JP2001227987A - 位置測定装置及び位置測定装置を作動させる方法 - Google Patents
位置測定装置及び位置測定装置を作動させる方法Info
- Publication number
- JP2001227987A JP2001227987A JP2000397745A JP2000397745A JP2001227987A JP 2001227987 A JP2001227987 A JP 2001227987A JP 2000397745 A JP2000397745 A JP 2000397745A JP 2000397745 A JP2000397745 A JP 2000397745A JP 2001227987 A JP2001227987 A JP 2001227987A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measuring device
- position measuring
- value
- adjustment
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
適な作動状態を得ることができ、しかも汎用的に使用可
能な方法及び位置測定装置を提供する。 【解決手段】 出力信号を一定の信号振幅に制御するた
めに必要な調節量値が、絶え間なく算出されて、デジタ
ル伝送に適したデジタル信号に変換される。調節量値に
関するこのデジタル信号は、位置測定装置に後続配置さ
れた順次電子機器に伝送されて、そこで表示される。こ
の場合、この伝送された調節量値は、実際の走査距離の
目安として使用されて、プリセットされた最適な走査距
離の調節に利用され得るか、さもなければ位置測定装置
の機能状態の目安として評価される。
Description
方法に関する。
にある測定部、及びこの測定部に対して相対運動する走
査ユニットを有する。この走査ユニット側では、走査部
材が走査面内に配置されている。位置に依存した複数の
出力信号が、これらの走査要素によって−物理的な走査
原理にしたがって−生成される。測定部面と走査面との
間の距離は、以下で走査距離として示す。説明したこれ
らの測定部面つまりこの測定部とこの測定ユニットとの
間の相対運動は、ここでは直線的でも回転的でもよい。
な、例えば、公知の光電式の又は誘導的で増分式の位置
測定装置が、このような位置測定装置の事例として開示
されている。光電式の位置測定システムでは、一般に相
違する複数の光電式の構成要素が走査面内に配置されて
いる。これらの構成要素は、相違する複数の変調した出
力信号を生成するために使用される;そのため、光源
も、適切な光検出器と同様に使用される。誘導的な位置
測定装置の場合では、例えば扁平な複数の送信コイル及
び受信コイル又は送信コイル若しくは受信コイルが、走
査面内に配置されている。誘導的な位置測定装置に関し
ては、例えばドイツ連邦共和国特許出願公開第 197 51
853 号明細書に開示されている。
要のあるその都度の走査距離が、このような位置測定装
置で重要な値を表す。このことは、測定動作中に生成さ
れる出力信号の十分に大きい信号の振幅を保証するため
に必要である。取付け時の走査距離の可能な限り精確な
調節は、特にシステムが製造者側で既に完全に取付けら
れるのではなくて、購入者側で初めてそのシステムによ
って取付けられるシステムで必要である。一般に、これ
らの位置測定装置は、直線的なシステムの場合は開いた
測定装置(offene Messsysteme)と呼ばれ、回転的なシス
テムの場合は組込み式の回転エンコーダ(Einbau-Drehge
bern) と呼ばれる。
能な限り最適な走査距離に調節するために提唱されてい
る。これらの各種の調節補助部材の欠点は、これらの補
助部材がそれぞれ位置測定装置の特定の構造に対してし
か適さず、それ故に汎用的に使用できない点にある。
に関するその他の値が、位置測定装置の動作中に重要で
ある;これらの値も、作動開始時に可能な限り最適にす
る必要がある。
動状態を精確に調節可能な、この位置測定装置を作動さ
せる可能な限り汎用的に使用可能な方法及び適切な位置
測定装置を提供することにある。
及び請求項12の特徴に記載の位置測定装置によって解
決される。
適な実施形は、それぞれの従属請求項中に記載されてい
る解決手段から実現される。
は、従来の解決手段と比較して多くの有利な効果を奏す
る。
置測定装置の特別な機械構造に関連するのではなくて、
これらの位置測定装置のいろいろな種類で汎用的に使用
可能である。
的に不可能な取付け状態(Anbauverhaeltnissen) の場合
に、実際に調節された走査距離に関する信頼性の高い情
報が、本発明の方法によって使用者に提供される。この
とき、その使用者は、製造者が予め設定した走査距離を
複数の適切な調節要素によって限定的に調節するだけで
済む。
装置がそれぞれの位置測定装置内に既に設けられている
場合、本発明の方法は特に有益であることが分かる。こ
のとき、取付け時のその都度の実際の走査距離を表示す
るためには、この制御装置によって絶え間なく決定され
る調節量値が、再処理されるだけで済む。
定装置と回転的な位置測定装置の双方に使用可能であ
る。同様に、この本発明の方法は、位置測定装置とむす
びついて実現され得る。これらの位置測定装置は、いろ
いろな物理的な走査原理に基づく。同様に、いろいろな
位置測定装置を本発明にしたがって構成することが明ら
かに可能である。
に、位置測定装置の全ての機能状態を本発明にしたがっ
て最適にすることができる。
利な効果及び詳細を添付した図に基づいて説明する。こ
の図は、本発明にしたがって構成された位置測定装置の
概略的なブロック図である。
れている。複数の要素だけがこの図によって概略的に示
されている。これらの要素の機能が、本発明を説明する
ために重要である。誘導的で回転的な位置測定装置10
を図示された実施の形態に基づいて説明する;しかし、
明らかに、本発明は、直線的な位置測定装置と関連させ
てその他の物理的な走査原理に基づく位置測定装置にお
いて同様に使用することもできる。
は、向き合った2つの回転部材の相対位置を測定するた
めに、例えば−図示しなかった−モータの1本の回転軸
60の位置を測定するために使用される。
る。この測定部12は、部材担持体11上に配置されて
いる。また、この部材担持体11は、回転軸60に連結
されていて、かつ軸線50の周りを回転可能である。測
定部面が、空間内のこの回転する測定部12の位置によ
って特定される。走査ユニット17が、この測定部12
又はこの測定部面に対する走査距離Dで固定して配置さ
れている。この走査ユニット17は、1つの又は多数の
励磁要素18及び走査要素14等を有する。これらの励
磁要素18及び走査要素14等は、回転する測定部12
の走査時に位置に依存する出力信号A,Bを生成する。
この場合、90°だけ位相のずれた一対の増分信号が、出
力信号A,Bとして生成される。これらの出力信号A,
Bは、順次電子機器によって再処理される。この順次電
子機器20とは、例えば、工作機械の数値制御部であ
る。
成された信号A,Bを順次電子機器20に伝送すること
に関連して、同期式のシリアル伝送の可能性が、1つの
適切なインターフェース、並びに1本のデータバス3
0.2と1本のクロックバス30.1の形態の2本の信
号伝送線によって示されている。しかし、その一方で、
基本的には、位置測定装置10の生成されたアナログ式
の出力信号A,Bを順次電子機器20に伝送すること
は、パラレルにも実現できる。同様に、明らかに、非同
期式のデータ伝送等も、この位置測定装置10とこの順
次電子機器20との間に使用され得る。
は、使用される測定部12は、異なる導電率の複数の部
分領域から成る周期的な連続体から構成される。図中に
同様に概略的にだけ示された励磁要素18は、扁平な励
磁コイルとして形成されている。走査要素14は、扁平
なセンサコイルとして形成されている。
10の測定部12と走査ユニット17の具体的な構成に
関しては、本出願人のドイツ連邦共和国特許出願公開第
19751 853 号明細書を補充的に参照されたい。しかし
ながら、本発明は、基本的に既に示したように、そこで
開示した誘導的な位置測定装置の実施形にもこの物理的
な走査原理にも限定されていない。すなわち、例えば光
学的な又は光電的な位置測定装置も、本発明の範囲内で
使用され得る。このとき、測定部12は、例えば異なる
反射性の複数の部分領域を有する通常の照明測定部とし
て形成され、光源が励磁要素の機能を果たし、公知のオ
プトエレクトロニクス式の検出要素が走査要素として設
ける必要がある。
査距離Dを調節する1つの又は多数の調節要素を有す
る。図中には、これらの調節要素のうちの1つが符号1
3で概略的に示されている。対応する調節要素13は、
多様な形態で構成され得る;これに関しては、例えば本
出願人のドイツ連邦共和国特許出願第 198 36 003 号明
細書を参照されたい。この出願は、1つの適切な調節変
形つまり調節に適した1つの位置決め手段を開示する。
位置測定装置10の側面に配置されている。走査要素1
4の出力信号A,Bが、この制御装置14に入力され
る。さらに、この位置測定装置は、変換装置15と伝送
装置16を有する。この伝送装置16は、既に述べたよ
うに同期式のシリアルインターフェイスとして構成され
ている。位置測定装置10と順次電子機器20との間の
データ転送は、伝送装置16とデータバス30.2とク
ロックバス30.1を経由して実行される。これらの個
々の要素を機能させるには、以下の説明を参照された
い。
アルインターフェースに関しては、例えば出願人によっ
て商標EnDATで販売されたインターフェースを解析
するか、さもなくばヨーロッパ特許第 0 660 209号明細
書を参照されたい。
示に基づいて詳しく説明する。符号14で示された制御
装置は、出力信号A,Bの信号振幅を一定の信号振幅に
制御する。アナログ式のサイン状の又はコサイン状の出
力信号A,Bの一定な信号振幅は、特に誤った測定を阻
止する再処理時に必要である;これらの出力信号A,B
の信号振幅が一定でない場合は、例えば出力信号A,B
のさらなる信号の分割又は信号の補間時に、起こりうる
誤差が位置測定中に発生する。しかしながら、様々な要
因が、このような位置測定装置において測定動作中に振
動振幅を変動させる。すなわち、例えば磁気的な又は誘
導的な位置測定装置においては、走査距離Dが場合によ
っては変化したときに、信号振幅に望まない変動をもた
らす;一方、光学的な位置測定装置では、測定部材の汚
れが望まない信号振幅の減衰をもたらす。
る制御装置14は、基本的には各種の位置測定装置に対
して公知である。一般に、その都度の信号振幅が、対応
する制御装置14内で実際値として算出され、1つのプ
リセットされた信号の目標値と比較される。そして、1
つの調節量値が、その比較に基づいて決定される。この
調節量値は、信号振幅の実際値を振幅の目標値に反復的
に合わせるために必要である。これに関連した制御装置
は公知である。これらの制御装置では、値R2=A2 +
B2 が、適切な回路によって位置測定装置10の位相の
ずれた2つの信号A=A0 * sin xt,B=B0 * cos xt
から生成される。この値R2 は、信号振幅の実際の目安
として、ひいては制御用の実際値として使用される。
て、相違する調節量が、制御装置14によって出力され
て、信号振幅を制御する。誘導的な位置測定装置10の
場合では、送信コイルの通電量が、この制御装置14か
らの調節量Sとして適切に変化し得る。このことは、制
御装置14と励磁要素18つまり送信コイルとの間の関
係を通じて図中に具体的に説明されている。その代わり
に、走査ユニットによって生成されるアナログ式の出力
信号A,Bを増幅する増幅要素の増幅量を調節量として
変化させることも可能である。これと同様に、光学的な
位置測定装置では、光度が、調節量Sとして光源、すな
わち光源電流に対応して変えられる。
振幅に制御するために必要になる調節量Sが、さらに走
査距離Dを調節するためにも利用される。この場合、こ
の目的に対する調節量Sの付加的な利用は、調節量値の
その都度の値が実際の走査距離Dに対する直接的な目安
を示すという認識に基づいている。この走査距離Dと調
節量値とは、所定の範囲内では互いに比例する。すなわ
ち、走査距離Dが大きく、かつ、信号振幅が比較的小さ
い場合は、調節量Sのより大きい値が発生する。この値
は、制御部側で一定な信号振幅に再制御するために必要
である。それとは反対に走査距離Dがより小さい場合
は、信号振幅を制御するために必要なそれに応じたより
小さい調節量値が発生する。
際の機能状態に対する一般的な目安としても利用され得
る。
は、本発明により、絶え間なく検出されて、シリアル伝
送に適したデジタル信号に変えられるつまり変換され
る。この目的のために、本発明の位置測定装置10の調
節量Sが、制御装置14によって概略的に示された変換
装置15にも入力される。
換装置15に付設されている。この伝送装置16は、例
えば公知の同期式のシリアルインターフェースとして構
成されている。このとき、適切に評価された調節量値
が、この伝送装置16とデータバス30.2を経由して
後続配置された順次電子機器20等に最終的に伝送され
る。ここでは、その調節量値は、規定された伝送プロト
コル内で伝送される。この場合、その都度の調節量値
が、予め設定されたビット幅で順次電子機器20に入力
される。双方向に動作可能なデータバス30.2に加え
て、この実施の形態では、伝送装置16と順次電子機器
20との間のデータ転送を同期させる1本のクロックバ
ス30.1がさらに配置されている。
電子機器20に伝送することは、本発明では重要でな
い。すなわち、別の伝送変形例も、本発明の範囲内で非
常に良好に実現可能である。例えば、非同期式のシリア
ルデータ伝送等の範囲内で実現可能である。
置10の側面上で例えば実際の走査距離Dに相当する1
つの値にすぐに変換すること、次いでこの値をデジタル
信号として伝送することが考えられる。
ている表示装置21等が、順次電子機器20、例えば工
作機械の数値制御部の側面上に設けられている。この場
合、伝送されたばかりの調節量値も、いろいろなその他
の情報のほかにこの表示装置21上に表示される。本発
明の位置測定装置を取付けるため、適切な利用面が、例
えば表示装置21によって使用者に提供され得る。調節
量値や走査距離Dに関する情報等も、この利用面上で視
覚表示される。
調節量値に基づいて調節要素13を使用することによっ
て位置測定装置10の取付け時に走査距離Dを特定して
調節する。好ましくは、理想的な走査距離Dに関する所
定の基準が、位置測定装置のその都度の製造者によって
その使用者に予め知らされる。特に、この場合、例え
ば、所定の取付け許容範囲が、走査距離Dの値に対して
プリセットすることができる。取付けは、この許容範囲
内でする必要がある。システム全体が、実際の測定動作
中にこの許容誤差を越えた時に突然停止することが絶対
にないように、プリセットされた取付け許容誤差の限界
値が、その都度作動可能範囲の限界から明らかに外れて
選択されることが好ましいと確認されている。すなわ
ち、例えば、作動可能範囲がD=[0.2mm;0.8mm] の場
合、D=[0.45mm;0.55mm] の取付け許容範囲をプリセッ
トすることが考えられる。
いろいろな方式で表示装置21上に表示されるか若しく
は視覚表示されるか又はそれ以外の様式で知らされる。
すなわち、調節量値を文字数字併用方式の値として直接
的に表示することが可能である。さらに、調節量値を実
際の走査距離に直接対応する値に変換することもでき
る。最終的には、調節量値をグラフ形式で、例えば適切
な棒グラフ表示等で表示することも可能である。このと
き、取付け許容範囲が、その調節量値の表示に応じてそ
の位置測定装置の製造者によってプリセットされる必要
が必ずある。
節量値が、位置測定装置の機能状態に対する一般的な目
安として評価され得る。
明の範囲内で存在する。これらの実施の可能性は、要求
に応じて実現され得る。
の概略的なブロック図である。
Claims (21)
- 【請求項01】 1つの走査ユニット及び1つの測定部
を有し、この走査ユニットとこの測定部とは測定動作中
に互いに相対運動し、位置に依存した複数の出力信号
(A,B)が走査時に生成される、位置測定装置を作動
させる方法において、この方法が以下のステップから成
る: a)1つの調節量(S)を処理することによってこれら
の出力信号(A,B)を複数の一定の信号振幅に制御
し、 b)その制御に必要なこの調節量値を受取り、 c)この調節量値をシリアル伝送に適したデジタル信号
に変換し、 d)この調節量値に関するデジタル信号を位置測定装置
(10)に後続配置された順次電子機器(20)に伝送
し、 e)この伝送された調節量値を表示する。 - 【請求項02】 走査面と測定部材面との間の走査距離
(D)が、表示された調節量値を使用することによって
調節され、この調節量値は、実際の走査距離(D)の目
安として1つのプリセットされた最適な走査距離(D)
に調節するために使用される請求項1に記載の方法。 - 【請求項03】 少なくとも1つの送信コイルの通電量
が、調節量(S)として変化されて、出力信号(A,
B)を一定の信号振幅に制御する請求項1に記載の方
法。 - 【請求項04】 1つの増幅要素の増幅量が、調節量
(S)として変化されて、出力信号(A,B)を一定の
信号振幅に制御する請求項1に記載の方法。 - 【請求項05】 1つの光源の光度が、調節量(S)と
して変化されて、出力信号(A,B)を一定の信号振幅
に制御する請求項1に記載の方法。 - 【請求項06】 その都度の調節量値が、予め設定され
たビット幅のシリアル式のプロコトルで順次電子機器
(20)に伝送される請求項1に記載の方法。 - 【請求項07】 伝送された調節量値は、実際の走査距
離(D)に直接的に相当する1つの値に変換される請求
項2に記載の方法。 - 【請求項08】 伝送された調節量値は、文字数字併用
方式の値として表示される請求項1に記載の方法。 - 【請求項09】 伝送された調節量値は、グラフ形式で
表示される請求項1に記載の方法。 - 【請求項10】 調節要素(13)が、走査距離(D)
を調節するために使用される請求項2に記載の方法。 - 【請求項11】 値R2 =A2 +B2 が、出力信号
(A,B)を一定の信号振幅に制御する実際値として2
つの周期的な出力信号A=A0 * sin xt,B=B 0 * co
s xtから生成される請求項1に記載の方法。 - 【請求項12】 走査面を規定する複数の走査要素(1
4)とこれらの走査要素( 14) に対して相対運動する
測定部面を規定する1つの測定部(12)とによって位
置に依存する出力信号(A,B)を生成する位置測定装
置において、この位置測定装置が、以下の要素を有す
る: a)1つの制御装置(14)が調節量(S)を処理し、
さらにこの目的のために必要なこの調節量値が、この制
御装置によって絶え間なく算出されることによって、出
力信号(A,B)を一定の信号振幅に制御するこの制御
装置、 b)調節量値をシリアル伝送に適したデジタル信号に変
換する1つの変換装置(15)。 - 【請求項13】 位置測定装置は、走査面と測定部面と
の間の距離を規定する走査距離を調節する調節要素(1
3)をさらに有する請求項12に記載の位置測定装置。 - 【請求項14】 1つの伝送装置( 16) が、調節量値
に関するデジタル信号を1つの順次電子機器(20)に
伝送する変換装置(15)に後続配置されている請求項
12に記載の位置測定装置。 - 【請求項15】 伝送装置(16)は、同期式のシリア
ルインターフェースとして構成されている請求項14に
記載の位置測定装置。 - 【請求項16】 1つの表示装置(21) が、順次電子
機器(20) の側面上に配置されていて、この表示装置
(21) は、伝送された調節量値を表示するために使用
される請求項14に記載の位置測定装置。 - 【請求項17】 位置測定装置(10) は、誘導的な位
置測定装置として構成されていて、この位置測定装置
(10) は、走査面内に多数の送信コイルと受信コイル
(14,18)を有する請求項12に記載の位置測定装
置。 - 【請求項18】 出力信号(A,B)を一定の信号振幅
に制御する制御装置(14) が、この送信コイル(1
8)の通電量を調節量として変化させる請求項17に記
載の位置測定装置。 - 【請求項19】 出力信号(A,B)を一定の信号振幅
に制御する制御装置(14) は、増幅要素の増幅量を調
節量(S)として変化させる請求項12に記載の位置測
定装置。 - 【請求項20】 位置測定装置は、1つの光源と多数の
検出要素を有する光電的な位置測定装置として構成され
ている請求項11に記載の位置測定装置。 - 【請求項21】 出力信号を一定の信号振幅に制御する
制御装置が光源の光度を変化させるため、その光源電流
が調節量として可変である請求項20に記載の位置測定
装置。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10007255:9 | 2000-02-17 | ||
DE2000107255 DE10007255A1 (de) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | Einrichtung zum stempelseitigen Auswerfen von Werkstücken für Ein- oder Mehrstufenpressen |
DE10055488A DE10055488A1 (de) | 2000-02-17 | 2000-11-09 | Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Positionsmesseinrichtung |
DE10055488:1 | 2000-11-09 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001227987A true JP2001227987A (ja) | 2001-08-24 |
JP2001227987A5 JP2001227987A5 (ja) | 2008-02-14 |
JP4889855B2 JP4889855B2 (ja) | 2012-03-07 |
Family
ID=26004386
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000397745A Expired - Fee Related JP4889855B2 (ja) | 2000-02-17 | 2000-12-27 | 位置測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4889855B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018109612A (ja) * | 2016-12-02 | 2018-07-12 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングDr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung | 位置測定装置および位置測定装置を作動する方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61159101A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-07-18 | コルモーゲン コーポレイション | 位置および速度センサ |
JPS6312915A (ja) * | 1986-07-03 | 1988-01-20 | Yamaha Corp | エンコ−ダ用検出信号処理回路 |
JPH0236313A (ja) * | 1988-07-26 | 1990-02-06 | Fanuc Ltd | 磁気式エンコーダの隙間調整方法 |
JPH0783651A (ja) * | 1993-09-14 | 1995-03-28 | Shimadzu Corp | 走査型プローブ顕微鏡 |
EP0660209A1 (de) * | 1993-12-13 | 1995-06-28 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Vorrichtung und Verfahren zur seriellen Datenübertragung zwischen einer Positionsmesseinrichtung und einer Verarbeitungseinheit |
JPH07248202A (ja) * | 1994-03-10 | 1995-09-26 | Kajima Corp | 間隙追従型磁気式測長装置 |
JPH0914997A (ja) * | 1995-06-29 | 1997-01-17 | Mitsutoyo Corp | 光電式エンコーダ |
JPH10176935A (ja) * | 1996-10-12 | 1998-06-30 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 位置に依存した走査信号の検査のための方法及び制御装置 |
JPH10213407A (ja) * | 1996-11-29 | 1998-08-11 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 位置測定装置の走査部材 |
DE19836003A1 (de) * | 1998-08-08 | 2000-02-10 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren zur Montage einer Positionsmeßeinrichtung und Positioniermittel zur Montage |
-
2000
- 2000-12-27 JP JP2000397745A patent/JP4889855B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61159101A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-07-18 | コルモーゲン コーポレイション | 位置および速度センサ |
JPS6312915A (ja) * | 1986-07-03 | 1988-01-20 | Yamaha Corp | エンコ−ダ用検出信号処理回路 |
JPH0236313A (ja) * | 1988-07-26 | 1990-02-06 | Fanuc Ltd | 磁気式エンコーダの隙間調整方法 |
JPH0783651A (ja) * | 1993-09-14 | 1995-03-28 | Shimadzu Corp | 走査型プローブ顕微鏡 |
EP0660209A1 (de) * | 1993-12-13 | 1995-06-28 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Vorrichtung und Verfahren zur seriellen Datenübertragung zwischen einer Positionsmesseinrichtung und einer Verarbeitungseinheit |
JPH07248202A (ja) * | 1994-03-10 | 1995-09-26 | Kajima Corp | 間隙追従型磁気式測長装置 |
JPH0914997A (ja) * | 1995-06-29 | 1997-01-17 | Mitsutoyo Corp | 光電式エンコーダ |
JPH10176935A (ja) * | 1996-10-12 | 1998-06-30 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 位置に依存した走査信号の検査のための方法及び制御装置 |
JPH10213407A (ja) * | 1996-11-29 | 1998-08-11 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 位置測定装置の走査部材 |
DE19836003A1 (de) * | 1998-08-08 | 2000-02-10 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren zur Montage einer Positionsmeßeinrichtung und Positioniermittel zur Montage |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018109612A (ja) * | 2016-12-02 | 2018-07-12 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングDr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung | 位置測定装置および位置測定装置を作動する方法 |
JP7191510B2 (ja) | 2016-12-02 | 2022-12-19 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 位置測定装置および位置測定装置を作動する方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4889855B2 (ja) | 2012-03-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1619476B1 (en) | Encoder and signal adjustment method for the same | |
JP4377427B2 (ja) | 光学的エンコーダ装置、光学的エンコーダを構成する方法、及び電気機械的装置を動作させる方法 | |
US6051971A (en) | Scale reading apparatus with a magnetic sensor unit for adjusting relative phase of the quadrature pulses | |
NO842324L (no) | Automatisk, dynamisk feilkompensator | |
JP2007155698A (ja) | マルチターン用非接触式角度位置センサ | |
JP4682968B2 (ja) | エンコーダの位置情報補間回路 | |
EP0274582B1 (en) | High-accuracy position detection apparatus | |
US4972080A (en) | Signal processing apparatus for pulse encoder with A/D conversion and clocking | |
US6806461B2 (en) | Position measuring device and method for operation of a position measuring device | |
CN106871850B (zh) | 角度测量装置和用于运行角度测量装置的方法 | |
JP4334034B2 (ja) | 位置測定装置 | |
JP5402313B2 (ja) | エンコーダおよび信号処理方法 | |
JP4703059B2 (ja) | 光電式エンコーダ | |
WO2002004895A2 (en) | Optical position sensor and position determination method | |
US7020575B2 (en) | Method and device for determining position | |
JP2001227987A (ja) | 位置測定装置及び位置測定装置を作動させる方法 | |
EP1615343A1 (en) | Method of converting an analog signal into a digital signal | |
JP3528949B2 (ja) | 出力回転軸のアブソリュート位置検出装置 | |
JP2001041776A (ja) | エンコーダ | |
US7129698B2 (en) | Method and device for preparing a sensor signal of a position sensor for transmission to an evaluation unit | |
JP2005094864A (ja) | 画像形成装置 | |
JP2008008739A (ja) | 信号処理装置、速度検出装置、サーボ機構 | |
JP2012068078A (ja) | 光学式エンコーダ | |
EP1541971B1 (en) | Encoder with noise detection | |
CN209327856U (zh) | 数控机床模拟主轴做c轴使用的位置反馈装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071221 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071221 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100517 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100720 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101019 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110222 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110513 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110712 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110805 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111122 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111214 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4889855 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141222 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |