JP3045095B2

JP3045095B2 - 磁気ヘッド支持機構及びこれを有する磁気ディスク装置の組立方法

Info

Publication number: JP3045095B2
Application number: JP9051946A
Authority: JP
Inventors: 基恭宇都宮
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1997-03-06
Filing date: 1997-03-06
Publication date: 2000-05-22
Anticipated expiration: 2017-03-06
Also published as: JPH10255421A; US5943192A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッド支持機
構及びこれを有する磁気ディスク装置の組立方法に係
り、特に浮上型若しくは接触型の磁気ヘッドを支持する
ための磁気ヘッド支持機構及びこれを有する磁気ディス
ク装置の組立方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、磁気ディスク装置における磁
気ヘッド支持機構（サスペンション）としては、磁気ヘ
ッドを搭載したスライダを支持するフレクシャ部材と、
このフレクシャ部材を保持しスライダに押圧荷重を付与
するロードビームと、このロードビームをポジショナ機
構に接続するためのスペーサマウントから構成されてい
る。

【０００３】浮上型の磁気ヘッド支持機構の場合、一般
的にスライダは磁気ディスク（記録媒体）の高速回転に
より生じる空気粘性流を、磁気ディスクに対向する側に
設けられたＡＢＳ（Air Bearing Surface）面で受け
て、空気膜が形成されることにより磁気ディスク上を数
十〔ｎｍ〕の微小隙間を有して浮揚する。

【０００４】このとき、スライダが安定した浮上隙間を
維持するためには、フレクシャ部材のスライダ支持剛性
（ロール／ピッチ剛性）を抑制して、浮上運動の柔軟性
を確保しておく必要がある。

【０００５】一方、磁気ディスク装置でのデータアクセ
スの高速化を実現するためには、磁気ヘッドの高速且つ
高精度な位置決め動作が不可欠であり、ロータリーアク
チュエータ方式（Voice Coil Motorによる磁気ヘッド支
持機構の円弧運動により磁気ヘッドを移動させるポジシ
ョナ機構：図１７参照）のインライン型磁気ヘッド支持
機構（インライン型：ロードビーム長手方向軸に対して
スライダ長手方向軸が平行になるように配置した磁気ヘ
ッド支持機構）では、長手方向軸に直交する方向（シー
ク方向）に高い剛性を持つことが要求されている。

【０００６】尚、ロードビーム自体の剛性を向上させ強
化し、振動特性の改善を図った従来例としては、スライ
ダに押圧荷重を付与するための荷重曲げ部を除いたロー
ドビーム中位に、リブ１１８ａを貼り付けたもの（図２
３：特開平６−２８８０１号公報）や、荷重曲げ部にリ
ブ１１８ｂ，１１８ｃを貼り付けたもの（図２４，図２
５：特開昭６２−２２２４７２号公報）などがあり、ま
た荷重曲げ部にも左右両側にフランジ部１１８ｄを設け
ている例（図２６：特開昭６２−２２２４７２号公報）
もある。

【０００７】また、従来のインライン形磁気ヘッド支持
機構の一例を図１８に示す。図中、符号１０２はロード
ビーム，符号１０３はフレクシャ部材，符号１０４はス
ライダ，符号１０５はスペーサマウント，符号１０６は
フランジ，符号１０７は荷重曲げ部，符号１０８は磁気
ヘッド，符号１０９はピボットである。

【０００８】この磁気ヘッド支持機構は、スペーサマウ
ント１０５において図示せぬポジショナ機構に接続さ
れ、磁気ディスク（図１７参照）の指定トラックへ位置
決め動作が行われる。また、ロードビーム１０２の荷重
曲げ部１０７には、図１９（ａ）に示すように、塑性変
形が施されており、スライダ１０４を磁気ディスク（記
録媒体Ｄ）上に組み込んだときに、スライダ１０４へ所
定の押圧荷重を付与する構造となっている（図１９
（ｂ）参照）。

【０００９】この押圧荷重とＡＢＳ面を流れる空気粘性
流による浮力との釣り合い位置において、スライダ１０
４は磁気ディスク（記録媒体）上を浮揚する。このよう
な磁気ヘッド支持機構のフレクシャ部材１０３には、図
２０（ａ）に示すように、スライダ担持部材１０３に所
定のピボット１０９を有して、スライダ１０４を点支持
するピボット構造と、図２０（ｂ）に示すように、フレ
クシャ部材１０３Ａとロードビーム１０２Ａを一体形成
してピボットを排し、スライダ１０４を面支持するピボ
ットレス構造の２種類がある。

【００１０】従来はスライダ支持剛性に優れたピボット
構造が主流であったが、磁気ディスク装置の小型化や高
速化の進展に伴い、複数の磁気ディスクの相互間に磁気
ヘッド支持機構を組み付ける場合の利便性や、磁気ディ
スク装置が作動している間の動的振動特性に優れるピボ
ットレス構造のフレクシャ部材も多く採用されるように
なってきた。

【００１１】また、高ＴＰＩ（Track Par Inch）に対応
したＭＲ（Magneto Resistive）ヘッドの搭載等を考慮
して、図２１に示すように、多数本の信号線１１６Ｂが
ロードビーム１００Ｂの表面に薄膜形成された配線一体
型サスペンションなども提案されている。この配線一体
型サスペンションは、パターン加工の都合上フレクシャ
部材１１０Ｂとロードビーム１００Ｂは一体構成となっ
ている必要があるため、配線一体型サスペンションでも
ピボットレス構造が利用されている。

【００１２】また、磁気ディスク（記録媒体）を多数枚
積層した磁気ディスク装置に対し、ＨＧＡ（Head Gimba
l Assembly）を組み込む場合には、所定のクランプ治具
等によって、たわみを規制された複数の磁気ヘッド支持
機構からなる磁気ヘッド組立体に、専用の磁気ヘッド挿
入用治具（アッセー治具）をあて、ロードビームをさら
に撓ませてクランプ治具を解放し、その状態のまま磁気
ヘッドを磁気ディスク上に移動して、しかる後に磁気ヘ
ッド挿入用治具を抜き去ってロードビームのたわみを解
放し、磁気ヘッドを搭載したスライダを磁気ディスク上
に組み込む実装方法を採っている。

【００１３】しかし、現在のように磁気ディスク自体の
実装密度の向上と磁気ディスク装置の小型化の要請によ
って、各磁気ディスク相互間の間隔が狭くなると、ロー
ドビームのリフト・クリアランスが不足して、磁気ヘッ
ドを磁気ディスク上に組み込むのが困難となってきてい
る。このように狭い磁気ディスク間の磁気ヘッド実装に
おいては、できる限り簡易かつ省スペースで磁気ヘッド
を磁気ディスク上に実装できるような磁気ヘッド挿入方
法が要求されている。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来例には以下のような不都合があった。即ち、ピボ
ットレス構造のフレクシャ部材を有する磁気ヘッド支持
機構では、スライダ押圧荷重はピボットではなくフレク
シャ部材を介して付与されるため、大きな押圧荷重を与
えた場合には、フレクシャ部材自体の変形による荷重ロ
ス（荷重逃げ）が生じることがある。したがって、図２
１に示すような、配線一体型サスペンション等に用いら
れるフレクシャ部材／ロードビーム一体形成のピボット
レス構造の磁気ヘッド支持機構では、特に軽押圧荷重設
計が要求されている。

【００１５】具体的にいうと、従来のピボット構造の磁
気ヘッド支持機構においては、約３．５〜５．０ｇｆ程
度の押圧荷重で設計されているのに対して、配線一体型
サスペンション（ピボットレス構造）では、現在約０．
５〜１．０ｇｆ前後の押圧荷重設計となっている。この
ような磁気ヘッド支持機構の軽荷重設計は、磁気ディス
クの高記録密度化のためのスライダ小型化設計や、低浮
上化要求に関連して重要な要素技術となっている。

【００１６】即ち、スライダの押圧荷重の抑制は、磁気
ディスク浮き上がり特性の改善といった有利な点をもた
らす一方で、空気膜剛性の低下や媒体離脱加速度の低下
といった不利な点も生じさせる。具体的には、空気膜剛
性の低下はスライダの磁気ディスクの動きに対する追従
性能の低下を招き、また媒体離脱加速度の低下は装置停
止時の耐衝撃性を悪化させる。

【００１７】現在では、負圧利用型スライダの開発など
によって、空気膜剛性の低下に伴う問題は解決が図られ
つつある。しかし、媒体離脱加速度は、次の数式（１）
に示すように、スライダ押圧荷重と比例関係にあるた
め、耐衝撃性に優れた磁気ヘッド支持機構を従来の手法
を用いて軽荷重で設計することは困難であった。

【００１８】Ａｃｃ＝Ｆ／（Ｍ＋ｍ）・・・・・・・・・・・・（１）Ａｃｃ：媒体離脱加速度Ｆ：スライダ押圧荷重Ｍ：磁気ヘッド支持機構の等価質量ｍ：スライダ質量

【００１９】一方、磁気ディスクにおいて、１０〔Ｇｂ
／ｉｎ²〕以上の高記録密度化を実現するために、いわ
ゆるニアコンタクト・スライダやコンタクト・スライダ
等の接触型スライダの開発も進められている。ニアコン
タクト・スライダでは、スライダの浮上量をグライドハ
イト・レベル（２０〔ｎｍ〕程度）に抑制し、データ読
み込み性の向上を図っている。

【００２０】しかし、ニアコンタクト・スライダを用い
る場合には、上記したように浮上量が僅かである一方、
スライダの浮上は非定常的なものであり、磁気ディスク
のトラック位置やヨー角によっては、スライダが記録媒
体に接触する。このため、記録媒体との衝突あるいは摺
動による磁気ヘッドの損壊や接触摩擦による記録データ
の熱的不安定を抑えるべく、ニアコンタクト・スライダ
では押圧荷重を従来の浮上型磁気ヘッドスライダより遥
かに軽い押圧荷重で設計しなければならない。

【００２１】また、磁気ヘッドを磁気ディスク（記録媒
体）と常時接触摺動させながらデータの記録・再生を行
うコンタクト・スライダの場合でも、磁気ヘッドの安定
した接触追従を損なわない範囲で摩耗損失を低減するた
めの超軽荷重設計（最高数十〔ｍｇｆ〕）が要求されて
いる。これら接触型のスライダを搭載した磁気ヘッド支
持機構（コンタクト・サスペンション：図２２参照）で
も、軽荷重設計による媒体離脱加速度の低下が磁気ディ
スク装置の耐衝撃性を大きく損なっている。

【００２２】

【発明の目的】本発明は、上記した従来例の有する不都
合を改善し、特に、十分な耐衝撃性を確保すると共に、
充分なスライダ支持剛性を確保できる磁気ヘッド支持機
構及びこれを有する磁気ディスク装置の組立方法を提供
することを、その目的とする。

【００２３】

【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、請求項１記載の発明では、磁気ヘッドを搭載し
たスライダを担持する短冊状のスライダ担持部材と、こ
のスライダ担持部材を囲むように配設されて当該スライ
ダ担持部材を接合部位を介してその長手方向の一端部で
片持ち梁状に支持するフレクシャ部材と、このフレクシ
ャ部材を囲むようにして所定の保持部位を介して保持す
る長板状のロードビームとを備え、スライダ担持部材と
フレクシャ部材との間の接合部位にバネ特性を持たせ且
つスライダ担持部材をロードビームに対して塑性変形に
より傾斜させる、という構成を採っている。

【００２４】以上のように構成することにより、接合部
位にはバネ特性が与えられているので、記録媒体の姿勢
変化に対応して、スライダの姿勢が柔軟に変化できる。
また、ロードビーム自体は充分な剛性が確保されている
ので、いわゆるシークが充分確保される。

【００２５】また、請求項２記載の発明では、スライダ
担持部材とフレクシャ部材との相互間にスライダを囲む
ように第１のＵ字状切り欠き部を形成すると共に、フレ
クシャ部材とロードビームとの相互間に、ロードビーム
の長手方向中心軸に対して対称で且つスライダを囲むよ
うに２つの第２のＵ字状切り欠き部を形成するという構
成を採り、その他の構成は請求項１記載の発明と同様で
ある。

【００２６】以上のように構成することにより、スライ
ダのピッチング方向の姿勢変化は接合部位のバネ特性で
許容され、一方、ロール方向の姿勢変化は保持部位によ
って許容される。

【００２７】請求項３記載の発明では、磁気ヘッドを搭
載したスライダを担持する短冊状のスライダ担持部材
と、このスライダ担持部材を囲むように配設されて当該
スライダ担持部材を接合部位を介してその長手方向の一
端部で片持ち梁状に支持するフレクシャ部材と、このフ
レクシャ部材を囲むようにして所定の保持部位を介して
保持する長板状のロードビームとを備え、スライダ担持
部材をロードビームに対して傾斜させ、スライダ担持部
材とフレクシャ部材との相互間にスライダを囲むように
第１のＵ字状切り欠き部を形成すると共に、フレクシャ
部材とロードビームとの相互間にフレクシャ部材を囲む
ように第２のＵ字状切り欠き部を形成し、スライダ担持
部材とフレクシャ部材間の接合部位をロードビームの長
手方向の一端部側に設けると共に、フレクシャ部材とロ
ードビームとの保持部位をロードビームの長手方向の他
端部側に設け、接合部位及び保持部位の少なくともいず
れか一方に、バネ特性を持たせるという構成を採る。

【００２８】以上のように構成されたことにより、接合
部位及び保持部位の両点の少なくともいずれか一方にバ
ネ特性が持たされており、記録媒体の姿勢変化に対して
スライダの姿勢が柔軟に変化しうる。

【００２９】更に、請求項４記載の発明では、請求項
１，２又は３記載の発明において、磁気ヘッド支持機構
を複数の磁気ディスク相互間に設置する際に、スライダ
担持部材を押圧することにより、スライダ担持部材の傾
斜を抑制してロードビームと略同一面となるようにし、
しかる後、磁気ヘッド支持機構を磁気ディスク相互間に
挿入するという磁気ディスク装置の組立方法を採り、そ
の他の構成は請求項１，２又は３記載の発明と同様であ
る。

【００３０】

【発明の実施の形態】次に本発明の一実施形態を図面を
参照しながら詳細に説明する。

【００３１】〔第１の実施形態〕本発明の第１の実施形
態を図１ないし図４に基づいて説明する。

【００３２】本実施形態にかかる磁気ヘッド支持機構で
は、磁気ヘッド８を搭載したスライダ４を担持する短冊
状のスライダ担持部材１０と、このスライダ担持部材１
０を囲むように配設されて当該スライダ担持部材１０を
接合部位７を介してその長手方向の一端部で支持するフ
レクシャ部材３と、このフレクシャ部材３を囲むように
して所定の保持部位（フレクシャアーム）１１を介して
保持する長板状のロードビーム２とを備え、スライダ担
持部材１０とフレクシャ部材３との間の接合部位７に、
バネ特性を持たせ且つスライダ担持部材１０をロードビ
ーム２に対して傾斜させる、という構成を採っている。

【００３３】以下詳細に説明すると、図１に示す本発明
の第１の実施形態によれば、磁気ヘッド支持機構（サス
ペンション）は、磁気ヘッド８を搭載したスライダ４を
支持するフレクシャ部材３と、フレクシャ部材３を保持
するロードビーム２と、ロードビーム２をいわゆるポジ
ショナ機構（図示略）へ接合するためのスペーサマウン
ト５により構成される。

【００３４】このとき、ロードビーム２のスライダ４の
取り付け側先端部（以下「自由端側」という）には、一
対のＵ字状切り欠き部９ｂ（第２のＵ字状切り欠き部）
がロードビーム２の長手方向中心軸に対して対称で且つ
スライダ４を囲むように、相互に向かい合う形で設定さ
れている。このとき、スライダ担持部材１０，フレクシ
ャ部材３及びロードビーム２とは１枚の薄板で一体形成
されている。

【００３５】Ｕ字状切り欠き部９ｂの幅は、打ち抜き加
工で成形する場合には約１００〔μｍ〕以上，いわゆる
ウエットエッチング法で成形する場合には約５０〔μ
ｍ〕以上を確保しておく必要がある（いずれも板厚が２
５〔μｍ〕程度の場合）。

【００３６】フレクシャ部材３は、ロードビーム２との
相互間に設けられたフレクシャアーム１１によって保持
されている。より詳しくは、ロードビーム２の長手方向
中心軸に沿った前後１本ずつのフレクシャアーム１１に
よってロードビーム２に保持される構成になっている。
このようにして形成された繭型のフレクシャ部材３の中
央部には、ロードビーム２の自由端側に向かって開口部
を持つもう１つのＵ字状切り欠き部９ａ（第１のＵ字状
切り欠き部）が設定されており、これによりフレクシャ
部材３の内部には短冊状（又は舌形）のスライダ担持部
材１０が形成される。

【００３７】また、舌形のスライダ担持部材１０の中央
部には、磁気ヘッド８を搭載したスライダ４が接着され
ている。そして、舌形のスライダ担持部材１０の接合部
位７には、所定の曲げ加工が施されており、またバネ特
性が持たされている。このため、図２ないし図４に示す
ように、スライダ担持部材１０はロードビーム２の面に
対して所定の傾斜角を有している。そして、上記した曲
げ加工により、スライダ４のピッチ運動が許容され、ま
た繭形のフレクシャ部材３を支持する前後１本ずつのフ
レクシャアーム１１の捻れにより、スライダ４のロール
運動が支持されて、フレキシブルなスライダ支持剛性が
得られている。

【００３８】ここで、図示しない磁気ディスク装置の作
動中において、スライダ４に十分な媒体追従性能を持た
せるためには、スライダ担持部材１０及びフレクシャア
ーム１１の幅を細く設定し、スライダ４に対する支持剛
性を抑制する必要がある。しかし一方で、フレクシャア
ーム１１を過度に細くした場合には、いわゆるシーク剛
性が低下する。ここで、シーク剛性とは、ロードビーム
２が磁気ディスク（図示略）上をシークするときの剛性
をいう。尚、ロードビーム２の左右両側にはスペーサマ
ウント５の取り付け位置から自由端までにわたり、連続
してフランジ６を設定し十分な剛性を確保している。

【００３９】尚、図５に示すような、配線一体型の磁気
ヘッド支持機構（配線一体型サスペンション）への適用
を考慮する場合、配線１６のパターニングの関係上、配
線１６が通過する側のフレクシャアーム１１の幅及びス
ライダ担持部材１０の接合部位７の幅ともに、少なくと
も０．４ｍｍ以上（配線が４本の場合）を確保しておく
ことが望ましい。

【００４０】また、従来はロードビームのスペーサマウ
ント側（以下「固定端側」という）に設定されていた荷
重曲げ部（図１９参照）を、図１に示すように、本発明
ではロードビーム２から排除して、フレクシャ部材３と
スライダ担持部材１０との接合部位７において新たに設
定している。

【００４１】仮に、板厚２５〔μｍ〕のステンレス鋼
（ＳＵＳ３０４）でスライダ担持部材１０及びフレクシ
ャ部材３を構成する場合には、接合部位７の幅をスライ
ダ幅の３０％程度に合わせて約１〔ｍｍ〕に設定した場
合、押圧荷重を１ｇｆ，スライダ４の荷重の作用点から
接合部位７までの距離を２〔ｍｍ〕とすると、接合部位
７の曲げ角（たわみ角）は概算で約３〔ｄｅｇ〕程度
（たわみ量約１０４μｍ）となる。

【００４２】また、十分に柔軟なフレクシャ部材３のピ
ッチ剛性を得るために、スライダ担持部材１０の接合部
位７の幅を狭めて０．４〔ｍｍ〕程度まで細く設定した
場合には、接合部位７の曲げ角（たわみ角）は約１１．
２〔ｄｅｇ〕程度（たわみ量２６０μｍ）となる。

【００４３】このように、バネ特性を持たせた接合部位
７をロードビーム２から排除し、フレクシャ部材３とス
ライダ担持部材１０との間に設定することにより、ロー
ドビーム２自体はの剛性を充分に確保する設計ができる
と共に、スライダ担持部材１０を小型に形成できるた
め、〔従来の技術〕の欄の数式（１）に示した磁気ヘッ
ド支持機構の等価質量を小さく抑制することができ、ス
ライダを軽荷重で設計した場合でも、媒体離脱加速度を
大きく設定でき、耐衝撃性に優れた磁気ヘッド支持機構
を設計することができる。

【００４４】本実施形態においては、フレクシャ部材３
は前後左右で対称となっているが、スライダ支持剛性の
最適化設計やスライダ担持部材１０の荷重曲げ設計によ
っては、フレクシャ部材３を保持する２本のフレクシャ
アーム１１の前後長やアーム幅を変えてみてもよい。ま
た、ロードビーム２の左右両側には、上記したようにロ
ードビーム２の固定端側から自由端側までフランジ６が
設定され剛性が高められている。

【００４５】この場合、従来ロードビーム２に設定して
いた荷重曲げ部は完全に排除し、ロードビーム２はポジ
ショナ機構に接続されるスペーサマウント５側（固定端
側）から自由端側までフレクシャ部材３を除いてほぼ剛
体として機能するようにしている。これにより、従来か
ら問題視されていたロードビーム２の荷重曲げ部による
いわゆるバンプ変形や、Z‐Height変動といった振動特
性悪化要因（主に捻れ振動のゲイン増加）を排除するこ
とができる。

【００４６】次に、磁気ヘッド支持機構の変形例につい
て説明する。先ず、図６に示す第１の変形例では、上記
した実施形態におけるロードビーム２の左右両側のフラ
ンジ部６を排除し、代わりにロードビーム２ｂの板厚を
厚くして剛性を強化している。一方、フレクシャ部材３
ｂにはミリング加工を施し、板厚を部分的に薄くして
（ハーフエッチング加工）スライダ支持剛性を抑制し、
柔軟性を確保している。

【００４７】例えば、スライダ・スペーサマウント中心
間距離が１１〔ｍｍ〕程度のショートタイプの磁気ヘッ
ド支持機構であれば、ロードビーム２ｂの板厚は７６
〔μｍ〕以上を確保しておけば、フランジを装備しなく
ても十分なロードビームの剛性を得ることができる。ま
た、フレクシャ部材３ｂの板厚は、エッチング加工にお
ける加工精度のバラツキを考慮し、約２５〔μｍ〕程度
に設定しておけば十分に柔軟なスライダ支持剛性を確保
することができる。本変形例は、複数の磁気ディスクを
狭い間隔で実装する場合のように、薄型の磁気ヘッド支
持機構が要求される場合に特に有効である。尚、本変形
例を配線一体型サスペンションに適用する場合は、配線
の損傷を回避するために、配線パターンとは反対側のロ
ードビーム面でハーフエッチングを施さなければならな
い。

【００４８】次に、第２の変形例を図７に示す。本変形
例では、上記した実施形態の磁気ヘッド支持機構おける
フレクシャアームによる２点支持であったものを、ロー
ドビーム２ｃの自由端側で２本，ロードビーム２ｃの固
定端側で１本の計３点支持に変更したものであり、場合
によってはその逆（自由端側に１本、固定端側に２本）
でもよい。

【００４９】これは、良好な振動特性が要求される高速
データアクセス用の磁気ヘッド位置決め機構に対して有
効であり、スライダ４のロール剛性がやや硬くなる場合
があるが、一方で、十分なシーク剛性を得ることができ
るという特徴を有する。

【００５０】次に、第３の変形例を図８に示す。本変形
例では、フレクシャ部材３ｄ内のＵ字状切り欠き部９ｄ
の開口部を、ロードビーム２ｄの固定端側に向けて設定
することにより、スライダ担持部材１０ｄを逆向きに配
置し、バネ特性を有する接合部位７を固定端側に設定し
たものである。これは、主にコンタクトタイプのスライ
ダの磁気ヘッド支持機構として用いられ、磁気ヘッド搭
載側のセンタパッド４ｄが常に記録媒体に安定接触する
ように押圧荷重のモーメント方向を摺動方向に併せてい
る。

【００５１】〔第２の実施形態〕次に本発明の磁気ヘッ
ド支持機構の第２の実施形態について説明する。

【００５２】図９及び図１０は、当該第２の実施形態を
示す平面図および側面図である。各図に示すように、本
実施形態の磁気ヘッド支持機構では、スライダ担持部材
１０とフレクシャ部材３ｆとの相互間にスライダ４を囲
むように第１のＵ字状切り欠き部９ｃを形成すると共
に、フレクシャ部材３ｆとロードビーム２ｆとの相互間
にフレクシャ部材３ｆを囲むように第２のＵ字状切り欠
き部９ｄを形成し、スライダ担持部材１０とフレクシャ
部材３ｆ間の接合部位７ｆ１をロードビーム２ｆの長手
方向の一端部側に設けると共に、フレクシャ部材３ｆと
ロードビーム２ｆとの保持部位７ｆ２をロードビーム２
ｆの長手方向の他端部側に設け、接合部位７ｆ１及び保
持部位７ｆ２の少なくともいずれか一方に、バネ特性を
持たせたことを特徴とし、その他の構成は第１の実施形
態と同様である。

【００５３】以下詳細に説明すると、本実施形態にかか
る磁気ヘッド支持機構では、図９に示すように、ロード
ビーム２ｆの自由端領域に、Ｕ字状切り欠き部９ｄの開
口部を固定端側に向けるように設定されて舌形（又は短
冊状）のフレクシャ部材３ｆが形成されている。これと
同時に、フレクシャ部材３ｆの中央部には、更に一回り
小さなＵ字状切り欠き部９ｃがロードビーム２ｆの自由
端側に開口部を向けるように設定されて、舌形のスライ
ダ担持部材１０が形成されている。そして、ロードビー
ム２ｆとフレクシャ部材３ｆとの相互間がバネ特性を有
する保持部位７ｆ２となり、またフレクシャ部材３ｆと
スライダ担持部材１０との相互間がバネ特性を有する接
合部位７ｆ１となる。従って、スライダ４に押圧荷重が
加わっていない場合には、図１０（ａ）に示すように、
スライダ４はロードビーム２ｆに対して傾斜を有して同
一面とはならない。一方、磁気ディスク装置（図示略）
に組み込まれて、磁気ディスクと接触した場合には、図
１０（ｂ）に示すように、スライダ担持部材１０がロー
ドビーム２ｆとほぼ同一面状になる。なお、接合部位７
ｆ１と保持部位７ｆ２は、少なくともいずれか一方のみ
バネ特性を有するように構成してもよい。

【００５４】このように、舌形のスライダ担持部材１０
と、それを内包した舌形のフレクシャ部材３ｆ及びロー
ドビーム２ｆとは、一枚の鋼板で一体成形されている。
また、磁気ヘッド８を搭載したスライダ４は、舌形のス
ライダ担持部材１０の中央部において接着される。そし
て、スライダ担持部材１０とフレクシャ部材３ｆとの間
の接合部位７ｆ１及びフレクシャ部材３ｆとロードビー
ム２ｆとの間の保持部位７ｆ２により許容される曲げ及
び捻れによって、スライダ４のロール運動及びピッチ運
動が適切に支持され、フレキシブルなスライダ支持剛性
が与えられている。

【００５５】このとき、スライダ４に十分な媒体追従性
能を持たせるためには、スライダ担持部材１０およびフ
レクシャ部材３ｆの間の接合部位７ｆ１のくびれ幅を細
く設定して、スライダ支持剛性を下げる必要がある。
尚、配線一体型サスペンションへの適用を考慮する場合
には、上記した第１の実施形態と同様に、接合部位７ｆ
１及び保持部位７ｆ２の幅をともに０．４〔ｍｍ〕以上
確保しておけばよい。

【００５６】一方、ロードビーム２ｆの左右両側には、
第１の実施形態と同様、スペーサマウント５の取り付け
位置から、自由端側まで連続したフランジ６を設定して
ロードビーム２ｆの十分なシーク剛性を確保している。
そして、従来はロードビーム２ｆの固定端側に設定され
ていた荷重曲げ部をロードビーム２ｆから排除し、スラ
イダ担持部材１０の接合部位７ｆ１及びフレクシャ部材
３ｆの保持部位７ｆ２の２カ所において設定している。

【００５７】このように、荷重曲げ部をフレクシャ部材
３ｆの内部に設定することにより、ロードビーム２ｆの
剛性を十分確保でき、且つスライダ担持部材１０を小型
に構成できるため、軽荷重でも媒体離脱加速度の大きい
磁気ヘッド支持機構を設計することができる。

【００５８】次に、図１１ないし図１３に基づいて本実
施形態の変形例について説明する。尚、第１の実施形態
で述べた第１ないし第３実施形態との混同を避けるべ
く、以降は第４の変形例ないし第６の変形例として説明
する。

【００５９】先ず、第４の変形例では、第１の実施形態
の第１の変形例の場合と同様に、ロードビーム２ｇのフ
ランジ６を排除し、代わりにロードビーム２ｇの板厚を
厚くしてロードビーム２ｇの剛性を強化している。ま
た、フレクシャ部材３ｇにはハーフエッチングを施し、
これにより板厚を薄くしてスライダ支持剛性を抑制して
いる。

【００６０】次に、第５の変形例について図１２に基づ
いて説明する。当該変形例は、上記した第４の変形例を
簡略化したもので、１本のＵ字状切り欠き部９ｈを、ロ
ードビーム２ｈの自由端側に向かって開口部を持つよう
に設定し、これにより舌形のスライダ担持部材１０ｈを
ロードビーム２ｈと一体で形成している。また、スライ
ダ担持部材１０ｈの接合部位７ｈの１カ所にのみバネ特
性を有する荷重曲げ部を設定し、スライダ４に押圧荷重
を付与するようにしている。本変形例では、スライダ担
持部材１０ｈとフレクシャ部材とを共通化し、スライダ
担持部材１０ｈとロードビーム２ｈとの接合部位７ｈに
のみバネ特性を有する荷重曲げ部を設定している点で、
第１の実施形態とは異なっている。

【００６１】次に、第６の変形例について図１３に基づ
いて説明する。この第６の変形例では、第４の変形例に
おける２本のＵ字状切り欠き部の開口方向を各々逆に設
定して、スライダ担持部材１０の接合部位７ｉの位置及
びフレクシャ部材３ｉの保持部位８ｉの位置を、ロード
ビーム２ｉの長手方向で逆に配置している。これは、前
述の第１の実施形態の第３の変形例と同様に、コンタク
トタイプのスライダとして利用される。

【００６２】〔第３の実施形態〕次に、本発明の第３の
実施形態について、図１４ないし図１６に基づいて説明
する。本実施形態は、第１の実施形態及び第２の実施形
態で説明した磁気ヘッド支持機構を、磁気ヘッド挿入用
治具を用いて磁気ディスク装置の複数の磁気ディスク相
互間に挿入設置する方法である。従って、既に説明した
各変形例をも含め、全ての磁気ヘッド支持機構に適用で
きる。但し、以下は便宜上、第１の実施形態の磁気ヘッ
ド支持機構を例にとって説明する。

【００６３】磁気ヘッドを搭載したスライダ４を磁気デ
ィスク（記録媒体）Ｄ上に組み込む場合には、薄板状の
磁気ヘッド挿入用治具１３を、スライダ４の近傍に固定
端側から挿入し（図１４（ａ））、スライダ担持部材１
０の自由端側に当接させ（図１５（ａ））、その後、垂
直下方に移動させることにより、スライダ担持部材１０
の接合部位７に設けた荷重曲げ部のたわみを規制し、ス
ライダ担持部材１０をロードビーム２と略同一面状にし
（図１５（ｂ））、その状態のまま磁気ヘッド支持機構
を磁気ディスクＤ上に移動させ、しかる後に磁気ヘッド
挿入用治具１３をスペーサマウント５側へ水平移動させ
て、接合部位７の荷重曲げ部のたわみを解放し、スライ
ダ４を磁気ディスクＤ上に接触させる（図１４（ｃ）及
び図１５（ｃ））。

【００６４】このとき、磁気ヘッド挿入用治具１３は、
スライダ４の厚み（０．３０〜０．４３〔ｍｍ〕）より
薄くする必要があるが、あまり薄い場合には、スライダ
４自体の剛性が不足し荷重曲げ部のたわみを規制するこ
とができなくなる。通常１．０〜３．５〔ｇｆ〕程度の
荷重ならば１００〔μｍ〕程度の板厚で十分である。

【００６５】また、磁気ヘッド挿入用治具１３をスライ
ダ担持部材１０に当接させスライダ４を押さえ込む都合
上、スライダ担持部材１０の接合部位７の逆側の端部に
は、磁気ヘッド挿入用治具１３が充分接触しうる程度の
長さ（ラッチスペース）を確保しておく必要がある。具
体的には０．５〔ｍｍ〕程度の長さがあれば十分である
が、磁気ヘッド挿入用治具１３がスライダ４に接触する
ことを回避するために、１〜２〔ｍｍ〕程度のスペース
をとる必要がある。

【００６６】また、スライダ４を磁気ディスク（記録媒
体）Ｄ上に組み込むときに、ロードビーム２と略同一面
以上に押さえ込む必要がある場合には、図１６に示すよ
うに、ラッチスペースに所定の段差部１０ａを設け、ス
ライダ４のたわみ量を調節するようにすればよい。な
お、本実施形態における磁気ヘッド挿入用治具１３は通
常クランプ治具として併用できるため、磁気ヘッドの組
み込み作業性は格段に向上する。すなわち、磁気ヘッド
挿入用治具１３を複数枚平行に配置して構成される櫛形
の治具によって、複数枚の磁気ヘッド支持機構からなる
ＨＧＡ組体の各々の接合部位の荷重曲げ部をあらかじめ
規制しておき、その状態のままＨＧＡ組体を磁気ディス
ク（記録媒体）間に実装し、櫛形の治具をロードビーム
固定端側へ水平移動させてＨＧＡ組体から抜き去って接
合部位のたわみを解放し、複数の磁気ヘッドを一斉に磁
気ディスク上に当接させることで容易に組み込み作業が
完了する。

【００６７】これは、ロードビームに設定されていた荷
重曲げ部を排除し、これをフレクシャ部材の内部に設定
したことに起因し、従来用いられていたロードビームを
水平位置に固定するためのクランプ治具が不要となり、
これがために可能となる簡便な磁気ヘッド支持機構の挿
入方法である。

【００６８】

【発明の効果】本発明の磁気ヘッド支持機構によれば、
媒体離脱加速度や動的振動特性に多大な影響を与えるロ
ードビームの荷重曲げ部を、フレクシャ部材の内部に設
定することにより、配線一体型サスペンションやコンタ
クトサスペンションに代表される軽荷重設計の磁気ヘッ
ド支持機構でも優れた耐衝撃性能を確保することができ
ると同時に、スライダ支持剛性を低く押さえたまま高い
シーク剛性を確保することができるようになる。このた
め、磁気ディスク装置において良好な振動特性が得られ
且つ磁気ディスク装置の高速化・高ＴＰＩ化に対応する
ことができる、という優れた効果を生じる。

【００６９】また、本発明の磁気ヘッド支持機構を記録
媒体上へ組み込む際の作業性が大幅に向上するため、生
産性の向上に寄与することができる、という優れた効果
を生じる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態を示す平面図である。

【図２】図１に開示した磁気ヘッド支持機構の側面図を
示し、図２（ａ）はアンロード（無荷重）状態を示し、
図２（ｂ）はロード（荷重）状態を示す。

【図３】図１に開示した磁気ヘッド支持機構のスライダ
を中心とした領域を示す平面図である。

【図４】図３に開示した磁気ヘッド支持機構のスライダ
領域を示す斜視図であり、図４（ａ）はアンロード状態
を示し、図４（ｂ）はロード状態を示す。

【図５】配線一体型磁気ヘッド支持機構を示す平面図で
あり、図５（ａ）は全体図を示し、図５（ｂ）はスライ
ダを中心とした領域を示す。

【図６】本発明の第１の変形例を示す図であり、図６
（ａ）は平面図、図６（ｂ）は側面図、図６（ｃ）はス
ライダを中心とした領域を示す平面図、図６（ｄ）は図
６（ｃ）のＡ−Ａ線の断面図である。

【図７】本発明の第２の変形例を示す図であり、図７
（ａ）は平面図、図７（ｂ）は側面図、図７（ｃ）はス
ライダを中心とした領域を示す平面図である。

【図８】本発明の第３の変形例を示す図であり、図８
（ａ）は平面図、図８（ｂ）は側面図、図８（ｃ）はス
ライダを中心とした領域を示す平面図である。

【図９】本発明の第２の実施形態を示す平面図である。

【図１０】図９に開示した磁気ヘッド支持機構の側面図
を示し、図１０（ａ）はアンロード状態を示し、図１０
（ｂ）はロード状態を示す。

【図１１】本発明の第４の変形例を示す図であり、図１
１（ａ）は平面図、図１１（ｂ）は側面図、図１１
（ｃ）はスライダを中心とした領域を示す平面図、図１
１（ｄ）は図１１（ｃ）のＢ−Ｂ線の断面図である。

【図１２】本発明の第５の変形例を示す図であり、図１
２（ａ）は平面図、図１２（ｂ）は側面図、図１２
（ｃ）はスライダを中心とした領域を示す平面図であ
る。

【図１３】本発明の第６の変形例を示す図であり、図１
３（ａ）は平面図、図１３（ｂ）は側面図、図１３
（ｃ）はスライダを中心とした領域を示す平面図であ
る。

【図１４】本発明の第３の実施形態を示す平面図であ
り、図１４（ａ）は磁気ヘッド挿入用治具を挿入する状
態を示し、図１４（ｂ）は磁気ヘッド挿入用治具でスラ
イダ担持部材を押圧する状態を示し、図１４（ｃ）は磁
気ヘッド挿入用治具を抜き取る状態を示す図である。

【図１５】図１４に開示した磁気ディスク装置の組立方
法を示す側面図であり、図１５（ａ）は磁気ヘッド挿入
用治具を挿入する状態を示し、図１５（ｂ）は磁気ヘッ
ド挿入用治具でスライダ担持部材を押圧する状態を示
し、図１５（ｃ）は磁気ヘッド挿入用治具を抜き取る状
態を示す図である。

【図１６】図１５に開示した磁気ディスク装置の組立方
法の変形例を示す図であり、図１６（ａ）は磁気ヘッド
挿入用治具を挿入する状態を示し、図１６（ｂ）は磁気
ヘッド挿入用治具でスライダ担持部材を押圧する状態を
示し、図１６（ｃ）は磁気ヘッド挿入用治具を抜き取る
状態を示す図である。

【図１７】ロータリーアクチュエータ方式の磁気ヘッド
支持機構を示す平面図である。

【図１８】従来例を示す平面図である。

【図１９】従来の磁気ヘッド支持機構側面図を示し、図
１９（ａ）はアンロード状態を示し、図１９（ｂ）はロ
ード状態を示す。

【図２０】従来のロードビームを示す斜視図であり、図
２０（ａ）はピボットタイプ、図２０（ｂ）はピボット
レスタイプを示す。

【図２１】従来の配線一体型磁気ヘッド支持機構を示す
斜視図であり、図２１（ａ）はスライダが装着されてい
ない側を示し、図２１（ｂ）はスライダが装着されてい
る側をそれぞれ示す。

【図２２】従来のコンタクトタイプの磁気ヘッド支持機
構を示す図であり、図２２（ａ）は平面図、図２２
（ｂ）はコンタクトスライダの平面図、図２２（ｃ）は
磁気ヘッド支持機構の側面図を示す。

【図２３】従来の高剛性磁気ヘッド支持機構を示す図で
ある。

【図２４】従来の他の高剛性磁気ヘッド支持機構を示す
図である。

【図２５】従来の他の高剛性磁気ヘッド支持機構を示す
図である。

【図２６】従来の他の高剛性磁気ヘッド支持機構を示す
図であり、図２６（ａ）は平面図を示し、図２６（ｂ）
は側面図を示す。

【符号の説明】

２ロードビーム３フレクシャ部材４スライダ６フランジ７接合部位８磁気ヘッド９ａＵ字状切り欠き部９ｂＵ字状切り欠き部１０スライダ担持部材１１保持部位（フレクシャアーム）

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】磁気ヘッドを搭載したスライダを担持す
る短冊状のスライダ担持部材と、このスライダ担持部材
を囲むように配設されて当該スライダ担持部材を接合部
位を介してその長手方向の一端部で片持ち梁状に支持す
るフレクシャ部材と、このフレクシャ部材を囲むように
して所定の保持部位を介して保持する長板状のロードビ
ームとを備え、前記スライダ担持部材とフレクシャ部材との間の接合部
位にバネ特性を持たせ且つ前記スライダ担持部材を前記
ロードビームに対して塑性変形により傾斜させたことを
特徴とする磁気ヘッド支持機構。
【請求項２】前記スライダ担持部材とフレクシャ部材
との相互間に前記スライダを囲むように第１のＵ字状切
り欠き部を形成すると共に、前記フレクシャ部材とロー
ドビームとの相互間に、前記ロードビームの長手方向中
心軸に対して対称で且つ前記スライダを囲むように２つ
の第２のＵ字状切り欠き部を形成したことを特徴とする
請求項１記載の磁気ヘッド支持機構。
【請求項３】磁気ヘッドを搭載したスライダを担持す
る短冊状のスライダ担持部材と、このスライダ担持部材
を囲むように配設されて当該スライダ担持部材を接合部
位を介してその長手方向の一端部で片持ち梁状に支持す
るフレクシャ部材と、このフレクシャ部材を囲むように
して所定の保持部位を介して保持する長板状のロードビ
ームとを備え、前記スライダ担持部材を前記ロードビームに対して傾斜
させ、前記スライダ担持部材とフレクシャ部材との相互間に前
記スライダを囲むように第１のＵ字状切り欠き部を形成
すると共に、前記フレクシャ部材とロードビームとの相
互間に前記フレクシャ部材を囲むように第２のＵ字状切
り欠き部を形成し、前記スライダ担持部材とフレクシャ部材間の接合部位を
前記ロードビームの長手方向の一端部側に設けると共
に、前記フレクシャ部材とロードビーム間の保持部位を
ロードビームの長手方向の他端部側に設け、前記接合部位及び保持部位の少なくともいずれか一方
に、バネ特性を持たせたことを特徴とする磁気ヘッド支
持機構。
【請求項４】前記磁気ヘッド支持機構を複数の磁気デ
ィスク相互間に設置する際に、前記スライダ担持部材を
押圧することにより、前記スライダ担持部材の傾斜を抑
制して前記ロードビームと略同一面となるようにし、し
かる後、前記磁気ヘッド支持機構を前記磁気ディスク相
互間に挿入することを特徴とする請求項１，２又は３記
載の磁気ヘッド支持構造を有する磁気ディスク装置の組
立方法。