JPH10162535A - 磁気ヘッドスライダ支持機構及び磁気ディスク装置 - Google Patents

磁気ヘッドスライダ支持機構及び磁気ディスク装置

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JPH10162535A
JPH10162535A JP8322460A JP32246096A JPH10162535A JP H10162535 A JPH10162535 A JP H10162535A JP 8322460 A JP8322460 A JP 8322460A JP 32246096 A JP32246096 A JP 32246096A JP H10162535 A JPH10162535 A JP H10162535A
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flexure
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magnetic head
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 配線一体型サスペンションの配線自由度を大
きく保ったまま、小型化の可能な磁気ヘッドスライダ支
持機構を提供する。また、スリップスティックによるオ
フトラックエラーを防止した薄型磁気ヘッドスライダ支
持機構を提供する。 【解決手段】 フレクシャ５とロードビーム２とを薄い
一枚の帯板で一体形成し、スライダとオーバーラップす
るロードビーム部もしくはフレクシャ部にスライダ側に
凸となるＵ字形のフランジ１５を装備し、このフランジ
１５を介してスライダ１に押圧力を付与するとともにス
ライダ浮上運動を支持する。フレクシャ／ロードビーム
一体形成のサスペンションにおいて理想的なスライダ支
持と押圧力付与を可能とする。Ｕ字形のフランジ１５
は、フレクシャ５、ロードビーム２と一体形成する際加
工しやすく、また、小型化することが可能である。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
および磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッドスライ
ダ支持機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ヘッドをディスク上の指定されたト
ラックに高速かつ高精度に位置決めを行うのに適した、
ロータリーアクチュエータ方式の位置決め機構の模式図
を図３６に示す。図３６において磁気ヘッドスライダ支
持機構４１は図中シーク方向と示した方向に円弧運動を
し、先端に設置された磁気ヘッドの位置決めを行う。磁
気ヘッドスライダ支持機構４１としては、図３７に示す
ようなロードビーム２とフレクシャ５を別々に作製して
から組み立てる磁気ヘッドスライダ支持機構と、図３８
に示すようなロードビーム２とフレクシャ５を一体構成
した磁気ヘッドスライダ支持機構とが知られている。
【０００３】図３７に示す磁気ヘッドスライダ支持機構
は、フレクシャ５は図３７（ｂ）に示すようにロードビ
ーム長手軸に平行なスライダ取り付けステージ７が設け
られ、ここにスライダ１が接着されている。スライダ１
はロードビーム１に設けられたピボット６により重心位
置付近で点支持されている。フレクシャ５は剛性が低く
抑えられ、スライダ１のローリングＲＸ方向やピッチン
グＲＹ方向の運動を受け止めている。このため、スライ
ダ１はピボット６を支点にフレキシブルに動くことがで
きる。
【０００４】一方、図３８に示すようなＭＲヘッドに適
した配線一体型のサスペンションが開発されている。こ
のＭＲヘッドは磁気抵抗効果を利用するため再生専用と
して用いられ、書き込み用ヘッド（インダクティブヘッ
ド）と併用して使われる。この場合、従来の磁気ヘッド
（書き込み・読み出し兼用のインダクティブヘッド）に
比べて信号線が２倍（４本）になるため、信号線の取り
回し（フォーミング）を上手く行わなければ信号線ルー
プの剛性が浮上系に外乱として作用してスライダの設計
浮上量を変化させたり安定浮上を妨げたりする恐れがあ
る。高記録密度化への要求に応えるため、スライダの低
浮上化や小型化が進んでくると、空気膜剛性の低減と相
まって信号線のフォーミング設計はますますデリケート
な問題となっている。このため、最近では磁気ヘッド信
号線のリード線チューブを排して、ロードビームに直接
信号線パターンを薄膜形成して、磁気ヘッドの信号線端
子とロードビーム表面に形成された信号線パターンとを
直接ボンディングすることにより、浮上系への外乱要因
を排除するとともに、磁気ヘッド支持機構の組立加工性
を向上して製造コストの低減を図る配線一体型サスペン
ションが登場しつつある（特開平3-189976号公報，特開
平5-234295号公報等参照）。図３８に配線一体型サスペ
ンションの斜視図を示す。図３８（ａ）は上面から見た
図であり、同図（ｂ）は裏面から見た図である。同図
（ｂ）に示すように信号線９をロードビーム２に直接薄
膜形成している。
【０００５】しかしながら、そのような配線一体型サス
ペンションの場合、信号線パターンを薄膜形成する都合
上、磁気ヘッド支持機構のフレクシャ部は従来のフレク
シャ／ロードビーム組立構造ではなくフレクシャ一体型
のインテグレイテッド・タイプにならざるを得ない。
【０００６】図３９に上記２種類の磁気ヘッドスライダ
支持機構のフレクシャ部を示す。図３９（ａ）が図３７
に示したロードビームとフレクシャを別々に作製した後
組み立てた構成の磁気ヘッドスライダ支持機構のフレク
シャ部の斜視図であり、同図（ｂ）が図３８に示した配
線一体型サスペンションの磁気ヘッドスライダ支持機構
のフレクシャ部の斜視図である。図３９（ｂ）の配線一
体型サスペンションのフレクシャ部の場合、フレクシャ
をロードビームと一体成形するためにピボットレス構造
にならざるを得ない。
【０００７】図３９（ａ）のフレクシャ部では、ロード
ビーム（あるいはフレクシャ側）に設けたピボット６に
よってフレキシブルなスライダのロール・ピッチ運動を
可能にすることができたが、図３９（ｂ）のフレクシャ
部では、スライダへの押圧荷重が理想的な点荷重になら
ず面分布荷重の形で作用し、スライダの設計浮上量に狂
いが生じたりフレクシャ部弾性変形が荷重逃げを生み設
計荷重が得られなかったり、フレクシャ振動が直接浮上
系へ（重心からずれて）伝わるため共振周波数帯域にお
ける浮上変動が増幅されて現れるといった問題が生じて
いる。
【０００８】ところで、図３９（ａ）および（ｂ）の両
者の利点を合わせ持つ構造の磁気ヘッドスライダ支持機
構が特開平６−３０２０４３号公報に開示されている。
図４０にその構成を示す。図３７と同じものは同じ符号
で示した。フレクシャの中央部にはロードビーム２と一
体に形成された梁部４０１が設けられていて、梁部４０
１の略中心部には、ピボット６が形成されている。ピボ
ット６は磁界発生手段４０２の対向部が凸状になるよう
に球面状に形成されているので、磁界発生手段４０２と
点接触している。このため、磁界発生手段４０２はピボ
ット６を支点に傾動自在である。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記特開平６−３０２
０４３号公報記載のフレクシャ部のピボットは金型によ
り張り出し成形している。磁気ヘッドスライダ支持機構
に用いられる材料のほとんどはステンレス鋼であり、こ
のステンレス鋼は加工硬化が著しくスプリングバックも
大きいため、張り出し成形でピボットを成形する場合に
は、ピボット部周囲にしわが生じないように、図４１に
示すようにしわ押さえ領域を確保しておかなければなら
ない。
【００１０】しわ押さえ領域は、成形面積の約２倍程度
必要なため、５０％スライダ用サスペンションに使われ
るピボットでは、ピボット径約φ０．１６８mm〜φ０．
３mmの約２倍の０．３３６mm〜０．６mm程度の加工領域
（しわ押さえ領域）を確保しておかなければならない。
このため磁気ヘッドスライダ支持機構、特にフレクシャ
部の小型化が困難になるという課題がある。
【００１１】特に、配線一体型サスペンションに適用し
ようとした場合、そのピボット部およびしわ押さえ領域
を避けて配線パターンを形成しなければならず、配線設
計の自由度が小さいという課題がある。
【００１２】また、薄型のロードビーム形成のため、ピ
ボットの高さも小さくする必要が出てくるが、ピボット
高さを小さくすると、ピボット部の球面成形が難しくな
り、図４２に示すようにスライダとの接触面積が大きく
なってしまうという課題がある。
【００１３】スライダとの接触面積が大きくなると、高
速で磁気ヘッドをシークさせたとき、スライダがピボッ
トから離れて大きく降られて位置ずれを起こした状態
（スリップスティック）のまま、シーク終了時にスライ
ダがピボットに接触してそのまま支持してしまうために
オフトラックエラーを起こす原因となっていた（図４３
参照）。
【００１４】本発明の目的は、配線一体型サスペンショ
ンの配線自由度を大きく保ったまま、小型化の可能な磁
気ヘッドスライダ支持機構を提供することにある。ま
た、スリップスティックによるオフトラックエラーを防
止した薄型磁気ヘッドスライダ支持機構を提供すること
にある。
【００１５】さらに、ロータリーアクチュエータ方式の
磁気ヘッドスライダ支持機構に適した、高いシーク剛性
を持ちつつ、追従性能に優れた低いスライダ支持剛性
（ロール・ピッチ剛性）を備えた磁気ヘッドスライダ支
持機構を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】請求項１、４、５、６、
９、１０記載の発明による磁気ヘッドスライダ支持機構
は、磁気ヘッドを搭載したスライダと、前記スライダを
支持するためのフレクシャと、前記スライダに押圧力を
付与するためのロードビームとから構成されており、前
記フレクシャと前記ロードビームは薄い一枚の帯板で一
体形成されている。この一体形成されたロードビームと
フレクシャには、スライダに押圧力を付与し同時にスラ
イダ運動を支持するためのＵ字形のフランジがスライダ
側に凸となる向きに設けられている。
【００１７】このように従来のピボットに変わってＵ字
形フランジを用いているために従来の張り出し成形のよ
うなしわ押さえ領域が不要であり小型化が可能である。
また、薄型のロードビーム用にフランジの出っ張りを小
さくする場合でも、図１（ｃ）に示すようにＵ字形フラ
ンジの先をロードビームの上に張り出す形にすれば、Ｕ
字形フランジとスライダとの接触面積を小さくすること
ができ、スリップスティックによるオフトラックエラー
を防止することができる。
【００１８】請求項２、４、７、９、１１および１３記
載の発明による磁気ヘッドスライダ支持機構は、磁気ヘ
ッドを搭載したスライダと、前記スライダを支持するた
めのフレクシャと、前記スライダに押圧力を付与するた
めのロードビームとから構成されており、前記フレクシ
ャと前記ロードビームは薄い一枚の帯板で一体形成され
ている。スライダのフレクシャ側背面にはスライダ中心
位置付近にフレクシャ側に凸となるピボットが装備さ
れ、このピボットを介してロードビームから磁気ヘッド
スライダに押圧力が付与され、同時にスライダ浮上運動
を点支持している。
【００１９】このためロードビーム側では配線の設計自
由度が増し、小型化が可能となる。
【００２０】請求項３、４、５、８、９、１０、１２お
よび１３記載の発明による磁気ヘッドスライダ支持機構
は、磁気ヘッドを搭載したスライダと、前記スライダを
支持するためのフレクシャと、前記スライダに押圧力を
付与するためのロードビームとから構成されており、前
記フレクシャと前記ロードビームは薄い一枚の帯板で一
体形成されている。ロードビームにはＵ字形のフランジ
がスライダ側に凸となる向きに設けられている。一方、
スライダのフレクシャを取り付けるべき面にはスライダ
長手中心軸に沿ってフレクシャ側に凸となるＵ字形の樋
が装備され、前記ロードビームに設けられたＵ字形のフ
ランジと前記スライダのＵ字形の樋とが交叉して接触
し、ロードビームからスライダに押圧力が点荷重で付与
され、同時にスライダ浮上運動を点支持している。
【００２１】このため、請求項１等に記載した発明と同
様小型化が可能になる。また、２つのＵ字形フランジを
交叉させているため、交点は線と線の交わりとなり、完
全な点接触となるため、スリップスティック要因のオフ
トラックエラーを回避することができる。加えて、図２
に示すようにスライダ運動は、スライダ長手軸に直交す
るＵ字形フランジ（ロードビーム側）を軸とするピッチ
運動と、スライダ長手軸に平行なＵ字形フランジ（スラ
イダ側）を軸とするロール運動とに分離されるため、連
成振動の少ない良好な振動特性を得ることができる。
【００２２】スライダ側にピボットまたはＵ字形の樋を
設けるには、請求項１１または１２に記載のようにサブ
ステージにこれらを形成しスライダに貼り付けると良い
（図３参照）。このときスライダは、このサブステージ
取付部以外の部分でフレクシャに接着されるため、サブ
ステージ面積はスライダ投影面積の９０％以下になるよ
うに設定しておき、スライダ／フレクシャ接着面積をス
ライダ投影面積の１０％以上確保できるようにしておけ
ば、使用中にスライダが（フレクシャから）剥がれる心
配はない。
【００２３】フレクシャ一体型のロードビームの形状と
しては種々考えられるが、以下にその一例を示す。
【００２４】１．ロードビームのスライダ取り付け側先
端部には、スライダのトレーリング・エッジ側を上に見
たとき、開口部を上に向けた凹形の溝が形成され、この
凹形の溝により、前記ロードビーム先端部には左右から
各々１本のベースアームがスライダのトレーリング・エ
ッジ側に向かって伸長し、スライダ中心位置付近におい
て互いに近づく方向へ向きを変え、ロードビーム長手中
心軸上で連結してブリッジ形のベースアームが形成され
る。また、前記ベースアームの中央よりロードビーム長
手中心軸に沿ってスライダのトレーリング・エッジ方向
に向かって１本のコネクトアームが伸長し、しかる後に
左右に分離し、今度は逆にスライダのリーディング・エ
ッジ方向に向かって伸長することにより、前記ベースア
ームの連結部から先端側において、前記コネクトアーム
を中心軸とした「Ｅ」字形のフレクシャが形成され、前
記「Ｅ」字形のフレクシャのうち中心軸上にある前記コ
ネクトアームを除く他の部位において前記スライダが接
着される。
【００２５】２．ロードビームのスライダ取り付け側先
端部には、スライダのトレーリング・エッジ側を上に見
たとき、「Ｗ」字形もしくは「Ｈ」字形の溝が形成され
る。これにより、前記ロードビーム部先端側にはスライ
ダのトレーリング・エッジ側を上に見て凸となるような
ステージ部が形成され、同時に前記凸形ステージを左右
から包み込むような形で前記ロードビーム左右端よりフ
レクシャアームがスライダのトレーリング・エッジ方向
へ向かって伸長し、しかる後に互いに向かい合う方向に
向きを変え、前記ロードビーム長手中心軸上にて連結
し、この連結部より前記ロードビーム長手中心軸に沿っ
て前記ロードビームのアクチュエータ接続部側（スライ
ダのリーディング・エッジ方向）に向かって１本のコネ
クトアームを伸長させ、途中で前記コネクトアームの幅
をスライダ幅まで拡張し、前記ロードビーム先端部に設
けられた凸形ステージを避ける形で二股に分離もしくは
その伸長を終える。このとき、前記スライダは前記コネ
クトアームの幅の拡張部分に接着される。
【００２６】図３４、図３５に上記１の構造の形状の本
発明の磁気ヘッドスライダ支持機構のシミュレーション
解析結果を示す。図３４は、シーク剛性とピッチ剛性と
の相関を示す図であり、図３５はシーク剛性とロール剛
性との相関を示す図である。図３４、図３５において、
Ａ〜Ｄは図３７に示す従来のピボットタイプの磁気ヘッ
ドスライダ支持機構の例を解析した結果を示し、Ｅ〜Ｆ
は図３９に示す従来のピボットレスタイプの磁気ヘッド
スライダ支持機構の例を解析した結果を示す。黒丸は本
願発明の磁気ヘッドスライダ支持機構の解析結果を示
す。図から、本発明の構造の磁気ヘッドスライダ支持機
構は従来のそれに比べて低いスライダ支持剛性（ロール
・ピッチ剛性）と高いシーク剛性を同時に得ていること
がわかった。
【００２７】
【発明の実施の形態】
（実施形態１）図４の（ａ）（ｂ）（ｃ）は、請求項
１、４、５にもとづく発明の実施形態を示す平面図、正
面図および側面図であり、図５（ａ）（ｂ）は、実施形
態１の斜視図である。
【００２８】図４、図５に示す磁気ヘッドスライダ支持
機構は、図４（ａ）に示すようにスライダ１を支持する
フレクシャ５とフレクシャ５を押圧するロードビーム２
とからなる。ロードビーム２の両脇には剛性を高めるた
めにフランジ１１が設けられており、ロードビーム２は
マウント１３を介して図示せぬアクチュエータ機構に接
続され、ディスク上の指定トラックへ位置決めされる。
ロードビーム２およびフレクシャ５はステンレス鋼など
の薄い一枚の帯板で形成される。ロードビーム２のスラ
イダ取り付け側先端部には、トレーリング・エッジ側に
向かって開となる凹字形溝によって栓抜き形のベースア
ーム３が形成される。ベースアーム３のロードビーム長
手中心軸との交点付近にはスライダ側に凸となるような
Ｕ字形のフランジ１５をリーディング・エッジ側に向か
ってプレス加工により形成する。このとき凹字形溝の設
定位置は、Ｕ字形フランジ１５がスライダ重心またはス
ライダ押圧設計位置にくるように設定することが望まし
く、かつＵ字形フランジ１５は加工可能な限り小さく設
定して、スライダへの接触面積をできる限り抑えて理想
的な点接触に近いようにしておくことが望ましい。従来
のフレクシャ／ロードビーム組立構造を有する磁気ヘッ
ド支持機構では、通常ピボット径はφ０．１６mm以上で
あるからスライダ接触部においてその程度のフランジ幅
になるように設定すればよい。また、配線一体型サスペ
ンションへの適用を考慮する場合、信号線パターンの形
成を考えてベースアーム３の幅は０．２mm以上を確保し
ておくことが望ましい。次に、ベースアーム３のうちＵ
字形フランジ１５を形成したブリッジ中央部より１本の
コネクトアーム４をロードビーム長手中心軸に沿ってト
レーリング・エッジに向かって伸長するように設定し、
その後スライダのトレーリング・エッジを通過した所で
左右に分離し、スライダ幅に等しくなるような位置にお
いて、今度は逆にリーディング・エッジへ向かって伸長
させ、ベースアーム３と干渉しない位置においてその長
さを終える。これにより、ベースアーム３より先端（ト
レーリング・エッジ側）には「Ｅ」字形のフレクシャ５
が形成される。このとき、コネクトアーム４の幅と長さ
はスライダ支持剛性を大きく左右する。コネクトアーム
４が細く・長ければそれだけスライダ支持剛性（ロール
・ピッチ剛性）は低減できるが同時にシーク剛性も低下
し、低い周波数帯域において大きな共振ゲインを示すこ
とになるため、設計の際には仕様にみあった性能が得ら
れるようにこの部位のトレードオフ設計が重要である。
【００２９】また、フレクシャ５は中央のコネクトアー
ム４を除く他の部位で磁気ヘッドスライダに接着される
ため、ある程度の接着面積を確保しておく必要がある。
理想的にはスライダ投影面積の３０％以上と言われてい
るが、実際には１０％以下でも十分な強度を有している
ようである。たとえばピコスライダ（縦×横×厚み＝
１．２５mm×１．００mm×０．３０mm）の場合、従来の
フレクシャ一体型のインテグレイテッド・タイプの磁気
ヘッドスライダ支持機構では０．６４２mm2 （スライダ
投影面積の５３．５％）の接着面積を確保していたが、
最近リリースされた同タイプの磁気ヘッドスライダ支持
機構では０．１１３mm2 （スライダ投影面積の９．４
％）の接着面積でも十分なスライダ接着を行っている。
また、配線一体型サスペンションへの適用を考慮した場
合には、スライダの信号線端子１０と信号線９とのボン
ディングスペースを確保するため、フレクシャ５はスラ
イダのトレーリング・エッジを超えてスライダ長手方向
に０．２〜０．４mm程度の余裕を作っておくことが望ま
しい。ところで、Ｕ字形フレクシャ１５とスライダ背面
との干渉により、ベースアーム３とスライダ取り付けス
テージ７との間には、図４（ｂ）・（ｃ）の正面図・側
面図に示すようにＵ字形フランジ１５の曲げ高さに相当
する段差が生じる。このため、従来の磁気ヘッドスライ
ダ支持機構のようにコネクトアーム４にプレス加工部を
設けることが望ましいが、信号線９の損傷を嫌う場合に
はプレス加工部を設けずにコネクトアーム４をたわませ
ることによって段差を吸収しても良い。
【００３０】このような構成の磁気ヘッド支持機構を用
いることにより、フレクシャとロードビームを一体形成
で加工でき、磁気ヘッドの信号線をロードビーム表面に
薄膜形成するような配線一体型サスペンションへの適用
が容易になるとともに、従来のフレクシャ・ロードビー
ム分離型で採用されていたスライダ・ピボット支持構造
のサスペンションがＵ字形フランジ１５により近似的に
実現できるため、フレキシブルなスライダ支持剛性とス
ライダへの良好な荷重負荷（点荷重による押圧）が可能
となる。
【００３１】図６（ａ）に示す図は実施形態１を簡略に
示したものである。スライダ１は図６（ｂ）に示すよう
に記録媒体６０１に対向する向きにフレクシャに接着さ
れ、記録媒体６０１の凹凸に追従すべく支持されてい
る。
【００３２】実施形態１の変形例を図７、図８に示す。
【００３３】（変形例１）ロードビーム２の先端部に設
けられる凹字形の溝は他に、図７（ａ）に示すような円
弧形でも良い。図７（ａ）に示す変形例１は、実施形態
１における「Ｅ」字形のフレクシャ５を「Ｔ」字形に簡
略化したものである。これは、フレクシャとスライダの
接着面積が小さくても十分に接着できる技術がある場合
に用いられる。スライダの背面が広く開けているため、
レーザー干渉計を用いてスライダ浮上運動などを測定す
るような場合には有効である。
【００３４】（変形例２）図７（ｂ）に示す変形例２
は、実施形態１における１本のコネクトアーム４をロー
ドビーム長手軸を中心に左右に分割し、「コ」の字形の
フレクシャ５を形成している。この場合、スライダ支持
剛性（とりわけロール剛性）が硬くなるが、シーク剛性
が格段に高くなるため高周波数帯域まで大きな共振ゲイ
ンの現れない良好な振動特性を有する磁気ヘッドスライ
ダ支持機構を得ることができる。
【００３５】（変形例３）図７（ｃ）に示す変形例３
は、変形例２における「コ」の字形のフレクシャ５ａを
トレーリング・エッジ側に設定し、同時にリーディング
・エッジ側にも実施形態１に示したような「Ｅ」字形の
フレクシャ５ｂを設定し、フレクシャ５ａと５ｂの間に
Ｕ字形のフランジ１５を配置している。これは、スライ
ダ接着面積を大きく取り、かつ十分剛となるシーク剛性
を持たせたい場合に用いられる。この場合、前後３本の
コネクトアーム４を十分細くしてロール・ピッチ剛性の
低減に対処しなくてはならない。
【００３６】（変形例４）図８（ａ）は、実施形態１に
おける「Ｅ」字形のフレクシャ５をリーディング・エッ
ジ側のみに設定した例を示す平面図である。スライダを
常に媒体面に接触させておくコンタクトスライダや逆ピ
ッチバイアスが要求されるようなスライダに対して用い
られる。ただし、この場合信号線９はトレーリング・エ
ッジからスライダ背面を経由してリーディング・エッジ
側のフレクシャ５まで引き回す必要がある。
【００３７】（変形例５）図８（ｂ）〜（ｄ）は、変形
例４におけるＵ字形フランジ１５をトレーリング・エッ
ジまで延長した例を示す（ｂ）平面図、（ｃ）スライダ
部正面図、（ｄ）側面図である。これは、特に浮上型で
はなく接触型の３パッドスライダ（コンタクトスライ
ダ）に対して用いられる。Ｕ字形フランジ１５をスライ
ダのトレーリング・エッジ中央に設定しておけば、磁気
ヘッドスライダのギャップ位置を回転軸としたスライダ
・ピッチ運動を実現でき、ギャップ位置のコンタクトパ
ッド１９の安定した接触を保証でき、同時にリーディン
グ・エッジ側の２パッド部ではフレクシャ５によるフレ
キシブルな支持剛性が得られるため、ヘッドの跳躍を抑
えた安定した摺動動作が得られる。
【００３８】コンタクト形式の磁気ディスク装置では、
図８（ｄ）に示すようにスライダ１は磁気ディスクに接
触あるいは密接した状態で情報を記録再生する。請求項
１４に記載の磁気ディスク装置とはこの例に示したよう
なものである。
【００３９】（実施形態２）図９の（ａ）（ｂ）（ｃ）
および図１０（ａ）（ｂ）は、請求項２、４および１１
にもとづく発明の実施形態を示す平面図、正面図、側面
図および斜視図であり、同じく図１０の（ｃ）は実施形
態２で用いられるスライダの斜視図である。実施形態２
で、実施形態１と異なる点は、Ｕ字形フランジに代えて
スライダ側にピボット６を設けた点である。ピボット６
はスライダ１のフレクシャ取り付け面側に接着されたサ
ブステージ１６に形成されている。
【００４０】図９、図１０に示す実施形態２によれば、
ロードビーム２およびフレクシャ５はステンレス鋼など
の薄い一枚の帯板で形成される。ロードビーム２のスラ
イダ取り付け側先端部は、トレーリング・エッジ側に向
かって開となる凹字形の溝によって栓抜き形のベースア
ーム３が形成される。ベースアーム３のブリッジ中央部
には１本のコネクトアーム４をロードビーム長手中心軸
に沿ってトレーリング・エッジ側に向かって伸長させ、
しかる後に左右に分離させ、スライダ幅に等しくなるよ
うな位置において、今度は逆にリーディング・エッジ側
へ向かって伸長させ、ベースアーム３と干渉しない位置
でその長さを終え、スライダ取り付けステージ７を形成
する。一方、スライダ１のフレクシャ接続側面にはフレ
クシャ側に凸となるピボット６を有するサブステージ１
６を貼り付けておく。このとき、ピボット６の位置はス
ライダ中心位置もしくは押圧力設計位置にくるように設
定することが望ましく、またサブステージ１６はフレク
シャ５のスライダ取り付けステージ７を避ける形で貼り
付けることが望ましいが、ＨＧＡ（Head Gimbal Assemb
ly）高さが許す場合、スライダ背面の全面に貼り付け、
それに重ねる形でスライダ取り付けステージ７を接着し
てもよい。また、ピボット６の径は通常φ＝０．４５mm
〜０．１６mm程度で、スライダ寸法やＨＧＡ高さ、加工
精度等によって規定される。ピボット６を有するサブス
テージ１６を接着固定したスライダ１は、スライダ取り
付けステージ７に接続される。このとき、ピボット６が
ベースアーム３のブリッジ中央の広場（コネクトアーム
４との接合点）において点接触するようにスライダ１の
位置あわせを行うことが望ましい。これにより、ロード
ビーム２からの押圧荷重はピボット６を介してスライダ
１へ理想的な点荷重で付与されるとともに、スライダ１
の浮上運動をフレキシブルにピボット支持することが可
能となる。
【００４１】ところで、サブステージ１６のピボット６
とベースアーム３のブリッジ中央部との干渉により、ベ
ースアーム３とスライダ取り付けステージ７との間に
は、図９（ｂ）・（ｃ）の正面図・側面図に示すように
ピボット高さに相当する段差が生じる。したがって実施
形態１と同様に、コネクトアーム４にプレス加工部を設
けるか撓みをもたせることによって段差を吸収する必要
がある。
【００４２】このような構成の磁気ヘッド支持機構を用
いることにより、フレクシャとロードビームを一体形成
で加工でき、磁気ヘッドの信号線をロードビーム表面に
薄膜形成するような配線一体型サスペンションへの適用
が容易になるとともに、スライダ・ピボット支持構造の
磁気ヘッドスライダ支持機構が実現できるため、フレキ
シブルなスライダ支持剛性とスライダへの良好な荷重負
荷（点荷重による押圧）が可能となる。
【００４３】図１１（ａ）（ｂ）に示す図は前述した実
施形態２を簡略に示したものである。
【００４４】実施形態２の変形例を図１２、図１３に示
す。図１２（ａ）（ｂ）の変形例は実施形態１の変形例
と同様である。
【００４５】（変形例１）ロードビーム２の先端部に設
けられる凹形の溝は他に、図１２（ａ）に示すような円
弧形でも良い。図１２（ａ）に示す変形例１は、実施形
態２における「Ｅ」字形のフレクシャ５を「Ｔ」字形に
簡略化したものである。これは、スライダ接着面積が小
さくても十分に接着でき、かつサブステージ１６の面積
をピボット加工の制約により大きく取らなければならな
いような場合に用いられる。
【００４６】（変形例２）図１２（ｂ）に示す変形例２
は、実施形態２における１本のコネクトアーム４をロー
ドビーム長手軸を中心に左右に分割し、「コ」の字形の
フレクシャ５を形成し、シーク剛性の向上を図ったもの
である。
【００４７】（変形例３）図１２（ｃ）に示す変形例３
は、実施形態２における凹形の溝を排除し、よりシンプ
ルな構造にしたものである。スライダ接着の位置決めに
やや難があるものの支持バネ剛性は向上する。
【００４８】（変形例４）図１２（ｄ）に示す変形例４
は、実施形態２における「Ｅ」形のフレクシャ５をリー
ディング・エッジ側に設定し、かつサブステージ１６を
スライダ１のトレーリング・エッジ側に設定したもので
ある。スライダに逆ピッチバイアスが要求されるような
場合に用いられる。
【００４９】（変形例５）図１３に示す変形例５は、実
施形態２の変形例４においてスライダのトレーリング・
エッジ側に設定したサブステージ１６のピボット６をス
ライダ中心位置ではなく、トレーリング・エッジ中央部
付近に配置したものである。これは、特に接触型の３パ
ッドスライダ（コンタクトスライダ）に対して用いら
れ、スライダのギャップ位置を回転軸としたピッチ摺動
運動を実現でき、ギャップ位置のコンタクトパッド１９
の安定した接触を保証し、同時にリーディング・エッジ
側の２パッドではフレクシャ５によるフレキシブルな支
持剛性が得られるためヘッドの跳躍を抑えた安定した摺
動動作が得られる。
【００５０】（実施形態３）図１４の（ａ）（ｂ）
（ｃ）および図１５（ａ）（ｂ）は、請求項３、４、５
および１２にもとづく発明の実施形態を示す平面図、正
面図、側面図および斜視図であり、同じく図１５の
（ｃ）は実施形態３で用いられるスライダの斜視図であ
る。実施形態３で実施形態１と異なる点は、スライダ１
にＵ字形の樋１７を設けたサブステージ１６を貼り付け
ている点である。
【００５１】ロードビーム部は実施形態１と同様である
ので、説明を省略する。
【００５２】スライダ１のフレクシャを接続すべき面に
はフレクシャ側に凸となるＵ字形の樋１７がスライダ長
手軸に沿う形でサブステージ１６に設定され、サブステ
ージ１６はスライダ１のフレクシャを接続すべき面に貼
り付けられる。このとき、Ｕ字形の樋１７はスライダ長
手中心軸上もしくは押圧力設計位置を通るスライダ長手
軸上にくるように設定することが望ましく、サブステー
ジ１６はスライダ取り付けステージ７を避ける形で貼り
付けることが望ましいが、ＨＧＡ（Head Gimbal Assemb
ly）高さが許す場合、スライダ背面の全面に貼り付け、
それに重ねる形でスライダ取り付けステージ７を接着し
てもよい。Ｕ字形の樋１７を有するサブステージ１６を
接着固定したスライダ１は、スライダ取り付けステージ
７に接続され、ベースアーム３に形成されたＵ字形フラ
ンジ１５とサブステージ１６に形成されたＵ字形の樋１
７の各々の凸部が十字に交叉しスライダ１を点支持す
る。このとき、Ｕ字形フランジの幅はピボットを模した
実施形態１とは異なり、ある程度幅広に設定しておいて
よく、Ｕ字形の樋１７の幅程度を確保しておけば安定し
た交叉が得られる。また、Ｕ字形フランジ１５とＵ字形
の樋１７との交叉点がスライダ設計押圧位置に来るよう
に位置あわせを行ってスライダ１を接続することが望ま
しい。これにより、ロードビーム２からの押圧荷重はＵ
字形フランジ１５とＵ字形の樋１７との交叉点を介して
スライダ１へ理想的な点荷重で付与されるとともに、ス
ライダ１のロール方向とピッチ方向運動を各々Ｕ字形フ
ランジ１５とＵ字形の樋１７を支点軸とした回転運動に
よりフレキシブルに支持することが可能となる。
【００５３】ところで、ベースアーム３とフレクシャ５
との間には、Ｕ字形フランジ１５とＵ字形の樋１７との
交叉により、図１４（ｂ），（ｃ）および図１５（ａ）
の正面図，側面図および斜視図に示すようにフランジ高
さと樋高さに相当する段差が生じる。この段差を吸収す
るためには、コネクトアーム４にプレス加工部を設ける
か、コネクトアーム４の弾性力によってたわませておく
必要があるが、パターン配線の損傷を考える場合プレス
加工は避けた方が賢明である。
【００５４】このような構成の磁気ヘッド支持機構を用
いることにより、フレクシャとロードビームを一体形成
で加工でき、磁気ヘッドの信号線をロードビーム表面に
薄膜形成するような配線一体型サスペンションへの適用
が容易になるとともに、スライダ点支持構造のサスペン
ションが容易に実現できるため、フレキシブルなスライ
ダ支持剛性とスライダへの良好な荷重負荷（点荷重によ
る押圧）が可能となる。
【００５５】図１６（ａ）（ｂ）に示す図は前述した実
施形態３を簡略に示したものである。
【００５６】実施形態３の変形例を図１７、図１８に示
す。図１７（ａ）（ｂ）の変形例は実施形態１の変形例
と同様である。
【００５７】（変形例１）ロードビーム２の先端部に設
けられる凹形の溝は他に、図１７（ａ）に示すような円
弧形でも良い。図１７（ａ）に示す変形例１は、実施形
態３における「Ｅ」字形のフレクシャ５を「Ｔ」字形に
簡略化したものである。これは、スライダ取り付けステ
ージ７の接着面積が小さくても十分に接着できる技術が
ある場合に用いられる。
【００５８】（変形例２）図１７（ｂ）に示す変形例２
は、同じく実施形態３における１本のコネクトアーム４
をロードビーム長手軸を中心に左右に分割し、「コ」の
字形のフレクシャ５を形成し、シーク剛性の向上を狙っ
たものである。この場合、ロール剛性はやや硬くなるも
のの、高周波数帯域まで大きな共振ゲインの現れない良
好な振動特性をもつ磁気ヘッドスライダ支持機構を得る
ことができる。
【００５９】（変形例３）図１７（ｃ）に示す変形例３
は、実施形態３における「Ｅ」字形のフレクシャ５をベ
ースアーム３を挟んでリーディング・エッジ側に、同じ
くＵ字形フランジ１５をトレーリング・エッジ側に設定
し、かつサブステージ１６をスライダのトレーリング・
エッジ側に設定したものである。スライダに逆ピッチバ
イアスが要求されるような場合に用いられる。
【００６０】（変形例４）図１８（ａ）に示す変形例４
は、図１７（ｃ）の変形例３においてトレーリング・エ
ッジ側に設定したＵ字形フランジ１５をスライダ中心位
置ではなく、トレーリングエッジ中央部付近まで延長し
て配置したものである。これにより、サブステージ１６
に設置されたＵ字形の樋１７とＵ字形フランジ１５との
交叉位置がトレーリング・エッジ中央部付近に設定され
る。これは、特に接触型の３パッドスライダ（コンタク
トスライダ）に対して用いられ、スライダのギャップ位
置を回転軸としたピッチ摺動運動を実現でき、ギャップ
位置のコンタクトパッド１９の安定した接触を保証し、
同時にリーディング・エッジ側の２パッドではフレクシ
ャ５によるフレキシブルな支持剛性が得られるためヘッ
ドの跳躍を抑えた安定した摺動動作が得られる。
【００６１】（実施形態４）図１９（ａ），（ｂ）およ
び図２０は、請求項６、９および１０にもとづく発明の
実施形態を示す平面図、側面図および斜視図である。実
施形態４によれば、ロードビーム２およびフレクシャ５
は、ステンレス鋼などの薄い一枚の帯板で形成される。
ロードビーム２のスライダ取り付け側先端部には、トレ
ーリング・エッジ側を上に見たときに「Ｗ」字形もしく
は「Ｈ」字形の溝が形成される。これにより、ロードビ
ーム２の先端部にはトレーリング・エッジ側を上に見て
凸となるステージ部１８が形成され、この凸形ステージ
１８のロードビーム長手中心軸上においてスライダ側に
凸となるＵ字形のフランジ１５を形成する。このとき、
Ｕ字形フランジ１５の位置は磁気ヘッドスライダの中心
もしくは設計した押圧位置にくるように設定する。この
ときのＵ字形フランジ１５の寸法は実施形態１における
寸法規定に準じる。また、凸形ステージ部１８の周りに
は、それを囲む形でフレクシャ５のループが形成され、
トレーリング・エッジ側先端部においてロードビーム長
手中心軸に沿って、リーディング・エッジ方向に向かい
１本のコネクトアーム４が伸長し、ステージ部に干渉し
ないような形でスライダ取り付けステージ７が形成され
る。このときのコネクトアーム４の幅と長さやスライダ
取り付けステージ７の大きななどは、実施形態１におい
て規定した基準にしたがうことが望ましい。
【００６２】また、凸形ステージ部１８とスライダ取り
付けステージ７との間には、Ｕ字形フランジ１５の干渉
により、図１９（ｂ）の側面図に示すようにフランジ高
さに相当する段差が生じる。このため、コネクトアーム
４にプレス加工部を設けるか、コネクトアーム４のたわ
みを用いて段差を吸収する必要がある。このような構成
の磁気ヘッド支持機構を用いることにより、フレクシャ
とロードビームを一体形成で加工でき、磁気ヘッド８の
信号線９をロードビーム表面に薄膜形成するような配線
一体型サスペンションへの適用が容易になるとともに、
従来のフレクシャ・ロードビーム分離型で採用されてい
たスライダ・ピボット支持構造のサスペンションに近い
支持形態を有する磁気ヘッドスライダ支持機構が実現で
きるため、フレキシブルなスライダ支持剛性と良好な荷
重負荷（点荷重による押圧）を得ることができる。
【００６３】図２１（ａ）（ｂ）に示す図は前述した実
施形態４を簡略に示したものである。実施形態４の変形
例を図２２、図２３に示す。
【００６４】（変形例１）図２２（ａ）に示す図は実施
形態４の変形例１を示しており、実施形態４におけるロ
ードビーム２先端部に設けられた「Ｗ」字形の溝を
「Ｈ」字形に変更して、フレクシャ５のスライダ取り付
け部を「Ｔ」字形に簡略化したものである。これは、ス
ライダ取り付けステージ７の接着面積が小さくても十分
に接着できる場合に用いられ、スライダ背面が広く開い
ているため、レーザー干渉計などによる振動測定等に有
効である。
【００６５】図２２（ｂ）に示す図は変形例２を示して
おり、同じく実施形態４における１本のコネクトアーム
をロードビーム長手軸を中心に左右に分割し、２本のコ
ネクトアーム４によりフレクシャ５とスライダ取り付け
部７を接続している。この場合、スライダ支持剛性は硬
くなるがシーク剛性が格段に高くなるため、高周波数帯
域まで大きな共振ゲインの現れない良好な振動特性を有
する磁気ヘッドスライダ支持機構を得ることができる。
【００６６】（変形例３）図２２（ｃ）示す図は変形例
３を示しており、実施形態４においてロードビーム２の
先端部に設けられた「Ｗ」字形の溝を、ロードビーム長
手中心軸に対してＵ字形フランジ１５の位置を中心に９
０度回転させて設定したものである。この場合、回転の
向きはディスクの回転方向によって規定される。これ
は、主にスライダ長手軸がロードビーム長手軸と直交す
るように取り付けられるドッグレッグ方式の磁気ヘッド
スライダ支持機構に対して用いられる。
【００６７】（変形例４）図２２（ｄ）に示す図は変形
例４を示しており、実施形態４における「Ｔ」形のスラ
イダ取り付けステージ７をトレーリング・エッジ側では
なくリーディング・エッジ側に設定し、同じく凸形ステ
ージ部１８をトレーリング・エッジ側に設定してＵ字形
フランジ１５を上下逆に配置したものであり、スライダ
を常に媒体面に接触させておくコンタクトスライダや逆
ピッチバイアスが要求されるようなスライダに対して用
いられる。
【００６８】（変形例５）図２３に示す図は変形例５を
示しており、実施形態４における凸形ステージ部１８を
縮小し、Ｕ字形フランジ１５をトレーリング・エッジ位
置まで移動したものである。これは、特に浮上型ではな
く接触型の３パッドスライダ（コンタクトスライダ）に
対して用いられる。Ｕ字形フランジ１５をスライダトレ
ーリング・エッジ中央に設定することにより、磁気ヘッ
ドスライダのギャップ位置を回転軸としたスライダ・ピ
ッチ運動を実現でき、ギャップ位置のコンタクトパッド
１９の安定した接触を保証でき、同時にリーディング・
エッジ側の２パッドではフレクシャ５による支持でフレ
キシブルな支持剛性が得られるためヘッドの跳躍を抑え
た安定した摺動動作が得られる。
【００６９】（実施形態５）図２４の（ａ）（ｂ）およ
び図２５（ａ）は、請求項７、９および１１にもとづく
発明の実施形態を示す平面図、側面図、斜視図であり、
図２５（ｂ）〜（ｄ）は実施形態５で用いられるスライ
ダの平面図・正面図および斜視図である。実施形態５で
実施形態４と異なる点は、Ｕ字形フランジに代えてスラ
イダ１側にピボット６を設けた点である。
【００７０】実施形態５のロードビーム２およびフレク
シャ５は、実施形態４と同様であるが、ロードビーム２
の先端部に形成される凸形ステージ部１８は、Ｕ字形の
フランジを設定しないで平板としている。ロードビーム
２およびフレクシャ５は、ステンレス鋼などの薄い一枚
の帯板で形成される。ロードビーム２のスライダ取り付
け側先端部には、トレーリング・エッジ側を上に見たと
きに「Ｗ」字形もしくは「Ｈ」字形の溝が形成される。
これにより、ロードビーム２の先端部にはトレーリング
・エッジ側を上に見て凸となるステージ部１８が形成さ
れる。このとき、凸形ステージ部１８の周りには、それ
を囲む形でフレクシャ５のループが形成され、トレーリ
ング・エッジ側先端部においてロードビーム長手中心軸
に沿って、リーディング・エッジ方向に向かい１本のコ
ネクトアーム４が伸長し、ステージ部に干渉しないよう
な形でスライダ取り付けステージ７が形成される。この
ときのコネクトアーム４の幅と長さやスライダ取り付け
ステージ７の大きななどは、実施形態１において規定し
た基準にしたがうことが望ましい。
【００７１】スライダ１のフレクシャ接続側面にはフレ
クシャ側に凸となるピボット６を有するサブステージ１
６を貼り付けておく。このとき、ピボット６の位置はス
ライダ中心位置もしくは押圧力設計位置にくるように設
定することが望ましく、またサブステージ１６はスライ
ダ取り付けステージ７を避ける形で貼り付けることが望
ましいが、ＨＧＡ（Head Gimbal Assembly）高さが許す
場合、スライダ背面の全面に貼り付け、それに重ねる形
でスライダ取り付けステージ７を接着してもよい。ま
た、ピボット６の径については、前述の実施形態２記載
の規定に準ずることが望ましい。ピボット６を有するサ
ブステージ１６を接着固定したスライダ１は、スライダ
取り付けステージ７に接続される。このとき、ピボット
６は凸形ステージ１８において接触するようにスライダ
１の位置あわせを行う。これにより、ロードビーム２か
らの押圧荷重はピボット６を介してスライダ１へ理想的
な点荷重で付与されるとともに、スライダ１の浮上運動
をフレキシブルにピボット支持することが可能となる。
【００７２】ところでスライダを磁気ヘッドスライダ支
持機構にアッセンブリしたときには、スライダ取り付け
ステージ７と凸形ステージ１８との間に、ピボット６の
干渉により図２４（ｂ）に示すような段差が生じる。し
たがって第４の発明の実施例と同様に、コネクトアーム
４にプレス加工部を設けるか、コネクトアーム４をたわ
ませることによって段差を吸収する必要がある。
【００７３】このような構成の磁気ヘッド支持機構を用
いることにより、フレクシャとロードビームを一体形成
で加工でき、磁気ヘッドの信号線をロードビーム表面に
薄膜形成するような配線一体型サスペンションへの適用
が容易になるとともに、スライダ・ピボット支持構造の
磁気ヘッドスライダ支持機構が実現できるため、フレキ
シブルなスライダ支持剛性とスライダへの良好な荷重負
荷（点荷重による押圧）が可能となる。
【００７４】図２６（ａ）（ｂ）に示す図は実施形態５
を簡略に示したものである。図２７、図２８に実施形態
５の変形例を示す。これらの変形例は実施形態４の変形
例と同様である。
【００７５】（変形例１）図２７（ａ）に示す図は変形
例１を示しており、スライダ取り付けステージ７を
「Ｔ」字形に簡略化したものである。これは、スライダ
取り付けステージ７の接着面積が小さくても十分にスラ
イダ１を接着できる技術がある場合に用いられる。
【００７６】（変形例２）図２７（ｂ）に示す図は変形
例２を示しており、実施形態５における１本のコネクト
アームをロードビーム長手軸を中心に左右に分割し、２
本のコネクトアーム４によりフレクシャ５とスライダ取
り付け部７を接続しており、シーク剛性が格段に高くな
るため良好な振動特性を有する磁気ヘッドスライダ支持
機構を得ることができる。
【００７７】（変形例３）図２７（ｃ）示す図は変形例
３を示しており、実施形態５においてロードビーム２の
先端部に設けられた「Ｗ」字形の溝を、ロードビーム長
手中心軸に対してＵ字形フランジ１５の位置を中心に90
度回転させて設定したもので、主にドッグレッグ方式の
磁気ヘッドスライダ支持機構に対して用いられる。
【００７８】（変形例４）図２７（ｄ）に示す図は変形
例４を示しており、実施形態５の変形例１における
「Ｔ」字形のスライダ取り付けステージ７をトレーリン
グ・エッジ側ではなくリーディング・エッジ側に設定
し、同じく凸形ステージ１８をトレーリング・エッジ側
に設定するとともに、サブステージ１６をスライダのト
レーリング・エッジ側に貼り付けたものである。スライ
ダを常に媒体面に接触させておくコンタクトスライダや
逆ピッチバイアスが要求されるようなスライダに対して
用いられる。
【００７９】（変形例５）図２８（ａ）〜（ｃ）に示す
図は変形例５を示しており、実施形態５の変形例４にお
ける凸形ステージ１８を縮小し、サブステージ１６のピ
ボット６をトレーリング・エッジ中央位置まで移動した
ものである。これは、特に浮上型ではなく接触型の３パ
ッドスライダ（コンタクトスライダ）に対して用いら
れ、ギャップ位置を回転軸としたスライダ・ピッチ運動
を実現でき、ギャップ位置のコンタクトパッド１９の安
定した接触を保証でき、同時にリーディング・エッジ側
の２パッドではフレクシャ５による支持でフレキシブル
な支持剛性が得られるためヘッドの跳躍を抑えた安定し
た摺動動作を得ることを狙ったものである。
【００８０】（実施形態６）図２９の（ａ）（ｂ）
（ｃ）および図３０（ａ）は、請求項８、９、１０およ
び１２にもとづく発明の実施形態を示す平面図、側面
図、正面図、斜視図であり、図３０の（ｂ）および
（ｃ）は実施形態６に用いられるスライダ部の平面図と
斜視図である。ロードビーム２およびフレクシャ５は実
施形態４と同様であるので説明は省略する。また、スラ
イダ１は実施形態３のスライダと同様であるので簡単に
説明する。
【００８１】スライダ１のフレクシャ接続側面にはフレ
クシャ側に凸となるＵ字形の樋１７がスライダ長手軸に
沿う形でサブステージ１６に配置され、サブステージ１
６はスライダ１のフレクシャ接続側面に貼り付けられ
る。Ｕ字形の樋１７を有するサブステージ１６を接着固
定したスライダ１は、スライダ取り付けステージ７に接
続される。Ｕ字形フランジ１５とサブステージ１６に形
成されたＵ字形の樋１７はスライダ設計押圧位置におい
て十字に交叉しスライダ１を点支持する。これにより、
ロードビーム２からの押圧荷重はＵ字形フランジ１５と
Ｕ字形の樋１７との交叉点を介してスライダ１へ理想的
な点荷重で付与されるとともに、スライダ１のロール方
向とピッチ方向運動を各々Ｕ字形フランジ１５とＵ字形
の樋１７を支点軸とした回転運動によりフレキシブルに
支持することが可能となる。
【００８２】このような構成の磁気ヘッド支持機構を用
いることにより、フレクシャとロードビームを一体形成
で加工でき、磁気ヘッドの信号線をロードビーム表面に
薄膜形成するような配線一体型サスペンションへの適用
が容易になるとともに、スライダ点支持構造のサスペン
ションが容易に実現できるため、フレキシブルなスライ
ダ支持剛性とスライダへの良好な荷重負荷が可能とな
る。図３１（ａ）（ｂ）に示す図は前述した実施形態６
を簡略に示したものである。
【００８３】実施形態６の変形例を図３２、図３３に示
す。これらの変形例は実施形態４の変形例と同様であ
り、スライダ支持部がロードビーム側のＵ字形フランジ
のみから、ロードビーム側のＵ字形フランジと、スライ
ダ側のＵ字形の樋との交叉に変わっただけであるので説
明を省略する。
【００８４】図３３は実施形態６の変形例を示してお
り、実施形態４の変形例５と同様である。これは、特に
接触型の３パッドスライダ（コンタクトスライダ）に対
して用いられ、ギャップ位置のコンタクトパッド１９の
安定した摺動動作を得たい場合に用いられる。
【００８５】
【発明の効果】本発明の磁気ヘッドスライダは、ロード
ビームとフレクシャを一体で成形し、同時にスライダ
を、点支持で保持・押圧することができるため、配線一
体型サスペンションの配線自由度を大きく保ったまま、
小型化可能で、かつ生産性に優れた磁気ヘッドスライダ
支持機構とすることができる。
【００８６】また、請求項１、３、４、５、６、８、
９、１０、１２に記載の発明では、スリップスティック
によるオフトラックエラーを防止した薄型磁気ヘッドス
ライダ支持機構を実現できる。
【００８７】さらに、本発明の構造の磁気ヘッドスライ
ダ支持機構は従来に比べて低いスライダ支持剛性（ロー
ル・ピッチ剛性）と高いシーク剛性が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の作用を示す図である。
【図２】本発明の作用を示す図である。
【図３】本発明の作用を示す図である。
【図４】本発明の実施形態１を示す図である。
【図５】本発明の実施形態１を示す図である。
【図６】本発明の実施形態１を示す図である。
【図７】本発明の実施形態１の変形例を示す図である。
【図８】本発明の実施形態１の変形例を示す図である。
【図９】本発明の実施形態２を示す図である。
【図１０】本発明の実施形態２を示す図である。
【図１１】本発明の実施形態２を示す図である。
【図１２】本発明の実施形態２の変形例を示す図であ
る。
【図１３】本発明の実施形態２の変形例を示す図であ
る。
【図１４】本発明の実施形態３を示す図である。
【図１５】本発明の実施形態３を示す図である。
【図１６】本発明の実施形態３を示す図である。
【図１７】本発明の実施形態３の変形例を示す図であ
る。
【図１８】本発明の実施形態３の変形例を示す図であ
る。
【図１９】本発明の実施形態４を示す図である。
【図２０】本発明の実施形態４を示す図である。
【図２１】本発明の実施形態４を示す図である。
【図２２】本発明の実施形態４の変形例を示す図であ
る。
【図２３】本発明の実施形態４の変形例を示す図であ
る。
【図２４】本発明の実施形態５を示す図である。
【図２５】本発明の実施形態５を示す図である。
【図２６】本発明の実施形態５を示す図である。
【図２７】本発明の実施形態５の変形例を示す図であ
る。
【図２８】本発明の実施形態５の変形例を示す図であ
る。
【図２９】本発明の実施形態６を示す図である。
【図３０】本発明の実施形態６を示す図である。
【図３１】本発明の実施形態６を示す図である。
【図３２】本発明の実施形態６の変形例を示す図であ
る。
【図３３】本発明の実施形態６の変形例を示す図であ
る。
【図３４】本発明の磁気ヘッドスライダ支持機構のバネ
特性を示すグラフである。
【図３５】本発明の磁気ヘッドスライダ支持機構のバネ
特性を示すグラフである。
【図３６】従来のロータリーアクチュエーター方式を示
す図である。
【図３７】従来の磁気ヘッドスライダ支持機構の構成を
示す図である。
【図３８】従来の配線一体型サスペンションの例を示す
図である。
【図３９】従来の磁気ヘッドスライダ支持機構のフレク
シャ部の例を示す図である。
【図４０】従来の磁気ヘッドスライダ支持機構の構成を
示す図である。
【図４１】従来の問題点を示す図である。
【図４２】従来の問題点を示す図である。
【図４３】従来の問題点を示す図である。
【符号の説明】
１ スライダ ２ ロードビーム ３ ベースアーム ４ コネクトアーム ５ フレクシャ ６ ピボット ７ スライダ取り付けステージ ８ 磁気ヘッド ９ 信号線 １０ 信号線端子 １１ フランジ １３ マウント １５ Ｕ字形フランジ １６ サブステージ １７ Ｕ字形の樋 １８ 凸形ステージ １９ コンタクトパッド

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】磁気ヘッドを搭載したスライダを支持する
    フレクシャと、そのスライダに押圧力を付与せしめるロ
    ードビームにより構成される磁気ヘッドスライダ支持機
    構であって、薄い一枚の帯板で形成される前記ロードビ
    ームはその一端においてアクチュエータ機構に接続さ
    れ、他端において前記フレクシャを有し、このとき前記
    ロードビームと前記フレクシャとは一体形成で構成さ
    れ、前記ロードビームと前記フレクシャとの連続する境
    界位置においてスライダ側に向かって凸となるように折
    り曲げられたＵ字形のフランジを有し、前記フレクシャ
    に接続されたスライダが前記Ｕ字形フランジにより支持
    されることを特徴とする磁気ヘッドスライダ支持機構。
  2. 【請求項２】磁気ヘッドを搭載したスライダと、そのス
    ライダを支持するフレクシャと、そのスライダに押圧力
    を付与せしめるロードビームにより構成される磁気ヘッ
    ドスライダ支持機構であって、薄い一枚の帯板で形成さ
    れる前記ロードビームはその一端においてアクチュエー
    タ機構に接続され、他端において前記フレクシャを有
    し、このとき前記ロードビームと前記フレクシャとは一
    体形成で構成され、また前記スライダのフレクシャを接
    着すべき面にはフレクシャ側に向かって凸となるピボッ
    トが装備され、前記ロードビームと前記フレクシャとの
    連続する境界位置に、前記ピボットが接触し、前記スラ
    イダを点支持することを特徴とする磁気ヘッドスライダ
    支持機構。
  3. 【請求項３】磁気ヘッドを搭載したスライダと、そのス
    ライダを支持するフレクシャと、そのスライダに押圧力
    を付与せしめるロードビームにより構成される磁気ヘッ
    ドスライダ支持機構であって、薄い一枚の帯板で形成さ
    れる前記ロードビームはその一端においてアクチュエー
    タ機構に接続され、他端において前記フレクシャを有
    し、このとき前記ロードビームと前記フレクシャとは一
    体形成で構成され、前記ロードビームと前記フレクシャ
    との連続する境界位置においてスライダ側に凸となるよ
    うに折り曲げられたＵ字形のフランジを有し、また前記
    スライダのフレクシャを接着すべき面にはフレクシャ側
    に向かって凸となるＵ字形の樋が装備され、前記スライ
    ダを前記フレクシャに接続したとき、前記ロードビーム
    とフレクシャの境界部において設けられたＵ字型フラン
    ジと、前記Ｕ字形の樋とが交叉して接触し、前記交叉点
    において前記スライダを前記フレクシャが点支持するこ
    とを特徴とする磁気ヘッドスライダ支持機構。
  4. 【請求項４】前記ロードビームはスライダ取り付け側の
    端部において、前記ロードビーム左右端より各々１本の
    ベースアームを先端側に向かって伸長させ、前記左右の
    ベースアームはスライダ中心位置付近においてそれぞれ
    ロードビーム長手中心軸へ向かって向きを変え伸長して
    互いに連結し、この連結部よりロードビーム長手中心軸
    に沿ってロードビーム先端部に向かって１本のコネクト
    アームを伸長させ、しかる後に左右に分離して伸長し、
    今度はスライダのリーディング・エッジ方向に向かって
    伸長することにより、前記ベースアームの連結部より先
    端側に、前記コネクトアームを軸とする「Ｅ」字形のフ
    レクシャを一体形成することを特徴とする請求項１また
    は２または３記載の磁気ヘッドスライダ支持機構。
  5. 【請求項５】前記ロードビームはスライダ取り付け側の
    端部において、前記ロードビーム左右端より各々１本の
    ベースアームを先端側に向かって伸長させ、前記左右の
    ベースアームはスライダ中心位置付近においてそれぞれ
    ロードビーム長手中心軸へ向かって向きを変え伸長して
    互いに連結し、この連結部よりロードビーム長手中心軸
    に沿ってロードビーム先端部に向かって１本のコネクト
    アームを伸長させ、しかる後に左右に分離して伸長し、
    今度はスライダのリーディング・エッジ方向に向かって
    伸長することにより、前記ベースアームの連結部より先
    端側に、前記コネクトアームを軸とする「Ｅ」字形のフ
    レクシャを一体形成し、前記２本のベースアームの連結
    部にスライダ側に向かって凸となるＵ字形のフランジを
    設けることを特徴とする請求項１または３記載の磁気ヘ
    ッドスライダ支持機構。
  6. 【請求項６】磁気ヘッドを搭載したスライダを支持する
    フレクシャと、そのスライダに押圧力を付与せしめるロ
    ードビームにより構成される磁気ヘッドスライダ支持機
    構であって、薄い一枚の帯板で形成される前記ロードビ
    ームはその一端においてアクチュエータ機構に接続さ
    れ、他端において前記フレクシャを有し、このとき前記
    ロードビームと前記フレクシャとは一体形成で構成さ
    れ、前記ロードビームが前記フレクシャに囲われた領域
    の先端部においてスライダ側へ向かって凸となるように
    折り曲げられたＵ字形のフランジ部を有し、前記フレク
    シャに接続されたスライダが前記Ｕ字形フランジにより
    支持されることを特徴とする磁気ヘッドスライダ支持機
    構。
  7. 【請求項７】磁気ヘッドを搭載したスライダと、そのス
    ライダを支持するフレクシャと、そのスライダに押圧力
    を付与せしめるロードビームにより構成される磁気ヘッ
    ドスライダ支持機構であって、薄い一枚の帯板で形成さ
    れる前記ロードビームはその一端においてアクチュエー
    タ機構に接続され、他端において前記フレクシャを有
    し、このとき前記ロードビームと前記フレクシャとは一
    体形成で構成され、また前記スライダのフレクシャを接
    着すべき面にはピボットが装備され、前記ロードビーム
    が前記フレクシャに囲われた領域の先端部に前記ピボッ
    トが接触し、前記スライダを点支持することを特徴とす
    る磁気ヘッドスライダ支持機構。
  8. 【請求項８】磁気ヘッドを搭載したスライダと、そのス
    ライダを支持するフレクシャと、そのスライダに押圧力
    を付与せしめるロードビームにより構成される磁気ヘッ
    ドスライダ支持機構であって、薄い一枚の帯板で形成さ
    れる前記ロードビームはその一端においてアクチュエー
    タ機構に接続され、他端において前記フレクシャを有
    し、このとき前記ロードビームと前記フレクシャとは一
    体形成で構成され、前記ロードビームが前記フレクシャ
    に囲われた領域の先端部においてスライダ側に向かって
    凸となるように折り曲げられたＵ字形のフランジを有
    し、また前記スライダのフレクシャを接着すべき面には
    フレクシャ側に凸となるＵ字形の樋が装備され、前記ス
    ライダを前記フレクシャに接続したとき、ロードビーム
    先端部に設けられた前記Ｕ字型フランジと、スライダに
    装備された前記Ｕ字形の樋とが交叉して接触し、前記交
    叉点において前記スライダを前記フレクシャが点支持す
    ることを特徴とする磁気ヘッドスライダ支持機構。
  9. 【請求項９】前記ロードビームはスライダ取り付け側の
    端部において、スライダのトレーリング・エッジ側を上
    に見て「Ｗ」字形もしくは「Ｈ」字形の溝を設けること
    により、前記ロードビーム先端側にスライダのトレーリ
    ング・エッジ側を上に見て凸形となるステージ部が形成
    され、同時に前記ステージ部を包み込む形でフレクシャ
    部が形成されることを特徴とする請求項６または７また
    は８記載の磁気ヘッドスライダ支持機構。
  10. 【請求項１０】前記ロードビームはスライダ取り付け側
    の端部において、スライダのトレーリング・エッジ側を
    上に見て「Ｗ」字形もしくは「Ｈ」字形の溝を設けるこ
    とにより、前記ロードビーム先端側にスライダのトレー
    リング・エッジ側を上に見て凸形となるステージ部が形
    成され、同時に前記ステージ部を包み込む形でフレクシ
    ャ部が形成され、凸形ステージ部にスライダ側に凸とな
    る向きに折り曲げられたＵ字型のフランジを装備したこ
    とを特徴とする請求項６または８記載の磁気ヘッドスラ
    イダ支持機構。
  11. 【請求項１１】前記スライダのフレクシャ接着面側に、
    フレクシャ側に向かって凸となるピボットを有するサブ
    ステージを貼り付けることを特徴とする請求項２または
    ７記載の磁気ヘッドスライダ支持機構。
  12. 【請求項１２】前記スライダのフレクシャ接着面側に、
    フレクシャ側に向かって凸となるＵ字形の樋を前記スラ
    イダ長手軸に沿って配置するサブステージを貼り付ける
    ことを特徴とする請求項３または８記載の磁気ヘッドス
    ライダ支持機構。
  13. 【請求項１３】ピボットまたはＵ字形の樋を有するサブ
    ステージの面積が、スライダ投影面積の１０％以上であ
    ることを特徴とする請求項１１または１２に記載の磁気
    ヘッドスライダ支持機構。
  14. 【請求項１４】磁気ディスクと、この磁気ディスク上に
    密接された状態で相対移動されて情報を記録または再生
    する磁気ヘッドと、この磁気ヘッドを搭載したスライダ
    と、そのスライダを前記磁気ディスクに押圧させる請求
    項１〜１３のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダ支持
    機構とからなることを特徴とする磁気ディスク装置。
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