JPH10197801A - 光学素子切換機構 - Google Patents
光学素子切換機構Info
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Abstract
く行うことができる光学素子切換機構を提供する。 【解決手段】 ハウジング10に設けられた固定ガイド
部20と、この固定ガイド部20に対して移動可能に設
けられ、3つ以上の光学素子61〜63が取り付けられ
た可動ガイド部30とを備え、可動ガイド部30を移動
させて、3つ以上の光学素子61〜63のうちのいずれ
かの光学素子を光路L1に選択的に挿入し得るようにし
た光学素子切換機構において、可動ガイド部30の移動
を制限して、3つ以上の光学素子61〜63のうち光路
L1に挿入可能な複数の光学素子の種類を限定する制限
機構を備える。
Description
る光学素子切換機構に関する。
られた固定ガイド部と、この固定ガイド部に対して移動
可能に設けられ、複数の光学素子を取り付けた可動ガイ
ド部とを備えている。この光学素子切換機構によれば、
可動ガイド部を固定ガイド部に沿って移動させ、複数の
光学素子のうちの任意の光学素子を光路に挿入すること
ができる。
を用いた検査方法は2つ程度の光学素子を用いて行われ
ていたが、近年次々と新しい検査方法が開発され、この
開発に伴って使用する光学素子が3つ以上となる傾向に
ある。
も使用されるようになった。その結果、多くの光学素子
の中から所望の光学素子を素速く選択する必要が生じ、
また間違った光学素子を選択してしまうという問題があ
った。
たもので、その課題は光学素子の切換えを素速く、しか
も間違いなく行うことができる光学素子切換機構を提供
することである。
請求項1に記載の発明の光学素子切換機構は、ハウジン
グに設けられた固定ガイド部と、この固定ガイド部に対
して移動可能に設けられ、3つ以上の光学素子が取り付
けられた可動ガイド部とを備え、前記可動ガイド部を移
動させて、前記3つ以上の光学素子のうちのいずれかの
光学素子を光路に選択的に挿入し得るようにした光学素
子切換機構において、前記可動ガイド部の移動を制限し
て、前記3つ以上の光学素子のうち前記光路に挿入可能
な光学素子の種類を限定する制限機構を備えていること
を特徴とする。
を制限できるので、可動ガイド部に取り付けた複数の光
学素子の中から必要とする光学素子だけを選択すること
ができる。
は、請求項1に記載の光学素子切換機構において、前記
制限機構は、制限ピンを有し前記可動ガイド部と直交す
る方向へ移動可能な操作部と、前記ハウジングに設けら
れ前記制限ピンの移動範囲を制限する制限部材とを備え
ることを特徴とする。
範囲が制限され、移動範囲と対応する位置の光学素子だ
けが光路に挿入される。
は、請求項1に記載の光学素子切換機構において、前記
制限機構は、制限ピンを有し前記可動ガイド部と直交す
る方向へ移動可能な操作部と、前記可動ガイド部に固定
され前記制限ピンにより移動範囲が制限される制限部材
とを備えることを特徴とする。
動範囲が制限され、移動範囲と対応する位置の光学素子
だけが光路に挿入される。
は、請求項1に記載の光学素子切換機構において、前記
制限機構は、制限ピンを有し前記可動ガイド部と直交す
る方向へ移動可能な操作部と、前記ハウジングに設けら
れ、前記3つ以上の光学素子のうち少なくとも1つの光
学素子を前記光路上に保持する切欠が形成された制限部
材とを備えることを特徴とする。
せ、可動ガイド部の移動を阻止することができるので、
光学素子が光路上に保持され、光学素子の選択の誤りが
未然に防止される。
は、ハウジングに設けられた軸と、この軸に対して回転
可能に設けられ、3つ以上の光学素子が取り付けれたタ
ーレットとを備え、前記ターレットを回転させて、前記
3つ以上の光学素子のうちのいずれかの光学素子を光路
に選択的に挿入し得るようにした光学素子切換機構にお
いて、前記ターレットの回転範囲を制限して前記3つ以
上の光学素子のうち前記光路に挿入可能な光学素子の種
類を限定する制限機構を備えていることを特徴とする。
制限できるので、ターレットに取り付けた複数の光学素
子の中から必要とする光学素子だけを選択することがで
きる。
は、請求項5に記載の光学素子切換機構において、前記
制限機構は、制限ピンを有し前記ターレットの直径方向
に移動可能な操作部と、前記ターレットに形成され、前
記制限ピンの移動により回転範囲を制限する切欠とを備
えることを特徴とする。
ド部の回転範囲が制限され、回転範囲と対応する位置の
光学素子だけが光路に挿入される。
は、請求項5に記載の光学素子切換機構において、前記
制限機構は、制限ピンを有し前記ターレットの直径方向
に移動可能な操作部と、前記ターレットに形成され、前
記制限ピンの移動により前記3つ以上の光学素子のうち
少なくとも1つの光学素子を前記光路上に保持する切欠
とを備えることを特徴とする。
を阻止することができるので、光学素子が光路上に保持
され、光学素子の選択の誤りが未然に防止される。
面に基づいて説明する。
素子切換機構の横断面図、図2は図1のII−II矢視断面
図である。
固定ガイド部20と、可動ガイド部30と、操作レバー
(操作部)40と、制限ピン41と、制限プレート(制
限部材)50とを備える。
側ハウジング12とからなる。上側ハウジング11と下
側ハウジング12とから形成される閉空間には、固定ガ
イド部20、可動ガイド部30、操作レバー40、制限
ピン41及び制限プレート50が収容されている。
ング12には、図2の上下方向に延びる光路L1上に位
置する開口11a,12aがそれぞれ形成されている。
ビス13によって固着されている。固定ガイド部20の
上部には可動ガイド部30方向へ延びる貫通孔21が形
成されている。貫通孔21の一端は固定ガイド部20の
側面にビス23で固着された係止板22によって封止さ
れている。
着されている。この鋼球24は貫通孔21に収容された
バネ25によって可動ガイド部30方向へ付勢され、後
述する上側可動ガイド部31の側面と所定の圧力で当接
している。
複数のボール70を転動可能に支持するボールレース機
構を介して接続され、可動ガイド部30は固定ガイド部
20に対して移動可能となっている。また、この可動ガ
イド部30の固定ガイド部20と反対側の側面にはミラ
ーあるいはレンズ等の光学素子61〜63が取り付けら
れている。
31と下側可動ガイド部32とからなり、下側可動ガイ
ド部32はビス33によって上側可動ガイド部31に固
着されている。
と係合可能なV溝34〜36が光学素子61〜63と対
応する位置に形成されている。
穴37が光路L1と平行に形成され、この小穴37には
バネ38と鋼球39とが装着され、バネ38の弾性力に
よって鋼球39が操作レバー40の方向へ付勢されてい
る。
1の側面に形成したスリット11bを貫通してハウジン
グ10の外部へ延びており、この一端には操作つまみ4
2がビス43によって取り付けられている。
って矢印aに示す方向に移動可能に支持されている。な
お、固定部材44はビス45a,45bによって可動ガ
イド部30に取り付けられている。
の直径より若干小さい直径の小孔46,47が操作レバ
ー40の中心軸である軸線L2上に所定の間隔をおいて
形成されている。したがって、操作レバー40を軸線L
2に沿って移動させたとき、鋼球39を小孔46又は小
孔47に嵌合させることができるので、操作レバー40
は2つの位置で位置決めを行うことができる。
設けられ、軸線L2上に位置している。なお、この制限
ピン41と小孔46、47との位置関係は図1に示すと
おりであり、制限ピン41は操作レバー40を挿脱する
ことによって点線で示す位置と実線で示す位置との間を
移動する。
突起部11eにビス51によって固着されている。制限
プレート50には、3つの光学素子61〜63の中心間
距離に相当する長手方向の長さを有する、矩形の切欠5
2が形成されている。
子61,62の中心間の距離に相当する長手方向の長さ
を有する、矩形の切欠53が形成されている。
制限ピン41、制限プレート50、固定部材44、鋼球
39及びバネ38から制限機構が構成されている。ま
た、この実施形態では制限プレート50はハウジング1
1にビス51によって固定されているが、制限プレート
50はハウジング11と一体に構成するようにしてもよ
い。
軸線L2からずれた位置に配置されていても良い。この
場合、可動ガイド部30に対する操作レバー40の取付
け位置、又は、上側ハウジング11に対する制限プレー
ト50の取付け位置をずらせば良い。
動作する。
孔46とを嵌合させたとき、制限ピン41は点線で示す
位置に至るので、可動ガイド部30を切欠52内で移動
させることができる。
とで可動ガイド部30の何れのV溝34〜35をも鋼球
24と係合させることができ、3つの光学素子61〜6
3の何れをも光路L1上に配置することができる。
引き出して鋼球39と小孔47とを嵌合させたとき、制
限ピン41は実線で示す位置に移動するので、可動ガイ
ド部30を切欠53内だけで移動させることができる。
とで可動ガイド部30はV溝34又はV溝35で鋼球2
4と係合させることができ、2つの光学素子61、62
を光路L1上に配置することができる。
光学素子61,62だけを頻繁に使用するような処理の
場合、操作レバー40を引き出すことで光路L1に挿入
可能な光学素子を2つの光学素子61,62に限定する
ことができるので、素速く目的とする光学素子を選択す
ることができる。
いる場合には、操作レバー40を押込んで3つの光学素
子61〜63の何れをも選択できるようにするので、光
学素子の選択の誤りが少なくなる。
素子切換機構の横断面図、図4は図3のIV−IV矢視断面
図であり、第1実施形態と同一部分には同一符号を付し
てその説明を省略する。
固定ガイド部20と、可動ガイド部130と、操作スイ
ッチ(操作部)140と、制限プレート(制限部材)1
50とを備える。
とから形成される閉空間には、固定ガイド部20、可動
ガイド部130及び制限プレート150が収容されてい
る。
は複数のボール70を転動可能に支持するボールレース
機構を介して接続されている。可動ガイド部130には
ハウジング10を貫通してハウジング10外へ延びる操
作バー142が設けられており、この操作バー142を
操作することによって可動ガイド部130を移動させる
ことができる。また、この可動ガイド部130には光路
L1上に配置されるミラーあるいはレンズ等の光学素子
61〜63が取り付けられている。
部131と下側可動ガイド部132とからなり、下側可
動ガイド部132はビス133によって上側可動ガイド
部131に固着されている。
4と係合可能なV溝134〜136が光学素子61〜6
3と対応する位置に形成されている。
雌ねじ137が形成されている。
ド部130の上面にビス151によって固着されてい
る。制限プレート150の他端には、3つの光学素子6
1〜63の中心間距離に相当する長手方向長さを有す
る、矩形の切欠152が形成されている。
素子61,62の中心間の距離に相当する長手方向の長
さを有する、矩形の切欠153が形成されている。
1の上面を軸L3方向に摺動可能な水平部143と、水
平部143の下面から延びる垂下部(制限ピン)144
とからなる。ここで、軸L3とは、操作スイッチ140
の中心軸のことである。
る方向に平目のローレット目が形成され、水平部143
の下面には所定間隔をおいて2つのV溝146,147
が軸L3上に形成されている。
面に形成された、V溝146とV溝147との間隔に相
当する長さを有する溝11cを介して、ハウジング10
内に挿入されている。垂下部144の先端部144aは
制限プレート150と係合可能な位置まで達している。
44bが形成されており、この雄ねじ144bに雌ねじ
141が螺合され、操作スイッチ140がハウジング1
0から外れないようになっている。
小孔11dが形成され、この小孔11dにバネ148と
鋼球149とが装着され、バネ148の弾性力で鋼球1
49が操作スイッチ140の下面に押し付けられてい
る。
3上で矢印bで示すように移動させたとき、鋼球149
をV溝146又はV溝147に係合させることができる
ので、操作スイッチ140は2つの位置で位置決めを行
うことができ、垂下部144を切欠152と切欠153
とに位置させることができる。
150、鋼球149及びバネ148から制限機構が構成
される。また、この実施形態では制限プレート150は
可動ガイド部130にビス151によって固定されてい
るが、制限プレート150は可動ガイド部130と一体
に構成するようにしてもよい。
動作する。
下部144は点線で示す位置に至るので、操作バー14
2によって可動ガイド部130を切欠153内で移動さ
せることができる。
34〜136で鋼球24と係合させることができ、2つ
の光学素子61,62を光路L1上に配置させることが
できる。
き、垂下部144は実線で示す位置に移動するので、操
作バー142によって可動ガイド部130を切欠152
内で移動させることができる。
何れをも光路L1上に配置させることができ、可動ガイ
ド部130は何れのV溝134〜136をも鋼球24と
係合させることができる。
と同様の効果を発揮することができる。
素子切換機構の横断面図、図6は図5のVI−VI矢視断面
図であり、第2実施形態と同一部分には同一符号を付し
てその説明を省略する。
と、板バネ(固定ガイド部)220と、回転ターレット
(ターレット)230と、操作スイッチ(操作部)14
0とを備える。
と下側ハウジング212とからなり、平面視はほぼ円形
である。上側ハウジング211と下側ハウジング212
とから形成される閉空間には、板バネ220と回転ター
レット230とが収容されている。
この円盤部231の中心部から延びる円筒部232とか
らなる。円筒部232は上側ハウジング211の中心部
に螺着された中心軸215に回転可能に取り付けられて
いる。
4が90゜の間隔をもってビス235によって固着され
ている。各雄あり234にはそれぞれあり溝を有する光
学素子261〜264が取り付けられている。
264に対向して開口231aが形成され、光学素子2
61〜264を取り付けたとき、開口211a、開口2
31a、及び開口212aによって光路L1が形成され
るようになっている。
〜264に対応させて90゜の間隔をもって鋼球236
が取り付けられている。
成されている。更に、この環状溝237の内周側には、
光学素子261、263に対応してそれぞれ90゜の範
囲に亘って環状溝237と同じ深さの切欠238,23
9が形成されている。
221が上側ハウジング211にビス222によって固
着され、垂直部223が光路L1に入った光学素子(図
6では光学素子261)に対応する鋼球236と係合す
る。この構成によって光学素子261〜264を光路L
1上に確実に挿入させることができる。
部144aは円盤部231の環状溝237内にまで達し
ている。
軸線L4上で矢印cで示すように移動させたとき、鋼球
149をV溝146又はV溝147に係合させることが
できるので、操作スイッチ140は2つの位置で位置決
めを行うことができ、垂下部144を環状溝237と切
欠238(239)とに位置させることができる。
0、鋼球149及びバネ148から制限機構が構成され
る。
を参照して説明する。
下部144が点線で示す位置に至るので、垂下部144
を切欠239内で90゜に亘って移動させることがで
き、2つの光学素子261,262を光路L1上に配置
することができる。
は、垂下部144が実線で示す位置に移動するので、垂
下部144を環状溝237の全範囲に亘って移動させる
ことができ、4つの光学素子261〜264の何れをも
光路L1上に挿入することができる。
及び第2実施形態と同様の効果を発揮することができ
る。また、上記各実施形態よりも少ない部材で制限機構
を構成できるので、故障が発生し難いし、動作も確実な
ものとすることができ、併せて製造コストの低減を図る
ことができる。
素子切換機構の横断面図、図8は図7のVIII−VIII矢視
断面図であり、第1実施形態と同一部分には同一符号を
付してその説明を省略する。
固定ガイド部20と、可動ガイド部30と、操作レバー
(操作部)40と、制限プレート(制限部材)350と
を備える。
限プレート350,50の平面形状の点で相違する。
の突起部11aにビス351によって固着されている。
制限プレート350には3つの光学素子61〜63の中
心間距離に相当する長手方向長さを有する、矩形の切欠
352が形成されている。
子61〜63の中心間の間隔と同じ間隔をおいて制限ピ
ン41の直径より若干広い幅を有する矩形の切欠371
〜373が形成されている。
動作する。
孔46とを嵌合させたとき、制限ピン41は点線で示す
位置に至るので、可動ガイド部30を切欠352内で移
動させることができる。
溝34〜36でも鋼球24と嵌合させることができ、3
つの光学素子61〜63の何れをも光路L1上に配置す
ることができる。
させ、操作レバー40を図7に示すように引き出して鋼
球39と小孔47とを嵌合させたとき、制限ピン41は
点線で示す位置から実線で示す位置に移動するので、制
限ピン41は切欠372内に収容される。
ることができなくなるので、光学素子62は光路L1上
に保持される。
が一致する位置にあるときには、制限ピン41は切欠3
71内に収容されるので、光学素子61は光路L1上に
保持され、切欠373と制限ピン41とが一致する位置
にあるときには、制限ピン41は切欠373内に収容さ
れるので、光学素子63は光路L1上に保持される。
学素子を光路L1上に保持することができる。
光学素子62だけを頻繁に使用する場合、操作レバー4
0を引き出すことで光学素子62を光路L1に固定でき
るので、光学素子の選択の誤りを未然に防ぐことができ
る。例えば、誤って操作レバー40を操作して光学素子
を切り換えてしまい、そのことに気付かず試料に大きな
ダメージを与えてしまう等の事態を未然に防止できる。
イド30の長手方向の移動が阻止されるので、光学素子
61〜63の可動ガイド30への取付作業を容易に行な
うことができる。
形態と同様に光学素子61〜63のうち少なくとも1つ
の光学素子を光路L1上に保持する切欠を制限プレート
150に形成することで、第4実施形態と同様の効果を
発揮できる。
形態と同様に光学素子261〜264のうち少なくとも
1つの光学素子を光路L1上に保持する切欠を回転ター
レット230の周縁部に形成することで、第4実施形態
と同様の効果を発揮できる。
プレートの変形例を示す図である。
形態と第4実施形態を組み合わせた形状をしている。
示せず)にビス451によって固着されている。制限プ
レート450には、3つの光学素子(図示せず)の中心
間距離に相当する長手方向の長さを有する、矩形の切欠
452が形成されるとともに、この切欠452の一部に
2つの光学素子の中心間の距離に相当する長手方向の長
さを有する、矩形の切欠453が形成されている。
じ間隔で切欠471〜473が形成されている。
ート350に代えて用いたときの動作を図8を参照して
説明する。なお、軸線L2上には位置441a,441
b,441cに対応して鋼球39と嵌合する3つの小孔
が設けられているものとする。
1を位置441cとしたとき、可動ガイド部30を切欠
452内で移動させることができる。
とで可動ガイド部30の何れのV溝34〜35をも鋼球
24と係合させることができ、3つの光学素子61〜6
3の何れをも光路L1上に配置することができる。
1とが対向する位置で、操作レバー40を引き出して制
限ピン41を位置441bとすることで、制限ピン41
は切欠473内に収容され、光学素子61は光路L1上
に保持される。
する位置と切欠471に対向する位置との間にあり、操
作レバー40を引き出して制限ピン441を位置441
bとしたとき、可動ガイド部30を切欠453内だけで
移動させることができる。
とで可動ガイド部30はV溝34又はV溝35で鋼球2
4と係合させることができ、2つの光学素子61、62
を光路L1上に配置することができる。
とが対向する位置で、操作レバー40を引き出して制限
ピン41を位置441aとすることで、制限ピン41は
切欠472内に収容され、光学素子62は光路L1上に
保持される。
て切欠471内に収容することにより、光学素子63は
光路L1上に保持される。
実施形態とがそれぞれ発揮する効果を合わせた効果を発
揮できる。
み合わせても、第3実施形態と第4実施形態とを組み合
わせてもよく、上記変形例の場合と同様に各実施形態が
発揮する効果を合わせた効果を発揮できる。
発明の光学素子切換機構によれば、制限機構によって可
動ガイド部の移動範囲を制限し、可動ガイド部に取り付
けた複数の光学素子の中から必要とする光学素子だけを
選択することができるので、必要とする光学素子を素速
く、しかも間違いなく選択することができる。
によれば、操作部を引出すことで可動ガイド部の移動範
囲が制限されるので、移動範囲と対応する位置の光学素
子だけを光路に挿入できる。
によれば、操作部を押し込むことで可動ガイド部の移動
範囲が制限されるので、移動範囲と対応する位置の光学
素子だけを光路に挿入できる。
によれば、1つの光学素子だけを頻繁に使用するような
処理の場合、操作レバーを引き出すことで光学素子を光
路上に保持できるので、光学素子の選択の誤りを未然に
防ぐことができる。
によれば、制限機構によってターレットの回転範囲を制
限し、ターレットに取り付けた複数の光学素子の中から
必要とする光学素子だけを選択することができるので、
必要とする光学素子を素速く、しかも間違いなく選択す
ることができる。
によれば、操作部を押し込むことで円盤状の可動ガイド
部の回転範囲が制限されるので、回転範囲と対応する位
置の光学素子だけを光路に挿入できる。
によれば、1つの光学素子だけを頻繁に使用する場合、
操作部を押し込むことで光学素子を光路上に保持できる
ので、光学素子の選択の誤りを未然に防ぐことができ
る。
切換機構の横断面図である。
切換機構の横断面図である。
切換機構の横断面図である。
切換機構の横断面図である。
材) 53,153,238,239 切欠 61〜63,261〜264 光学素子 230 回転ターレット(ターレット)
Claims (7)
- 【請求項1】 ハウジングに設けられた固定ガイド部
と、この固定ガイド部に対して移動可能に設けられ、3
つ以上の光学素子が取り付けられた可動ガイド部とを備
え、前記可動ガイド部を移動させて、前記3つ以上の光
学素子のうちのいずれかの光学素子を光路に選択的に挿
入し得るようにした光学素子切換機構において、 前記可動ガイド部の移動を制限して、前記3つ以上の光
学素子のうち前記光路に挿入可能な光学素子の種類を限
定する制限機構を備えていることを特徴とする光学素子
切換機構。 - 【請求項2】 前記制限機構は、制限ピンを有し前記可
動ガイド部と直交する方向へ移動可能な操作部と、前記
ハウジングに設けられ前記制限ピンの移動範囲を制限す
る制限部材とを備えることを特徴とする請求項1に記載
の光学素子切換機構。 - 【請求項3】 前記制限機構は、制限ピンを有し前記可
動ガイド部と直交する方向へ移動可能な操作部と、前記
可動ガイド部に固定され前記制限ピンにより移動範囲が
制限される制限部材とを備えることを特徴とする請求項
1に記載の光学素子切換機構。 - 【請求項4】 前記制限機構は、制限ピンを有し前記可
動ガイド部と直交する方向へ移動可能な操作部と、前記
ハウジングに設けられ、前記3つ以上の光学素子のうち
少なくとも1つの光学素子を前記光路上に保持する切欠
が形成された制限部材とを備えることを特徴とする請求
項1に記載の光学素子切換機構。 - 【請求項5】 ハウジングに設けられた軸と、この軸に
対して回転可能に設けられ、3つ以上の光学素子が取り
付けれたターレットとを備え、前記ターレットを回転さ
せて、前記3つ以上の光学素子のうちのいずれかの光学
素子を光路に選択的に挿入し得るようにした光学素子切
換機構において、 前記ターレットの回転範囲を制限して前記3つ以上の光
学素子のうち前記光路に挿入可能な光学素子の種類を限
定する制限機構を備えていることを特徴とする光学素子
切換機構。 - 【請求項6】 前記制限機構は、制限ピンを有し前記タ
ーレットの直径方向に移動可能な操作部と、前記ターレ
ットに形成され、前記制限ピンの移動により回転範囲を
制限する切欠とを備えることを特徴とする請求項5に記
載の光学素子切換機構。 - 【請求項7】 前記制限機構は、制限ピンを有し前記タ
ーレットの直径方向に移動可能な操作部と、前記ターレ
ットに形成され、前記制限ピンの移動により前記3つ以
上の光学素子のうち少なくとも1つの光学素子を前記光
路上に保持する切欠とを備えることを特徴とする請求項
5に記載の光学素子切換機構。
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JP8-315411 | 1996-11-12 | ||
JP07440797A JP3861363B2 (ja) | 1996-11-12 | 1997-03-11 | 光学素子切換機構 |
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