JPH1019842A - ガスセンサ、ガスセンサの制御方法、ガス濃度制御器及びガス濃度の制御方法 - Google Patents
ガスセンサ、ガスセンサの制御方法、ガス濃度制御器及びガス濃度の制御方法Info
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- JPH1019842A JPH1019842A JP8170160A JP17016096A JPH1019842A JP H1019842 A JPH1019842 A JP H1019842A JP 8170160 A JP8170160 A JP 8170160A JP 17016096 A JP17016096 A JP 17016096A JP H1019842 A JPH1019842 A JP H1019842A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】例えば酸素ポンプを用いた場合において、酸素
ポンプへの制御電圧のフィードバック制御系の発振現象
を有効に解消する。 【解決手段】内側ポンプ電極２４ａと基準電極２６間の
電圧を測定し、この測定電圧と基準電圧との差分をとっ
て、その差分電圧によってポンプ電圧Ｖｐを制御するよ
うに構成する。具体的には、基準電極２６と内側ポンプ
電極２４ａとの間の両端電圧を基準電圧Ｖｂと比較して
その差分を所定のゲインにて増幅して出力する比較増幅
器３２を設け、該比較増幅器３２からの出力電圧（差分
電圧）を酸素ポンプ２２へのポンプ電圧Ｖｐとして内側
ポンプ電極２４ａと外側ポンプ電極２４ｂ間に印加する
ように配線接続して構成する。なお、内側ポンプ電極２
４ａは接地とする。
ポンプへの制御電圧のフィードバック制御系の発振現象
を有効に解消する。 【解決手段】内側ポンプ電極２４ａと基準電極２６間の
電圧を測定し、この測定電圧と基準電圧との差分をとっ
て、その差分電圧によってポンプ電圧Ｖｐを制御するよ
うに構成する。具体的には、基準電極２６と内側ポンプ
電極２４ａとの間の両端電圧を基準電圧Ｖｂと比較して
その差分を所定のゲインにて増幅して出力する比較増幅
器３２を設け、該比較増幅器３２からの出力電圧（差分
電圧）を酸素ポンプ２２へのポンプ電圧Ｖｐとして内側
ポンプ電極２４ａと外側ポンプ電極２４ｂ間に印加する
ように配線接続して構成する。なお、内側ポンプ電極２
４ａは接地とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、車両の排
気ガスや大気中に含まれるＮＯ，ＮＯ2 ，ＳＯ2、ＣＯ
2 、Ｈ2 Ｏ等の酸化物や、ＣＯ，ＣｎＨｍ等の可燃ガス
を測定するガスセンサとその制御方法並びにガス濃度制
御器及びガス濃度の制御方法に関する。
気ガスや大気中に含まれるＮＯ，ＮＯ2 ，ＳＯ2、ＣＯ
2 、Ｈ2 Ｏ等の酸化物や、ＣＯ，ＣｎＨｍ等の可燃ガス
を測定するガスセンサとその制御方法並びにガス濃度制
御器及びガス濃度の制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近時、ガソリン車やディーゼルエンジン
車等の車両から排出される排気ガス中には、一酸化窒素
（ＮＯ）、二酸化窒素（ＮＯ2 ）等の窒素酸化物（ＮＯ
ｘ）や、一酸化炭素（ＣＯ）、二酸化炭素（ＣＯ2 ）、
水（Ｈ2 Ｏ）、炭化水素（ＨＣ）、水素（Ｈ2 ）、酸素
（Ｏ2 ）等が含まれている。この場合、ＮＯはＮＯｘ全
体の約８０％を占め、また、ＮＯとＮＯ2 とでＮＯｘ全
体の約９５％を占めている。
車等の車両から排出される排気ガス中には、一酸化窒素
（ＮＯ）、二酸化窒素（ＮＯ2 ）等の窒素酸化物（ＮＯ
ｘ）や、一酸化炭素（ＣＯ）、二酸化炭素（ＣＯ2 ）、
水（Ｈ2 Ｏ）、炭化水素（ＨＣ）、水素（Ｈ2 ）、酸素
（Ｏ2 ）等が含まれている。この場合、ＮＯはＮＯｘ全
体の約８０％を占め、また、ＮＯとＮＯ2 とでＮＯｘ全
体の約９５％を占めている。
【０００３】このような排気ガス中に含まれるＨＣ、Ｃ
Ｏ、ＮＯｘを浄化する三元触媒は、理論空燃比（Ａ／Ｆ
＝１４．６）近傍で最大の浄化効率を示し、Ａ／Ｆを１
６以上に制御した場合には、ＮＯｘの発生量は減るが、
触媒の浄化効率が低下し、結果的に、ＮＯｘの排出量が
増える傾向がある。
Ｏ、ＮＯｘを浄化する三元触媒は、理論空燃比（Ａ／Ｆ
＝１４．６）近傍で最大の浄化効率を示し、Ａ／Ｆを１
６以上に制御した場合には、ＮＯｘの発生量は減るが、
触媒の浄化効率が低下し、結果的に、ＮＯｘの排出量が
増える傾向がある。
【０００４】ところで、最近では、化石燃料の有効利
用、地球温暖化防止のためにＣＯ2 の排出量の抑制等の
市場要求が増大しており、これに対応するために燃費を
向上させる必要性が高まりつつある。このような要求に
対して、例えば、リーン・バーン・エンジンの研究や、
ＮＯｘ浄化触媒の研究等が行われており、その中でもＮ
Ｏｘセンサのニーズが高まっている。
用、地球温暖化防止のためにＣＯ2 の排出量の抑制等の
市場要求が増大しており、これに対応するために燃費を
向上させる必要性が高まりつつある。このような要求に
対して、例えば、リーン・バーン・エンジンの研究や、
ＮＯｘ浄化触媒の研究等が行われており、その中でもＮ
Ｏｘセンサのニーズが高まっている。
【０００５】従来、このようなＮＯｘを検出する装置と
して、ＮＯｘ分析計がある。このＮＯｘ分析計は、化学
発光分析法を用いてＮＯｘ固有の特性を測定するもので
あるが、装置自体が極めて大がかりであり、高価である
という不都合がある。
して、ＮＯｘ分析計がある。このＮＯｘ分析計は、化学
発光分析法を用いてＮＯｘ固有の特性を測定するもので
あるが、装置自体が極めて大がかりであり、高価である
という不都合がある。
【０００６】また、ＮＯｘを検出するために光学系部品
を用いているため、煩雑なメンテナンスが必要である。
更に、このＮＯｘ分析計は、ＮＯｘをサンプリングして
測定するものであり、検出素子自体を流体内に直接挿入
することができず、自動車の排気ガスのように、状況が
頻繁に変動する過渡現象の分析には不向きである。
を用いているため、煩雑なメンテナンスが必要である。
更に、このＮＯｘ分析計は、ＮＯｘをサンプリングして
測定するものであり、検出素子自体を流体内に直接挿入
することができず、自動車の排気ガスのように、状況が
頻繁に変動する過渡現象の分析には不向きである。
【０００７】そこで、これらの不都合を解消するものと
して、酸素イオン伝導性固体電解質からなる基体を用い
て排気ガス中の所望のガス成分を測定するようにしたセ
ンサが提案されている。
して、酸素イオン伝導性固体電解質からなる基体を用い
て排気ガス中の所望のガス成分を測定するようにしたセ
ンサが提案されている。
【０００８】その提案例に係るガスセンサとしては、図
１２に示すような全領域酸素センサがある。また、結合
酸素をもつガス（例えばＮＯｘ）を測定するにあたり、
ガス中の酸素濃度を酸素ポンプにより一定の低いレベル
に下げた後、次いで酸素濃度を更に低下させ、ＮＯｘを
分解し、分解時に発生した酸素を酸素ポンプにより測定
することにより、ＮＯｘを測定するガスセンサも知られ
ている。
１２に示すような全領域酸素センサがある。また、結合
酸素をもつガス（例えばＮＯｘ）を測定するにあたり、
ガス中の酸素濃度を酸素ポンプにより一定の低いレベル
に下げた後、次いで酸素濃度を更に低下させ、ＮＯｘを
分解し、分解時に発生した酸素を酸素ポンプにより測定
することにより、ＮＯｘを測定するガスセンサも知られ
ている。
【０００９】例えば図１２のガスセンサについて説明す
ると、該ガスセンサは、測定電極１００と基準電極１０
２間に発生した起電圧を一定に保つように、酸素ポンプ
１０４に印加する直流電圧をフィードバック制御してい
る。このフィードバック制御は、一般的に測定電極１０
０と基準電極１０２間に発生する起電力と目標とする比
較電圧を比較器により比較し、比較器によって生じた差
を増幅して、目標値との差の増幅電圧を作り、その増幅
電圧がポンプに印加されるようになっている。
ると、該ガスセンサは、測定電極１００と基準電極１０
２間に発生した起電圧を一定に保つように、酸素ポンプ
１０４に印加する直流電圧をフィードバック制御してい
る。このフィードバック制御は、一般的に測定電極１０
０と基準電極１０２間に発生する起電力と目標とする比
較電圧を比較器により比較し、比較器によって生じた差
を増幅して、目標値との差の増幅電圧を作り、その増幅
電圧がポンプに印加されるようになっている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ガスセンサにおいては、以下に示す２つの点で問題があ
る。１つは、例えば図１２のガスセンサにおいて、増幅
器のゲインを大きく設定しすぎると、フィードバック制
御に発振が起こることであり（第１の問題点）、他の１
つは、被測定ガスの酸素濃度が高い場合に、精度よく酸
素濃度を測定できなくなることである（第２の問題
点）。
ガスセンサにおいては、以下に示す２つの点で問題があ
る。１つは、例えば図１２のガスセンサにおいて、増幅
器のゲインを大きく設定しすぎると、フィードバック制
御に発振が起こることであり（第１の問題点）、他の１
つは、被測定ガスの酸素濃度が高い場合に、精度よく酸
素濃度を測定できなくなることである（第２の問題
点）。
【００１１】まず、第１の問題点について具体的に説明
すると、測定電極１００と内部空間１０６に接するポン
プ電極１０８に幾何学的寸法があることによる。例え
ば、測定電極１００の酸素濃度が目標値より低い場合、
ポンプ電圧Ｖｐが高まるようにフィードバック制御され
る。ポンプ電圧Ｖｐが高くなり、内部空間１０６の酸素
が汲み出され、内部空間１０６の酸素濃度は徐々に低下
するが、測定電極１００にその低下が伝わるのが前記幾
何学的寸法の存在により時間的に遅れ、内部空間１０６
の酸素濃度は目標値より下がってしまう。そして、低い
酸素濃度を少し遅れて測定電極１００が検知し、今度は
ポンプ電圧Ｖｐが下がるようにフィードバックされる。
すると、測定電極１００と内部空間１０６に接するポン
プ電極１０８に幾何学的寸法があることによる。例え
ば、測定電極１００の酸素濃度が目標値より低い場合、
ポンプ電圧Ｖｐが高まるようにフィードバック制御され
る。ポンプ電圧Ｖｐが高くなり、内部空間１０６の酸素
が汲み出され、内部空間１０６の酸素濃度は徐々に低下
するが、測定電極１００にその低下が伝わるのが前記幾
何学的寸法の存在により時間的に遅れ、内部空間１０６
の酸素濃度は目標値より下がってしまう。そして、低い
酸素濃度を少し遅れて測定電極１００が検知し、今度は
ポンプ電圧Ｖｐが下がるようにフィードバックされる。
【００１２】この場合も同じように、内部空間１０６の
酸素分圧は徐々に高くなるが、幾何学的寸法により測定
電極１００が検知したときには既に内部空間１０６の酸
素濃度が下がりすぎるという現象が起こり、結果として
フィードバック制御回路は発振する。
酸素分圧は徐々に高くなるが、幾何学的寸法により測定
電極１００が検知したときには既に内部空間１０６の酸
素濃度が下がりすぎるという現象が起こり、結果として
フィードバック制御回路は発振する。
【００１３】この問題を解決するために、増幅器のゲイ
ンを小さくすると、測定ガス中の酸素濃度が高くなった
場合に制御不足になる。測定ガス中の酸素濃度が高くな
ると大きなポンプ電圧Ｖｐが必要になるが、ゲインが小
さいため、ポンプ電圧Ｖｐが所望の値に上がらないこと
による。
ンを小さくすると、測定ガス中の酸素濃度が高くなった
場合に制御不足になる。測定ガス中の酸素濃度が高くな
ると大きなポンプ電圧Ｖｐが必要になるが、ゲインが小
さいため、ポンプ電圧Ｖｐが所望の値に上がらないこと
による。
【００１４】次に、第２の問題点について説明する。一
般に、酸素ポンプを用いた限界電流式酸素センサにおい
ては、図１３及び図１４に示すように、大気極１１０と
排気ガス側の電極１１２間に一定のポンプ電圧Ｖｐを印
加し、流れる電流値により酸素濃度を測定するセンサが
広く知られているが、このセンサは一定のポンプ電圧Ｖ
ｐを印加しているため、例えば、酸素濃度が大きくなる
と、酸素ポンプのインピーダンス分だけ起電力分が小さ
くなり、実質的に制御する酸素濃度が高くなり、精度よ
く酸素濃度を測定することができない（図１５の特性図
において、Ｂ点はＡ点より酸素濃度が高い）。
般に、酸素ポンプを用いた限界電流式酸素センサにおい
ては、図１３及び図１４に示すように、大気極１１０と
排気ガス側の電極１１２間に一定のポンプ電圧Ｖｐを印
加し、流れる電流値により酸素濃度を測定するセンサが
広く知られているが、このセンサは一定のポンプ電圧Ｖ
ｐを印加しているため、例えば、酸素濃度が大きくなる
と、酸素ポンプのインピーダンス分だけ起電力分が小さ
くなり、実質的に制御する酸素濃度が高くなり、精度よ
く酸素濃度を測定することができない（図１５の特性図
において、Ｂ点はＡ点より酸素濃度が高い）。
【００１５】一方、実公平７−４５００４号公報には、
オペアンプを用いてポンプ電流に応じた電圧を作り、そ
の電圧を帰還抵抗を介してオペアンプに帰還すると共
に、電源に直列接続された抵抗に接続し、ポンプ電流が
増加すると抵抗での電圧が重畳されてポンプに印加され
るものが示されている。
オペアンプを用いてポンプ電流に応じた電圧を作り、そ
の電圧を帰還抵抗を介してオペアンプに帰還すると共
に、電源に直列接続された抵抗に接続し、ポンプ電流が
増加すると抵抗での電圧が重畳されてポンプに印加され
るものが示されている。
【００１６】これは、図１６に示すような回路を構成
し、オペアンプＯＰの出力を帰還抵抗Ｒ１を介して大気
極１１０側の入力端子に帰還することにより、出力点Ａ
にポンプ電流に対応する電圧を発生させ、一方、抵抗Ｒ
２を介して排気ガス側の電極１１２の入力端子に帰還さ
せると共に、抵抗ｒを介して電流を流すことにより、該
抵抗ｒに発生した電圧分を電源電圧ＶE に重畳するもの
である。
し、オペアンプＯＰの出力を帰還抵抗Ｒ１を介して大気
極１１０側の入力端子に帰還することにより、出力点Ａ
にポンプ電流に対応する電圧を発生させ、一方、抵抗Ｒ
２を介して排気ガス側の電極１１２の入力端子に帰還さ
せると共に、抵抗ｒを介して電流を流すことにより、該
抵抗ｒに発生した電圧分を電源電圧ＶE に重畳するもの
である。
【００１７】電源に直列接続される抵抗を適当に設定す
ることにより、（実際のポンプインピーダンス×ポンプ
電流）に相当する電圧を、ポンプ電圧Ｖｐに重畳し、動
作点を図１７に示すように、限流特性の一定の平坦部に
設定し、精度よく酸素濃度を測定するというものであ
る。
ることにより、（実際のポンプインピーダンス×ポンプ
電流）に相当する電圧を、ポンプ電圧Ｖｐに重畳し、動
作点を図１７に示すように、限流特性の一定の平坦部に
設定し、精度よく酸素濃度を測定するというものであ
る。
【００１８】しかしながら、測定ガス中の酸素濃度が大
きくなると、電圧降下分が大きくなり、起電力分よりは
るかに大きくなるため、正確に一定の起電力に相当する
動作点で作動させることが困難である。
きくなると、電圧降下分が大きくなり、起電力分よりは
るかに大きくなるため、正確に一定の起電力に相当する
動作点で作動させることが困難である。
【００１９】自動車のように排気ガスの温度が大きく変
化する場合にあっては、センサにヒータを設け、ヒータ
に供給する電力を制御する機構が具備される場合がある
が、この場合でも、酸素ポンプのインピーダンスは僅か
に変化し、ポンプ電流が大きくなると電圧降下分の補正
に大きな誤差が生じ、正確に高酸素濃度を測定すること
が困難となる。
化する場合にあっては、センサにヒータを設け、ヒータ
に供給する電力を制御する機構が具備される場合がある
が、この場合でも、酸素ポンプのインピーダンスは僅か
に変化し、ポンプ電流が大きくなると電圧降下分の補正
に大きな誤差が生じ、正確に高酸素濃度を測定すること
が困難となる。
【００２０】特に、ポンプを酸素濃度制御器として利用
する場合は、この問題は最も深刻である。酸素センサと
して利用する場合、測定ガス中の酸素濃度が大きくなっ
て、ポンプ電流が大きくなり、測定空間の酸素濃度が１
０-10 ａｔｍから１０-3ａｔｍに大きくなっても、その
変化に基づく電流変化は、大きくなったポンプ電流に比
較すると数％程度にとどまるが、酸素濃度制御器として
利用する場合は、１０ -10 ａｔｍから１０-3ａｔｍへの
変化という大きなものになってしまうからである。
する場合は、この問題は最も深刻である。酸素センサと
して利用する場合、測定ガス中の酸素濃度が大きくなっ
て、ポンプ電流が大きくなり、測定空間の酸素濃度が１
０-10 ａｔｍから１０-3ａｔｍに大きくなっても、その
変化に基づく電流変化は、大きくなったポンプ電流に比
較すると数％程度にとどまるが、酸素濃度制御器として
利用する場合は、１０ -10 ａｔｍから１０-3ａｔｍへの
変化という大きなものになってしまうからである。
【００２１】このように、従来のガスセンサにおいて
は、測定電極と基準電極間の起電力に基づいて酸素ポン
プに印加する電圧を制御するとフィードバック制御系が
発振するという第１の問題と、酸素ポンプのインピーダ
ンスによる電圧降下分の誤差を精度よく吸収できないと
いう第２の問題とがある。
は、測定電極と基準電極間の起電力に基づいて酸素ポン
プに印加する電圧を制御するとフィードバック制御系が
発振するという第１の問題と、酸素ポンプのインピーダ
ンスによる電圧降下分の誤差を精度よく吸収できないと
いう第２の問題とがある。
【００２２】本発明はこのような課題を考慮してなされ
たものであり、例えば酸素ポンプを用いた場合におい
て、酸素ポンプへの制御電圧のフィードバック制御系の
発振現象を有効に解消することができるガスセンサ、ガ
スセンサの制御方法、ガス濃度制御器及びガス濃度の制
御方法を提供することを目的とする。
たものであり、例えば酸素ポンプを用いた場合におい
て、酸素ポンプへの制御電圧のフィードバック制御系の
発振現象を有効に解消することができるガスセンサ、ガ
スセンサの制御方法、ガス濃度制御器及びガス濃度の制
御方法を提供することを目的とする。
【００２３】また、本発明の他の目的は、酸素ポンプの
インピーダンスによる電圧降下分の誤差を吸収でき、酸
素濃度を精度よく検出することができるガスセンサ、ガ
スセンサの制御方法、ガス濃度制御器及びガス濃度の制
御方法を提供することにある。
インピーダンスによる電圧降下分の誤差を吸収でき、酸
素濃度を精度よく検出することができるガスセンサ、ガ
スセンサの制御方法、ガス濃度制御器及びガス濃度の制
御方法を提供することにある。
【００２４】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の本発明に
係るガスセンサは、固体電解質からなる基体にて囲ま
れ、かつ被測定ガスが導入される第１の空間と、前記基
体における前記第１の空間の内外に形成された内側電極
及び外側電極と、これら両電極にて挟まれた前記基体
と、前記両電極間に所定のガス成分を汲み出すための制
御電圧を印加するポンプ電源とを有するガスポンプ手段
と、固体電解質からなる基体にて囲まれ、かつ基準ガス
が導入される第２の空間と、前記基体における前記第２
の空間側に形成された基準電極と前記ガスポンプ手段に
おける前記内側電極との間の両端電圧を測定する測定手
段と、前記両端電圧に基づいて前記制御電圧のレベルを
調整する制御電圧調整手段とを設けて構成する。
係るガスセンサは、固体電解質からなる基体にて囲ま
れ、かつ被測定ガスが導入される第１の空間と、前記基
体における前記第１の空間の内外に形成された内側電極
及び外側電極と、これら両電極にて挟まれた前記基体
と、前記両電極間に所定のガス成分を汲み出すための制
御電圧を印加するポンプ電源とを有するガスポンプ手段
と、固体電解質からなる基体にて囲まれ、かつ基準ガス
が導入される第２の空間と、前記基体における前記第２
の空間側に形成された基準電極と前記ガスポンプ手段に
おける前記内側電極との間の両端電圧を測定する測定手
段と、前記両端電圧に基づいて前記制御電圧のレベルを
調整する制御電圧調整手段とを設けて構成する。
【００２５】これにより、まず、被測定ガスが第１の空
間に導入され、そのときのガスポンプ手段における内側
電極と第２の空間側に形成された基準電極との間の両端
電圧が測定手段によって測定される。この測定電圧は制
御電圧調整手段に供給される。制御電圧調整手段は、前
記測定電圧に基づいて前記ガスポンプ手段に供給すべき
制御電圧のレベルを調整する。ガスポンプ手段は、第１
の空間に導入された被測定ガスのうち、所定のガス成分
を前記制御電圧のレベルに応じた量ほど汲み出す。前記
レベル調整された制御電圧のガスポンプ手段への供給に
よって、第１の空間における前記所定のガス成分の濃度
は、所定レベルにフィードバック制御されることとな
る。
間に導入され、そのときのガスポンプ手段における内側
電極と第２の空間側に形成された基準電極との間の両端
電圧が測定手段によって測定される。この測定電圧は制
御電圧調整手段に供給される。制御電圧調整手段は、前
記測定電圧に基づいて前記ガスポンプ手段に供給すべき
制御電圧のレベルを調整する。ガスポンプ手段は、第１
の空間に導入された被測定ガスのうち、所定のガス成分
を前記制御電圧のレベルに応じた量ほど汲み出す。前記
レベル調整された制御電圧のガスポンプ手段への供給に
よって、第１の空間における前記所定のガス成分の濃度
は、所定レベルにフィードバック制御されることとな
る。
【００２６】この場合、制御電圧のレベル調整に利用さ
れる測定手段での測定電圧は、ガスポンプ手段における
内側電極と第２の空間における基準電極との間の両端電
圧としている。そのため、ガスポンプ手段による前記所
定のガス成分の汲み出し量が変化して、第１の空間内に
おける前記ガス成分の濃度が変化すると、ガスポンプ手
段における内側電極と基準電極間の両端電圧が時間遅れ
なく変化するため、前記フィードバック制御に発振現象
は生じなくなる。
れる測定手段での測定電圧は、ガスポンプ手段における
内側電極と第２の空間における基準電極との間の両端電
圧としている。そのため、ガスポンプ手段による前記所
定のガス成分の汲み出し量が変化して、第１の空間内に
おける前記ガス成分の濃度が変化すると、ガスポンプ手
段における内側電極と基準電極間の両端電圧が時間遅れ
なく変化するため、前記フィードバック制御に発振現象
は生じなくなる。
【００２７】そして、前記制御電圧調整手段としては、
前記起電圧と比較電圧との偏差をとる比較手段を設ける
ようにして、該比較手段にて得られた偏差に基づいて前
記制御電圧のレベルを調整するようにしてもよい（請求
項２記載の発明）。この場合、前記両端電圧が前記比較
電圧に収束されるように前記制御電圧がフィードバック
制御されることとなる。
前記起電圧と比較電圧との偏差をとる比較手段を設ける
ようにして、該比較手段にて得られた偏差に基づいて前
記制御電圧のレベルを調整するようにしてもよい（請求
項２記載の発明）。この場合、前記両端電圧が前記比較
電圧に収束されるように前記制御電圧がフィードバック
制御されることとなる。
【００２８】また、前記構成において、前記ガスポンプ
手段による前記ガス成分の汲み出しの際に、該ガスポン
プ手段に流れる電流を検出する電流検出手段と、前記電
流検出手段にて検出された電流値に基づいて前記比較電
圧のレベルを調整する比較電圧調整手段を設けるように
してもよい（請求項３記載の発明）。
手段による前記ガス成分の汲み出しの際に、該ガスポン
プ手段に流れる電流を検出する電流検出手段と、前記電
流検出手段にて検出された電流値に基づいて前記比較電
圧のレベルを調整する比較電圧調整手段を設けるように
してもよい（請求項３記載の発明）。
【００２９】通常、ガスポンプ手段による所定のガス成
分の汲み出しの際に、該ガスポンプに電流が流れること
から、ガスポンプのインピーダンスによる電圧降下分が
制御電圧のレベル調整における誤差として現れることと
なる。前記請求項３記載の発明においては、ガスポンプ
手段に流れる電流を検出して、その電流値を比較電圧に
反映させるようにしているため、前記誤差が有効に吸収
され、ガスポンプ手段に対するフィードバック制御に発
振現象を生じさせることなく、しかも精度よくフィード
バック制御を行わせることが可能となり、第１の空間に
導入された被測定ガスのうち、前記所定のガス成分の濃
度を高精度に検出することができる。
分の汲み出しの際に、該ガスポンプに電流が流れること
から、ガスポンプのインピーダンスによる電圧降下分が
制御電圧のレベル調整における誤差として現れることと
なる。前記請求項３記載の発明においては、ガスポンプ
手段に流れる電流を検出して、その電流値を比較電圧に
反映させるようにしているため、前記誤差が有効に吸収
され、ガスポンプ手段に対するフィードバック制御に発
振現象を生じさせることなく、しかも精度よくフィード
バック制御を行わせることが可能となり、第１の空間に
導入された被測定ガスのうち、前記所定のガス成分の濃
度を高精度に検出することができる。
【００３０】なお、前記請求項１〜３記載の発明におい
て、前記被測定ガスの前記第１の空間への導入経路に、
前記被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与するガス
拡散律速部を設けるようにしてもよい（請求項４記載の
発明）。また、前記第１の空間内の被測定ガスが導入さ
れる第３の空間と、前記被測定ガスの前記第３の空間へ
の導入経路に設けられ、かつ前記被測定ガスに対して所
定の拡散抵抗を付与する第２のガス拡散律速部と、前記
第３の空間内に配置され、前記被測定ガスから前記所定
のガス成分を分解発生させる被測定ガス分解手段と、前
記被測定ガス分解手段により分解発生した前記所定のガ
ス成分を検出するガス成分検出手段を設けるようにして
もよく（請求項５記載の発明）、前記第３の空間内に前
記所定のガス成分を送り込むガス成分供給手段と、該ガ
ス成分供給手段により送り込まれる前記ガス成分を検出
するガス成分検出手段を設けるようにしてもよい（請求
項６記載の発明）。この場合、被測定ガスに含まれる所
定のガス成分の量を効果的に制御することができ、被測
定ガス中の例えば酸化物や可燃ガスの量を高精度に測定
することができる。
て、前記被測定ガスの前記第１の空間への導入経路に、
前記被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与するガス
拡散律速部を設けるようにしてもよい（請求項４記載の
発明）。また、前記第１の空間内の被測定ガスが導入さ
れる第３の空間と、前記被測定ガスの前記第３の空間へ
の導入経路に設けられ、かつ前記被測定ガスに対して所
定の拡散抵抗を付与する第２のガス拡散律速部と、前記
第３の空間内に配置され、前記被測定ガスから前記所定
のガス成分を分解発生させる被測定ガス分解手段と、前
記被測定ガス分解手段により分解発生した前記所定のガ
ス成分を検出するガス成分検出手段を設けるようにして
もよく（請求項５記載の発明）、前記第３の空間内に前
記所定のガス成分を送り込むガス成分供給手段と、該ガ
ス成分供給手段により送り込まれる前記ガス成分を検出
するガス成分検出手段を設けるようにしてもよい（請求
項６記載の発明）。この場合、被測定ガスに含まれる所
定のガス成分の量を効果的に制御することができ、被測
定ガス中の例えば酸化物や可燃ガスの量を高精度に測定
することができる。
【００３１】次に、請求項７記載の本発明に係るガスセ
ンサの制御方法は、固体電解質からなる基体にて囲ま
れ、かつ被測定ガスが導入される第１の空間と、前記基
体における前記第１の空間の内外に形成された内側電極
及び外側電極と、これら両電極にて挟まれた前記基体
と、前記両電極間に前記制御電圧を印加するためのポン
プ電源を有するガスポンプ手段と、固体電解質からなる
基体にて囲まれ、かつ基準ガスが導入される第２の空間
と、前記基体における前記第２の空間側に形成された基
準電極とを有するガスセンサの制御方法において、前記
ガスポンプ手段における前記内側電極と前記基準電極と
の両端電圧を測定し、その電圧に基づいて前記制御電圧
のレベルを調整することを特徴とする。
ンサの制御方法は、固体電解質からなる基体にて囲ま
れ、かつ被測定ガスが導入される第１の空間と、前記基
体における前記第１の空間の内外に形成された内側電極
及び外側電極と、これら両電極にて挟まれた前記基体
と、前記両電極間に前記制御電圧を印加するためのポン
プ電源を有するガスポンプ手段と、固体電解質からなる
基体にて囲まれ、かつ基準ガスが導入される第２の空間
と、前記基体における前記第２の空間側に形成された基
準電極とを有するガスセンサの制御方法において、前記
ガスポンプ手段における前記内側電極と前記基準電極と
の両端電圧を測定し、その電圧に基づいて前記制御電圧
のレベルを調整することを特徴とする。
【００３２】これにより、まず、被測定ガスが第１の空
間に導入され、そのときのガスポンプ手段における内側
電極と第２の空間側に形成された基準電極との間の両端
電圧が測定される。そして、この測定電圧に基づいて前
記ガスポンプ手段に供給すべき制御電圧のレベルが調整
される。ガスポンプ手段は、第１の空間に導入された被
測定ガスのうち、所定のガス成分を前記制御電圧のレベ
ルに応じた量ほど汲み出す。前記レベル調整された制御
電圧のガスポンプ手段への供給によって、第１の空間に
おける前記所定のガス成分の濃度は、所定レベルにフィ
ードバック制御されることとなる。
間に導入され、そのときのガスポンプ手段における内側
電極と第２の空間側に形成された基準電極との間の両端
電圧が測定される。そして、この測定電圧に基づいて前
記ガスポンプ手段に供給すべき制御電圧のレベルが調整
される。ガスポンプ手段は、第１の空間に導入された被
測定ガスのうち、所定のガス成分を前記制御電圧のレベ
ルに応じた量ほど汲み出す。前記レベル調整された制御
電圧のガスポンプ手段への供給によって、第１の空間に
おける前記所定のガス成分の濃度は、所定レベルにフィ
ードバック制御されることとなる。
【００３３】この場合、制御電圧のレベル調整に利用さ
れる前記測定電圧は、ガスポンプ手段における内側電極
と第２の空間における基準電極との間の両端電圧として
いる。そのため、ガスポンプ手段による前記所定のガス
成分の汲み出し量が変化して、第１の空間内における前
記ガス成分の濃度が変化すると、ガスポンプ手段におけ
る内側電極と基準電極間の両端電圧が時間遅れなく変化
するため、前記フィードバック制御に発振現象は生じな
くなる。
れる前記測定電圧は、ガスポンプ手段における内側電極
と第２の空間における基準電極との間の両端電圧として
いる。そのため、ガスポンプ手段による前記所定のガス
成分の汲み出し量が変化して、第１の空間内における前
記ガス成分の濃度が変化すると、ガスポンプ手段におけ
る内側電極と基準電極間の両端電圧が時間遅れなく変化
するため、前記フィードバック制御に発振現象は生じな
くなる。
【００３４】前記制御電圧の調整として、前記起電圧と
比較電圧との偏差をとり、得られた偏差に基づいて前記
制御電圧のレベルを調整するようにしてもよい（請求項
８記載の発明）。この場合、前記測定電圧が前記比較電
圧に収束されるように前記制御電圧がフィードバック制
御されることとなる。
比較電圧との偏差をとり、得られた偏差に基づいて前記
制御電圧のレベルを調整するようにしてもよい（請求項
８記載の発明）。この場合、前記測定電圧が前記比較電
圧に収束されるように前記制御電圧がフィードバック制
御されることとなる。
【００３５】また、前記制御方法において、前記ガスポ
ンプ手段による前記ガス成分の汲み出しの際に、該ガス
ポンプ手段に流れる電流を検出し、その検出された電流
値に基づいて前記比較電圧のレベルを調整するようにし
てもよい（請求項９記載の発明）。
ンプ手段による前記ガス成分の汲み出しの際に、該ガス
ポンプ手段に流れる電流を検出し、その検出された電流
値に基づいて前記比較電圧のレベルを調整するようにし
てもよい（請求項９記載の発明）。
【００３６】通常、ガスポンプ手段による所定のガス成
分の汲み出しの際に、該ガスポンプに電流が流れること
から、ガスポンプのインピーダンスによる電圧降下分が
制御電圧のレベル調整における誤差として現れることと
なる。前記請求項９記載の発明においては、ガスポンプ
手段に流れる電流を検出して、その電流値を比較電圧に
反映させるようにしているため、前記誤差が有効に吸収
され、ガスポンプ手段に対するフィードバック制御に発
振現象を生じさせることなく、しかも精度よくフィード
バック制御を行わせることが可能となり、第１の空間に
導入された被測定ガスのうち、前記所定のガス成分の濃
度を高精度に検出することができる。
分の汲み出しの際に、該ガスポンプに電流が流れること
から、ガスポンプのインピーダンスによる電圧降下分が
制御電圧のレベル調整における誤差として現れることと
なる。前記請求項９記載の発明においては、ガスポンプ
手段に流れる電流を検出して、その電流値を比較電圧に
反映させるようにしているため、前記誤差が有効に吸収
され、ガスポンプ手段に対するフィードバック制御に発
振現象を生じさせることなく、しかも精度よくフィード
バック制御を行わせることが可能となり、第１の空間に
導入された被測定ガスのうち、前記所定のガス成分の濃
度を高精度に検出することができる。
【００３７】なお、前記請求項７〜９記載の発明におい
て、前記被測定ガスの前記第１の空間への導入経路に、
前記被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与するガス
拡散律速部を設けるようにしてもよい（請求項１０記載
の発明）。また、前記ガスセンサに、前記第１の空間内
の被測定ガスが導入される第３の空間と、前記被測定ガ
スの前記第３の空間への導入経路に設けられ、かつ前記
被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与する第２のガ
ス拡散律速部と、前記第３の空間内に配置され、前記被
測定ガスから前記所定のガス成分を分解発生させる被測
定ガス分解手段と、前記被測定ガス分解手段により分解
発生した前記所定のガス成分を検出するガス成分検出手
段を設けてもよく（請求項１１記載の発明）、前記第３
の空間内に前記所定のガス成分を送り込むガス成分供給
手段と、前記ガス成分供給手段により送り込まれる前記
ガス成分を検出するガス成分検出手段を設けるようにし
てもよい（請求項１２記載の発明）。この場合、被測定
ガスに含まれる所定のガス成分の量を効果的に制御する
ことができ、被測定ガス中の例えば酸化物や可燃ガスの
量を高精度に測定することができる。
て、前記被測定ガスの前記第１の空間への導入経路に、
前記被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与するガス
拡散律速部を設けるようにしてもよい（請求項１０記載
の発明）。また、前記ガスセンサに、前記第１の空間内
の被測定ガスが導入される第３の空間と、前記被測定ガ
スの前記第３の空間への導入経路に設けられ、かつ前記
被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与する第２のガ
ス拡散律速部と、前記第３の空間内に配置され、前記被
測定ガスから前記所定のガス成分を分解発生させる被測
定ガス分解手段と、前記被測定ガス分解手段により分解
発生した前記所定のガス成分を検出するガス成分検出手
段を設けてもよく（請求項１１記載の発明）、前記第３
の空間内に前記所定のガス成分を送り込むガス成分供給
手段と、前記ガス成分供給手段により送り込まれる前記
ガス成分を検出するガス成分検出手段を設けるようにし
てもよい（請求項１２記載の発明）。この場合、被測定
ガスに含まれる所定のガス成分の量を効果的に制御する
ことができ、被測定ガス中の例えば酸化物や可燃ガスの
量を高精度に測定することができる。
【００３８】次に、請求項１３記載の本発明に係るガス
濃度制御器は、固体電解質からなる基体にて囲まれ、か
つ被測定ガスが導入される第１の空間と、前記被測定ガ
スの前記第１の空間への導入経路に設けられ、前記被測
定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与するガス拡散律速
部と、前記基体における前記第１の空間の内外に形成さ
れた内側電極及び外側電極と、これら両電極にて挟まれ
た前記基体と、前記両電極間に所定のガス成分を汲み出
すための制御電圧を印加するポンプ電源とを有するガス
ポンプ手段と、固体電解質からなる基体にて囲まれ、か
つ基準ガスが導入される第２の空間と、前記基体におけ
る前記第２の空間側に形成された基準電極と前記ガスポ
ンプ手段における前記内側電極との間の両端電圧を測定
する測定手段と、前記両端電圧に基づいて前記制御電圧
のレベルを調整する制御電圧調整手段とを設けて構成す
る。
濃度制御器は、固体電解質からなる基体にて囲まれ、か
つ被測定ガスが導入される第１の空間と、前記被測定ガ
スの前記第１の空間への導入経路に設けられ、前記被測
定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与するガス拡散律速
部と、前記基体における前記第１の空間の内外に形成さ
れた内側電極及び外側電極と、これら両電極にて挟まれ
た前記基体と、前記両電極間に所定のガス成分を汲み出
すための制御電圧を印加するポンプ電源とを有するガス
ポンプ手段と、固体電解質からなる基体にて囲まれ、か
つ基準ガスが導入される第２の空間と、前記基体におけ
る前記第２の空間側に形成された基準電極と前記ガスポ
ンプ手段における前記内側電極との間の両端電圧を測定
する測定手段と、前記両端電圧に基づいて前記制御電圧
のレベルを調整する制御電圧調整手段とを設けて構成す
る。
【００３９】これにより、まず、被測定ガスがガス拡散
律速部を通じて第１の空間に導入され、そのときのガス
ポンプ手段における内側電極と第２の空間側に形成され
た基準電極との間の両端電圧が測定手段によって測定さ
れる。この測定電圧は制御電圧調整手段に供給される。
制御電圧調整手段は、前記測定電圧に基づいて前記ガス
ポンプ手段に供給すべき制御電圧のレベルを調整する。
ガスポンプ手段は、第１の空間に導入された被測定ガス
のうち、所定のガス成分を前記制御電圧のレベルに応じ
た量ほど汲み出す。前記レベル調整された制御電圧のガ
スポンプ手段への供給によって、第１の空間における前
記所定のガス成分の濃度は、所定レベルにフィードバッ
ク制御されることとなる。
律速部を通じて第１の空間に導入され、そのときのガス
ポンプ手段における内側電極と第２の空間側に形成され
た基準電極との間の両端電圧が測定手段によって測定さ
れる。この測定電圧は制御電圧調整手段に供給される。
制御電圧調整手段は、前記測定電圧に基づいて前記ガス
ポンプ手段に供給すべき制御電圧のレベルを調整する。
ガスポンプ手段は、第１の空間に導入された被測定ガス
のうち、所定のガス成分を前記制御電圧のレベルに応じ
た量ほど汲み出す。前記レベル調整された制御電圧のガ
スポンプ手段への供給によって、第１の空間における前
記所定のガス成分の濃度は、所定レベルにフィードバッ
ク制御されることとなる。
【００４０】この場合、制御電圧のレベル調整に利用さ
れる測定手段での測定電圧は、ガスポンプ手段における
内側電極と第２の空間における基準電極との間の両端電
圧としている。そのため、ガスポンプ手段による前記所
定のガス成分の汲み出し量が変化して、第１の空間内に
おける前記ガス成分の濃度が変化すると、ガスポンプ手
段における内側電極と基準電極間の両端電圧が時間遅れ
なく変化するため、前記フィードバック制御に発振現象
は生じなくなる。
れる測定手段での測定電圧は、ガスポンプ手段における
内側電極と第２の空間における基準電極との間の両端電
圧としている。そのため、ガスポンプ手段による前記所
定のガス成分の汲み出し量が変化して、第１の空間内に
おける前記ガス成分の濃度が変化すると、ガスポンプ手
段における内側電極と基準電極間の両端電圧が時間遅れ
なく変化するため、前記フィードバック制御に発振現象
は生じなくなる。
【００４１】そして、前記制御電圧調整手段としては、
前記起電圧と比較電圧との偏差をとる比較手段を設ける
ようにして、該比較手段にて得られた偏差に基づいて前
記制御電圧のレベルを調整するようにしてもよい（請求
項１４記載の発明）。この場合、前記両端電圧が前記比
較電圧に収束されるように前記制御電圧がフィードバッ
ク制御されることとなる。
前記起電圧と比較電圧との偏差をとる比較手段を設ける
ようにして、該比較手段にて得られた偏差に基づいて前
記制御電圧のレベルを調整するようにしてもよい（請求
項１４記載の発明）。この場合、前記両端電圧が前記比
較電圧に収束されるように前記制御電圧がフィードバッ
ク制御されることとなる。
【００４２】また、前記構成において、前記ガスポンプ
手段による前記ガス成分の汲み出しの際に、該ガスポン
プ手段に流れる電流を検出する電流検出手段と、前記電
流検出手段にて検出された電流値に基づいて前記比較電
圧のレベルを調整する比較電圧調整手段を設けるように
してもよい（請求項１５記載の発明）。
手段による前記ガス成分の汲み出しの際に、該ガスポン
プ手段に流れる電流を検出する電流検出手段と、前記電
流検出手段にて検出された電流値に基づいて前記比較電
圧のレベルを調整する比較電圧調整手段を設けるように
してもよい（請求項１５記載の発明）。
【００４３】通常、ガスポンプ手段による所定のガス成
分の汲み出しの際に、該ガスポンプに電流が流れること
から、ガスポンプのインピーダンスによる電圧降下分が
制御電圧のレベル調整における誤差として現れることと
なる。前記請求項１５記載の発明においては、ガスポン
プ手段に流れる電流を検出して、その電流値を比較電圧
に反映させるようにしているため、前記誤差が有効に吸
収され、ガスポンプ手段に対するフィードバック制御に
発振現象を生じさせることなく、しかも精度よくフィー
ドバック制御を行わせることが可能となり、第１の空間
に導入された被測定ガスのうち、前記所定のガス成分の
濃度を高精度に検出することができる。
分の汲み出しの際に、該ガスポンプに電流が流れること
から、ガスポンプのインピーダンスによる電圧降下分が
制御電圧のレベル調整における誤差として現れることと
なる。前記請求項１５記載の発明においては、ガスポン
プ手段に流れる電流を検出して、その電流値を比較電圧
に反映させるようにしているため、前記誤差が有効に吸
収され、ガスポンプ手段に対するフィードバック制御に
発振現象を生じさせることなく、しかも精度よくフィー
ドバック制御を行わせることが可能となり、第１の空間
に導入された被測定ガスのうち、前記所定のガス成分の
濃度を高精度に検出することができる。
【００４４】次に、請求項１６記載の本発明に係るガス
濃度の制御方法は、固体電解質からなる基体にて囲まれ
た第１の空間に被測定ガスを導入し、前記基体における
前記第１の空間の内外に形成された内側電極及び外側電
極間に所定のガス成分を汲み出すための制御電圧を印加
し、固体電解質からなる基体にて囲まれた第２の空間に
基準ガスを導入し、前記基体における前記第２の空間側
に形成された基準電極と前記内側電極との間の両端電圧
を測定し、前記両端電圧に基づいて前記制御電圧のレベ
ルを調整することを特徴とする。
濃度の制御方法は、固体電解質からなる基体にて囲まれ
た第１の空間に被測定ガスを導入し、前記基体における
前記第１の空間の内外に形成された内側電極及び外側電
極間に所定のガス成分を汲み出すための制御電圧を印加
し、固体電解質からなる基体にて囲まれた第２の空間に
基準ガスを導入し、前記基体における前記第２の空間側
に形成された基準電極と前記内側電極との間の両端電圧
を測定し、前記両端電圧に基づいて前記制御電圧のレベ
ルを調整することを特徴とする。
【００４５】この場合、制御電圧のレベル調整に利用さ
れる測定手段での測定電圧は、ガスポンプ手段における
内側電極と第２の空間における基準電極との間の両端電
圧としている。そのため、ガスポンプ手段による前記所
定のガス成分の汲み出し量が変化して、第１の空間内に
おける前記ガス成分の濃度が変化すると、ガスポンプ手
段における内側電極と基準電極間の両端電圧が時間遅れ
なく変化するため、前記フィードバック制御に発振現象
は生じなくなる。
れる測定手段での測定電圧は、ガスポンプ手段における
内側電極と第２の空間における基準電極との間の両端電
圧としている。そのため、ガスポンプ手段による前記所
定のガス成分の汲み出し量が変化して、第１の空間内に
おける前記ガス成分の濃度が変化すると、ガスポンプ手
段における内側電極と基準電極間の両端電圧が時間遅れ
なく変化するため、前記フィードバック制御に発振現象
は生じなくなる。
【００４６】そして、前記制御電圧の調整としては、前
記起電圧と比較電圧との偏差をとり、得られた該偏差に
基づいて前記制御電圧のレベルを調整するようにしても
よい（請求項１７記載の発明）。この場合、前記測定電
圧が前記比較電圧に収束されるように前記制御電圧がフ
ィードバック制御されることとなる。
記起電圧と比較電圧との偏差をとり、得られた該偏差に
基づいて前記制御電圧のレベルを調整するようにしても
よい（請求項１７記載の発明）。この場合、前記測定電
圧が前記比較電圧に収束されるように前記制御電圧がフ
ィードバック制御されることとなる。
【００４７】また、前記ガス濃度の制御方法において、
前記所定のガス成分の汲み出しの際に前記基体に流れる
電流を検出し、検出された電流値に基づいて前記比較電
圧のレベルを調整するようにしてもよい（請求項１８記
載の発明）。
前記所定のガス成分の汲み出しの際に前記基体に流れる
電流を検出し、検出された電流値に基づいて前記比較電
圧のレベルを調整するようにしてもよい（請求項１８記
載の発明）。
【００４８】通常、前記所定のガス成分の汲み出しの際
に、前記基体に電流が流れることから、該基体のインピ
ーダンスによる電圧降下分が制御電圧のレベル調整にお
ける誤差として現れることとなる。前記請求項１８記載
の発明においては、前記基体に流れる電流を検出して、
その電流値を比較電圧に反映させるようにしているた
め、前記誤差が有効に吸収され、制御電圧のフィードバ
ック制御に発振現象を生じさせることなく、しかも精度
よくフィードバック制御を行わせることが可能となり、
第１の空間に導入された被測定ガスのうち、前記所定の
ガス成分の濃度を高精度に検出することができる。
に、前記基体に電流が流れることから、該基体のインピ
ーダンスによる電圧降下分が制御電圧のレベル調整にお
ける誤差として現れることとなる。前記請求項１８記載
の発明においては、前記基体に流れる電流を検出して、
その電流値を比較電圧に反映させるようにしているた
め、前記誤差が有効に吸収され、制御電圧のフィードバ
ック制御に発振現象を生じさせることなく、しかも精度
よくフィードバック制御を行わせることが可能となり、
第１の空間に導入された被測定ガスのうち、前記所定の
ガス成分の濃度を高精度に検出することができる。
【００４９】なお、前記被測定ガスの前記第１の空間へ
の導入にあたって、前記被測定ガスに対して所定の拡散
抵抗を付与するようにしてもよい（請求項１９記載の発
明）。
の導入にあたって、前記被測定ガスに対して所定の拡散
抵抗を付与するようにしてもよい（請求項１９記載の発
明）。
【００５０】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るガスセンサを
例えば車両の排気ガスや大気中に含まれるＮＯ，Ｎ
Ｏ2 ，ＳＯ2 、ＣＯ2 、Ｈ2 Ｏ等の酸化物や、ＣＯ，Ｃ
ｎＨｍ等の可燃ガスを測定するガスセンサに適用した２
つの実施の形態例（以下、単に第１の実施の形態に係る
ガスセンサ及び第２の実施の形態に係るガスセンサと記
す）を図１〜図１１を参照しながら説明する。
例えば車両の排気ガスや大気中に含まれるＮＯ，Ｎ
Ｏ2 ，ＳＯ2 、ＣＯ2 、Ｈ2 Ｏ等の酸化物や、ＣＯ，Ｃ
ｎＨｍ等の可燃ガスを測定するガスセンサに適用した２
つの実施の形態例（以下、単に第１の実施の形態に係る
ガスセンサ及び第２の実施の形態に係るガスセンサと記
す）を図１〜図１１を参照しながら説明する。
【００５１】まず、第１の実施の形態に係るガスセンサ
は、図１及び図２に示すように、ＺｒＯ2 等の酸素イオ
ン伝導性固体電解質を用いたセラミックからなる例えば
６枚の固体電解質層１０ａ〜１０ｆが積層されて構成さ
れ、下から１層目及び２層目が第１及び第２の基板層１
０ａ及び１０ｂとされ、下から３層目及び５層目が第１
及び第２のスペース層１０ｃ及び１０ｅとされ、下から
４層目及び６層目が第１及び第２の固体電解質層１０ｄ
及び１０ｆとされている。
は、図１及び図２に示すように、ＺｒＯ2 等の酸素イオ
ン伝導性固体電解質を用いたセラミックからなる例えば
６枚の固体電解質層１０ａ〜１０ｆが積層されて構成さ
れ、下から１層目及び２層目が第１及び第２の基板層１
０ａ及び１０ｂとされ、下から３層目及び５層目が第１
及び第２のスペース層１０ｃ及び１０ｅとされ、下から
４層目及び６層目が第１及び第２の固体電解質層１０ｄ
及び１０ｆとされている。
【００５２】具体的には、第２の基板層１０ｂ上に第１
のスペース層１０ｃが積層され、更に、この第１のスペ
ース層１０ｃ上に第１の固体電解質層１０ｄ、第２のス
ペース層１０ｅ及び第２の固体電解質層１０ｆが順次積
層されている。第１及び第２の基板層１０ａ及び１０ｂ
間には、酸素イオンの伝導性を高めるためのヒータ１２
が絶縁膜１４を介して埋め込まれている。
のスペース層１０ｃが積層され、更に、この第１のスペ
ース層１０ｃ上に第１の固体電解質層１０ｄ、第２のス
ペース層１０ｅ及び第２の固体電解質層１０ｆが順次積
層されている。第１及び第２の基板層１０ａ及び１０ｂ
間には、酸素イオンの伝導性を高めるためのヒータ１２
が絶縁膜１４を介して埋め込まれている。
【００５３】第２の基板層１０ｂと第１の固体電解質層
１０ｄとの間には、酸化物測定の基準となる基準ガス、
例えば大気が導入される空間（基準ガス導入空間）１６
が、第１の固体電解質層１０ｄの下面、第２の基板層１
０ｂの上面及び第１のスペース層１０ｃの側面によって
区画、形成されている。
１０ｄとの間には、酸化物測定の基準となる基準ガス、
例えば大気が導入される空間（基準ガス導入空間）１６
が、第１の固体電解質層１０ｄの下面、第２の基板層１
０ｂの上面及び第１のスペース層１０ｃの側面によって
区画、形成されている。
【００５４】第１及び第２の固体電解質層１０ｄ及び１
０ｆ間には、被測定ガスが導入される空間（ガス導入空
間）１８が、第２の固体電解質層１０ｆの下面、第１の
固体電解質層１０ｄの上面及び第２のスペース層１０ｅ
の側面によって区画、形成され、最上層の第２の固体電
解質層１０ｆには、前記ガス導入空間１８に連通する拡
散律速部２０が形成されている。この拡散律速部２０
は、ガス導入空間１８に導入される被測定ガスに対して
所定の拡散抵抗を付与するものであり、例えば、被測定
ガスを導入することができる多孔質材料又は所定の断面
積を有した小孔からなる通路として形成することができ
る。
０ｆ間には、被測定ガスが導入される空間（ガス導入空
間）１８が、第２の固体電解質層１０ｆの下面、第１の
固体電解質層１０ｄの上面及び第２のスペース層１０ｅ
の側面によって区画、形成され、最上層の第２の固体電
解質層１０ｆには、前記ガス導入空間１８に連通する拡
散律速部２０が形成されている。この拡散律速部２０
は、ガス導入空間１８に導入される被測定ガスに対して
所定の拡散抵抗を付与するものであり、例えば、被測定
ガスを導入することができる多孔質材料又は所定の断面
積を有した小孔からなる通路として形成することができ
る。
【００５５】前記第２の固体電解質層１０ｆの下面のう
ち、前記ガス導入空間１８を形づくる下面には、後述す
る酸素ポンプ２２を構成するための一方の電極（内側ポ
ンプ電極２４ａ）が形成され、前記第２の固体電解質層
１０ｆの上面には、酸素ポンプ２２を構成するための他
方の電極（外側ポンプ電極２４ｂ）が形成されている。
ち、前記ガス導入空間１８を形づくる下面には、後述す
る酸素ポンプ２２を構成するための一方の電極（内側ポ
ンプ電極２４ａ）が形成され、前記第２の固体電解質層
１０ｆの上面には、酸素ポンプ２２を構成するための他
方の電極（外側ポンプ電極２４ｂ）が形成されている。
【００５６】また、第１の固体電解質層１０ｄの下面の
うち、前記基準ガス導入空間１６を形づくる下面には、
被測定ガスの酸素分圧を測定するための基準電極２６が
形成されている。
うち、前記基準ガス導入空間１６を形づくる下面には、
被測定ガスの酸素分圧を測定するための基準電極２６が
形成されている。
【００５７】この場合、基準ガス導入空間１６に導入さ
れる大気の酸素分圧と、ガス導入空間１８に導入される
被測定ガスの酸素分圧との差に基づいて酸素濃淡電池電
力が生じる。この電力は、基準ガス導入空間１６とガス
導入空間１８との電位差Ｖによって表される。この電位
差Ｖは以下のネルンストの式により求めることができ
る。
れる大気の酸素分圧と、ガス導入空間１８に導入される
被測定ガスの酸素分圧との差に基づいて酸素濃淡電池電
力が生じる。この電力は、基準ガス導入空間１６とガス
導入空間１８との電位差Ｖによって表される。この電位
差Ｖは以下のネルンストの式により求めることができ
る。
【００５８】 Ｖ＝ＲＴ／４Ｆ・ｌｎ（Ｐ１（Ｏ2 ）／Ｐ０（Ｏ2 ）） Ｒ：気体定数 Ｔ：絶対温度 Ｆ：ファラデー数 Ｐ１（Ｏ2 ）：ガス導入空間内の酸素分圧 Ｐ０（Ｏ2 ）：基準ガスの酸素分圧 従って、前記ネルンストの式に基づく電位差Ｖを電位差
計２８によって測定することで、ガス導入空間１８内の
酸素分圧を測定することができる。
計２８によって測定することで、ガス導入空間１８内の
酸素分圧を測定することができる。
【００５９】また、第２の固体電解質層１０ｆの内外に
形成された内側ポンプ電極２４ａ及び外側ポンプ電極２
４ｂは、ガス導入空間１８内に導入された被測定ガス中
の酸素分圧を所定値に設定する酸素ポンプ２２を構成す
る。つまり、ＺｒＯ2 等の酸素イオン伝導性を備えた固
体電解質層は、電圧をかけると酸素を汲み出すポンプと
して働くからであり、前記両ポンプ電極２４ａ及び２４
ｂは、固体電解質層にてポンプ動作を行わせるための電
圧印加手段を構成する。
形成された内側ポンプ電極２４ａ及び外側ポンプ電極２
４ｂは、ガス導入空間１８内に導入された被測定ガス中
の酸素分圧を所定値に設定する酸素ポンプ２２を構成す
る。つまり、ＺｒＯ2 等の酸素イオン伝導性を備えた固
体電解質層は、電圧をかけると酸素を汲み出すポンプと
して働くからであり、前記両ポンプ電極２４ａ及び２４
ｂは、固体電解質層にてポンプ動作を行わせるための電
圧印加手段を構成する。
【００６０】一般には、前記内側ポンプ電極２４ａ及び
外側ポンプ電極２４ｂ間に、前記電位差計２８によって
検出された電位差Ｖに基づいて設定されたポンプ電圧Ｖ
ｐが可変電源３０により印加されるようになっており、
前記酸素ポンプ２２は、前記ポンプ電圧Ｖｐの印加によ
って、ガス導入空間１８に対して酸素の汲み出し又は汲
み入れを行い、これによって、前記ガス導入空間１８内
の酸素分圧が所定値に設定されるようになっている。
外側ポンプ電極２４ｂ間に、前記電位差計２８によって
検出された電位差Ｖに基づいて設定されたポンプ電圧Ｖ
ｐが可変電源３０により印加されるようになっており、
前記酸素ポンプ２２は、前記ポンプ電圧Ｖｐの印加によ
って、ガス導入空間１８に対して酸素の汲み出し又は汲
み入れを行い、これによって、前記ガス導入空間１８内
の酸素分圧が所定値に設定されるようになっている。
【００６１】そして、前記第１の実施の形態に係るガス
センサは、内側ポンプ電極２４ａと基準電極２６間の電
圧を測定し、この測定電圧と基準電圧との差分をとっ
て、その差分電圧によって前記ポンプ電圧Ｖｐを制御す
るように構成している。
センサは、内側ポンプ電極２４ａと基準電極２６間の電
圧を測定し、この測定電圧と基準電圧との差分をとっ
て、その差分電圧によって前記ポンプ電圧Ｖｐを制御す
るように構成している。
【００６２】具体的には、前記第１の実施の形態に係る
ガスセンサは、図２に示すように、前記基準電極２６と
内側ポンプ電極２４ａとの間の両端電圧を基準電圧Ｖｂ
と比較してその差分を所定のゲインにて増幅して出力す
る比較増幅器３２を設け、該比較増幅器３２からの出力
電圧（差分電圧）を酸素ポンプ２２へのポンプ電圧Ｖｐ
として内側ポンプ電極２４ａと外側ポンプ電極２４ｂ間
に印加するように配線接続されて構成されている。この
例においては、内側ポンプ電極２４ａは接地とされてい
る。
ガスセンサは、図２に示すように、前記基準電極２６と
内側ポンプ電極２４ａとの間の両端電圧を基準電圧Ｖｂ
と比較してその差分を所定のゲインにて増幅して出力す
る比較増幅器３２を設け、該比較増幅器３２からの出力
電圧（差分電圧）を酸素ポンプ２２へのポンプ電圧Ｖｐ
として内側ポンプ電極２４ａと外側ポンプ電極２４ｂ間
に印加するように配線接続されて構成されている。この
例においては、内側ポンプ電極２４ａは接地とされてい
る。
【００６３】次に、前記第１の実施の形態に係るガスポ
ンプの動作について説明すると、まず、被測定ガスが拡
散律速部２０を通じてガス導入空間１８に導入され、そ
のときの酸素ポンプ２２における内側ポンプ電極２４ａ
と基準ガス導入空間１６側に形成された基準電極２６と
の間の両端電圧が比較増幅器３２の例えば反転端子に印
加される。この比較増幅器３２においては、反転端子に
供給されている前記両端電圧と非反転端子に供給されて
いる基準電圧Ｖｂとの差分がとられ、その出力端子から
は、前記差分を所定のゲインにて増幅させたポンプ電圧
（出力電圧）Ｖｐが取り出されることとなる。この出力
電圧Ｖｐは、酸素ポンプ２２における外側ポンプ電極２
４ｂに印加されるが、この場合、内側ポンプ電極２４ａ
は接地電位（０Ｖ）とされていることから、結局、酸素
ポンプ２２の両電極間の電圧は、前記比較増幅器３２か
らの出力電圧Ｖｐと等価とされる。従って、酸素ポンプ
２２は、ガス導入空間１８に導入された被測定ガスのう
ち、酸素を前記出力電圧Ｖｐのレベルに応じた量ほど汲
み出す、又は汲み入れる。そして、前記一連の動作が繰
り返されることによって、ガス導入空間１８における酸
素濃度は、所定レベルにフィードバック制御されること
となる。この場合、比較増幅器３２の反転端子に印加さ
れる両端電圧（測定電圧）を、酸素ポンプ２２における
内側ポンプ電極２４ａと基準ガス導入空間１６における
基準電極２６との間の両端電圧としている。そのため、
酸素ポンプ２２による酸素の汲み出し量が変化して、ガ
ス導入空間１８内における酸素の濃度が変化すると、酸
素ポンプ２２における内側ポンプ電極２４ａと基準電極
２６間の両端電圧が時間遅れなく変化する（リアルタイ
ムで変化する）ため、前記フィードバック制御での発振
現象を有効に抑えることができる。
ンプの動作について説明すると、まず、被測定ガスが拡
散律速部２０を通じてガス導入空間１８に導入され、そ
のときの酸素ポンプ２２における内側ポンプ電極２４ａ
と基準ガス導入空間１６側に形成された基準電極２６と
の間の両端電圧が比較増幅器３２の例えば反転端子に印
加される。この比較増幅器３２においては、反転端子に
供給されている前記両端電圧と非反転端子に供給されて
いる基準電圧Ｖｂとの差分がとられ、その出力端子から
は、前記差分を所定のゲインにて増幅させたポンプ電圧
（出力電圧）Ｖｐが取り出されることとなる。この出力
電圧Ｖｐは、酸素ポンプ２２における外側ポンプ電極２
４ｂに印加されるが、この場合、内側ポンプ電極２４ａ
は接地電位（０Ｖ）とされていることから、結局、酸素
ポンプ２２の両電極間の電圧は、前記比較増幅器３２か
らの出力電圧Ｖｐと等価とされる。従って、酸素ポンプ
２２は、ガス導入空間１８に導入された被測定ガスのう
ち、酸素を前記出力電圧Ｖｐのレベルに応じた量ほど汲
み出す、又は汲み入れる。そして、前記一連の動作が繰
り返されることによって、ガス導入空間１８における酸
素濃度は、所定レベルにフィードバック制御されること
となる。この場合、比較増幅器３２の反転端子に印加さ
れる両端電圧（測定電圧）を、酸素ポンプ２２における
内側ポンプ電極２４ａと基準ガス導入空間１６における
基準電極２６との間の両端電圧としている。そのため、
酸素ポンプ２２による酸素の汲み出し量が変化して、ガ
ス導入空間１８内における酸素の濃度が変化すると、酸
素ポンプ２２における内側ポンプ電極２４ａと基準電極
２６間の両端電圧が時間遅れなく変化する（リアルタイ
ムで変化する）ため、前記フィードバック制御での発振
現象を有効に抑えることができる。
【００６４】なお、前記フィードバック制御系において
は、内側ポンプ電極２４ａと基準電極２６間の両端電圧
が前記基準電圧Ｖｂと同じレベルに収束されるように前
記ポンプ電圧（出力電圧Ｖｐ）がフィードバック制御さ
れることとなる。
は、内側ポンプ電極２４ａと基準電極２６間の両端電圧
が前記基準電圧Ｖｂと同じレベルに収束されるように前
記ポンプ電圧（出力電圧Ｖｐ）がフィードバック制御さ
れることとなる。
【００６５】次に、前記第１の実施の形態に係るガスセ
ンサの変形例について図３を参照しながら説明する。な
お、図１と対応するものについては同符号を記し、その
重複説明を省略する。
ンサの変形例について図３を参照しながら説明する。な
お、図１と対応するものについては同符号を記し、その
重複説明を省略する。
【００６６】この変形例に係るガスセンサは、図示する
ように、ＺｒＯ2 等の酸素イオン伝導性固体電解質を用
いたセラミックからなる例えば６枚の固体電解質層１０
ａ〜１０ｆが積層されて構成されている点と、これら６
枚の固体電解質層１０ａ〜１０ｆが長尺の板状体形状に
形成されている点で前記第１の実施の形態に係るガスセ
ンサとほぼ同じであるが、第１及び第２の固体電解質層
１０ｄ及び１０ｆ間に第２のスペース層１０ｅが挟設さ
れると共に、第１及び第２の拡散律速部４０及び４２が
挟設されている点で異なる。
ように、ＺｒＯ2 等の酸素イオン伝導性固体電解質を用
いたセラミックからなる例えば６枚の固体電解質層１０
ａ〜１０ｆが積層されて構成されている点と、これら６
枚の固体電解質層１０ａ〜１０ｆが長尺の板状体形状に
形成されている点で前記第１の実施の形態に係るガスセ
ンサとほぼ同じであるが、第１及び第２の固体電解質層
１０ｄ及び１０ｆ間に第２のスペース層１０ｅが挟設さ
れると共に、第１及び第２の拡散律速部４０及び４２が
挟設されている点で異なる。
【００６７】そして、第２の固体電解質層１０ｆの下
面、第１及び第２の拡散律速部４０及び４２の側面並び
に第１の固体電解質層１０ｄの上面にて被測定ガス中の
酸素分圧を調整するための第１室４４が区画、形成さ
れ、第２の固体電解質層１０ｆの下面、第２の拡散律速
部４２の側面及び第２のスペース層１０ｅの側面並びに
第１の固体電解質層１０ｄの上面にて被測定ガス中の酸
化物、例えば窒素酸化物（ＮＯｘ）を測定するための第
２室４６が区画、形成される。前記第１室４４及び第２
室４６は、前記第２の拡散律速部４２を介して連通され
ている。
面、第１及び第２の拡散律速部４０及び４２の側面並び
に第１の固体電解質層１０ｄの上面にて被測定ガス中の
酸素分圧を調整するための第１室４４が区画、形成さ
れ、第２の固体電解質層１０ｆの下面、第２の拡散律速
部４２の側面及び第２のスペース層１０ｅの側面並びに
第１の固体電解質層１０ｄの上面にて被測定ガス中の酸
化物、例えば窒素酸化物（ＮＯｘ）を測定するための第
２室４６が区画、形成される。前記第１室４４及び第２
室４６は、前記第２の拡散律速部４２を介して連通され
ている。
【００６８】また、前記第１の固体電解質層１０ｄの上
面のうち、前記第２室４６を形づくる上面には、後述す
る第２の酸素ポンプ４８を構成するための一方の電極
（上側ポンプ電極５０ａ）が形成され、前記第１の固体
電解質層１０ｄの下面のうち、基準ガス導入空間１６を
形づくる下面であって、かつ基準電極２６とは別の箇所
に第２の酸素ポンプ４８を構成するための他方の電極
（下側ポンプ電極５０ｂ）が形成されている。
面のうち、前記第２室４６を形づくる上面には、後述す
る第２の酸素ポンプ４８を構成するための一方の電極
（上側ポンプ電極５０ａ）が形成され、前記第１の固体
電解質層１０ｄの下面のうち、基準ガス導入空間１６を
形づくる下面であって、かつ基準電極２６とは別の箇所
に第２の酸素ポンプ４８を構成するための他方の電極
（下側ポンプ電極５０ｂ）が形成されている。
【００６９】ここで、前記第１及び第２の拡散律速部４
０及び４２は、第１室４４及び第２室４６に導入される
被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与するものであ
り、例えば、被測定ガスを導入することができる多孔質
材料又は所定の断面積を有した小孔からなる通路として
形成することができる。
０及び４２は、第１室４４及び第２室４６に導入される
被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与するものであ
り、例えば、被測定ガスを導入することができる多孔質
材料又は所定の断面積を有した小孔からなる通路として
形成することができる。
【００７０】このガスセンサにおいても、第１室４４に
おける内側ポンプ電極２４ａ及び外側ポンプ電極２４ｂ
間に、電位差計２８によって検出された電位差に基づい
て設定されたポンプ電圧Ｖｐが可変電源３０により印加
されるようになっており、前記酸素ポンプ２２は、前記
ポンプ電圧Ｖｐの印加によって、第１室４４に対して酸
素の汲み出し又は汲み入れを行い、これによって、前記
第１室４４内の酸素分圧が所定値に設定されるようにな
っている。即ち、このガスセンサは、第１室４４、酸素
ポンプ２２、基準電極２６及び基準ガス導入空間１６に
て構成される酸素濃度制御器５２を具備した構成となっ
ており、実質的な窒素酸化物の測定は、第２室４６にお
いて行われることになる。
おける内側ポンプ電極２４ａ及び外側ポンプ電極２４ｂ
間に、電位差計２８によって検出された電位差に基づい
て設定されたポンプ電圧Ｖｐが可変電源３０により印加
されるようになっており、前記酸素ポンプ２２は、前記
ポンプ電圧Ｖｐの印加によって、第１室４４に対して酸
素の汲み出し又は汲み入れを行い、これによって、前記
第１室４４内の酸素分圧が所定値に設定されるようにな
っている。即ち、このガスセンサは、第１室４４、酸素
ポンプ２２、基準電極２６及び基準ガス導入空間１６に
て構成される酸素濃度制御器５２を具備した構成となっ
ており、実質的な窒素酸化物の測定は、第２室４６にお
いて行われることになる。
【００７１】この変形例に係るガスセンサの測定原理を
簡単に説明すると、酸素濃度制御器５２における酸素ポ
ンプ２２によって第１室４４内の酸素濃度が、ＮＯｘが
分解されない程度に、例えば１０-7ａｔｍになるよう
に、ポンプ電圧Ｖｐが印加される。この１０-7ａｔｍで
ＮＯｘが分解されないようにするには、内側ポンプ電極
２４ａにＮＯｘ還元性の低い材料、例えばＡｕとＰｔの
合金を用いることで達成される。
簡単に説明すると、酸素濃度制御器５２における酸素ポ
ンプ２２によって第１室４４内の酸素濃度が、ＮＯｘが
分解されない程度に、例えば１０-7ａｔｍになるよう
に、ポンプ電圧Ｖｐが印加される。この１０-7ａｔｍで
ＮＯｘが分解されないようにするには、内側ポンプ電極
２４ａにＮＯｘ還元性の低い材料、例えばＡｕとＰｔの
合金を用いることで達成される。
【００７２】第１室４４における酸素濃度の検出は、前
記第１の実施の形態に係るガスセンサと同様に、酸素ポ
ンプ２２における内側ポンプ電極２４ａと基準電極２６
間の両端電圧を基準としており、この両端電圧が基準電
圧Ｖｂ（図２参照）に近づくように、即ち、第１室４４
の酸素濃度がほぼ０となるように前記ポンプ電圧Ｖｐが
制御されて酸素ポンプ２２に印加されることになる。
記第１の実施の形態に係るガスセンサと同様に、酸素ポ
ンプ２２における内側ポンプ電極２４ａと基準電極２６
間の両端電圧を基準としており、この両端電圧が基準電
圧Ｖｂ（図２参照）に近づくように、即ち、第１室４４
の酸素濃度がほぼ０となるように前記ポンプ電圧Ｖｐが
制御されて酸素ポンプ２２に印加されることになる。
【００７３】これによって、第１室４４には一酸化窒素
（ＮＯ）が残る。第１室４４に残ったＮＯは第２の拡散
律速部４２を通って次の第２室４６に流れ込む。この第
２室４６では、導入されたＮＯをＮとＯに分解し、その
うち、酸素Ｏの濃度を計測して、間接的にＮＯの濃度を
求めるようにしている。ＮＯの分解を起こさせるには、
上側ポンプ電極５０ａに例えばＲｈ，Ｐｔ等のＮＯｘ還
元性を有する材料を用いることにより達成される。
（ＮＯ）が残る。第１室４４に残ったＮＯは第２の拡散
律速部４２を通って次の第２室４６に流れ込む。この第
２室４６では、導入されたＮＯをＮとＯに分解し、その
うち、酸素Ｏの濃度を計測して、間接的にＮＯの濃度を
求めるようにしている。ＮＯの分解を起こさせるには、
上側ポンプ電極５０ａに例えばＲｈ，Ｐｔ等のＮＯｘ還
元性を有する材料を用いることにより達成される。
【００７４】この酸素Ｏの測定は、上側ポンプ電極５０
ａと下側ポンプ電極５０ｂとの間に流れる電流を計測す
ることにより行われる。具体的には、下側ポンプ電極５
０ｂと上側ポンプ電極５０ａ間にポンプ電源５４を第２
室４６から酸素Ｏ2 を汲み出す方向に接続する。このと
き、第２室４６に酸素がなければ、前記両電極５０ａ及
び５０ｂ間での酸素の移動（酸素の汲み出し）は行われ
ないため、該両電極５０ａ及び５０ｂ間に電流は流れ
ず、第２室４６に酸素があれば、酸素の汲み出し動作に
よって前記両電極５０ａ及び５０ｂ間に電流が流れるこ
とになる。従って、ポンプ電源５４に直列に電流計５６
を挿入接続してその電流値を計測することにより、第２
室４６の酸素濃度を測定することができる。そして、こ
の電流値は、汲み出される酸素の量に比例することか
ら、この電流値からＮＯの量を定めることが可能とな
り、これは、同時にＮＯ2 を測定でき得ることと同じで
ある。
ａと下側ポンプ電極５０ｂとの間に流れる電流を計測す
ることにより行われる。具体的には、下側ポンプ電極５
０ｂと上側ポンプ電極５０ａ間にポンプ電源５４を第２
室４６から酸素Ｏ2 を汲み出す方向に接続する。このと
き、第２室４６に酸素がなければ、前記両電極５０ａ及
び５０ｂ間での酸素の移動（酸素の汲み出し）は行われ
ないため、該両電極５０ａ及び５０ｂ間に電流は流れ
ず、第２室４６に酸素があれば、酸素の汲み出し動作に
よって前記両電極５０ａ及び５０ｂ間に電流が流れるこ
とになる。従って、ポンプ電源５４に直列に電流計５６
を挿入接続してその電流値を計測することにより、第２
室４６の酸素濃度を測定することができる。そして、こ
の電流値は、汲み出される酸素の量に比例することか
ら、この電流値からＮＯの量を定めることが可能とな
り、これは、同時にＮＯ2 を測定でき得ることと同じで
ある。
【００７５】つまり、この変形例に係るガスセンサは、
第１室４４で被測定ガス中の酸素濃度を低い値で一定に
し、第２室４６で触媒、又は電気分解で結合酸素を分解
し、分解時に発生した酸素を第２の酸素ポンプ４８で汲
み出し、その汲み出しの際に流れる電流を測定すること
により、結合酸素を有するガス成分の濃度を測定するも
のである。
第１室４４で被測定ガス中の酸素濃度を低い値で一定に
し、第２室４６で触媒、又は電気分解で結合酸素を分解
し、分解時に発生した酸素を第２の酸素ポンプ４８で汲
み出し、その汲み出しの際に流れる電流を測定すること
により、結合酸素を有するガス成分の濃度を測定するも
のである。
【００７６】結合酸素を有するガス成分としてＮＯｘを
測定するときは、第２室４６内の触媒でＮＯｘを分解す
るのがよい。Ｈ2 Ｏ，ＣＯ2 を測定するときは電気分解
によるのがよい。
測定するときは、第２室４６内の触媒でＮＯｘを分解す
るのがよい。Ｈ2 Ｏ，ＣＯ2 を測定するときは電気分解
によるのがよい。
【００７７】なお、ＨＣ等の可燃ガス成分を測定する場
合にあっては、以下のように行われる。まず、第１室４
４の酸素濃度を可燃ガス成分が燃焼しないレベル、例え
ば１０-15 ａｔｍとなるようにポンプ電圧を印加し、第
２室４６では酸素が汲み入れられる方向にポンプ電源を
接続して、可燃ガス成分を燃焼させる。このとき、可燃
ガス成分が燃焼するのに要した酸素量、即ちポンプ電流
を測定することにより、可燃ガス成分の量を求めること
ができる。
合にあっては、以下のように行われる。まず、第１室４
４の酸素濃度を可燃ガス成分が燃焼しないレベル、例え
ば１０-15 ａｔｍとなるようにポンプ電圧を印加し、第
２室４６では酸素が汲み入れられる方向にポンプ電源を
接続して、可燃ガス成分を燃焼させる。このとき、可燃
ガス成分が燃焼するのに要した酸素量、即ちポンプ電流
を測定することにより、可燃ガス成分の量を求めること
ができる。
【００７８】この変形例に係るガスセンサにおいても、
前記第１の実施の形態に係るガスセンサと同様に、酸素
濃度制御器５２における内側ポンプ電極２４ａと基準電
極２６間の電圧を測定し、この測定電圧と基準電圧Ｖｂ
との差分をとって、その差分電圧によって前記ポンプ電
圧Ｖｐを制御するように構成している。
前記第１の実施の形態に係るガスセンサと同様に、酸素
濃度制御器５２における内側ポンプ電極２４ａと基準電
極２６間の電圧を測定し、この測定電圧と基準電圧Ｖｂ
との差分をとって、その差分電圧によって前記ポンプ電
圧Ｖｐを制御するように構成している。
【００７９】具体的には、前記変形例に係るガスセンサ
は、図４に示すように、前記基準電極２６と内側ポンプ
電極２４ａとの間の両端電圧を基準電圧Ｖｂと比較して
その差分を所定のゲインにて増幅して出力する比較増幅
器３２を設け、該比較増幅器３２からの出力電圧（差分
電圧）を酸素ポンプ２２へのポンプ電圧Ｖｐとして内側
ポンプ電極２４ａと外側ポンプ電極２４ｂ間に印加する
ように配線接続されて構成されている。この例において
も、内側ポンプ電極２４ａは接地とされている。
は、図４に示すように、前記基準電極２６と内側ポンプ
電極２４ａとの間の両端電圧を基準電圧Ｖｂと比較して
その差分を所定のゲインにて増幅して出力する比較増幅
器３２を設け、該比較増幅器３２からの出力電圧（差分
電圧）を酸素ポンプ２２へのポンプ電圧Ｖｐとして内側
ポンプ電極２４ａと外側ポンプ電極２４ｂ間に印加する
ように配線接続されて構成されている。この例において
も、内側ポンプ電極２４ａは接地とされている。
【００８０】この変形例においても、比較増幅器３２の
反転端子に印加される両端電圧（測定電圧）を、酸素ポ
ンプ２２における内側ポンプ電極２４ａと基準ガス導入
空間１６における基準電極２６との間の両端電圧として
いるため、第１室４４内における酸素濃度の変化が時間
遅れなく、酸素ポンプ２２の内側ポンプ電極２４ａと基
準電極２６間の両端電圧の変化として現れ、これによ
り、前記フィードバック制御での発振現象を有効に抑え
ることができる。
反転端子に印加される両端電圧（測定電圧）を、酸素ポ
ンプ２２における内側ポンプ電極２４ａと基準ガス導入
空間１６における基準電極２６との間の両端電圧として
いるため、第１室４４内における酸素濃度の変化が時間
遅れなく、酸素ポンプ２２の内側ポンプ電極２４ａと基
準電極２６間の両端電圧の変化として現れ、これによ
り、前記フィードバック制御での発振現象を有効に抑え
ることができる。
【００８１】次に、第２実施の形態に係るガスセンサに
ついて図５を参照しながら説明する。なお、図１と対応
するものについては同符号を記す。
ついて図５を参照しながら説明する。なお、図１と対応
するものについては同符号を記す。
【００８２】この第２の実施の形態に係るガスセンサ
は、第１実施の形態に係るガスセンサとほぼ同様の構成
を有するが、内側ポンプ電極２４ａとＧＮＤ間に抵抗Ｒ
が接続され、抵抗Ｒの一端と基準電圧Ｖｂの発生源（電
源６０）との間に差動増幅器６２が挿入接続されて構成
されている点で異なる。具体的には、差動増幅器６２の
非反転端子に抵抗Ｒの前記一端が接続され、差動増幅器
６２の反転端子は接地とされ、その出力端子は、電源６
０の負極に接続されて構成されている。
は、第１実施の形態に係るガスセンサとほぼ同様の構成
を有するが、内側ポンプ電極２４ａとＧＮＤ間に抵抗Ｒ
が接続され、抵抗Ｒの一端と基準電圧Ｖｂの発生源（電
源６０）との間に差動増幅器６２が挿入接続されて構成
されている点で異なる。具体的には、差動増幅器６２の
非反転端子に抵抗Ｒの前記一端が接続され、差動増幅器
６２の反転端子は接地とされ、その出力端子は、電源６
０の負極に接続されて構成されている。
【００８３】この第２の実施の形態に係るガスセンサに
おいては、酸素ポンプ２２による酸素の汲み出しによっ
て内側ポンプ電極２４ａ及び外側ポンプ電極２４ｂ間に
流れる電流が抵抗Ｒでの電圧降下によってその電流値に
応じた電圧に変換されて、差動増幅器６２の非反転端子
に印加されるように配線接続されるものである。
おいては、酸素ポンプ２２による酸素の汲み出しによっ
て内側ポンプ電極２４ａ及び外側ポンプ電極２４ｂ間に
流れる電流が抵抗Ｒでの電圧降下によってその電流値に
応じた電圧に変換されて、差動増幅器６２の非反転端子
に印加されるように配線接続されるものである。
【００８４】通常、酸素ポンプ２２による酸素の汲み出
しの際に、該酸素ポンプ２２に電流が流れることから、
酸素ポンプ２２のインピーダンスによる電圧降下分がポ
ンプ電圧Ｖｐのレベル調整における誤差として現れるこ
ととなる。
しの際に、該酸素ポンプ２２に電流が流れることから、
酸素ポンプ２２のインピーダンスによる電圧降下分がポ
ンプ電圧Ｖｐのレベル調整における誤差として現れるこ
ととなる。
【００８５】しかし、この第２の実施の形態に係るガス
センサにおいては、酸素ポンプ２２に流れる電流を抵抗
Ｒにて電圧に変換し、該電圧を差動増幅器６２にて所定
のゲインで増幅して電源６０に重畳させるようにしてい
る。つまり、内側ポンプ電極２４ａと基準電極２６間の
電圧は、内側ポンプ電極２４ａの界面抵抗（インピーダ
ンス）の電圧降下分が重畳されるのみであり、その電圧
降下分はかなり下がる。従って、電圧降下分の補正は僅
かで済み、その分、精度が向上する。換言すれば、酸素
ポンプ２２のインピーダンスによる電圧降下分が基準電
圧Ｖｂに反映（重畳）することとなり、これによって、
ポンプ電圧Ｖｐに対する酸素ポンプ２２のインピーダン
スによる誤差が有効に吸収され、ポンプ電圧Ｖｐに対す
るフィードバック制御を精度よく行わせることが可能と
なる。これは、ガス導入空間１８での酸素濃度を高精度
に検出することができることにつながる。
センサにおいては、酸素ポンプ２２に流れる電流を抵抗
Ｒにて電圧に変換し、該電圧を差動増幅器６２にて所定
のゲインで増幅して電源６０に重畳させるようにしてい
る。つまり、内側ポンプ電極２４ａと基準電極２６間の
電圧は、内側ポンプ電極２４ａの界面抵抗（インピーダ
ンス）の電圧降下分が重畳されるのみであり、その電圧
降下分はかなり下がる。従って、電圧降下分の補正は僅
かで済み、その分、精度が向上する。換言すれば、酸素
ポンプ２２のインピーダンスによる電圧降下分が基準電
圧Ｖｂに反映（重畳）することとなり、これによって、
ポンプ電圧Ｖｐに対する酸素ポンプ２２のインピーダン
スによる誤差が有効に吸収され、ポンプ電圧Ｖｐに対す
るフィードバック制御を精度よく行わせることが可能と
なる。これは、ガス導入空間１８での酸素濃度を高精度
に検出することができることにつながる。
【００８６】また、上記第２の実施の形態に係るガスセ
ンサにおいては、第１の実施の形態に係るガスセンサと
同様に、酸素ポンプ２２に供給されるポンプ電圧Ｖｐを
ガス導入空間１８の酸素濃度が所定の濃度になるように
制御するフィードバック制御系での発振の発生を抑制す
るという効果を有する。即ち、発振の抑制と精度の向上
という２つの課題を、第２の実施の形態に係るガスセン
サのみで実現でき、しかも、上記２つの課題を解決する
ための組み合わせ構造が非常に簡単であることも効果と
して大きい。
ンサにおいては、第１の実施の形態に係るガスセンサと
同様に、酸素ポンプ２２に供給されるポンプ電圧Ｖｐを
ガス導入空間１８の酸素濃度が所定の濃度になるように
制御するフィードバック制御系での発振の発生を抑制す
るという効果を有する。即ち、発振の抑制と精度の向上
という２つの課題を、第２の実施の形態に係るガスセン
サのみで実現でき、しかも、上記２つの課題を解決する
ための組み合わせ構造が非常に簡単であることも効果と
して大きい。
【００８７】ここで、前記第２の実施の形態に係るガス
センサ（実施例）での特性改善を従来のガスセンサ（比
較例）と比較しながら説明する。
センサ（実施例）での特性改善を従来のガスセンサ（比
較例）と比較しながら説明する。
【００８８】まず、図６の表図は、被測定ガス中の酸素
濃度が変化したとき、起電力分を４００ｍＶに補正制御
しようとする場合の比較例と実施例の実際の起電力分を
比較したものである。比較例では、酸素濃度が高い場
合、起電力分が大きく低下しているのに対し、実施例で
は低下はあるものの、その度合いが大きく改善されてい
る。
濃度が変化したとき、起電力分を４００ｍＶに補正制御
しようとする場合の比較例と実施例の実際の起電力分を
比較したものである。比較例では、酸素濃度が高い場
合、起電力分が大きく低下しているのに対し、実施例で
は低下はあるものの、その度合いが大きく改善されてい
る。
【００８９】図７及び図８は、前記様子を示したもので
ある。本比較試験では、酸素ポンプ２２のインピーダン
スはいずれも１００Ωになるようにガスセンサの温度が
調整されている。
ある。本比較試験では、酸素ポンプ２２のインピーダン
スはいずれも１００Ωになるようにガスセンサの温度が
調整されている。
【００９０】比較例（実公平７−４５００４号）では、
酸素ポンプ２２のインピーダンスが１００Ωであること
から、補正電圧はこの（１００Ω×ポンプ電流）が理想
であるが、実際はその１／２の（５０Ω×ポンプ電流）
しか補正できなかった。これは、発振によるものであ
り、（５０Ω×ポンプ電流）以上では、制御に発振現象
が生じ、制御不能であった。
酸素ポンプ２２のインピーダンスが１００Ωであること
から、補正電圧はこの（１００Ω×ポンプ電流）が理想
であるが、実際はその１／２の（５０Ω×ポンプ電流）
しか補正できなかった。これは、発振によるものであ
り、（５０Ω×ポンプ電流）以上では、制御に発振現象
が生じ、制御不能であった。
【００９１】比較例では、酸素ポンプ２２のインピーダ
ンス測定のために、電源に交流分（５００〜１００ｋＨ
ｚ）を重畳させ、この交流電圧で酸素ポンプのインピー
ダンスを測定するが、交流分が正帰還されるため、発振
が起こりやすいのを、オペアンプの出力をローパスフィ
ルタを介して正帰還することにより、交流分をカット
し、直流分（電圧降下補正用）のみを正帰還し、電圧降
下分をポンプ電圧Ｖｐに重畳している。実験では交流分
の周波数を１０ｋＨｚ、ローパスフィルタのカットオフ
周波数を１ｋＨｚとした。交流分の信号に基づくヒータ
の制御は行っていない。
ンス測定のために、電源に交流分（５００〜１００ｋＨ
ｚ）を重畳させ、この交流電圧で酸素ポンプのインピー
ダンスを測定するが、交流分が正帰還されるため、発振
が起こりやすいのを、オペアンプの出力をローパスフィ
ルタを介して正帰還することにより、交流分をカット
し、直流分（電圧降下補正用）のみを正帰還し、電圧降
下分をポンプ電圧Ｖｐに重畳している。実験では交流分
の周波数を１０ｋＨｚ、ローパスフィルタのカットオフ
周波数を１ｋＨｚとした。交流分の信号に基づくヒータ
の制御は行っていない。
【００９２】直流成分による発振現象は、実験によれ
ば、５０Ｈｚ以下の非常に低い周波数で起こっており、
数１００Ｈｚ以上の周波数をカットするローパスフィル
タでは依然として直流分の発振が起こり易い。
ば、５０Ｈｚ以下の非常に低い周波数で起こっており、
数１００Ｈｚ以上の周波数をカットするローパスフィル
タでは依然として直流分の発振が起こり易い。
【００９３】一方、実施例では、酸素ポンプ２２のイン
ピーダンスを１００Ωにしたときには、内側ポンプ電極
２４ａと基準電極２６間のインピーダンスは３５Ωであ
り、補正電圧の理想値は（３５Ω×ポンプ電流）である
が、比較例と同様に実際はその１／２の（１７．５×ポ
ンプ電流）しか補正できなかった。
ピーダンスを１００Ωにしたときには、内側ポンプ電極
２４ａと基準電極２６間のインピーダンスは３５Ωであ
り、補正電圧の理想値は（３５Ω×ポンプ電流）である
が、比較例と同様に実際はその１／２の（１７．５×ポ
ンプ電流）しか補正できなかった。
【００９４】しかしながら、図８の特性図及び図６の表
図から明らかなように、実施例によれば、酸素濃度が大
きくなった場合、補正効果は比較例に比べ、大きく改善
されている。これは、実施例による補正が、比較例に比
べ、補正量を大きく低減させる効果によるもので、その
低減効果は予測（酸素ポンプ２２の内側ポンプ電極２４
ａを利用しているのみであるから、外側ポンプ電極２４
ｂも使っている比較例に比べ、１／２になると予測され
る）よりもはるかに大きくなっている。
図から明らかなように、実施例によれば、酸素濃度が大
きくなった場合、補正効果は比較例に比べ、大きく改善
されている。これは、実施例による補正が、比較例に比
べ、補正量を大きく低減させる効果によるもので、その
低減効果は予測（酸素ポンプ２２の内側ポンプ電極２４
ａを利用しているのみであるから、外側ポンプ電極２４
ｂも使っている比較例に比べ、１／２になると予測され
る）よりもはるかに大きくなっている。
【００９５】その理由は、比較例では、酸素ポンプ２２
のインピーダンスＺｐの全てを補正する必要があるが、
実施例では次式のＺ１，Ｚ２，Ｚ３が無視できることに
よる。
のインピーダンスＺｐの全てを補正する必要があるが、
実施例では次式のＺ１，Ｚ２，Ｚ３が無視できることに
よる。
【００９６】Ｚｐ＝Ｚ１＋Ｚ２＋Ｚ３＋Ｚ４ Ｚ１：外側ポンプ電極２４ｂと第２の固体電解質層１０
ｆとの界面抵抗 Ｚ２：第２の固体電解質層１０ｆにおけるＺｒＯ2 粒子
間の界面抵抗 Ｚ３：第２の固体電解質層１０ｆにおけるＺｒＯ2 粒子
抵抗 Ｚ４：内側ポンプ電極２４ａと第２の固体電解質層１０
ｆとの界面抵抗 また、一般に、ヒータ１２を備えた酸素ポンプ２２で
は、外側ポンプ電極２４ｂは内側ポンプ電極２４ａに比
べ温度が低く、界面抵抗が高くなる傾向があるが、実施
例では、温度の低い外側ポンプ電極２４ｂを無視できる
ため、予想以上の補正電圧の低減効果が得られ、インピ
ーダンスの測定手段、更にそれに基づくヒータ制御、あ
るいは補正電圧の制御手段等を用いなくても精度を高め
ることができる。
ｆとの界面抵抗 Ｚ２：第２の固体電解質層１０ｆにおけるＺｒＯ2 粒子
間の界面抵抗 Ｚ３：第２の固体電解質層１０ｆにおけるＺｒＯ2 粒子
抵抗 Ｚ４：内側ポンプ電極２４ａと第２の固体電解質層１０
ｆとの界面抵抗 また、一般に、ヒータ１２を備えた酸素ポンプ２２で
は、外側ポンプ電極２４ｂは内側ポンプ電極２４ａに比
べ温度が低く、界面抵抗が高くなる傾向があるが、実施
例では、温度の低い外側ポンプ電極２４ｂを無視できる
ため、予想以上の補正電圧の低減効果が得られ、インピ
ーダンスの測定手段、更にそれに基づくヒータ制御、あ
るいは補正電圧の制御手段等を用いなくても精度を高め
ることができる。
【００９７】また、使用過程における酸素ポンプ２２の
インピーダンスの増加は、外側ポンプ電極２４ｂの界面
抵抗の増加が主原因であり、実施例によれば、外側ポン
プ電極２４ｂを無視した補正であるため、使用過程にお
けるインピーダンスの増大にも十分対応できる。
インピーダンスの増加は、外側ポンプ電極２４ｂの界面
抵抗の増加が主原因であり、実施例によれば、外側ポン
プ電極２４ｂを無視した補正であるため、使用過程にお
けるインピーダンスの増大にも十分対応できる。
【００９８】図９及び図１０は、２．０Ｌ直列４気筒エ
ンジンの実車にて３０，０００ｋｍの実車走行をした後
の補正の様子を示したものである。図９において、二点
鎖線は走行開始段階（初期段階）の特性を示し、実線は
３０，０００ｋｍ走行した後の特性を示す。また、図１
０において、細い実線は走行開始段階（初期段階）の特
性を示し、太い実線は３０，０００ｋｍ走行した後の特
性を示す。
ンジンの実車にて３０，０００ｋｍの実車走行をした後
の補正の様子を示したものである。図９において、二点
鎖線は走行開始段階（初期段階）の特性を示し、実線は
３０，０００ｋｍ走行した後の特性を示す。また、図１
０において、細い実線は走行開始段階（初期段階）の特
性を示し、太い実線は３０，０００ｋｍ走行した後の特
性を示す。
【００９９】比較例では、図９に示すように、２０％の
酸素では全く補正が効かず、５％でようやく平坦部の動
作点になるのに対し、実施例では、図１０に示すよう
に、２０％でも依然として平坦部での動作が可能であ
り、前記実施例、即ち第２の実施の形態に係るガスセン
サの補正の有用性が理解できる。
酸素では全く補正が効かず、５％でようやく平坦部の動
作点になるのに対し、実施例では、図１０に示すよう
に、２０％でも依然として平坦部での動作が可能であ
り、前記実施例、即ち第２の実施の形態に係るガスセン
サの補正の有用性が理解できる。
【０１００】次に、前記第２の実施の形態に係るガスセ
ンサの変形例について図１１を参照しながら説明する。
なお、図４と対応するものについては同符号を記し、そ
の重複説明を省略する。
ンサの変形例について図１１を参照しながら説明する。
なお、図４と対応するものについては同符号を記し、そ
の重複説明を省略する。
【０１０１】この変形例に係るガスセンサは、図示する
ように、第１の実施の形態に係るガスセンサの変形例と
ほぼ同じ構成を有するが、内側ポンプ電極２４ａとＧＮ
Ｄ間に抵抗Ｒが接続され、抵抗Ｒの一端と基準電圧Ｖｂ
の発生源（電源６０）との間に差動増幅器（オペアン
プ）６２が挿入接続されて構成されている点で異なる。
具体的には、差動増幅器６２の非反転端子に抵抗Ｒの前
記一端が接続され、差動増幅器６２の反転端子は接地と
され、差動増幅器６２の出力端子は、電源６０の負極に
接続されて構成されている。
ように、第１の実施の形態に係るガスセンサの変形例と
ほぼ同じ構成を有するが、内側ポンプ電極２４ａとＧＮ
Ｄ間に抵抗Ｒが接続され、抵抗Ｒの一端と基準電圧Ｖｂ
の発生源（電源６０）との間に差動増幅器（オペアン
プ）６２が挿入接続されて構成されている点で異なる。
具体的には、差動増幅器６２の非反転端子に抵抗Ｒの前
記一端が接続され、差動増幅器６２の反転端子は接地と
され、差動増幅器６２の出力端子は、電源６０の負極に
接続されて構成されている。
【０１０２】この変形例に係るガスセンサにおいても、
前記第２の実施の形態に係るガスセンサと同様に、酸素
ポンプ２２に流れる電流を抵抗Ｒにて電圧に変換し、該
電圧を差動増幅器６２にて所定のゲインで増幅して電源
６０に重畳させるようにしていることから、ポンプ電圧
Ｖｐに対する酸素ポンプ２２のインピーダンスによる誤
差が有効に吸収され、ポンプ電圧Ｖｐに対するフィード
バック制御を精度よく行わせることが可能となる。
前記第２の実施の形態に係るガスセンサと同様に、酸素
ポンプ２２に流れる電流を抵抗Ｒにて電圧に変換し、該
電圧を差動増幅器６２にて所定のゲインで増幅して電源
６０に重畳させるようにしていることから、ポンプ電圧
Ｖｐに対する酸素ポンプ２２のインピーダンスによる誤
差が有効に吸収され、ポンプ電圧Ｖｐに対するフィード
バック制御を精度よく行わせることが可能となる。
【０１０３】なお、この発明は上述の実施の形態に限ら
ず、この発明の要旨を逸脱することなく種々の構成を採
り得ることはもちろんである。
ず、この発明の要旨を逸脱することなく種々の構成を採
り得ることはもちろんである。
【０１０４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るガス
センサによれば、固体電解質からなる基体にて囲まれ、
かつ被測定ガスが導入される第１の空間と、前記基体に
おける前記第１の空間の内外に形成された内側電極及び
外側電極と、これら両電極にて挟まれた前記基体と、前
記両電極間に所定のガス成分を汲み出すための制御電圧
を印加するポンプ電源とを有するガスポンプ手段と、固
体電解質からなる基体にて囲まれ、かつ基準ガスが導入
される第２の空間と、前記基体における前記第２の空間
側に形成された基準電極と前記ガスポンプ手段における
前記内側電極との間の両端電圧を測定する測定手段と、
前記両端電圧に基づいて前記制御電圧のレベルを調整す
る制御電圧調整手段とを設けるようにしている。
センサによれば、固体電解質からなる基体にて囲まれ、
かつ被測定ガスが導入される第１の空間と、前記基体に
おける前記第１の空間の内外に形成された内側電極及び
外側電極と、これら両電極にて挟まれた前記基体と、前
記両電極間に所定のガス成分を汲み出すための制御電圧
を印加するポンプ電源とを有するガスポンプ手段と、固
体電解質からなる基体にて囲まれ、かつ基準ガスが導入
される第２の空間と、前記基体における前記第２の空間
側に形成された基準電極と前記ガスポンプ手段における
前記内側電極との間の両端電圧を測定する測定手段と、
前記両端電圧に基づいて前記制御電圧のレベルを調整す
る制御電圧調整手段とを設けるようにしている。
【０１０５】このため、ガスポンプ手段への制御電圧の
フィードバック制御系の発振現象を有効に解消すること
ができるという効果が達成される。
フィードバック制御系の発振現象を有効に解消すること
ができるという効果が達成される。
【０１０６】特に、前記構成において、前記ガスポンプ
手段による前記ガス成分の汲み出しの際に、該ガスポン
プ手段に流れる電流を検出する電流検出手段と、前記電
流検出手段にて検出された電流値に基づいて前記比較電
圧のレベルを調整する比較電圧調整手段を設けるように
すれば、ガスポンプ手段のインピーダンスによる電圧降
下分の誤差を吸収でき、所定のガス成分の濃度を精度よ
く検出することができるという効果を併せ持つことがで
きる。
手段による前記ガス成分の汲み出しの際に、該ガスポン
プ手段に流れる電流を検出する電流検出手段と、前記電
流検出手段にて検出された電流値に基づいて前記比較電
圧のレベルを調整する比較電圧調整手段を設けるように
すれば、ガスポンプ手段のインピーダンスによる電圧降
下分の誤差を吸収でき、所定のガス成分の濃度を精度よ
く検出することができるという効果を併せ持つことがで
きる。
【０１０７】次に、本発明に係るガスセンサの制御方法
によれば、固体電解質からなる基体にて囲まれ、かつ被
測定ガスが導入される第１の空間と、前記基体における
前記第１の空間の内外に形成された内側電極及び外側電
極と、これら両電極にて挟まれた前記基体と、前記両電
極間に前記制御電圧を印加するためのポンプ電源を有す
るガスポンプ手段と、固体電解質からなる基体にて囲ま
れ、かつ基準ガスが導入される第２の空間と、前記基体
における前記第２の空間側に形成された基準電極とを有
するガスセンサの制御方法において、前記ガスポンプ手
段における前記内側電極と前記基準電極との両端電圧を
測定し、その電圧に基づいて前記制御電圧のレベルを調
整するようにしている。
によれば、固体電解質からなる基体にて囲まれ、かつ被
測定ガスが導入される第１の空間と、前記基体における
前記第１の空間の内外に形成された内側電極及び外側電
極と、これら両電極にて挟まれた前記基体と、前記両電
極間に前記制御電圧を印加するためのポンプ電源を有す
るガスポンプ手段と、固体電解質からなる基体にて囲ま
れ、かつ基準ガスが導入される第２の空間と、前記基体
における前記第２の空間側に形成された基準電極とを有
するガスセンサの制御方法において、前記ガスポンプ手
段における前記内側電極と前記基準電極との両端電圧を
測定し、その電圧に基づいて前記制御電圧のレベルを調
整するようにしている。
【０１０８】このため、ガスポンプ手段への制御電圧の
フィードバック制御系の発振現象を有効に解消すること
ができるという効果が達成される。
フィードバック制御系の発振現象を有効に解消すること
ができるという効果が達成される。
【０１０９】特に、前記制御方法において、前記ガスポ
ンプ手段による前記ガス成分の汲み出しの際に、該ガス
ポンプ手段に流れる電流を検出し、その検出された電流
値に基づいて前記比較電圧のレベルを調整するようにす
れば、ガスポンプ手段のインピーダンスによる電圧降下
分の誤差を吸収でき、所定のガス成分の濃度を精度よく
検出することができるという効果を併せ持つことができ
る。
ンプ手段による前記ガス成分の汲み出しの際に、該ガス
ポンプ手段に流れる電流を検出し、その検出された電流
値に基づいて前記比較電圧のレベルを調整するようにす
れば、ガスポンプ手段のインピーダンスによる電圧降下
分の誤差を吸収でき、所定のガス成分の濃度を精度よく
検出することができるという効果を併せ持つことができ
る。
【０１１０】次に、本発明に係るガス濃度制御器によれ
ば、固体電解質からなる基体にて囲まれ、かつ被測定ガ
スが導入される第１の空間と、前記被測定ガスの前記第
１の空間への導入経路に設けられ、前記被測定ガスに対
して所定の拡散抵抗を付与するガス拡散律速部と、前記
基体における前記第１の空間の内外に形成された内側電
極及び外側電極と、これら両電極にて挟まれた前記基体
と、前記両電極間に所定のガス成分を汲み出すための制
御電圧を印加するポンプ電源とを有するガスポンプ手段
と、固体電解質からなる基体にて囲まれ、かつ基準ガス
が導入される第２の空間と、前記基体における前記第２
の空間側に形成された基準電極と前記ガスポンプ手段に
おける前記内側電極との間の両端電圧を測定する測定手
段と、前記両端電圧に基づいて前記制御電圧のレベルを
調整する制御電圧調整手段とを設けるようにしている。
ば、固体電解質からなる基体にて囲まれ、かつ被測定ガ
スが導入される第１の空間と、前記被測定ガスの前記第
１の空間への導入経路に設けられ、前記被測定ガスに対
して所定の拡散抵抗を付与するガス拡散律速部と、前記
基体における前記第１の空間の内外に形成された内側電
極及び外側電極と、これら両電極にて挟まれた前記基体
と、前記両電極間に所定のガス成分を汲み出すための制
御電圧を印加するポンプ電源とを有するガスポンプ手段
と、固体電解質からなる基体にて囲まれ、かつ基準ガス
が導入される第２の空間と、前記基体における前記第２
の空間側に形成された基準電極と前記ガスポンプ手段に
おける前記内側電極との間の両端電圧を測定する測定手
段と、前記両端電圧に基づいて前記制御電圧のレベルを
調整する制御電圧調整手段とを設けるようにしている。
【０１１１】このため、ガスポンプ手段への制御電圧の
フィードバック制御系の発振現象を有効に解消すること
ができるという効果が達成される。
フィードバック制御系の発振現象を有効に解消すること
ができるという効果が達成される。
【０１１２】特に、前記構成において、前記ガスポンプ
手段による前記ガス成分の汲み出しの際に、該ガスポン
プ手段に流れる電流を検出する電流検出手段と、前記電
流検出手段にて検出された電流値に基づいて前記比較電
圧のレベルを調整する比較電圧調整手段を設けるように
すれば、ガスポンプ手段のインピーダンスによる電圧降
下分の誤差を吸収でき、所定のガス成分の濃度を精度よ
く検出することができるという効果を併せ持つことがで
きる。
手段による前記ガス成分の汲み出しの際に、該ガスポン
プ手段に流れる電流を検出する電流検出手段と、前記電
流検出手段にて検出された電流値に基づいて前記比較電
圧のレベルを調整する比較電圧調整手段を設けるように
すれば、ガスポンプ手段のインピーダンスによる電圧降
下分の誤差を吸収でき、所定のガス成分の濃度を精度よ
く検出することができるという効果を併せ持つことがで
きる。
【０１１３】次に、本発明に係るガス濃度の制御方法に
よれば、固体電解質からなる基体にて囲まれた第１の空
間に被測定ガスを導入し、前記基体における前記第１の
空間の内外に形成された内側電極及び外側電極間に所定
のガス成分を汲み出すための制御電圧を印加し、固体電
解質からなる基体にて囲まれた第２の空間に基準ガスを
導入し、前記基体における前記第２の空間側に形成され
た基準電極と前記内側電極との間の両端電圧を測定し、
前記両端電圧に基づいて前記制御電圧のレベルを調整す
るようにしている。
よれば、固体電解質からなる基体にて囲まれた第１の空
間に被測定ガスを導入し、前記基体における前記第１の
空間の内外に形成された内側電極及び外側電極間に所定
のガス成分を汲み出すための制御電圧を印加し、固体電
解質からなる基体にて囲まれた第２の空間に基準ガスを
導入し、前記基体における前記第２の空間側に形成され
た基準電極と前記内側電極との間の両端電圧を測定し、
前記両端電圧に基づいて前記制御電圧のレベルを調整す
るようにしている。
【０１１４】このため、ガスポンプ手段への制御電圧の
フィードバック制御系の発振現象を有効に解消すること
ができるという効果が達成される。
フィードバック制御系の発振現象を有効に解消すること
ができるという効果が達成される。
【０１１５】特に、前記制御方法において、前記所定の
ガス成分の汲み出しの際に前記基体に流れる電流を検出
し、検出された電流値に基づいて前記比較電圧のレベル
を調整するようにすれば、ガスポンプ手段のインピーダ
ンスによる電圧降下分の誤差を吸収でき、所定のガス成
分の濃度を精度よく検出することができるという効果を
併せ持つことができる。
ガス成分の汲み出しの際に前記基体に流れる電流を検出
し、検出された電流値に基づいて前記比較電圧のレベル
を調整するようにすれば、ガスポンプ手段のインピーダ
ンスによる電圧降下分の誤差を吸収でき、所定のガス成
分の濃度を精度よく検出することができるという効果を
併せ持つことができる。
【図１】本発明に係るガスセンサを例えば車両の排気ガ
スや大気中に含まれるＮＯ，ＮＯ2 ，ＳＯ2 、ＣＯ2 、
Ｈ2 Ｏ等の酸化物や、ＣＯ，ＣｎＨｍ等の可燃ガスを測
定するガスセンサに適用した第１の実施の形態例（以
下、単に第１の実施の形態に係るガスセンサと記す）を
示す概略構成図である。
スや大気中に含まれるＮＯ，ＮＯ2 ，ＳＯ2 、ＣＯ2 、
Ｈ2 Ｏ等の酸化物や、ＣＯ，ＣｎＨｍ等の可燃ガスを測
定するガスセンサに適用した第１の実施の形態例（以
下、単に第１の実施の形態に係るガスセンサと記す）を
示す概略構成図である。
【図２】第１の実施の形態に係るガスセンサの具体的構
成を示す構成図である。
成を示す構成図である。
【図３】第１の実施の形態に係るガスセンサの変形例の
概略構成を示す構成図である。
概略構成を示す構成図である。
【図４】第１の実施の形態に係るガスセンサの変形例の
具体的構成を示す構成図である。
具体的構成を示す構成図である。
【図５】本発明に係るガスセンサを例えば車両の排気ガ
スや大気中に含まれるＮＯ，ＮＯ2 ，ＳＯ2 、ＣＯ2 、
Ｈ2 Ｏ等の酸化物や、ＣＯ，ＣｎＨｍ等の可燃ガスを測
定するガスセンサに適用した第２の実施の形態例（以
下、単に第２の実施の形態に係るガスセンサと記す）の
具体的構成を示す構成図である。
スや大気中に含まれるＮＯ，ＮＯ2 ，ＳＯ2 、ＣＯ2 、
Ｈ2 Ｏ等の酸化物や、ＣＯ，ＣｎＨｍ等の可燃ガスを測
定するガスセンサに適用した第２の実施の形態例（以
下、単に第２の実施の形態に係るガスセンサと記す）の
具体的構成を示す構成図である。
【図６】被測定ガス中の酸素濃度が変化したときに、起
電力分を４００ｍＶに補正制御しようとする場合の比較
例と実施例の実際の起電力分を比較した表図である。
電力分を４００ｍＶに補正制御しようとする場合の比較
例と実施例の実際の起電力分を比較した表図である。
【図７】比較例に係るガスセンサの限流特性を示す特性
図である。
図である。
【図８】実施例に係るガスセンサの限流特性を示す特性
図である。
図である。
【図９】２．０Ｌ直列４気筒エンジンの実車にて３０，
０００ｋｍの実車走行をした後の補正の様子を示すもの
で、比較例に係るガスセンサの限流特性を示す特性図で
ある。
０００ｋｍの実車走行をした後の補正の様子を示すもの
で、比較例に係るガスセンサの限流特性を示す特性図で
ある。
【図１０】２．０Ｌ直列４気筒エンジンの実車にて３
０，０００ｋｍの実車走行をした後の補正の様子を示す
もので、実施例に係るガスセンサの限流特性を示す特性
図である。
０，０００ｋｍの実車走行をした後の補正の様子を示す
もので、実施例に係るガスセンサの限流特性を示す特性
図である。
【図１１】第２の実施の形態に係るガスセンサの変形例
の具体的構成を示す構成図である。
の具体的構成を示す構成図である。
【図１２】従来例に係る全領域酸素ガスセンサを示す構
成図である。
成図である。
【図１３】従来例に係る酸素ポンプを用いた限界電流式
酸素センサ（その１）を示す構成図である。
酸素センサ（その１）を示す構成図である。
【図１４】従来例に係る酸素ポンプを用いた限界電流式
酸素センサ（その２）を示す構成図である。
酸素センサ（その２）を示す構成図である。
【図１５】従来例に係る酸素ポンプを用いた限界電流式
酸素センサの限流特性を示す特性図である。
酸素センサの限流特性を示す特性図である。
【図１６】他の従来例に係るガスセンサを示す構成図で
ある。
ある。
【図１７】他の従来例に係るガスポンプの限流特性を示
す特性図である。
す特性図である。
１６…基準ガス導入空間 １８…ガス導入
空間 ２０…拡散律速部 ２２…酸素ポン
プ ２４ａ…内側ポンプ電極 ２４ｂ…外側ポ
ンプ電極 ２６…基準電極 ３２…比較増幅
器 ４０…第１の拡散律速部 ４２…第２の拡
散律速部 ４４…第１室 ４６…第２室 ５２…酸素濃度制御器 ６２…差動増幅
器 Ｒ…抵抗
空間 ２０…拡散律速部 ２２…酸素ポン
プ ２４ａ…内側ポンプ電極 ２４ｂ…外側ポ
ンプ電極 ２６…基準電極 ３２…比較増幅
器 ４０…第１の拡散律速部 ４２…第２の拡
散律速部 ４４…第１室 ４６…第２室 ５２…酸素濃度制御器 ６２…差動増幅
器 Ｒ…抵抗
Claims (19)
- 【請求項１】固体電解質からなる基体にて囲まれ、かつ
被測定ガスが導入される第１の空間と、 前記基体における前記第１の空間の内外に形成された内
側電極及び外側電極と、これら両電極にて挟まれた前記
基体と、前記両電極間に所定のガス成分を汲み出すため
の制御電圧を印加するポンプ電源とを有するガスポンプ
手段と、 固体電解質からなる基体にて囲まれ、かつ基準ガスが導
入される第２の空間と、 前記基体における前記第２の空間側に形成された基準電
極と前記ガスポンプ手段における前記内側電極との間の
両端電圧を測定する測定手段と、 前記両端電圧に基づいて前記制御電圧のレベルを調整す
る制御電圧調整手段とを有することを特徴とするガスセ
ンサ。 - 【請求項２】請求項１記載のガスセンサにおいて、 前記制御電圧調整手段は、前記起電圧と比較電圧との偏
差をとる比較手段を有し、該比較手段にて得られた偏差
に基づいて前記制御電圧のレベルを調整することを特徴
とするガスセンサ。 - 【請求項３】請求項２記載のガスセンサにおいて、 前記ガスポンプ手段による前記ガス成分の汲み出しの際
に、該ガスポンプ手段に流れる電流を検出する電流検出
手段と、 前記電流検出手段にて検出された電流値に基づいて前記
比較電圧のレベルを調整する比較電圧調整手段を有する
ことを特徴とするガスセンサ。 - 【請求項４】請求項１〜３のうち、いずれか１項記載の
ガスセンサにおいて、 前記被測定ガスの前記第１の空間への導入経路に、前記
被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与するガス拡散
律速部が設けられていることを特徴とするガスセンサ。 - 【請求項５】請求項１〜４のうち、いずれか１項記載の
ガスセンサにおいて、 前記第１の空間内の被測定ガスが導入される第３の空間
と、 前記被測定ガスの前記第３の空間への導入経路に設けら
れ、前記被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与する
第２のガス拡散律速部と、 前記第３の空間内に配置され、前記被測定ガスから前記
所定のガス成分を分解発生させる被測定ガス分解手段
と、 前記被測定ガス分解手段により分解発生した前記所定の
ガス成分を検出するガス成分検出手段を有することを特
徴とするガスセンサ。 - 【請求項６】請求項１〜４のうち、いずれか１項記載の
ガスセンサにおいて、 前記第１の空間内の被測定ガスが導入される第３の空間
と、 前記被測定ガスの前記第３の空間への導入経路に設けら
れ、前記被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与する
第２のガス拡散律速部と、 前記第３の空間内に前記所定のガス成分を送り込むガス
成分供給手段と、 前記ガス成分供給手段により送り込まれる前記ガス成分
を検出するガス成分検出手段を有することを特徴とする
ガスセンサ。 - 【請求項７】固体電解質からなる基体にて囲まれ、かつ
被測定ガスが導入される第１の空間と、 前記基体における前記第１の空間の内外に形成された内
側電極及び外側電極と、これら両電極にて挟まれた前記
基体と、前記両電極間に前記制御電圧を印加するための
ポンプ電源を有するガスポンプ手段と、 固体電解質からなる基体にて囲まれ、かつ基準ガスが導
入される第２の空間と、 前記基体における前記第２の空間側に形成された基準電
極とを有するガスセンサの制御方法において、 前記ガスポンプ手段における前記内側電極と前記基準電
極との両端電圧を測定し、その電圧に基づいて前記制御
電圧のレベルを調整することを特徴とするガスセンサの
制御方法。 - 【請求項８】請求項７記載のガスセンサの制御方法にお
いて、 前記制御電圧の調整は、前記起電圧と比較電圧との偏差
をとり、得られた偏差に基づいて前記制御電圧のレベル
を調整することを特徴とするガスセンサの制御方法。 - 【請求項９】請求項８記載のガスセンサの制御方法にお
いて、 前記ガスポンプ手段による前記ガス成分の汲み出しの際
に、該ガスポンプ手段に流れる電流を検出し、その検出
された電流値に基づいて前記比較電圧のレベルを調整す
ることを特徴とするガスセンサの制御方法。 - 【請求項１０】請求項７〜９のうち、いずれか１項記載
のガスセンサの制御方法において、 前記ガスセンサは、前記被測定ガスの前記第１の空間へ
の導入経路に、前記被測定ガスに対して所定の拡散抵抗
を付与するガス拡散律速部が設けられていることを特徴
とするガスセンサの制御方法。 - 【請求項１１】請求項７〜１０のうち、いずれか１項記
載のガスセンサの制御方法において、 前記ガスセンサは、前記第１の空間内の被測定ガスが導
入される第３の空間と、 前記被測定ガスの前記第３の空間への導入経路に設けら
れ、前記被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与する
第２のガス拡散律速部と、 前記第３の空間内に配置され、前記被測定ガスから前記
所定のガス成分を分解発生させる被測定ガス分解手段
と、 前記被測定ガス分解手段により分解発生した前記所定の
ガス成分を検出するガス成分検出手段を有することを特
徴とするガスセンサの制御方法。 - 【請求項１２】請求項７〜１０のうち、いずれか１項記
載のガスセンサの制御方法において、 前記ガスセンサは、前記第１の空間内の被測定ガスが導
入される第３の空間と、 前記被測定ガスの前記第３の空間への導入経路に設けら
れ、前記被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与する
第２のガス拡散律速部と、 前記第３の空間内に前記所定のガス成分を送り込むガス
成分供給手段と、 前記ガス成分供給手段により送り込まれる前記ガス成分
を検出するガス成分検出手段を有することを特徴とする
ガスセンサの制御方法。 - 【請求項１３】固体電解質からなる基体にて囲まれ、か
つ被測定ガスが導入される第１の空間と、 前記被測定ガスの前記第１の空間への導入経路に設けら
れ、前記被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与する
ガス拡散律速部と、 前記基体における前記第１の空間の内外に形成された内
側電極及び外側電極と、これら両電極にて挟まれた前記
基体と、前記両電極間に所定のガス成分を汲み出すため
の制御電圧を印加するポンプ電源とを有するガスポンプ
手段と、 固体電解質からなる基体にて囲まれ、かつ基準ガスが導
入される第２の空間と、 前記基体における前記第２の空間側に形成された基準電
極と前記ガスポンプ手段における前記内側電極との間の
両端電圧を測定する測定手段と、 前記両端電圧に基づいて前記制御電圧のレベルを調整す
る制御電圧調整手段とを有することを特徴とするガス濃
度制御器。 - 【請求項１４】請求項１３記載のガス濃度制御器におい
て、 前記制御電圧調整手段は、前記起電圧と比較電圧との偏
差をとる比較手段を有し、該比較手段にて得られた偏差
に基づいて前記制御電圧のレベルを調整することを特徴
とするガス濃度制御器。 - 【請求項１５】請求項１４記載のガス濃度制御器におい
て、 前記ガスポンプ手段による前記ガス成分の汲み出しの際
に、該ガスポンプ手段に流れる電流を検出する電流検出
手段と、 前記電流検出手段にて検出された電流値に基づいて前記
比較電圧のレベルを調整する比較電圧調整手段を有する
ことを特徴とするガス濃度制御器。 - 【請求項１６】固体電解質からなる基体にて囲まれた第
１の空間に被測定ガスを導入し、 前記基体における前記第１の空間の内外に形成された内
側電極及び外側電極間に所定のガス成分を汲み出すため
の制御電圧を印加し、 固体電解質からなる基体にて囲まれた第２の空間に基準
ガスを導入し、 前記基体における前記第２の空間側に形成された基準電
極と前記内側電極との間の両端電圧を測定し、 前記両端電圧に基づいて前記制御電圧のレベルを調整す
ることを特徴とするガス濃度の制御方法。 - 【請求項１７】請求項１６記載のガス濃度の制御方法に
おいて、 前記制御電圧の調整は、前記起電圧と比較電圧との偏差
をとり、得られた該偏差に基づいて前記制御電圧のレベ
ルを調整することを特徴とするガス濃度の制御方法。 - 【請求項１８】請求項１７記載のガス濃度の制御方法に
おいて、 前記所定のガス成分の汲み出しの際に前記基体に流れる
電流を検出し、 検出された前記電流値に基づいて前記比較電圧のレベル
を調整することを特徴とするガス濃度の制御方法。 - 【請求項１９】請求項１６〜１８のうち、いずれか１項
記載のガス濃度の制御方法において、 前記被測定ガスの前記第１の空間への導入にあたって、
前記被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与すること
を特徴とするガス濃度の制御方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17016096A JP3692182B2 (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | ガスセンサ、ガスセンサの制御方法及びガス濃度制御器 |
| US08/882,075 US6036842A (en) | 1996-06-28 | 1997-06-25 | Gas sensor, method for controlling gas sensor, gas concentration controller, and method for controlling gas concentration |
| DE69738007T DE69738007T2 (de) | 1996-06-28 | 1997-06-27 | Gassensor, Verfahren zur Überwachung des Gassensors und der Gaskonzentration |
| EP97304665A EP0816836B1 (en) | 1996-06-28 | 1997-06-27 | Gas sensor, method for controlling gas sensor, gas concentration controller and method for controlling gas concentration |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17016096A JP3692182B2 (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | ガスセンサ、ガスセンサの制御方法及びガス濃度制御器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1019842A true JPH1019842A (ja) | 1998-01-23 |
| JP3692182B2 JP3692182B2 (ja) | 2005-09-07 |
Family
ID=15899801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17016096A Expired - Fee Related JP3692182B2 (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | ガスセンサ、ガスセンサの制御方法及びガス濃度制御器 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6036842A (ja) |
| EP (1) | EP0816836B1 (ja) |
| JP (1) | JP3692182B2 (ja) |
| DE (1) | DE69738007T2 (ja) |
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- 1996-06-28 JP JP17016096A patent/JP3692182B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
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