JPH10191660A - 振動型駆動装置の制御装置およびこれを備えた装置 - Google Patents
振動型駆動装置の制御装置およびこれを備えた装置Info
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- JPH10191660A JPH10191660A JP8341925A JP34192596A JPH10191660A JP H10191660 A JPH10191660 A JP H10191660A JP 8341925 A JP8341925 A JP 8341925A JP 34192596 A JP34192596 A JP 34192596A JP H10191660 A JPH10191660 A JP H10191660A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高湿環境下では振動型駆動装置に固着が生じ
易く、従来固着を事後的に発見することしかできなかっ
た。 【解決手段】 電気−機械エネルギー変換手段２により
振動が励起される振動体１と、この振動体に押圧接触す
る接触体６とを相対移動させる振動型駆動装置の制御装
置において、振動体と接触体との接触部の近傍に湿度に
応じて物理的性質が変化する感湿部材１７を配設する。
易く、従来固着を事後的に発見することしかできなかっ
た。 【解決手段】 電気−機械エネルギー変換手段２により
振動が励起される振動体１と、この振動体に押圧接触す
る接触体６とを相対移動させる振動型駆動装置の制御装
置において、振動体と接触体との接触部の近傍に湿度に
応じて物理的性質が変化する感湿部材１７を配設する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動型駆動装置の
制御装置に関するものである。
制御装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】超音波モータ、圧電モータ等と称される
振動型モータ（振動型駆動装置）は、圧電素子、電歪素
子等の電気−機械エネルギー変換素子を１／２波長のピ
ッチで極性を逆にした２組の圧電素子群を、１／４波長
ずらせて配列させて弾性体に接着固定し、これらに約９
０度位相のずれた交番電圧を印加することにより弾性体
に進行性の高周波振動を発生させ、弾性体の上記素子を
接着固定した側とは反対の端面に楕円運動を発生させ
る。そして、この端面にバネ部材等により押圧接触させ
た移動体（接触体）を摩擦力によって駆動するように構
成されたものである。
振動型モータ（振動型駆動装置）は、圧電素子、電歪素
子等の電気−機械エネルギー変換素子を１／２波長のピ
ッチで極性を逆にした２組の圧電素子群を、１／４波長
ずらせて配列させて弾性体に接着固定し、これらに約９
０度位相のずれた交番電圧を印加することにより弾性体
に進行性の高周波振動を発生させ、弾性体の上記素子を
接着固定した側とは反対の端面に楕円運動を発生させ
る。そして、この端面にバネ部材等により押圧接触させ
た移動体（接触体）を摩擦力によって駆動するように構
成されたものである。
【０００３】なお、振動型モータの高寿命化及び性能安
定化を図るため、振動体における移動体と対向する部分
には表面改質材料や高分子材料などからなるライニング
材が接着剤等により固定されている場合が多い。
定化を図るため、振動体における移動体と対向する部分
には表面改質材料や高分子材料などからなるライニング
材が接着剤等により固定されている場合が多い。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】振動型モータは安定し
た摩擦力を得るために摺動面の接触状態を均一に保つこ
とが必要である。そのため、振動体（あるいはライニン
グ材）と移動体の接触面の平面度および表面粗さ等に高
精度を要求される。
た摩擦力を得るために摺動面の接触状態を均一に保つこ
とが必要である。そのため、振動体（あるいはライニン
グ材）と移動体の接触面の平面度および表面粗さ等に高
精度を要求される。
【０００５】しかしながら、摩擦面の接触状態は平面度
及び表面粗さ等の形状以外にも周囲の湿度により大きく
変化することがわかっている。湿度が上昇すると摩擦面
に水分が入り込み、振動体（あるいはライニング材）と
移動体の間の摩擦力が増大し移動体が所定通りに回転で
きなくなることがある。
及び表面粗さ等の形状以外にも周囲の湿度により大きく
変化することがわかっている。湿度が上昇すると摩擦面
に水分が入り込み、振動体（あるいはライニング材）と
移動体の間の摩擦力が増大し移動体が所定通りに回転で
きなくなることがある。
【０００６】また、停止状態で放置している間に高湿に
なると相対湿度が低下した後でも摩擦面の水分は抜け
ず、振動体（あるいはライニング材）と移動体とが固着
し起動できなくなることがある。さらに、高湿状態で回
転させていると低湿状態に比べ、摩擦面の摩耗量が多く
なり性能の悪化を招いていた。
なると相対湿度が低下した後でも摩擦面の水分は抜け
ず、振動体（あるいはライニング材）と移動体とが固着
し起動できなくなることがある。さらに、高湿状態で回
転させていると低湿状態に比べ、摩擦面の摩耗量が多く
なり性能の悪化を招いていた。
【０００７】従来、このような状態になったことを検知
するには、例えばモータの回転数や共振周波数の変化を
調べるしかなく、いずれも性能の劣化を少なくとも受け
ている状態での検知方法であった。
するには、例えばモータの回転数や共振周波数の変化を
調べるしかなく、いずれも性能の劣化を少なくとも受け
ている状態での検知方法であった。
【０００８】そこで、本願発明は、モータの固着を未然
に防止して、モータ性能の安定化を図れるようにした振
動型駆動装置の制御装置を提供することを目的とする。
に防止して、モータ性能の安定化を図れるようにした振
動型駆動装置の制御装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本願発明では、電気−機械エネルギー変換手段に
より振動が励起される振動体と、この振動体に押圧接触
する接触体とを相対移動させる振動型駆動装置の制御装
置において、振動体と接触体との接触部の近傍、これら
を収容する密封空間内又はこれらを収容する部材の接合
部の近傍に、湿度に応じて物理的性質が変化する感湿部
材を配設している。
めに、本願発明では、電気−機械エネルギー変換手段に
より振動が励起される振動体と、この振動体に押圧接触
する接触体とを相対移動させる振動型駆動装置の制御装
置において、振動体と接触体との接触部の近傍、これら
を収容する密封空間内又はこれらを収容する部材の接合
部の近傍に、湿度に応じて物理的性質が変化する感湿部
材を配設している。
【００１０】感湿部材としては、例えば湿度に応じて電
気的性質が変化するものを用いるのが望ましい。そし
て、この場合において、感湿部材から所定値以上の湿度
に対応する電気信号が出力されたときに、電気−機械エ
ネルギー変換手段に固着防止用信号（振動体に駆動用振
動以外の振動を励起する信号）を入力させるようにした
り、振動体と接触体との押圧力を低下させ又は零にさせ
たりして、湿度による振動体と接触体の固着を未然に防
止したり確実に解除したりすることができるようにする
のが望ましい。また、感湿部材として湿度に応じて変色
するものを用いることにより、目視によって簡単に固着
が生じている可能性を認識できるようにしてもよい。
気的性質が変化するものを用いるのが望ましい。そし
て、この場合において、感湿部材から所定値以上の湿度
に対応する電気信号が出力されたときに、電気−機械エ
ネルギー変換手段に固着防止用信号（振動体に駆動用振
動以外の振動を励起する信号）を入力させるようにした
り、振動体と接触体との押圧力を低下させ又は零にさせ
たりして、湿度による振動体と接触体の固着を未然に防
止したり確実に解除したりすることができるようにする
のが望ましい。また、感湿部材として湿度に応じて変色
するものを用いることにより、目視によって簡単に固着
が生じている可能性を認識できるようにしてもよい。
【００１１】
（第１実施形態）図１に本願発明の第１実施形態である
振動型モータの駆動装置の構成を、図２にモータの一部
を構成するステータ（振動体）の斜視図を示す。
振動型モータの駆動装置の構成を、図２にモータの一部
を構成するステータ（振動体）の斜視図を示す。
【００１２】ステータは、リング状の金属等からなる弾
性体１の端面に圧電素子２が接着固定されて構成されて
いる。この圧電素子２は弾性体１のもう一方の端面上に
貼り合わされた樹脂、金属、セラミック等からできたス
ライダ材３の表面に進行波を生じるように、両端面に電
極が配置され、分極処理が施されている。
性体１の端面に圧電素子２が接着固定されて構成されて
いる。この圧電素子２は弾性体１のもう一方の端面上に
貼り合わされた樹脂、金属、セラミック等からできたス
ライダ材３の表面に進行波を生じるように、両端面に電
極が配置され、分極処理が施されている。
【００１３】圧電素子２の反対側の面には、コントロー
ラ１５及び駆動装置１６からの駆動信号や、圧電素子に
設けられたモータの振動状態を検知するセンサ部からの
信号を取り出すためのフレキシブル基板４が固定されて
いる。
ラ１５及び駆動装置１６からの駆動信号や、圧電素子に
設けられたモータの振動状態を検知するセンサ部からの
信号を取り出すためのフレキシブル基板４が固定されて
いる。
【００１４】また、図２に示すように弾性体１の内周部
１−ａは薄肉円盤状になっており、その内周側でベース
５に接着あるいはネジにより固定されている。スライダ
材３の表面にはロータ６が防振ゴム７を介して板バネ８
によって弾性体１の同軸上に加圧接触されており、板バ
ネ８の内径部はシャフト１０としまり勘合されたディス
クフランジ９によって固定されている。
１−ａは薄肉円盤状になっており、その内周側でベース
５に接着あるいはネジにより固定されている。スライダ
材３の表面にはロータ６が防振ゴム７を介して板バネ８
によって弾性体１の同軸上に加圧接触されており、板バ
ネ８の内径部はシャフト１０としまり勘合されたディス
クフランジ９によって固定されている。
【００１５】また、シャフト１０はベースに嵌合された
軸受１１及び軸受１２に挿入され、止め輪１３によって
加圧力を保持している。なお、スペーサ１４は軸受１１
に予圧を与え、シャフトの振れ回り量を低減している。
軸受１１及び軸受１２に挿入され、止め輪１３によって
加圧力を保持している。なお、スペーサ１４は軸受１１
に予圧を与え、シャフトの振れ回り量を低減している。
【００１６】コントローラ１５及び駆動装置１６からモ
ータ駆動信号が発せられると、駆動回路により電力増幅
された信号が圧電素子２によって機械運動へ切り替わり
スライダー材３の表面に進行波が発生する。
ータ駆動信号が発せられると、駆動回路により電力増幅
された信号が圧電素子２によって機械運動へ切り替わり
スライダー材３の表面に進行波が発生する。
【００１７】ロータ（接触体）６はこの進行波とは逆の
向きに摩擦力を受けて回転し、シャフト１０を介して回
転力を外部に伝達する。なお、弾性体１が櫛歯状になっ
ているのは、ロータ接触面での周方向の振幅を増幅させ
るためである。また、スライダ材３には堤防状の突起３
−ａが形成されこの部分でロータと接触している。
向きに摩擦力を受けて回転し、シャフト１０を介して回
転力を外部に伝達する。なお、弾性体１が櫛歯状になっ
ているのは、ロータ接触面での周方向の振幅を増幅させ
るためである。また、スライダ材３には堤防状の突起３
−ａが形成されこの部分でロータと接触している。
【００１８】ステータとロータ６の接触部の近傍に設置
された湿度センサ１７は、相対湿度の変化を、例えばセ
ンサ内部にある感湿膜の静電容量変化やインピーダンス
の変化により検知する。
された湿度センサ１７は、相対湿度の変化を、例えばセ
ンサ内部にある感湿膜の静電容量変化やインピーダンス
の変化により検知する。
【００１９】１８は湿度センサ１７を駆動すると同時に
センサ１７からの湿度情報を表示する装置である。これ
らによりモータ近傍の相対湿度を検知することができ、
モータ性能が悪化するのを事前に認知することができ
る。
センサ１７からの湿度情報を表示する装置である。これ
らによりモータ近傍の相対湿度を検知することができ、
モータ性能が悪化するのを事前に認知することができ
る。
【００２０】また、湿度センサー１７に相対湿度の変化
を水分量によって変色する感湿材を用いることも可能で
あり、モータ近傍の相対湿度を目視により確認すること
ができるため、これによっても上記と同じ効果が得られ
ると同時にセンサを駆動するための電気回路が不要にす
ることができる。
を水分量によって変色する感湿材を用いることも可能で
あり、モータ近傍の相対湿度を目視により確認すること
ができるため、これによっても上記と同じ効果が得られ
ると同時にセンサを駆動するための電気回路が不要にす
ることができる。
【００２１】（第２実施形態）図３に本願発明の第２実
施形態である振動型モータの駆動装置の断面図を示す。
なお、ここでは、上述した第１実施形態と異なる部分の
み記述する。
施形態である振動型モータの駆動装置の断面図を示す。
なお、ここでは、上述した第１実施形態と異なる部分の
み記述する。
【００２２】本実施形態では、湿度センサ１７からの信
号をセンサ駆動装置１８を介してコントローラ１５に取
り込みその検出値によってモータの制御をおこなう構成
になっている。例えば、図４（ａ）に示すように相対湿
度が変化したとき、相対湿度のある一定の基準値、例え
ば４０％Ｒｈを超えるとモータの駆動スイッチがＯＮ
（図４（ｂ））になりモータが回転を始める。こうして
モータが高湿時に回転することによってモータ停止時に
生じたロータとステータの接触面の固着による不起動を
防ぐことができる。
号をセンサ駆動装置１８を介してコントローラ１５に取
り込みその検出値によってモータの制御をおこなう構成
になっている。例えば、図４（ａ）に示すように相対湿
度が変化したとき、相対湿度のある一定の基準値、例え
ば４０％Ｒｈを超えるとモータの駆動スイッチがＯＮ
（図４（ｂ））になりモータが回転を始める。こうして
モータが高湿時に回転することによってモータ停止時に
生じたロータとステータの接触面の固着による不起動を
防ぐことができる。
【００２３】なお、ステータ駆動面に進行波（駆動用振
動）を起こす代わりに、２組の圧電素子群のうち１群の
みに駆動信号を印加したり、２組の圧電素子群に印加す
る駆動信号の位相差を０度にしたりすることにより、弾
性体の端面に定在波（駆動用振動以外の振動）を発生さ
せてもよい。
動）を起こす代わりに、２組の圧電素子群のうち１群の
みに駆動信号を印加したり、２組の圧電素子群に印加す
る駆動信号の位相差を０度にしたりすることにより、弾
性体の端面に定在波（駆動用振動以外の振動）を発生さ
せてもよい。
【００２４】停止時に相対湿度が基準値を超えた時にこ
の様な動作をおこなわせれば、移動体を弾性体に対して
周方向に相対移動させることなく接触面の固着による不
起動を未然に防ぐことができる。
の様な動作をおこなわせれば、移動体を弾性体に対して
周方向に相対移動させることなく接触面の固着による不
起動を未然に防ぐことができる。
【００２５】また、駆動信号は湿度基準値を越えている
間連続して印加せずに、図４（ｃ）のように間欠的に印
加しても駆動スイッチがＯＦＦの時間が短ければ固着す
るまでには至らず不起動は起こさないで済み、かつ通電
時間を短くすることができる。
間連続して印加せずに、図４（ｃ）のように間欠的に印
加しても駆動スイッチがＯＦＦの時間が短ければ固着す
るまでには至らず不起動は起こさないで済み、かつ通電
時間を短くすることができる。
【００２６】（第３実施形態）図５に本願発明の第３実
施形態である振動型モータの駆動装置を示す。本実施形
態では、スペーサ１４とディスクフランジ９との間に円
筒状の積層圧電素子１９が嵌挿されており、不図示のケ
ーブルを介して電圧を印加するとモータ軸方向に変位す
る構成になっている。
施形態である振動型モータの駆動装置を示す。本実施形
態では、スペーサ１４とディスクフランジ９との間に円
筒状の積層圧電素子１９が嵌挿されており、不図示のケ
ーブルを介して電圧を印加するとモータ軸方向に変位す
る構成になっている。
【００２７】湿度センサー１７からの信号がある一定の
基準値を超えると、一時的に積層圧電素子１９に電圧が
印加されてモータ軸方向に伸び、ロータ６は加圧力を受
けている方向とは反対方向に力を受ける。これにより、
ロータ６のステータに対する加圧力を減少させたり零に
したりすることができる。そして、加圧力が減少すれ
ば、摩擦面の面圧力が減少するので、高湿時における接
触面の介在水分による固着力を低減させ、モータの不起
動を防ぐことができる。
基準値を超えると、一時的に積層圧電素子１９に電圧が
印加されてモータ軸方向に伸び、ロータ６は加圧力を受
けている方向とは反対方向に力を受ける。これにより、
ロータ６のステータに対する加圧力を減少させたり零に
したりすることができる。そして、加圧力が減少すれ
ば、摩擦面の面圧力が減少するので、高湿時における接
触面の介在水分による固着力を低減させ、モータの不起
動を防ぐことができる。
【００２８】（第４実施形態）図６に本願発明の第４実
施形態である振動型モータの駆動装置を示す。本実施形
態では、ステータとロータ６を含む空間をベース５と、
ベース５にネジ等によって固定されたケーシング２０と
によって囲んでいる。そして、ベース５とケーシング２
０の接合部にはパッキンやＯリングなどからなるシール
部材２１を設け、接合部を密封して水滴や水蒸気がケー
シング内部に流入するのを防いでいる。また、ベース５
の反対側にも同様にケーシング２３を設け、ベース５と
ケーシング２３の接合部及びシャフト１０とケーシング
２３の間にシール部材２４，２５を取り付けて、接合部
を密封している。ケーシング２０の内壁には湿度センサ
１７が固定されており、その近傍には湿度センサ駆動信
号およびセンサ１７からの湿度情報を外部に送るための
孔２０−ａがケーシング２０に開けられている。なお、
電線を通した後、水蒸気に対してシール性のある接着剤
２２により隙間が埋められている。同時に接着剤２２は
電線を固定している。
施形態である振動型モータの駆動装置を示す。本実施形
態では、ステータとロータ６を含む空間をベース５と、
ベース５にネジ等によって固定されたケーシング２０と
によって囲んでいる。そして、ベース５とケーシング２
０の接合部にはパッキンやＯリングなどからなるシール
部材２１を設け、接合部を密封して水滴や水蒸気がケー
シング内部に流入するのを防いでいる。また、ベース５
の反対側にも同様にケーシング２３を設け、ベース５と
ケーシング２３の接合部及びシャフト１０とケーシング
２３の間にシール部材２４，２５を取り付けて、接合部
を密封している。ケーシング２０の内壁には湿度センサ
１７が固定されており、その近傍には湿度センサ駆動信
号およびセンサ１７からの湿度情報を外部に送るための
孔２０−ａがケーシング２０に開けられている。なお、
電線を通した後、水蒸気に対してシール性のある接着剤
２２により隙間が埋められている。同時に接着剤２２は
電線を固定している。
【００２９】この場合、外部からモータ内部に流入する
水蒸気がほとんどなく、かつ密封空間になっているため
に、湿度センサ１７がステータとロータ６の接触面近傍
に配設されていなくても、接触面近傍の湿度とほぼ同等
の湿度を検出できる。
水蒸気がほとんどなく、かつ密封空間になっているため
に、湿度センサ１７がステータとロータ６の接触面近傍
に配設されていなくても、接触面近傍の湿度とほぼ同等
の湿度を検出できる。
【００３０】なお、本実施形態では、湿度センサ１７か
らの電線をケーシング２０に孔を開けることで外部に出
しているが、フレキシブル基板４から信号を伝達する形
態をとってもよい。
らの電線をケーシング２０に孔を開けることで外部に出
しているが、フレキシブル基板４から信号を伝達する形
態をとってもよい。
【００３１】（第５実施形態）図７に本願発明の第５実
施形態である振動型モータの駆動装置を示す。本実施形
態においては、ベース５とケーシング１９との接合部は
シールされておらず、通気可能な状態になっている。一
方、軸受１１と軸受１２との間に設けられたシール部材
２４はシャフトとシール保持部材２６との隙間をなく
し、軸受側から接触部に流入する水及び水蒸気を防いで
いる。なお、シール保持部材２６はベース５に通気不能
に接着固定されている。また、湿度センサ１７はケーシ
ング外の上記の通気可能な接合部近傍に位置している。
施形態である振動型モータの駆動装置を示す。本実施形
態においては、ベース５とケーシング１９との接合部は
シールされておらず、通気可能な状態になっている。一
方、軸受１１と軸受１２との間に設けられたシール部材
２４はシャフトとシール保持部材２６との隙間をなく
し、軸受側から接触部に流入する水及び水蒸気を防いで
いる。なお、シール保持部材２６はベース５に通気不能
に接着固定されている。また、湿度センサ１７はケーシ
ング外の上記の通気可能な接合部近傍に位置している。
【００３２】このような構成にすることで、外部から湿
気が流入する際、その多くは通気可能な接合部から入り
込むためのケーシング外部に湿度センサをおいても接合
部近傍であれば接触面近傍の湿度上昇より先に検知する
ことができ、接触面の固着による不起動を未然に防ぐこ
とができる。
気が流入する際、その多くは通気可能な接合部から入り
込むためのケーシング外部に湿度センサをおいても接合
部近傍であれば接触面近傍の湿度上昇より先に検知する
ことができ、接触面の固着による不起動を未然に防ぐこ
とができる。
【００３３】（第６実施形態）図８に本願発明の第６実
施形態である振動型モータの駆動装置を備えた搬送装置
（例えば、記録シートの搬送を行う複写機の一部）を示
す。ローラ２７の一端２７−ａは、装置の筺体２８に軸
受２９により回転自在に支持されている。そして、他端
に設けられた穴２７−ｂには、装置に固定された振動型
モータのシャフト１０が軽圧入され、横から止めネジ３
０で固定されている。
施形態である振動型モータの駆動装置を備えた搬送装置
（例えば、記録シートの搬送を行う複写機の一部）を示
す。ローラ２７の一端２７−ａは、装置の筺体２８に軸
受２９により回転自在に支持されている。そして、他端
に設けられた穴２７−ｂには、装置に固定された振動型
モータのシャフト１０が軽圧入され、横から止めネジ３
０で固定されている。
【００３４】モータ本体は筺体２８にネジ固定されてい
る。モータ内部には角度検出手段としてエンコーダヘッ
ド３１及び周方向に光学的あるいは磁気的にスリットの
入ったエンコーダパルス板３２とが設けられており、検
出された信号に基づいてモータの回転速度およびローラ
の位置を制御している。
る。モータ内部には角度検出手段としてエンコーダヘッ
ド３１及び周方向に光学的あるいは磁気的にスリットの
入ったエンコーダパルス板３２とが設けられており、検
出された信号に基づいてモータの回転速度およびローラ
の位置を制御している。
【００３５】上記各実施形態で説明した高湿時のモータ
の制御に加え、湿度センサで検出された湿度が所定の値
を超えると装置側のコントローラ（不図示）にもその情
報が届くようになっている。この情報をもとに装置内の
表示部にメッセージを表示させることも可能である。
の制御に加え、湿度センサで検出された湿度が所定の値
を超えると装置側のコントローラ（不図示）にもその情
報が届くようになっている。この情報をもとに装置内の
表示部にメッセージを表示させることも可能である。
【００３６】なお、第６実施形態では、複写機等に用い
られる搬送装置について説明したが、本発明はこれ以外
の各種装置に適用することができる。
られる搬送装置について説明したが、本発明はこれ以外
の各種装置に適用することができる。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように、本願発明では、振
動体と接触体との接触部の近傍、これらを収容する密封
空間内又はこれらを収容する部材の接合部の近傍に、湿
度に応じて物理的性質が変化する感湿部材を配設してい
る。このため、例えば湿度に応じて電気的性質が変化す
る感湿部材を用いれば、感湿部材から所定値以上の湿度
に対応する電気信号が出力されたときに電気−機械エネ
ルギー変換手段に固着防止用信号（振動体に駆動用振動
以外の振動を励起する信号）を入力させるようにした
り、振動体と接触体との押圧力を低下させ又は零にさせ
たりすることができる。このため、本願発明によれば、
湿度による振動体と接触体の固着を未然に防止したり確
実に解除したりすることができる。
動体と接触体との接触部の近傍、これらを収容する密封
空間内又はこれらを収容する部材の接合部の近傍に、湿
度に応じて物理的性質が変化する感湿部材を配設してい
る。このため、例えば湿度に応じて電気的性質が変化す
る感湿部材を用いれば、感湿部材から所定値以上の湿度
に対応する電気信号が出力されたときに電気−機械エネ
ルギー変換手段に固着防止用信号（振動体に駆動用振動
以外の振動を励起する信号）を入力させるようにした
り、振動体と接触体との押圧力を低下させ又は零にさせ
たりすることができる。このため、本願発明によれば、
湿度による振動体と接触体の固着を未然に防止したり確
実に解除したりすることができる。
【００３８】また、感湿部材として湿度に応じて変色す
るものを用いれば、目視によって簡単に固着が生じてい
る可能性を認識することができる。
るものを用いれば、目視によって簡単に固着が生じてい
る可能性を認識することができる。
【図１】本発明の第１実施形態のモータ断面図および回
路ブロック図である。
路ブロック図である。
【図２】上記モータのステータの斜視図である。
【図３】本発明の第２実施形態のモータ断面図および回
路ブロック図である。
路ブロック図である。
【図４】上記第２実施形態の駆動パターン図である。
【図５】本発明の第３実施形態のモータ断面図および回
路ブロック図である。
路ブロック図である。
【図６】本発明の第４実施形態のモータ断面図および回
路ブロック図である。
路ブロック図である。
【図７】本発明の第５実施形態のモータ断面図および回
路ブロック図である。
路ブロック図である。
【図８】本発明の第６実施形態のモータ断面図および回
路ブロック図である。
路ブロック図である。
１ 弾性体 ２ 圧電素子 ３ スライダ材 ４ フレキシブル基板 ５ ベース ６ ロータ ７ ゴム ８ 加圧バネ ９ ディスクフランジ １０シャフト １１，１２ 軸受 １３ 止め輪 １４ スペーサ １５ コントローラ １６ 駆動装置 １７ 湿度センサ １８ センサ駆動装置 １９ 積層圧電素子 ２０ ケーシング ２１ シール部材 ２２ シール接着剤 ２３ ケーシング ２４，２５ シール部材 ２６ シール保持部材 ２７ ローラ ２８ 筺体 ２９ 軸受 ３０ 止めネジ ３１ エンコーダヘッド ３２ エンコーダパルス板
Claims (11)
- 【請求項１】 電気−機械エネルギー変換手段により振
動が励起される振動体と、この振動体に押圧接触する接
触体とを相対移動させる振動型駆動装置の制御装置にお
いて、 前記振動体と前記接触体との接触部の近傍の湿度に応じ
て物理的性質が変化する感湿部材を配設したことを特徴
とする振動型駆動装置の制御装置。 - 【請求項２】 電気−機械エネルギー変換手段により振
動が励起される振動体と、この振動体に押圧接触する接
触体とを相対移動させる振動型駆動装置の制御装置にお
いて、 前記振動体と前記接触体を収容する密封空間内に、湿度
に応じて物理的性質が変化する感湿部材を配設したこと
を特徴とする振動型駆動装置の制御装置。 - 【請求項３】 電気−機械エネルギー変換手段により振
動が励起される振動体と、この振動体に押圧接触する接
触体とを相対移動させる振動型駆動装置の制御装置にお
いて、 前記振動体と前記接触体を収容する部材の接合部の近傍
に、湿度に応じて物理的性質が変化する感湿部材を配設
したことを特徴とする振動型駆動装置の制御装置。 - 【請求項４】 前記感湿部材は、湿度に応じて電気的性
質が変化するものであることを特徴とする請求項１から
３のいずれかに記載の振動型駆動装置の制御装置。 - 【請求項５】 前記感湿部材から出力される電気信号に
基づいて、前記電気−機械エネルギー変換手段に信号を
入力する信号入力手段を有することを特徴とする請求項
４に記載の振動型駆動装置の制御装置。 - 【請求項６】 前記信号入力手段は、前記感湿部材から
所定値以上の湿度に対応する電気信号が出力されたとき
に、前記電気−機械エネルギー変換手段に固着防止用信
号を入力することを特徴とする請求項５に記載の振動型
駆動装置の制御装置。 - 【請求項７】 前記固着防止用信号は、前記振動体に駆
動用振動以外の振動を励起することを特徴とする請求項
６に記載の振動型駆動装置の制御装置。 - 【請求項８】 前記感湿部材から出力される電気信号に
基づいて、前記振動体と前記接触体との押圧力を制御す
る押圧力制御手段を有することを特徴とする請求項５に
記載の振動型駆動装置の制御装置。 - 【請求項９】 前記押圧力制御手段は、前記感湿部材か
ら所定値以上の湿度に対応する電気信号が出力されたと
きに、前記押圧力を低下させ又は零にすることを特徴と
する請求項８に記載の振動型駆動装置の制御装置。 - 【請求項１０】 前記感湿部材は、湿度に応じて変色す
るものであることを特徴とする請求項１に記載の振動型
駆動装置の制御装置。 - 【請求項１１】 請求項１から１０のいずれかに記載の
制御装置を備えたことを特徴とする装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8341925A JPH10191660A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 振動型駆動装置の制御装置およびこれを備えた装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8341925A JPH10191660A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 振動型駆動装置の制御装置およびこれを備えた装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10191660A true JPH10191660A (ja) | 1998-07-21 |
Family
ID=18349822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8341925A Pending JPH10191660A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 振動型駆動装置の制御装置およびこれを備えた装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10191660A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007074883A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-22 | Nikon Corp | マイクロアクチュエータ装置及び光スイッチシステム |
-
1996
- 1996-12-20 JP JP8341925A patent/JPH10191660A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007074883A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-22 | Nikon Corp | マイクロアクチュエータ装置及び光スイッチシステム |
| JP4715407B2 (ja) * | 2005-09-09 | 2011-07-06 | 株式会社ニコン | マイクロアクチュエータ装置及び光スイッチシステム |
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