JPH10162760A - 電子ビーム装置 - Google Patents
電子ビーム装置Info
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- JPH10162760A JPH10162760A JP8319706A JP31970696A JPH10162760A JP H10162760 A JPH10162760 A JP H10162760A JP 8319706 A JP8319706 A JP 8319706A JP 31970696 A JP31970696 A JP 31970696A JP H10162760 A JPH10162760 A JP H10162760A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】試料に照射する電子ビームを安定化する。
【解決手段】電子銃１からの電子ビーム１０が収束レン
ズ２と対物レンズ３によって絞られて試料４に照射さ
れ、試料４からのＸ線の強度を分光検出して試料の定性
・定量分析が行われる。遮蔽アパーチャ６を通過した電
子ビームはすべてが通過アパーチャ７を通過し、さらに
その中心部が対物アパーチャー８を通過して試料４まで
到達する。一方、遮蔽アパーチャー６を通過した電子ビ
ームの周辺部は対物アパーチャー８に遮られ箱形のファ
ラデーカップ５によって捕らえられる。これは電流検出
回路１２によって検出され、この電流値に基づいて収束
レンズ制御部１３が収束レンズ電源１４を介して収束レ
ンズ２の強さを制御し、ファラデーカップ５で検出され
る電流および試料４への照射ビーム電流を安定した一定
値とする。
ズ２と対物レンズ３によって絞られて試料４に照射さ
れ、試料４からのＸ線の強度を分光検出して試料の定性
・定量分析が行われる。遮蔽アパーチャ６を通過した電
子ビームはすべてが通過アパーチャ７を通過し、さらに
その中心部が対物アパーチャー８を通過して試料４まで
到達する。一方、遮蔽アパーチャー６を通過した電子ビ
ームの周辺部は対物アパーチャー８に遮られ箱形のファ
ラデーカップ５によって捕らえられる。これは電流検出
回路１２によって検出され、この電流値に基づいて収束
レンズ制御部１３が収束レンズ電源１４を介して収束レ
ンズ２の強さを制御し、ファラデーカップ５で検出され
る電流および試料４への照射ビーム電流を安定した一定
値とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電子ビームを試料に
照射して、試料から発生する二次電子やＸ線などの信号
を検出し、試料の形状観察や元素分析を行う電子線マイ
クロアナライザや走査型電子顕微鏡などの電子ビーム装
置に関する。
照射して、試料から発生する二次電子やＸ線などの信号
を検出し、試料の形状観察や元素分析を行う電子線マイ
クロアナライザや走査型電子顕微鏡などの電子ビーム装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子ビーム装置のひとつである電子線マ
イクロアナライザは、電子銃で発生した電子ビームをい
くつかの電子レンズを用いて小さな径になるように絞
り、この電子ビームを試料に照射する。電子ビームの照
射によって励起された試料から各種の信号が発せられる
が、その信号のうちのＸ線を分光検出して試料に含まれ
る元素の定性・定量分析が行われる。
イクロアナライザは、電子銃で発生した電子ビームをい
くつかの電子レンズを用いて小さな径になるように絞
り、この電子ビームを試料に照射する。電子ビームの照
射によって励起された試料から各種の信号が発せられる
が、その信号のうちのＸ線を分光検出して試料に含まれ
る元素の定性・定量分析が行われる。
【０００３】定量分析は分析対象元素の特性Ｘ線の強度
を正確に測定してその元素の濃度を求めるものである
が、特性Ｘ線の強度は試料に照射する一次電子ビームの
強度に比例するので、元素濃度を精度よく求めるために
は電子ビームの強度が安定していることが必要である。
このために、従来は電子源や電子レンズなどの中心軸を
機械的に動かすことによって一致させ、それぞれの光軸
を十分に合わせることによって電子ビームの不安定要素
を少なくしていた。さらには実際の分析に際しては比較
的長いウォーミングアップ時間をとることによって、電
源などの電気回路を含めて電子源や電子レンズなどの電
子光学系を安定させ、一次電子ビームの安定化をはかっ
ていた。
を正確に測定してその元素の濃度を求めるものである
が、特性Ｘ線の強度は試料に照射する一次電子ビームの
強度に比例するので、元素濃度を精度よく求めるために
は電子ビームの強度が安定していることが必要である。
このために、従来は電子源や電子レンズなどの中心軸を
機械的に動かすことによって一致させ、それぞれの光軸
を十分に合わせることによって電子ビームの不安定要素
を少なくしていた。さらには実際の分析に際しては比較
的長いウォーミングアップ時間をとることによって、電
源などの電気回路を含めて電子源や電子レンズなどの電
子光学系を安定させ、一次電子ビームの安定化をはかっ
ていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来技術のよ
うに、電子銃や電子レンズの中心軸を機械的に動かして
軸合わせを行うと、その軸出し調整に時間がかかり、ま
た、実際の分析に際して長いウォーミングアップ時間を
とることは安定なビームを得るまでに長い時間を要する
という問題点があった。
うに、電子銃や電子レンズの中心軸を機械的に動かして
軸合わせを行うと、その軸出し調整に時間がかかり、ま
た、実際の分析に際して長いウォーミングアップ時間を
とることは安定なビームを得るまでに長い時間を要する
という問題点があった。
【０００５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであり、調整の手間がかからず、また、ウォーミ
ングアップの時間を長くとることなく迅速に一次電子ビ
ームを安定化することのできる電子ビーム装置を提供す
ることを目的とする。
たものであり、調整の手間がかからず、また、ウォーミ
ングアップの時間を長くとることなく迅速に一次電子ビ
ームを安定化することのできる電子ビーム装置を提供す
ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、電子ビームを発生する電子ビーム源と、
電子ビームを収束するための収束レンズおよび対物レン
ズを有する電子ビーム装置において、前記収束レンズと
対物レンズの間に、電子ビーム遮蔽用の第１絞りと、こ
の第１絞りより対物レンズ側に、前記第１絞りより小さ
い開口を持つ第２絞りを有するビーム電流測定手段と、
このビーム電流測定手段の検出した測定ビーム電流に基
づいて前記収束レンズの強さを変更できるレンズ制御手
段を備え、前記測定ビーム電流が一定となるように前記
収束レンズの強さを制御することを特徴とする。
決するために、電子ビームを発生する電子ビーム源と、
電子ビームを収束するための収束レンズおよび対物レン
ズを有する電子ビーム装置において、前記収束レンズと
対物レンズの間に、電子ビーム遮蔽用の第１絞りと、こ
の第１絞りより対物レンズ側に、前記第１絞りより小さ
い開口を持つ第２絞りを有するビーム電流測定手段と、
このビーム電流測定手段の検出した測定ビーム電流に基
づいて前記収束レンズの強さを変更できるレンズ制御手
段を備え、前記測定ビーム電流が一定となるように前記
収束レンズの強さを制御することを特徴とする。
【０００７】収束レンズと対物レンズの間に配置された
ビーム電流測定手段によって測定される測定ビーム電流
は、対物レンズの下に配置されている試料に対して第２
絞りを通過して照射される照射ビーム電流に対してある
特定の比率となるので、測定ビーム電流が一定となるよ
うに収束レンズの強さを制御することによって、結果的
に試料に対する照射ビーム電流が一定となる。
ビーム電流測定手段によって測定される測定ビーム電流
は、対物レンズの下に配置されている試料に対して第２
絞りを通過して照射される照射ビーム電流に対してある
特定の比率となるので、測定ビーム電流が一定となるよ
うに収束レンズの強さを制御することによって、結果的
に試料に対する照射ビーム電流が一定となる。
【０００８】この明細書で相対的位置関係を示す上と下
という言葉は、電子ビームの上流側と下流側を示すもの
であって、必ずしも重力の方向の上下を示すものではな
い。すなわち、この明細書でいう上とは電子ビームの発
生源である電子源に近い方向を示し、下とは電子ビーム
が照射される試料に近い側を示すものである。
という言葉は、電子ビームの上流側と下流側を示すもの
であって、必ずしも重力の方向の上下を示すものではな
い。すなわち、この明細書でいう上とは電子ビームの発
生源である電子源に近い方向を示し、下とは電子ビーム
が照射される試料に近い側を示すものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図面を用
いて説明する。図１は本発明の電子ビーム装置の一種で
ある電子線マイクロアナライザの主要部を示している。
フィラメント、ウェーネルト、アノードからなる電子銃
１から発生し加速された電子ビーム１０は、収束レンズ
２と対物レンズ３からなる２段の電磁レンズによって小
さな直径になるように絞られ、分析対象の試料４に照射
される。試料４から放射されるＸ線は、図示していない
Ｘ線分光器によって分光されつつ検出され、試料に含ま
れる元素からの特性Ｘ線の強度に基づいてその元素の濃
度が求められる。
いて説明する。図１は本発明の電子ビーム装置の一種で
ある電子線マイクロアナライザの主要部を示している。
フィラメント、ウェーネルト、アノードからなる電子銃
１から発生し加速された電子ビーム１０は、収束レンズ
２と対物レンズ３からなる２段の電磁レンズによって小
さな直径になるように絞られ、分析対象の試料４に照射
される。試料４から放射されるＸ線は、図示していない
Ｘ線分光器によって分光されつつ検出され、試料に含ま
れる元素からの特性Ｘ線の強度に基づいてその元素の濃
度が求められる。
【００１０】収束レンズ２と対物レンズ３の間に、ビー
ム電流変動検出部９が光軸１１に沿って設けられてい
る。このビーム変動検出部９は、収束レンズ２を通過し
た電子ビームのうち所定の大きさの中心部のみを通過さ
せ周辺部を遮蔽するための遮蔽アパーチャー（第１絞
り）６と、その下に配設されたビーム電流測定用のファ
ラデーカップ５からなっている。ファラデーカップ５は
光軸１１に対して垂直な面を上下に２つ持ち（上面５ａ
と下面５ｂ）、その２つの面と周囲の側壁とで円筒箱状
の形をしており、中に入った電子を効率よく電流として
検出できるようになっている。ファラデーカップ５の上
面５ａには遮蔽アパーチャー６を通過した電子ビームが
すべて通過できる程度の大きさの通過アパーチャー７
（第３絞り）が光軸１１上に配置され、下面５ｂには遮
蔽アパーチャー６を通過した電子ビームの全部ではなく
一部が通過できる程度の大きさの対物アパーチャー８
（第２絞り）が光軸１１上に配置されている。
ム電流変動検出部９が光軸１１に沿って設けられてい
る。このビーム変動検出部９は、収束レンズ２を通過し
た電子ビームのうち所定の大きさの中心部のみを通過さ
せ周辺部を遮蔽するための遮蔽アパーチャー（第１絞
り）６と、その下に配設されたビーム電流測定用のファ
ラデーカップ５からなっている。ファラデーカップ５は
光軸１１に対して垂直な面を上下に２つ持ち（上面５ａ
と下面５ｂ）、その２つの面と周囲の側壁とで円筒箱状
の形をしており、中に入った電子を効率よく電流として
検出できるようになっている。ファラデーカップ５の上
面５ａには遮蔽アパーチャー６を通過した電子ビームが
すべて通過できる程度の大きさの通過アパーチャー７
（第３絞り）が光軸１１上に配置され、下面５ｂには遮
蔽アパーチャー６を通過した電子ビームの全部ではなく
一部が通過できる程度の大きさの対物アパーチャー８
（第２絞り）が光軸１１上に配置されている。
【００１１】３つのアパーチャーはそれぞれ直径５０〜
５００μｍ程度の円形の穴をもつ部材であり、遮蔽アパ
ーチャー６の穴の直径をｄ6 、通過アパーチャー７の穴
の直径をｄ7 、対物アパーチャー８の穴の直径をｄ8 と
すると、それぞれの大きさの関係は次のようにしてあ
る。
５００μｍ程度の円形の穴をもつ部材であり、遮蔽アパ
ーチャー６の穴の直径をｄ6 、通過アパーチャー７の穴
の直径をｄ7 、対物アパーチャー８の穴の直径をｄ8 と
すると、それぞれの大きさの関係は次のようにしてあ
る。
【００１２】ｄ7 ＞ｄ6 ＞ｄ8 (1) また、好ましくは、 ｄ7 ＝２ｄ6 (2) ｄ6 ＝２ｄ8 (3) 程度とする。図1 においては電子ビームの広がりを誇張
して描いてあるが、実際の装置における電子ビームの広
がりは極めて小さいので、ファラデーカップ５によって
電子ビーム電流を効果的に測定するためには式(2) と
(3) に示す程度の大小関係が好ましい。
して描いてあるが、実際の装置における電子ビームの広
がりは極めて小さいので、ファラデーカップ５によって
電子ビーム電流を効果的に測定するためには式(2) と
(3) に示す程度の大小関係が好ましい。
【００１３】電子銃１で発生した電子ビーム１０は収束
レンズ２で図のＣ点に収束され、遮蔽アパーチャー６に
はある広がりを持って照射される。その電子ビームの周
辺部は遮蔽アパーチャー６によって遮蔽され、遮蔽され
なかった残りの中心部分のみが下方に通過する。ファラ
デーカップ５の上面５ａに設けられている通過アパーチ
ャー７の直径は遮蔽アパーチャー６の直径よりも大きく
してあるので、遮蔽アパーチャー６を通過した電子ビー
ムはすべてファラデーカップ５内に入ることになる。フ
ァラデーカップ５の下面５ｂには遮蔽アパーチャー６の
直径よりも小さい直径を持つ対物アパーチャー８が設置
してあるので、電子ビームの一部分である中心部のみが
ファラデーカップ５を通り抜けて試料４に到達する。フ
ァラデーカップ５内に入った電子ビームのうち周辺部分
は対物アパーチャー８で遮られ、箱状のファラデーカッ
プ５に捕らえられて電流として検出される。なお、遮蔽
アパーチャー６は通常アース電位としておく。
レンズ２で図のＣ点に収束され、遮蔽アパーチャー６に
はある広がりを持って照射される。その電子ビームの周
辺部は遮蔽アパーチャー６によって遮蔽され、遮蔽され
なかった残りの中心部分のみが下方に通過する。ファラ
デーカップ５の上面５ａに設けられている通過アパーチ
ャー７の直径は遮蔽アパーチャー６の直径よりも大きく
してあるので、遮蔽アパーチャー６を通過した電子ビー
ムはすべてファラデーカップ５内に入ることになる。フ
ァラデーカップ５の下面５ｂには遮蔽アパーチャー６の
直径よりも小さい直径を持つ対物アパーチャー８が設置
してあるので、電子ビームの一部分である中心部のみが
ファラデーカップ５を通り抜けて試料４に到達する。フ
ァラデーカップ５内に入った電子ビームのうち周辺部分
は対物アパーチャー８で遮られ、箱状のファラデーカッ
プ５に捕らえられて電流として検出される。なお、遮蔽
アパーチャー６は通常アース電位としておく。
【００１４】対物アパーチャー８を通過して試料４に到
達する電子ビーム電流は、ファラデーカップ５で検出さ
れる電流に対して電流密度分布や面積比率で決まるある
一定の比率となるので、仮に電子銃などの状態が変化し
てファラデーカップ５に到達する電子ビーム電流が変化
したとしても、その両者の比率は一定であると考えられ
る。したがって、ファラデーカップ５で検出される電流
を安定化することで、結果的に試料４に照射される電子
ビーム電流を安定化することができる。
達する電子ビーム電流は、ファラデーカップ５で検出さ
れる電流に対して電流密度分布や面積比率で決まるある
一定の比率となるので、仮に電子銃などの状態が変化し
てファラデーカップ５に到達する電子ビーム電流が変化
したとしても、その両者の比率は一定であると考えられ
る。したがって、ファラデーカップ５で検出される電流
を安定化することで、結果的に試料４に照射される電子
ビーム電流を安定化することができる。
【００１５】ファラデーカップ５で捕らえられた電子は
電流検出回路１２で電流として検出され、収束レンズ制
御部１３に入力される。収束レンズ制御部１３は収束レ
ンズ電源１４を介して所定の直流電流を収束レンズ２に
流すものであるが、それに加えて電流検出回路１２の検
出する電流値が一定の値となるように収束レンズ電流を
フィードバック制御する。収束レンズ電流を変化させる
と収束レンズの強さが変わり電子ビーム収束点Ｃの位置
が上下に動くので遮蔽アパーチャー６に対する電子ビー
ムの開き角が変わり、遮蔽アパーチャー６を通過してフ
ァラデーカップ５に入射する電子ビームの量、ひいて
は、試料まで到達する電子ビームの量が変化する。すな
わち、ファラデーカップ５で検出される電流値を一定の
値となるよう収束レンズ制御部１３を用いて収束レンズ
２の強さを制御することで試料面に照射する電子ビーム
を安定化することができる。ファラデーカップ５で検出
された電流に基づいて収束レンズ電流をフィードバック
制御する方式としては、検出電流をアナログ信号のまま
フィードバック制御してもよいし、検出電流をＡ／Ｄ変
換器を介してデジタル信号に変換してからマイクロプロ
セッサなどを用いてフィードバック制御を行ってもよ
い。
電流検出回路１２で電流として検出され、収束レンズ制
御部１３に入力される。収束レンズ制御部１３は収束レ
ンズ電源１４を介して所定の直流電流を収束レンズ２に
流すものであるが、それに加えて電流検出回路１２の検
出する電流値が一定の値となるように収束レンズ電流を
フィードバック制御する。収束レンズ電流を変化させる
と収束レンズの強さが変わり電子ビーム収束点Ｃの位置
が上下に動くので遮蔽アパーチャー６に対する電子ビー
ムの開き角が変わり、遮蔽アパーチャー６を通過してフ
ァラデーカップ５に入射する電子ビームの量、ひいて
は、試料まで到達する電子ビームの量が変化する。すな
わち、ファラデーカップ５で検出される電流値を一定の
値となるよう収束レンズ制御部１３を用いて収束レンズ
２の強さを制御することで試料面に照射する電子ビーム
を安定化することができる。ファラデーカップ５で検出
された電流に基づいて収束レンズ電流をフィードバック
制御する方式としては、検出電流をアナログ信号のまま
フィードバック制御してもよいし、検出電流をＡ／Ｄ変
換器を介してデジタル信号に変換してからマイクロプロ
セッサなどを用いてフィードバック制御を行ってもよ
い。
【００１６】上述の例では、遮蔽アパーチャ６はアース
電位としたが、これに電流計をつないで電子銃から放射
される電流のモニタとしてもよい。また、ファラデーカ
ップ上面５ａに設置された通過アパーチャー７には電子
ビームは当たらないものであるから、穴の形状について
高い加工精度などは要求されないので、特別な部材を用
いたアパーチャーではなくファラデーカップ５に開けた
単なる開口でもよい。また、電子ビーム電流を測定する
手段として上下のアパーチャー以外には隙間のない箱状
のファラデーカップを用いたが、これは必ずしも箱状で
ある必要はなく底面のみの板状部材や、底面と側壁を有
する桶状部材でもよい。さらに、上述のファラデーカッ
プの下面に設けられている対物アパーチャー８は、ビー
ム電流を測定するためだけのものではなく、対物レンズ
３における開き角の設定作用を兼ねるものである。
電位としたが、これに電流計をつないで電子銃から放射
される電流のモニタとしてもよい。また、ファラデーカ
ップ上面５ａに設置された通過アパーチャー７には電子
ビームは当たらないものであるから、穴の形状について
高い加工精度などは要求されないので、特別な部材を用
いたアパーチャーではなくファラデーカップ５に開けた
単なる開口でもよい。また、電子ビーム電流を測定する
手段として上下のアパーチャー以外には隙間のない箱状
のファラデーカップを用いたが、これは必ずしも箱状で
ある必要はなく底面のみの板状部材や、底面と側壁を有
する桶状部材でもよい。さらに、上述のファラデーカッ
プの下面に設けられている対物アパーチャー８は、ビー
ム電流を測定するためだけのものではなく、対物レンズ
３における開き角の設定作用を兼ねるものである。
【００１７】本発明は次のような構成を持つ装置を含む
ものである。電子ビームを発生する電子ビーム源と、電
子ビームを収束するための収束レンズおよび対物レンズ
を有する電子ビーム装置において、前記収束レンズと対
物レンズの間に、電子ビーム遮蔽用の第１絞りと、この
第１絞りより対物レンズ側に、前記第１絞りより大きい
開口を持つ第３絞りを上面に有し前記第１絞りより小さ
い開口を持つ第２絞りを下面に有する箱状のビーム電流
測定手段と、このビーム電流測定手段の検出した測定ビ
ーム電流に基づいて前記収束レンズの強さを変更できる
レンズ制御手段を備え、前記測定ビーム電流が一定とな
るように前記収束レンズの強さを制御することを特徴と
する電子ビーム装置。
ものである。電子ビームを発生する電子ビーム源と、電
子ビームを収束するための収束レンズおよび対物レンズ
を有する電子ビーム装置において、前記収束レンズと対
物レンズの間に、電子ビーム遮蔽用の第１絞りと、この
第１絞りより対物レンズ側に、前記第１絞りより大きい
開口を持つ第３絞りを上面に有し前記第１絞りより小さ
い開口を持つ第２絞りを下面に有する箱状のビーム電流
測定手段と、このビーム電流測定手段の検出した測定ビ
ーム電流に基づいて前記収束レンズの強さを変更できる
レンズ制御手段を備え、前記測定ビーム電流が一定とな
るように前記収束レンズの強さを制御することを特徴と
する電子ビーム装置。
【００１８】
【発明の効果】本発明の電子ビーム装置は、収束レンズ
と対物レンズの間に設置したファラデーカップによって
電子ビーム強度をモニタし、その強度が一定となるよう
に収束レンズの強さをフィードバック制御するから、試
料に照射される電子ビーム強度が安定化される。従来技
術のように機械的な軸合わせを厳密にする必要がないの
で装置の調整が簡単であり、また、十分なウォーミング
アップをしなくても試料に対する照射ビーム電流が安定
しているので迅速で正確な分析が可能となる。
と対物レンズの間に設置したファラデーカップによって
電子ビーム強度をモニタし、その強度が一定となるよう
に収束レンズの強さをフィードバック制御するから、試
料に照射される電子ビーム強度が安定化される。従来技
術のように機械的な軸合わせを厳密にする必要がないの
で装置の調整が簡単であり、また、十分なウォーミング
アップをしなくても試料に対する照射ビーム電流が安定
しているので迅速で正確な分析が可能となる。
【図１】本発明の一実施の形態である電子線マイクロア
ナライザを示す。
ナライザを示す。
１…電子銃 ２…収束レンズ ３…対物レンズ ４…試料 ５…ファラデーカップ ６…遮蔽アパーチャー ７…通過アパーチャー ８…対物アパーチャ ９…ビーム電流変動検出部 １０…電子ビーム １１…光軸 １２…電流検出回路 １３…収束レンズ制御部 １４…収束レンズ電源
Claims (1)
- 【請求項１】 電子ビームを発生する電子ビーム源と、
電子ビームを収束するための収束レンズおよび対物レン
ズを有する電子ビーム装置において、前記収束レンズと
対物レンズの間に、電子ビーム遮蔽用の第１絞りと、こ
の第１絞りより対物レンズ側に、前記第１絞りより小さ
い開口を持つ第２絞りを有するビーム電流測定手段と、
このビーム電流測定手段の検出した測定ビーム電流に基
づいて前記収束レンズの強さを変更できるレンズ制御手
段を備え、前記測定ビーム電流が一定となるように前記
収束レンズの強さを制御することを特徴とする電子ビー
ム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31970696A JP3520165B2 (ja) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | 電子ビーム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31970696A JP3520165B2 (ja) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | 電子ビーム装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10162760A true JPH10162760A (ja) | 1998-06-19 |
| JP3520165B2 JP3520165B2 (ja) | 2004-04-19 |
Family
ID=18113277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31970696A Expired - Fee Related JP3520165B2 (ja) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | 電子ビーム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3520165B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000331632A (ja) * | 1999-05-18 | 2000-11-30 | Nikon Corp | 電子銃、電子線露光転写装置及び半導体デバイスの製造方法 |
| JP2002050314A (ja) * | 2000-08-01 | 2002-02-15 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置 |
| JP2004362954A (ja) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | A & D Co Ltd | 電子ビームの照射条件維持方法 |
| JP2018147653A (ja) * | 2017-03-03 | 2018-09-20 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置 |
-
1996
- 1996-11-29 JP JP31970696A patent/JP3520165B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000331632A (ja) * | 1999-05-18 | 2000-11-30 | Nikon Corp | 電子銃、電子線露光転写装置及び半導体デバイスの製造方法 |
| JP2002050314A (ja) * | 2000-08-01 | 2002-02-15 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置 |
| JP2004362954A (ja) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | A & D Co Ltd | 電子ビームの照射条件維持方法 |
| JP2018147653A (ja) * | 2017-03-03 | 2018-09-20 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3520165B2 (ja) | 2004-04-19 |
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