JPH10213407A - 位置測定装置の走査部材 - Google Patents

位置測定装置の走査部材

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JPH10213407A
JPH10213407A JP9318599A JP31859997A JPH10213407A JP H10213407 A JPH10213407 A JP H10213407A JP 9318599 A JP9318599 A JP 9318599A JP 31859997 A JP31859997 A JP 31859997A JP H10213407 A JPH10213407 A JP H10213407A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 多数の走査トラックを設けている場合でも、
信頼性のある機能を保証し、特に多数の走査トラックに
対しても異なった走査トラックの領域で均一な励起磁場
を発生する電磁誘導による位置測定装置の走査部材を提
供する。 【解決手段】 電磁誘導走査で位置に依存する出力信号
を発生するため、交互に配置された導電性および非導電
性の目盛領域から成る少なくとも一つの目盛トラックを
使用し、一様な電磁励起場を発生する複数の励起要素と
複数の面状センサ巻線を配置したホルダー部材とを有す
る位置測定装置の走査部材にあって、ホルダー部材１０
の上に異なった周期のセンサ巻線ＳＷA1, ＳＷB1, ＳＷ
A2, ＳＷB2を持つ隣合った少なくとも二つの走査トラッ
クＡ1,Ａ2 を配置し、これ等の走査トラックＡ1,Ａ2 の
横にそれぞれ励起要素Ｅ1,Ｅ2,Ｅ3 を配置して、これ等
の走査トラックＡ1,Ａ2 のところにそれぞれ一様な電磁
励起場を発生する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、電磁誘導走査に
より位置に依存する出力信号を発生させるため、交互に
配置された導電性および非導電性の目盛領域から成る少
なくとも一つの目盛トラックを使用し、一様な励起電磁
場を発生する複数の励起要素と複数の面状センサ巻線を
配置したホルダー部材とを有する位置測定装置の走査部
材に関する。
【０００２】
【従来の技術】位置に依存する情報を得るため周期的な
測定目盛を光で走査する位置測定装置の外に、別な走査
原理に基づく測定系が知られている。この種の位置測定
装置は、特に一定の環境条件の下で上に述べた光測定系
よりも壊れにくい。これに相当する環境条件は、例えば
駆動部の回転軸の回転運動を検出したい応用で与えられ
る。厳しい環境条件の下で使用できる位置測定装置は、
例えば欧州特許第 0 289033 B1 号明細書に開示されて
いる。この場合、交互に配置された導電性と非導電性の
領域を持つ目盛トラックを電磁誘導的に走査される。こ
のため、それに応じた走査部材は一つまたはそれ以上の
励磁コイルを有し、これ等の励磁コイルは走査される目
盛トラックのところに一様な電磁場を発生する。更に、
走査側にセンサ巻線が設けてあり、これ等のセンサ巻線
も励磁コイルの一様な磁場内に配置され、導電性部分領
域で誘起する電磁場の検出に使用される。その結果、移
動に応じた変調出力信号が生じる。こうして、目盛トラ
ックと走査部材の間の相対運動を検知できる。この種の
位置測定装置の機能原理に関しては、更に欧州特許第0
182 085号明細書を参照されたい。
【０００３】更に、似たような構成の電磁誘導による位
置測定装置はドイツ特許第 195 04307 号明細書により
周知である。この明細書では、取り分けただ一つの目盛
トラックを走査するだけでなく、むしろ説明した方法で
読取できる他のトラックを設けることも提唱している。
しかし、走査される多数の目盛トラックを持つ測定装置
の具体的な構成に関する詳細、および励起される磁場を
発生する可能性はこの刊行物には開示されていない。
【０００４】上で説明した原理により動作する他の電磁
誘導による位置測定装置は、更に欧州特許第 0 743 508
A2 号明細書により周知である。しかし、この刊行物か
らも走査される多数の目盛トラックのある場合に走査部
材をどのように具体的に形成するかの検証は開示してい
ない。特に、異なった走査トラックに対してできり限り
均一な励起磁場の発生をどのように行うのか開示してい
ない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】それ故、この発明の課
題は、多数の走査トラックを設けている場合でも、信頼
性のある機能を保証するように電磁誘導の位置測定装置
に対する冒頭の述べた種類の走査部材を提供することに
ある。その場合、特に多数の走査トラックに対しても異
なった走査トラックの領域で均一な励起磁場を発生する
ことを保証すべきである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、この発明
により、電磁誘導走査により位置に依存する出力信号を
発生させるため、交互に配置された導電性および非導電
性の目盛領域から成る少なくとも一つの目盛トラックを
使用し、一様な励起電磁場を発生する複数の励起要素と
複数の面状センサ巻線を配置したホルダー部材とを有す
る位置測定装置の走査部材にあって、ホルダー部材１０
の上に異なった周期のセンサ巻線ＳＷA1 , ＳＷB1, ＳＷ
A2, ＳＷB2を持つ隣合った少なくとも二つの走査トラッ
クＡ1,Ａ2 を配置し、これ等の走査トラックＡ1,Ａ2 の
横にそれぞれ励起要素Ｅ1,Ｅ2,Ｅ3 を配置して、これ等
の走査トラックＡ1,Ａ2 のところにそれぞれ一様な励起
電磁場を発生することによって解決されている。
【０００７】この発明による他の有利な構成は特許請求
の範囲の従属請求項に記載されている。
【０００８】
【発明の実施の形態】この発明による処置により、隣り
合わせに配置された多数の走査トラックの場合でも、配
置されている全ての走査トラックのセンサ巻線が一様な
電磁場の中に配置されることを保証する。励磁素子を適
当に結線することによりそれぞれ簡単に一様な励起磁場
を異なった走査トラックの領域に発生させることができ
る。この場合、異なった走査トラックは異なった目的の
ために設けてある。一方の走査トラックが駆動切換に利
用され、他方のトラックが増分式の位置測定等に利用さ
れる。
【０００９】励起素子を平行に配置され電流の流れる個
別導線から成る導体ユニットの形にして形成すると有利
である。走査部材の多層構造に関連して、走査部材ある
いは完全な位置測定装置のこのような特にコンパクトな
構造を保証できる。この場合、印刷基板製造による周知
の技術を有利に使用できる。つまり、この発明により構
成された走査部材の簡単な作製が可能である。
【００１０】走査トラックの領域で一様な励起磁場をこ
の発明により発生させることに関して、一連の回路接続
の可能性が存在する。つまり、この発明による走査部材
を異なった測定の要請に柔軟に合わせることができる。
更に、当然であるが、このこの発明による処置はリニヤ
ー位置測定装置にもロータリー位置測定装置にも使用で
きる。同様に、異なった測定系に採用することもでき
る。つまり、絶対測定系にも増分式測定系にも異なった
構造様式やそれに応じてそれ等の構造様式を組み合わせ
て採用できる。
【００１１】
【実施例】以下では、好適実施例の添付図面に基づきこ
の発明をより詳しく説明する。図１はこの発明により形
成された走査部材を使用する電磁誘導式の位置測定装置
の実施例の横断面を示す。図示する位置測定装置は、こ
の場合、測角装置として形成されている。この測角装置
は固定駆動部品２に対する被駆動部の軸１の回転角を検
知するために使用されている。図１で軸１の回転軸に参
照符号Ｒを付けることにする。他の駆動部品は図示しな
い。被駆動部の軸１には目盛円板３が固定されている。
この目盛円板３はこの発明により形成された固定走査部
材５により走査される。軸１と共に回転軸Ｒの周りを回
転する目盛円板３は、半径方向に隣り合わせになってい
る二つの目盛トラックを配置する目盛ホルダー３.1で構
成されている。走査部材５はハイウジングあるいは駆動
部２の固定部品内で組立部材６にネジ９により固定され
ている。図１には走査部材５に従属する評価・電源ユニ
ットは図示されていない。このユニットは、一方で走査
部材５あるいはこの部材の上に配置されている励起部材
への電力供給のために、また他方で目盛円板３の走査に
より生じる走査部材５の周期的に変調され位置に依存す
る出力信号を評価するために使用される。この種の評価
・電源ユニットは、例えば数値制御部の形にして実現さ
れている。
【００１２】図１に示す回転目盛円板３と固定走査部材
５を持つ測定系の相対配置の外に、固定目盛円板と回転
走査ユニットを持つ位置測定系も当然この発明による構
想の基礎により実現できる。この種の位置測定装置の基
本的な機能原理を詳しく説明するのに、上記の代わりに
既に冒頭で述べた欧州特許第 0 182 085 B1 号明細書を
参照されたい。
【００１３】次いで、図１に図示する実施例にあるこの
発明により形成された走査部材５およびこの部材により
電磁誘導で走査される目盛円板３を図２と３に基づき説
明する。この場合、図２は走査部材５の正面図を示し、
この部材で走査される目盛円板３も図３に正面図にして
示してある。図１〜３の実施例では、走査部材５により
目盛円板３上の全体で二つの目盛トラックＴ1,Ｔ2 が電
磁誘導により走査される。両方の目盛トラックＴ1,Ｔ2
は円形に形成され、目盛ホルダー３.1の上に半径方向に
隣り合わせにして配置されている。目盛ホルダー３.1の
材料としては、図示する実施例の場合、エポキシ樹脂材
料が使用されている。両方の目盛トラックＴ1,Ｔ2 はそ
れぞれ導電性目盛領域Ｔ1L,Ｔ2L と非導電性目盛領域Ｔ
1N,Ｔ2N を交互に配置した周期的な配列で構成されてい
る。導電性目盛領域Ｔ1L,Ｔ2L に適した材料としては銅
であり、この銅を目盛ホルダー３.1に取り付けている。
これに反して、非導電性目盛領域Ｔ1N,Ｔ2N では目盛ホ
ルダー３.1に何も被覆されていなく、目盛ホルダー３.1
の材料と同じである。
【００１４】内側の目盛トラックＴ1 は、図示する実施
例の場合、ただ導電性材料の第一半円状の目盛領域Ｔ1
L と非導電性材料の第二半円状の目盛領域Ｔ1N とで構
成されている。以下に詳しく説明する走査部材５により
目盛トラックＴ1 を走査すると、回転軸Ｒの周りに目盛
円板３が一回転する毎に比較的粗い絶対位置情報が生じ
る。
【００１５】第一目盛トラックＴ1 に半径方向に隣接す
る第二目盛トラックＴ2 が目盛ホルダー３.1の上に配置
されている。この第二目盛トラックＴ2 は多数の導電性
目盛領域Ｔ2L と、その間に配置されている目盛領域Ｔ2
N で構成されている。異なっている両方の目盛領域Ｔ2
L,Ｔ2N は材料として第一目盛トラックＴ1 の目盛領域
Ｔ1 L と同じように形成されている。第二目盛トラック
Ｔ2 は、図示する実施例の場合、全体で周期的に配置さ
れた導電性目盛領域Ｔ2L とその間に配置されている非
導電性目盛領域Ｔ2N を有する。導電性目盛領域Ｔ2L の
測定方向の長さは、非導電性目盛領域Ｔ2N の対応する
長さの十倍である。つまり、この目盛トラックの異なっ
た二つの目盛領域の長さが１：１からずれた比を選んで
いる。従って、第二の目盛トラックＴ2 の走査により、
目盛円板３と走査部材５の相対運動で得られる増分信号
が生じる。第一目盛トラックＴ1 による絶対位置測定と
結び付けて、この種の配置により高分解能の回転角測定
が可能である。
【００１６】この実施例で選択されたそれぞれ絶対位置
測定と増分位置測定を可能にする二つの独立目盛トラッ
クＴ1,Ｔ2 を組み合わせの外に、当然他の組み合わせも
可能である。例えば異なった多数のトラックを持つ符号
円板による構成等である。更に、異なった形の増分目盛
トラック、つまり他の目盛比を持つ目盛トラックも形成
できる。この外、例えば目盛比の異なった周期を持つ並
列に隣接配置された多数の増分目盛トラックも使用でき
る等々。
【００１７】図２に示す目盛円板３を走査するためにあ
るこの発明の走査部材５には、目盛トラックＴ1,Ｔ2 に
付属する二つの走査トラックＡ1,Ａ2 がある。これ等の
走査トラックＡ1,Ａ2 も円形状に形成され、ホルダー部
材１０の上に半径方向に隣接配置されている。理解を容
易にするため、以下ではただ一つのホルダー部材１０の
み説明するが、走査部材５の図示する実施例では、多数
の導体パターン層、接続層およびセンサ層を持つ多層構
造が採用されている。この多層構造に関して図６の説明
を参照されたい。
【００１８】内部の絶対目盛トラックＴ1 に付属する走
査トラックＡ1 は、図示する実施例の場合、全部で二つ
の平坦に形成されたセンサ巻線ＳＷA1とＳＷB1で構成さ
れている。これ等のセンサ巻線は走査トラックＡ1 が一
回転毎に走査時にただ一つの信号周期を出力する。両方
のセンサ巻線ＳＷA1とＳＷB1は、この場合、走査部材５
のホルダー部材１０の上に互いにずらして配置されてい
る。その結果、回転目盛円板３の走査で出力側に互いに
90°位相のずれた二つの出力信号 SIN1, COS1が生じ
る。両方の出力信号 SIN1, COS1 は、既に説明したよう
に、駆動部の軸の一回転で一義的な絶対位置信号を与え
る。更に、 90 °ほど位相のずれた信号 SIN1, COS1 を
周知のように評価して、回転運動時の向きを知ることが
できる。図２には、異なった走査トラックＡ1,Ａ2 の付
属する出力信号を含めて走査部材５の対応する信号の取
出タップが記入されている。
【００１９】第二目盛トラックＴ2 の走査に適した第二
走査トラックＡ2 にも、ホルダー部材１０の上に配置さ
れている平坦な二つのセンサ巻線ＳＷA2, ＳＷB2があ
る。両方のセンサ巻線ＳＷA2, ＳＷB2の間にも相対的な
ずれがあるので、出力側で第二目盛トラックＴ2 を走査
する時に 90 °位相のずれた二つの信号 SIN2, COS2 が
出力する。この場合、第二走査トラックＡ2 の全周にわ
たり多数のセンサ巻線ＳＷA2とＳＷB2が配置されてい
る。
【００２０】二つの走査トラックＡ1 とＡ2 のセンサ巻
線ＳＷA1，ＳＷB1，ＳＷA2, ＳＷB2は銅で作製され、ホ
ルダー部材はエポキシ樹脂で形成されている。全体とし
てこの発明による走査部材５は多層に形成され、これは
周知の印刷基板技術で実現できる。多層構成に関する詳
細は図６の以下の説明を参照されたい。更に、二つの走
査トラックＡ1 とＡ2 のセンサ巻線ＳＷA1，ＳＷB1，Ｓ
ＷA2,ＳＷB2の外に、この発明により形成された走査部
材５にはホルダー部材１０の上で走査トラックＡ1 とＡ
2 の横方向に隣り合わせに配置された励起部材Ｅ1 〜Ｅ
3 がある。これ等の励起部材Ｅ1 〜Ｅ3 は、走査トラッ
クＡ1 とＡ2 の領域、あるいはこの走査トラックで走査
される目盛トラックＴ1 とＴ2 の領域に必要な一様な励
起電磁場を発生させるために使用される。図示する実施
例では、励起部材Ｅ1 〜Ｅ3 を導体パターンユニットで
形成し、このユニットはホルダー部材１０の上に面状に
平行に配置された電流の流れる多数の導体を有する。導
体パターンユニットの導体に全て同じ方向に電流を流せ
ば、各導体パターンユニットの周りにホース状あるいは
円筒状に向いた電磁場が生じる。得られた電磁場の磁力
線は導体パターンユニットの周りに収束円の形をとる。
この場合、磁力線の方向は周知のように導体パターンユ
ニットの電流方向に依存する。
【００２１】共通の走査トラックに直接接する導体パタ
ーンユニットの電流方向あるいはこの導体パターンユニ
ットの対応する結線が反対に選ぶ必要があるので、走査
トラックのところの磁力線はそれぞれ同じ方向に向いて
いる。導体パターンユニットＥ1 〜Ｅ3 への電圧供給は
図２に記入されている電圧タップＵE を介して行われ
る。このような磁場の発生を可能にするため、ホルダー
部材１０の上に一定の導体を付ける必要がある。これを
以下に図４に基づき説明する。
【００２２】見通しを良くするため、ここでは異なった
導体パターンユニットあるいは励起ユニットＥ1 〜Ｅ3
のただ一つの導体を示す。同様に、図４には種々の導体
の各電流方向と電源電圧タップＵE が記入されている。
この実施例で選択されている導体パターン構成では半径
方向に最外側の励起要素Ｅ1 には半径方向に最内側の励
起要素Ｅ3 と同じように同じ方向の電流が流れる。これ
に反して、ホルダー部材上の二つの走査トラックＡ1 と
Ａ2 の間の配置されている三つの励起要素のうちの中間
の要素Ｅ2 には逆方向に電流が流れる。励起要素Ｅ1 〜
Ｅ3 の導体の周りには、それぞれ一つのホース状あるい
は円筒状に向いた電磁場が生じ、得られる磁場の方向も
図４に記入されている。従って、第一と第三の導体の電
磁場は同じ方向を向くが、中間の導体の磁場は両方の導
体とは反対向きである。これ等の導体の間にある領域は
走査トラックＡ1 とＡ2 と共に、隣接する励起要素Ｅ1
〜Ｅ3 の二つの電磁場から生じる一様な電磁場がそれぞ
れ生じる。この電磁場は走査トラックＡ1 の場合のよう
に図面内の方向に向くか、あるいは走査トラックＡ2 の
場合のように図面の外に向かう。二つの走査トラックＡ
1,Ａ2 の対応する電磁場方向は図4 にそれぞれ示してあ
る。
【００２３】更に、隣接する二つの走査トラックの場合
に可能な導体構成に関する代わりの実施態様を図５a 〜
５e に模式的に示す。そこに示す実施例から更に分かる
ことは、この発明による原理がリニヤー測定装置にも何
時でも採用できる点にある。この場合、図５a 〜５d に
はそれぞれ中間の導体パターンユニットが外側の二つの
導体パターンユニットの電磁場とは反対の電磁場を発生
する可能性が示してある。従って、二つの走査トラック
には必ず反対向きの一様な電磁場が図示の方向に生じ
る。この代わりに、図５e の実施例では、中間の導体パ
ターンユニットが二つの走査トラックの間で作用上二つ
の部分導体パターンユニットに分割されている。この場
合、二つの導体パターンユニットには異なった方向の電
流が流れる。しかし、上で説明した実施態様のように、
走査トラックの直ぐ隣に配置された二つの導体パターン
ユニットが逆向きの電磁場を発生し、これ等の電磁場が
走査トラックのところで重なり一定の方向の一様な電磁
場を形成する。
【００２４】目盛円板の説明で既に示したように、走査
部材に対しても、その上に多数の平行な走査トラックを
配置できる他の可能性が当然存在する。つまり、二つ以
上の走査トラックも設けてもよく、これ等のトラックに
は周期の異なるセンサ巻線がそれぞれあってもよい。こ
の種の配置でも、この発明による設計に基づき、励起部
材を適当に構成して配置することにより、一様な励起場
を発生させることができる。
【００２５】走査部材上でセンサ巻線や励起要素に必要
な種々の導線を適当に通すことは、例えば印刷基板技術
で知られているように、多層技術により有利に実現でき
る。この種の多層技術で走査部材の構成を説明するた
め、図２の走査部材の横断面を図６に示す。説明する実
施例の走査部材５は７層構造である。図６に示していな
い目盛円板は第一センサ層ＳＬ1 に対向している。この
第一センサ層は薄い第一導体層ＬＰ1 により第二センサ
層ＳＬ2 から分離されている。両方のセンサ層ＳＬ1,Ｓ
Ｌ2の各々には、励起要素の位置や異なったセンサ巻線
の一部が配置されている。望ましい導線の交差を避ける
には、励起要素やセンサ巻線を二つのセンサ層ＳＬ1,Ｓ
Ｌ2 に配分することが有利であると立証される。第一導
体層ＬＰ1 を二つのセンサ層の間に配置する場合、特に
異なったセンサ層ＳＬ1,ＳＬ2 中に配置されるセンサ巻
線が目盛円板の導電性目盛領域により同じように影響を
受けることを保証するため、第一導体層ＬＰ1 をできる
限り薄く形成することに注意する必要がある。
【００２６】第二センサ層ＳＬ2 の上には、厚い第二導
体層ＬＰ2 があり、この第二導体層ＬＰ2 は実質上走査
部材５の機械的な安定化に使用され、約 1〜 2 mm の厚
さに形成されている。この上に、第三導体層ＬＰ3 で分
離されている二つの接続層ＶＬ1,ＶＬ2 が配置されてい
る。これ等の接続層ＶＬ1,ＶＬ2 では、励起要素への給
電、励起要素間の接続、信号の取り出し等に必要な導線
が通されている。接続層ＶＬ1,ＶＬ2 を二層に構成する
と、この種の接続導線に必要な交差しない通しが可能に
なる。
【００２７】この発明により形成された走査部材はこの
種の多層構成で周知の印刷基板技術により合理的に作製
できる。
【００２８】
【発明の効果】以上、説明したように、電磁誘導の位置
測定装置に対するこの発明の走査部材により、多数の走
査トラックを設けている場合でも、信頼性のある機能を
保証し、特に多数の走査トラックに対しても異なった走
査トラックの領域で均一な励起磁場を発生できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明により形成された走査部材を持つ電
磁誘導式位置測定装置の縦断面図、
【図２】 図１の位置測定装置に使用されているこの発
明の走査部材の実施例の平面図、
【図３】 使用されている二つの目盛トラックを含めた
図２の走査部材で走査される目盛トラックの平面図、
【図４】 励起磁場の発生を説明する模式的な巻線配置
図、
【図５】 隣接する二つの走査トラックに対する励起磁
場を発生する可能性を示す５つの巻線配置図、
【図６】 図２の走査部材の横断面図。
【符号の説明】
１ 軸 ２ 駆動部品 ３ 目盛円板 ３.1 目盛ホルダー ５ 走査部材 ６ 組立部材 ９ ネジ １０ ホルダー部材 Ｒ 回転軸 Ａ1,Ａ2 第一および第二走査トラック Ｔ1,Ｔ2 第一および第二目盛トラック Ｔ1L , Ｔ2L 導電性目盛領域 Ｔ1N , Ｔ2N 非導電性目盛領域 ＳＷA1, ＳＷB1 第一目盛トラックのセンサ巻線 ＳＷA2, ＳＷB2 第二目盛トラックのセンサ巻線 SIN1, COS1 第一目盛トラックの出力信号 SIN2, COS2 第二目盛トラックの出力信号 Ｅ1 〜Ｅ3 励起要素（導体パターンユニット） ＵE 電源電圧タップ ＳＬ1,ＳＬ2 センサ層 ＬＰ1 〜ＬＰ3 導体層 ＶＬ1,ＶＬ2 接続層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ペーター・フイツシヤー ドイツ連邦共和国、83233 ベルナウ・ア ム・ヒームゼー、ハーフエンストラーセ、 ２

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 電磁誘導走査により位置に依存する出力
    信号を発生させるため、交互に配置された導電性および
    非導電性の目盛領域から成る少なくとも一つの目盛トラ
    ックを使用し、一様な励起電磁場を発生する複数の励起
    要素と複数の面状センサ巻線を配置したホルダー部材と
    を有する位置測定装置の走査部材において、ホルダー部
    材（１０）の上に異なった周期のセンサ巻線（ＳＷA1,
    ＳＷB1 , ＳＷA2, ＳＷB2）を持つ隣合った少なくとも二
    つの走査トラック（Ａ1,Ａ2 ）を配置し、これ等の走査
    トラック（Ａ1,Ａ2 ）の横にそれぞれ励起要素（Ｅ1,Ｅ
    2,Ｅ3 ）を配置して、これ等の走査トラック（Ａ1,Ａ2
    ）のところにそれぞれ一様な励起電磁場を発生するこ
    とを特徴とする走査部材。
  2. 【請求項２】 励起要素（Ｅ1,Ｅ2,Ｅ3 ）は導体パター
    ンユニットとして形成され、ホルダー部材（１０）の上
    に面平行に配設され、電流の流れる一つまたはそれ以上
    の導体を有し、各導体パターンユニットの周りにホース
    状の電磁場を形成することを特徴とする請求項１に記載
    の走査部材。
  3. 【請求項３】 励起要素（Ｅ1,Ｅ2,Ｅ3 ）の導体は隣接
    する導体パターンユニットの導体の電流方向が互いに逆
    向きで、走査トラック（Ａ1,Ａ2 ）のところで隣接する
    導体パターンユニットの間に一定の空間方向の一様な電
    磁場が生じることを特徴とする請求項２に記載の走査部
    材。
  4. 【請求項４】 ホルダー部材（１０）は多層に形成され
    ていることを特徴とする請求項１に記載の走査部材。
  5. 【請求項５】 ホルダー部材（１０）は少なくとも二つ
    のセンサ層（ＳＬ1,ＳＬ2 ）を有し、これ等のセンサ層
    の中にセンサ巻線（ＳＷA1, ＳＷB1, ＳＷA2 , ＳＷB2）
    の一部が配置されていることを特徴とする請求項５に記
    載の走査部材。
  6. 【請求項６】 付属するセンサ巻線（ＳＷA1, ＳＷB1）
    を有する少なくと一つの第一走査トラック（Ａ1 ）は測
    定可能な測定範囲にわたり絶対位置測定が可能であるよ
    うに形成され、付属するセンサ巻線（ＳＷA2, ＳＷB2）
    を有する少なくと一つの第二走査トラック（Ａ2 ）は増
    分位置測定が可能であるように形成されていることを特
    徴とする請求項１に記載の走査部材。
  7. 【請求項７】 各走査トラック（Ａ1,Ａ2 ）毎に互いに
    ずれている少なくとも二つのセンサ巻線（ＳＷA1, ＳＷ
    B1, ＳＷA2, ＳＷB2）をホルダー部材（１０）の上に配
    置しているので、出力側で走査部材（５）と目盛トラッ
    ク（Ｔ1,Ｔ2）の移動時に、それぞれ走査トラック（Ａ
    1,Ａ2 ）当たり位相のずれ周期的に変調された少なくと
    も二つの出力信号（SIN1, COS1 ; SIN2, COS2 ）が生じ
    ることを特徴とする請求項１に記載の走査部材。
  8. 【請求項８】 ホルダー部材（１０）は薄い円板の形状
    に形成され、走査トラック（Ａ1,Ａ2 ）と励起要素（Ｅ
    1,Ｅ2,Ｅ3 ）がホルダー部材（１０）の上に円形に配置
    されていることを特徴とする請求項１に記載の走査部
    材。
  9. 【請求項９】 ホルダー部材（１０）上には、第一の絶
    対走査トラック（Ａ1 ）と第二の増分走査トラック（Ａ
    2 ）を半径方向に隣り合わせに配置し、横方向に隣り合
    わせにして、また両方の走査トラック（Ａ1,Ａ2 ）の間
    にも、一様な電磁場を走査トラック（Ａ1,Ａ2 ）の領域
    に発生させるため励起要素（Ｅ1,Ｅ2,Ｅ3 ）である導体
    パターンユニットが配置されていることを特徴とする請
    求項２，７と８の何れか１項に記載の走査部材。
  10. 【請求項１０】 前記導体パターンユニットはそれぞれ
    平行に配置された多数の個別導体から成り、これ等の導
    体は一つの導体パターンユニットの導体が同じ方向の電
    流を流すように結線されていることを特徴とする請求項
    ９に記載の走査部材。
  11. 【請求項１１】 前記導体パターンユニットは、内側と
    外側の導体パターンユニットに同じ向きの電流が流れ、
    中間の導体パターンユニットに逆方向の電流が流れるの
    で、両方の走査トラック（Ａ1,Ａ2 ）にそれぞれ逆向き
    の励起電磁場が生じることを特徴とする請求項１０に記
    載の走査部材。
  12. 【請求項１２】 交互に配置された導電性および非導電
    性の目盛領域を持つ少なくとも一つの目盛トラックを電
    磁誘導走査により位置に依存する出力信号を発生する位
    置測定装置において、請求項１〜１１の何れか１項の走
    査部材（５）で走査を行うことを特徴とする位置測定装
    置。
  13. 【請求項１３】 走査される円形に形成された少なくと
    も一つの目盛トラック（Ｔ1,Ｔ2 ）は円形の目盛ホルダ
    ー（３.1）の上に配置されていることを特徴とする請求
    項１２に記載の位置測定装置。
  14. 【請求項１４】 円形の目盛ホルダー（３.1）の上に
    は、半径方向に隣り合わせの二つの目盛トラック（Ｔ1,
    Ｔ2 ）が配置され、一方の第一目盛トラック（Ｔ2 ）は
    多数の導電性目盛領域（Ｔ2L ）と非導電性の目盛領域
    （Ｔ2N ）の周期的な配列で形成され、他方の目盛トラ
    ックは導電性の円形セグメント（Ｔ1L）と非導電性の円
    形セグメント（Ｔ1N ）で形成されていることを特徴と
    する請求項１３に記載の位置測定装置。
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