JPH10162648A - 誘電体磁器組成物とそれを用いた積層セラミックコンデンサとその製造方法 - Google Patents
誘電体磁器組成物とそれを用いた積層セラミックコンデンサとその製造方法Info
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- JPH10162648A JPH10162648A JP8322579A JP32257996A JPH10162648A JP H10162648 A JPH10162648 A JP H10162648A JP 8322579 A JP8322579 A JP 8322579A JP 32257996 A JP32257996 A JP 32257996A JP H10162648 A JPH10162648 A JP H10162648A
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Abstract
組成物を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明は、(化1)を主成分とし、副成
分としてAl2O3を前記主成分に対して1.0重量%以
下(ただし0重量%は除く)の範囲で含有させたことを
特徴とする誘電体磁器組成物である。 【化1】
Description
像機の電子チューナ、ビデオテープレコーダ、ビデオカ
メラ等の各種電気機器に使用されるセラミックコンデン
サに用いる誘電体磁器組成物とそれを用いた積層セラミ
ックコンデンサとその製造方法に関するものである。
O3を主成分とする誘電体層と内部電極層とを交互に積
層して積層体を形成して焼成した後、その端面に外部電
極を形成することにより、複数の並列等価なセラミック
コンデンサを有する構造を実現している。
iを用い低コスト化を図る試みがなされているが、Ni
を内部電極層として使用すると、BaTiO3を主成分
とする誘電体層と内部電極層とをNiが酸化されない還
元性雰囲気で同時に焼成しなければならない。そこで中
性または還元性雰囲気で焼成しても還元されない材料と
して、非還元性セラミック材料の開発も行われており、
BaTiO3にMnO2、Yb2O3、Dy2O3、ThO2
を添加したものが知られている。(例えば特公平6−5
0700号公報参照)
さらに比誘電率及び絶縁抵抗の向上した誘電体磁器組成
物を提供することを目的とするものである。
に本発明の誘電体磁器組成物は、(化3)を主成分と
し、副成分としてAl2O3を前記主成分に対し、1.0
重量%以下(ただし0重量%は除く)の範囲で含有させ
たものであり、上記目的を達成することができる。
は、(化4)を主成分とし、副成分としてAl 2O3を前
記主成分に対し、1.0重量%以下(ただし0重量%は
除く)の範囲で含有させたことを特徴とする誘電体磁器
組成物であり、比誘電率及び絶縁抵抗の高いものであ
る。
らにV2O5を主成分に対し、1.0重量%以下(ただし
0重量%は除く)の範囲で含有させたことを特徴とする
請求項1に記載の誘電体磁器組成物であり、比誘電率及
び絶縁抵抗の高いものである。
電極層とを交互に積層した積層体と、この積層体の前記
内部電極層の露出した端面に設けた外部電極とを備え、
前記誘電体層は(化4)を主成分とし、副成分としてA
l2O3を前記主成分に対し、1.0重量%以下(ただし
0重量%は除く)の範囲で含有させた誘電体磁器組成物
を用いて形成されたことを特徴とする積層セラミックコ
ンデンサであり、大容量かつ信頼性の高いものである。
分としてさらにV2O5を主成分に対し、1.0重量%以
下(ただし0重量%は除く)の範囲で含有させたことを
特徴とする請求項3に記載の積層セラミックコンデンサ
であり、大容量かつ信頼性の高いものである。
てNiを主成分とする金属を用いた請求項3あるいは請
求項4に記載の積層セラミックコンデンサであり、安価
な卑金属のNiを用い低コスト化を図ることができるも
のである。
いて形成したグリーンシートと、Niを主成分とする内
部電極ペーストとを交互に積層して積層体を形成する工
程と、次にこの積層体を前記グリーンシートが焼結し始
める温度より低温で加熱処理する工程と、次いでこの積
層体をNiの融点より低温の還元雰囲気中で焼成する工
程と、その後前記積層体の端面に外部電極を形成する工
程とを有する積層セラミックコンデンサの製造方法にお
いて、前記誘電体材料は、少なくともBa化合物、Sr
化合物、Ti化合物、Zr化合物、Dy化合物、Al化
合物及びMn3O4を有することを特徴とする積層セラミ
ックコンデンサの製造方法であり、安価に大容量かつ信
頼性の高い積層セラミックコンデンサが得られるもので
ある。
らにV化合物を添加したことを特徴とする請求項6に記
載の積層セラミックコンデンサの製造方法であり、安価
に大容量かつ信頼性の高い積層セラミックコンデンサが
得られるものである。
Al化合物以外の誘電体材料を予め仮焼し、その後Al
化合物を添加したものを誘電体材料として用いることを
特徴とする請求項6あるいは請求項7に記載の積層セラ
ミックコンデンサの製造方法であり、均一な誘電体材料
を用いることができる。
る。まず、出発原料には化学的に高純度のBaCO3、
SrCO3、TiO2、ZrO2、Mn3O4、Dy2O3、
Al2O3、V2O5を(表1)に示すように炭酸塩は酸化
物に換算して本発明の範囲内外の組成比になるように秤
量した。
アボールを備えたボールミルに純水とともに入れ、湿式
混合後、脱水乾燥した。次いでこの乾燥粉末を高純度の
アルミナルツボに入れ、空気中で1100℃にて2時間
仮焼した。その後この仮焼粉末とAl2O3とをジルコニ
アボールを備えたボールミルに純水とともに入れ、湿式
粉砕後、脱水乾燥した。この時粉砕粉の平均粒径が2μ
m以下になるようにした。またAl2O3を後から添加す
るのは、Al2O3も一緒に仮焼すると仮焼が進みすぎた
り、均一に仮焼できなくなるからである。次にこの粉砕
粉末に有機バインダとしてポリビニルブチラール樹脂、
可塑剤としてBBP(ベンジルブチルフタレート)、溶
剤としてn−酢酸ブチルを加えて、ジルコニアボールを
備えたボールミルにて混合し、スラリーを調整した。次
いでこのスラリーを真空脱法の後、ドクターブレード法
により、フィルム状に造膜し、グリーンシートを作製し
た。この時、乾燥後のグリーンシートの厚みは、約20
μmとなるようにした。次に、このグリーンシート上に
ニッケル粉末は、内部電極層間に挟まれた誘電体層の厚
みよりも小さい平均粒径約1.0μmのニッケル粉末を
用いた電極ペーストを用い、所望のパターンとなるよう
にスクリーン印刷を行った。次いで電極パターン形成済
みグリーンシートを内部電極パターンが誘電体層を介し
て対向するように100枚重ね合わせ、加熱加圧して一
体化した後、横3.8mm、縦1.8mmの寸法に切断
して、未焼結積層体を準備した。その後この未焼結積層
体をジルコニア粉末を敷いたジルコニア質サヤに入れ、
積層体中の有機物が燃焼するように400℃まで空気中
で加熱し、有機バインダを燃焼させ、その後、N2+H2
中で1275℃で2時間焼成し、焼結体を得た。次に得
られた焼結体の端面に外部電極として市販の900℃窒
素雰囲気焼成用銅ペーストを塗布し、メッシュ型の連続
ベルトによって焼付け、積層セラミックコンデンサを得
た。なお、誘電体層の厚みは約12μm、内部電極層の
厚みは約2〜2.5μmであった。
静電容量および誘電損失を、20℃の恒温槽中で周波数
1kHz、入力信号レベル1.0Vrmsにて測定し、
静電容量から、(数1)を用いて比誘電率を算出した。
時の絶縁抵抗を測定した。上記の測定結果を(表1)に
あわせて示した。
囲内の誘電体磁器組成物を用いて作製した積層セラミッ
クコンデンサは、比誘電率が高く、誘電損失、絶縁抵抗
も実用上十分な値を示した。一方、本発明の範囲外の誘
電体磁器組成物を用いて作製した積層セラミックコンデ
ンサは、比誘電率や絶縁抵抗が低く、誘電損失が大きく
なる傾向にあった。
比誘電率を高め、誘電損失を小さくすることができる。
この時、焼結後の焼結体粒径が他の無機添加物で比誘電
率を高めた場合と比較して著しく小さく、このことは大
容量の積層セラミックコンデンサの信頼性を向上させる
ばかりでなく、静電容量の経時的な劣化をも抑制する作
用を有する。また同時に、積層セラミックコンデンサの
強度が向上するために、積層セラミックコンデンサを実
装するときに発生する熱的および機械的なストレスによ
るクラックの発生を抑制する作用を有する。SrOの置
換量がx=0.2までは比誘電率が高く、誘電損失が小
さくなる傾向にあるがそれ以上の添加は焼結性が低下
し、比誘電率が低下する。
ることによってシフターとして寄与することから、y=
0.2を越えて置換するとキュリー点がかなり低温側に
シフトし、20℃での比誘電率が低下する。
粒子で、かつ他の無機添加物と混合するときに非常に分
散性が優れているため、少量の添加で耐還元性を向上さ
せることができ、絶縁抵抗の劣化を防止できる。またM
nを添加すると比誘電率が低下する傾向にあるが、Mn
3O4は他のMn化合物を用いた場合と比較すると、その
傾向が小さいといった作用を有する。さらに内部電極が
Niを主成分とする積層セラミックコンデンサを作製す
るとき、焼成工程でNi内部電極が酸化されNiOとな
った場合、NiOが誘電体層中に拡散し、比誘電率の低
下を引き起こす原因となるが、他のMn化合物ではなく
Mn3O4を用いることにより、たとえNiOが誘電体層
中に拡散しても比誘電率の低下を抑制する作用を有して
いる。
算して、α<0.001の場合、十分な絶縁抵抗が得ら
れず、α>0.05の場合には絶縁抵抗および比誘電率
が低下する傾向にある。
較すると比誘電率を高める作用を有する。無添加の場
合、誘電体粒成長を促進せず、比誘電率が低い。またβ
>0.02を越えて過度に添加すると焼結性が低下し、
比誘電率が低くなる。
両方と組み合わせて添加することで比誘電率を高めるこ
とができるといった作用を有する。MnO2等他のMn
化合物と組み合わせた場合では十分にその効果を発揮さ
せることはできない。さらに一定量以上のAl2O3は、
内部電極がNiを主成分とする積層セラミックコンデン
サを作製するとき、焼成過程で内部電極近傍に偏析する
ために内部電極に含まれるFe等の不純物が誘電体層中
に拡散することを抑制することができるため、内部電極
の不純物が誘電体層に拡散することによって発生する絶
縁抵抗の劣化などの悪影響を防止することができる。無
添加の場合、焼結性が悪いが、Mn3O4、V2O5または
その両方と組み合わせて添加することにより、比誘電率
を向上させることができる。しかし、1wt%をこえて
添加すると比誘電率は高くなるが、絶縁抵抗が低下する
ばかりでなく、焼結体粒子が大きくなるため、積層セラ
ミックコンデンサ用の誘電体材料としては適さない。
すると比誘電率を高めるばかりでなく、NiOが誘電体
層中に拡散しても比誘電率の低下を抑制し、誘電体の絶
縁抵抗を高めることができる。0.01wt%以上の添
加で絶縁抵抗を高める傾向にあるが、1wt%越えて添
加すると誘電損失が大きくなる。
てのみ、高誘電率で誘電損失が小さく、絶縁抵抗が十分
高い積層セラミックコンデンサの作製が可能となる。
えた実験を行った。なお、この時試料No001〜00
5については、Mn3O4は1/3Mn3O4として0.0
1mol、Dy2O3は0.01mol、Al2O3は0.
1wt%とし、試料No005〜010については、M
n3O4は1/3Mn3O4として0.01mol、Dy 2
O3は0.01mol、Al2O3は0.1wt%、V2O
5は0.1wt%とし、同様な手順で積層セラミックコ
ンデンサを作製し、特性の評価を行った。その結果を
(表2)に示した。
囲内については比誘電率、誘電損失、絶縁抵抗ともに実
用上十分な値を示している。一方、範囲外の試料No0
01,006については絶縁抵抗が低く、試料No00
5,010については焼結性が悪く、比誘電率が低い。
(表2)は、Mn3O4、Dy2O3、Al2O3、V2O5の
添加量を固定して行った結果を示したが、本発明の範囲
内での他の誘電体組成におけるBa+Sr/Ti+Zr
比と特性の関係は同様の傾向を示した。
比は、本発明に示すごとく、1.00〜1.02の範囲
が望ましい。
として、BaCO3、SrCO3、TiO2、ZrO2、D
y2O3、Al2O3およびV2O5を用いたが、所望の組成
比になるようにBaTiO3等の化合物あるいは炭酸
塩、水酸化物等空気中での加熱により、BaO、Sr
O、TiO2、ZrO2、Dy2O3、Al2O3およびV2
O5となる化合物を使用しても本実施の形態と同程度の
特性を得ることができる。
−Cu、Ni−Pdなども内部電極として用いることが
できる。
定して行ったが、脱バインダ工程は、使用する有機バイ
ンダの燃焼する温度で加熱処理すればよく、焼成工程に
おいても、N2+H2中での焼成に限らず、誘電体層が還
元されず、内部電極層が過度に酸化されない雰囲気、つま
り内部電極としての機能を果たせるように焼成できる雰
囲気であればよい。
ミックコンデンサを作製し、誘電体磁器組成物の特性を
評価したが本発明の誘電体磁器組成物は、単板型のセラ
ミックコンデンサにも使用できることは言うまでもな
い。
比誘電率を有し、誘電損失が小さく、還元雰囲気におい
ても優れた絶縁抵抗を示すもので、Niを主成分とする
内部電極の積層セラミックコンデンサの作製にあたって
非常に有効である。また比誘電率が高いため、積層セラ
ミックコンデンサの小型化、大容量化が極めて容易にな
る。
Claims (8)
- 【請求項1】 (化1)を主成分とし、副成分としてA
l2O3を前記主成分に対し、1.0重量%以下(ただし
0重量%は除く)の範囲で含有させたことを特徴とする
誘電体磁器組成物。 【化1】 - 【請求項2】 副成分としてさらにV2O5を主成分に対
し、1.0重量%以下(ただし0重量%は除く)の範囲
で含有させたことを特徴とする請求項1に記載の誘電体
磁器組成物。 - 【請求項3】 誘電体層と内部電極層とを交互に積層し
た積層体と、この積層体の前記内部電極層の露出した端
面に設けた外部電極とを備え、前記誘電体層は(化2)
を主成分とし、副成分としてAl2O3を前記主成分に対
し、1.0重量%以下(ただし0重量%は除く)の範囲
で含有させた誘電体磁器組成物を用いて形成されたこと
を特徴とする積層セラミックコンデンサ。 【化2】 - 【請求項4】 誘電体層の副成分としてさらにV2O5を
主成分に対し、1.0重量%以下(ただし0重量%は除
く)の範囲で含有させたことを特徴とする請求項3に記
載の積層セラミックコンデンサ。 - 【請求項5】 内部電極層としてNiを主成分とする金
属を用いた請求項3あるいは請求項4に記載の積層セラ
ミックコンデンサ。 - 【請求項6】 誘電体材料を用いて形成したグリーンシ
ートと、Niを主成分とする内部電極ペーストとを交互
に積層して積層体を形成する工程と、次にこの積層体を
前記グリーンシートが焼結し始める温度より低温で加熱
処理する工程と、次いでこの積層体をNiの融点より低
温の還元雰囲気中で焼成する工程と、その後前記積層体
の端面に外部電極を形成する工程とを有する積層セラミ
ックコンデンサの製造方法において、前記誘電体材料
は、少なくともBa化合物、Sr化合物、Ti化合物、
Zr化合物、Dy化合物、Al化合物及びMn3O4を有
することを特徴とする積層セラミックコンデンサの製造
方法。 - 【請求項7】 誘電体材料にさらにV化合物を添加した
ことを特徴とする請求項6に記載の積層セラミックコン
デンサの製造方法。 - 【請求項8】 誘電体材料は、Al化合物以外の誘電体
材料を予め仮焼し、その後Al化合物を添加するもので
あることを特徴とする請求項6あるいは請求項7に記載
の積層セラミックコンデンサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8322579A JP2870511B2 (ja) | 1996-12-03 | 1996-12-03 | 誘電体磁器組成物とそれを用いた積層セラミックコンデンサとその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8322579A JP2870511B2 (ja) | 1996-12-03 | 1996-12-03 | 誘電体磁器組成物とそれを用いた積層セラミックコンデンサとその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10162648A true JPH10162648A (ja) | 1998-06-19 |
JP2870511B2 JP2870511B2 (ja) | 1999-03-17 |
Family
ID=18145274
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8322579A Expired - Lifetime JP2870511B2 (ja) | 1996-12-03 | 1996-12-03 | 誘電体磁器組成物とそれを用いた積層セラミックコンデンサとその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2870511B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1095917A1 (en) * | 1999-02-19 | 2001-05-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Dielectric ceramic composition, capacitor using this and production method thereof |
US20170015590A1 (en) * | 2015-07-16 | 2017-01-19 | National Taipei University Of Technology | Ceramic capacitor dielectric material |
-
1996
- 1996-12-03 JP JP8322579A patent/JP2870511B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1095917A1 (en) * | 1999-02-19 | 2001-05-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Dielectric ceramic composition, capacitor using this and production method thereof |
EP1095917A4 (en) * | 1999-02-19 | 2007-04-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | DIELECTRIC CERAMIC COMPOSITION, USE THEREOF IN A CAPACITOR, AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME |
US20170015590A1 (en) * | 2015-07-16 | 2017-01-19 | National Taipei University Of Technology | Ceramic capacitor dielectric material |
US9963393B2 (en) * | 2015-07-16 | 2018-05-08 | National Taipei University Of Technology | Ceramic capacitor dielectric material |
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---|---|
JP2870511B2 (ja) | 1999-03-17 |
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