JPH10194199A - ヘリコプタの回転翼に用いられる制振機構 - Google Patents

ヘリコプタの回転翼に用いられる制振機構

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JPH10194199A JP9297901A JP29790197A JPH10194199A JP H10194199 A JPH10194199 A JP H10194199A JP 9297901 A JP9297901 A JP 9297901A JP 29790197 A JP29790197 A JP 29790197A JP H10194199 A JPH10194199 A JP H10194199A
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vibration
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 制振の線形特性に優れ、圧縮励振の緩和吸収
を確実に行なえる制振機構を提供する。 【解決手段】 制振機構は、主軸を備える駆動部１０と
固定部６と、駆動部１０と固定部６とを互いに機能的に
接続するダンピング組立体とを備え、主軸に垂直な少な
くとも一方向における振動を軽減することができる。該
制振機構は流体圧制振機構を含み、それら流体圧制振機
構は、それぞれ積層面が主軸とほぼ垂直に配置される第
１及び第２の積層体４０、５０を有する。第１及び第２
の積層体４０、５０は、所定の間隔をもって交互に対向
するように近接配置され、また、互いに隣接する第１の
積層体と第２の積層体との間には粘性制振領域が形成さ
れる。また、上記制振機構は、主軸と平行な向きにおい
て高い剛性を示す弾性部材６０を含み、駆動部１０と固
定部６との間で生ずる圧縮励振を緩和することができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ヘリコプタの回転
翼に好適に使用される制振機構に関するものであり、特
に半硬質翼すなわちベアリングレス翼からなる回転翼に
関する。
【０００２】
【従来の技術】米国特許５,５４０,５４９には、次のよ
うな構成の流体制振機構が開示されている。すなわち、
該流体制振機構は、軸方向に配置された内部部材を含
み、これが駆動部により駆動される。この駆動部は、ヘ
リコプタの回転翼の曲がり（コッキング）動作やピッチ
制御時に生ずるねじり（ツイスティング）動作を防止す
るための可動部及びボールジョイントを有する。
【０００３】上記機構において制振を担うのは、まず硬
質層と弾性層とを交互に積層して形成された積層体であ
り、次には流体チャンバー内で動くピストンである。該
積層体は上記軸方向と平行な方向には高い剛性を有して
いるが、軸方向と垂直方向の剛性は比較的小さい。
【０００４】そして、ピストンは、同時に起こる次の２
つの現象により、振動振幅の全範囲において制振効果を
生じさせることとなる。その現象の１つは圧縮によるヘ
ッドロスのスロットリング現象であり、もう１つは粘性
制動現象、すなわち粘性オイル中での剪断による制振で
ある。粘性オイルとしては、粘度が１００００〜１００
０００ｃＳｔ（センチストークス：１Ｓｔ＝１０-4m2／
s）のシリコンオイルが用いられている。
【０００５】しかしながら、上記機構には次のような欠
点がある。 ・第１に、ヘリコプタ回転翼など高振幅の制振力が要求
される環境下では、制振のメカニズムはスロットリング
現象が支配的となる。 ・第２に、ヘリコプタ回転翼等の場合、機構への圧縮励
振の影響が不可避となる。このような圧縮励振はシステ
ムの疲労特性を悪化させる。例えば、ボールジョイント
６５はねじり動作や曲がり動作の抑制には有効である
が、圧縮励振に対する抑制効果は有していない。
【０００６】そして、上記第１の欠点により、制振機構
の線形特性が悪化する問題がある。これは、スロットリ
ングによる制振特性が変位速度の２乗に依存して変化す
るため必然的に非線形となるためである。
【０００７】一方、本出願人の検討によれば、米国特許
５,５４０,５４９の構成における上記第２の欠点は、粘
性制動により制振特性が変動する寄生現象を誘発する問
題を生ずる。すなわち、制振特性はピストン３８とチャ
ンバー壁との間のクリアランスに大きく依存し、またピ
ストンの軸線位置の精度にも依存する。そして、前述の
圧縮励振が起きると、ピストンはその軸線方向が変化し
たり偏心したりしやすくなるので、制振特性の変動が生
じ、結果としてスロットリング制動は非線形的なものと
なってしまうのである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上述
の欠点を示すことのない制振機構を与えることにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段及び作用・効果】本発明の
制振機構の主な特徴は、上記スロットリング現象に基づ
く制振機構ではなく、剪断による粘性制動を用いた制振
機構を採用しており、その剪断動作と圧縮励振とを効果
的に分離できる剪断制動機構を備えている点にある。
【００１０】その第１の構成は、制振機構、特にヘリコ
プタの回転翼に好適に使用される制振機構であって、主
軸を有して、ヘリコプタの回転翼の場合はそのヘリコプ
タの翼に連結される駆動体により駆動される駆動部と、
例えば翼の回転を制御するスリーブなどの所定の構造部
に取り付けられる固定部と、それら駆動部と固定部とを
互いに機能的に接続するとともに、主軸に対し垂直とな
る少なくとも一方向において振動を減衰させるダンピン
グ組立体とを備え、該ダンピング組立体は、キャビティ
とこれを満たす粘性流体とを備えた流体圧制振機構と、
主軸と平行方向には高い剛性をもち垂直方向には低い剛
性をもつ可撓性部とを有する。そして、上記制振機構の
特徴部は下記のように構成される。すなわち、流体圧制
振機構は、それぞれ積層面が主軸とほぼ垂直に配置され
る第１及び第２の積層体を有し、第１の積層体は第１の
機械的連結機構を介して駆動部に取り付けられ、第２の
積層体は第２の連機械的連結機構を介して固定部に取り
付けられる。そして、それら第１及び第２の積層体は、
所定の間隔をもって交互に対向するように近接配置さ
れ、互いに隣接する第１の積層体と第２の積層体との間
に粘性制振領域が形成される。さらに、第１及び第２の
機械的連結機構の少なくとも一方が、主軸と平行な方向
において剛性が小さくなるように構成され、駆動部と固
定部との間で発生する圧縮励振を吸収する少なくとも１
つの弾性部材を含む。
【００１１】また、本発明の第２の構成は、制振機構、
特にヘリコプタの回転翼に好適に使用される制振機構で
あって下記のように構成されることを特徴とする。すな
わち、主軸を有し、駆動体により駆動される駆動部と、
所定の構造部に取り付けられた固定部と、それら駆動部
と固定部とを互いに機能的に接続するとともに、主軸に
対し垂直となる少なくとも一方向において振動を軽減す
るダンピング組立体とを備える。該ダンピング組立体
は、キャビティとこれを満たす粘性流体とを備えた流体
圧制振機構と、主軸と平行方向には高い剛性をもち垂直
方向には低い剛性をもつ可撓性部とを有する。流体圧制
振機構は、それぞれ積層面が主軸とほぼ垂直に配置され
る第１及び第２の積層体を有し、第１の積層体は第１の
機械的連結機構を介して駆動部に取り付けられ、第２の
積層体は第２の連機械的連結機構を介して固定部に取り
付けられ、かつそれら第１及び第２の積層体は、所定の
間隔をもって交互に対向するように近接配置され、ま
た、互いに隣接する第１の積層体と第２の積層体との間
に粘性制振領域が形成される。そして、第１及び第２の
積層体の少なくとも一方に、当該積層体が他方の積層体
との間で対向部分を形成しない領域が１以上形成され、
その領域において各積層体は、駆動部と固定部との間で
発生する圧縮励振を吸収するための、主軸と平行な向き
における剛性が低くなる流体圧制振機構を形成する。
【００１２】上記本発明の２つの構成は、それぞれ単独
で実施することもできるし、互いに組み合わせた形で実
施することもできる。
【００１３】なお、弾性部材は、その少なくとも１つを
弾性材料で構成できる。また、所定の形状の弾性ワッシ
ャであってもよい。また、可撓性部は、弾性材料からな
る弾性板状体と、その弾性板状体よりも剛性の高い剛性
板状体とを互いに積層した構成を有するものとするのが
よい。
【００１４】またより望ましい実施態様として、次のよ
うな構成を例示できる。すなわち、駆動部を一端側が底
部とされ他端側にカバーをもつ筒状体とする。また、可
撓性部は、主軸と同心的に配置される円筒状をなして、
カバー及び底部の各内面の間に配置されて、流体圧制振
機構と、（自身と）駆動部との間に形成されて流体が満
たされるキャビティと、底部と、カバーと、可撓性部と
を取り囲むものとされる。さらに、固定部は可撓性部の
軸方向中央部に配置する。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に示す実施例により説明する。図１及び図２に示す制振
機構は、その軸が制振機構の主軸を与える硬質の中空円
筒１０（駆動部）を備え、駆動体１００を経てヘリコプ
タの回転翼と連結され、本制振機構の駆動部を構成して
いる。
【００１６】この制振機構は、例えば各翼に対し上下に
１つずつ、計２つずつ設けられており、それぞれその円
筒１０は、その軸線が翼に対してほぼ垂直となるように
配置されている
【００１７】本実施例では、固定部（あるいは被駆動
部）はカラー６とされている。このカラー６は、孔４を
経て翼を回転させるスリーブに連結されている。
【００１８】円筒１０の端部１１及び１５にはカバー２
０及び底部３０がそれぞれ設けられ、それらの組立体は
円筒１０の外側の溝にはめ込まれたガスケット１２によ
りシールされている。
【００１９】カバー２０は、円盤状の中心部２１と、そ
の周囲を囲むとともにカラー２４に向けて外側に延びる
直円錐状部２２とを有している。また、カバー２０は円
筒部２６を備え、その内面２７において円筒１０の外周
と接している。さらに、カバー２０は、波形環状膜２９
からなる膨張吸収チャンバー２８を備える。カバー２０
の環状面２５は、金属ワッシャ５と弾性ワッシャ２との
積層体からなり円筒１０と同心的に設けられ円柱状の可
撓性部１の上面に押し付けられている。
【００２０】底部３０には円盤状の中心部３１と、その
周囲を取り囲むとともにカラー３４に向かって外側に延
びる直円錐状部３２とを有している。また、底部３０は
円筒部３６を備え、その内面において円筒１０の外周に
接している。
【００２１】底部３０は、波形環状膜３９からなる膨張
吸収チャンバー３８を備える。また、底部３０の環状面
３５は、可撓性部１の下面に押し付けられている。
【００２２】上記のような可撓性部１は、主軸と平行な
方向において、特に圧縮に対して高い剛性をもつが、主
軸と垂直方向においてはその剛性は低い。
【００２３】これは、通常はエネルギーをほとんど消失
しない、ｔａｎδ＜0.3程度の低制振ゴムで構成され
る。本実施例では、可撓性部１は、制振機構の主軸に対
しそれぞれ同軸的に配置された金属ワッシャ５及び弾性
ワッシャ２の積層体として構成されている。
【００２４】カラー６は可撓性部１の軸方向中央部分に
配されている。本実施例では、可撓性部１はこのカラー
６により、対称面Ｐに関して対称な円筒上部１’と円筒
下部１’’とに分割されている。また、カラー６の上部
には円筒部分８を備えた環状部品７が、該円筒状部分８
がカラー６の補助円筒部分９のほぼ中央に位置するよう
に配置されている。
【００２５】カラー６と環状部品７の間の隙間には、連
結リング６０の外周環状部分６６がはめ込まれている。
本実施例では、図１に示すように、この連結リング６０
は、硬質の内周環状部分６４、弾性材料で構成された中
央環状部分６３及び上記外周環状部分６６を備えてい
る。
【００２６】次に、流体圧制振機構は、２組の積層体４
０，５０を備える。このうち積層体４０は円筒１０を囲
むスリーブ４２（第１の機械的連結機構）に固定される
一方、積層体５０は、各単位板状物同士の間に積層体４
０とほぼ同じ積層間隔を形成するためのスペーサ５７と
ともに、タイロッド５５及びナット５６で組み立てられ
ている。また、スリーブ４２と円筒部２６及び３６の間
には、スペーサ４１が配されている。
【００２７】また、半径方向の幅ｒ２の円柱状領域４５
内において、これら積層体４０及び５０は、所定の間隔
をもって交互に対向するように近接配置されて、いわゆ
るインターリーブ構造を形成している。
【００２８】積層体４０及び５０は通常、可撓性の金属
シート又は積層体からなる。積層体４０は例えば円盤状
で、それらの軸が上記主軸をなす一方、積層体５０は半
月形状（図５参照）とされる。積層体４０及び５０の各
単位板状物の厚さは、通常数十分の１ｍｍとされる。ま
た、円柱状領域４５では、積層体４０及び５０の間隔も
また数十分の１ｍｍとされている。なお、積層体４０及
び５０を、双方ともに円盤形状に形成することもでき
る。
【００２９】連結リング６０（第２の機械的連結機構）
には貫通孔６１が形成され、ここにタイロッド５５が挿
通されている。また、連結リング６０は、各積層体４０
及び５０の、軸に垂直な面Ｐに関して対称に位置する上
部積層部５８と下部積層部５９との間でクランプされて
いる。
【００３０】次に、カバー２０、底部３０、可撓性部１
及び円筒１０により取り囲まれた空間によりキャビティ
３が形成されている。該キャビティ３は、室温で１００
０００ｃＳｔ以上の粘度を有するオイル等の粘性流体
（開口部２３及び３３から注入される）で満たされてい
る。
【００３１】上記粘性流体としては、室温で３００００
０〜５０００００ｃＳｔの粘度を有するオイルを用いる
ことが望ましい。なお、オリフィス１２７及び１３７を
介して外部と連通するチャンバー２８及び３８は、オイ
ルで満たされているキャビティ３のための膨張吸収チャ
ンバーとして機能する。
【００３２】キャビティ３内に配置された各積層体４０
及び５０の各単位板状物は流体圧制振機構を形成する。
該流体圧制振機構は、円柱状領域４５においては、主軸
に対して平行な方向では非常に高い剛性を示す一方、主
軸と垂直な方向ではオイルの粘度及び積層体の間隔に依
存した低い剛性を有するものとなり、全範囲においてｔ
ａｎδが１以上という良好な制振係数を示す。
【００３３】そして、本発明の制振機構は、圧縮励振を
緩和・吸収するために、円筒１０の軸線、すなわち主軸
と平行な向きには低い弾性係数（すなわち低い剛性）を
示し、好ましくは主軸と垂直な方向には高い弾性係数
（すなわち高い剛性）を示すものとして構成する。この
ような圧縮励振の緩和・吸収機構は、単一の手段によっ
ても実現できるし、複数の手段を組み合わせることによ
って実現することもできる。
【００３４】以下に、その第１の例について説明する。
この例では、連結リング６０は、流体圧制振機構（タイ
ロッド５５とナット５６）の外部とカラー６との間の機
械的連結機構を形成するとともに、それ自体が主軸と平
行な向きの弾性自由度を有して、上記制振要部機構を形
成している。本実施例では、具体的には図２に示すよう
に、弾性材料で構成された中央環状部分６３が該機構の
主体をなしている。これによれば、主軸と平行な方向に
は低剛性の弾性自由度が生ずるが、半径方向の剛性は高
いままとなる。
【００３５】図２に示す連結リング６０を硬質金属部で
置き換えた場合を考えると、上記２組の積層体４０及び
５０間に部分的な重なりを生じさせること、すなわち、
幅ｒ２の円柱状領域４５（粘性制振非領域）において、
積層体４０のみからなる幅ｒ１の非重なり領域５４と、
積層体５０のみを含む幅ｒ３の非重なり領域５２との間
での重なりを生じさせるか、あるいはｒ１とｒ３との各
値をいずれも０とすることで、上記圧縮励振の緩和・吸
収が可能となる。
【００３６】ここで、ｒ１及びｒ３の各値は、主軸と平
行な向きに充分な曲げ弾性を生じ、ひいては圧縮力に対
する所望の緩和・吸収能が付与できるように、積層体を
構成する単位板状物の厚み及び積層数の関数として決定
される。
【００３７】なお、弾性リングが圧縮励振の緩和・吸収
の全てを担う場合は、制振効果が最大となるように、積
層体４０と積層体５０間の重なりは可能な限り大きくす
ることが望ましいといえる。
【００３８】そして、本発明の機構により、圧縮励振の
緩和・吸収を効果的に図ることができ、また制振機構の
寿命も延ばすことができる。
【００３９】本発明の機構では、特に制振が弾性的に行
なわれることから、振動減衰後においてダンピング組立
体は常に中立位置に弾性的に復帰することとなる。一
方、圧縮励振により引き起こされる弾性変形は制振に何
の影響も及ぼさない。また、前述の円柱状領域４５での
重なり部分（以下、重なり領域４５ともいう）では剪断
による制振が主体となるため、主軸にのみ平行な向きに
上記緩和・吸収の力を生ずることとなる。さらに、オイ
ルが高い粘性を有しているために重なり領域４５の剛性
は非常に高く、主軸と平行な方向においては重なり領域
４５は剛体ブロックのように挙動すると推定できる。駆
動部１０からの圧縮力あるいは圧縮励振は、重なり領域
４５においては、該圧縮力にさらされる積層体４０と積
層体５０との間のオイル膜が圧縮される傾向となる。一
方、非重なり領域において圧縮力は、オイル膜はそれほ
ど圧縮されず、むしろ積層体が曲げられる傾向となり、
弾性曲げの挙動を生じさせることとなる。さらに本発明
の機構においては通常、キャビティ３において熱の消散
も起きる。
【００４０】図３は本発明の制振機構の変形例を示す部
分断面図である。図においてはｒ１＝０であるが、ｒ３
＝０としてもよい。
【００４１】さらに、図２の連結リング６０は、図３に
おいては制振機構の周囲に向かって傾斜した輪郭７１を
有する弾性金属ワッシャ７０で置き換えられている。
【００４２】なお、該図３の例において、図１及び図２
の例に示すものと同じように、制振機構は対称軸（すな
わち主軸）と、対称面（すなわち中間面Ｐ）とを有して
いる。
【００４３】図１〜図６には、本発明のさらに別の好適
な実施例を示している。この例では、圧縮力の緩和・吸
収を行なう部材は、主軸に沿って生ずる力の作用線の外
側に配されている。その結果、緩和・吸収の対象となる
圧縮力はカバー２０及び底部３０によって伝達されるこ
ととなる。圧縮励振に伴い発生する力はかなり大きく、
その値は１０００ｄａＮ以上であり、振幅は１〜１０ｍ
ｍとなる。
【００４４】図４に示す例では、２つの積層部５８及び
５９間でタイロッド５５により支持される積層機構８０
が、圧縮励振の緩和・吸収を行なう。積層機構８０は円
筒状の金属部８１と同じく円筒状の弾性材料部８２とを
交互に積層した構造を有し、その軸線が主軸になるとと
もに、該主軸と平行な方向においては低い弾性係数を、
垂直方向においては高い弾性係数を示す。この積層機構
８０はカラー６及び環状部品７の間の所定位置８５にお
いて保持される。一方、図６は、図２の連結リング６０
と置換可能な環状連結部材９０の例を示している。この
例では、該環状連結部材９０は金属円盤とされ、その中
央に開口部９２を有するとともに、その周囲には複数の
開口部９１が貫通形態で形成されている。
【００４５】また、円筒１０と積層体４０との間の連結
部をなす剛体的なスペーサ４１（図２）をコイルばねや
皿ばね（積層されたばねワッシャ）で置き換えることに
より、これに圧縮励振の緩和・吸収機能を付与すること
もできる。この態様では、スリーブ４２は円筒に沿って
スライドし、上記コイルばねあるいは皿ばねにより弾性
復帰させられる。
【００４６】また、本発明の機構は、対応する機械的連
結機構の周辺部のみを囲む複数の弾性部材を含むものと
して構成することもできる。図７（ａ）（平面図）及び
（ｂ）（縦断面図）に示す例では、圧縮励振の緩和・吸
収を担うのは、主に例えば２以上の金属部品９５であ
る。これら金属部品９５は、それぞれカラー６と環状部
品７との間で把持される被把持部９６と、可撓性板状部
を形成する中央部分９７と、例えば台形状の外形を有し
て、該部品９５を内側から保持するためのタイロッド５
５の挿通孔９９が形成された部分９８とを備える。
【００４７】図８（縦断面図）は、弾性部材を波形の膜
状体１１０により構成した例である。該膜状体１１０に
は、主軸Ｚに関して円形対称にコルゲーション１１１が
形成されている
【００４８】本発明では、交互に配置された第１及び第
２の積層体は制振機構に対し、それぞれ主軸と垂直な２
つの方向において互いに異なるクリアランス（ｊ１，ｊ
２）が形成されるか（これは、主に該制振機構内に激し
い動作を生じさせるためのものである）、及び／又は上
記２つの方向において重なり距離（ｒ２，ｒ２’）を与
えるように、個々の積層物が交互に対向するように配置
される。
【００４９】図５に示す例においては、ｒ２≠ｒ２’と
なっている。図９では、積層体４０及び５０は円盤形状
であるが、積層体５０は半径方向に延びる長孔状の中央
開口部５１を有し、ｊ１≠ｊ２となっている。
【図面の簡単な説明】
【図１】ベアリングレス翼を有するセミリジッド型ヘリ
コプタ回転翼に用いられる本発明の振動制振機構の好例
を示す斜視図。
【図２】図１の縦断面図。
【図３】図２の第一の変形例を示す図。
【図４】図２の第二の変形例を示す図。
【図５】積層体の例を示す平面図。
【図６】図２の第三の変形例を示す図。
【図７】図２の第四の変形例を示す図。
【図８】図２の第五の変形例を示す図。
【図９】積層体の例を示す別の平面図。
【符号の説明】
１ 可撓性部 ３ キャビティ ６ カラー（固定部） １０ 円筒（駆動部、主軸） ４０、５０ 第１及び第２の積層体 ４２ スリーブ（第１の機械的連結機構） ６０ 連結リング（第２の機械的連結機構、弾性部材）

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 制振機構、特にヘリコプタの回転翼に好
    適に使用される制振機構において、 主軸を有し、駆動体（１００）により駆動される駆動部
    （１０）と、 所定の構造部に取り付けられる固定部（６）と、 それら駆動部（１０）と固定部（６）とを互いに機能的
    に接続するとともに、前記主軸に対し垂直となる少なく
    とも一方向において振動を減衰させるダンピング組立体
    とを備え、 該ダンピング組立体は、キャビティ（３）とこれを満た
    す粘性流体とを備えた流体圧制振機構と、前記主軸と平
    行方向には高い剛性をもち垂直方向には低い剛性をもつ
    可撓性部（１）とを有するとともに、 前記流体圧制振機構（４０、５０）は、それぞれ積層面
    が前記主軸とほぼ垂直に配置される第１及び第２の積層
    体（４０、５０）を有し、第１の積層体（４０）は第１
    の機械的連結機構（４２）を介して前記駆動部（１０）
    に取り付けられ、第２の積層体（５０）は第２の機械的
    連結機構（６０）を介して前記固定部（６）に取り付け
    られ、かつそれら第１及び第２の積層体（４０、５０）
    は、所定の間隔をもって交互に対向するように近接配置
    され、また、互いに隣接する第１の積層体（４０）と第
    ２の積層体（５０）との間に粘性制振領域（４５）が形
    成される一方、 前記第１及び第２の機械的連結機構（４２、６０）の少
    なくとも一方が、前記主軸と平行な方向において剛性が
    小さくなるように構成され、前記駆動部（１０）と前記
    固定部（６）との間で発生する圧縮励振を吸収する少な
    くとも１つの弾性部材（６０、７０、８０、９０、９
    ５）を含むことを特徴とする制振機構。
  2. 【請求項２】 制振機構、特にヘリコプタの回転翼に好
    適に使用される制振機構において、 主軸を有し、駆動体（１００）により駆動される駆動部
    （１０）と、 所定の構造部に取り付けられる固定部（６）と、 それら駆動部（１０）と固定部（６）とを互いに機能的
    に接続するとともに、前記主軸に対し垂直となる少なく
    とも一方向において振動を減衰させるダンピング組立体
    とを備え、 該ダンピング組立体は、キャビティ（３）とこれを満た
    す粘性流体とを備えた流体圧制振機構と、前記主軸と平
    行方向には高い剛性をもち垂直方向には低い剛性をもつ
    可撓性部（１）とを有するとともに、 前記流体圧制振機構（４０、５０）は、それぞれ積層面
    が前記主軸とほぼ垂直に配置される第１及び第２の積層
    体（４０、５０）を有し、第１の積層体（４０）は第１
    の機械的連結機構（４２）を介して前記駆動部（１０）
    に取り付けられ、第２の積層体（５０）は第２の機械的
    連結機構（６０）を介して前記固定部（６）に取り付け
    られ、かつそれら第１及び第２の積層体（４０、５０）
    は、所定の間隔をもって交互に対向するように近接配置
    され、また、互いに隣接する第１の積層体（４０）と第
    ２の積層体（５０）との間に粘性制振領域（４５）が形
    成される一方、 前記第１及び第２の積層体（４０、５０）の少なくとも
    一方に、当該積層体が他方の積層体との間で対向部分を
    形成しない領域が１以上（５２、５４）形成され、その
    領域（５２、５４）において前記各積層体は、前記駆動
    部（１０）と前記固定部（６）との間で発生する圧縮励
    振を吸収するための、前記主軸と平行な向きにおける剛
    性が低くなる流体圧制振機構を形成することを特徴とす
    る制振機構。
  3. 【請求項３】 前記第１及び第２の機械的連結機構の少
    なくとも一方が、前記主軸と平行な方向において剛性が
    小さくなるように構成され、前記駆動部と前記固定部と
    の間で発生する圧縮励振を吸収する少なくとも１つの弾
    性部材（６０、７０、８０、９０、９５）を含む請求項
    ２記載の制振機構。
  4. 【請求項４】 前記弾性部材（６０、７０、８０、９
    ０、９５）は、主軸と垂直な方向において高い弾性係数
    を有するものである請求項１又は３に記載の制振機構。
  5. 【請求項５】 前記弾性部材は、少なくともその１つが
    金属ワッシャ（７０）、積層構造物（８０）、バネ、及
    び膜状物の少なくともいずれかを含んで構成される請求
    項１又は４に記載の制振機構。
  6. 【請求項６】 前記制振機構は、前記弾性部材（９５）
    を複数含み、それら各弾性部材（９５）は、前記機械的
    連結機構の対応するものの周囲のみを取り囲むように配
    置されている請求項１ないし４のいずれかに記載の制振
    機構。
  7. 【請求項７】 前記第１の積層体（４０）は円盤状に形
    成され、第２の積層体（５０）が半月状に形成されてい
    る請求項１ないし６のいずれかに記載の制振機構。
  8. 【請求項８】 交互に配置された前記第１及び第２の積
    層体は、前記流体圧制振機構に対し、それぞれ前記主軸
    と垂直な２つの方向において、互いに異なるクリアラン
    ス（ｊ１、ｊ２）及び／又は重なり距離（ｒ２、ｒ
    ２’）を与えるように、個々の積層物が交互に対向する
    ように配置されている請求項１ないし７のいずれかに記
    載の制振機構。
  9. 【請求項９】 前記可撓性部は、弾性材料からなる弾性
    板状体と、その弾性板状体よりも剛性の高い剛性板状体
    とを互いに積層した構成（１）を有する請求項１ないし
    ８のいずれかに記載の制振機構。
  10. 【請求項１０】 前記駆動部は一端側が底部（３０）と
    され他端側にカバー（２０）をもつ筒状体（１０）であ
    り、 前記可撓性部（１）は前記主軸と同心的に配置される円
    筒状をなし、前記カバー（２０）及び前記底部（３０）
    の各内面の間に配置されて、前記流体圧制振機構（４
    ０、４５）と、前記駆動部（１０）との間に形成されて
    流体が満たされる前記キャビティ（３）と、前記底部
    （３０）と、前記カバー（２０）と、前記可撓性部
    （１）とを取り囲むものとされ、 前記固定部（６）は前記可撓性部（１）の軸方向中央部
    に配されている請求項１ないし９のいずれかに記載の制
    振機構。
  11. 【請求項１１】 前記粘性流体は、室温での粘度が１０
    ００００ｃＳｔ以上、好ましくは３０００００〜５００
    ０００ｃＳｔである請求項１ないし１０のいずれかに記
    載の制振機構。
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