JPH10220615A - 流体制御弁制御方法 - Google Patents

流体制御弁制御方法

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JPH10220615A
JPH10220615A JP9023543A JP2354397A JPH10220615A JP H10220615 A JPH10220615 A JP H10220615A JP 9023543 A JP9023543 A JP 9023543A JP 2354397 A JP2354397 A JP 2354397A JP H10220615 A JPH10220615 A JP H10220615A
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Yukinori Ozaki
行則 尾崎
Shigeru Iwanaga
茂 岩永
Yukio Nagaoka
行夫 長岡
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 消費電力を小さくし、電池電源の容量を小さ
くすること。 【解決手段】 弁部11の開成動作時と閉成動作におい
て、それぞれ最適な駆動力が得られるような駆動電圧お
よびパルス出力周波数によって制御する。これによって
消費電力の低減と電池電源部17の容量を小さくでき
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、流路中を流れるガ
ス流体の流れを開閉制御するガスメータに内蔵する遮断
弁の制御方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来この種の制御方法としては、特開平
5−71656号公報に示すようなものがあった。以
下、その構成について図面を参照して説明する。図16
は従来の弁制御方法のブロック構成図である。1はステ
ッピングモータ、2は回転数等の検出器、3は比較器、
4はマイクロコンピュータ、5は駆動部、6は電源であ
る。制御方法は、開弁時(又は閉弁時)弁体(図示せ
ず)に加わる逆方向の流体圧力が大きいのでマイクロコ
ンピュータ4からの信号で駆動部5を働かせてステッピ
ングモータ1をモータ推力を得るため減速ドライブ(広
いパルス幅を印加)して、一定時間後には加速ドライブ
(狭いパルス幅を印加)に切換えていた。また、閉弁時
(又は開弁時)には定速トライブ(等パルス幅を印加)
を行っていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
制御方法はパルス数のみを変化させる制御のためステッ
ピングモータの消費電力が大きいという課題を有してい
た。
【0004】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
本発明は、流路を開閉する弁部と、前記弁部を駆動する
駆動手段と、前記駆動手段へ駆動信号をパルス出力する
駆動回路と、前記駆動回路からの出力電圧を可変する電
圧制御手段と、電源部とを有し、前記弁部の開成動作時
と閉成動作時の前記駆動手段の駆動電圧およびパルス出
力周波数を異なる値とした流体制御弁制御方法である。
一般に弁部においては、流体の入口と出口の位置や方向
の関係で弁部の開閉動作に際し、弁体の移動方向に対し
て流体の流れによる流体圧が順方向に作用する場合と逆
方向に作用する場合がある。従って基本的に弁体の開成
動作に要する力やエネルギーと閉成動作に必要とする力
やエネルギーは異なる。本発明は開成動作、閉成動作そ
れぞれに要する力に対応して駆動電圧とパルス出力周波
数を変化させて駆動手段を動作し弁部の開閉制御を行う
ものである。また、駆動手段の消費電力を小さくするこ
とができ、電池電源の容量を小さくすることが可能とな
る。
【0005】
【発明の実施の形態】前記課題を解決するため本発明の
請求項1記載の発明は、流路を開閉する弁部と、前記弁
部を駆動する駆動手段と、前記駆動手段へ駆動信号をパ
ルス出力する駆動回路と、前記駆動回路からの出力電圧
を可変する電圧制御手段と、電池電源部とを有し、前記
弁部の開成動作時と閉成動作時の前記駆動手段の駆動電
圧およびパルス出力周波数を異なる値とした流体制御弁
制御方法である。一般に弁部においては、流体の入口と
出口の位置や方向の関係で弁部の開閉動作に際し、弁体
の移動方向に対して流体の流れによる流体圧が順方向に
作用する場合と逆方向に作用する場合がある。従って基
本的に弁体の開成動作に要する力やエネルギーと閉成動
作に必要とする力やエネルギーは異なる。本発明は開成
動作、閉成動作それぞれに要する力に対応して駆動電圧
とパルス出力周波数を変化させて駆動手段を動作し弁部
の開閉制御を行うものである。また、駆動手段の消費電
力を小さくすることができ、電池電源の容量を小さくす
ることが可能となる。
【0006】また、本発明の請求項2記載の発明は、流
路を開閉する弁部と、前記弁部を駆動する駆動手段と、
時間をカウントするタイマ手段と、前記演算処理部から
の信号を入力して前記駆動手段へ駆動信号をパルス出力
する駆動回路と、前記駆動回路からの出力電圧を可変設
定する電圧制御手段と、電源部とを有し、前記弁部の開
成動作時初期は前記駆動手段を高電圧、且つ低周波数パ
ルスで駆動し、所定時間経過した後に低電圧、且つ高周
波数で駆動する流体制御弁制御方法であり、流体の流れ
に対向して弁体を移動し弁開動作を行う弁部の構成にお
いては、弁閉成状態から弁開動作を行う弁開動作時初期
には弁体は移動方向と逆方向に流体の流れの圧力を受け
るので、高電圧、且つ低周波数パルスの強い力による駆
動を行い、タイマ手段によってカウントされ所定の時間
が経過し、弁体が移動して弁開することにより流体の流
れにより受けていた圧力が十分小さくなった後、低電
圧、且つ高周波数パルスによる駆動に切替るよう制御す
ることによって弁開成動作に要する駆動手段の消費電力
を低減することができる。
【0007】また、本発明の請求項3記載の発明は、弁
部の閉成動作時初期は駆動手段を低電圧、且つ高周波数
パルスで駆動し、所定時間経過した後に前記駆動手段を
高電圧、且つ低周波数パルスで駆動する請求項2記載の
流体制御弁制御方法であり、流体の流れの方向に弁体を
移動して弁閉動作を行う弁部の構成においては、弁開成
状態から弁閉動作を行う時、弁体は順方向に流体の流れ
による圧力を受けるので強い力による駆動は不要であ
り、低電圧、且つ高周波数パルスで駆動し、タイマ手段
でカウントされる所定の時間が経過し、弁体が弁座に当
接した弁閉状態で高電圧、且つ低周波数パルスによる強
い力で駆動するよう制御することにより、弁体の弁座へ
の付勢力が大きくなり弁部のシール性能を向上すること
ができる。また、弁閉動作に要する駆動手段の消費電力
を低減することができる。
【0008】また、本発明の請求項4記載の発明は、流
路を開閉する弁部と、前記弁部を駆動する駆動手段と、
前記弁部の開閉を検出する弁開閉検出手段と、前記駆動
手段へ駆動信号をパルス出力する駆動回路と、前記駆動
回路からの出力電圧を可変設定する電圧制御手段と、電
源部を有し、前記弁部の開成動作時初期は前記駆動手段
を高電圧、且つ低周波数パルスで駆動し、前記弁部が僅
かに開成した後に前記駆動手段を低電圧、且つ高周波数
パルスで駆動する流体制御弁制御方法であり、流体の流
れに対向して弁体を移動し弁開動作を行う弁部の構成に
おいては、弁閉成状態から弁開動作を行う時、弁体は弁
開方向と逆方向に流体圧をうける弁開動作初期には高電
圧、且つ低周波数パルスによる強い駆動を行い、弁開閉
検出手段により、弁部の開閉状態を検出し、弁体が僅か
に開成し、弁体に逆方向に作用していた流体圧の付勢力
が小さくなった状態で低電圧、且つ高周波数パルスで駆
動するよう制御することにより弁開動作に要する駆動手
段の消費電力を低減することができる。
【0009】また、本発明の請求項5記載の発明は、弁
部の閉成動作時初期は駆動手段を低電圧、且つ高周波数
パルスで駆動し、前記弁部が閉成した後に前記駆動手段
を高電圧、且つ低周波数で駆動する請求項4記載の流体
制御弁制御方法であり、流体の流れの方向に弁体を移動
して弁閉動作を行う弁部構成においては、弁閉動作に強
い力は必要でなく、弁部の閉成動作時初期から低電圧、
且つ高周波数パルスによる駆動を行い、弁開閉検出手段
が弁体の閉成状態を検出した後高電圧、且つ低周波数に
よる強い駆動を行い、弁閉時の弁体の弁座への付勢力を
大きくする。従ってこの駆動制御により、駆動手段の消
費電力を低減すると共に弁部のシール性能を向上するこ
とができる。
【0010】以下、本発明の実施例について図面を参照
して説明する。なお、実施例1から4において同等の構
成要素については同一符号を符し一部説明を省略する。
【0011】(実施例1)図1は本発明の実施例1のガ
ス流路の構成図である。また図2は同ガス流路のブロッ
ク図である。また、図3、図4は同ガス流路の弁部の弁
開時の断面図、図5は、同ガス流路の弁部の弁閉時の断
面図である。図6は同ガス流路の弁部の弁閉動作時の動
作フローチャート、図7は同ガス流路の弁部の弁開動作
時の動作フローチャートである。
【0012】図1、図2において、7はガス流路のハウ
ジングであり、ハウジング7の内部には、入口8と出口
9を連通する流路10が構成されている。流路10には
流路10を開閉する弁部11と、弁部11を駆動する駆
動手段であるステッピングモータ12と、演算処理部1
3と、演算処理部13からの信号を入力して駆動手段の
ステッピングモータ12へ駆動信号をパルス出力する駆
動回路14と、駆動回路14からのパルス(以降パルス
は省略)出力電圧を可変する電圧制御手段15と、電池
電源部16とで構成されている。図3から図5におい
て、入口継手17、出口継手18を有する弁部11の内
部にはステッピングモータ12の回転を直動に変換する
直動変換部19と、この直動変換部19に接続され上下
に移動し、弁座20に当接して弁閉状態となる弁体21
が設けられている。図6、図7において、ステップ1は
弁の閉成を命令する弁閉成信号出力動作であり、例えば
地震発生時に感震器(図示せず)からの信号を演算処理
部13が受けて、この演算処理部13から出力される。
ステップ2はある電圧A、パルス出力周波数Aで駆動手
段であるステッピングモータ12を駆動する動作、ステ
ップ3は弁部11の閉成状態を示す。ステップ4は弁の
開成を命令する弁開成信号出力動作、ステップ3は弁部
11の閉成動作を示す。ステップ4は弁の開成を命令す
る弁開成信号出力動作、ステップ5はある電圧B、で駆
動手段であるステッピングモータ12を駆動する動作、
ステップ6は弁部11の開成状態を示す。
【0013】次に以上の構成における動作、作用につい
て図1から図7により説明する。先ず弁部11の弁閉動
作について説明すると、通常ガスの流路10に設けられ
た弁部11の弁体21は開成状態にある。この状態で流
路10をガスが流れ各種器具が使用されている。今、地
震が発生すると感震器(図示せず)からの信号を演算処
理部13が受けて、ステップ1で演算処理部13から弁
部11の閉成を命令する信号が駆動回路14に出力され
る。ステップ2で駆動回路14はこの信号を入力しステ
ッピングモータ12へ電圧A、パルス出力周波数Aを印
加しステッピングモータ12を駆動する。ステッピング
モータ12の回転が直動変換部19により直動に変換さ
れて弁体21が移動し弁座20に当接することでステッ
プ3の弁閉成状態となる。この時にはガスの流路10の
弁部11で流路10が閉塞されるため器具側(図示せ
ず)へはガスが流れない状態となる。次に弁開動作につ
いて説明すると、器具側で異常がないと判断されると、
ステップ4で弁の開成を命令する弁開成信号が演算処理
部13から出力され、ステップ5で駆動回路14はこの
信号を入力しステッピングモータ12へ電圧B、パルス
出力周波数Bを印加し駆動する。ステッピングモータ1
2の回転が直動変換部19で直動に変換されて弁体21
が移動し弁座20から離脱しステップ6の弁開成状態と
なる。即ち本実施例の図3から図5に示す様な弁部11
においては開成動作時にはガスの流れる方向と弁体21
の移動方向が逆になりガス圧を弁体21が弁開方向と逆
に受けることにより、弁開に必要な力は大きくなるが、
閉成動作時は入口継手17から出口継手18側に向かっ
て流れるガスの流れと同方向に弁体21が移動するた
め、ガスの流れによる圧力を弁体21が弁閉方向に受け
ることにより、弁体21を閉成する力が作用し、弁体2
1の閉成に必要な力は小さくなり、開成動作時に比べ低
電圧で駆動することができる。この低電圧とは電池電源
部16の最大出力電圧(例えば3V)以下を示してい
る。一般に弁の動作電圧設計値としては、電池電源部1
6の時間経過による出力電圧低下特性、温度特性、ガス
圧力等を考慮し、電池電源部16の最大出力電圧が例え
ば3Vの場合、2V以下で弁が開成可能なように設計さ
れる。また、閉成時の動作電圧としては開成時の電圧以
下で動作されるものである。
【0014】また、以上のように弁開成動作と弁開成動
作に要する力やエネルギーが異なるため、本実施例では
各々に必要な力やエネルギーに応じて駆動電圧、パルス
周波数を変化させて対応するよう制御するもので、弁開
成動作、弁閉成動作に要する駆動手段の消費電力を低減
することが可能となり、電池電源部16の容量を小さく
することができる。
【0015】(実施例2)図8は本発明の実施例2のガ
ス流路の構成図である。また図9は同ガス流路のブロッ
ク図である。図10は同ガス流路の弁部の弁開動作時の
動作フローチャート、図11は同ガス流路の弁部の弁閉
動作時の動作フローチャートである。
【0016】実施例1と異なる点は、図8から図11に
おいて時間をカウントするタイマ手段22を設けたこと
と、高電圧、低周波数パルスで駆動手段であるステッピ
ングモータ12を駆動するステップ7、タイマ手段22
で所定時間をカウントする動作ステップ8、低電圧、高
周波数パルスで駆動手段であるステッピングモータ12
を駆動する動作ステップ9、低電圧、且つ一定電圧で駆
動手段であるステッピングモータ12を駆動する動作ス
テップ10の各動作プログラムを有していることであ
る。
【0017】次に以上の構成における動作、作用につい
て説明する。図10に示す弁部11の開成動作について
説明すると、ステップ4で弁の開成を命令する弁開成信
号が演算処理部13から出力され、ステップ7で駆動回
路14はこの信号を入力しステッピングモータ12へ高
電圧、低周波数パルスを印加し駆動する。同時にステッ
プ8でタイマ手段22が作動し所定時間(弁が開成する
のに十分な時間)がカウントされ経過すると、ステップ
9で低電圧による駆動信号が演算処理部13から出力さ
れ、駆動回路14はこの信号を入力し、ステッピングモ
ータ12へ低電圧、高周波数パルスを印加し駆動する。
ステッピングモータ12の回転は直動変換部19により
弁体21が弁座20から離脱しステップ6の弁開成状態
に至る。この動作においては弁部11を開成するとき弁
体の移動方向と逆にガスの流れによるガス圧力が作用す
るので当初は高電圧、低周波数パルスの強い駆動力で開
成駆動し、弁開に十分な時間が経過した後に弁体21が
移動してガスの流れにより作用を受ける圧力の付勢力が
十分小さくなった時、低電圧、高周波数パルスによる駆
動に切替えるよう制御することによって、弁開成に要す
る駆動手段の消費電力を低減することができる。
【0018】次に図11に示す弁部11の閉成動作、作
用について説明すると、ステップ1で演算処理部13か
ら弁閉成信号が出力されるとステップ9で演算処理部1
3から低電圧、高周波数パルスによる駆動信号が出力さ
れ、駆動回路14はこの信号を入力してステッピングモ
ータ12へ低電圧、高周波数パルスを印加し駆動する。
同時にステップ8でタイマ手段22により所定時間(弁
が閉成するのに十分な時間)がカウントされ経過する
と、ステップ7で高電圧、低周波数パルスによる駆動信
号が演算処理部13から出力され、駆動回路14はこの
信号を入力してステッピングモータ12に高電圧、低周
波数パルスを印加し、高電圧、低周波数による強い駆動
が行われ、直動変換部19により弁体21が弁座20に
強い力で当接しステップ3の弁閉成状態に至る。この弁
開成動作において弁体21の移動方向とガス圧力の作用
する方向が同方向であり弁閉動作の殆んどは低電圧、高
周波数による駆動を行い最終の段階のみ高電圧、低周波
数パルスの強い駆動を行うことによって駆動手段の消費
電力の低減を図るとともに弁体21を弁座20に対して
強い力で閉成することにより弁部11のシール性能の向
上を図ることができる。
【0019】(実施例3)図12は本発明の実施例3の
ガス流路の構成図である。また図13は同ガス流路のブ
ロック図である。図14は同ガス流路の弁部の弁開動作
時の動作フローチャート、図15は同ガス流路の弁部の
弁閉動時の動作フローチャートである。
【0020】実施例1、2と異なる点は、図12から図
15において弁部11の開閉を検出する圧力センサー等
で構成される弁開閉検出手段23を設けたことである。
また、弁部11の開成状態を検出する動作ステップ1
1、弁部11の閉成状態を検出する動作ステップ12が
設けられていることである。
【0021】次に以上の構成における動作、作用につい
て説明する。図14に示す弁部の開成動作について説明
すると、ステップ4で弁の開成を命令する弁開成信号が
演算処理部13から出力され、ステップ7で高電圧、低
周波数パルスによる駆動信号が演算処理部13から出力
され、駆動回路14からステッピングモータ12へ高電
圧、低周波数パルスが印加され、高電圧、低周波数パル
スによる駆動が行われ直動変換部19により弁体21が
移動する。次にステップ11で弁部11の開成状態を検
出する弁開成動作が行なわれ弁体21が開成しているこ
とが検出されると、ステップ9で低電圧、高周波数パル
スによる駆動信号が演算処理部13から出力され、駆動
回路14からステッピングモータ12へ低電圧、高周波
数パルスが印加され低電圧、高周波数パルスによる駆動
をつづけ直動変換部19により弁体21が移動しステッ
プ6の弁開成に至る。この動作においては弁部11を開
成するとき当初は弁体21がガス圧力に対向して移動す
るため強い駆動を必要とするが、弁体21が僅かに開成
すると、弁体21が受けるガスの流れによるガス圧力の
作用が小さくなる。従って弁体21が僅かに開成したこ
とを弁開閉手段23で検出し直ちに低電圧による駆動に
切替えよう制御することにより、弁開成に要する駆動手
段の消費電力を低減することができる。
【0022】次に図15に示す弁部11の閉成動作、作
用について説明すると、ステップ1で弁閉成信号が演算
処理部13から出力され、ステップ9で低電圧、高周波
数パルスによる駆動信号が演算処理部13から出力さ
れ、駆動回路14からステッピングモータ12へ低電
圧、高周波数パルスが印加されステッピングモータ12
が低電圧、高周波数パルスで駆動し、直動変換部21に
より弁体21が弁座20に向って移動する。次にステッ
プ12で弁開閉検出手段23で弁部11の閉成状態弁開
成を検出し、弁体21が閉成していることが検出される
と、ステップ7で高電圧、低周波数パルスによる駆動信
号が演算処理部13から出力され、駆動回路14からス
テッピングモータ12へ高電圧、低周波数パルスが印加
されステッピングモータ12は高電圧、低周波数パルス
の強い力で駆動し直動変換部19によりすでに弁座20
に当接している弁座21をさらに弁座20に強く付勢し
た状態でステップ3の弁開成に至る。この作用により弁
部11のシール性能を向上させることができる。また、
弁開成動作に要する駆動手段の消費電力を低減すること
ができる。
【0023】
【発明の効果】以上の説明から明かなように、請求項1
記載の発明によれば、弁部の開成動作時と閉成動作時の
駆動手段の駆動電圧を異なる電圧、異なるパルス出力周
波数となるように制御することにより、弁開および弁閉
に各々必要な力で対応した電圧で駆動させることができ
るため、駆動手段に要する消費電力を小さくすることが
できる。その結果、電池電源の容量を小さくすることが
できる。
【0024】また、請求項2記載の発明によれば、弁部
の開成動作時初期は駆動手段を高電圧、且つ低周波数パ
ルスで駆動し、所定時間経過した後にタイマ手段で低電
圧、且つ高周波数パルスによる駆動に切替えるように制
御することにより、弁開成動作に要する駆動手段の消費
電力を低減することができる。その結果電源部の容量を
小さくすることができる。
【0025】また、請求項3記載の発明によれば、弁部
の閉成動作時初期は駆動手段を低電圧、且つ高周波数パ
ルスで駆動し、所定時間経過した後にタイマ手段で駆動
手段を高電圧、低周波数パルスによる駆動に切替えるよ
う制御することにより、弁開成時から弁閉動作を行う間
の駆動手段に要する消費電力が小さくなり、所定時間経
過した弁閉成状態で高電圧、且つ低周波数パルスによる
強い力で駆動することにより弁閉時の弁体の付勢力が大
きくなり弁シール性能が向上する。
【0026】また、請求項4記載の発明によれば弁体の
開成動作時初期は駆動手段を高電圧、且つ低周波数パル
スで駆動し、弁開閉検出手段で弁開状態を検出し、弁体
が僅かに開成し弁体に作用していた流体圧による逆方向
の付勢力が小さくなった状態で低電圧、高周波数パルス
で駆動することにより弁開成動作に要する手段の消費電
力を低減することが出来る。
【0027】また、請求項5記載の発明によれば、弁部
の閉動作時初期は駆動手段を低電圧、且つ高周波数パル
スで駆動し、弁開閉検出手段で弁閉状態を検出し弁体が
閉成したことを検出した後に駆動手段を高電圧、且つ低
周波数パルスによる駆動に切替えるよう制御することに
より、弁閉動作に要する消費電力を低減すると共に、弁
閉成状態での弁体の付勢力が大きくなり弁シール性能を
向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1におけるガス流路のブロック
構成図
【図2】同ガス流路のブロック構成図
【図3】同ガス流路の弁部の弁開時の断面図
【図4】同ガス流路の弁部の弁開時の断面図
【図5】同ガス流路の弁部の弁閉時の断面図
【図6】同ガス流路の弁部の弁閉動作時の動作フローチ
ャート
【図7】同ガス流路の弁部の弁開動作時の動作フローチ
ャート
【図8】本発明の実施例2におけるガス流路のブロック
構成図
【図9】同ガス流路のブロック構成図
【図10】同ガス流路の弁部の弁開動作時の動作フロー
チャート
【図11】同ガス流路の弁部の弁閉動作時の動作フロー
チャート
【図12】本発明の実施例3におけるガス流路の構成図
【図13】同ガス流路のブロック構成図
【図14】同ガス流路の弁部の弁開動作時の動作フロー
チャート
【図15】同ガス流路の弁部の弁閉動作時の動作フロー
チャート
【図16】従来の弁制御方法のブロック図
【符号の説明】
10 流路 11 弁部 12 ステッピングモータ(駆動手段) 13 演算処理部 14 駆動回路 15 電圧制御手段 16 電池電源部 20 弁座 21 弁体 22 タイマ手段 23 弁開閉検出手段

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】流路を開閉する弁部と、前記弁部を駆動す
    る駆動手段と、前記駆動手段へ駆動信号をパルス信号と
    して出力する駆動回路と、前記駆動回路の出力電圧を可
    変制御する電圧制御手段と、電源部とを有し、前記弁部
    の開成動作時と閉成動作時における前記駆動手段への駆
    動信号は駆動電圧とパルス出力周波数を各々異なる値と
    した流体制御弁制御方法。
  2. 【請求項2】流路を開閉する弁部と、前記弁部を駆動す
    る駆動手段と、時間をカウントするタイマ手段と、前記
    駆動手段へ駆動信号をパルス信号として出力する駆動回
    路と、前記駆動回路の出力電圧を可変制御する電圧制御
    手段と、電源部とを有し、前記弁部の開成動作時の初期
    は前記駆動手段を高電圧で且つ低周波数のパルス信号で
    駆動し、所定時間経過した後は低電圧で且つ高周波数の
    パルス信号で駆動する流体制御弁制御方法。
  3. 【請求項3】流路を開閉する弁部と、前記弁部を駆動す
    る駆動手段と、時間をカウントするタイマ手段と、前記
    駆動手段へ駆動信号をパルス信号として出力する駆動回
    路と、前記駆動回路の出力電圧を可変制御する電圧制御
    手段と、電源部とを有し、前記弁部の閉成動作時の初期
    は駆動手段を低電圧で、且つ高周波数のパルス信号で駆
    動し、所定時間経過した後は前記駆動手段を高電圧で且
    つ低周波数のパルス信号で駆動する流体制御弁制御方
    法。
  4. 【請求項4】流路を開閉する弁部と、前記弁部を駆動す
    る駆動手段と、前記弁部の開閉を検出する弁開閉検出手
    段と、前記駆動手段へ駆動信号をパルス信号として出力
    する駆動回路と、前記駆動回路の出力電圧を可変制御す
    る電圧制御手段と、電源部とを有し、前記弁部の開成動
    作時の初期は前記駆動手段を高電圧で且つ低周波数のパ
    ルス信号で駆動し、前記弁部が僅かに開成した後は前記
    弁開閉検出手段からの信号により前記駆動手段を低電圧
    で且つ高周波数のパルス信号で駆動する流体制御弁制御
    方法。
  5. 【請求項5】流路を開閉する弁部と、前記弁部を駆動す
    る駆動手段と、前記弁部の開閉を検出する弁開閉検出手
    段と、前記駆動手段へ駆動信号をパルス信号として出力
    する駆動回路と、前記駆動回路の出力電圧を可変制御す
    る電圧制御手段と、電源部とを有し、前記弁部の閉成動
    作時の初期は駆動手段を低電圧で且つ高周波数のパルス
    信号で駆動し、前記弁部が閉成した後は前記弁開閉検出
    手段からの信号により前記駆動手段を高電圧で且つ低周
    波数のパルス信号で駆動する流体制御弁制御方法。
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