JPH10216716A - 有機化合物の分解方法および分解装置 - Google Patents
有機化合物の分解方法および分解装置Info
- Publication number
- JPH10216716A JPH10216716A JP9028071A JP2807197A JPH10216716A JP H10216716 A JPH10216716 A JP H10216716A JP 9028071 A JP9028071 A JP 9028071A JP 2807197 A JP2807197 A JP 2807197A JP H10216716 A JPH10216716 A JP H10216716A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- organic compound
- decomposition
- gas
- decomposed
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
- Removal Of Specific Substances (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 水質汚染または大気汚染を起こす有機化合物
を、効率よく分解することができる有機化合物の分解方
法および分解装置を提供する。 【解決手段】 有機塩素化合物のガス、液体もしくは蒸
気または有機塩素化合物を含有するガス、液体もしくは
蒸気の分解方法であって、前記有機化合物にエキシマラ
ンプ１から発生する１７２ｎｍまたは２２２ｎｍの波長
の紫外線を照射することにより、上記課題を解決した。
を、効率よく分解することができる有機化合物の分解方
法および分解装置を提供する。 【解決手段】 有機塩素化合物のガス、液体もしくは蒸
気または有機塩素化合物を含有するガス、液体もしくは
蒸気の分解方法であって、前記有機化合物にエキシマラ
ンプ１から発生する１７２ｎｍまたは２２２ｎｍの波長
の紫外線を照射することにより、上記課題を解決した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、有機化合物の分解
方法に関する。
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】水質汚染または大気汚染を起こす有機化
合物は、活性炭吸着法、酸化分解法、、活性汚泥法、生
物処理法等により除去または分解できる。これらの中で
も、活性炭吸着法は、最もよく用いられ、主に水質中に
汚染した有機化合物を吸着する目的で使用されている。
合物は、活性炭吸着法、酸化分解法、、活性汚泥法、生
物処理法等により除去または分解できる。これらの中で
も、活性炭吸着法は、最もよく用いられ、主に水質中に
汚染した有機化合物を吸着する目的で使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】活性炭吸着法は、高価
な吸着剤である活性炭を使用するため、活性炭を再生利
用しなければならない。また、粉末状の活性炭を使用す
るため、取り扱いが容易でなく、設備も比較的大規模で
ある。さらに、その再生作業および設備のメンテナンス
には、多大な労力と経費を要する。このことは、近年、
最重要視される環境浄化とそのためのコストとの間でジ
レンマを生じさせている。そこで、水質汚染または大気
汚染を起こす有機化合物を、低コストで容易に除去また
は分解できる方法と装置が求められていた。
な吸着剤である活性炭を使用するため、活性炭を再生利
用しなければならない。また、粉末状の活性炭を使用す
るため、取り扱いが容易でなく、設備も比較的大規模で
ある。さらに、その再生作業および設備のメンテナンス
には、多大な労力と経費を要する。このことは、近年、
最重要視される環境浄化とそのためのコストとの間でジ
レンマを生じさせている。そこで、水質汚染または大気
汚染を起こす有機化合物を、低コストで容易に除去また
は分解できる方法と装置が求められていた。
【０００４】本発明は、水質汚染または大気汚染を起こ
す有機化合物を、容易に分解することができる有機化合
物の分解方法および分解装置を提供する。
す有機化合物を、容易に分解することができる有機化合
物の分解方法および分解装置を提供する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、有機
化合物の流体にエキシマによる紫外線を照射して分解す
ることに特徴を有する有機化合物の分解方法である。
化合物の流体にエキシマによる紫外線を照射して分解す
ることに特徴を有する有機化合物の分解方法である。
【０００６】請求項２の発明は、請求項１記載の有機化
合物の分解方法において、前記紫外線が、エキシマラン
プから発生する１７２ｎｍまたは２２２ｎｍの波長の紫
外線であることに特徴を有する。
合物の分解方法において、前記紫外線が、エキシマラン
プから発生する１７２ｎｍまたは２２２ｎｍの波長の紫
外線であることに特徴を有する。
【０００７】請求項３の発明は、請求項１または２記載
の有機化合物の分解方法において、前記有機化合物の流
体が、有機塩素化合物の流体であって、有機塩素化合物
のガス、液体もしくは蒸気または有機塩素化合物を含有
するガス、液体もしくは蒸気であることに特徴を有す
る。
の有機化合物の分解方法において、前記有機化合物の流
体が、有機塩素化合物の流体であって、有機塩素化合物
のガス、液体もしくは蒸気または有機塩素化合物を含有
するガス、液体もしくは蒸気であることに特徴を有す
る。
【０００８】これらの発明によれば、エキシマによる紫
外線、特にエキシマランプから発生する１７２ｎｍまた
は２２２ｎｍの波長の紫外線を照射することにより、有
機化合物を効率よく分解できる。
外線、特にエキシマランプから発生する１７２ｎｍまた
は２２２ｎｍの波長の紫外線を照射することにより、有
機化合物を効率よく分解できる。
【０００９】請求項４の発明は、請求項３記載の有機化
合物の分解方法において、前記有機塩素化合物の流体が
液体であって、前記紫外線の照射面に近接して設けられ
た流速緩衝体の中を徐々に流下し、流下中に該紫外線に
照射されて分解することに特徴を有する。この発明によ
れば、流速緩衝体によって液体を徐々に流下させ、紫外
線を十分に照射することができるので、分解効率を向上
できる。
合物の分解方法において、前記有機塩素化合物の流体が
液体であって、前記紫外線の照射面に近接して設けられ
た流速緩衝体の中を徐々に流下し、流下中に該紫外線に
照射されて分解することに特徴を有する。この発明によ
れば、流速緩衝体によって液体を徐々に流下させ、紫外
線を十分に照射することができるので、分解効率を向上
できる。
【００１０】請求項５の発明は、請求項３記載の有機化
合物の分解方法において、前記有機塩素化合物の流体
が、ガスまたは蒸気であって、前記紫外線の照射面に近
接して設けられた流速緩衝体の中を徐々に上昇し、上昇
中に該紫外線に照射されて分解することに特徴を有す
る。この発明によれば、流速緩衝体によって、ガスまた
は蒸気を徐々に上昇させ、紫外線を十分に照射すること
ができるので、分解効率を向上できる。
合物の分解方法において、前記有機塩素化合物の流体
が、ガスまたは蒸気であって、前記紫外線の照射面に近
接して設けられた流速緩衝体の中を徐々に上昇し、上昇
中に該紫外線に照射されて分解することに特徴を有す
る。この発明によれば、流速緩衝体によって、ガスまた
は蒸気を徐々に上昇させ、紫外線を十分に照射すること
ができるので、分解効率を向上できる。
【００１１】請求項６の発明は、請求項４または５記載
の有機化合物の分解方法において、前記流速緩衝体が、
前記紫外線および前記有機塩素化合物に対して安定であ
って、ガス、蒸気または液体の流速を下げることに特徴
を有する。
の有機化合物の分解方法において、前記流速緩衝体が、
前記紫外線および前記有機塩素化合物に対して安定であ
って、ガス、蒸気または液体の流速を下げることに特徴
を有する。
【００１２】請求項７の発明は、請求項４または５記載
の有機化合物の分解方法において、前記紫外線に照射さ
れる際に、前記有機塩素化合物の流体と、触媒ガスとが
接触して分解することに特徴を有する。この発明によれ
ば、触媒ガスによって分解が促進され、分解効率を向上
できる。
の有機化合物の分解方法において、前記紫外線に照射さ
れる際に、前記有機塩素化合物の流体と、触媒ガスとが
接触して分解することに特徴を有する。この発明によれ
ば、触媒ガスによって分解が促進され、分解効率を向上
できる。
【００１３】請求項８の発明は、請求項３乃至７の何れ
かに記載の有機化合物の分解方法において、前記有機塩
素化合物が、フロン、ダイオキシン、ＰＣＢ、トリクロ
ロエチレン、テトラクロロエチレン、ジクロロメタン、
四塩化炭素、１，２−ジクロロエタン、１，１−ジクロ
ロエタン、シス−１，２−ジクロロエタン、１，１，１
−トリクロロエタン、１，３−ジクロロプロペンである
ことに特徴を有する。
かに記載の有機化合物の分解方法において、前記有機塩
素化合物が、フロン、ダイオキシン、ＰＣＢ、トリクロ
ロエチレン、テトラクロロエチレン、ジクロロメタン、
四塩化炭素、１，２−ジクロロエタン、１，１−ジクロ
ロエタン、シス−１，２−ジクロロエタン、１，１，１
−トリクロロエタン、１，３−ジクロロプロペンである
ことに特徴を有する。
【００１４】請求項９の発明は、有機化合物の液体また
は有機化合物を含有する液体の分解装置であって、分解
すべき流体を収納する分解処理槽と、エキシマによる１
７２ｎｍまたは２２２ｎｍの紫外線を照射するエキシマ
ランプとを備えることに特徴を有する有機化合物の分解
装置である。
は有機化合物を含有する液体の分解装置であって、分解
すべき流体を収納する分解処理槽と、エキシマによる１
７２ｎｍまたは２２２ｎｍの紫外線を照射するエキシマ
ランプとを備えることに特徴を有する有機化合物の分解
装置である。
【００１５】請求項１０の発明は、請求項９記載の有機
化合物の分解装置において、前記エキシマランプが、円
筒形の紫外線発光部と該紫外線発光部を支持する支持部
とから構成され、前記支持部が前記分解処理槽の天面に
固定され、前記紫外線発光部が前記有機化合物の液体ま
たは有機化合物を含有する液体内に浸漬されるように設
けられていることに特徴を有する。
化合物の分解装置において、前記エキシマランプが、円
筒形の紫外線発光部と該紫外線発光部を支持する支持部
とから構成され、前記支持部が前記分解処理槽の天面に
固定され、前記紫外線発光部が前記有機化合物の液体ま
たは有機化合物を含有する液体内に浸漬されるように設
けられていることに特徴を有する。
【００１６】請求項１１の発明は、請求項９記載の有機
化合物の分解装置において、前記エキシマランプが、円
筒形の紫外線発光部と、該紫外線発光部を覆って保護す
る矩形状の保護箱とから構成され、前記エキシマランプ
が前記分解処理槽の内部に向かって照射するように天面
または側面に少なくとも１つ設けられていることに特徴
を有する。
化合物の分解装置において、前記エキシマランプが、円
筒形の紫外線発光部と、該紫外線発光部を覆って保護す
る矩形状の保護箱とから構成され、前記エキシマランプ
が前記分解処理槽の内部に向かって照射するように天面
または側面に少なくとも１つ設けられていることに特徴
を有する。
【００１７】請求項１２の発明は、請求項１０または１
１記載の有機化合物の分解装置において、前記分解処理
槽に、分解ガスを排出する排気口が設けられていること
に特徴を有する。
１記載の有機化合物の分解装置において、前記分解処理
槽に、分解ガスを排出する排気口が設けられていること
に特徴を有する。
【００１８】請求項１３の発明は、有機化合物のガス、
蒸気もしくは液体または有機化合物を含有するガス、蒸
気もしくは液体の分解装置であって、分解すべき流体を
収納する分解処理箱と、該分解処理箱に取り付けられた
エキシマランプと、該分解処理箱内にあって該エキシマ
ランプの照射面に近接して設けられ処理流体の流速を低
下せしめる流速緩衝体と、該流速緩衝体の上流部の該分
解処理箱に設けられた流入口と、該流速緩衝体の下流部
の該分解処理箱に設けられた流出口と、該分解処理箱の
上部に設けられて分解ガスを排出する排気口とによって
構成されることに特徴を有する有機化合物の分解装置で
ある。
蒸気もしくは液体または有機化合物を含有するガス、蒸
気もしくは液体の分解装置であって、分解すべき流体を
収納する分解処理箱と、該分解処理箱に取り付けられた
エキシマランプと、該分解処理箱内にあって該エキシマ
ランプの照射面に近接して設けられ処理流体の流速を低
下せしめる流速緩衝体と、該流速緩衝体の上流部の該分
解処理箱に設けられた流入口と、該流速緩衝体の下流部
の該分解処理箱に設けられた流出口と、該分解処理箱の
上部に設けられて分解ガスを排出する排気口とによって
構成されることに特徴を有する有機化合物の分解装置で
ある。
【００１９】請求項１４の発明は、請求項１３記載の有
機化合物の分解装置において、前記流速緩衝体が、ガ
ス、蒸気または液体の流速を下げる網状、石綿状または
束状の部材であることに特徴を有する。
機化合物の分解装置において、前記流速緩衝体が、ガ
ス、蒸気または液体の流速を下げる網状、石綿状または
束状の部材であることに特徴を有する。
【００２０】請求項１５の発明は、請求項１３記載の有
機化合物の分解装置において、前記分解処理箱に、触媒
ガス流入管と触媒流出管とが設けられていることに特徴
を有する。
機化合物の分解装置において、前記分解処理箱に、触媒
ガス流入管と触媒流出管とが設けられていることに特徴
を有する。
【００２１】請求項１６の発明は、分解すべき流体を収
納する分解処理槽と、該分解処理槽の天面に取り付けら
れたエキシマランプとによって構成されている有機化合
物の液体または有機化合物を含有する液体の分解装置で
あって、前記分解処理槽の側面上部には、分解ガスを排
出する排気口が設けられ、該分解処理槽の下には、該分
解処理槽の底部を加熱して前記液体から蒸気を発生させ
るヒーターが設けられていることに特徴を有する有機化
合物の分解装置である。
納する分解処理槽と、該分解処理槽の天面に取り付けら
れたエキシマランプとによって構成されている有機化合
物の液体または有機化合物を含有する液体の分解装置で
あって、前記分解処理槽の側面上部には、分解ガスを排
出する排気口が設けられ、該分解処理槽の下には、該分
解処理槽の底部を加熱して前記液体から蒸気を発生させ
るヒーターが設けられていることに特徴を有する有機化
合物の分解装置である。
【００２２】請求項１７の発明は、請求項１６記載の有
機化合物の分解装置において、前記分解処理槽に、前記
エキシマランプの真下に近接して触媒ガス流路が設けら
れ、該触媒ガス流路の下面には、前記蒸気と触媒ガスが
接触する接触部が設けられ、該触媒ガス流路の一方には
触媒ガス流入管が、他方には触媒ガス流出管が設けられ
ていることに特徴を有する。
機化合物の分解装置において、前記分解処理槽に、前記
エキシマランプの真下に近接して触媒ガス流路が設けら
れ、該触媒ガス流路の下面には、前記蒸気と触媒ガスが
接触する接触部が設けられ、該触媒ガス流路の一方には
触媒ガス流入管が、他方には触媒ガス流出管が設けられ
ていることに特徴を有する。
【００２３】
【発明の実施の形態】次に、本発明を図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
【００２４】図１は本発明の分解装置の第１実施形態を
示す概略図である。本発明の分解装置は、分解すべき流
体を収納する矩形または円筒形の縦長の分解処理槽２
と、分解処理槽２の天面７の取付口１０に一端が固定さ
れたエキシマランプ１と、分解処理槽２の天面７に設け
られて分解ガス４を排出する排気口５とによって構成さ
れている。分解処理の際には、分解処理槽２中に有機化
合物の液体または有機化合物を含有する溶液（以下、被
分解液３という）が供給される。
示す概略図である。本発明の分解装置は、分解すべき流
体を収納する矩形または円筒形の縦長の分解処理槽２
と、分解処理槽２の天面７の取付口１０に一端が固定さ
れたエキシマランプ１と、分解処理槽２の天面７に設け
られて分解ガス４を排出する排気口５とによって構成さ
れている。分解処理の際には、分解処理槽２中に有機化
合物の液体または有機化合物を含有する溶液（以下、被
分解液３という）が供給される。
【００２５】排気口５は、分解処理槽２の側面上部に設
けられていてもよい。排気口５に活性炭フィルター８を
備えた排気管６を接続することにより、分解ガス４をさ
らに精製して排出することができる。
けられていてもよい。排気口５に活性炭フィルター８を
備えた排気管６を接続することにより、分解ガス４をさ
らに精製して排出することができる。
【００２６】分解処理槽２には、被分解液３をかき混ぜ
て分解を効率よく行うための攪はん装置９を設けること
ができる。攪はんは、分解処理槽２の底部から攪はん子
によって攪はんしても、分解処理槽２の上部からプロペ
ラによって攪はんしても何れでもよい。
て分解を効率よく行うための攪はん装置９を設けること
ができる。攪はんは、分解処理槽２の底部から攪はん子
によって攪はんしても、分解処理槽２の上部からプロペ
ラによって攪はんしても何れでもよい。
【００２７】分解処理槽２は、矩形または円筒形の何れ
でもよいが、エキシマランプ１から発する紫外線および
被分解液３に対して反応しない材質または反応しにくい
材質、即ち耐溶液性および耐紫外線性を有する材質であ
ることが好ましく、例えばステンレススチール等が好ま
しい。ステンレススチール等の加工し易い金属の場合
は、その天面７にエキシマランプ１の取付口１０および
排気口５等の加工が容易にできるので好ましい。
でもよいが、エキシマランプ１から発する紫外線および
被分解液３に対して反応しない材質または反応しにくい
材質、即ち耐溶液性および耐紫外線性を有する材質であ
ることが好ましく、例えばステンレススチール等が好ま
しい。ステンレススチール等の加工し易い金属の場合
は、その天面７にエキシマランプ１の取付口１０および
排気口５等の加工が容易にできるので好ましい。
【００２８】エキシマランプ１は、その上部が分解処理
槽２の天面７の取付口１０に固定され、下部が被分解液
３に浸漬されている。図２は、第１実施形態に用いたエ
キシマランプ１の構造を示す概略図である。エキシマラ
ンプ１は、円筒形の紫外線発光部１１と、紫外線発光部
１１を支持する支持部１２とから構成されている。
槽２の天面７の取付口１０に固定され、下部が被分解液
３に浸漬されている。図２は、第１実施形態に用いたエ
キシマランプ１の構造を示す概略図である。エキシマラ
ンプ１は、円筒形の紫外線発光部１１と、紫外線発光部
１１を支持する支持部１２とから構成されている。
【００２９】紫外線発光部１１は、何れも紫外線を透過
しやすい石英等の材料からなる発光管１６と保護管１４
とから構成され、それらの間には所定の空間があり、そ
の空間には不活性なガス、例えば窒素ガス等が封入され
ている。発光管１６の外周には電極１５がスパイラル状
または網状に設けられている。発光管１６の内部には、
所定の空間を隔てて冷却管２０が設けられている。冷却
管２０の中には仕切１８が設けられ、冷却水２０が循環
し易くなっている。発光管１６と冷却管１７との間の所
定の空間には、エキシマを形成する封入ガス１９、例え
ばキセノンガス、クリプトンガスまたはアルゴンガスが
封入されている。紫外線の波長は、封入ガス１９によっ
て異なり、紫外線発光部１１から発生して、四方に照射
する。
しやすい石英等の材料からなる発光管１６と保護管１４
とから構成され、それらの間には所定の空間があり、そ
の空間には不活性なガス、例えば窒素ガス等が封入され
ている。発光管１６の外周には電極１５がスパイラル状
または網状に設けられている。発光管１６の内部には、
所定の空間を隔てて冷却管２０が設けられている。冷却
管２０の中には仕切１８が設けられ、冷却水２０が循環
し易くなっている。発光管１６と冷却管１７との間の所
定の空間には、エキシマを形成する封入ガス１９、例え
ばキセノンガス、クリプトンガスまたはアルゴンガスが
封入されている。紫外線の波長は、封入ガス１９によっ
て異なり、紫外線発光部１１から発生して、四方に照射
する。
【００３０】支持部１２には、取付部１３が設けられ、
分解処理槽２の天面７の取付口１０に取り付けられる。
支持部１２の内部には、電極１５の端子や冷却管１７へ
の接続口等が設けられている。
分解処理槽２の天面７の取付口１０に取り付けられる。
支持部１２の内部には、電極１５の端子や冷却管１７へ
の接続口等が設けられている。
【００３１】エキシマランプ１は、分解処理槽２の天面
７に限らず、側面や底面に取り付けてもよく、また、脱
着できるようにしてもよい。
７に限らず、側面や底面に取り付けてもよく、また、脱
着できるようにしてもよい。
【００３２】被分解液３は、浸漬されたエキシマランプ
１から発する紫外線により、主に二酸化炭素、一酸化炭
素および水に分解する。二酸化炭素等のガス成分は、分
解ガス４として被分解液３から離脱し、分解処理槽２の
天面７に設けられた排気口５から排出される。排気管６
および活性炭フィルター８が設けられている場合、分解
ガス４は、さらに精製されて外部に排出される。
１から発する紫外線により、主に二酸化炭素、一酸化炭
素および水に分解する。二酸化炭素等のガス成分は、分
解ガス４として被分解液３から離脱し、分解処理槽２の
天面７に設けられた排気口５から排出される。排気管６
および活性炭フィルター８が設けられている場合、分解
ガス４は、さらに精製されて外部に排出される。
【００３３】エキシマランプ１は、封入ガス１９の種類
によって１７２ｎｍ、２２２ｎｍ、３０８ｎｍの何れか
の波長の紫外線を発生する。有機化合物の分解には、１
７２ｎｍまたは２２２ｎｍの波長の紫外線が好ましい。
この波長の紫外線は、大気中または液体中の酸素から酸
化力の強い多くの励起酸素原子を直接生成できる。さら
に、この波長の紫外線は、光子のエネルギーが強く、有
機化合物中のＣ−Ｃ、Ｃ−Ｏ、Ｃ−Ｈ、Ｃ−Ｃｌ等の結
合を容易に切断でき、ここに励起酸素原子が反応して有
機化合物を分解し、二酸化炭素や水等を生成する。例え
ば、１，１，１−トリクロロエタンを含有する液体にエ
キシマによる１７２ｎｍまたは２２２ｎｍの波長の紫外
線を照射すると、１，１，１−トリクロロエタン中のＣ
−Ｃ、Ｃ−Ｈ、Ｃ−Ｃｌの結合が切断され、そこに液体
中または大気中から供給されて生成した励起酸素原子が
反応して分解し、二酸化炭素、一酸化炭素、水、塩化水
素、塩素を生成する。
によって１７２ｎｍ、２２２ｎｍ、３０８ｎｍの何れか
の波長の紫外線を発生する。有機化合物の分解には、１
７２ｎｍまたは２２２ｎｍの波長の紫外線が好ましい。
この波長の紫外線は、大気中または液体中の酸素から酸
化力の強い多くの励起酸素原子を直接生成できる。さら
に、この波長の紫外線は、光子のエネルギーが強く、有
機化合物中のＣ−Ｃ、Ｃ−Ｏ、Ｃ−Ｈ、Ｃ−Ｃｌ等の結
合を容易に切断でき、ここに励起酸素原子が反応して有
機化合物を分解し、二酸化炭素や水等を生成する。例え
ば、１，１，１−トリクロロエタンを含有する液体にエ
キシマによる１７２ｎｍまたは２２２ｎｍの波長の紫外
線を照射すると、１，１，１−トリクロロエタン中のＣ
−Ｃ、Ｃ−Ｈ、Ｃ−Ｃｌの結合が切断され、そこに液体
中または大気中から供給されて生成した励起酸素原子が
反応して分解し、二酸化炭素、一酸化炭素、水、塩化水
素、塩素を生成する。
【００３４】被分解液３は、有機化合物のみからなる液
体であっても、有機化合物を含有する液体であっても何
れでもよい。有機化合物の中でも特に有機塩素化合物
は、大気や水質を汚染するものが多い。有機塩素化合物
のうち、炭素と塩素との結合の強いものの分解に、真空
紫外線の照射が好ましい。それらの有機塩素化合物とし
ては、フロン、ダイオキシン、ＰＣＢ、トリクロロエチ
レン、テトラクロロエチレン、ジクロロメタン、四塩化
炭素、１，２−ジクロロエタン、１，１−ジクロロエタ
ン、シス−１，２−ジクロロエタン、１，１，１−トリ
クロロエタン、１，３−ジクロロプロペン等を例示する
ことができる。これらは何れも塩素化合物であるが、他
のハロゲン元素を含む有機ハロゲン化物、例えばフッ
素、臭素を含む化合物の分解にも適する。
体であっても、有機化合物を含有する液体であっても何
れでもよい。有機化合物の中でも特に有機塩素化合物
は、大気や水質を汚染するものが多い。有機塩素化合物
のうち、炭素と塩素との結合の強いものの分解に、真空
紫外線の照射が好ましい。それらの有機塩素化合物とし
ては、フロン、ダイオキシン、ＰＣＢ、トリクロロエチ
レン、テトラクロロエチレン、ジクロロメタン、四塩化
炭素、１，２−ジクロロエタン、１，１−ジクロロエタ
ン、シス−１，２−ジクロロエタン、１，１，１−トリ
クロロエタン、１，３−ジクロロプロペン等を例示する
ことができる。これらは何れも塩素化合物であるが、他
のハロゲン元素を含む有機ハロゲン化物、例えばフッ
素、臭素を含む化合物の分解にも適する。
【００３５】図３は、本発明の分解装置の第２実施形態
を示す概略図である。第２実施形態の分解装置は、分解
すべき流体を収納する矩形または円筒形の縦長の分解処
理槽２と、分解処理槽２の側面の取付口２２に固定され
た少なくとも１つの箱型エキシマランプ２１と、分解処
理槽２の天面７に設けられて分解ガス４を排出する排気
口６とによって構成されている。第１実施形態の装置と
同様な構成であり、箱型エキシマランプ２１の構造とそ
の取付位置が相違する。
を示す概略図である。第２実施形態の分解装置は、分解
すべき流体を収納する矩形または円筒形の縦長の分解処
理槽２と、分解処理槽２の側面の取付口２２に固定され
た少なくとも１つの箱型エキシマランプ２１と、分解処
理槽２の天面７に設けられて分解ガス４を排出する排気
口６とによって構成されている。第１実施形態の装置と
同様な構成であり、箱型エキシマランプ２１の構造とそ
の取付位置が相違する。
【００３６】箱型エキシマランプ２１は、分解処理槽２
の側面に少なくとも１つ設けられ、分解処理槽２の内部
に向かって紫外線を照射して、被分解液３を分解する。
分解ガス４は、液体から離脱し、分解処理槽２の天面７
に設けられた排気口５から排出される。他は、第１実施
形態の装置と同様である。
の側面に少なくとも１つ設けられ、分解処理槽２の内部
に向かって紫外線を照射して、被分解液３を分解する。
分解ガス４は、液体から離脱し、分解処理槽２の天面７
に設けられた排気口５から排出される。他は、第１実施
形態の装置と同様である。
【００３７】図４は、第２実施形態に用いた箱型エキシ
マランプ２１の構造を示す斜視図である。箱型エキシマ
ランプ２１は、円筒形の紫外線発光部２４と、紫外線発
光部２４を覆って保護する矩形状の保護箱２３とから構
成されている。
マランプ２１の構造を示す斜視図である。箱型エキシマ
ランプ２１は、円筒形の紫外線発光部２４と、紫外線発
光部２４を覆って保護する矩形状の保護箱２３とから構
成されている。
【００３８】円筒形の紫外線発光部２４は、図２で示し
た紫外線発光部１１の構造と同様である。
た紫外線発光部１１の構造と同様である。
【００３９】保護箱２３は、紫外線発光部２４から発し
た紫外線を照射するように１つの面が開口している。開
口面には、紫外線を透過し易い石英ガラス２５が、紫外
線発光部２４の保護をかねて設けられている。開口面の
外縁部には、取付フランジ２６が設けられ、分解処理槽
２の取付口２２に取り付けることができる。開口面以外
の保護箱２３は、ステンレススチール等の耐紫外線性の
材料であることが好ましい。
た紫外線を照射するように１つの面が開口している。開
口面には、紫外線を透過し易い石英ガラス２５が、紫外
線発光部２４の保護をかねて設けられている。開口面の
外縁部には、取付フランジ２６が設けられ、分解処理槽
２の取付口２２に取り付けることができる。開口面以外
の保護箱２３は、ステンレススチール等の耐紫外線性の
材料であることが好ましい。
【００４０】図５は、第２実施形態に用いた分解処理槽
２の構造の一例を示す斜視図である。分解処理槽２の側
面には、少なくとも１つ以上の箱型エキシマランプ２１
を取り付けるための取付口２２が設けられている。
２の構造の一例を示す斜視図である。分解処理槽２の側
面には、少なくとも１つ以上の箱型エキシマランプ２１
を取り付けるための取付口２２が設けられている。
【００４１】図６は、本発明の分解装置の第３実施形態
を示す概略図である。第３実施形態の分解装置は、円筒
形の縦長の分解処理槽２と、分解処理槽２の側面に固定
された少なくとも１つのリング型エキシマランプ２７
と、分解処理槽２の天面７に設けられて分解ガス４を排
出する排気口６とによって構成されている。第２実施形
態の装置と同様な構成であり、エキシマランプの構造と
その取付位置が相違する。
を示す概略図である。第３実施形態の分解装置は、円筒
形の縦長の分解処理槽２と、分解処理槽２の側面に固定
された少なくとも１つのリング型エキシマランプ２７
と、分解処理槽２の天面７に設けられて分解ガス４を排
出する排気口６とによって構成されている。第２実施形
態の装置と同様な構成であり、エキシマランプの構造と
その取付位置が相違する。
【００４２】リング型エキシマランプ２７は、分解処理
槽２の側面に少なくとも１つ設けられ、分解処理槽２の
内部に向かって紫外線を照射して、被分解液３を分解す
る。
槽２の側面に少なくとも１つ設けられ、分解処理槽２の
内部に向かって紫外線を照射して、被分解液３を分解す
る。
【００４３】リング型エキシマランプ２７の内部の構造
は、前記したエキシマランプ１をリング状にしたもので
ある。このため、分解処理槽２は円筒形であることが好
ましく、リング型エキシマランプ２７の部分が開口した
ステンレスまたは全体が石英管であることが好ましい。
は、前記したエキシマランプ１をリング状にしたもので
ある。このため、分解処理槽２は円筒形であることが好
ましく、リング型エキシマランプ２７の部分が開口した
ステンレスまたは全体が石英管であることが好ましい。
【００４４】図７は、本発明の分解装置の第４実施形態
を示す概略図である。第４実施形態の分解装置は、矩形
または円筒形の縦長の分解処理箱２８と、分解処理箱２
８の側面に取り付けられた箱型エキシマランプ２１と、
分解処理箱２８内にあって箱型エキシマランプ２１の照
射面に近接して設けられた流速緩衝体２９と、流速緩衝
体２９の上流部の分解処理箱２８に設けられて被処理液
３を流入する流入口３０と、流速緩衝体２９の下流部の
分解処理箱２８に設けられて被処理液３を流出する流出
口３１と、分解処理箱２８の天面７に設けられて分解ガ
ス４を排出する排気口６とによって構成されている。
を示す概略図である。第４実施形態の分解装置は、矩形
または円筒形の縦長の分解処理箱２８と、分解処理箱２
８の側面に取り付けられた箱型エキシマランプ２１と、
分解処理箱２８内にあって箱型エキシマランプ２１の照
射面に近接して設けられた流速緩衝体２９と、流速緩衝
体２９の上流部の分解処理箱２８に設けられて被処理液
３を流入する流入口３０と、流速緩衝体２９の下流部の
分解処理箱２８に設けられて被処理液３を流出する流出
口３１と、分解処理箱２８の天面７に設けられて分解ガ
ス４を排出する排気口６とによって構成されている。
【００４５】本実施形態において、流入口３０から流下
した被処理液３は、流速緩衝体２９で緩やかに流下し、
箱型エキシマランプ２１からの紫外線が十分に照射さ
れ、分解する。分解ガス４は、排気口５から排出され、
さらに、活性炭フィルター８によって精製されて排出さ
れてもよい。分解しきれなかった非処理液４１は、流出
口３１から排出される。非処理液４１は、流出口３１に
接続した流出配管３３を経て非処理液貯水槽３５に貯め
られ、循環配管３７の途中に設けられた循環ポンプ３８
によって被処理液貯水槽３４に送られ、そこから流入配
管３２の途中に設けられた流量調整弁３６によって再び
分解処理箱２８に流下して分解処理することができる。
した被処理液３は、流速緩衝体２９で緩やかに流下し、
箱型エキシマランプ２１からの紫外線が十分に照射さ
れ、分解する。分解ガス４は、排気口５から排出され、
さらに、活性炭フィルター８によって精製されて排出さ
れてもよい。分解しきれなかった非処理液４１は、流出
口３１から排出される。非処理液４１は、流出口３１に
接続した流出配管３３を経て非処理液貯水槽３５に貯め
られ、循環配管３７の途中に設けられた循環ポンプ３８
によって被処理液貯水槽３４に送られ、そこから流入配
管３２の途中に設けられた流量調整弁３６によって再び
分解処理箱２８に流下して分解処理することができる。
【００４６】分解処理箱２８は、その材質および箱型エ
キシマランプ２１の取付形態において第２実施形態と同
様である。
キシマランプ２１の取付形態において第２実施形態と同
様である。
【００４７】箱型エキシマランプ２１は、分解処理箱２
８の側面に設けられ、その内部に向かって紫外線を照射
する。構造は、図４と同様である。また、その形状は必
ずしも箱型である必要はなく、１つの面が照射面となる
半円筒形状でもよい。
８の側面に設けられ、その内部に向かって紫外線を照射
する。構造は、図４と同様である。また、その形状は必
ずしも箱型である必要はなく、１つの面が照射面となる
半円筒形状でもよい。
【００４８】被分解液３は、紫外線が十分に照射される
ほど効率よく分解される。そのため、流速緩衝体２９の
構造または流入配管３２の途中に設けられた流量調整弁
３６を調整し、緩やかに流下させることによって、効率
よく分解することができる。
ほど効率よく分解される。そのため、流速緩衝体２９の
構造または流入配管３２の途中に設けられた流量調整弁
３６を調整し、緩やかに流下させることによって、効率
よく分解することができる。
【００４９】流速緩衝体２９は、照射する紫外線および
被処理液３に対して安定な材質、例えば石英、ステンレ
ス等であって、流入する被処理液３の流速を弱める網
状、石綿状または束状に加工された部材であることが好
ましい。特に、ガラスファイバーで網状または石綿状に
した流速緩衝体２９は、流入する被処理液３の流速を弱
めるのに適している。
被処理液３に対して安定な材質、例えば石英、ステンレ
ス等であって、流入する被処理液３の流速を弱める網
状、石綿状または束状に加工された部材であることが好
ましい。特に、ガラスファイバーで網状または石綿状に
した流速緩衝体２９は、流入する被処理液３の流速を弱
めるのに適している。
【００５０】分解効率を高めるために、分解処理箱２８
の下部に設けた触媒ガス流入管４０から、触媒ガス４２
を流入することもできる。触媒ガス流入管４０から流入
した触媒ガス４２は、分解処理箱２８の上方の排気口５
から排出する間に、流速緩衝体２９を流下する被分解液
３と接触する。触媒ガス４２と接触した被分解液３は、
紫外線に照射されて容易に分解し易くなり、効率よく分
解される。分解ガス４は、触媒ガス４２とともに排気口
５から排出される。排気口５に接続した排気管６の下流
側に吸引ポンプ３９を設けて、触媒ガス４２と分解ガス
４を吸引することもできる。
の下部に設けた触媒ガス流入管４０から、触媒ガス４２
を流入することもできる。触媒ガス流入管４０から流入
した触媒ガス４２は、分解処理箱２８の上方の排気口５
から排出する間に、流速緩衝体２９を流下する被分解液
３と接触する。触媒ガス４２と接触した被分解液３は、
紫外線に照射されて容易に分解し易くなり、効率よく分
解される。分解ガス４は、触媒ガス４２とともに排気口
５から排出される。排気口５に接続した排気管６の下流
側に吸引ポンプ３９を設けて、触媒ガス４２と分解ガス
４を吸引することもできる。
【００５１】触媒ガス４２は、酸化チタンガス、酸化マ
グネシウムガス等が好ましく、窒素ガス等の不活性なガ
スとともに使用してもよい。酸化チタンガス中のチタン
または酸化マグネシウム中のマグネシウムは、特にＣ−
Ｃｌ結合部を攻撃し、その結合を切断して分解する際の
触媒となり、被分解液３の反応を促進することができ
る。
グネシウムガス等が好ましく、窒素ガス等の不活性なガ
スとともに使用してもよい。酸化チタンガス中のチタン
または酸化マグネシウム中のマグネシウムは、特にＣ−
Ｃｌ結合部を攻撃し、その結合を切断して分解する際の
触媒となり、被分解液３の反応を促進することができ
る。
【００５２】図８は、流速緩衝体２９の一例を示す拡大
斜視図である。（ａ）は網状流速緩衝体４３、（ｂ）は
石綿状流速緩衝体４４を示している。
斜視図である。（ａ）は網状流速緩衝体４３、（ｂ）は
石綿状流速緩衝体４４を示している。
【００５３】図９は、流速緩衝体２９に被処理液３を分
岐して流下する一例を示す拡大図である。被処理液３
は、流入配管３０に設けられた流量調節弁３６を経て、
分岐配管４５で分岐され、幅の広い流速緩衝体２９に流
下される。これにより、多くの被処理液３を流下するこ
とができ、分解能力を上げることができる。
岐して流下する一例を示す拡大図である。被処理液３
は、流入配管３０に設けられた流量調節弁３６を経て、
分岐配管４５で分岐され、幅の広い流速緩衝体２９に流
下される。これにより、多くの被処理液３を流下するこ
とができ、分解能力を上げることができる。
【００５４】図１０は、本発明の分解装置の第５実施形
態を示す概略図である。第５実施形態の分解装置は、矩
形または円筒形の縦長の分解処理箱４６と、分解処理箱
４６の側面に取り付けられた箱型エキシマランプ２１
と、分解処理箱４６内にあって箱型エキシマランプ２１
の照射面に近接して設けられた流速緩衝体２９と、流速
緩衝体２９の上流部の分解処理箱４６に設けられて被分
解ガス４７を流入する流入口３０と、流速緩衝体２９の
下流部の分解処理箱４６に設けられて分解ガス４８を流
出する流出口３１とによって構成されている。第４実施
形態との相違は、ガスの分解装置である点である。
態を示す概略図である。第５実施形態の分解装置は、矩
形または円筒形の縦長の分解処理箱４６と、分解処理箱
４６の側面に取り付けられた箱型エキシマランプ２１
と、分解処理箱４６内にあって箱型エキシマランプ２１
の照射面に近接して設けられた流速緩衝体２９と、流速
緩衝体２９の上流部の分解処理箱４６に設けられて被分
解ガス４７を流入する流入口３０と、流速緩衝体２９の
下流部の分解処理箱４６に設けられて分解ガス４８を流
出する流出口３１とによって構成されている。第４実施
形態との相違は、ガスの分解装置である点である。
【００５５】本実施形態において、流入口３０から流入
した被分解ガス４７は、流速緩衝体２９を緩やかに上昇
し、箱型エキシマランプ２１からの紫外線が十分に照射
されて分解する。分解ガス４８は、流出口３１から排出
され、さらにその下流側に設けられた活性炭フィルター
８によって精製されて排出されてもよい。また、排出口
３１の下流側に吸引ポンプ３９を設けて、分解ガス４を
吸引することもできる。
した被分解ガス４７は、流速緩衝体２９を緩やかに上昇
し、箱型エキシマランプ２１からの紫外線が十分に照射
されて分解する。分解ガス４８は、流出口３１から排出
され、さらにその下流側に設けられた活性炭フィルター
８によって精製されて排出されてもよい。また、排出口
３１の下流側に吸引ポンプ３９を設けて、分解ガス４を
吸引することもできる。
【００５６】分解処理箱４６は、その材質および箱型エ
キシマランプ２１の取付形態において第４実施形態と同
様である。また、エキシマランプの形状は必ずしも箱型
である必要はなく、１つの面が照射面となる半円筒形状
でもよい。
キシマランプ２１の取付形態において第４実施形態と同
様である。また、エキシマランプの形状は必ずしも箱型
である必要はなく、１つの面が照射面となる半円筒形状
でもよい。
【００５７】箱型エキシマランプ２１は、分解処理箱４
６の側面に設けられ、その内部に向かって紫外線を照射
する。その構造は、図４と同様である。また、円筒形の
分解処理箱４６、例えば石英管を用い、その外周に図６
に示したリング型エキシマランプ２７を設けることもで
きる。
６の側面に設けられ、その内部に向かって紫外線を照射
する。その構造は、図４と同様である。また、円筒形の
分解処理箱４６、例えば石英管を用い、その外周に図６
に示したリング型エキシマランプ２７を設けることもで
きる。
【００５８】被分解ガス４７は、紫外線が十分に照射さ
れるほど効率よく分解される。そのため、流入口３０の
上流側に流量調整弁３６を設けて調整したり、吸引ポン
プ３９を調整して、被分解ガス４７が流速緩衝体２９中
を緩やかに上昇するようにして、効率よく分解すること
ができる。流速緩衝体２９は、第４実施形態と同様であ
る。流量調整弁３６を調整することにより、流速緩衝体
２９を設けなくても分解処理することができる。
れるほど効率よく分解される。そのため、流入口３０の
上流側に流量調整弁３６を設けて調整したり、吸引ポン
プ３９を調整して、被分解ガス４７が流速緩衝体２９中
を緩やかに上昇するようにして、効率よく分解すること
ができる。流速緩衝体２９は、第４実施形態と同様であ
る。流量調整弁３６を調整することにより、流速緩衝体
２９を設けなくても分解処理することができる。
【００５９】分解効率を高めるために、流入口３０から
被分解ガス４７と共に触媒ガス４２を流入することもで
きる。触媒ガス４２は、被分解ガス４７と混合して流速
緩衝体２９を上昇するため、紫外線に照射されて容易に
分解し易くなり、効率よく分解される。触媒ガス４２
は、分解ガス４８とともに流出口３１から排出される。
触媒ガス４２は、第４実施形態と同様である。
被分解ガス４７と共に触媒ガス４２を流入することもで
きる。触媒ガス４２は、被分解ガス４７と混合して流速
緩衝体２９を上昇するため、紫外線に照射されて容易に
分解し易くなり、効率よく分解される。触媒ガス４２
は、分解ガス４８とともに流出口３１から排出される。
触媒ガス４２は、第４実施形態と同様である。
【００６０】図１１は、第５実施形態の流入部の形態を
示す拡大斜視図である。分解処理箱４６の上流には、被
分解ガス４７を充填した被分解ガスボンベ４９が、流量
調節弁３６をともなった流入配管５１によって接続され
ている。触媒ガス４２を被分解ガス４７とともに流入す
る場合には、触媒ガス４２を充填した触媒ガスボンベ５
０を、流量調節弁３６をともなった触媒ガス流入配管５
２によって、流入配管５１に接続することができる。
示す拡大斜視図である。分解処理箱４６の上流には、被
分解ガス４７を充填した被分解ガスボンベ４９が、流量
調節弁３６をともなった流入配管５１によって接続され
ている。触媒ガス４２を被分解ガス４７とともに流入す
る場合には、触媒ガス４２を充填した触媒ガスボンベ５
０を、流量調節弁３６をともなった触媒ガス流入配管５
２によって、流入配管５１に接続することができる。
【００６１】図１２は、ガス用の流速緩衝体２９の一例
を示す拡大斜視図である。（ａ）は千鳥状流速緩衝体５
３であって、分解処理箱４６に千鳥状に邪魔板５３ａを
設けるようにしてもよく、（ｂ）の網状流速緩衝体５４
に示すように、網体５４ａを分解処理箱４６内に波状に
配設してもよい。ガス用の流速緩衝体２９は、図８の
（ａ）、（ｂ）に示すような網状流速緩衝体４３であっ
ても石綿状流速緩衝体４４であってもよい。
を示す拡大斜視図である。（ａ）は千鳥状流速緩衝体５
３であって、分解処理箱４６に千鳥状に邪魔板５３ａを
設けるようにしてもよく、（ｂ）の網状流速緩衝体５４
に示すように、網体５４ａを分解処理箱４６内に波状に
配設してもよい。ガス用の流速緩衝体２９は、図８の
（ａ）、（ｂ）に示すような網状流速緩衝体４３であっ
ても石綿状流速緩衝体４４であってもよい。
【００６２】図１３は、本発明の分解装置の第６実施形
態を示す概略図である。第６実施形態の分解装置は、矩
形または円筒形の縦長の分解処理箱４６と、分解処理箱
４６の側面に取り付けられた箱型エキシマランプ２１
と、分解処理箱４６内にあって箱型エキシマランプ２１
の照射面に近接して設けられた流速緩衝体２９と、流速
緩衝体２９の上流部の分解処理箱４６に設けられて被分
解ガス４７を流入する流入口３０と、流速緩衝体２９の
下流部の分解処理箱４６に設けられて分解ガス４８を流
出する流出口３１と、さらに、箱型エキシマランプ２１
に近接する流速緩衝体２９の面とは反対側の面に設けら
れて触媒ガス４２と接触する接触部５５と、分解処理箱
４６の流入口３０近傍に設けられた触媒ガス流入管５６
と、分解処理箱４６の流出口３１近傍に設けられた触媒
ガス流出管５７とによって構成されている。第４実施形
態との相違は、触媒ガス４２が被分解ガス４７と混合し
て流入せず、接触部５５にて接触する構造を有する点で
ある。また、エキシマランプの形状は必ずしも箱型であ
る必要はなく、１つの面が照射面となる半円筒形状でも
よい。
態を示す概略図である。第６実施形態の分解装置は、矩
形または円筒形の縦長の分解処理箱４６と、分解処理箱
４６の側面に取り付けられた箱型エキシマランプ２１
と、分解処理箱４６内にあって箱型エキシマランプ２１
の照射面に近接して設けられた流速緩衝体２９と、流速
緩衝体２９の上流部の分解処理箱４６に設けられて被分
解ガス４７を流入する流入口３０と、流速緩衝体２９の
下流部の分解処理箱４６に設けられて分解ガス４８を流
出する流出口３１と、さらに、箱型エキシマランプ２１
に近接する流速緩衝体２９の面とは反対側の面に設けら
れて触媒ガス４２と接触する接触部５５と、分解処理箱
４６の流入口３０近傍に設けられた触媒ガス流入管５６
と、分解処理箱４６の流出口３１近傍に設けられた触媒
ガス流出管５７とによって構成されている。第４実施形
態との相違は、触媒ガス４２が被分解ガス４７と混合し
て流入せず、接触部５５にて接触する構造を有する点で
ある。また、エキシマランプの形状は必ずしも箱型であ
る必要はなく、１つの面が照射面となる半円筒形状でも
よい。
【００６３】本実施形態において、触媒ガス流入口５６
から流入した触媒ガス４２は、流速緩衝体２９に対して
箱型エキシマランプ２１側と反対側の触媒ガス４２が被
分解ガス４７側に漏れるような小さな開口を有する、例
えば網体のような接触部５５で、被分解ガス４７と接触
し、接触後、触媒ガス流出口５７から排出する。排出し
た触媒ガス４２を循環して、再び触媒ガス流入口５６か
ら流入することもできる。接触部５５には、目の細かい
網状の接触部材が設けられており、触媒ガス側の圧力
を、被分解ガス側の圧力より僅かに上げることによっ
て、触媒ガス４２を流速緩衝体２９内に吹き込むことが
できる。こうすることにより、被分解ガス４７が、触媒
ガス４２に混合することを防ぐことができ、触媒ガス４
２を節約することができる。また、触媒ガス流入口５６
と触媒ガス流出口５７の取付位置を逆にして、触媒ガス
４２の流れと、被分解ガス４７の流れを対向させること
も有効である。他については、第５実施形態と同様であ
る。
から流入した触媒ガス４２は、流速緩衝体２９に対して
箱型エキシマランプ２１側と反対側の触媒ガス４２が被
分解ガス４７側に漏れるような小さな開口を有する、例
えば網体のような接触部５５で、被分解ガス４７と接触
し、接触後、触媒ガス流出口５７から排出する。排出し
た触媒ガス４２を循環して、再び触媒ガス流入口５６か
ら流入することもできる。接触部５５には、目の細かい
網状の接触部材が設けられており、触媒ガス側の圧力
を、被分解ガス側の圧力より僅かに上げることによっ
て、触媒ガス４２を流速緩衝体２９内に吹き込むことが
できる。こうすることにより、被分解ガス４７が、触媒
ガス４２に混合することを防ぐことができ、触媒ガス４
２を節約することができる。また、触媒ガス流入口５６
と触媒ガス流出口５７の取付位置を逆にして、触媒ガス
４２の流れと、被分解ガス４７の流れを対向させること
も有効である。他については、第５実施形態と同様であ
る。
【００６４】図１４は、本発明の分解装置の第７実施形
態を示す概略図である。第７実施形態の分解装置は、分
解すべき流体を収納する矩形または円筒形の縦長の分解
処理槽５８と、分解処理槽５８の天面に取り付けられた
箱型エキシマランプ２１とによって構成されている。分
解処理槽５８の側面上部には、分解ガス４を排出する排
気口５が設けられ、分解処理槽５８の下には、分解処理
槽５８の底部から被処理液３を加熱して蒸気５９を発生
させるヒーター６０が設けられている。
態を示す概略図である。第７実施形態の分解装置は、分
解すべき流体を収納する矩形または円筒形の縦長の分解
処理槽５８と、分解処理槽５８の天面に取り付けられた
箱型エキシマランプ２１とによって構成されている。分
解処理槽５８の側面上部には、分解ガス４を排出する排
気口５が設けられ、分解処理槽５８の下には、分解処理
槽５８の底部から被処理液３を加熱して蒸気５９を発生
させるヒーター６０が設けられている。
【００６５】被処理液３は、底部からヒーター６０によ
り加熱され、蒸気５９を発生する。蒸気５９は、有機化
合物の蒸気であっても、有機化合物を含有する蒸気であ
っても何れでもよい。蒸気は、分解処理槽５８の中を上
昇し、天面に取り付けられた箱型エキシマランプ２１か
らの紫外線によって分解する。分解ガス４８は、排気口
５から排出される。
り加熱され、蒸気５９を発生する。蒸気５９は、有機化
合物の蒸気であっても、有機化合物を含有する蒸気であ
っても何れでもよい。蒸気は、分解処理槽５８の中を上
昇し、天面に取り付けられた箱型エキシマランプ２１か
らの紫外線によって分解する。分解ガス４８は、排気口
５から排出される。
【００６６】排気口５には、上述したように活性炭フィ
ルター８を備えていてもよい。
ルター８を備えていてもよい。
【００６７】分解処理槽５８には、攪はん装置９を設け
ることができる。攪はんは、分解処理槽２の底部から攪
はん子によって攪はんしても、分解処理槽２の上部から
プロペラによって攪はんしても何れでもよい。
ることができる。攪はんは、分解処理槽２の底部から攪
はん子によって攪はんしても、分解処理槽２の上部から
プロペラによって攪はんしても何れでもよい。
【００６８】分解処理槽５８は、その天面に箱型エキシ
マランプ２１を取り付けることができるように開口部を
備えている。材質等については、上述と同様である。
マランプ２１を取り付けることができるように開口部を
備えている。材質等については、上述と同様である。
【００６９】箱型エキシマランプ２１は、分解処理槽２
の天面でも側面でも何れでもよいが、天面のほうが好ま
しい。第１実施形態のような円筒状のエキシマランプ１
を、分解処理槽２の上面または側面から挿入することも
できる。また、１つの面が照射面となる半円筒形状のエ
キシマランプでもよい。
の天面でも側面でも何れでもよいが、天面のほうが好ま
しい。第１実施形態のような円筒状のエキシマランプ１
を、分解処理槽２の上面または側面から挿入することも
できる。また、１つの面が照射面となる半円筒形状のエ
キシマランプでもよい。
【００７０】図１５は、本発明の分解装置の第８実施形
態を示す概略図である。第８実施形態の分解装置は、分
解すべき流体を収納する矩形または円筒形の縦長の分解
処理槽５８と、分解処理槽５８の天面に取り付けられた
箱型エキシマランプ２１と、箱型エキシマランプ２１の
真下に近接して設けられた触媒ガス流路６１とによって
構成されている。触媒ガス流路６１の下面には、蒸気５
９と触媒ガス４２が接触する接触部５５が設けられ、触
媒ガス流路６１の一方には触媒ガス流入管５６が、他方
には触媒ガス流出管５７が設けられている。排気口５
は、触媒ガス流路６１の下に近接して分解処理槽５８の
側面に設けられている。分解処理槽５８の底部から被処
理液３を加熱して蒸気５９を発生させるヒーター６０
は、分解処理槽５８の下に設けられている。第８実施形
態との相違は、触媒ガス４２と蒸気５９が接触部５５で
接触する点である。
態を示す概略図である。第８実施形態の分解装置は、分
解すべき流体を収納する矩形または円筒形の縦長の分解
処理槽５８と、分解処理槽５８の天面に取り付けられた
箱型エキシマランプ２１と、箱型エキシマランプ２１の
真下に近接して設けられた触媒ガス流路６１とによって
構成されている。触媒ガス流路６１の下面には、蒸気５
９と触媒ガス４２が接触する接触部５５が設けられ、触
媒ガス流路６１の一方には触媒ガス流入管５６が、他方
には触媒ガス流出管５７が設けられている。排気口５
は、触媒ガス流路６１の下に近接して分解処理槽５８の
側面に設けられている。分解処理槽５８の底部から被処
理液３を加熱して蒸気５９を発生させるヒーター６０
は、分解処理槽５８の下に設けられている。第８実施形
態との相違は、触媒ガス４２と蒸気５９が接触部５５で
接触する点である。
【００７１】本実施形態において、接触部５５には、目
の細かい網状の接触部材が設けられており、触媒ガス流
路６１の中の触媒ガス４２の圧力を、分解処理槽５８の
圧力より僅かに上げることによって、触媒ガス４２を分
解処理槽５８内に吹き込むことができる。こうすること
により、蒸気５９が、触媒ガス４２に混合することを防
ぐことができ、触媒ガス４２を節約することができる。
他については、第５実施形態と同様である。
の細かい網状の接触部材が設けられており、触媒ガス流
路６１の中の触媒ガス４２の圧力を、分解処理槽５８の
圧力より僅かに上げることによって、触媒ガス４２を分
解処理槽５８内に吹き込むことができる。こうすること
により、蒸気５９が、触媒ガス４２に混合することを防
ぐことができ、触媒ガス４２を節約することができる。
他については、第５実施形態と同様である。
【００７２】被処理液３は、底部からヒーター６０によ
り加熱され、蒸気５９を発生する。蒸気５９は、分解処
理槽５８の中を上昇し、接触部５５での触媒ガス４２と
の接触により分解が促進される。分解ガス４８は、排気
口５から排出される。触媒ガス４２の循環等について
は、上述と同様である。
り加熱され、蒸気５９を発生する。蒸気５９は、分解処
理槽５８の中を上昇し、接触部５５での触媒ガス４２と
の接触により分解が促進される。分解ガス４８は、排気
口５から排出される。触媒ガス４２の循環等について
は、上述と同様である。
【００７３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の有機化合
物の分解方法および分解装置によれば、エキシマによる
紫外線を照射することによって、有機化合物を容易に且
つ簡易な装置で分解することができる。特に、大気また
は水質を汚染する有機塩素化合物に対して効果的であ
り、液状もしくは気体状の有機塩素化合物、溶液中に含
有する有機塩素化合物またはその溶液からの蒸気を容易
に且つ簡易な装置で分解することができ、環境浄化にお
いて有用な効果がもたらされる。
物の分解方法および分解装置によれば、エキシマによる
紫外線を照射することによって、有機化合物を容易に且
つ簡易な装置で分解することができる。特に、大気また
は水質を汚染する有機塩素化合物に対して効果的であ
り、液状もしくは気体状の有機塩素化合物、溶液中に含
有する有機塩素化合物またはその溶液からの蒸気を容易
に且つ簡易な装置で分解することができ、環境浄化にお
いて有用な効果がもたらされる。
【図１】本発明の分解装置の第１実施形態を示す概略図
である。
である。
【図２】第１実施形態に用いたエキシマランプの構造を
示す概略図である。
示す概略図である。
【図３】本発明の分解装置の第２実施形態を示す概略図
である。
である。
【図４】第２実施形態に用いた箱型エキシマランプの構
造を示す斜視図である。
造を示す斜視図である。
【図５】第２実施形態に用いた分解処理槽の構造の一例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図６】本発明の分解装置の第３実施形態を示す概略図
である。
である。
【図７】本発明の分解装置の第４実施形態を示す概略図
である。
である。
【図８】流速緩衝体の一例を示す拡大斜視図である。
【図９】幅広で網状の流速緩衝体に液体を分岐して流下
する一例を示す概略図である。
する一例を示す概略図である。
【図１０】本発明の分解装置の第５実施形態を示す概略
図である。
図である。
【図１１】第５実施形態の流入部の形態を示す拡大斜視
図である。
図である。
【図１２】流速緩衝体の一例を示す拡大図である。
【図１３】本発明の分解装置の第６実施形態を示す概略
図である。
図である。
【図１４】本発明の分解装置の第７実施形態を示す概略
図である。
図である。
【図１５】本発明の分解装置の第８実施形態を示す概略
図である。
図である。
１ エキシマランプ ２ 分解処理槽 ３ 被分解液 ４ 分解ガス ５ 排気口 ６ 排気管 ７ 槽天面 ８ 活性炭フィルター ９ 攪はん装置 １０ 取付口 １１ 紫外線発光部 １２ 支持部 １３ 取付部 １４ 保護管 １５ 電極 １６ 発光管 １７ 冷却管 １８ 仕切 １９ 封入ガス ２０ 冷却水 ２１ 箱型エキシマランプ ２２ 取付口 ２３ 保護箱 ２４ 紫外線発光部 ２５ 石英ガラス ２６ 取付フランジ ２７ リング型エキシマランプ ２８ 分解処理箱 ２９ 流速緩衝体 ３０ 流入口 ３１ 流出口 ３２ 流入配管 ３３ 流出配管 ３４ 被処理液貯水槽 ３５ 非処理液貯水槽 ３６ 流量調節弁 ３７ 循環配管 ３８ 循環ポンプ ３９ 吸引ポンプ ４０ 触媒ガス流入管 ４１ 非処理液 ４２ 触媒ガス ４３ 網状流速緩衝体 ４４ 石綿状流速緩衝体 ４５ 分岐配管 ４６ 分解処理箱 ４７ 被分解ガス ４８ 分解ガス ４９ 被分解ガスボンベ ５０ 触媒ガスボンベ ５１ 流入配管 ５２ 触媒ガス流入配管 ５３ 千鳥状流速緩衝体 ５３a 邪魔板 ５４ 網状流速緩衝体 ５４a 網体 ５５ 接触部 ５６ 触媒ガス流入管 ５７ 触媒ガス流出管 ５８ 分解処理槽 ５９ 蒸気 ６０ ヒーター ６１ 触媒ガス流路
Claims (17)
- 【請求項１】 有機化合物の流体にエキシマによる紫外
線を照射して分解することを特徴とする有機化合物の分
解方法。 - 【請求項２】 前記真空紫外線が、エキシマランプから
発生する１７２ｎｍまたは２２２ｎｍの波長の紫外線で
ある請求項１記載の有機化合物の分解方法。 - 【請求項３】 前記有機化合物の流体が、有機塩素化合
物の流体であって、有機塩素化合物のガス、液体もしく
は蒸気または有機塩素化合物を含有するガス、液体もし
くは蒸気である請求項１または２記載の有機化合物の分
解方法。 - 【請求項４】 前記有機塩素化合物の流体が液体であっ
て、前記紫外線の照射面に近接して設けられた流速緩衝
体の中を徐々に流下し、流下中に該紫外線に照射されて
分解することを特徴とする請求項３記載の有機化合物の
分解方法。 - 【請求項５】 前記有機塩素化合物の流体が、ガスまた
は蒸気であって、前記紫外線の照射面に近接して設けら
れた流速緩衝体の中を徐々に上昇し、上昇中に該紫外線
に照射されて分解することを特徴とする請求項３記載の
有機化合物の分解方法。 - 【請求項６】 前記流速緩衝体が、前記紫外線および前
記有機塩素化合物に対して安定であって、ガス、蒸気ま
たは液体の流速を下げることを特徴とする請求項４また
は５記載の有機化合物の分解方法。 - 【請求項７】 前記紫外線に照射される際に、前記有機
塩素化合物の流体と、触媒ガスとが接触して分解するこ
とを特徴とする請求項４または５記載の有機化合物の分
解方法。 - 【請求項８】 前記有機塩素化合物が、フロン、ダイオ
キシン、ＰＣＢ、トリクロロエチレン、テトラクロロエ
チレン、ジクロロメタン、四塩化炭素、１，２−ジクロ
ロエタン、１，１−ジクロロエタン、シス−１，２−ジ
クロロエタン、１，１，１−トリクロロエタン、１，３
−ジクロロプロペンである請求項３乃至７の何れかに記
載の有機化合物の分解方法。 - 【請求項９】 有機化合物の液体または有機化合物を含
有する液体の分解装置であって、分解すべき流体を収納
する分解処理槽と、エキシマによる１７２ｎｍまたは２
２２ｎｍの波長の紫外線を照射するエキシマランプとを
備える有機化合物の分解装置。 - 【請求項１０】 前記エキシマランプが、円筒形の紫外
線発光部と、該紫外線発光部を支持する支持部とから構
成され、前記支持部が前記分解処理槽の天面に固定さ
れ、前記紫外線発光部が前記有機化合物の液体または有
機化合物を含有する液体内に浸漬されるように設けられ
ている請求項９記載の有機化合物の分解装置。 - 【請求項１１】 前記エキシマランプが、円筒形の紫外
線発光部と、該紫外線発光部を覆って保護する矩形状の
保護箱とから構成され、前記エキシマランプが前記分解
処理槽の内部に向かって照射するように天面または側面
に少なくとも１つ設けられている請求項９記載の有機化
合物の分解装置。 - 【請求項１２】 前記分解処理槽に、分解ガスを排出す
る排気口が設けられている請求項１０または１１記載の
有機化合物の分解装置。 - 【請求項１３】 有機化合物のガス、蒸気もしくは液体
または有機化合物を含有するガス、蒸気もしくは液体の
分解装置であって、分解すべき流体を収納する分解処理
箱と、該分解処理箱に取り付けられたエキシマランプ
と、該分解処理箱内にあって該エキシマランプの照射面
に近接して設けられ処理流体の流速を低下せしめる流速
緩衝体と、該流速緩衝体の上流部の該分解処理箱に設け
られた流入口と、該流速緩衝体の下流部の該分解処理箱
に設けられた流出口と、該分解処理箱の上部に設けられ
て分解ガスを排出する排気口とによって構成される有機
化合物の分解装置。 - 【請求項１４】 前記流速緩衝体が、ガス、蒸気または
液体の流速を下げる網状、石綿状または束状の部材であ
る請求項１３記載の有機化合物の分解装置。 - 【請求項１５】 前記分解処理箱に、触媒ガス流入管と
触媒流出管とが設けられている請求項１３記載の有機化
合物の分解装置。 - 【請求項１６】 分解すべき流体を収納する分解処理槽
と、該分解処理槽の天面に取り付けられたエキシマラン
プとによって構成されている有機化合物の液体または有
機化合物を含有する液体の分解装置であって、前記分解
処理槽の側面上部には、分解ガスを排出する排気口が設
けられ、該分解処理槽の下には、該分解処理槽の底部を
加熱して前記液体から蒸気を発生させるヒーターが設け
られている有機化合物の分解装置。 - 【請求項１７】 前記分解処理槽に、前記エキシマラン
プの真下に近接して触媒ガス流路が設けられ、該触媒ガ
ス流路の下面には、前記蒸気と触媒ガスが接触する接触
部が設けられ、該触媒ガス流路の一方には触媒ガス流入
管が、他方には触媒ガス流出管が設けられている請求項
１６記載の有機化合物の分解装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02807197A JP3822303B2 (ja) | 1997-02-12 | 1997-02-12 | 有機化合物の分解方法および分解装置 |
| US09/132,215 US6194821B1 (en) | 1997-02-12 | 1998-08-11 | Decomposition apparatus of organic compound, decomposition method thereof, excimer UV lamp and excimer emission apparatus |
| JP2000249123A JP3968409B2 (ja) | 1997-02-12 | 2000-08-21 | 有機化合物の分解装置 |
| US09/695,043 US6888041B1 (en) | 1997-02-12 | 2000-10-25 | Decomposition apparatus of organic compound, decomposition method thereof, excimer UV lamp and excimer emission apparatus |
| US11/075,263 US20050156497A1 (en) | 1997-02-12 | 2005-03-09 | Decomposition apparatus of organic compound, decomposition method thereof, excimer UV lamp and excimer emission apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02807197A JP3822303B2 (ja) | 1997-02-12 | 1997-02-12 | 有機化合物の分解方法および分解装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000249123A Division JP3968409B2 (ja) | 1997-02-12 | 2000-08-21 | 有機化合物の分解装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10216716A true JPH10216716A (ja) | 1998-08-18 |
| JP3822303B2 JP3822303B2 (ja) | 2006-09-20 |
Family
ID=12238547
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02807197A Expired - Fee Related JP3822303B2 (ja) | 1997-02-12 | 1997-02-12 | 有機化合物の分解方法および分解装置 |
| JP2000249123A Expired - Fee Related JP3968409B2 (ja) | 1997-02-12 | 2000-08-21 | 有機化合物の分解装置 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000249123A Expired - Fee Related JP3968409B2 (ja) | 1997-02-12 | 2000-08-21 | 有機化合物の分解装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (2) | JP3822303B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005527369A (ja) * | 2002-05-30 | 2005-09-15 | アルカテル | ガスの一体化された光化学処理 |
| CN107029553A (zh) * | 2017-06-21 | 2017-08-11 | 中山市科慧物联网科技有限公司 | 一种高效净化装置 |
| WO2021230192A1 (ja) * | 2020-05-11 | 2021-11-18 | ウシオ電機株式会社 | 抗がん剤の分解方法 |
| US11370673B2 (en) | 2016-03-09 | 2022-06-28 | Koninklijke Philips N.V. | Assembly comprising at least two elements in a movable arrangement relative to each other and an anti-fouling system |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004087270A (ja) * | 2002-08-26 | 2004-03-18 | Orc Mfg Co Ltd | エキシマランプおよびエキシマランプ装置 |
| CN104154455B (zh) * | 2014-07-17 | 2017-03-15 | 江苏银晶光电科技发展有限公司 | Led反应灯及使用其的光氯化反应釜 |
| KR101974994B1 (ko) * | 2017-11-02 | 2019-05-07 | 한국바이오존주식회사 | 에틸렌 제거장치 |
| JP2020032381A (ja) * | 2018-08-31 | 2020-03-05 | ウシオ電機株式会社 | 気体処理装置、気体処理方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02207887A (ja) * | 1989-02-03 | 1990-08-17 | Houshin Kagaku Sangiyoushiyo:Kk | 紫外線照射流体装置 |
| EP0509110B1 (de) * | 1991-04-15 | 1995-06-21 | Heraeus Noblelight GmbH | Bestrahlungseinrichtung |
| JPH0785839A (ja) * | 1993-09-13 | 1995-03-31 | Toshiba Lighting & Technol Corp | ２重管形放電灯およびこれを用いた光化学反応装置 |
| JP3476247B2 (ja) * | 1994-06-23 | 2003-12-10 | 東京電力株式会社 | ポリ塩化ビフェニルの光分解装置およびその方法 |
-
1997
- 1997-02-12 JP JP02807197A patent/JP3822303B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-08-21 JP JP2000249123A patent/JP3968409B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005527369A (ja) * | 2002-05-30 | 2005-09-15 | アルカテル | ガスの一体化された光化学処理 |
| US11370673B2 (en) | 2016-03-09 | 2022-06-28 | Koninklijke Philips N.V. | Assembly comprising at least two elements in a movable arrangement relative to each other and an anti-fouling system |
| TWI803458B (zh) * | 2016-03-09 | 2023-06-01 | 荷蘭商皇家飛利浦有限公司 | 過濾器總成及包含其之船舶 |
| CN107029553A (zh) * | 2017-06-21 | 2017-08-11 | 中山市科慧物联网科技有限公司 | 一种高效净化装置 |
| CN107029553B (zh) * | 2017-06-21 | 2023-12-22 | 安徽灵杰环境净化科技有限公司 | 一种高效净化装置 |
| WO2021230192A1 (ja) * | 2020-05-11 | 2021-11-18 | ウシオ電機株式会社 | 抗がん剤の分解方法 |
| JPWO2021230192A1 (ja) * | 2020-05-11 | 2021-11-18 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3968409B2 (ja) | 2007-08-29 |
| JP2001113162A (ja) | 2001-04-24 |
| JP3822303B2 (ja) | 2006-09-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101440406B1 (ko) | 유체 정화 장치 및 유체 정화 방법 | |
| CN1535249A (zh) | 环境污染物质的分解方法及其装置 | |
| JP2009240862A (ja) | ガス浄化装置 | |
| JPH10216716A (ja) | 有機化合物の分解方法および分解装置 | |
| JP3954647B2 (ja) | 気体と液体の浄化方法および装置 | |
| JP2000260396A (ja) | エキシマランプ、エキシマ照射装置および有機化合物の分解方法 | |
| US5861123A (en) | Ultraviolet light irradiated ebullating mass transfer system | |
| JP2005205094A (ja) | 空気浄化システム | |
| JP2006296980A (ja) | 有害物質処理装置 | |
| JP2006272034A (ja) | 光触媒を用いた汚染ガス処理装置及び方法 | |
| JP2001149754A (ja) | 揮発性有機物質を含む排ガスの処理方法および処理装置 | |
| JP2000325971A (ja) | 汚染水浄化方法及びその装置 | |
| JP4479466B2 (ja) | エキシマ光照射装置 | |
| JP2548665B2 (ja) | 吸着処理方法 | |
| JPH10202257A (ja) | 光触媒水処理装置及び光触媒水処理方法 | |
| JP2002336650A (ja) | 燃焼排ガスの処理方法およびそのシステム | |
| JPH0871548A (ja) | 有機塩素系化合物含有水溶液の処理方法及び装置 | |
| JP2000157838A (ja) | 光触媒空気浄化装置 | |
| KR102659361B1 (ko) | 난분해성 악취가스 처리시스템 | |
| JP2002346338A (ja) | 燃焼排ガスの処理方法およびその装置 | |
| JPH11192418A (ja) | 有機溶剤を含む排ガスの処理方法及び装置 | |
| JP2001259664A (ja) | 汚染水および汚染ガスの浄化方法および装置 | |
| JP3586732B2 (ja) | 水処理方法及び装置 | |
| JP4059754B2 (ja) | 無排気型紫外線オゾン併用殺菌浄化装置 | |
| JP6630625B2 (ja) | 揮発性有機化合物含有水の処理装置および処理方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040210 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051221 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20051221 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20051221 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060214 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060417 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060418 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060516 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060622 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090630 Year of fee payment: 3 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313118 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090630 Year of fee payment: 3 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090630 Year of fee payment: 3 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090630 Year of fee payment: 3 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090630 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100630 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110630 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110630 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120630 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130630 Year of fee payment: 7 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |