JPH08164370A - 多数の微細な孔を有する板材の洗浄装置及び洗浄方法、並びに真空チャックのチャックプレートの洗浄装置及び洗浄方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 チャックプレート上に付着した異物を、チャ
ックプレートの傷付きを防止しつつ確実にかつ簡単に除
去することができる真空チャックのチャックプレートの
洗浄方法を提供すること。 【構成】 この真空チャック１では、真空吸引機構４を
有するチャック本体２の上部に、多数の微細な孔を有す
るチャックプレート３が固定されている。チャックプレ
ート３の洗浄は次のようにして行われる。まず、チャッ
クプレート３上に洗浄液１９を供給する。この状態で、
真空吸引機構４を構成するイジェクタ１５による吸引を
行う。すると、チャックプレート３上に付着した異物２
０が洗浄液１９とともに真空吸引機構４側に吸引され
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、多数の微細な孔を有す
る板材の洗浄装置及び洗浄方法、並びに真空チャックの
チャックプレートの洗浄装置及び洗浄方法に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来の半導体製造プロセスにおいては、
スライシングによって切り出されたウェハに対するエッ
チング工程や薄膜形成工程などを経ることによって、最
終製品であるＩＣチップが作製されている。例えば上記
のエッチング工程では、まずスピンコート法などによっ
てウェハ表面にフォトレジストが塗布され、次いでその
フォトレジストを固化させた後に露光・現像が行われ
る。

【０００３】スピンコート等を行う場合、ウェハＷは、
チャックプレート３１やチャック本体３２等を備える図
３（ａ）のような真空チャック３０の上面に固定され
る。このチャックプレート３１には、通常、機械加工等
によって多数の微細な孔が形成されている。そして、こ
のような真空チャック３０上でフォトレジストが形成さ
れた後、ウェハＷは露光機に移送される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、チャックプ
レート３１の上面には、図３（ｂ）に示されるように、
スピンコート時におけるフォトレジストの液垂れ等に起
因して、異物３３が付着しやすい。このような異物３３
がある程度大きくなると、異物３３がチャックプレート
３１の上面から剥離し、ウェハＷの裏面に転移すること
がある。

【０００５】すると、異物３３がウェハＷとともに露光
機に持ち込まれ、露光ステージ上にウェハＷを確実に載
置することができなくなる。その結果、焦点距離に狂い
が生じるなどしてフォトレジストの露光精度が悪化す
る。このため、従来の溝や多数個の機械加工孔等で形成
されるタイプのチャックプレート３１においては、ウェ
ハＷと接触する部分の面積が大きいことから、チャック
プレート３１を溶剤等に浸漬し、ブラシ等を用いてその
表面を定期的に洗浄する必要があった。

【０００６】しかし、上記のようなブラシ等による洗浄
方法の場合、作業が煩雑であるばかりでなく、ブラシ等
との物理的接触によってチャックプレート３１の吸着面
に傷が付きやすかった。このため、チャックプレート３
１の吸着精度の悪化やチャックプレート３１の短命化な
どの問題があった。また、ブラシ等による洗浄を行う際
のチャックプレート３１の取り外しや取り付け自体も煩
雑であった。

【０００７】本発明は上記の課題を解決するためなされ
たものであり、第１の目的は、多数の微細な孔を有する
板材上に付着した異物を、同板材を傷付けることなく確
実にかつ簡単に除去することができる板材の洗浄装置及
び洗浄方法を提供することにある。

【０００８】本発明の第２の目的は、チャックプレート
上に付着した異物を、同チャックプレートを傷付けるこ
となく確実にかつ簡単に除去することができる真空チャ
ックのチャックプレートの洗浄装置及びその洗浄方法を
提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明は、多数の微細な孔を有す
る板材を洗浄液を用いて洗浄する装置であって、前記板
材を固定するための固定部と、主として液体を吸引する
ための液体吸引手段と、前記固定部と前記液体吸引手段
とを連通させる排出管とを備えた、多数の微細な孔を有
する板材の洗浄装置をその要旨とする。

【００１０】請求項２に記載の発明は、多数の微細な孔
を有する板材を洗浄液を用いて洗浄する方法であって、
前記板材を固定するための固定部を有する真空吸引機構
の上面に前記板材を固定するとともに、その板材上に洗
浄液を供給した状態で前記真空吸引機構による吸引を行
うことによって、前記板材上に付着した異物を前記洗浄
液とともに前記真空吸引機構側に吸引する、多数の微細
な孔を有する板材の洗浄方法をその要旨とする。

【００１１】請求項３に記載の発明は、真空吸引機構
と、多数の微細な孔を有するチャックプレートをその上
部に固定するためのチャック本体と、前記真空吸引機構
と前記チャック本体とを連通させる排出管とを備えた真
空チャックの前記チャックプレートを洗浄液を用いて洗
浄する装置において、前記真空吸引機構は、気体を吸引
するための真空ポンプと、主として液体を吸引するため
の液体吸引手段と、前記排出管の経路上にて前記真空ポ
ンプ及び前記液体吸引手段の切り替えを行うバルブとを
備える真空チャックのチャックプレートの洗浄装置をそ
の要旨とする。

【００１２】請求項４に記載の発明は、請求項３に記載
の発明において、前記液体吸引手段はイジェクタであ
り、前記イジェクタの上流側には幅広空間が設けられて
いることをその要旨とする。

【００１３】請求項５に記載の発明は、請求項３または
４において、前記チャックプレートの主要部は板状の多
孔質体であることをその要旨とする。請求項６に記載の
発明は、請求項５において、前記板状の多孔質体は撥水
性を有する吸着面を備えていることをその要旨とする。

【００１４】請求項７に記載の発明は、請求項６におい
て、前記板状の多孔質体は焼結樹脂製であることをその
要旨とする。請求項８に記載の発明は、請求項６におい
て、前記板状の多孔質体は焼結三ふっ化樹脂製であるこ
とをその要旨とする。

【００１５】請求項９に記載の発明は、真空吸引機構
と、多数の微細な孔を有するチャックプレートをその上
部に固定するためのチャック本体と、前記真空吸引機構
と前記チャック本体とを連通させる排出管とを備えた真
空チャックの前記チャックプレートを洗浄液を用いて洗
浄する方法であって、前記チャック本体に固定されてい
る前記チャックプレート上に前記洗浄液を供給した状態
で前記真空吸引機構による吸引を行うことによって、前
記チャックプレート上に付着した異物を前記洗浄液とと
もに前記真空吸引機構側に吸引する真空チャックのチャ
ックプレートの洗浄方法をその要旨とする。

【００１６】

【作用】請求項１に記載の発明によると、固定部に固定
された板材上に洗浄液を供給した状態で液体吸引手段に
よる吸引を行うと、同洗浄液が板材の微細な孔、固定部
及び排出管を介して液体吸引手段側に吸引される。その
際、板材上に付着した異物も洗浄液とともに吸引され、
結果として板材上から異物が除去される。このため、ブ
ラシ等のような洗浄器具との物理的接触を伴うことなく
板材が洗浄される。

【００１７】請求項２に記載の発明によると、固定部に
固定された板材上に洗浄液を供給した状態で真空吸引機
構による吸引を行うと、同洗浄液が板材の微細な孔、固
定部及び排出管を介して真空吸引機構側に吸引される。
その際、板材上に付着した異物も洗浄液とともに吸引さ
れ、結果として板材上から異物が除去される。このた
め、ブラシ等のような洗浄器具との物理的接触を伴うこ
となく板材が洗浄される。

【００１８】請求項３〜７に記載の発明によると、排出
管の経路上のバルブを切り替えることによって、真空チ
ャックの使用時には真空ポンプ側とチャックプレート側
とが連通され、非使用時（洗浄時）には液体吸引手段側
とチャックプレート側とが連通される。洗浄時において
は、チャック本体に固定されたチャックプレート上に洗
浄液を供給した状態で、液体吸引手段による吸引が行わ
れる。すると、同洗浄液がチャックプレートの微細な
孔、チャック本体及び排出管を介して液体吸引手段側に
吸引される。その際、チャックプレート上に付着した異
物も洗浄液とともに吸引され、結果としてチャックプレ
ート上から異物が除去される。従って、ブラシ等のよう
な洗浄器具との物理的接触を伴うことなく、チャックプ
レートが洗浄される。

【００１９】特に請求項５，６，７に記載の発明による
と、チャックプレートの上面に洗浄液を供給した場合、
多孔質体の吸着面の持つ撥水性に起因して洗浄液が弾か
れる。このため、表面張力の作用によって洗浄液の液面
が盛り上がりやすくなる。

【００２０】請求項９に記載の発明によると、チャック
本体に固定されたチャックプレート上に洗浄液を供給し
た状態で真空吸引機構による吸引が行われる。すると、
同洗浄液がチャックプレートの微細な孔、チャック本体
及び排出管を介して真空吸引機構側に吸引される。その
際、チャックプレート上に付着した異物も洗浄液ととも
に吸引され、結果としてチャックプレート上から異物が
除去される。従って、ブラシ等のような洗浄器具との物
理的接触を伴うことなく、チャックプレートが洗浄され
る。

【００２１】

【実施例】以下、本発明をスピンコータの一部を構成す
る真空チャック１に具体化した一実施例を図１，図２に
基づき詳細に説明する。

【００２２】図１に概略的に示されるように、この真空
チャック１は自己洗浄機能を有する真空チャック１であ
り、主としてチャック本体２と、チャックプレート３
と、真空吸引機構４とによって構成されている。

【００２３】本実施例におけるチャック本体２は、有底
円筒状に形成されており、中空状をした回転軸５の上端
に固定されている。このチャック本体２の底部中央に
は、回転軸５の内部空間に連通する排出口６が形成され
ている。また、チャック本体２の上面には、円板状かつ
前記チャック本体２と同径のチャックプレート支持板７
が固定されている。このチャックプレート支持板７とチ
ャック本体２との接合面には、図示しない環状のパッキ
ングが介在されている。そして、チャック本体２とチャ
ックプレート支持板７とによって、１つのチャンバ８が
区画されている。チャックプレート支持板７の上面に
は、複数本の環状溝９が同心円上に形成されている。各
環状溝９とチャンバ８とは、それぞれ連通孔１０によっ
て連結されている。なお、チャック本体２及び回転軸５
は、図示しない回転駆動手段の駆動力によって一体的に
回転する。

【００２４】本実施例におけるチャックプレート３は、
円板状をした焼結三ふっ化樹脂製の多孔質体（直径15c
m, 厚さ0.3 cm, 気孔率42%, 平均気孔径100 μｍ）１
１を主材として形成されている。このチャックプレート
３を構成する多孔質体１１は、その内部に微細な孔を多
数有している。これらの孔は、チャックプレート３の上
面側と下面側とを連通させている。また、多孔質体１１
の外周面全体は、樹脂等からなる緻密な非通気層１２に
よって被覆されている。この非通気層１２は、真空吸引
時における多孔質体１１の外周面からの空気の流入を防
止する。前記チャックプレート３は、接着剤によってチ
ャックプレート支持板７の上面に固定される。この場
合、接着剤はチャックプレート支持板７の上面外周部の
みに塗布される。従って、チャックプレート３の下面外
周部からの空気の流入が、前記接着剤によって防止され
ている。

【００２５】前記回転軸５の下端は、垂直方向に沿って
延びる主排出管１３の上端に回転可能に挿入されてい
る。この主排出管１３の上端内壁面には、図示しないベ
アリングが形成されている。なお、前記主排出管１３
は、固定側である図示しない支持台内に収容されてお
り、チャック本体２及び排出管５と一体的には回転しな
い。主排出管１３の下端には、負圧を効率よく発生させ
るための幅広空間１４が形成されている。さらに、この
幅広空間１４の下流側には、液体吸引手段としてのイジ
ェクタ１５が接続されている。前記主排出管１３の途中
からは、水平方向に向かって副排出管１６が分岐してい
る。この副排出管１６上には、真空ポンプ１７が設けら
れている。

【００２６】主排出管１３から副排出管１６が分岐して
いる箇所には、バルブ１８が設けられている。本実施例
では、前記バルブ１８として、３つの状態に切り替えが
可能な３方弁が使用されている。第１の状態では、主排
出管１３が連通し、副排出管１６が非連通になる。第２
の状態では、主排出管１３が非連通になり、副排出管１
６が連通する。第３の状態では、主排出管１３及び副連
通管１６の双方が非連通になる。以上のように、この真
空チャック１では、主排出管１３、幅広空間１４、イジ
ェクタ１５、副排出管１６、真空ポンプ１７、バルブ１
８によって真空吸引手段４が構成されている。

【００２７】次に、この自己洗浄機能を有する真空チャ
ック１の使用時及び洗浄時の動作について説明する。真
空チャック１の使用時においては、まず、吸着面である
チャックプレート３の上面にウェハＷを載置する。真空
ポンプ１７及びイジェクタ１５は既に作動状態にあり、
バルブ１８は第３の状態にある。次に、ウェハＷをチャ
ックプレート３上の正しい位置にセットした後、バルブ
１８を第３の状態から第２の状態に切り替え、真空ポン
プ１７側とチャック本体２側とを連通させる。その結
果、チャックプレート支持板７、チャンバ８、回転軸
５、主排出管１３、バルブ１８及び副排出管１６を介し
て空気が吸引され、ウェハＷがチャックプレート３の上
面に吸着される。

【００２８】ウェハＷを吸着した後、チャック本体２は
回転を開始する。チャック本体２が所定の回転数に到達
すると、図示しないフォトレジスト供給装置からウェハ
Ｗの中央部へ所定量のフォトレジスト２１が滴下され
る。滴下されたフォトレジスト２１は、遠心力によって
ウェハＷの外周部に延展される（図２(a) 参照）。その
結果、ウェハＷの上面全体がフォトレジスト２１によっ
てコートされる。スピンコート工程を経たウェハＷは、
さらに固化工程を経た後にチャックプレート３から取り
外され、図示しない露光機の露光ステージ上に移送され
る。

【００２９】図２（ｂ）に示されるように、チャックプ
レート３の上面に、異物（フォトレジスト２１の残渣や
空気中に浮遊していた塵等）２０が付着した場合には、
以下のような手順で洗浄作業が行われる。

【００３０】まず、バルブ１８を第２の状態から第３の
状態に切り替える。その結果、真空ポンプ１７側とチャ
ック本体２側とが非連通になり、チャックプレート３に
よるウェハＷの吸着が解除される。次いで、チャックプ
レート３を装着したままの状態で、図２（ｃ）に示され
るように、同チャックプレート３の上面に洗浄液１９を
供給する。この場合、洗浄液１９によってチャックプレ
ート３の上面全体を完全に満たすことが望ましい。チャ
ックプレート３上に洗浄液１９で満たされてない部分が
あると、そこから空気が優先的に吸引される結果、洗浄
液１９が吸引されにくくなるおそれがあるからである。

【００３１】焼結三ふっ化樹脂製の多孔質体１１を使用
した本実施例では、チャックプレート３の上面に洗浄液
１９を供給すると、焼結三ふっ化樹脂の撥水性に起因し
て洗浄液１９が弾かれる。このため、洗浄液１９は多孔
質体１１の上面全体に拡がりつつも、洗浄液１９に働く
表面張力の作用によってその液面が大きく盛り上がる。

【００３２】本実施例において多孔質体１１の形成材料
とした焼結三ふっ化樹脂のほか、焼結四ふっ化樹脂やそ
の他の各種焼結樹脂（焼結ナイロン樹脂や焼結ポリアセ
タール樹脂等）が使用可能である。なお、前記形成材料
としては、撥水性に優れているという点において上記の
ようなふっ素系の焼結樹脂が好ましく、特には焼結三ふ
っ化樹脂が好ましい。

【００３３】前記洗浄液１９としては、例えば各種金属
イオン、塵、微生物等が除去された純水が使用される。
この他にも、塩酸水などの酸性水溶液、アンモニア水等
のアルカリ性水溶液、界面活性剤を含む水溶液、分解酵
素を含む水溶液、オゾンを含む水溶液、エチルアルコー
ルやメチルアルコール等を含む水溶液などが使用可能で
ある。さらには、エーテル類やアセトン等の有機溶媒な
ども使用可能である。なお、洗浄液１９は、付着した異
物２０の種類や付着の程度、使用されるチャックプレー
ト３の材質、真空吸引手段４を構成する部材の材質等に
よって選択される。また、洗浄液１９は、常温で処理さ
れるよりも若干高い温度で処理されることが好ましい。

【００３４】イジェクタ１５は既に作動していることか
ら、幅広空間１４内の空気はいくぶん排出されている。
従って、幅広空間１４内の圧力は大気圧よりも小さくな
っている。次に、バルブ１８を第３の状態から第１の状
態に切り替え、イジェクタ１５側とチャック本体２側と
を連通させる。その結果、チャックプレート３の微細な
孔、チャックプレート支持板７、チャンバ８、回転軸
５、主排出管１３、バルブ１８、幅広空間１４を介して
洗浄液１９が吸引される。その際、チャックプレート３
上に付着した異物２０も、洗浄液１９とともにイジェク
タ１５側に吸引される。その結果、チャックプレート３
上から異物２０が除去される。この後、所定時間のあい
だイジェクタ１５を作動させることによって、チャック
プレート３、チャックプレート支持板７、チャンバ８等
に空気を流通させる。その結果、洗浄液１９で濡れてい
た各部材３，７，８等が乾燥される。以上のようにして
一連の洗浄作業が完了する。

【００３５】さて、本実施例の真空チャック１による
と、上述したようにチャックプレート３を取り付けたま
まの状態であっても、洗浄液１９の供給・吸引によって
異物２０を確実に除去することができる。従って、異物
２０がウェハＷとともに露光機に持ち込まれることに起
因する不具合（即ち、露光不良など）も発生しにくくな
る。

【００３６】また、本実施例によると、洗浄作業を行う
際に必要とされていたチャックプレート３の取り外し・
取り付けが不要になる。よって、従来のときのような作
業時における煩雑さはない。なお、作業がそれほど煩雑
でなくなる結果、洗浄作業を頻繁に行うことも可能とな
る。よって、異物２０がウェハＷに転移するほど大きく
ならないうちに除去することができる。さらに、チャッ
クプレート３の取り付けミスや、取り外し・取り付けに
伴うチャックプレート３の変形・破壊等も防止される。

【００３７】さらに、本実施例においては、洗浄時にチ
ャックプレート３がブラシ等のような洗浄器具によって
強く摩擦されるようなことがない。このように、洗浄器
具との物理的接触を伴うことなくチャックプレート３を
洗浄することができるため、チャックプレート３に傷が
付かない。よって、チャックプレート３の吸着精度が悪
化することもなく、チャックプレート３が短命化するこ
ともない。

【００３８】また、この真空チャック１の真空吸引機構
４では、真空ポンプ１７とは別の経路にイジェクタ１５
を設け、それらをバルブ１８で切り替えることとしてい
る。このため、真空吸着時と洗浄時とで異なる経路を介
して吸引が行われることにより、真空ポンプ１７側への
洗浄液１９の侵入が防止される。

【００３９】そして、本実施例では、撥水性に極めて優
れた焼結三ふっ化樹脂製の多孔質体１１を用いてチャッ
クプレート３が形成されている。従って、多孔質体１１
の撥水性によって、チャックプレート３の上面全体を、
充分な量の洗浄液１９で完全に満たすことができる。ゆ
えに、洗浄液１９を確実に吸引することができ、洗浄効
率も向上する。なお、焼結三ふっ化樹脂の場合、そもそ
も異物２０が付着しにくいため、洗浄作業が比較的容易
である。

【００４０】なお、本発明は例えば次のように変更する
ことが可能である。 （１）液体排出手段としてイジェクタ１５を使用する実
施例の構成のほか、液体を吸引することが可能なポンプ
等を使用してもよい。また、真空ポンプ１７を持たずイ
ジェクタ１５のみを持つ真空吸引機構を構成し、そのイ
ジェクタ１５を用いて、真空吸着時における空気の吸引
及び洗浄時における洗浄液１９の吸引を行ってもよい。
逆に、イジェクタ１５を持たず真空ポンプ１７のみを持
つ真空吸引機構を構成し、その真空ポンプ１７を用い
て、真空吸着時における空気の吸引及び洗浄時における
洗浄液１９の吸引を行ってもよい。

【００４１】（２）バルブ１８は３位置切り替えが可能
な３方弁に限定されることはなく、２位置切り替えが可
能なものや４位置切り替えが可能なもの等でもよい。ま
た、主排出管１３及び副排出管１６の各々に別個にバル
ブ１８を設けてもよい。

【００４２】（３）実施例において使用した多孔質体１
１は、焼結樹脂製に限られることはない。例えば、焼結
アルミニウム製、焼結銅製、焼結ステンレス製等の焼結
金属製でもよく、さらには焼結セラミックス製でもよ
い。

【００４３】（４）多孔質体１１外周面の非通気層１２
を形成する材料としては、緻密なものであれば樹脂以外
にも金属等を用いることが可能である。また、この非通
気層１２は、必須というわけではないので、一定の場合
には省略することもできる。即ち、多孔質体１１がチャ
ック本体２の上面に嵌合されるような場合には、多孔質
体１１の外周面がチャック本体２側の嵌合部によってカ
バーされ、空気の流入が防止されるからである。

【００４４】（５）実施例の真空チャック１からチャッ
クプレート３を除いた構成の装置は、ある意味では真空
チャックのチャックプレートの洗浄装置として把握する
こともできる。この場合、汚れたチャックプレート３を
装着して実施例のように使用すれば、チャックプレート
３の洗浄を容易にかつ確実に実施することができる。

【００４５】（６）実施例とは異なる方法でチャックプ
レート３上に洗浄液１９を供給することも可能である。
まず、チャックプレート３の上面に筒体を嵌合させる。
この筒体があることによって、供給された洗浄液１９の
こぼれを防止することができる。従って、チャックプレ
ート３上に充分な洗浄液を１９を満たした状態で吸引を
実施することができ、洗浄性を向上させることができ
る。また、この方法によると、撥水性に劣る多孔質体１
１を選択した場合でも洗浄性を向上させることができ
る。ただし、洗浄時にこのような筒体を必要としない実
施例のほうが好ましいと考えられる。

【００４６】（７）洗浄に供されるチャックプレート３
は多孔質体１１を主要部とするものでなくてもよく、例
えば機械によって加工された孔を有する従来タイプのも
のでもよい。

【００４７】（８）チャックプレート３の主要部である
多孔質体１１を焼結金属製または焼結セラミックス製と
し、その片側面にふっ素樹脂等のコーティング等によっ
て撥水性を付与してもよい。また、上記の多孔質体１１
の片側面に、焼結ふっ化樹脂製の多孔質体を設けてもよ
い。

【００４８】（９）本発明は、実施例のようなスピンコ
ータ用の自己洗浄機能を有する真空チャック１に適用さ
れるばかりでなく、それ以外の半導体製造装置（例えば
他のコーティング装置、ＣＶＤ装置、アッシング装置、
エッチング装置、スパッタリング装置、吸着加熱方式等
のウェハ固定装置など）にも適用されることが可能であ
る。

【００４９】ここで、特許請求の範囲に記載された技術
的思想のほかに、前述した実施例及び別例によって把握
される技術的思想をその効果とともに以下に列挙する。 （１） 請求項３，４において、チャックプレートの主
要部を焼結三ふっ化樹脂からなる板状の多孔質体を用い
て形成し、その板状の多孔質体の外周面を緻密体で被覆
すること。この構成であると、確実に洗浄性を向上でき
る。

【００５０】（２） 請求項５において、チャックプレ
ートの主要部は焼結金属製または焼結セラミックス製の
板材であり、同板材の片側面には撥水処理が施されてい
ること。この構成であると、確実に洗浄性を向上でき
る。

【００５１】（３） 請求項５において、チャックプレ
ートの主要部は焼結金属製または焼結セラミックス製の
板材であり、同板材の片側面には焼結三ふっ化樹脂製の
膜または板材が設けられていること。この構成である
と、確実に洗浄性を向上できる。

【００５２】なお、本明細書中において使用した技術用
語を次のように定義する。 「洗浄液： 板材に付着した異物を除去するための液体
であって純水や超純水等の単なる水をいうほか、例えば
酸性水溶液、アルカリ性水溶液、界面活性剤を含む水溶
液、酵素を含む水溶液、含オゾン水溶液、含アルコール
水溶液、有機溶媒などをいう。」

【００５３】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項２に記載の
発明にかかる多数の微細な孔を有する板材の洗浄方法に
よれば、前記板材の上面に付着した異物を、同板材を傷
付けることなく確実にかつ簡単に除去することができ
る。また、請求項１に記載の発明にかかる板材の洗浄装
置によれば、上記の板材の洗浄方法を容易に実施するこ
とができる。

【００５４】請求項９に記載の発明にかかる真空チャッ
クのチャックプレートの洗浄方法によれば、チャックプ
レート上に付着した異物を、同チャックプレートを傷付
けることなく確実にかつ簡単に除去することができる。
また、請求項３〜８に記載の発明にかかる真空チャック
のチャックプレートの洗浄装置によれば、上記のチャッ
クプレートの洗浄方法を容易に実施することができる。
さらに、チャックプレートの取り外し・取り付けを行う
ことなく洗浄することもできる。

【００５５】特に、請求項５に記載の発明によると、チ
ャックプレートの洗浄性を向上させることができる。ま
た、請求項６に記載の発明によると、チャックプレート
の洗浄性をより向上させることができる。さらに、請求
項７に記載の発明によると、チャックプレートの洗浄性
をよりいっそう向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例の自己洗浄機能を有する真空チャックを
示す断面図。

【図２】（ａ）〜（ｃ）は、チャックプレートを洗浄す
る手順を示す概略斜視図。

【図３】（ａ），（ｂ）は、従来の真空チャックにおけ
る問題点を説明するための概略斜視図。

【符号の説明】

１…（自己洗浄機能を有する）真空チャック、２…チャ
ック本体、３…多数の微細な孔を有する板材としてのチ
ャックプレート、４…真空吸引機構、１３…排出管とし
ての主排出管、１４…幅広空間、１５…液体吸引手段と
してのイジェクタ、１６…排出管としての副排出管、１
７…真空ポンプ、１８…バルブ、１９…洗浄液、２０…
異物。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】多数の微細な孔を有する板材（３）を洗浄
   液（１９）を用いて洗浄する装置であって、 前記板材（３）を固定するための固定部（２）と、主と
   して液体を吸引するための液体吸引手段（１５）と、前
   記固定部（２）と前記液体吸引手段（１５）とを連通さ
   せる排出管（１３）とを備えた、多数の微細な孔を有す
   る板材の洗浄装置。
2. 【請求項２】多数の微細な孔を有する板材（３）を洗浄
   液（１９）を用いて洗浄する方法であって、 前記板材（３）を固定するための固定部（２）を有する
   真空吸引機構（４）の上面に前記板材（３）を固定する
   とともに、その板材（３）上に洗浄液（１９）を供給し
   た状態で前記真空吸引機構（４）による吸引を行うこと
   によって、前記板材（３）上に付着した異物（２０）を
   前記洗浄液（１９）とともに前記真空吸引機構（４）側
   に吸引する、多数の微細な孔を有する板材の洗浄方法。
3. 【請求項３】真空吸引機構（４）と、多数の微細な孔を
   有するチャックプレート（３）をその上部に固定するた
   めのチャック本体（２）と、前記真空吸引機構（４）と
   前記チャック本体（２）とを連通させる排出管（１３，
   １６）とを備えた真空チャック（１）の前記チャックプ
   レート（３）を洗浄液（１９）を用いて洗浄する装置に
   おいて、 前記真空吸引機構（４）は、気体を吸引するための真空
   ポンプ（１７）と、主として液体を吸引するための液体
   吸引手段（１５）と、前記排出管（１３）の経路上にて
   前記真空ポンプ（１７）及び前記液体吸引手段（１５）
   の切り替えを行うバルブ（１８）とを備える真空チャッ
   クのチャックプレートの洗浄装置。
4. 【請求項４】前記液体吸引手段（１５）はイジェクタで
   あり、前記イジェクタの上流側には幅広空間（１４）が
   設けられている請求項３に記載の真空チャックのチャッ
   クプレートの洗浄装置。
5. 【請求項５】前記チャックプレート（３）の主要部は板
   状の多孔質体（１１）である請求項３または４に記載の
   真空チャックのチャックプレートの洗浄装置。
6. 【請求項６】前記板状の多孔質体（１１）は撥水性を有
   する吸着面を備えている請求項５に記載の真空チャック
   のチャックプレートの洗浄装置。
7. 【請求項７】前記板状の多孔質体（１１）は焼結樹脂製
   である請求項６に記載の真空チャックのチャックプレー
   トの洗浄装置。
8. 【請求項８】前記板状の多孔質体（１１）は焼結三ふっ
   化樹脂製である請求項６に記載の真空チャックのチャッ
   クプレートの洗浄装置。
9. 【請求項９】真空吸引機構（４）と、多数の微細な孔を
   有するチャックプレート（３）をその上部に固定するた
   めのチャック本体（２）と、前記真空吸引機構（４）と
   前記チャック本体（２）とを連通させる排出管（１３，
   １６）とを備えた真空チャック（１）の前記チャックプ
   レート（３）を洗浄液（１９）を用いて洗浄する方法で
   あって、 前記チャック本体（２）に固定されている前記チャック
   プレート（３）上に前記洗浄液（１９）を供給した状態
   で前記真空吸引機構（４）による吸引を行うことによっ
   て、前記チャックプレート（３）上に付着した異物（２
   ０）を前記洗浄液（１９）とともに前記真空吸引機構
   （４）側に吸引する真空チャックのチャックプレートの
   洗浄方法。