JP3369136B2 - 顕微鏡の明暗視野切換装置 - Google Patents

顕微鏡の明暗視野切換装置

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JP3369136B2
JP3369136B2 JP33410999A JP33410999A JP3369136B2 JP 3369136 B2 JP3369136 B2 JP 3369136B2 JP 33410999 A JP33410999 A JP 33410999A JP 33410999 A JP33410999 A JP 33410999A JP 3369136 B2 JP3369136 B2 JP 3369136B2
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/06Means for illuminating specimens
    • G02B21/08Condensers
    • G02B21/12Condensers affording bright-field illumination
    • G02B21/125Condensers affording bright-field illumination affording both dark- and bright-field illumination

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、顕微鏡の明暗視野
切換装置に関する。詳しくは、照明光学系の光路上に配
置され、明視野照明と暗視野照明とを切り換え可能な顕
微鏡の明暗視野切換装置に関する。
【0002】
【背景技術】顕微鏡での観察にあたり、観察対象が比較
的粗い部位の検査については明視野照明が用いられる
が、観察対象が比較的細かな部位の検査、たとえば、I
Cの回路パターンや傷、ゴミの有無などの検査について
は暗視野照明が必要とされる。そのため、顕微鏡の中に
は、明視野照明と暗視野照明とに切り換えできるように
した明暗視野切換装置を備えているものが知られてい
る。
【0003】従来の明暗視野切換装置は、図7に示すよ
うな、スライドユニット100を用いて明視野照明と暗
視野照明とを切り換えるようにしていた。スライドユニ
ット100は、矩形状本体部101と操作ノブ102と
を備え、本体部102に3種のフィルタ、具体的には、
明視野観察用フィルタ103、防眩フィルタ104およ
び暗視野観察用フィルタ105が直線状に配置された構
造である。
【0004】使用にあたっては、顕微鏡の照明光路内に
スライドユニット100を挿入し、押込量(あるいは、
引出量)を変えることによって、スライドユニット10
0に設けられた明視野観察用フィルタ103および暗視
野観察用フィルタ105のいずれかを照明光路上に選択
的に位置させて、観察を行う。この際、暗視野観察用フ
ィルタ105から明視野観察用フィルタ103に切り換
えるとき、途中に防眩フィルタ104が介在されること
により、暗視野観察から明視野観察に切り替わっても目
が眩まないような対策が採られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の構造
では、切り換えに伴うスライドユニット100の移動量
が大きくなり、最も引き出したときには、操作ノブ10
2に近いフィルタ105が顕微鏡本体から外に出てしま
い、フィルタ面にごみやほこりなどが付着する原因とな
る。そこで、スライドユニット100を最も引き出して
も、フィルタ105が顕微鏡本体から外に出ないように
しようとすると、顕微鏡本体の大きさを大きくしなけれ
ばならないから、コストアップにつながるとともに、操
作性にも欠ける。
【0006】このような従来の課題に対して、明視野観
察用フィルタおよび暗視野観察用フィルタを有するユニ
ットと、防眩フィルタを有するユニットとを別々に設
け、これらをそれぞれ独立的に操作するようにすること
も考えられる。しかし、このような構造では、2つのユ
ニットをそれぞれ別位置で操作しなければならないか
ら、持ち替え操作が必要となり、操作性がより悪化す
る。
【0007】本発明の目的は、従来の課題を解消し、小
型化を維持し、かつ、操作性を損なうことなく、上述し
た明視野照明、暗視野照明および防眩照明の3種の状態
に切り換えることができる顕微鏡の明暗視野切換装置を
提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の顕微鏡の明暗視
野切換装置は、上記目的を達成するため、次の構成を採
用する。即ち、本発明の顕微鏡の明暗視野切換装置は、
照明光学系の光路上に配置された顕微鏡の明暗視野切換
装置であって、防眩光学部品および暗視野観察用光学部
品と、前記防眩光学部品および暗視野観察用光学部品を
前記光路に移動可能かつ光路から退避可能に保持するガ
イド機構と、前記防眩光学部品および暗視野観察用光学
部品を前記光路に移動させかつ光路から退避させるとと
もに、前記暗視野観察用光学部品を前記光路上から退避
させるときのみ防眩光学部品を一緒に移動させて光路上
に位置させる切換機構とを備えたことを特徴とする。こ
こにおいて、防眩光学部品とは、照明光学系からの光量
を制限するもの、また、暗視野観察用光学部品とは、暗
視野用集光レンズや暗視野用フィルタ、あるいは、金属
製の遮光マスクなどを指す。
【0009】この構成によれば、ガイド機構を介して、
防眩光学部品および暗視野観察用光学部品が光路に移動
可能かつ光路から退避可能に配置され、これらの移動お
よび退避を切換機構によって行うようにしたので、従来
の3種のフィルタを直線状に配置したスライドユニット
の構造に比べ、移動量が少なくて済むから、装置自体を
大型化しなくてもフィルタが本体の外部へ出ることがな
い。従って、装置の小型化を維持できる。また、切換機
構は、防眩光学部品および暗視野観察用光学部品を光路
に移動させかつ光路から退避させるとともに、暗視野観
察用光学部品を光路上から退避させるときのみ防眩光学
部品を一緒に移動させて光路上に位置させることができ
るから、暗視野観察から明視野観察へ切り換える際に
も、一旦、防眩光学部品が光路上に位置するから、観察
者の目を眩ますことがない。従って、観察者は、暗視野
観察から明視野観察へ切り換える際にも、接眼レンズか
ら目を離さなくてもよいから、操作性を損なうこともな
く、上述した明視野照明から暗視野照明の状態に切り換
えることができる。
【0010】また、前記ガイド機構は、顕微鏡本体に前
記防眩光学部品および暗視野観察用光学部品の移動およ
び退避方向と平行な方向へ移動可能に設けられそれぞれ
前記防眩光学部品および暗視野観察用光学部品を有する
第1および第2のスライダと、前記防眩光学部品および
暗視野観察用光学部品が前記光路上に移動した位置およ
び光路から退避した位置に前記各スライダを位置決めす
る位置決め機構とを備えていることを特徴とする。
【0011】この構成によれば、防眩光学部品および暗
視野観察用光学部品は、光学部品の移動および退避方向
と平行な方向へ移動可能に設けられた第1および第2の
スライダに保持されているから、移動および退避動作を
スムーズに行うことができる。しかも、防眩光学部品お
よび暗視野観察用光学部品が光路上に移動した位置およ
び光路から退避した位置に、各スライダを位置決めする
位置決め機構が設けられているから、防眩光学部品およ
び暗視野観察用光学部品を光路上に正確に位置決めする
ことができる。
【0012】また、前記切換機構は、顕微鏡本体に前記
防眩光学部品および暗視野観察光学部品の移動および退
避方向と平行にかつ軸方向へスライド可能に設けられ外
端部に第1操作ノブを有するスリーブと、このスリーブ
内にスライド可能に設けられ外端部に第2操作ノブを有
するシャフトと、前記スリーブを前記第1のスライダに
連結する第1連結部材と、前記シャフトを前記第2のス
ライダに連結する第2連結部材とを備え、前記第2操作
ノブが前記第1操作ノブ内に収納可能で、かつ、第1操
作ノブを一方向へスライド操作したときに第2操作ノブ
が係合して一緒にスライドするとともに、第1操作ノブ
を他方向へスライド操作したときに第1操作ノブと第2
操作ノブとの係合が解除されるように構成されているこ
とを特徴とする。
【0013】この構成によれば、たとえば、暗視野観察
用光学部品が光路上に位置している状態において、第1
操作ノブ(スリーブ)を一方向(たとえば、引出方向)
へスライド操作すると、第1操作ノブに第2操作ノブが
係合するから、第2操作ノブ(シャフト)も一緒に一方
向へスライドされる。すると、暗視野観察用光学部品が
光路上から退避され、防眩光学部品が光路上に位置され
る。続いて、第1操作ノブ(スリーブ)を他方向(たと
えば、押込方向)へスライド操作すると、第1操作ノブ
と第2操作ノブとの係合が解除されるから、第2操作ノ
ブ(シャフト)はスライドすることなく、第1操作ノブ
(スリーブ)のみが他方向へスライドされる。すると、
防眩光学部品が光路上から退避されるから、光路上には
いずれの光学部品も位置しない状態、つまり、明視野観
察に切り換えられる。次に、第2操作ノブ(シャフト)
を他方向へスライド操作すると、暗視野観察用光学部品
が光路上に位置、つまり、暗視野観察に切り換えられ
る。従って、同軸上に位置する第1操作ノブおよび第2
操作ノブをスライド操作するだけで、明視野観察から暗
視野観察に切り換えることができ、その際も、一旦、防
眩光学部品が光路上に位置するから観察者の目を眩ます
ことなく切り換え操作できる。
【0014】本発明において、前記第1操作ノブは、外
端面に凹部を備え、前記第2操作ノブは、前記凹部内に
略収納される大きさの鍔部を備えていることが望まし
い。この構成によれば、第1操作ノブと第2操作ノブと
の係合および解除を、第1操作ノブの外端面に設けられ
た凹部と、第2操作ノブに設けられた鍔部とから構成し
たので、極めて簡単かつ安価な構造で上記係合および解
除を実現できる。
【0015】本発明において、前記第2のスライダに
は、前記暗視野観察用光学部品が前記光路から退避した
ときに前記光路上に位置する明視野観察用光学部品が取
り付けられていることが望ましい。ここにおいて、明視
野観察用光学部品とは、明視野用集光レンズや明視野用
フィルタなどを指す。この構成によれば、第2のスライ
ダには明視野観察用光学部品が取り付けられているか
ら、これを光路上に位置させることによって、その明視
野観察用光学部品を介して明視野観察を行うことができ
る。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。図1は本実施形態の明暗視野切換
装置を備えた顕微鏡の斜視図である。同顕微鏡は、ベー
ス部1と、そのベース部1の後部からベース部1の上方
に伸びるコラム部2とを備えている。ベース部1の上に
は、被測定物を載置するステージ3が左右、前後および
上下方向へ移動可能に設けられている。コラム部2に
は、被測定物に対して光を照射する照明光学系10、被
測定物からの光を観察する観察光学系20および明暗視
野切換装置30がそれぞれ設けられている。
【0017】前記照明光学系10は、図2に示すよう
に、光源装置11と、レボルバ(図1参照)に取り付け
られる対物レンズ12と、前記光源装置11からの光を
反射させ対物レンズ12を通して被測定物に照射すると
ともに被測定物からの反射光を透過するビームスプリッ
タ13とを備える。
【0018】前記観察光学系20は、図2に示すよう
に、前記ビームスプリッタ13および対物レンズ12の
光軸上に配置されたチューブレンズ21および光路切換
ミラー22と、この光路切換ミラー22の反射光路上に
配置されたフィールドレンズ23およびリレー用ミラー
24と、このリレー用ミラー24の反射光路上に配置さ
れたリレーレンズ25およびプリズム26と、このプリ
ズム26で分離された各光を観察する観察用光学部品2
7,28とを備える。
【0019】前記明暗視野切換装置30は、図3および
図4に示すように、防眩光学部品としての防眩フィルタ
31および暗視野観察用光学部品としての暗視野用集光
レンズ32と、防眩フィルタ31および暗視野用集光レ
ンズ32を前記照明光学系10の光路L(光源装置11
からビームスプリッタ13へ向かう光路)に移動可能か
つ光路Lから退避可能に保持するガイド機構40と、前
記防眩フィルタ31および暗視野用集光レンズ32を前
記光路Lに移動させかつ光路Lから退避させるととも
に、前記暗視野用集光レンズ32を前記光路L上から退
避させるときのみ防眩フィルタ31を一緒に移動させて
光路L上に位置させる切換機構60とを備えている。
【0020】前記ガイド機構40は、顕微鏡本体として
のコラム部2に前記防眩フィルタ31および暗視野用集
光レンズ32の移動および退避方向と平行に設けられた
ガイド部材41,42と、このガイド部材41,42に
沿って移動可能に設けられそれぞれ前記防眩フィルタ3
1および暗視野用集光レンズ32を有する第1および第
2のスライダ43,44と、前記防眩フィルタ31およ
び暗視野用集光レンズ32が前記光路L上に移動した位
置および光路Lから退避した位置に前記各スライダ4
3,44を位置決めする位置決め機構50A,50Bと
を備えている。
【0021】位置決め機構50A,50Bは、各スライ
ダ43,44にその移動方向に間隔を隔てて設けられた
一対のV溝51と、前記コラム部2側に取付プレート5
2を介して設けられた保持ブロック53と、この保持ブ
ロック53に保持され前記V溝51に対して係脱するコ
ロ54と、このコロ54を前記スライダ43,44に向
かって付勢する板ばね54とから構成されている。
【0022】前記切換機構60は、顕微鏡本体としての
コラム部2に前記防眩フィルタ31および暗視野用集光
レンズ32の移動および退避方向と平行にかつ軸方向へ
スライド可能に設けられ外端部に第1操作ノブ61を有
するスリーブ63と、このスリーブ63内にスライド可
能に設けられ外端部に第2操作ノブ62を有するシャフ
ト64と、前記スリーブ63を前記第1のスライダ43
に連結する第1連結部材65と、前記シャフト64を前
記第2のスライダ44に連結する第2連結部材66とを
備えている。
【0023】前記第2操作ノブ62は、前記第1操作ノ
ブ61内に収納可能で、かつ、第1操作ノブ61を一方
向(引出方向)へスライド操作したときに第1操作ノブ
61と係合して一緒にスライドするとともに、第1操作
ノブ61を他方向(押込方向)へスライド操作したとき
に第1操作ノブ61との係合が解除されるように構成さ
れている。具体的には、第1操作ノブ61の外端面には
円盤状の凹部61Aが形成されているとともに、第2操
作ノブ62は、凹部61A内に略収納される大きさの円
盤状の鍔部62Aを備えている。
【0024】次に、本実施形態の作用を説明する。い
ま、暗視野用集光レンズ32が光路L上に位置している
状態、つまり、図3および図4の状態において、第1操
作ノブ61を一方向(引出方向)へスライド操作する
と、第1操作ノブ61の凹部61Aに第2操作ノブ62
の鍔部62Aが係合しているから、第2操作ノブ62
(シャフト64)も一緒に一方向へスライドされる。す
ると、図5に示すように、暗視野用集光レンズ32が光
路L上から退避され、防眩フィルタ31が光路L上に位
置される。
【0025】続いて、第1操作ノブ61を他方向(押込
方向)へスライド操作すると、第1操作ノブ61と第2
操作ノブ62との係合が解除されるから、第2操作ノブ
62(シャフト64)はスライドすることなく、第1操
作ノブ61(スリーブ63)のみが他方向へスライドさ
れる。すると、図6に示すように、防眩フィルタ31が
光路L上から退避されるから、光路L上にはいずれの光
学部品も位置しない状態、つまり、明視野観察に切り換
えられる。
【0026】次に、第2操作ノブ62(シャフト64)
を他方向(押込方向)へスライド操作すると、暗視野用
集光レンズ32が光路L上に位置、つまり、暗視野観察
に切り換えられる。これにより、図3および図4に示す
基の状態に復帰される。このようにして、光路L上に対
して、暗視野用集光レンズ32、防眩フィルタ31、何
もレンズやフィルタがない状態にそれぞれ切り換えるこ
とで、暗視野観察から明視野観察、または、その逆の観
察に切り換えることができる。
【0027】従って、本実施形態の明暗視野切換装置に
よれば、照明光学系10の光路Lを挟んで両側に、ガイ
ド機構40を介して、防眩フィルタ31および暗視野用
集光レンズ32が光路Lに移動可能かつ光路Lから退避
可能に配置され、これらの移動および退避を切換機構6
0によって行うようにしたので、従来の3種のフィルタ
を直線状に配置したスライドユニットの構造の比べ、移
動量が少なくて済むから、装置自体を大型化しなくても
フィルタ(あるいはレンズ)が顕微鏡本体の外部へ出る
ことがない。よって、装置の小型化を維持できる。
【0028】また、切換機構60は、防眩フィルタ31
および暗視野用集光レンズ32を光路Lに移動させかつ
光路Lから退避させるとともに、暗視野用集光レンズ3
2を光路L上から退避させるときのみ防眩フィルタ31
を一緒に移動させて光路L上に位置させる構造であるか
ら、暗視野観察から明視野観察へ切り換える際にも、一
旦、防眩フィルタ31が光路L上に位置するから、観察
者の目を眩ますことがない。よって、観察者は、暗視野
観察から明視野観察へ切り換える際にも、接眼レンズか
ら目を離さなくてもよいから、操作性を損なうこともな
く、明視野照明から暗視野照明の状態に切り換えること
ができる。
【0029】具体的には、切換機構60は、防眩フィル
タ31および暗視野用集光レンズ32の移動および退避
方向と平行にかつ軸方向へスライド可能に設けられ第1
操作ノブ61を有するスリーブ63と、このスリーブ6
3内にスライド可能に設けられ第2操作ノブ62を有す
るシャフト64と、スリーブ63を第1のスライダ43
に連結する第1連結部材65と、シャフト64を第2の
スライダ44に連結する第2連結部材66とを備え、第
2操作ノブ62が第1操作ノブ61内に収納可能で、か
つ、第1操作ノブ61を一方向へスライド操作したとき
に第2操作ノブ62が係合して一緒にスライドするとと
もに、第1操作ノブ61を他方向へスライド操作したと
きに第1操作ノブ61と第2操作ノブ62との係合が解
除されるように構成されているから、同軸上に位置する
第1操作ノブ61および第2操作ノブ62をスライド操
作するだけで、明視野観察から暗視野観察に切り換える
ことができ、その際も、一旦、防眩フィルタ31が光路
L上に位置するから観察者の目を眩ますことなく切り換
え操作できる。
【0030】とくに、第1操作ノブ61と第2操作ノブ
62との係合および解除を、第1操作ノブ61の外端面
に設けられた凹部61Aと、第2操作ノブ62に設けら
れた鍔部62Aとから構成したので、極めて簡単かつ安
価な構造で上記係合および解除を実現できる。しかも、
このような構造であれば、暗視野観察の状態、つまり、
第操作ノブ61および第2操作ノブ62が共に押し込ま
れた状態においては、第2操作ノブ62の鍔部62Aが
第1操作ノブ61の凹部61A内に入って、そこから引
き出せないから、不用意に暗視野観察から防眩フィルタ
31が介在することなく明視野観察に切り換えられると
いう不安感を与える虞もない。
【0031】また、防眩フィルタ31および暗視野用集
光レンズ32は、ガイド部材41,42を介してこれら
光学部品31,32の移動および退避方向と平行な方向
へ移動可能に設けられた第1および第2のスライダ4
3,44に保持されているから、移動および退避動作を
スムーズに行うことができる。しかも、防眩フィルタ3
1および暗視野用集光レンズ32が光路L上に移動した
位置および光路Lから退避した位置に、各スライダ4
3,44を位置決めする位置決め機構50A,50Bを
備えているから、防眩フィルタ31および暗視野用集光
レンズ32を光路L上に正確に位置決めすることができ
る。
【0032】なお、上記実施形態では、第1のスライダ
43に防眩フィルタ31を、第2のスライダ44に暗視
野用集光レンズ32を取り付けたが、これに限られな
い。たとえば、第2のスライダ44に、暗視野用集光レ
ンズ32が光路Lから退避したときに光路L上に位置す
る明視野観察用光学部品33(たとえば、明視野用集光
レンズや明視野用フィルタなど)を取り付けるようにし
てもよい。このようにすれば、第2のスライダ44のス
ライドによって、明視野観察用光学部品33を光路L上
に位置させることによって、その明視野観察用光学部品
33を介して明視野観察を行うことができる。
【0033】また、上記実施形態では、第1操作ノブ6
1の外端面に凹部61Aを設け、この凹部61A内に第
2操作ノブ62の鍔部62Aが入り込んで、第2操作ノ
ブ62を第1操作ノブ61から引き出せない構造とした
が、これに限られない。たとえば、第1操作ノブ61と
第2操作ノブ62との間にばねを掛け、第2操作ノブ6
2が第1操作ノブ61から引き出されたときにばねによ
って第1操作ノブ61も一緒に追従してスライドするよ
うに構成すれば、同様な効果が期待できる。
【0034】また、シャフト64にスプリングを掛け、
シャフト64が常に本体内に押し込まれる方向へ付勢し
ておけば、図6の状態に切り換えた状態において、第2
操作ノブ62の押し込んで暗視野観察に切り換える際、
第2操作ノブ62に軽く指を触れるだけで切り換えるこ
とができる。
【0035】また、上記実施形態において、防眩フィル
タ31および暗視野用集光レンズ32と、防眩フィルタ
31および暗視野用集光レンズ32を光路Lに移動可能
かつ光路Lから退避可能に保持するガイド機構40と、
防眩フィルタ31および暗視野用集光レンズ32を光路
Lに移動させかつ光路Lから退避させるとともに、前記
暗視野用集光レンズ32を前記光路L上から退避させる
ときのみ防眩フィルタ31を一緒に移動させて光路L上
に位置させる切換機構60とを一体的に構成してユニッ
ト化しておけば、既存の顕微鏡に後付けすることもでき
る。
【0036】
【発明の効果】本発明の顕微鏡の明暗視野切換装置によ
れば、小型化を維持し、かつ、操作性を損なうことな
く、明視野照明、暗視野照明および防眩照明の3種の状
態に切り換えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の明暗視野切換装置を適用した顕微鏡の
一実施形態を示す斜視図である。
【図2】同上実施形態の光学部品の配置を示す図であ
る。
【図3】同上実施形態の明暗視野切換装置(暗視野観察
状態)を示す正面図である。
【図4】同上実施形態の明暗視野切換装置(暗視野観察
状態)を示す平面図である。
【図5】同上実施形態において、防眩フィルタが光路上
に位置している状態を示す平面図である。
【図6】同上実施形態の明暗視野切換装置(明視野観察
状態)を示す平面図である。
【図7】従来の明暗視野切換ユニットを示す斜視図であ
る。
【符号の説明】
2 コラム部(顕微鏡本体) 10 照明光学系 30 明暗視野切換装置 31 防眩フィルタ(防眩光学部品) 32 暗視野用集光レンズ(暗視野観察用光学部品) 33 明視野観察用光学部品 40 ガイド機構 43 第1のスライダ 44 第2のスライダ 50A,50B 位置決め機構 60 切換機構 61 第1操作ノブ 61A 凹部 62 第2操作ノブ 62A 鍔部 63 スリーブ 64 シャフト 65 第1連結部材 66 第2連結部材 L 光路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−18613(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 21/10

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 照明光学系の光路上に配置された顕微鏡
    の明暗視野切換装置であって、 眩光学部品および暗視野観察用光学部品と、 前記防眩光学部品および暗視野観察用光学部品を前記光
    路に移動可能かつ光路から退避可能に保持するガイド機
    構と、 前記防眩光学部品および暗視野観察用光学部品を前記光
    路に移動させかつ光路から退避させるとともに、前記暗
    視野観察用光学部品を前記光路上から退避させるときの
    み防眩光学部品を一緒に移動させて光路上に位置させる
    切換機構とを備え 前記ガイド機構は、顕微鏡本体に前記防眩光学部品およ
    び暗視野観察用光学部品の移動および退避方向と平行な
    方向へ移動可能に設けられそれぞれ前記防眩光学部品お
    よび暗視野観察用光学部品を有する第1および第2のス
    ライダと、前記防眩光学部品および暗視野観察用光学部
    品が前記光路上に移動した位置および光路から退避した
    位置に前記各スライダを位置決めする位置決め機構とを
    備え、 前記切換機構は、顕微鏡本体に前記防眩光学部品および
    暗視野観察光学部品の移動および退避方向と平行にかつ
    軸方向へスライド可能に設けられ外端部に第1操作ノブ
    を有するスリーブと、このスリーブ内にスライド可能に
    設けられ外端部に第2操作ノブを有するシャフトと、前
    記スリーブを前記第1のスライダに連結する第1連結部
    材と、前記シャフトを前記第2のスライダに連結する第
    2連結部材とを備え、 前記第2操作ノブが前記第1操作ノブ内に収納可能で、
    かつ、第1操作ノブを一方向へスライド操作したときに
    第2操作ノブが係合して一緒にスライドするとともに、
    第1操作ノブを他方向へスライド操作したときに第1操
    作ノブと第2操作ノブとの係合が解除されるように構成
    されている ことを特徴とする顕微鏡の明暗視野切換装
    置。
  2. 【請求項2】 請求項に記載の顕微鏡の明暗視野切換
    装置において、 前記第1操作ノブは、外端面に凹部を備え、 前記第2操作ノブは、前記凹部内に略収納される大きさ
    の鍔部を備えていることを特徴とする顕微鏡の明暗視野
    切換装置。
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の顕微鏡
    の明暗視野切換装置において、 前記第2のスライダには、前記暗視野観察用光学部品が
    前記光路から退避したときに前記光路上に位置する明視
    野観察用光学部品が取り付けられていることを特徴とす
    る顕微鏡の明暗視野切換装置。
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DE10101711A1 (de) * 2000-01-26 2001-08-02 Leica Microsystems Vorrichtung zum Positionieren eines optischen Bauteils in einem Strahlengang
DE10148782A1 (de) * 2001-09-28 2003-04-24 Zeiss Carl Jena Gmbh Optisches Modulationselement
US6804050B2 (en) * 2002-12-23 2004-10-12 Leica Microsystems Inc. Multiple phase contrast annulus slider
US20070153372A1 (en) * 2006-01-03 2007-07-05 Physical Sciences, Inc. Fluorescence illumination method and apparatus for stereomicroscopes
US9999350B2 (en) 2014-09-25 2018-06-19 Novartis Ag Reduced glare surgical microscope and associated devices, systems, and methods
CN114609148B (zh) * 2022-05-11 2022-07-19 昂坤视觉(北京)科技有限公司 一种晶圆检测设备

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4407569A (en) * 1981-07-07 1983-10-04 Carl Zeiss-Stiftung Device for selectively available phase-contrast and relief observation in microscopes
US4487486A (en) 1981-07-28 1984-12-11 Olympus Optical Co., Ltd. Vertical illuminator for microscope
DE3442218A1 (de) * 1984-11-19 1986-05-28 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Auflichtbeleuchtungsapparat fuer mikroskope
DE3610692A1 (de) * 1986-03-29 1987-10-01 Leitz Ernst Gmbh Modulare einrichtung
JP3861363B2 (ja) * 1996-11-12 2006-12-20 株式会社ニコン 光学素子切換機構
US6226118B1 (en) * 1997-06-18 2001-05-01 Olympus Optical Co., Ltd. Optical microscope

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