パンチの先端側の円錐部はテーパ
角が４０度以下であるものとなり、パンチの寿命を長く
することが出来る。

【００６５】請求項４の発明によれば、請求項１乃至３
のうちいずれか一項記載のノズル板を有する構成とした
ため、優れたインク粒の飛翔特性を有し、よって、例え
ば、画数の多い小さい文字も良好に印字出来るインクジ
ェットヘッドを実現出来る。請求項５の発明によれば、
請求項４記載のインクジェットヘッドを有する構成とし
たため、例えば、画数の多い小さい文字も良好に印字出
来るプリンタを実現出来る。

【００６６】請求項６の発明によれば、先端の円柱部と
円錐部と両者を繋ぐ曲面部とを有するパンチと該パンチ
の円柱部の径より大きい径のダイ孔を有する金型とを使
用して、テーパ孔部と有底の円柱孔部とよりなるノズル
めくら孔と、上記ダイ孔内に押し出されたダボを成形す
るノズルめくら孔成形工程と、上記ダボを除去してノズ
ルめくら孔を貫通したノズル孔とするダボ除去工程と、
上記ノズル孔の開口の縁のバリを取るバリ取り工程とよ
りなる構成としたため、一度パンチした個所にもう一度
加工を行う必要は無く、よって、ノズル板を従来に比べ
て少ない加工工数で、即ち、従来に比べて安い製造コス
トで製造することが出来、しかも、円柱孔部とテーパ孔
部とが曲面部を介してつながっており優れたインク粒の
飛翔特性を有するノズル孔を精度良く形成出来る。

【００６７】請求項７の発明によれば、ノズルめくら孔
成形工程は、板材にノズル板のノズル孔のピッチの２倍
のピッチで該ノズル板のノズル孔の数の半分の数のノズ
ルめくら孔を成形する１回目のノズルめくら孔成形工程
と、該板材をノズル板のノズル孔のピッチ分ずらして行
う２回目のノズルめくら孔成形工程とよりなる構成とし
たため、ピッチの狭いノズルめくら孔の成形を無理なく
合理的に行うことが出来る。

【００６８】請求項８の発明によれば、先端の円柱部と
円錐部と両者を繋ぐ曲面部とを有するパンチと該パンチ
の円柱部の径より大きい径のダイ孔を有する金型とを使
用して、テーパ孔部と有底の円柱孔部とよりなるノズル
めくら孔と、上記ダイ孔内に押し出されたダボを成形す
るプレス機と、上記ダボを研磨除去してノズルめくら孔
を貫通したノズル孔とする研磨機と、上記ノズル孔の開
口の縁のバリを取る超音波洗浄装置とよりなる構成とし
たため、一度パンチした個所にもう一度加工を行う必要
は無く、よって、ノズル板を従来に比べて少ない加工工
数で、即ち、従来に比べて安い製造コストで製造するこ
とが出来、しかも、円柱孔部とテーパ孔部とが曲面部を
介してつながっており優れたインク粒の飛翔特性を有す
るノズル孔を精度良く形成出来る。また、パンチは、先
端の円柱部と円錐部と両者を繋ぐ曲面部とを有する形状
を有するため、パンチの寿命を長くすることが出来る。

【００６９】請求項９の発明は、プレス機は、金型のパ
ンチの数が形成すべきノズル孔の半分の数であり、パン
チのピッチが形成すべきノズル孔のピッチの２倍のピッ
チであり、且つ、板材を該パンチのピッチの半分の距離
移動させるノズル孔形成用送り機構を備えた構成であ
り、プレス機は、プレス動作を、間で該ノズル孔形成用
送り機構を動作させて、２回に分けて行う構成としたた
め、パンチのピッチが広くできるため、パンチを十分に
太くて強度の大きいものとし得、金型を頑丈であり、寿
命が長いものと出来る。また、ピッチの狭いノズルめく
ら孔をの成形を無理なく合理的に行うことが出来る。

【００７０】請求項１０の発明は、パンチは、超硬合金
製であり、チタンナイトライド保護膜を有する構成とし
たため、パンチの寿命を長くすることが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例になるノズル板の一のノズル
孔を拡大して示す図である。

【図２】本発明の一実施例になるプリンタの概略図であ
る。

【図３】本発明の一実施例になる圧電式インクジェット
ヘッドの要部を拡大して示す図である。

【図４】ノズル板を概略的に示す図である。

【図５】図３の圧電式インクジェットヘッドのインク粒
の飛翔特性を示す図である。

【図６】図１中、曲面部を有しないノズル孔のインク粒
の飛翔特性を示す図である。

【図７】テーパ角が５０度のテーパ孔部を有するノズル
孔のインク粒の飛翔特性を示す図である。

【図８】ノズル板の製造方法を説明する図である。

【図９】図８中の主要な工程を説明する図である。

【図１０】図８中、プレス機１０２、１０３を示す図で
ある。

【図１１】ノズルめくら孔を成形するプレス機の一部を
拡大して示す図である。

【図１２】図１１中の上金型を上下反転した状態で示す
図である。

【図１３】一つのパンチを示す図である。

【図１４】プレス機によるノズルめくら孔の成形を説明
する図である。

【図１５】実験によって得た、パンチの円錐部のテーパ
角とパンチの寿命との関係を示す図である。

【図１６】実験によって得た、パンチの曲面部の半径と
パンチの寿命との関係を示す図である。

【図１７】実験によって得た、ダイ孔の径とパンチの寿
命との関係を示す図である。

【図１８】図８中のテープ研磨機１０５を示す図であ
る。

【図１９】図８中のバフ研磨機１０６を示す図である。

【図２０】図８中のアルミナ砥粒入り超音波洗浄機１０
７を示す図である。

【図２１】図２０中のアルミナ砥粒入り超音波洗浄機１
０７を概略的に示す図である。

【図２２】ノズル孔成形用送り機構を示す図である。

【図２３】従来の１例のノズル板のノズル孔を拡大して
示す図である。

【図２４】従来のノズル孔の形成を説明する図である。

【符号の説明】

２０ ノズル板 ２１ ノズル孔 ２２ テーパ孔部 ２４ インク吐出口 ２５ 円柱孔部 ２６ 環状の曲面部 ２７ 直線 ４０ プリンタ ４１ 圧電式インクジェットヘッド ４３ インクタンク ５３ 振動板 ５５ 圧電素子 ５７ インク室 ６０、６１ 基準孔 １０３ プレス機 １０５ テープ研磨機 １０６ バフ研磨機 １０７ アルミナ砥粒入り超音波洗浄機 １２３ ノズルめくら孔成形工程 １２５ ダボ取り工程 １２６ 両面研磨工程 １２７ バリ取り工程 １４０ ノズルめくら孔 １４１ ダボ １４２ テーパ孔部の周囲の盛り上がり部 １４３、１４４ バリ １６０ パンチ １６３ ダイ孔 １７０ 本体部 １７１ 円柱部 １７２ 円錐部 １７３ 曲面部 １７４ チタンナイトライド（ＴｉＮ）保護膜 １８１ 回転テーブル組立体 １８２ 研磨テープ １８３ フープ材押さえ板 １９４ 研磨テープ巻取機構 ２００ 回転テーブル ２０１ ポリッシングシート ２０２ フープ材押さえ板 ２０３、２０４ テンションローラ ２１０ 外側槽 ２１１ 超音波発振子 ２１２ 内側槽 ２１７ アルミナ砥粒 ２５０ ノズル孔成形用送り機構 ２５１ フープ材クランプ機構 ２５２ アクチュエータ ２５３ 下側クランパ ２５４ 上側クランパ ２５５ ガイドレール ２５６ 隙間

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 塚原 亨 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 河原田 照一 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 鈴木 政晴 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクジェットヘッドのノズル板におい
   て、 ノズル孔が、円柱孔部とテーパ孔部との間に、環状の曲
   面部を有し、該円柱孔部と該テーパ孔部とが上記曲面部
   を介してつながっている形状を有する構成としたことを
   特徴とするノズル板。
2. 【請求項２】 上記環状の曲面部は、半径が０．０２〜
   ０．０６ｍｍである構成としたことを特徴とする請求項
   １記載のノズル板。
3. 【請求項３】 上記テーパ孔部は、テーパ角が４０度以
   下である構成としたことを特徴とする請求項１記載のノ
   ズル板。
4. 【請求項４】 請求項１乃至３のうちいずれか一項記載
   のノズル板を有する構成としたことを特徴とするインク
   ジェットヘッド。
5. 【請求項５】 請求項４記載のインクジェットヘッドを
   有する構成としたことを特徴とするプリンタ。
6. 【請求項６】 先端の円柱部と円錐部と両者を繋ぐ曲面
   部とを有するパンチと該パンチの円柱部の径より大きい
   径のダイ孔を有する金型とを使用して、テーパ孔部と有
   底の円柱孔部とよりなるノズルめくら孔と、上記ダイ孔
   内に押し出されたダボを成形するノズルめくら孔成形工
   程と、 上記ダボを除去してノズルめくら孔を貫通したノズル孔
   とするダボ除去工程と、 上記ノズル孔の開口の縁のバリを取るバリ取り工程とよ
   りなる構成としたことを特徴とするノズル板の製造方
   法。
7. 【請求項７】 該ノズルめくら孔成形工程は、板材にノ
   ズル板のノズル孔のピッチの２倍のピッチで該ノズル板
   のノズル孔の数の半分の数のノズルめくら孔を成形する
   １回目のノズルめくら孔成形工程と、該板材をノズル板
   のノズル孔のピッチ分ずらして行う２回目のノズルめく
   ら孔成形工程とよりなる構成としたことを特徴とする請
   求項６記載のノズル板の製造方法。
8. 【請求項８】 先端の円柱部と円錐部と両者を繋ぐ曲面
   部とを有するパンチと該パンチの円柱部の径より大きい
   径のダイ孔を有する金型とを使用して、テーパ孔部と有
   底の円柱孔部とよりなるノズルめくら孔と、上記ダイ孔
   内に押し出されたダボを成形するプレス機と、 上記ダボを研磨除去してノズルめくら孔を貫通したノズ
   ル孔とする研磨機と、 上記ノズル孔の開口の縁のバリを取る超音波洗浄装置と
   よりなる構成としたことを特徴とするノズル板の製造装
   置。
9. 【請求項９】 上記プレス機は、該金型の該パンチの数
   が形成すべきノズル孔の半分の数であり、該パンチのピ
   ッチが形成すべきノズル孔のピッチの２倍のピッチであ
   り、且つ、板材を該パンチのピッチの半分の距離移動さ
   せるノズル孔形成用送り機構を備えた構成であり、 該プレス機は、プレス動作を、間で該ノズル孔形成用送
   り機構を動作させて、２回に分けて行う構成としたこと
   を特徴とする請求項８記載のノズル板の製造装置。
10. 【請求項１０】 上記パンチは、超硬合金製であり、チ
    タンナイトライド保護膜を有する構成としたことを特徴
    とする請求項８又は請求項９記載のノズル板の製造装
    置。