JPH0628801A

JPH0628801A - ヘッドスライダ支持装置及び加工方法及びディスク装置

Info

Publication number: JPH0628801A
Application number: JP18247092A
Authority: JP
Inventors: Satomitsu Imai; 郷充今井; Kenji Mori; 健次森; Mikio Tokuyama; 幹夫徳山; Takemasa Shimizu; 丈正清水; Tetsuo Masukawa; 哲男益川; Shigeo Nakamura; 滋男中村
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1992-07-09
Filing date: 1992-07-09
Publication date: 1994-02-04

Abstract

(57)【要約】【目的】ディスク記憶装置のヘッド支持機構に関し、
サスペンションばねを薄型化したヘッドスライダ支持装
置及び加工方法及びディスク装置の提供。【構成】サスペンションばね１０の剛体部１１にはリ
ブ１３が設けられ、この部分の剛性を高める働きをして
いる。このリブ１３は一枚の金属板をハーフエッチング
することによって一枚の板材の厚さを変えることにより
成形される。【効果】剛体部のリブによってサスペンションばねは
薄型化でき、ディスクの高密度実装が可能となる。また
リブはサスペンションばねの面外剛性のほか、面内剛性
やねじれ剛性を高める効果もあるので、ヘッド支持系の
高固有振動数化を実現できる。またリブにより、サスペ
ションばねに発生する応力集中を緩和させ、スライダ荷
重のバラツキを低減することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はヘッドスライダ支持装置
及び加工方法及びディスク装置に係り、特にヘッド支持
機構およびその動作を安定させるヘッドスライダ支持装
置及び加工方法及びディスク装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のディスク装置におけるサスペンシ
ョンばねの剛体部は、特開平１−２７７３８０号公報に
記載されているように、薄い金属板をほぼ直角に折り曲
げて形成したフランジによって構成されていた。

【０００３】また、特開昭５９−２１３０６６号公報に
は、複数の板材を重ね合わせることによってサスペンシ
ョンばねの剛体部を構成する方法が述べられている。ま
た特開昭６３−２６１５８４号公報には、重ね板部材に
ハーフエッチングによりリブを設けることにより、サス
ペンションばねに剛体部を成形する方法が述べられてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述のように、サスペ
ンションばねの剛体部は、薄い金属板をほぼ直角に折り
曲げることによってフランジを形成することにより作ら
れていたが、この方法では、機能上十分な面外方向の剛
性を得るためにはある程度のフランジ高さが必要であっ
た。しかしながらディスク装置の高密度実装化に伴って
円板間隔は次第に低減されつつあり、これにともなって
サスペンションバネのロープロフィール化が要求されて
いる。そのため、フランジによって剛体部を構成する従
来の方法では、これを推進することが困難な状況であっ
た。

【０００５】また、サスペンションばねの振動特性にお
いては、上述したフランジによってサスペンションばね
の面外剛性は高められるが、ねじれ剛性や面内剛性は高
められず、逆にねじれモードや面内モードにおいては、
フランジの質量によって固有振動数が低下するという問
題があった。このような固有振動数の低下は、ヘッドの
振動の増加や位置決め動作のためのサーボ帯域の制約に
つながり、ヘッドが情報を読み書きする動作の安定性や
高速化を妨げる原因となっていた。

【０００６】また、サスペンションばねは、スライダの
揚力とバランスさせるための荷重を与える機能をもって
いるが、この荷重はスライダの浮上量に影響するため、
荷重のばらつきはできるだけ小さいことが要求される。
ところが従来は、実装時にサスペンションばねに与えら
れる変位によってフランジ端部に応力が集中しやすく、
この部分に引き起こされた塑性変形が荷重ばらつきの原
因となっていた。

【０００７】本発明の目的は、上記問題点に鑑みなされ
たもので、厚さの薄いサスペンションばねにより記録デ
ィスクの高実装密度及び大容量化を図り、またサスペン
ションばねの加工工程を簡素化し、曲げ角度や、或いは
加工組立て時の応力集中による上下方向剛性のバラツキ
などが低減でき、スライダの安定浮上を実現することの
できるヘッドスライダ支持装置及び加工方法及びディス
ク装置を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、剛体部とスプリング部とから構成され、先
端部はジンバルばねを介して磁気ヘッドスライダが取り
付けられ、後端部は前記スプリング部を介して固定され
るサスペンションばねからなるヘッドスライダ支持装置
において、前記サスペンションばねは、前記剛体部と前
記スプリング部とが、ハーフエッチングによって単一の
部材の厚さを部分的に変えることによって成形されてい
ることを特徴とするものである。また、上記目的は、前
記ヘッドスライダ支持装置を具備し、情報を磁気的ある
いは光学的に記録又は再生するディスク装置により達成
することができる。また、剛体部とスプリング部とから
構成し、先端部はジンバルばねを介して磁気ヘッドスラ
イダを取り付け、後端部は前記スプリング部を介して固
定するサスペンションばねからなるヘッドスライダ支持
装置の加工方法において、前記サスペンションばねは、
単一の板材をハーフエッチングして部分的に異なる板厚
に加工することにより、前記剛体部と前記スプリング部
とを成形することを特徴とするヘッドスライダ支持装置
の加工方法により達成することができる。

【０００９】

【作用】上記構成によれば、単一部材の厚さをハーフエ
ッチングによって部分的に変えることにより、サスペン
ションばねの剛体部に肉厚部またはリブを設けることが
でき、必要な面外方向の剛性が確保され、またサスペン
ションばねの大幅なロープロフィール化が実現できる。
またサスペンションばねの剛体部に設けられた肉厚部ま
たはリブは、サスペンションばねのねじれ剛性や面内剛
性を増加させるはたらきをするので、ヘッド支持系のね
じり振動や面内振動の高固有値化をはかることができ
る。

【００１０】また、サスペンションばねのスプリング部
と剛体部との両者の境界部に、幅方向にリブを設けるこ
とができるので、組立て時やスライダ浮上時に両者の境
界で生ずる応力を集中させにくくすることができる。ま
た、このリブの代わりに、両者の境界を両者の中間の肉
厚にすることにより、サスペンションばねの剛性変化が
連続的になり、応力集中によって引き起こされる塑性変
形を回避することができる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の実施例を説明する前に、まず
参考例を図１８及び図１９を用いて説明する。（参考例）図１８はディスク装置のヘッド支持系の斜視
図、図１９は上面図である。これらの図に示すように、
サスペンションばね１の先端にジンバルばね２を介して
スライダ３が取り付けられている。サスペンションばね
１は剛体部４とスプリング部５とから構成されるが、サ
スペンションばね１の板厚は数１０μｍ程度と薄いた
め、剛体部４は面外方向の高剛性化を実現するため、板
をほぼ直角に曲げ加工することによってフランジ６を形
成している。しかし、この方法はフランジを立てている
ためにサスペンションばね全体の厚さが大きくなり、高
密度実装化のためにディスク間隔を低減することへの障
害となっている。またスプリング部は面外に低剛性であ
るのに対し、フランジ部は高剛性であるため、フランジ
端部７においてサスペンションばねの曲げ加工時や実装
時に応力集中を生じやすく、それによる塑性変形がスラ
イダ荷重のバラツキの原因となっている。

【００１２】そこでこれらの問題点を解決した本発明の
いくつかの実施例を、図面を参照して以下に説明する。
尚、以下の各実施例で同一構造部分はその説明を一部省
略する。（実施例１）図１は本発明の第１の実施例を示す斜視図
である。サスペンションばね１０は剛体部１１とスプリ
ング部１２から構成されており、剛体部１１はリブ１３
と該リブ１３にはさまれた平坦部１４から構成されてい
る。サスペンションばね１０は、リブ１３の表面にマス
クを施した後に残りの部分をハーフエッチングすること
によって、リブ１３の厚さをスプリング部１２および平
坦部１４の板厚よりも大きくすることができる。

【００１３】図２に図１のＡ−Ａ断面図を示す。図示す
るように、本実施例によって、サスペンションばねの厚
さを従来のフランジを用いた場合に比べて小さくするこ
とが可能となる。また配線によるサスペンションばねの
厚さの増加を避けるため、本実施例ではリード線の配線
をプリントシート１５によっておこなっている。

【００１４】図３はサスペンションばねのロープロフィ
ール化に関して、フランジを設ける場合と同等な面外剛
性をリブによって実現するためにリブに必要な高さを計
算して示したものである。フランジの板厚を０．０７６
ｍｍ、高さを０．７ｍｍとすると、リブの幅が１〜２ｍ
ｍの時、高さは０．２ｍｍ程度でよく、高さはフランジ
の場合の約３０％に低減できることがわかる。また本実
施例では、リブ１３の幅を大きくすることによって面内
剛性を高めることができるので、ヘッド支持系の面内モ
ードの高固有振動数化を実現することもできる。

【００１５】（実施例２）図４及び図５に本発明の第２
の実施例を示す。図４は本実施例の斜視図、図５は図４
のＢ−Ｂ断面図で、サスペンションばね２０の下側にリ
ブ２３を設けた場合である。本実施例によってもヘッド
支持系がより薄型化され、第１実施例と同様の作用効果
がある。図中の符号２１は剛体部、２２はスプリング
部、２４は平坦部、２５はプリントシートである。

【００１６】（実施例３）図６及び図７に本発明の第３
の実施例を示す。図６は本実施例の斜視図、図７は図６
のＣ−Ｃ断面図である。本実施例はサスペンションばね
の薄型化と、面内およびねじれ方向の高剛性化のため、
リブをサスペンションばねの両側に設けたものである。
図示するように、サスペンションばね３０の上下両側に
リブ３３が設けられている。リブ３３の厚さはサスペン
ションばねの上下両側で異なっても良い。そのためには
二度のハーフエッチング工程が必要になるが、このよう
に成形されたリブをサスペンションばねの上側で小さく
し下側で大きくすれば、ヘッド支持系をロープロフィー
ル化し、またサスペンションばねの面内剛性を高めるこ
とができる。薄板のハーフエッチングの場合、板のそり
による変形が発生する恐れがあるが、図６の実施例のよ
うに板の両側にリブ３３を設けることによってこれを低
減することが可能となる。図中の符号３１は剛体部、３
２はスプリング部、３４は平坦部、３５はプリントシー
トである。

【００１７】（実施例４）図８及び図９に本発明の第４
の実施例を示す。図８は本実施例の上面図、図９は図８
のＤ−Ｄ断面図である。本実施例はハーフエッチングに
よるそりを防ぐために、サスペンションばね４０の剛体
部４１には、ハーフエッチングによって、サスペンショ
ンばねの幅方向にラダー状にリブ４３が設けられてい
る。このようにラダー状にリブを設けることによって加
工の際に生ずる長さおよび幅の両方向のそりを低減する
ことが可能となる。尚、本実施例では、プリントシート
４５はサスペンションばね４０の側面に設けられてい
る。図中の符号４２はスプリング部、４４は平坦部であ
る。

【００１８】（実施例５）図１０は本発明の第５の実施
例の上面図である。本実施例は図８の第４実施例におい
てリブによって囲まれた部分を中空化したものである。
本実施例では、サスペンションばね５０のリブ５３によ
って囲まれた部分が中空化されて中空部５６となってい
る。このためには２段階のハーフエッチング工程が必要
になるが、軽量化をはかることができる。尚、図中の符
号５１は剛体部、５２はスプリング部、５５はプリント
シートである。

【００１９】ところで、スライダに荷重を負荷すること
はサスペンションばねの機能の一つであるが、荷重にバ
ラツキがあるとスライダの浮上バラツキにつながるた
め、サスペンションばねはできるだけ荷重バラツキの小
さいことが要求される。サスペンションばねの荷重バラ
ツキの原因としては、加工や実装の際に生ずる応力集中
によって引き起こされる塑性変形が原因であるが、この
ようなサスペンションばねの応力集中は、剛性が不連続
に変わるスプリング部と剛体部との境界付近で発生しや
すい。そこでこのような応力集中を回避した実施例を以
下に述べる。

【００２０】（実施例６）図１１は本発明の第６の実施
例を示す上面図である。サスペンションばね６０の剛体
部６１の周囲にリブ６３および６４が設けられている。
これによりスプリング部６２と剛体部６１の境界線近傍
に応力が分布するようになり、応力集中が回避される。
またスプリング部６２と剛体部６１との境界に横たわる
リブ６４の高さを、ハーフエッチングを２回行うことに
よりリブ６３より低くすることによって、サスペンショ
ンばねのスプリング部と剛体部との境界での剛性の不連
続性を低減させ、応力集中をさらに生じにくくすること
ができる。尚、図中の符号６５はプリンシート、６６は
中空部である。

【００２１】（実施例７）図１２は本発明の第７の実施
例の上面図である。本実施例は、サスペンションばね７
０の剛体部７１とスプリング部７２との間に、小さなリ
ブ７６を分布成形したものである。本実施例によれば、
サスペンションばねのスプリング部と剛体部の剛性の変
化を低減させることができる。尚、図中の符号７３は長
さ方向のリブ、７４は平坦部、７５はプリントシートで
ある。

【００２２】これらの図１１又は図１２に示した第６又
は第７実施例は、図１、図４、図６又は図８で示したい
ずれの実施例とも併用することが可能である。また、上
記いずれの実施例に対しても、ジンバルばねをハーフエ
ッチングによってサスペンションばねに一体に設けるこ
とができる。このような実施例を以下に説明する。

【００２３】（実施例８）図１３及び図１４に本発明の
第８の実施例を示す。図１３は本実施例の斜視図、図１
４はジンバルばねの拡大図である。図示するように、サ
スペンションばね８０の剛体部８１にはハーフエッチン
グによってリブ８３が設けられ、剛体部８１の平坦部８
４の先端にハーフエッチングによりジンバルばね８７が
成形されている。ジンバルばね８７は可撓部８７Ａおよ
びスライダ３との接着部８７Ｂから構成されるが、ジン
バルばねは面外方向には低剛性であることが必要なた
め、ジンバルばねの可撓部８７Ａの板厚はスプリング部
８２よりも薄い方が望ましい。

【００２４】これを実現するためには、まずサスペンシ
ョンばね８０の剛体部８１のリブ８３をマスクして残り
の部分をハーフエッチングした後、ジンバルばねの可撓
部８７Ａを除いた部分にマスクを施し、再度ハーフエッ
チングすればよい。ジンバルばね８７のスライダ接着部
８７Ｂはハーフエッチングしてもしなくてもよいが、ハ
ーフエッチングせずに板厚を厚いままにしておけば、ジ
ンバルばねとスライダとの接着の作業性が向上する。図
中の符号８５はプリントシートである。

【００２５】（実施例９）図１５は本発明の第９の実施
例を示すもので、サスペンションばねに一体成形された
ジンバルばね部分を拡大した図である。ジンバルばねの
スライダ取付け部の板厚を厚くすることによって、サス
ペンションばねとスライダとの干渉を防ぐようにしたも
のである。図に示すように本実施例は、まず第一回のエ
ッチングにより中空部９６を成形し、次にジンバルばね
の可撓部９７Ａとサスペンションばね中央の平坦部９４
のハーフエッチングを行うことによって実現できる。ス
ライダ３を取付けるジンバルばねの舌状部９７Ｂの板厚
はサスペンションばね９０のリブ９３と同じ厚さにな
り、スライダ３とサスペンションばね９０との間にはリ
ブの高さに相当するすきまができるので両者の干渉をさ
けることができる。

【００２６】また、本実施例では、サスペンションばね
９０のリブ９３はサスペンションばねの先端側にも設け
られており、ジンバルばねを取り囲むような形状になっ
ている。これはジンバルばねの可撓部９７Ａを保護する
役目をはたす。従来はスライダとサスペンションばねま
たはジンバルばねとの干渉を避けるために、ジンバルば
ねの先端部に段差加工を行っていたが、本実施例ではそ
の必要がなくなった。

【００２７】（実施例１０）図１６に本発明の第１０の
実施例を示す。上記図１５のものではスライダサイズが
大きい場合はサスペンションばねの下側に設けられてい
るリブ９３とスライダ３とが干渉する可能性があるが、
この場合は図１６に示す実施例のようにすることができ
る。本実施例ではサスペンションばね１００の上下両側
にリブ１０３が設けられているが、ジンバルばね１０７
の両側では下側のリブがなく、そのためスライダ３のサ
イズが大きくてもスライダ３とサスペンションばね１０
０との干渉を防ぐことができる。

【００２８】本実施例は、まず第一回のエッチングによ
り中空部１０６を成形し、第二回のエッチングとしてリ
ブ１０３の下側のハーフエッチングと、ジンバルばねの
舌状部１０７Ｂの上側のハーフエッチングおよびジンバ
ルばね可撓部１０７Ａの上下両側のハーフエッチングと
を同時に行うことにより実現できる。このように図１５
および図１６のいずれの実施例も、二回のエッチング加
工で実現することができる。

【００２９】（実施例１１）図１７は本発明の第１１の
実施例を示すもので、ジンバルばねの先端にリード線の
端子を設けることによってヘッドからのリード線を最短
距離で結線できるようにしたものである。磁気ヘッドか
らのリード線の径は数１０μｍ程度であるが、その剛性
によってスライダの安定浮上が妨げられるという問題が
あるため、従来は大きな弧を描くような形状で結線され
ていた。しかしディスクの積層間隔が小さくなると、リ
ード線がディスク面を擦ることにより絶縁が損なわれる
という問題が生じやすい。本実施例はこのような問題を
解決するためのものである。

【００３０】図示するように、サスペンションばね１１
０はリブ１１１と平坦部１１２とからなり、平坦部１１
２の先端部には中空部１１３が成形され、可撓部１１４
Ａ及び舌状部１１４Ｂによりジンバルばね１１４が形成
されている。このジンバルばね１１４の先端に設けた絶
縁層１１５の上に端子１１６を設け、この端子１１６に
ヘッド１１７からのリード線１１８が接続されている。
端子１１６はジンバルばねの舌状部１１４Ｂにおいて接
着されるスライダ１１９のヘッドの端子１２０とは相対
変位が生じないため、端子１１６と端子１２０とを最短
結線することが可能となる。本実施例はＭＲヘッドを使
用する場合としてリード線が４本になる場合を示してい
るが、このような場合に本実施例は特に有効になる。

【００３１】本実施例は、第一回のエッチングにより中
空部１１３を成形し、次にサスペンションばねのリブ１
１１の下側のハーフエッチング、ジンバルばね舌状部１
１４Ｂの上側のハーフエッチングおよびジンバルばね可
撓部１１４Ａの上下両側のハーフエッチングを同時に行
うことによって成形することができる。すなわちエッチ
ングの加工工程は２回でよい。ジンバルばね上の端子１
１６からサスペンションばね１１０側への配線は、ジン
バルばねの可撓部１１４Ａ上にプリントシート１２１の
印刷等の手段により実現することができる。

【００３２】

【発明の効果】本発明のよれば、サスペンションばねの
厚さを小さくできるので、記録ディスクの実装密度を向
上させ、大容量化をはかることができる。また、曲げ加
工によって形成されていたサスペンションばねの剛体部
を、ハーフエッチングを用いることにより、加工工程の
簡素化をはかることができる。また、従来の曲げ加工で
は、曲げ角度などの加工バラツキや、加工や組立て時の
応力集中によるサスペンションばねの上下方向剛性のバ
ラツキなどが問題となっていたが、本発明ではこれらを
低減でき、スライダの安定浮上を実現することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の第１実施例を示す斜視図であ
る。

【図２】図２は図１のＡ−Ａ断面を示す断面図である。

【図３】図３はフランジと同等な面外剛性を得るために
必要な第１実施例のリブの高さを説明する図である。

【図４】図４は本発明の第２実施例を示す斜視図であ
る。

【図５】図５は図４のＢ−Ｂ断面を示す断面図である。

【図６】図６は本発明の第３実施例を示す斜視図であ
る。

【図７】図７は図６のＣ−Ｃ断面を示す断面図である。

【図８】図８は本発明の第４実施例を示す上面図であ
る。

【図９】図９は図８のＤ−Ｄ断面を示す断面図である。

【図１０】図１０は本発明の第５実施例を示す上面図で
ある。

【図１１】図１１は本発明の第６実施例を示す上面図で
ある。

【図１２】図１２は本発明の第７実施例を示す上面図で
ある。

【図１３】図１３は本発明の第８実施例を示す斜視図で
ある。

【図１４】図１４は第８実施例の要部拡大図である。

【図１５】図１５は本発明の第９実施例の説明図であ
る。

【図１６】図１６は本発明の第１０実施例の説明図であ
る。

【図１７】図１７は本発明の第１１実施例の説明図であ
る。

【図１８】図１８は曲げ加工によりフランジを形成した
参考例を示す斜視図である。

【図１９】図１９は参考例の問題点を説明するための上
面図である。

【符号の説明】

１サスペンションばね２ジンバルばね３ヘッドスライダ４剛体部５スプリング部６フランジ７フランジ端部１０、２０、３０、４０、５０、６０、７０、８０サ
スペンションばね１１、２１、３１、４１、５１、６１、７１、８１剛
体部１２、２２、３２、４２、５２、６２、７２、８２ス
プリング部１３、２３、３３、４３、５３、６３、６４、７３、８
３リブ１４、２４、３４、４４、５４、７４、８４平坦部１５、２５、３５、４５、５５、６５、７５、８５プ
リントシート５６、６６中空部７６リブ８７ジンバルばね８７Ａ可撓部８７Ｂスライダ接着部９０、１００サスペンションばね９３、１０３リブ９４平坦部９６、１０６中空部９７、１０７ジンバルばね９７Ａ、１０７Ａ可撓部９７Ｂ、１０７Ｂ舌状部１１０サスペンションばね１１１リブ１１２平坦部１１３中空部１１４ジンバルばね１１４Ａ可撓部１１４Ｂ舌状部１１５絶縁層１１６端子１１７ヘッド１１８リード線１１９スライダ１２０端子１２１プリントシート

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者清水丈正神奈川県小田原市国府津2880番地株式会社日立製作所小田原工場内 (72)発明者益川哲男神奈川県小田原市国府津2880番地株式会社日立製作所小田原工場内 (72)発明者中村滋男神奈川県小田原市国府津2880番地株式会社日立製作所小田原工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】剛体部とスプリング部とから構成され、
先端部はジンバルばねを介して磁気ヘッドスライダが取
り付けられ、後端部は前記スプリング部を介して固定さ
れるサスペンションばねからなるヘッドスライダ支持装
置において、前記サスペンションばねは、前記剛体部と
前記スプリング部とが、ハーフエッチングによって単一
の部材の厚さを部分的に変えることによって成形されて
いることを特徴とするヘッドスライダ支持装置。
【請求項２】請求項１記載のヘッドスライダ支持装置
において、前記サスペンションばねは、前記剛体部がハ
ーフエッチングによって成形されたリブによって構成さ
れていることを特徴とするヘッドスライダ支持装置。
【請求項３】請求項１記載のヘッドスライダ支持装置
において、前記サスペンションばねは、ハーフエッチン
グ加工を繰り返すことにより、３つ以上の異なる厚さを
持つ部分を有していることを特徴とするヘッドスライダ
支持装置。
【請求項４】請求項１記載のヘッドスライダ支持装置
において、前記サスペンションばねは、前記剛体部と前
記スプリング部との境界部に、幅方向のリブ、或いは該
剛体部と該スプリング部との中間の肉厚部が、ハーフエ
ッチングによって成形されていることを特徴とするヘッ
ドスライダ支持装置。
【請求項５】請求項１記載のヘッドスライダ支持装置
において、前記ジンバルばねは、前記サスペンションば
ねに、ハーフエッチングによって一体加工されているこ
とを特徴とするヘッドスライダ支持装置。
【請求項６】請求項１記載のヘッドスライダ支持装置
において、前記ジンバルばねは、スライダ取付け部の板
厚を可撓部よりも厚くして、前記サスペンションばねに
ハーフエッチングによって一体加工されていることを特
徴とするヘッドスライダ支持装置。
【請求項７】請求項１記載のヘッドスライダ支持装置
を具備し、情報を磁気的あるいは光学的に記録又は再生
するディスク装置。
【請求項８】剛体部とスプリング部とから構成し、先
端部はジンバルばねを介して磁気ヘッドスライダを取り
付け、後端部は前記スプリング部を介して固定するサス
ペンションばねからなるヘッドスライダ支持装置の加工
方法において、前記サスペンションばねは、単一の板材
をハーフエッチングして部分的に異なる板厚に加工する
ことにより、前記剛体部と前記スプリング部とを成形す
ることを特徴とするヘッドスライダ支持装置の加工方
法。
【請求項９】請求項８記載のヘッドスライダ支持装置
の加工方法において、前記ジンバルばねを前記サスペン
ションばねに、ハーフエッチングによって一体加工する
ことを特徴とするヘッドスライダ支持装置の加工方法。
【請求項１０】請求項８記載のヘッドスライダ支持装
置の加工方法において、前記ジンバルばねを前記サスペ
ンションばねに、スライダ取付け部の板厚を可撓部より
も厚くして、ハーフエッチングによって一体加工するこ
とを特徴とするヘッドスライダ支持装置の加工方法。