JPH10199836A - 基板洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 洗浄具を回転させる機構を工夫することによ
り、パーティクルに起因する基板の汚染を防止する。 【解決手段】 基板に洗浄液を供給しつつ洗浄具を回転
させて基板を洗浄する基板洗浄装置において、基端部か
ら水平方向に延びた部分を屈曲形成し、先端部を下方に
向けてなる外筒１７と、外筒１７の内部に配設された内
筒１９と、内筒１９の内部に配設され洗浄液を供給する
供給配管３１とを備えるとともに、外筒１７の屈曲部位
をフレキシブルジョイント１７ｃで構成するとともに、
外筒１７を基端部側で筒軸Ｐ１周りに回転させる電動モ
ータ２７を配設し、外筒１７の先端部に洗浄具を連動連
結させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ、フ
ォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基
板、光ディスク用の基板など（以下、単に基板と称す
る）に対して純水などの洗浄液を供給して洗浄処理する
ための基板洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の装置として、例えば、図
６に示すようなものが挙げられる。この装置は、基板Ｗ
を水平姿勢で保持するスピンチャック１００と、スピン
チャック１００を鉛直軸周りで回転させるモータ１０１
と、洗浄液の飛散を防止するためにスピンチャック１０
０の周囲を囲うように配設された飛散防止カップ１０２
と、基板Ｗの表面に洗浄液を供給するノズル１０３と、
基端部を中心にして揺動駆動される洗浄アーム１０４と
を備えている。洗浄アーム１０４はその先端部に、ナイ
ロンブラシなどの洗浄具１０５を軸受けなどを介して回
転自在に取り付けられており、洗浄具１０５はその上方
に配設されたモータ１０６によって鉛直軸周りで回転駆
動される。このように構成された装置では、モータ１０
１によって基板Ｗを低速回転させつつ洗浄液をノズル１
３から供給し、次いで、モータ１０６を駆動して洗浄具
１０５を低速回転させた状態で、洗浄アーム１０４を下
降させて洗浄具１０５を基板Ｗの表面に近接あるいは当
接させて洗浄を行うようになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成の基板洗浄装置では、洗浄具１０５を回転自在
に支持している軸受けや、洗浄具１０５を回転させるモ
ータ１０６が基板Ｗの上方に位置しているので、これら
から摩損により発生するパーティクルが基板Ｗの上に落
下して、基板Ｗを汚染するという問題がある。

【０００４】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、洗浄具を回転させる機構を工夫するこ
とにより、パーティクルに起因する基板の汚染を防止す
ることができる基板洗浄装置を提供することを目的とす
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の基板洗浄装置は、基板に洗浄液を
供給して基板を洗浄する基板洗浄装置において、基端部
から水平方向に延びた部分を屈曲形成し、先端部を下方
に向けている外筒と、前記外筒の内部に配設され、基端
部から水平方向に延びた部分を屈曲形成し、先端部を下
方に向けている内筒と、前記内筒の内部に配設され、洗
浄液を供給する供給配管とを備えるとともに、前記外筒
または前記内筒のいずれか一方の屈曲部位をフレキシブ
ルジョイントで構成するとともに、その筒を、基端部側
で筒軸周りに回転させる駆動手段を配設し、その筒の先
端部に洗浄具を連動連結させて、前記供給配管からの洗
浄液を前記洗浄具を通して基板に供給するようにしたこ
とを特徴とするものである。

【０００６】また、請求項２に記載の基板洗浄装置は、
請求項１に記載の基板洗浄装置において、前記外筒の屈
曲部位をフレキシブルジョイントで構成していることを
特徴とするものである。

【０００７】また、請求項３に記載の基板洗浄装置は、
請求項２に記載の基板洗浄装置において、前記供給配管
の屈曲部位をフレキシブルジョイントで構成するととも
に、前記供給配管を前記外筒に連動連結させたことを特
徴とするものである。

【０００８】また、請求項４に記載の基板洗浄装置は、
請求項１ないし請求項３に記載の基板洗浄装置におい
て、前記洗浄具は多孔質弾性体を備えたことを特徴とす
るものである。

【０００９】

【作用】請求項１に記載の発明によれば、外筒または内
筒のいずれか一方の屈曲部位をフレキシブルジョイント
で構成しているので、その筒を基端部側で駆動手段によ
り筒軸周りに回転させることによって、下方に向けられ
ている先端部も筒軸周りに回転させることができる。内
筒の内部に配設されている供給配管からの洗浄液は、筒
軸周りに回転される筒の先端部に連動連結されている洗
浄具を通して基板に供給される。摩損を生じる駆動手段
は筒の基端部側に配設されているので、そこから生じる
パーティクルが基板上に落下することを防止でき、基板
の上方に位置する洗浄具は軸受けを介することなく回転
する筒に連動連結されているので、パーティクルが発生
することを防止できる。

【００１０】また、請求項２に記載の発明によれば、外
筒の屈曲部位をフレキシブルジョイントで構成している
ので、外筒を基端部側で駆動手段により筒軸周りに回転
させることにより下方に向けられている外筒の先端部も
筒軸周りに回転させることができる。供給配管からの洗
浄液は、外筒の先端部に連動連結されている洗浄具を通
して基板に供給される。摩損を生じる駆動手段は外筒の
基端部側に配設されているので、そこから生じるパーテ
ィクルが基板上に落下することを防止できる。また、基
板の上方に位置する洗浄具は軸受けを介することなく外
筒に連動連結されているので、パーティクルが生じるこ
とを防止できる。さらに、洗浄具に洗浄液を供給する供
給配管と洗浄具との摺動面は、外筒によって閉塞されて
いるので、この部分から生じるパーティクルが基板上に
落下することを防止できる。

【００１１】また、請求項３に記載の発明によれば、内
筒の内部に配設されている供給配管の屈曲部位をもフレ
キシブルジョイントで構成するとともに供給配管も外筒
に連動連結させているので、供給配管を洗浄具とともに
回転させることができる。したがって、回転する洗浄具
に洗浄液を供給する経路において摺動部分が生じること
がなく、パーティクルの発生を防止することができる。

【００１２】また、請求項４に記載の発明によれば、洗
浄具の多孔質弾性体により、基板面に付着したパーティ
クルを多数の微細な孔に取り込んで除去することができ
るので、基板に傷が生じることを防止できるとともに、
材質に弾性力があるため磨耗に強く洗浄具の耐久性を高
めることができる。したがって、長期間にわたって洗浄
具を使用することができる。このような多孔質弾性体と
しては、ポリウレタン，ＮＢＲ（ニトリルブタジエンゴ
ム），ＥＰＤＭ（エチレンプロピレンゴム）などが挙げ
られる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施例を説明する。 ＜第１実施例＞図１は実施例に係る基板洗浄装置の概略
構成を示す図であり、図２はその洗浄アームを示す縦断
面図である。

【００１４】図中、符号１は、真空吸引によって基板Ｗ
を水平姿勢で吸着保持するスピンチャックである。この
スピンチャック１は、回転軸２を介してモータ３によっ
て鉛直軸周りに回転駆動されるようになっているととも
に、洗浄液が飛散することを防止するための飛散防止カ
ップ５によって周囲を囲われている。飛散防止カップ５
の側方には、揺動自在かつ昇降自在に構成された洗浄ア
ーム１１が配備されている。

【００１５】なお、この装置では基板Ｗを真空吸引によ
って吸着保持するスピンチャック１を採用しているが、
これに代えて例えば、基板Ｗの周縁部および下面を当接
支持する支持部材により水平姿勢に保持するものを採用
してもよい。

【００１６】洗浄アーム１１は、図示しない揺動駆動手
段により鉛直軸周りに回転されるとともに、図示しない
昇降駆動手段により昇降される揺動軸１３を下面に配設
された支持体１５によって水平に支持されている。外筒
１７は、筒軸Ｐ１が水平方向に沿うように配設された水
平外筒１７ａと、筒軸Ｐ２が鉛直方向に沿うように配設
された鉛直外筒１７ｂと、水平外筒１７ａと鉛直外筒１
７ｂとの延長上であって、通常屈曲形成される部位に配
設されたフレキシブルジョイント１７ｃとから構成され
ている。フレキシブルジョイント１７ｃは、水平外筒１
７ａと鉛直外筒１７ｂとを連動連結するものである。外
筒１７の内部には、筒軸Ｐ１に沿って配設された水平内
筒１９ａと、筒軸Ｐ２に沿って配設された鉛直内筒１９
ｂと、これらを連結した屈曲内筒１９ｃとから構成され
ている内筒１９が配設されている。内筒１９は、その基
端部側を、支持体１５内に配設されたベース２１に固着
されて水平に保持されている。水平内筒１９ａの支持体
１５側と先端部側の外周面には、環状のベアリング２３
が取り付けられており、水平外筒１７ａを水平方向の筒
軸Ｐ１周りで回転可能に支持している。また、鉛直内筒
１９ｂの上側外周面には、同様に環状のベアリング２３
が取り付けられ、鉛直外筒１７ｂを鉛直方向の筒軸Ｐ２
周りで回転可能に支持している。

【００１７】水平外筒１７ａの基端部側の外周面には、
その全周にわたって歯車２５が取り付けられており、筒
軸Ｐ１に平行な軸芯Ｐ３周りに電動モータ２７で回転駆
動される駆動歯車２９と咬合している。電動モータ２７
は内筒１９が固着されているベース２１に取り付けられ
ており、これを回転駆動すると駆動歯車２９と歯車２５
とを介して水平外筒１７ａが筒軸Ｐ１周りに回転するよ
うになっている。なお、歯車２５と、電動モータ２７
と、駆動歯車２９とが本発明における駆動手段に相当す
るものである。また、咬合部から発生したパーティクル
が、支持体１５の外部に出てクリーンルーム内に拡散し
ないようにそれを吸引排出する機構を設けることが好ま
しい。

【００１８】内筒１９の内部には、筒軸Ｐ１に沿って配
設された水平配管３１ａと、筒軸Ｐ２に沿って配設され
た鉛直配管３１ｂと、水平配管３１ａと鉛直配管３１ｂ
との延長上であって、通常屈曲形成される部位に配設さ
れたフレキシブルジョイント３１ｃとから構成された供
給配管３１が配設されている。フレキシブルジョイント
３１ｃは、水平配管３１ａと鉛直配管３１ｂとを連動連
結するものである。水平配管３１ａの基端部は、純水な
どの洗浄液を供給する図示しない供給源に連通した管継
手３３の開口３３ａに緩挿されているとともに、開口３
３ａと水平配管３１ａの隙間から漏れ出る洗浄液が水平
配管３１ａの先端部側へ伝ってゆくことを防止するため
の液止め部材３５が開口３３ａに近い部位に形成されて
いる。なお、開口３３ａより漏れ出た洗浄液を回収する
ように排液手段を支持体１５内に設けておくことが好ま
しい。鉛直配管３１ｂは、水平配管３１ａと同径の上部
３１ｂ₁ と、この上部３１ｂ₁ より大径であって、鉛直
内筒１９ｂの内径よりやや小さな外径を有する胴部３１
ｂ₂ とを有する縦断面凸状に形成されている。なお、こ
の実施例では、鉛直配管３１ｂを、上述した鉛直外筒１
７ｂとともに一体的に構成しているが、その胴部３１ｂ
₂ と鉛直外筒１７ｂとを先端部１７ｂ₁ で連結して連動
させるように構成してもよい。胴部３１ｂ₂ の先端部１
７ｂ₁ には、後述する洗浄具４１を取り付けるための雌
ネジ部３９が形成されており、管継手３３を介して供給
された洗浄液を洗浄具４１に供給するようになってい
る。

【００１９】水平内筒１９ａの内周面と水平配管３１ａ
の外周面の間には、環状のベアリング３７が取り付けら
れており、水平配管３１ａを水平方向の筒軸Ｐ１周りで
回転可能に支持している。また、鉛直配管３１ｂの上部
３１ｂ₁ 外周面には、同様に環状のベアリング３７が取
り付けられ、鉛直配管３１ｂを鉛直方向の筒軸Ｐ２周り
で回転可能に支持している。電動モータ２７を回転駆動
（例えば、１ｒｐｍ程度の低速）すると、水平外筒１７
ａが筒軸Ｐ１周りに回転し、この回転力がフレキシブル
ジョイント１７ｃを介して鉛直外筒１７ｂに伝達し、鉛
直外筒１７ｂを筒軸Ｐ２周りに回転する。鉛直外筒１７
ｂが回転すると、鉛直外筒１７ｂと一体的に構成されて
いる鉛直配管３１ｂおよび洗浄具４１も筒軸Ｐ２周りに
回転し、この回転力がフレキシブルジョイント３１ｃを
介して水平配管３１ａに伝達し、水平配管３１ａを筒軸
Ｐ１周りに回転するようになっている。つまり、非回転
の内筒１９によって外筒１７および供給配管３１が支持
され、その外周で外筒１７が回転し、その内周で供給配
管３１が回転するようになっている。この回転の際に
は、歯車２５および駆動歯車２９の咬合部と、ベアリン
グ２３と、ベアリング３７と、鉛直配管３１ｂの胴部３
１ｂ₂ の外周面における摺動部において摩損が生じてパ
ーティクルが発生するが、咬合部は基板Ｗ上から側方に
離れた支持体１５内に配設されていること、摺動部は外
筒１７により閉塞されていることから発生したパーティ
クルが基板Ｗ上に落下することを防止できる。したがっ
て、パーティクルに起因する基板Ｗの汚染を防止するこ
とができる。

【００２０】次に、図３の縦断面図を参照して外筒１７
および供給配管３１とともに回転する洗浄具４１につい
て説明する。洗浄具４１は、凸状の支持部４１ａと、支
持部４１ａの胴部４１ａ₁ の側面に嵌め込まれた環状の
枠４１ｂと、枠４１ｂの下部内周面に形成された凹部４
１ｂ ₁ と胴部４１ａ₁ の外周面で挟持されたシート状の
洗浄部材４１ｃとから構成されている。支持部４１ａの
上部４１ａ₂ は、その外周面に、鉛直配管３１ｂの雌ネ
ジ部３９に螺合される雄ネジ部４１ａ₃ が形成され、そ
の内部に、鉛直配管３１ｂに連通する流路４１ａ₄ が形
成されている。胴部４１ａ₁ は、その内部に、流路４１
ａ₄ に連通した液室４１ｄが形成されており、その底面
に、供給孔４１ｄ₁ が形成されている。このように構成
された洗浄具４１は、雄ネジ部４１ａ₃を鉛直配管３１
ｂの雌ネジ部３９に螺合させて取り付けられ、外筒１７
および供給配管３１とともに、いずれの部分とも摺動す
ることなく筒軸Ｐ２周りに回転する。

【００２１】また、上記の洗浄部材４１ｃとしては、多
孔質弾性体が好ましく、例えば、ポリウレタン，ＮＢＲ
（ニトリルブタジエンゴム），ＥＰＤＭ（エチレンプロ
ピレンゴム）などが好ましい。

【００２２】流路４１ａ₄ から流入した洗浄液は、液室
４１ｄに入り供給孔４１ｄ₁ を通して洗浄部材４１ｃに
達する。洗浄部材４１ｃは、多孔質弾性体であるので洗
浄液が浸透し、基板Ｗが位置する下面側に洗浄液を供給
する。この洗浄具４１は、その洗浄部材３１ｃが多孔質
弾性体で構成されているため、基板Ｗ面に付着している
汚れを多数の微細な孔に取り込んで除去することがで
き、基板Ｗに傷が生じることを防止できる。さらに、弾
性力があるため磨耗に強く洗浄具４１の耐久性を高める
ことができ、長期間にわたって洗浄具４１を使用できる
こと、上記のように構成しているので基板Ｗをスピンチ
ャック１に支持させていない状態で洗浄液を供給すれ
ば、洗浄部材４１ｃの多数の孔に取り込んだ汚れを排出
することができて清浄に保つことが可能であるので、ラ
ンニングコストを抑制することができる。また、洗浄部
材４１ｃを清浄に保つことができるので、順次に基板Ｗ
を洗浄処理する際の相互汚染を防止することができる。
また、外筒１７および供給配管３１を回転させる電動モ
ータ２７により洗浄具４１を回転させるので、洗浄具４
１を軸受けを介することなく回転させることができ、基
板Ｗの上方に位置する洗浄具４１付近にパーティクルが
発生することがない。

【００２３】上述したように洗浄アーム１１の外筒１７
の基端部側を電動モータ２７で筒軸Ｐ１周りに回転させ
ることにより、鉛直外筒１７ｂを筒軸Ｐ２周りに回転さ
せることができ、洗浄具４１をその軸周りに回転させる
ことができる。したがって、図１中に二点鎖線で示すよ
うに、図示しない昇降駆動手段により洗浄アーム１１を
下降させ、洗浄具４１から洗浄液を供給しつつ回転する
基板Ｗの表面に洗浄部材４１ｃを近接あるいは当接させ
ることにより、基板Ｗの表面の汚れを除去することがで
きる。この際には、上述したように咬合部および摺動部
からのパーティクルが基板Ｗに落下しないこと、および
洗浄具４１の取り付け部分からはパーティクルが発生し
ないことから、基板Ｗが汚染されることを防止すること
ができる。また、この装置では、洗浄液を供給する供給
配管３１を洗浄アーム１１と一体化しているので、従来
例のように洗浄液を基板Ｗに供給するためのノズル１０
３（図６）を別体に設けた構成に比較して構成を簡易化
することができる。また、従来例では、ノズル１０３
（図６）から洗浄液が供給される位置を調整する必要が
あるが、上記のような構成では洗浄具４１がある位置に
必ず洗浄液が供給されるので、そのような調整が不要と
なってメンテナンスを簡略化することが可能である。

【００２４】なお、洗浄具としては、上記のものに代え
て図４に示す洗浄具５１を採用してもよい。すなわち、
洗浄具５１は、凸状の支持部５１ａと、支持部５１ａの
胴部５１ａ ₁ の側面に嵌め込まれた環状の枠５１ｂと、
枠５１ｂの下部内周面に形成された凹部５１ｂ₁ と胴部
５１ａ₁ の外周面で挟持されたシート状の洗浄部材５１
ｃと、枠５１ｂの外周面に取り付けられた案内枠５１ｄ
とから構成されている。支持部５１ａの上部５１ａ
₂ は、上記洗浄具４１と同様に雄ネジ部５１ａ₃ が形成
され、その内部に、流路５１ａ₄ が形成されている。胴
部５１ａ₁ は、その内部に、流路５１ａ₄ に連通した縦
断面台形状の液室５１ｅが形成され、その側面に供給孔
５１ｅ₁ が形成されている。洗浄部材５１ｃとしては、
上記の洗浄部材４１ｃと同様に多孔質弾性体であること
が好ましい。

【００２５】このように構成された洗浄具５１は、上記
洗浄具４１と同様にして取り付けられ、外筒１７および
供給配管３１とともに筒軸Ｐ２周りに回転する。流路５
１ａ ₄ から流入した洗浄液は、液室５１ｅを経て供給孔
５１ｅ₁ を通り、案内枠５１ｄにより下方に案内されて
基板Ｗに供給される。この洗浄具５１は、その洗浄部材
３１ｃが多孔質弾性体で構成されているため、上記洗浄
具４１と同様、洗浄時に基板Ｗに傷が生じることを防止
できる。さらに、弾性力があるため磨耗に強く洗浄具５
１の耐久性を高めることができ、長期間にわたって洗浄
具５１を使用することができるので、ランニングコスト
を抑制することができる。

【００２６】＜第２実施例＞次に、図５の縦断面図を参
照して、第２実施例に係る基板洗浄装置について説明す
る。なお、全体構成は、図１に示した第１実施例のもの
とほぼ同様であるので、図示および詳細な説明について
は省略する。上述した第１実施例では、その洗浄アーム
１１の外筒１７および供給配管３１が回転して内筒１９
は非回転であったが、本実施例で説明する洗浄アーム１
１は内筒だけが回転する点で相違している。

【００２７】外筒６２は、筒軸Ｐ１が水平方向に沿うよ
うに配設された水平外筒６２ａと、筒軸Ｐ２が鉛直方向
に沿うように配設された鉛直外筒６２ｂと、これらを連
結した屈曲外筒６２ｃとから構成されている。外筒６２
の内部には、筒軸Ｐ１に沿って配設された水平内筒６３
ａと、筒軸Ｐ２に沿って配設された鉛直内筒６３ｂと、
通常屈曲形成される部位に配設されたフレキシブルジョ
イント６３ｃとから構成されている内筒６３が配設され
ている。外筒６２は、その基端部側を、支持体１５内の
ベース２１に固着されている。水平外筒６２ａの内周面
には、環状のベアリング２３が取り付けられており、水
平内筒６３ａを水平方向の筒軸Ｐ１周りで回転可能に支
持している。また、鉛直外筒６２ｂの上部内周面には、
同様に環状のベアリング２３が取り付けられ、鉛直内筒
６３ｂを鉛直方向の筒軸Ｐ２周りで回転可能に支持して
いる。

【００２８】水平内筒６３ａの基端部側の外周面には、
歯車２５が取り付けられており、電動モータ２７で回転
駆動される駆動歯車２９と咬合している。電動モータ２
７を回転駆動すると水平内筒６３ａが筒軸Ｐ１周りに回
転するようになっている。

【００２９】内筒６３の内部には、筒軸Ｐ１に沿って配
設された水平配管６４ａと、筒軸Ｐ２に沿って配設され
た鉛直配管６４ｂと、これらを連結する屈曲配管６４ｃ
とから構成された供給配管６４が配設されている。水平
配管６４ａの基端部は、洗浄液を供給する図示しない供
給源に連通している。鉛直配管６４ｂは、その下方に向
けられた先端部６４ｂ₁ が先絞り傾斜状に形成さてお
り、鉛直内筒６３ｂの凹部６３ｂ₁ に形成されたすり鉢
部６３ｂ₂ と近接するように取り付けられている。この
部分からは洗浄液がわずかに漏れ出すが、鉛直内筒６３
ｂの凹部６３ｂ₁内に貯留するので悪影響は生じない。
水平配管６４ａの外周面と水平内筒６３ａの内周面の間
には、環状のベアリング３７が取り付けられており、水
平内筒６３ａを水平方向の筒軸Ｐ１周りで回転可能に支
持している。

【００３０】鉛直内筒６３ｂは、その下方に向けられた
先端部６３ｂ₃ に、上記の洗浄具４１（５１）を取り付
けるための雌ネジ部３９が形成されているとともに、そ
の外周面が非回転の鉛直外筒６２ｂの先端面に形成され
た開口６２ｂ₁ と干渉して摺動することのないように切
り欠き部６３ｂ₄ が形成されている。また、鉛直内筒６
３ｂの先端部６３ｂ₃ は、回転する洗浄具４１（５１）
が鉛直外筒６２ｂの先端面と摺動しないように、鉛直外
筒６２ｂの開口６２ｂ₁ から下方に突出するようにされ
ている。

【００３１】電動モータ２７を回転駆動すると、水平内
筒６３ａが筒軸Ｐ１周りに回転し、この回転力がフレキ
シブルジョイント６３ｃを介して鉛直内筒６３ｂに伝達
し、鉛直内筒６３ｂを筒軸Ｐ２周りに回転する。鉛直内
筒６３ｂが回転すると、その先端部６３ｂ₃ に取り付け
られた洗浄具４１（５１）も筒軸Ｐ２周りに回転するよ
うになっている。つまり、非回転の外筒６２および非回
転の供給配管６４によって内筒６３が回動自在に支持さ
れ、それらの間で内筒６３が回転するようになってい
る。この回転の際には、歯車２５および駆動歯車２９の
咬合部と、ベアリング２３とベアリング３７における摺
動部とにおいて摩損が生じてパーティクルが発生する
が、咬合部は基板Ｗ上から側方に離れた支持体１５内に
配設されていること、摺動部は外筒６３によりほぼ閉塞
されていることから発生したパーティクルが基板Ｗ上に
落下することを防止できる。したがって、上述した第１
実施例と同様に、パーティクルに起因する基板Ｗの汚染
を防止することができる。

【００３２】なお、上記の第２実施例では、内筒６３だ
けが回転するように構成しているが、上記の第１実施例
と同様に、内筒６３とともに供給配管６４も回転するよ
うに構成してもよい。その場合には、供給配管６４の屈
曲配管６４ｃをフレキシブルジョイントで置き換え、さ
らに鉛直配管６４ｂと鉛直内筒６３ｂとを連動連結させ
ればよい。

【００３３】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の発明によれば、摩損を生じる駆動手段を筒の
基端部側に配設しているので、そこから生じるパーティ
クルが基板上に落下することを防止でき、洗浄具を、軸
受けなどを介することなく回転する筒に連動連結させて
いるので、洗浄具付近からパーティクルが生じることを
防止できる。したがって、パーティクルに起因する基板
汚染を防止することができる。また、洗浄液を供給する
ノズルを一体化しているので、装置構成を簡易化するこ
とができる。

【００３４】また、請求項２に記載の発明によれば、摩
損を生じる駆動手段を外筒の基端部側に配設しているの
で、そこから生じるパーティクルが基板上に落下するこ
とを防止でき、洗浄具を、軸受けなどを介することなく
回転する外筒に連動連結させているので、洗浄具付近か
らパーティクルが生じることを防止できる。したがっ
て、パーティクルに起因する基板汚染を防止することが
できる。さらに、供給配管と洗浄具との摺動面は、外筒
により閉塞されているので、この部分から生じるパーテ
ィクルが基板上に落下することを防止できる。また、洗
浄液を供給するノズルを一体化しているので、装置構成
を簡易化することができる。

【００３５】また、請求項３に記載の発明によれば、供
給配管を洗浄具とともに回転させることができるので、
洗浄液を供給する経路において摺動部分が生じることが
なく、その経路におけるパーティクルの発生を防止でき
る。

【００３６】また、請求項４に記載の発明によれば、基
板面に付着したパーティクルを多孔質弾性体の多数の微
細な孔に取り込んで除去することができるので、基板に
傷が生じることを防止できるとともに、磨耗に強く洗浄
具の耐久性を高めることができる。したがって、洗浄具
を長期間にわたって使用できるので、ランニングコスト
を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例に係る基板洗浄装置の概略構成を示
す図である。

【図２】洗浄アームの縦断面図である。

【図３】洗浄具の縦断面図である。

【図４】洗浄具の変形例を示す縦断面図である。

【図５】第２実施例に係る基板洗浄装置の洗浄アームを
示す縦断面図である。

【図６】従来例に係る基板洗浄装置の概略構成図であ
る。

【符号の説明】

Ｗ … 基板 １１ … 洗浄アーム １７ … 外筒 １７ｃ … フレキシブルジョイント １９ … 内筒 ３１ … 供給配管 ３１ｃ … フレキシブルジョイント ２５ … 歯車（駆動手段） ２７ … 電動モータ（駆動手段） ２９ … 駆動歯車（駆動手段） ４１，５１ … 洗浄具 ４１ｃ，５１ｃ … 洗浄部材（多孔質弾性体） ６２ … 外筒 ６３ … 内筒 ６３ｃ … フレキシブルジョイント ６４ … 供給配管

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板に洗浄液を供給して基板を洗浄する
   基板洗浄装置において、 基端部から水平方向に延びた部分を屈曲形成し、先端部
   を下方に向けている外筒と、 前記外筒の内部に配設され、基端部から水平方向に延び
   た部分を屈曲形成し、先端部を下方に向けている内筒
   と、 前記内筒の内部に配設され、洗浄液を供給する供給配管
   とを備えるとともに、 前記外筒または前記内筒のいずれか一方の屈曲部位をフ
   レキシブルジョイントで構成するとともに、その筒を、
   基端部側で筒軸周りに回転させる駆動手段を配設し、そ
   の筒の先端部に洗浄具を連動連結させて、前記供給配管
   からの洗浄液を前記洗浄具を通して基板に供給するよう
   にしたことを特徴とする基板洗浄装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の基板洗浄装置におい
   て、前記外筒の屈曲部位をフレキシブルジョイントで構
   成していることを特徴とする基板洗浄装置。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の基板洗浄装置におい
   て、前記供給配管の屈曲部位をフレキシブルジョイント
   で構成するとともに、前記供給配管を前記外筒に連動連
   結させたことを特徴とする基板洗浄装置。
4. 【請求項４】 請求項１ないし請求項３に記載の基板洗
   浄装置において、前記洗浄具は多孔質弾性体を備えたこ
   とを特徴とする基板洗浄装置。