JPH10163603A

JPH10163603A - 回路基板の製造方法および回路基板の製造装置

Info

Publication number: JPH10163603A
Application number: JP32021796A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Nakaya; 安広仲谷; Hideo Hatanaka; 秀夫畠中; Osamu Noda; 修野田; Toshiaki Takenaka; 敏昭竹中
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1996-11-29
Filing date: 1996-11-29
Publication date: 1998-06-19
Anticipated expiration: 2016-11-29
Also published as: JP3732905B2

Abstract

(57)【要約】【課題】基板用シートを構成するプリプレグシートと
プラスチックシートとの接着を、空気溜まりおよびその
空気溜まりに起因するシワの発生等をなくして安定して
行い、高品質の基板用シートを製造して、高性能、高品
質の回路基板を製造する。【解決手段】プリプレグシート１とプラスチックシー
ト２とを接着して基板用シートを形成する工程と、基板
用シートに貫通孔を形成する工程と、貫通孔に導電性ペ
ーストを充填する工程と、プラスチックシート２を剥離
した後にプリプレグシート１の表裏に金属箔を張り付け
る工程と、金属箔をエッチングして回路を形成する工程
とを有する回路基板の製造方法において、プリプレグシ
ート１とプラスチックシート２との接着を行う際に、プ
リプレグシート１とプラスチックシート２との間の空気
を除去するために真空引きを行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、回路基板の製造方
法および製造装置に関し、詳しくは回路基板を構成して
いる基板用シートに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、電子機器の小型化、高密度化に伴
い、産業用にとどまらず民生用の分野においても、多層
基板が強く要望されるようになってきた。このような多
層基板では、複数層の回路パターンの間をインナビアホ
ール接続する接続方法および信頼度の高い構造が必要で
ある。

【０００３】以下に、従来の多層基板の製造方法におけ
るプリプレグシートとプラスチックシートとの接着工程
（基板用シート製造工程）について説明する。図２は、
従来の多層基板の製造方法におけるプリプレグシートと
プラスチックシートとの接着工程断面図である。プリプ
レグシート１としては、例えば、不織布の芳香族ポリア
ミド繊維に熱硬化性エポキシ樹脂を含浸させた内部に空
孔を有する複合材からなる基材（以下「アラミド−エポ
キシシート」という）が用いられる。プラスチックシー
ト２としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートシ
ート（以下「ＰＥＴシート」という）が用いられる。

【０００４】まず、図２（ａ）に示すように、プラスチ
ックシート（例えばＰＥＴシート）２を、プリプレグシ
ート（例えばアラミド−エポキシシート）１の長さより
３０〜５０ｍｍ長くなるように、カッター１２を用いて
切断する。例えば、プリプレグシート１は、５００ｍｍ
角、厚さ１００〜３００μｍ程度とし、プラスチックシ
ート２は、片面にＳｉ系の離型剤を塗布した幅５５０ｍ
ｍ、厚さ１０μｍ程度のロール状のシートとする。

【０００５】次に、図２（ｂ）に示すように、１枚のプ
リプレグシート１の表裏を２枚のプラスチックシート２
の離型剤塗布面で挟持するように重ね合わせて、プレス
板１３を用いて加熱加圧を行い接着する。具体的には、
プレス板１３を用いて、１００℃，２０Ｋｇ／ｃｍ^２で
１０分間加熱加圧を行い、プリプレグシート１の表裏に
プラスチックシート２を接着する。プレス板１３は、例
えば、５００ｍｍ角で厚さ１ｍｍのステンレス等を用い
て構成されている金属板とする。

【０００６】図２（ｃ）は、以上の工程を経てプリプレ
グシート１の表裏にプラスチックシート２が接着されて
いる状態のシート（以下「基板用シート」という）を示
している。

【０００７】次に、この基板用シートを用いて、多層化
のベースとなる２層基板を製造する場合の製造工程（２
層基板製造工程）について、図３を用いて説明する。図
３（ａ）は、厚さがｔ１であるプリプレグシート（例え
ばアラミド−エポキシシート）１とプラスチックシート
（例えばＰＥＴシート）２とを用いて形成されている基
板用シートを示している。

【０００８】まず、図３（ｂ）に示すように、基板用シ
ートの所定の箇所に、レーザ加工法等を利用して貫通孔
１４を形成する。次に、図３（ｃ）に示すように、貫通
孔１４に導電性ペースト１５を充填する。この導電性ペ
ースト１５を充填する方法としては、例えば、貫通孔１
４を有する基板用シートを印刷機のテーブル（図示せ
ず）上に設置し、導電性ペースト１５をプラスチックシ
ート２の上から、直接印刷する方法がある。このとき、
上面のプラスチックシート２は、印刷マスクとしての役
割と、プリプレグシート１の表面の汚染を防止する役割
とを果たしている。

【０００９】次に、図３（ｄ）に示すように、プリプレ
グシート１の両面からプラスチックシート２を剥離す
る。この図３（ｄ）に示されるように、プリプレグシー
ト１の貫通孔１４に導電性ペースト１５が充填されたも
のを中間接続体という。

【００１０】次に、図３（ｅ）に示すように、プリプレ
グシート１の両面に、銅箔等の金属箔１６を張り付け
る。次に、図３（ｅ）の状態で加熱加圧を行うことによ
り、図３（ｆ）に示すように、プリプレグシート１の厚
みを圧縮する（ｔ１＞ｔ２）とともに、プリプレグシー
ト１と金属箔１６との接着を行う。そして、プリプレグ
シート１の表裏に接着された金属箔１６を選択的にエッ
チングすることにより、回路パターンが形成され、２層
基板が得られる。

【００１１】次に、以上の工程を経て得られた２層基板
を用いて、多層基板（ここでは４層基板）を製造する場
合の製造工程（多層基板製造工程）について、図４を用
いて説明する。

【００１２】図４（ａ）は、２層基板製造工程によって
得られた第一の回路パターン１７（１７ａ，１７ｂ）を
有する第一の２層基板１９を示している。また、図４
（ｂ）は、２層基板製造工程によって得られた第二の回
路パターン１８（１８ａ，１８ｂ）を有する第二の２層
基板２０を示している。さらに、図４（ｃ）は、２層基
板製造工程（図３（ｄ）まで）によって得られた中間接
続体２１を示している。これら、第一の２層基板１９、
第二の２層基板２０および中間接続体２１を用いて多層
基板（４層基板）を製造する。

【００１３】まず、図４（ｄ）に示すように、第一の２
層基板１９の上に中間接続体２１を重ね、その上に第二
の２層基板２０を重ねる。つまり、第一の２層基板１９
と第二の２層基板２０とを中間接続体２１を介して重ね
合わせる。

【００１４】次に、図４（ｄ）の状態で加熱加圧を行う
ことにより、図４（ｅ）に示すように、第一の２層基板
１９と第二の２層基板２０とを中間接続体２１を介して
接着させるとともに、第一の回路パターン１７ｂと第二
の回路パターン１８ａとを、中間接続体２１の導電性ペ
ースト１５によりインナビアホール接続させる。そうす
ることにより、多層基板が得られる。

【００１５】以上図２から図４を用いて説明したよう
に、多層基板を製造する際に用いる２層基板を製造する
工程においては、プリプレグシート１の表裏に接着され
たプラスチックシート２は、プリプレグシート１に貫通
孔１４が形成される際に、レーザー加工等によって同時
に貫通孔が形成され、その後、導電性ペースト１５印刷
時のマスクとして使用され、印刷後は剥離される。した
がって、プリプレグシート１面にプラスチックシート２
が均一に接着し、レーザー加工時や印刷時に剥離しない
ことが必須となる。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術に係る回路基板（２層基板および多層基板）を構
成する基板用シートの製造工程においては、プリプレグ
シートの全面を同時に加熱加圧するために、プラスチッ
クシートとプリプレグシートとの間の空気溜まりを十分
に除去できず、プラスチックシートにシワが発生した
り、プラスチックシートとプリプレグシートとの密着性
にばらつきが生ずることがあった。そうすると、貫通孔
を開けた後の導電性ペースト充填時に、導電性ペースト
がプリプレグシートとプラスチックシートとの隙間に入
り込み貫通孔の径が見かけ上大きくなったり、プリプレ
グシートに存在する空気溜まりの空間に導電性ペースト
が充填され、微細化の妨げとなったり、隣接パターンや
隣接貫通孔と短絡する等の問題があった。

【００１７】そこで、本発明はこのような課題を解決す
るためになされたもので、基板用シートを構成するプリ
プレグシートとプラスチックシートとの接着を、空気溜
まりおよびその空気溜まりに起因するシワの発生等をな
くして安定して行い、高品質の基板用シートを製造し
て、高性能、高品質の回路基板を製造することができる
回路基板の製造方法および製造装置を提供することを目
的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る回路基板の製造方法は、プリプレグシー
トとプラスチックシートとを接着して基板用シートを形
成する工程と、前記基板用シートに貫通孔を形成する工
程と、前記貫通孔に導電性ペーストを充填する工程と、
前記プラスチックシートを剥離した後に前記プリプレグ
シートの表裏に金属箔を張り付ける工程と、前記金属箔
をエッチングして回路を形成する工程とを有する回路基
板の製造方法において、前記プリプレグシートと前記プ
ラスチックシートとの接着を行う際に、前記プリプレグ
シートと前記プラスチックシートとの間の空気を除去す
るために真空引きを行うことを特徴とする。

【００１９】本発明によれば、前記プリプレグシートと
前記プラスチックシートとの間の空気を十分除去するこ
とが可能であるため、前記プリプレグシートと前記プラ
スチックシートとの間に空気残りのない（空気残りに起
因するシワ等が発生していない）品質の高い基板用シー
トを得ることができる。

【００２０】また、本発明に係る回路基板の製造方法に
おいては、熱を加えて前記プリプレグシートと前記プラ
スチックシートとの接着を行うことが好ましい。このよ
うに熱を加えることにより、前記プリプレグシートの樹
脂成分を軟化させることが可能となるため、前記プリプ
レグシートと前記プラスチックシートとの密着性がより
向上する。さらに、熱を加える手段としては、赤外線ラ
ンプを用いることがあげられる。

【００２１】また、本発明に係る回路基板の製造方法に
おいては、圧力を加えて前記プリプレグシートと前記プ
ラスチックシートとの接着を行うことが好ましい。この
ように圧力を加えることにより、前記プリプレグシート
と前記プラスチックシートとの密着性を向上させること
ができる。

【００２２】さらに、金属ローラを、重ね合わされた前
記プリプレグシートと前記プラスチックシートとの一方
の端部から他方の端部へ移動させることにより、前記プ
リプレグシートと前記プラスチックシートとに順次圧力
を加えることが好ましい。こうすることにより、前記プ
リプレグシートと前記プラスチックシートとを均一に安
定して接着することができる。また、前記金属ローラが
加熱されていることが好ましく、前記金属ローラの外周
部が弾性材料によってライニングされていることが好ま
しい。

【００２３】上記目的を達成するための本発明に係る回
路基板の製造装置は、プリプレグシートとプラスチック
シートとを接着して基板用シートを形成する基板用シー
ト形成部と、前記基板用シートを加工する基板用シート
加工部とを有する回路基板の製造装置において、前記基
板用シート形成部が、重ね合わせられた前記プリプレグ
シートと前記プラスチックシートとを収容する収容容器
と、この収容容器に接続された真空ポンプとを有するこ
とを特徴とする。

【００２４】本発明によれば、前記収容容器に重ね合わ
せられた前記プリプレグシートと前記プラスチックシー
トとを収容した後に、前記真空ポンプを運転して前記収
容容器内を真空引きすることにより、前記プリプレグシ
ートと前記プラスチックシートとの間に介在する空気を
十分に除去することができるため、前記プリプレグシー
トと前記プラスチックシートとの間に空気残りのない
（空気残りに起因するシワ等が発生していない）品質の
高い基板用シートを得ることができる。

【００２５】また、前記収容容器が、重ね合わされた前
記プリプレグシートと前記プラスチックシートとを設置
するテーブルと、このテーブルの上に設置された前記プ
リプレグシートと前記プラスチックシートとを覆うジグ
とを用いて構成されていることが好ましい。また、前記
ジグは、金属薄板を用いて構成されていることが好まし
い。

【００２６】さらに、前記収容容器に加熱手段が設けら
れていることが好ましい。前記加熱手段により前記プリ
プレグシートを加熱すれば、前記プリプレグシートの樹
脂成分を軟化させることが可能となるため、前記プリプ
レグシートと前記プラスチックシートとの密着性をより
向上させることができる。前記加熱手段としては、赤外
線ランプがあげられる。

【００２７】また、重ね合わされた前記プリプレグシー
トと前記プラスチックシートとに圧力を加えるための圧
力付加手段が設けられていることが好ましい。前記圧力
付加手段を設けて、重ね合わされた前記プリプレグシー
トと前記プラスチックシートとに圧力を加えれば、前記
プリプレグシートと前記プラスチックシートとの密着性
をより向上させることができる。

【００２８】さらに、前記圧力付加手段として前記収容
容器の上部に金属ローラが設けられており、この金属ロ
ーラが、重ね合わされた前記プリプレグシートと前記プ
ラスチックシートとの一方の端部から他方の端部へ順次
圧力を加えながら移動するように設けられていることが
好ましい。このような構成とすることにより、前記プリ
プレグシートと前記プラスチックシートとを均一に安定
して接着することができる。

【００２９】また、プリプレグシートとプラスチックシ
ートとを接着して基板用シートを形成する基板用シート
形成部と、前記基板用シートを加工する基板用シート加
工部とを有する回路基板の製造装置において、前記基板
用シート形成部が、重ね合わせられた前記プリプレグシ
ートと前記プラスチックシートとを収容す収容容器と、
この収容容器に接続された真空ポンプと、前記プリプレ
グシートに熱を加える加熱手段と、重ね合わせられた前
記プリプレグシートと前記プラスチックシートとに圧力
を加える圧力付加手段とを有し、前記収容容器が、重ね
合わせられた前記プリプレグシートと前記プラスチック
シートとを設置するテーブルと、このテーブルの上に設
置された前記プリプレグシートと前記プラスチックシー
トとを覆うジグとを用いて構成されており、前記ジグが
金属薄板を用いて構成され、前記加熱手段として赤外線
ランプが設けられ、前記圧力付加手段として前記金属薄
板の上に金属ローラが設けられており、この金属ローラ
が、重ね合わされた前記プリプレグシートと前記プラス
チックシートとの一方の端部から他方の端部へ順次圧力
を加えながら移動するように設けられていることが好ま
しい。

【００３０】さらに、以上の回路基板の製造装置におい
て、前記テーブルに加熱手段が設けられていること、前
記ジグが耐熱性のある有機材料を用いて構成されている
こと、および前記金属ローラの外周部が弾性材料によっ
てライニングされていることが好ましい。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は、本発明の実施形態に係る
回路基板を構成する基板用シートの製造方法およびその
製造装置の概略を示している。具体的には、プリプレグ
シートとプラスチックシートとの接着工程の概略とこの
接着工程の際に用いるラミネータのロール構成等とを示
している。

【００３２】基板用シートを構成するプリプレグシート
１としては、例えば、不織布の芳香族ポリアミド繊維に
熱硬化性エポキシ樹脂を含浸させた内部に空孔を有する
複合材からなる基材（以下「アラミド−エポキシシー
ト」という）が用いられる。また、プラスチックシート
２としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートシー
ト（以下「ＰＥＴシート」という）が用いられる。本実
施形態においては、プリプレグシート１としては、５０
０ｍｍ角に加工した厚さ１００〜３００μｍのアラミド
−エポキシシートを用い、プラスチックシート２として
は、片面にＳｉ系の離型剤を塗布した幅５００ｍｍ、厚
さ１０μｍのロール状のＰＥＴシートを用いる。

【００３３】ラミネータの上下に配置したプラスチック
シート取り付けロール３には、ロール状のプラスチック
シート２が、離型剤塗布面２ａでプリプレグシート１を
狭持するように取り付けられている。

【００３４】まず、第一ローラ４を回転させることによ
ってプリプレグシート１が第二ローラ５の間に誘導され
る。第二ローラ５にはプラスチックシート２がプラスチ
ックシート取り付けロール３から供給されている。した
がって、第一ローラ４を回転させて第二ローラ５の間に
誘導されたプリプレグシート１は、このプラスチックシ
ート２に挟持される形となる。つまり、プリプレグシー
ト１の表裏に、プラスチックシート２の離型剤塗布面２
ａが接触する形で重ね合わせられる。

【００３５】次に、第二ローラ５と第三ローラ６とを回
転させることによって、プラスチックシート２で挟持さ
れたプリプレグシート１は、矢印Ａの示す進行方向に移
動させる。移動して加熱テーブル７上に配置されたプラ
スチックシート２で挟持されたプリプレグシート１は、
次に所定の温度（例えば１００℃）に加熱される。この
加熱の方法としては、プリプレグシート１を均一に加熱
するために、上部より赤外線ランプ等を用いて加熱する
方法等があげられる。

【００３６】次に、この位置（加熱テーブル７上）で、
プラスチックシート２で挟持されたプリプレグシート１
の上部から、金属枠８に厚み０．１ｍｍの金属薄板９を
取り付けた真空引きジグ３０をかぶせる。そして、この
後、真空引きジグ３０に接続されている真空ポンプ１０
を運転することにより、金属枠８内の真空引きを行う。
こうすることにより、プリプレグシート１とプラスチッ
クシート２との間の空気溜まりを十分に除去することが
可能となる。また、プラスチックシート２が金属薄板９
で押し付けられる状態となるため、プラスチックシート
２がプリプレグシート１により密着する。ここで、本実
施形態においては、真空引きジグ３０を構成する際に、
金属薄板９を用いた場合について説明したが、本発明は
これに限定されるものではなく、耐熱性有機材料等を用
いてもよい。

【００３７】次に、金属薄板９上に加熱ローラ１１を設
置し、この加熱ローラ１１をプリプレグシート１の一方
の端部から順次加圧しながら移動させる。こうすること
により、プリプレグシート１とプラスチックシート２と
を、より接着させることができる。ここで、加熱ローラ
１１としては、金属ローラを用いることが好ましい。ま
た、金属ローラの外周に弾性材料をライニングしたもの
を用いることが好ましい。

【００３８】次に、加熱ローラ１１と真空引きジグ３０
とを所定の位置に移動させる（加熱テーブル７上から、
加熱ローラ１１と真空引きジグ３０とを取り除く）。そ
して、第三ローラ６を回転させることによって、接着さ
れたプリプレグシート１とプラスチックシート２とを、
加熱テーブル７から第三ローラ６へ移動し、新たなプリ
プレグシート１がプラスチックシート２をともなって加
熱テーブル７上に誘導される。

【００３９】本発明の実施形態に係る回路基板を構成す
る基板用シートは、以上に説明した製造装置を用いて、
以上の製造工程を繰り返すことによって製造される。つ
まり、第一ローラ４、第二ローラ５および第三ローラ６
を用いることによって、プリプレグシート１とプラスチ
ックシート２とが連続して供給されるため、自動的にプ
リプレグシート１とプラスチックシート２との接着を行
い、基板用シートを製造することができる。したがっ
て、自動でほぼ連続接着が可能となり生産性の向上を図
ることができる。

【００４０】以上のように本実施形態によれば、プリプ
レグシート１の表裏にプラスチックシート２を接着する
工程（基板用シート製造工程）において、加熱テーブル
７上でプリプレグシート１およびプリプレグシート１と
プラスチックシート２との間を真空引きするとともに、
加熱ローラ１１を用いて加熱加圧して接着するので、得
られる基板用シートには空気残りによるシワの発生等が
なくなり、プリプレグシート１とプラスチックシート２
との密着性が向上して、安定した接着状態を得ることが
できる。

【００４１】したがって、本実施形態に係る基板用シー
トを用いて２層基板および多層基板（例えば４層基板）
等の回路基板を製造する場合には、基板用シートを構成
するプリプレグシート１とプラスチックシート２とは均
一に安定して密着（接着）しており、またプリプレグシ
ート１とプラスチックシート２との間には空気溜まり等
もないため、基板用シートに貫通孔を形成した後の導電
性ペーストの印刷時において、導電性ペーストは貫通孔
内に収まる。よって、本実施形態に係る基板用シートを
用いれば、プリプレグシート１とプラスチックシート２
との間隙に導電性ペーストが入り込むことにより発生す
る隣接パターンや隣接貫通孔との短絡を防止することが
できる。多層基板および多層基板のベースとなる２層基
板の製造方法については、従来技術と同様であるため、
説明を省略する。

【００４２】なお、本実施形態においては、プリプレグ
シートとして不織布に熱硬化性樹脂を含浸させたものを
用いた場合について説明したが、本発明はこれに限定さ
れるものではなく、例えば、織布に熱硬化性樹脂を含浸
させたものでもよい。

【００４３】また、本実施形態においては、所定形状に
加工したプリプレグシートを用いる場合について説明し
たが、本発明はこれに限定されるものではなく、例え
ば、所定形状に加工（切断）されていない連続状のもの
を用いてもよい。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基板用シートを構成するプリプレグシートとプラスチッ
クシートとの接着を、空気溜まりおよびその空気溜まり
に起因するシワの発生等をなくして安定して行い、高品
質の基板用シートを製造して、高性能、高品質の回路基
板を製造することが可能である回路基板の製造方法およ
び製造装置を得ることができる。また、プリプレグシー
トとプラスチックシートとを自動でほぼ連続して接着す
ることが可能となるため、生産性の向上を図ることもで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係る基板用シートの製造工
程を示す断面図

【図２】従来技術に係る基板用シートの製造工程を示す
断面図

【図３】基板用シートを用いて多層化のベースとなる２
層基板を製造する際の製造工程を示す断面図

【図４】２層基板を用いて多層基板（４層基板）を製造
する際の製造工程を示す断面図

【符号の説明】

１プリプレグシート２プラスチックシート２ａ離型剤塗布面３プラスチックシート取り付けロール４第一ローラ５第二ローラ６第三ローラ７加熱テーブル８金属枠９金属薄板１０真空ポンプ１１加熱ローラ１４貫通孔１５導電性ペースト１６金属箔１７（１７ａ，１７ｂ）第一の回路パターン１８（１８ａ，１８ｂ）第二の回路パターン１９第一の２層基板２０第二の２層基板２１中間接続体３０真空引きジグ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者竹中敏昭大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】プリプレグシートとプラスチックシート
とを接着して基板用シートを形成する工程と、前記基板
用シートに貫通孔を形成する工程と、前記貫通孔に導電
性ペーストを充填する工程と、前記プラスチックシート
を剥離した後に前記プリプレグシートの表裏に金属箔を
張り付ける工程と、前記金属箔をエッチングして回路を
形成する工程とを有する回路基板の製造方法において、
前記プリプレグシートと前記プラスチックシートとの接
着を行う際に、前記プリプレグシートと前記プラスチッ
クシートとの間の空気を除去するために真空引きを行う
ことを特徴とする回路基板の製造方法。
【請求項２】熱を加えて前記プリプレグシートと前記
プラスチックシートとの接着を行う請求項１記載の回路
基板の製造方法。
【請求項３】赤外線ランプを用いることにより熱を加
えて前記プリプレグシートと前記プラスチックシートと
の接着を行う請求項１記載の回路基板の製造方法。
【請求項４】圧力を加えて前記プリプレグシートと前
記プラスチックシートとの接着を行う請求項１記載の回
路基板の製造方法。
【請求項５】金属ローラを、重ね合わされた前記プリ
プレグシートと前記プラスチックシートとの一方の端部
から他方の端部へ移動させることにより、前記プリプレ
グシートと前記プラスチックシートとに順次圧力を加え
る請求項１記載の回路基板の製造方法。
【請求項６】前記金属ローラが加熱されている請求項
５記載の回路基板の製造方法。
【請求項７】前記金属ローラの外周部が弾性材料によ
ってライニングされている請求項５または６記載の回路
基板の製造方法。
【請求項８】プリプレグシートとプラスチックシート
とを接着して基板用シートを形成する基板用シート形成
部と、前記基板用シートを加工する基板用シート加工部
とを有する回路基板の製造装置において、前記基板用シ
ート形成部が、重ね合わせられた前記プリプレグシート
と前記プラスチックシートとを収容する収容容器と、こ
の収容容器に接続された真空ポンプとを有することを特
徴とする回路基板の製造装置。
【請求項９】前記収容容器が、重ね合わされた前記プ
リプレグシートと前記プラスチックシートとを設置する
テーブルと、このテーブルの上に設置された前記プリプ
レグシートと前記プラスチックシートとを覆うジグとを
用いて構成されている請求項８記載の回路基板の製造装
置。
【請求項１０】前記ジグが金属薄板を用いて構成され
ている請求項９記載の回路基板の製造装置。
【請求項１１】前記収容容器に加熱手段が設けられて
いる請求項８記載の回路基板の製造装置。
【請求項１２】前記加熱手段が、赤外線ランプである
請求項１１記載の回路基板の製造装置。
【請求項１３】重ね合わされた前記プリプレグシート
と前記プラスチックシートとに圧力を加えるための圧力
付加手段が設けられている請求項８記載の回路基板の製
造装置。
【請求項１４】前記圧力付加手段として前記収容容器
の上部に金属ローラが設けられており、この金属ローラ
が、重ね合わされた前記プリプレグシートと前記プラス
チックシートとの一方の端部から他方の端部へ順次圧力
を加えながら移動するように設けられている請求項１３
記載の回路基板の製造装置。
【請求項１５】プリプレグシートとプラスチックシー
トとを接着して基板用シートを形成する基板用シート形
成部と、前記基板用シートを加工する基板用シート加工
部とを有する回路基板の製造装置において、前記基板用
シート形成部が、重ね合わせられた前記プリプレグシー
トと前記プラスチックシートとを収容す収容容器と、こ
の収容容器に接続された真空ポンプと、前記プリプレグ
シートに熱を加える加熱手段と、重ね合わせられた前記
プリプレグシートと前記プラスチックシートとに圧力を
加える圧力付加手段とを有し、前記収容容器が、重ね合
わせられた前記プリプレグシートと前記プラスチックシ
ートとを設置するテーブルと、このテーブルの上に設置
された前記プリプレグシートと前記プラスチックシート
とを覆うジグとを用いて構成されており、前記ジグが金
属薄板を用いて構成され、前記加熱手段として赤外線ラ
ンプが設けられ、前記圧力付加手段として前記金属薄板
の上に金属ローラが設けられており、この金属ローラ
が、重ね合わされた前記プリプレグシートと前記プラス
チックシートとの一方の端部から他方の端部へ順次圧力
を加えながら移動するように設けられていることを特徴
とする回路基板の製造装置。
【請求項１６】前記テーブルに加熱手段が設けられて
いる請求項９または１５記載の回路基板の製造装置。
【請求項１７】前記ジグが耐熱性のある有機材料を用
いて構成されている請求項９または１５記載の回路基板
の製造装置。
【請求項１８】前記金属ローラの外周部が弾性材料に
よってライニングされている請求項１４または１５記載
の回路基板の製造装置。