JP2001113162A

JP2001113162A - 有機化合物の分解装置

Info

Publication number: JP2001113162A
Application number: JP2000249123A
Authority: JP
Inventors: Masaru Nakamura; 勝中村
Original assignee: Watanabe Shoko KK; Quark Systems Co Ltd; M Watanabe and Co Ltd
Current assignee: Watanabe Shoko KK; Quark Systems Co Ltd; M Watanabe and Co Ltd
Priority date: 1997-02-12
Filing date: 2000-08-21
Publication date: 2001-04-24
Anticipated expiration: 2017-02-12
Also published as: JP3822303B2; JPH10216716A; JP3968409B2

Abstract

(57)【要約】【課題】有機化合物を効率よく分解することができる
有機化合物の分解装置を提供する。【解決手段】紫外線発光部１１と、紫外線発光部１１
を支持する支持部１２とから構成されたエキシマランプ
１を備える有機化合物の分解装置であって、その紫外線
発光部１１は、紫外線を透過しやすい発光管１６と保護
管１４とから構成され、それらの間の空間には不活性な
ガスが封入され、発光管１６の外周には電極１５が設け
られ、発光管１６の内部には所定の空間を隔てて冷却管
２０が設けられ、発光管１６と冷却管２０との間の所定
の空間にはエキシマを形成する封入ガス１９が封入され
ることによって、上記課題を解決する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、エキシマランプか
ら発生する紫外線によって有機化合物を分解する分解装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】水質汚染または大気汚染を起こす有機化
合物は、活性炭吸着法、酸化分解法、、活性汚泥法、生
物処理法等により除去または分解できる。これらの中で
も、活性炭吸着法は、最もよく用いられ、主に水質中に
汚染した有機化合物を吸着する目的で使用されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】活性炭吸着法は、高価
な吸着剤である活性炭を使用するため、活性炭を再生利
用しなければならない。また、粉末状の活性炭を使用す
るため、取り扱いが容易でなく、設備も比較的大規模で
ある。さらに、その再生作業および設備のメンテナンス
には、多大な労力と経費を要する。このことは、近年、
最重要視される環境浄化とそのためのコストとの間でジ
レンマを生じさせている。そこで、水質汚染または大気
汚染を起こす有機化合物を、低コストで容易に除去また
は分解できる方法と装置が求められていた。

【０００４】本発明は、エキシマランプから発生する紫
外線によって有機化合物を容易に分解することができる
有機化合物の分解装置を提供する。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、紫外
線発光部と、該紫外線発光部を支持する支持部とから構
成されたエキシマランプを備える有機化合物の分解装置
であって、前記紫外線発光部は、紫外線を透過しやすい
発光管と保護管とから構成され、それらの間の空間には
不活性なガスが封入され、該発光管の外周には電極が設
けられ、該発光管の内部には所定の空間を隔てて冷却管
が設けられ、該発光管と該冷却管との間の所定の空間に
はエキシマを形成する封入ガスが封入されていることに
特徴を有する。

【０００６】この発明によれば、紫外線発光部から発生
するエキシマ光が、有機化合物中のＣ−Ｃ、Ｃ−Ｏ、Ｃ
−Ｈ、Ｃ−Ｃｌ等の結合を容易に切断できるので、有機
化合物を効率よく分解することができる。

【０００７】請求項２の発明は、請求項１に記載の有機
化合物の分解装置において、前記紫外線が１７２ｎｍま
たは２２２ｎｍであり、前記有機化合物と、該有機化合
物の分解を促進する触媒ガスとを接触させてなることに
特徴を有する。

【０００８】この発明によれば、紫外線の波長を１７２
ｎｍまたは２２２ｎｍとし、有機化合物と、その有機化
合物の分解を促進する触媒ガスとを接触させることによ
って、有機化合物を効率よく分解できる。

【０００９】

【発明の実施の形態】次に、本発明を図面を参照しなが
ら説明する。

【００１０】図１は、有機化合物の分解装置の第１実施
形態を示す概略図である。この分解装置は、分解すべき
流体を収納する矩形または円筒形の縦長の分解処理槽２
と、分解処理槽２の天面７の取付口１０に一端が固定さ
れたエキシマランプ１と、分解処理槽２の天面７に設け
られて分解ガス４を排出する排気口５とによって構成さ
れている。分解処理の際には、分解処理槽２中に有機化
合物の液体または有機化合物を含有する溶液（以下、被
分解液３という）が供給される。

【００１１】排気口５は、分解処理槽２の側面上部に設
けられていてもよい。排気口５に活性炭フィルター８を
備えた排気管６を接続することにより、分解ガス４をさ
らに精製して排出することができる。

【００１２】分解処理槽２には、被分解液３をかき混ぜ
て分解を効率よく行うための撹はん装置９を設けること
ができる。撹はんは、分解処理槽２の底部から撹はん子
によって撹はんしても、分解処理槽２の上部からプロペ
ラによって撹はんしても何れでもよい。

【００１３】分解処理槽２は、矩形または円筒形の何れ
でもよいが、エキシマランプ１から発する紫外線および
被分解液３に対して反応しない材質または反応しにくい
材質、即ち耐溶液性および耐紫外線性を有する材質であ
ることが好ましく、例えばステンレススチール等が好ま
しい。ステンレススチール等の加工し易い金属の場合
は、その天面７にエキシマランプ１の取付口１０および
排気口５等の加工が容易にできるので好ましい。

【００１４】エキシマランプ１は、その上部が分解処理
槽２の天面７の取付口１０に固定され、下部が被分解液
３に浸漬されている。図２は、第１実施形態に用いたエ
キシマランプ１の構造を示す概略図である。エキシマラ
ンプ１は、円筒形の紫外線発光部１１と、紫外線発光部
１１を支持する支持部１２とから構成されている。

【００１５】紫外線発光部１１は、何れも紫外線を透過
しやすい石英等の材料からなる発光管１６と保護管１４
とから構成され、それらの間には所定の空間があり、そ
の空間には不活性なガス、例えば窒素ガス等が封入され
ている。発光管１６の外周には電極１５がスパイラル状
または網状に設けられている。発光管１６の内部には、
所定の空間を隔てて冷却管２０が設けられている。冷却
管２０の中には仕切１８が設けられ、冷却水２０が循環
し易くなっている。発光管１６と冷却管１７との間の所
定の空間には、エキシマを形成する封入ガス１９、例え
ばキセノンガス、クリプトンガスまたはアルゴンガスが
封入されている。紫外線の波長は、封入ガス１９によっ
て異なり、紫外線発光部１１から発生して、四方に照射
する。

【００１６】支持部１２には、取付部１３が設けられ、
分解処理槽２の天面７の取付口１０に取り付けられる。
支持部１２の内部には、電極１５の端子や冷却管１７へ
の接続口等が設けられている。

【００１７】エキシマランプ１は、分解処理槽２の天面
７に限らず、側面や底面に取り付けてもよく、また、脱
着できるようにしてもよい。

【００１８】被分解液３は、浸漬されたエキシマランプ
１から発する紫外線により、主に二酸化炭素、一酸化炭
素および水に分解する。二酸化炭素等のガス成分は、分
解ガス４として被分解液３から離脱し、分解処理槽２の
天面７に設けられた排気口５から排出される。排気管６
および活性炭フィルター８が設けられている場合、分解
ガス４は、さらに精製されて外部に排出される。

【００１９】エキシマランプ１は、封入ガス１９の種類
によって１７２ｎｍ、２２２ｎｍ、３０８ｎｍの何れか
の波長の紫外線を発生する。有機化合物の分解には、１
７２ｎｍまたは２２２ｎｍの波長の紫外線が好ましい。
この波長の紫外線は、大気中または液体中の酸素から酸
化力の強い多くの励起酸素原子を直接生成できる。さら
に、この波長の紫外線は、光子のエネルギーが強く、有
機化合物中のＣ−Ｃ、Ｃ−Ｏ、Ｃ−Ｈ、Ｃ−Ｃｌ等の結
合を容易に切断でき、ここに励起酸素原子が反応して有
機化合物を分解し、二酸化炭素や水等を生成する。例え
ば、１，１，１−トリクロロエタンを含有する液体にエ
キシマによる１７２ｎｍまたは２２２ｎｍの波長の紫外
線を照射すると、１，１，１−トリクロロエタン中のＣ
−Ｃ、Ｃ−Ｈ、Ｃ−Ｃｌの結合が切断され、そこに液体
中または大気中から供給されて生成した励起酸素原子が
反応して分解し、二酸化炭素、一酸化炭素、水、塩化水
素、塩素を生成する。

【００２０】被分解液３は、有機化合物のみからなる液
体であっても、有機化合物を含有する液体であっても何
れでもよい。有機化合物の中でも特に有機塩素化合物
は、大気や水質を汚染するものが多い。有機塩素化合物
のうち、炭素と塩素との結合の強いものの分解に、真空
紫外線の照射が好ましい。それらの有機塩素化合物とし
ては、フロン、ダイオキシン、ＰＣＢ、トリクロロエチ
レン、テトラクロロエチレン、ジクロロメタン、四塩化
炭素、１，２−ジクロロエタン、１，１−ジクロロエタ
ン、シス−１，２−ジクロロエタン、１，１，１−トリ
クロロエタン、１，３−ジクロロプロペン等を例示する
ことができる。これらは何れも塩素化合物であるが、他
のハロゲン元素を含む有機ハロゲン化物、例えばフッ
素、臭素を含む化合物の分解にも適する。

【００２１】図３は、分解装置の第２実施形態を示す概
略図である。第２実施形態の分解装置は、分解すべき流
体を収納する矩形または円筒形の縦長の分解処理槽２
と、分解処理槽２の側面の取付口２２に固定された少な
くとも１つの箱型エキシマランプ２１と、分解処理槽２
の天面７に設けられて分解ガス４を排出する排気口６と
によって構成されている。第１実施形態の装置と同様な
構成であり、箱型エキシマランプ２１の構造とその取付
位置が相違する。

【００２２】箱型エキシマランプ２１は、分解処理槽２
の側面に少なくとも１つ設けられ、分解処理槽２の内部
に向かって紫外線を照射して、被分解液３を分解する。
分解ガス４は、液体から離脱し、分解処理槽２の天面７
に設けられた排気口５から排出される。他は、第１実施
形態の装置と同様である。

【００２３】図４は、第２実施形態に用いた箱型エキシ
マランプ２１の構造を示す斜視図である。箱型エキシマ
ランプ２１は、円筒形の紫外線発光部２４と、紫外線発
光部２４を覆って保護する矩形状の保護箱２３とから構
成されている。

【００２４】円筒形の紫外線発光部２４は、図２で示し
た紫外線発光部１１の構造と同様である。

【００２５】保護箱２３は、紫外線発光部２４から発し
た紫外線を照射するように１つの面が開口している。開
口面には、紫外線を透過し易い石英ガラス２５が、紫外
線発光部２４の保護をかねて設けられている。開口面の
外縁部には、取付フランジ２６が設けられ、分解処理槽
２の取付口２２に取り付けることができる。開口面以外
の保護箱２３は、ステンレススチール等の耐紫外線性の
材料であることが好ましい。

【００２６】図５は、第２実施形態に用いた分解処理槽
２の構造の一例を示す斜視図である。分解処理槽２の側
面には、少なくとも１つ以上の箱型エキシマランプ２１
を取り付けるための取付口２２が設けられている。

【００２７】図６は、分解装置の第３実施形態を示す概
略図である。第３実施形態の分解装置は、円筒形の縦長
の分解処理槽２と、分解処理槽２の側面に固定された少
なくとも１つのリング型エキシマランプ２７と、分解処
理槽２の天面７に設けられて分解ガス４を排出する排気
口６とによって構成されている。第２実施形態の装置と
同様な構成であり、エキシマランプの構造とその取付位
置が相違する。

【００２８】リング型エキシマランプ２７は、分解処理
槽２の側面に少なくとも１つ設けられ、分解処理槽２の
内部に向かって紫外線を照射して、被分解液３を分解す
る。

【００２９】リング型エキシマランプ２７の内部の構造
は、前記したエキシマランプ１をリング状にしたもので
ある。このため、分解処理槽２は円筒形であることが好
ましく、リング型エキシマランプ２７の部分が開口した
ステンレスまたは全体が石英管であることが好ましい。

【００３０】図７は、分解装置の第４実施形態を示す概
略図である。第４実施形態の分解装置は、矩形または円
筒形の縦長の分解処理箱２８と、分解処理箱２８の側面
に取り付けられた箱型エキシマランプ２１と、分解処理
箱２８内にあって箱型エキシマランプ２１の照射面に近
接して設けられた流速緩衝体２９と、流速緩衝体２９の
上流部の分解処理箱２８に設けられて被処理液３を流入
する流入口３０と、流速緩衝体２９の下流部の分解処理
箱２８に設けられて被処理液３を流出する流出口３１
と、分解処理箱２８の天面７に設けられて分解ガス４を
排出する排気口６とによって構成されている。

【００３１】本実施形態において、流入口３０から流下
した被処理液３は、流速緩衝体２９で緩やかに流下し、
箱型エキシマランプ２１からの紫外線が十分に照射さ
れ、分解する。分解ガス４は、排気口５から排出され、
さらに、活性炭フィルター８によって精製されて排出さ
れてもよい。分解しきれなかった非処理液４１は、流出
口３１から排出される。非処理液４１は、流出口３１に
接続した流出配管３３を経て非処理液貯水槽３５に貯め
られ、循環配管３７の途中に設けられた循環ポンプ３８
によって被処理液貯水槽３４に送られ、そこから流入配
管３２の途中に設けられた流量調整弁３６によって再び
分解処理箱２８に流下して分解処理することができる。

【００３２】分解処理箱２８は、その材質および箱型エ
キシマランプ２１の取付形態において第２実施形態と同
様である。

【００３３】箱型エキシマランプ２１は、分解処理箱２
８の側面に設けられ、その内部に向かって紫外線を照射
する。構造は、図４と同様である。また、その形状は必
ずしも箱型である必要はなく、１つの面が照射面となる
半円筒形状でもよい。

【００３４】被分解液３は、紫外線が十分に照射される
ほど効率よく分解される。そのため、流速緩衝体２９の
構造または流入配管３２の途中に設けられた流量調整弁
３６を調整し、緩やかに流下させることによって、効率
よく分解することができる。

【００３５】流速緩衝体２９は、照射する紫外線および
被処理液３に対して安定な材質、例えば石英、ステンレ
ス等であって、流入する被処理液３の流速を弱める網
状、石綿状または束状に加工された部材であることが好
ましい。特に、ガラスファイバーで網状または石綿状に
した流速緩衝体２９は、流入する被処理液３の流速を弱
めるのに適している。

【００３６】分解効率を高めるために、分解処理箱２８
の下部に設けた触媒ガス流入管４０から、触媒ガス４２
を流入することもできる。触媒ガス流入管４０から流入
した触媒ガス４２は、分解処理箱２８の上方の排気口５
から排出する間に、流速緩衝体２９を流下する被分解液
３と接触する。触媒ガス４２と接触した被分解液３は、
紫外線に照射されて容易に分解し易くなり、効率よく分
解される。分解ガス４は、触媒ガス４２とともに排気口
５から排出される。排気口５に接続した排気管６の下流
側に吸引ポンプ３９を設けて、触媒ガス４２と分解ガス
４を吸引することもできる。

【００３７】触媒ガス４２は、酸化チタンガス、酸化マ
グネシウムガス等が好ましく、窒素ガス等の不活性なガ
スとともに使用してもよい。酸化チタンガス中のチタン
または酸化マグネシウム中のマグネシウムは、特にＣ−
Ｃｌ結合部を攻撃し、その結合を切断して分解する際の
触媒となり、被分解液３の反応を促進することができ
る。

【００３８】図８は、流速緩衝体２９の一例を示す拡大
斜視図である。（ａ）は網状流速緩衝体４３、（ｂ）は
石綿状流速緩衝体４４を示している。

【００３９】図９は、流速緩衝体２９に被処理液３を分
岐して流下する一例を示す拡大図である。被処理液３
は、流入配管３０に設けられた流量調節弁３６を経て、
分岐配管４５で分岐され、幅の広い流速緩衝体２９に流
下される。これにより、多くの被処理液３を流下するこ
とができ、分解能力を上げることができる。

【００４０】図１０は、分解装置の第５実施形態を示す
概略図である。第５実施形態の分解装置は、矩形または
円筒形の縦長の分解処理箱４６と、分解処理箱４６の側
面に取り付けられた箱型エキシマランプ２１と、分解処
理箱４６内にあって箱型エキシマランプ２１の照射面に
近接して設けられた流速緩衝体２９と、流速緩衝体２９
の上流部の分解処理箱４６に設けられて被分解ガス４７
を流入する流入口３０と、流速緩衝体２９の下流部の分
解処理箱４６に設けられて分解ガス４８を流出する流出
口３１とによって構成されている。第４実施形態との相
違は、ガスの分解装置である点である。

【００４１】本実施形態において、流入口３０から流入
した被分解ガス４７は、流速緩衝体２９を緩やかに上昇
し、箱型エキシマランプ２１からの紫外線が十分に照射
されて分解する。分解ガス４８は、流出口３１から排出
され、さらにその下流側に設けられた活性炭フィルター
８によって精製されて排出されてもよい。また、排出口
３１の下流側に吸引ポンプ３９を設けて、分解ガス４を
吸引することもできる。

【００４２】分解処理箱４６は、その材質および箱型エ
キシマランプ２１の取付形態において第４実施形態と同
様である。また、エキシマランプの形状は必ずしも箱型
である必要はなく、１つの面が照射面となる半円筒形状
でもよい。

【００４３】箱型エキシマランプ２１は、分解処理箱４
６の側面に設けられ、その内部に向かって紫外線を照射
する。その構造は、図４と同様である。また、円筒形の
分解処理箱４６、例えば石英管を用い、その外周に図６
に示したリング型エキシマランプ２７を設けることもで
きる。

【００４４】被分解ガス４７は、紫外線が十分に照射さ
れるほど効率よく分解される。そのため、流入口３０の
上流側に流量調整弁３６を設けて調整したり、吸引ポン
プ３９を調整して、被分解ガス４７が流速緩衝体２９中
を緩やかに上昇するようにして、効率よく分解すること
ができる。流速緩衝体２９は、第４実施形態と同様であ
る。流量調整弁３６を調整することにより、流速緩衝体
２９を設けなくても分解処理することができる。

【００４５】分解効率を高めるために、流入口３０から
被分解ガス４７と共に触媒ガス４２を流入することもで
きる。触媒ガス４２は、被分解ガス４７と混合して流速
緩衝体２９を上昇するため、紫外線に照射されて容易に
分解し易くなり、効率よく分解される。触媒ガス４２
は、分解ガス４８とともに流出口３１から排出される。
触媒ガス４２は、第４実施形態と同様である。

【００４６】図１１は、第５実施形態の流入部の形態を
示す拡大斜視図である。分解処理箱４６の上流には、被
分解ガス４７を充填した被分解ガスボンベ４９が、流量
調節弁３６をともなった流入配管５１によって接続され
ている。触媒ガス４２を被分解ガス４７とともに流入す
る場合には、触媒ガス４２を充填した触媒ガスボンベ５
０を、流量調節弁３６をともなった触媒ガス流入配管５
２によって、流入配管５１に接続することができる。

【００４７】図１２は、ガス用の流速緩衝体２９の一例
を示す拡大斜視図である。（ａ）は千鳥状流速緩衝体５
３であって、分解処理箱４６に千鳥状に邪魔板５３ａを
設けるようにしてもよく、（ｂ）の網状流速緩衝体５４
に示すように、網体５４ａを分解処理箱４６内に波状に
配設してもよい。ガス用の流速緩衝体２９は、図８の
（ａ）、（ｂ）に示すような網状流速緩衝体４３であっ
ても石綿状流速緩衝体４４であってもよい。

【００４８】図１３は、分解装置の第６実施形態を示す
概略図である。第６実施形態の分解装置は、矩形または
円筒形の縦長の分解処理箱４６と、分解処理箱４６の側
面に取り付けられた箱型エキシマランプ２１と、分解処
理箱４６内にあって箱型エキシマランプ２１の照射面に
近接して設けられた流速緩衝体２９と、流速緩衝体２９
の上流部の分解処理箱４６に設けられて被分解ガス４７
を流入する流入口３０と、流速緩衝体２９の下流部の分
解処理箱４６に設けられて分解ガス４８を流出する流出
口３１と、さらに、箱型エキシマランプ２１に近接する
流速緩衝体２９の面とは反対側の面に設けられて触媒ガ
ス４２と接触する接触部５５と、分解処理箱４６の流入
口３０近傍に設けられた触媒ガス流入管５６と、分解処
理箱４６の流出口３１近傍に設けられた触媒ガス流出管
５７とによって構成されている。第４実施形態との相違
は、触媒ガス４２が被分解ガス４７と混合して流入せ
ず、接触部５５にて接触する構造を有する点である。ま
た、エキシマランプの形状は必ずしも箱型である必要は
なく、１つの面が照射面となる半円筒形状でもよい。

【００４９】本実施形態において、触媒ガス流入口５６
から流入した触媒ガス４２は、流速緩衝体２９に対して
箱型エキシマランプ２１側と反対側の触媒ガス４２が被
分解ガス４７側に漏れるような小さな開口を有する、例
えば網体のような接触部５５で、被分解ガス４７と接触
し、接触後、触媒ガス流出口５７から排出する。排出し
た触媒ガス４２を循環して、再び触媒ガス流入口５６か
ら流入することもできる。接触部５５には、目の細かい
網状の接触部材が設けられており、触媒ガス側の圧力
を、被分解ガス側の圧力より僅かに上げることによっ
て、触媒ガス４２を流速緩衝体２９内に吹き込むことが
できる。こうすることにより、被分解ガス４７が、触媒
ガス４２に混合することを防ぐことができ、触媒ガス４
２を節約することができる。また、触媒ガス流入口５６
と触媒ガス流出口５７の取付位置を逆にして、触媒ガス
４２の流れと、被分解ガス４７の流れを対向させること
も有効である。他については、第５実施形態と同様であ
る。

【００５０】図１４は、分解装置の第７実施形態を示す
概略図である。第７実施形態の分解装置は、分解すべき
流体を収納する矩形または円筒形の縦長の分解処理槽５
８と、分解処理槽５８の天面に取り付けられた箱型エキ
シマランプ２１とによって構成されている。分解処理槽
５８の側面上部には、分解ガス４を排出する排気口５が
設けられ、分解処理槽５８の下には、分解処理槽５８の
底部から被処理液３を加熱して蒸気５９を発生させるヒ
ーター６０が設けられている。

【００５１】被処理液３は、底部からヒーター６０によ
り加熱され、蒸気５９を発生する。蒸気５９は、有機化
合物の蒸気であっても、有機化合物を含有する蒸気であ
っても何れでもよい。蒸気は、分解処理槽５８の中を上
昇し、天面に取り付けられた箱型エキシマランプ２１か
らの紫外線によって分解する。分解ガス４８は、排気口
５から排出される。

【００５２】排気口５には、上述したように活性炭フィ
ルター８を備えていてもよい。

【００５３】分解処理槽５８には、撹はん装置９を設け
ることができる。撹はんは、分解処理槽２の底部から撹
はん子によって撹はんしても、分解処理槽２の上部から
プロペラによって撹はんしても何れでもよい。

【００５４】分解処理槽５８は、その天面に箱型エキシ
マランプ２１を取り付けることができるように開口部を
備えている。材質等については、上述と同様である。

【００５５】箱型エキシマランプ２１は、分解処理槽２
の天面でも側面でも何れでもよいが、天面のほうが好ま
しい。第１実施形態のような円筒状のエキシマランプ１
を、分解処理槽２の上面または側面から挿入することも
できる。また、１つの面が照射面となる半円筒形状のエ
キシマランプでもよい。

【００５６】図１５は、分解装置の第８実施形態を示す
概略図である。第８実施形態の分解装置は、分解すべき
流体を収納する矩形または円筒形の縦長の分解処理槽５
８と、分解処理槽５８の天面に取り付けられた箱型エキ
シマランプ２１と、箱型エキシマランプ２１の真下に近
接して設けられた触媒ガス流路６１とによって構成され
ている。触媒ガス流路６１の下面には、蒸気５９と触媒
ガス４２が接触する接触部５５が設けられ、触媒ガス流
路６１の一方には触媒ガス流入管５６が、他方には触媒
ガス流出管５７が設けられている。排気口５は、触媒ガ
ス流路６１の下に近接して分解処理槽５８の側面に設け
られている。分解処理槽５８の底部から被処理液３を加
熱して蒸気５９を発生させるヒーター６０は、分解処理
槽５８の下に設けられている。第８実施形態との相違
は、触媒ガス４２と蒸気５９が接触部５５で接触する点
である。

【００５７】本実施形態において、接触部５５には、目
の細かい網状の接触部材が設けられており、触媒ガス流
路６１の中の触媒ガス４２の圧力を、分解処理槽５８の
圧力より僅かに上げることによって、触媒ガス４２を分
解処理槽５８内に吹き込むことができる。こうすること
により、蒸気５９が、触媒ガス４２に混合することを防
ぐことができ、触媒ガス４２を節約することができる。
他については、第５実施形態と同様である。

【００５８】被処理液３は、底部からヒーター６０によ
り加熱され、蒸気５９を発生する。蒸気５９は、分解処
理槽５８の中を上昇し、接触部５５での触媒ガス４２と
の接触により分解が促進される。分解ガス４８は、排気
口５から排出される。触媒ガス４２の循環等について
は、上述と同様である。

【００５９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の有機化合
物の分解装置によれば、エキシマによる紫外線を照射す
ることによって、有機化合物を容易に且つ簡易に分解す
ることができる。特に、大気または水質を汚染する有機
塩素化合物に対して効果的であり、液状もしくは気体状
の有機塩素化合物、溶液中に含有する有機塩素化合物ま
たはその溶液からの蒸気を容易に且つ簡易に分解するこ
とができ、環境浄化において有用な効果がもたらされ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】分解装置の第１実施形態を示す概略図である。

【図２】第１実施形態に用いたエキシマランプの構造を
示す概略図である。

【図３】分解装置の第２実施形態を示す概略図である。

【図４】第２実施形態に用いた箱型エキシマランプの構
造を示す斜視図である。

【図５】第２実施形態に用いた分解処理槽の構造の一例
を示す斜視図である。

【図６】分解装置の第３実施形態を示す概略図である。

【図７】分解装置の第４実施形態を示す概略図である。

【図８】流速緩衝体の一例を示す拡大斜視図である。

【図９】幅広で網状の流速緩衝体に液体を分岐して流下
する一例を示す概略図である。

【図１０】分解装置の第５実施形態を示す概略図であ
る。

【図１１】第５実施形態の流入部の形態を示す拡大斜視
図である。

【図１２】流速緩衝体の一例を示す拡大図である。

【図１３】分解装置の第６実施形態を示す概略図であ
る。

【図１４】分解装置の第７実施形態を示す概略図であ
る。

【図１５】分解装置の第８実施形態を示す概略図であ
る。

【符号の説明】

１エキシマランプ２分解処理槽３被分解液４分解ガス５排気口６排気管７槽天面８活性炭フィルター９撹はん装置１０取付口１１紫外線発光部１２支持部１３取付部１４保護管１５電極１６発光管１７冷却管１８仕切１９封入ガス２０冷却水２１箱型エキシマランプ２２取付口２３保護箱２４紫外線発光部２５石英ガラス２６取付フランジ２７リング型エキシマランプ２８分解処理箱２９流速緩衝体３０流入口３１流出口３２流入配管３３流出配管３４被処理液貯水槽３５非処理液貯水槽３６流量調節弁３７循環配管３８循環ポンプ３９吸引ポンプ４０触媒ガス流入管４１非処理液４２触媒ガス４３網状流速緩衝体４４石綿状流速緩衝体４５分岐配管４６分解処理箱４７被分解ガス４８分解ガス４９被分解ガスボンベ５０触媒ガスボンベ５１流入配管５２触媒ガス流入配管５３千鳥状流速緩衝体５３a 邪魔板５４網状流速緩衝体５４a 網体５５接触部５６触媒ガス流入管５７触媒ガス流出管５８分解処理槽５９蒸気６０ヒーター６１触媒ガス流路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｃ０７Ｂ 61/00 Ｃ０７Ｃ 19/01 Ｃ０７Ｃ 19/01 25/18 25/18 Ｈ０１Ｊ 65/00 ＡＨ０１Ｊ 65/00 Ｂ０１Ｄ 53/34 １２０Ｄ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】紫外線発光部と、該紫外線発光部を支持
する支持部とから構成されたエキシマランプを備える有
機化合物の分解装置であって、前記紫外線発光部は、紫外線を透過しやすい発光管と保
護管とから構成され、それらの間の空間には不活性なガ
スが封入され、該発光管の外周には電極が設けられ、該
発光管の内部には所定の空間を隔てて冷却管が設けら
れ、該発光管と該冷却管との間の所定の空間にはエキシ
マを形成する封入ガスが封入されていることを特徴とす
る有機化合物の分解装置。
【請求項２】前記紫外線が１７２ｎｍまたは２２２ｎ
ｍであり、前記有機化合物と、該有機化合物の分解を促
進する触媒ガスとを接触させてなることを特徴とする請
求項１に記載の有機化合物の分解装置。