JP3687831B2 - 磁気ヘッド支持機構 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ディスク装置を構成する磁気ヘッド支持機構に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
磁気ディスク装置において磁気ヘッドを搭載した浮上型のスライダは、磁気記録媒体(ここでは単に記録媒体ともいう)の高速回転によって生じる空気粘性流を記録媒体に対向する側のABS(Air Bearing Surface)面で受け、その空気膜潤滑作用により記録媒体表面上を数十nmの微小隙間で浮揚する。このときスライダは、記録媒体のうねりやベアリング振動といった外乱に対して十分な追従性を維持し安定した浮上隙間を保つ必要がある。そのためスライダを保持する磁気ヘッド支持機構は、スライダの浮上姿勢を柔軟に変化できるようにロールピッチ方向の支持剛性を低く抑えた構造でなければならない。
【0003】
またその一方で、データアクセスの高速化を実現するため、磁気ヘッド支持機構は、トラック位置決め方向(シーク方向)においては高いスライダ支持剛性を備えている必要がある。
図11の(A)、(B)、(C)、(D)は、従来の磁気ヘッド支持機構の一例を示す斜視図、部分拡大図、平面図、ならびに分解平面図である。この磁気ヘッド支持機構202は、ロードビーム204、ジンバルスプリング206、スライダ208、スペーサ210、サイドレール212、ピボット214、支持ステージ216、磁気ヘッド218、信号線チューブ220などを含んで構成されている。
【0004】
ジンバルスプリング206の支持ステージ216にはスライダ208が接着されており、ジンバルスプリング206をロードビーム204と接合したとき、支持ステージ216中央(スライダ押圧位置相当)のピボット214がロードビーム先端部と接触しスライダ208を点支持する。
他方、ロードビーム204の左右端にはプレス加工等によりサイドレール212が設けられ、スライダ208に搭載した磁気ヘッド218の信号線チューブ220を保持するとともにロードビーム204の剛性を確保している。
またロードビーム204の基部にはスライダ208に押圧力を付与するための荷重曲げ部236(図11の(C)参照)が設けられている。
この磁気ヘッド支持機構202は、スペーサ210装着箇所において図示せぬポジショナ機構に接続され記録媒体上の指定トラックへ位置決めされる。
【0005】
このような磁気ヘッド支持機構202は、ロードビーム部、ジンバルスプリング部、ならびにスペーサ部の3つの部品から構成されるため3ピース型と呼ばれる。これに対して、ロードビーム部とジンバルスプリング部を一枚の鋼板で一体形成する磁気ヘッド支持機構は2ピース型と呼ばれている。
【0006】
図12に2ピース型の磁気ヘッド支持機構の一例を示す。図12の(A)は2ピース型の磁気ヘッド支持機構の一例を示す斜視図、(B)は断面側面図である。図中、図11と同一の要素には同一の符号が付されている。
2ピース型の磁気ヘッド支持機構224では、ロードビーム部とジンバルスプリング部が連続面となる特徴を生かして磁気ヘッドの信号線をロードビーム226表面に薄膜成形し、ヘッド信号線端子と信号線パターン228をボンディング接続する配線一体方式を採用して組立加工性の向上を図っている。
【0007】
3ピース型の磁気ヘッド支持機構は、一般にジンバルスプリングあるいはロードビームに設けたピボットによってスライダを重心位置もしくはそれに近い任意の設計位置で点支持することにより、押圧荷重をスライダにピンポイントで付与し、かつフレキシブルなスライダの浮上運動(ロールピッチ運動)を可能にすることができる。
一方、2ピース型の磁気ヘッド支持機構は、組立加工性や小形軽量化の点では優位にあるが、構成上ピボットレス構造を余儀なくされるためスライダ姿勢の安定性や磁気ヘッドロード時の荷重逃げなどの点で課題を抱えている。
【0008】
図13は、磁気ヘッド支持機構の位置決め動作の例を示す説明図である。この例はロータリーアクチュエータ方式と呼ばれ、ポジショナ機構230に連結された不図示のVCM(Voice Coil Motor)により磁気ヘッド支持機構203を円弧状に駆動させ磁気ヘッドを記録媒体205上の任意のトラック上へ移動させるものである。ロードビーム232の先端部に装着されたスライダ234は図に示したシーク方向Aへ高速で移動されるため、シーク方向支持剛性を十分確保して高周波数帯域までオフトラック共振が生じないような磁気ヘッド支持機構の設計が要求される。
【0009】
この磁気ヘッド支持機構の振動特性を悪化させる要因として、シーク方向支持剛性の他に荷重曲げ部の変形が挙げられる。3ピース型あるいは2ピース型の磁気ヘッド支持機構は、図11、図12に示したように、ポジショナ接続側のロードビーム基部に荷重曲げ部236を設けている。従来の磁気ヘッド支持機構202、224は、この荷重曲げ部236においてロードビーム232を記録媒体側に向けて塑性変形させており、磁気ヘッド支持機構202、224を記録媒体上に組み込んだとき(ロードしたとき)の荷重曲げ部236の弾性力によりスライダ208に所定の押圧力を負荷する構造になっている。
【0010】
図14の(A)はアンロード時の磁気ヘッド支持機構を示す側面図、(B)はロード時の磁気ヘッド支持機構を示す側面図、(C)は荷重曲げ部を詳しく示す部分拡大側面図である。図中、図11と同一の要素には同一の符号が付されている。
図14に示したように、荷重曲げ部236には磁気ヘッドを記録媒体205上にロードした時に、わずかながらバンプ238が形成され、バンプ量BH/バンプ位置BPで定義されるバンプ238の形状によって磁気ヘッド支持機構202の振動特性、とりわけ捻れ振動によるオフトラックゲインが大きく変動する。
【0011】
図15の(A)、(B)、(C)は、同一構造の磁気ヘッド支持機構の荷重曲げ部に、それぞれ異なるバンプ形状を設定してシーク方向振動特性を実際に測定した結果を示すグラフである。なお、測定に当っては押圧荷重は一定とした。図15の(A)はバンプ量が0.086、バンプ位置が2.075の場合の測定結果を示し、(B)はバンプ量が0.078、バンプ位置が1.825の場合、(C)はバンプ量が0.074、バンプ位置が1.590の場合の測定結果をそれぞれ示している。グラフの横軸は周波数、縦軸は相対ゲインを表している。
この図より、荷重曲げ部236のバンプ量やバンプ位置が変化すると捻れ振動やラテラル振動といった振動モードのオフトラックゲインが増減しているのが確認できる。図中、各ピークP1、P2、P3はそれぞれ2次捻れ振動、ジンバルスプリング捻れ振動、ラテラル振動に対応している。
【0012】
こういった荷重曲げ部のバンプ形状は、組立誤差によるZ−Height(記録媒体上の磁気ヘッド支持機構の高さ)変動やロードビームの板厚・形状変動などによって個々に変化する結果、その最適設計や形状コントロールが容易でない。そのため、このような荷重曲げ部変形の影響を受けにくい磁気ヘッド支持機構の設計が望まれている。
【0013】
磁気ヘッド支持機構を設計する上でのもう一つの重要な課題として耐衝撃性能の確保が挙げられる。コンピュータ機器の小型・パーソナル化、モバイル化により磁気ディスク装置の運搬の機会が増え、また不安定な設置場所での使用頻度が増えるにつれて装置の耐衝撃性能が要求されるようになってきた。磁気ディスク装置の耐衝撃性は、板バネを主要構成要素としてメカニカルな動作を行う磁気ヘッド支持機構の性能に負うところが大きく、そのため耐衝撃性に優れた磁気ヘッド支持機構の開発が求められている。
【0014】
磁気ヘッド支持機構の耐衝撃性能は、主にスライダの媒体離脱加速度と衝突エネルギとで評価できる。スライダの媒体離脱加速度は、[数1]に示すようにスライダの押圧荷重に比例する。
【0015】
【数1】
Acc=F/(M+m)
ただし、Accは媒体離脱加速度、Fはスライダ押圧荷重、Mは磁気ヘッド支持機構の等価質量、mはスライダ質量を表している。
したがって外部からの衝撃に対してスライダの跳躍を抑制するためには(すなわち媒体離脱加速度を上げるためには)磁気ヘッド支持機構の押圧荷重が大きくなるように設計すればよい。しかしながら、高記録密度への要求によりヘッドは低浮上化を余儀なくされており、そのためスライダは小型・軽荷重化の方向で開発されている。
【0016】
例えば記録密度が30Mb/in2の装置においては2mm×1.6mm×0.43mm寸法のスライダを荷重3.5〜5.0gfで押圧し100nm程度で磁気ヘッドを浮上させていたが、近年の3Gb/in2クラスの高記録密度装置においては1.2mm×1.0mm×0.3mm寸法の小形スライダに0.5gf〜1.0gf程度の軽荷重を付与し20〜30nm程度のヘッド浮上を実現している。スライダの小形化は媒体への衝突エネルギを軽減する点で耐衝撃設計に寄与するが、磁気ヘッド支持機構の軽荷重設計は装置の耐衝撃性能を大きく制限する。
【0017】
他方、磁気ディスク装置のさらなる高記録密度化を目指してニアコンタクトスライダやコンタクトスライダの開発も進められている。ニアコンタクトスライダはスライダ浮上量をグライドハイトレベル(10nm以下)まで下げて再生出力の向上を図っているが、この場合スライダの浮上は非定常的なものであり、トラック位置やYaw角によってはスライダが記録媒体に接触する。
そのため、記録媒体との衝突による磁気ヘッドの損壊や摺動摩擦による記録データの熱的不安定を抑えるべく、ニアコンタクトスライダでは押圧荷重を従来の浮上型磁気ヘッドスライダより遥かに軽荷重で設計しなければならない。また磁気ヘッドを記録媒体と常時接触摺動させながらデータの記録・再生をおこなうコンタクトスライダでも、磁気ヘッドの安定した接触追従を損なわない範囲で磨耗損失や摩擦力を低減する超軽荷重(数十mgf以下)の磁気ヘッド支持機構の開発が急務となっている。
【0018】
図16の(A)から(I)は、記録媒体上にロードされた2ピース型の磁気ヘッド支持機構(押圧荷重0.5gf)に外部衝撃荷重が加わったときの磁気ヘッド支持機構の跳躍挙動を数値シミュレーションし、結果を時刻歴応答で示した説明図である。図中、図12と同一の要素には同一の符号が付され、また、(A)から(I)の方向に時間が経過している。
磁気ヘッド支持機構224は磁気記録媒体240と装置カバー242との間に配置され、図16の(A)に示したように、スライダ234は最初、磁気記録媒体240の表面上に正しく配置されている。その状態で、磁気ヘッド支持機構224に対し、上から衝撃が加わり、その後、ロードビーム226およびスライダ208は図16の(B)から(I)のように跳躍する。
【0019】
媒体離脱加速度の小さい軽荷重設計の磁気ヘッド支持機構に外部衝撃が加わった場合、スライダが磁気記録媒体と装置カバーの内面(あるいはベース面)との間で跳躍−衝突を繰り返し、磁気記録媒体とジンバルスプリング(あるいは磁気ヘッド)の双方に深刻なダメージを与える。したがって磁気ヘッド支持機構に対しては、軽荷重でありながら外部衝撃が加わってもスライダの跳躍を抑えられるような、あるいは仮にスライダが跳躍した場合でも衝突ダメージを小さくできるような構造が求められている。
【0020】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はこのような要求を満たすべくなされたもので、その目的は、十分に柔なスライダ支持剛性と十分に剛なシーク剛性とを両立させると共に、耐衝撃性に優れ、しかも従来の荷重曲げ部の変形に伴うオフトラック振動を解消した磁気ヘッド支持機構を提供することにある。
【0021】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため、磁気ヘッドを搭載したスライダと、中央舌部の下面側に前記スライダが固定されたジンバルスプリングと、弾性を有する帯板から成り前記ジンバルスプリングを保持するロードビームとを含む磁気ヘッド支持機構であって、前記ロードビームの先端部には、ロードビーム本体とほぼ同一方向に延在しロードビーム本体より幅が狭く可撓性を有して磁気ヘッドロード時に弾性変形する荷重舌部が形成され、ロードビーム本体は、前記磁気ヘッドロード時に撓まない程度の剛性を有し、前記ジンバルスプリングは前記ロードビーム先端部の下面側に取り付けられ、磁気ヘッドのアンロード時は前記ジンバルスプリングの前記中央舌部が前記ロードビームの前記荷重舌部により下方へ押下され、磁気ヘッドのロード時は前記中央舌部を介して前記荷重舌部を押し返すと同時に該荷重舌部の上方への弾性変形に見合う押圧荷重で前記中央舌部を下方に付勢することを特徴とする。
【0022】
すなわち、従来の磁気ヘッド支持機構のロードビームは上述のように、ロードビーム基部のポジショナ接続部近傍に荷重曲げ部を設け、この荷重曲げ部の弾性力によりスライダに押圧荷重を付与する構造であったの対し、本発明の磁気ヘッド支持機構では、ロードビームの先端部に設けた弾性帯板から成り可撓性を有する荷重舌部によりスライダに付勢する構造となっている。そして、荷重舌部は小型に形成することができ、その結果、軽荷重でかつ耐衝撃性に優れた磁気ヘッド支持機構を実現できる。また、荷重曲げ部の変形に伴う捻れ振動の問題も解消するため、良好な振動特性が得られ、広いサーボ帯域を確保してデータアクセスのいっそうの高速化を図ることができる。
【0023】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態例について図面を参照して説明する。
図1の(A)は本発明による磁気ヘッド支持機構の一例を示す斜視図、(B)は分解斜視図、(C)は平面図である。また、図2の(A)はアンロード時の磁気ヘッド支持機構を示す断面側面図、(B)はアンロード時の磁気ヘッド支持機構の先端部を詳しく示す部分断面側面図、(C)はロード時の磁気ヘッド支持機構を示す断面側面図、(D)はロード時の磁気ヘッド支持機構の先端部を詳しく示す部分断面側面図である。
【0024】
図1に示したように、本実施の形態例の磁気ヘッド支持機構2は、磁気ヘッド4を搭載したスライダ6と、スライダ6が中央舌部8の下面側に固定されたジンバルスプリング10と、弾性を有する薄い1枚の帯板から成りジンバルスプリング10を保持するロードビーム12とを含んでいる。
ロードビーム12の先端部には、ロードビーム本体14とほぼ同一方向に延在しロードビーム本体14より幅が狭く可撓性を有して磁気ヘッドロード時(すなわち磁気ヘッドを磁気記録媒体に対してロードした時)に変形する荷重舌部16が形成され、ロードビーム本体14は磁気ヘッドロード時に撓まない程度の剛性を有している。
【0025】
ロードビーム12の基部側の端部にはスペーサ18が配設され、ロードビーム12はこのスペーサ18を介し、取り付け穴20によって不図示のポジショナ機構に連結される。
ロードビーム12は先端部に、ロードビーム12とほぼ同じ方向に延在する開口22を有し、ロードビーム12の荷重舌部16は、開口22の、ロードビーム12基部側の縁部より開口の内側に突出して形成されている。荷重舌部16は、本実施の形態例では、ロードビーム12の中心線C(図1の(C))上に延在し、この中心線Cに関して対称となっている。荷重舌部16は詳しくは基部側の荷重ビーム24と、先端部に形成され荷重ビーム24より幅広の荷重ステージ26とにより構成されている。
【0026】
ジンバルスプリング10は、典型的なTタイプフレクシャ構造を有し、ロードビーム12の先端部の下面側に取り付けられ、ジンバルスプリング10の中央舌部8を成す支持ステージ28はロードビーム12の荷重ビーム24により下方、すなわち磁気記録媒体(単に記録媒体とも記す)の方向(矢印A)に付勢されている。
ジンバルスプリング10に形成された中央舌部8は、ジンバルスプリング10に形成された開口32(図1の(B))の、ロードビーム12の基部と反対側の縁部よりロードビーム12の基部方向に突出して形成されている。そして、中央舌部8の先端部は、中央舌部8の基部より幅広に形成されて支持ステージ28を成している。
【0027】
ロードビーム12の荷重ステージ26は、下面側に突出する半球状のピボット34(本発明に係わる突起)を有し、ロードビーム12の荷重舌部16はピボット34を介してジンバルスプリング10の支持ステージ28に付勢している。
また、スライダ6は、記録媒体側にABS(Air Bearing Surface)面を向けた状態で、上記支持ステージ28の下面に接着固定されている。
【0028】
ロードビーム12の開口22よりやや基部側の箇所には開口36が形成され、一方、ジンバルスプリング10の、ロードビーム12の基部側の箇所には開口38が形成されている。そして、ジンバルスプリング10は、その開口38がロードビーム12の開口36に一致するようにロードビーム12に対して位置合わせされ、図1の(C)に示した3箇所の溶接点40で例えばレーザスポット溶接を行ってロードビーム12に接合されている。
【0029】
また、ロードビーム12の両側部は、折り曲げられてサイドレール42を形成している。サイドレール42は、本実施の形態例では、スペーサ18の辺部近傍から荷重ステージ26近傍までの範囲に形成されている。ロードビーム12は、本実施の形態例では、その材質や板厚を適切に選定すると共にこのサイドレール42を形成することで必要な剛性が確保されている。
【0030】
このように構成された磁気ヘッド支持機構2は、図2の(A)および(B)に示したように、磁気ヘッド4、したがってスライダ6が記録媒体11から大きく離れているアンロード状態では、ロードビーム12の荷重ステージ26に形成されたピボット34によってジンバルスプリング10の支持ステージ28が押下され、主に中央舌部8が記録媒体11の側に撓んでいる。
【0031】
一方、図2の(C)および(D)に示したように、磁気ヘッド4、したがってスライダ6が記録媒体11上にわずかな隙間を形成して浮上しているロード状態では、スライダ6は記録媒体11に対して平行となり、今度は逆にジンバルスプリング10の支持ステージ28が荷重ステージ26を押し返す。また、荷重舌部16を除いたロードビーム本体14は、磁気ヘッドロード時にも、その剛性により、図2の(C)に示したように撓まない。
【0032】
その結果、ロードビーム12の荷重舌部16、特に荷重ビーム24は、ピボットの高さに対応する量だけ上方(記録媒体11から離れる方向)に撓み、荷重舌部16は、この撓みに見合った押圧荷重でジンバルスプリング10の中央舌部8を下方に付勢する。
そして、ロードビーム12の荷重舌部16、特に荷重ビーム24を本実施例のように微細形状に形成することで、上記押圧荷重を小さくすることができ、ロードビーム本体14の剛性を維持したままでスライダ6に作用する押圧荷重を軽荷重に設定することができる。
【0033】
従来の磁気ヘッド支持機構の場合は、図11などに示したようにロードビーム204の基部に荷重曲げ部236を設け、荷重曲げ部236の弾性変形によりスライダ208に対する付勢力を発生させていた。そして、この荷重曲げ部236を塑性加工により形成するためには、ロードビーム204の荷重曲げ部236の剛性はある程度低くしておく必要がある。しかし、その結果、ロードビーム204全体の剛性が不足して振動特性の悪化や耐衝撃性の低下を招いていた。
また磁気ヘッドロード時に荷重曲げ部236にバンプが発生した場合、荷重曲げ部236から先の捻れ中心軸がずれてしまい低周波数領域からオフトラック振幅が大きくなりサーボ帯域を広くできなくなるといった問題を生じていた。
【0034】
しかし、本実施の形態例の磁気ヘッド支持機構2では、ロードビーム12には従来のように荷重曲げ部は形成されておらず、そしてロードビーム本体14は十分な剛性を有している。したがって、本実施の形態例では次の(1)から(4)の効果が得られる。
(1)スライダ押圧荷重は、ロードビーム12の先端部に形成した荷重ビーム24の寸法(長さ・幅・厚みなど)や、荷重ステージ26に設けたピボット34の高さなどにより設定できるため、高記録密度化を図るべくスライダ押圧荷重を軽荷重に設定した場合でも、ロードビーム本体14の剛性を確保することができ、高速シークによるデータアクセスの高速化を実現できる。
【0035】
図3は、本実施の形態例の磁気ヘッド支持機構2の伝達特性を従来の磁気ヘッド支持機構(2ピース型軽荷重タイプおよび3ピース型高荷重タイプ)と比較して示すグラフである。図3に示した伝達特性はいずれも数値シミュレーションにより求めたものであり、シミュレーションモデルでは荷重曲げ部のバンプ形状の影響は考慮していない。図中、横軸が周波数を表し、縦軸は相対ゲインを表している。
【0036】
図3のグラフから分るように、本実施の形態例の磁気ヘッド支持機構2では、スライダ6に対する押圧荷重を極めて軽荷重(0.1gf〜)に設定できるにも関わらず、従来の高荷重型磁気ヘッド支持機構と同等以上の十分なシーク剛性を確保できるため、高周波数帯域までオフトラック共振は現れず、良好な周波数特性が得られている。したがって、磁気ヘッド支持機構2ではスライダ6をシーク方向へいっそう高速に移動させることができ、データアクセスの高速化を実現できる。
なお、図4は磁気ヘッド支持機構2のオフトラック共振時(11.6KHz)のSwayモードを示している。磁気ヘッド支持機構2ではこのようなオフトラック共振は11.6KHzまで発生しない。
【0037】
(2)本実施の形態例の磁気ヘッド支持機構2では、衝撃加速度が加わった場合、従来の磁気ヘッド支持機構のように荷重曲げ部を軸としてロードビーム全体が跳躍するのではなく、剛なるロードビーム12に内包された小形の荷重負荷部(荷重舌部16)、すなわち荷重ビーム24および荷重ステージ26がその付け根を軸として跳躍する。したがって、前述した媒体離脱加速度の式([数1])において磁気ヘッド支持機構の等価質量(跳躍部分のみ)を小さくでき、軽荷重に設定した場合でも媒体離脱加速度が大きくなるように設計できる。そのため、耐衝撃性に優れた磁気ヘッド支持機構を実現できる。
【0038】
(3)また仮に過度の衝撃が加わりスライダ6が記録媒体から跳躍した場合でも、従来の磁気ヘッド支持機構のように荷重曲げ部から先が跳躍し媒体に衝突する場合と異なり、ロードビーム先端部の小形の荷重負荷部(荷重舌部16)のみが跳躍し、衝突することになるので、衝突エネルギは小さく、記録媒体やスライダ6が受けるダメージは軽微となる。
【0039】
図5の(A)ないし(J)は、本実施の形態例の磁気ヘッド支持機構に衝撃が加わった場合の応答を数値シミュレーションで求めた結果を示す時刻歴応答図である。図中、図1、図2と同一の要素には同一の符号が付されている。この数値シミュレーションでは、磁気ヘッドロード時に、磁気ヘッド支持機構2(押圧荷重:0gf)に衝撃加速度(500G/0.2ms:矩形波)が作用したとした。なお、図6のグラフはこの衝撃加速度を示すグラフであり、縦軸が衝撃加速度を表し、横軸が時間を表している。
【0040】
衝撃が加わる前は、磁気ヘッド支持機構2は図5の(A)に示した状態(図2の(C)と同じ状態)となっており、図5の(B)は図6の衝撃が加わって0.2msが経過した時点での状態を示し、(C)以降は、0.1ms間隔の応答を示している。
衝撃が加えられた直後、スライダ6は、図5の(B)、(C)に示したように、媒体から離脱し跳躍しようとするが、図5の(D)、(E)に示したように、ロードビーム12の先端部の荷重ビーム24および荷重ステージ26によって跳躍を抑制され、ダメージを受けることが抑えられている。
またジンバルスプリング10についても、図5の(G)ないし(J)に示したように、ロードビーム先端部の荷重舌部16を囲む枠部15によって跳躍を抑制されている。
【0041】
(4)本実施の形態例の磁気ヘッド支持機構2では、荷重ビーム24は非常に小形であるため、荷重ビーム24にバンプは形成されにくく、また、仮に荷重ビーム24にバンプが形成されたとしても、ロードビーム本体14やジンバルスプリング10はその影響をほとんど受けない。
したがって、従来の磁気ヘッド支持機構のように、ロードビームの荷重曲げ部が変形してバンプが形成され、これが荷重曲げ部から先のロードビームおよびジンバルスプリングの捻れ中心軸をずらせてしまい、スライダのオフトラック振動が大きくなるといった問題は発生しない。
そのため本実施の形態例の磁気ヘッド支持機構2では、良好な振動特性を維持することができ、スライダを高速に移動させて、データアクセスのいっそうの高速化を図ることができる。
【0042】
【実施例】
次に本発明の実施例について説明する。
図7の(A)、(B)、(C)、(D)は、それぞれ本発明の第1の実施例を示す分解平面図、平面図、断面側面図、部分拡大断面側面図である。図中、図1、図2などと同一の要素には同一の符号が付されている。
図7に示した第1の実施例の磁気ヘッド支持機構44は、磁気ヘッド4を搭載したスライダ6と、スライダ6を支持するジンバルスプリング46と、ジンバルスプリング46を保持してスライダ6に押圧力を付与するロードビーム48とを含んで構成されている。
【0043】
ロードビーム48は、本実施例ではSUS304などの薄い鋼板で形成され、その板厚は、要求される剛性や重量、ならびに組み込みスペースなどの兼ね合いにより、通常、25〜100μmの範囲に設定される。ロードビーム48は磁気ヘッド支持機構2の場合と同様、先端部においてジンバルスプリング46を保持し、基部側の端部においてスペーサ18とともに図示せぬポジショナ機構に接続される。
【0044】
ロードビーム48の両側部にはU字形断面もしくはL字形断面のサイドレール42が形成されている。このサイドレール42はロードビーム48と一体でプレス加工されるが、折り曲げ方向については装置の組み込みスペースに応じて決められる。すなわち磁気ヘッド支持機構44を不図示の記録媒体上に組み込んだときに、記録媒体に対向する不図示の上部カバー(もしくは下部ベース部、あるいは2枚目以降の記録媒体)との間に十分なスペースが確保できる場合には媒体面とは反対側に向かって折り曲げられ、一方、十分なスペースが確保できない場合には記録媒体面側に折り曲げられる。
【0045】
また、サイドレール42は、本実施例では、図7の(B)に示したように、スペーサ18の辺部近傍から直ちに先端側へと延在している。本発明の磁気ヘッド支持機構44ではスライダ6への荷重負荷機構部をロードビーム48の先端部に配置しており、したがって従来の磁気ヘッド支持機構のようにロードビームの基部に荷重曲げ部(スペーサの辺部から2mm程度の範囲)を設ける必要がない。そのため、サイドレール42の形成にあたっては、荷重曲げ部を避ける必要がない。
このようにスペーサ接合位置から直ぐにサイドレール42を形成することでロードビーム48の剛性を格段に強化することができる。
【0046】
ただし、磁気ヘッド支持機構44を記録媒体上に組み込むときの作業性を考慮した場合、スペーサ18の、ロードビーム48の先端側辺部から0.5〜1mm程度の間隔をあけてサイドレール42を形成することも有効である。これは組み込み治具によって磁気ヘッド支持機構44を記録媒体とは反対方向にリフトさせて記録媒体上にロードすることを可能にするためであり、したがってロードビーム48の剛性を損なわない程度にかつ組み込み治具による挿入作業が可能な程度にロードビームリフト剛性を調整すればよい。
【0047】
サイドレール42は、図7の(B)に示したように、本実施例ではロードビーム48の先端側へ向かって延在しスライダ位置近傍に終端を形成しているが、記録媒体の間隔が十分広い場合には、サイドレール42をロードビーム48の最先端部まで形成する構造とすることも可能である。要はロードビーム48の剛性が十分確保できるようにサイドレール42をロードビーム48の両側部に配設することが肝要なのであり、そのためには少なくともジンバルスプリング46の接合位置近傍まではサイドレール42を形成することが望ましい。
【0048】
荷重舌部50は荷重ビーム52と荷重ステージ54とから成り、荷重ステージ54の寸法は、スライダ6が例えばナノスライダである場合は2mm×1.6mm程度、ピコスライダである場合は1.2mm×1.0mm程度とすることができる。
一方、荷重ビーム52の寸法(幅および長さ)は例えば、ロードスプリング48の板厚、すなわち荷重ビーム52の板厚を25μmとした場合、荷重ビーム52の幅は0.4mm、長さは2.43mmとすることができる。スライダ6に対する押圧荷重は、この荷重ビーム52の寸法により決り、上記寸法とした場合には、荷重ビーム52を含むロードビーム48のスプリングレートは7.86N/mとなって、ピボット34の高さを例えば125μmに設定すると、スライダ6に対する押圧荷重は0.1gfとなる。
【0049】
また、ジンバルスプリング46は、本実施例ではスライダ支持剛性のフレキシビリティを重視して板厚が20〜30μm程度の薄い鋼板(SUS304)で形成されている。そして、本実施例では、中央舌部56の支持ステージ58に、上方に凸のピボット34が形成されている。
ロードビーム48の板厚が25μm程度の場合は、ロードビーム48にピボット34をプレス加工により容易に形成することができる。しかし、ロードビーム48を高剛性とするために、板厚を76μm程度(従来の高荷重用磁気ヘッド支持機構で用いられるロードビームの板厚に相当)とした場合には、ジンバルスプリング46の支持ステージ58にピボット34を形成したほうが加工が容易であり、ピボット34を精度良く形成することができる。
【0050】
ピボット34をプレス加工で成形する場合、ピボット34の直径は加工上の制約により200μm以上に設定する必要があるが、ピボット34の高さについては主に装置のZ−Heightにより決定される。
また、開口22を、ロードビーム48の先端部で囲む枠部60は、磁気ヘッド支持機構44に衝撃が作用したとき、ジンバルスプリング46の跳躍を抑制する役割を担う。したがって、ジンバルスプリング46は、図7の(B)に示したように、その外周部62がロードビーム48の枠部60に重なるように配置することが望ましい。
【0051】
ジンバルスプリング46は本実施例でもTフレクシャタイプを用いており、開口38をロードビーム48の開口36に一致させることでロードビーム48と位置合わせされ溶接点40においてレーザスポット溶接されている。
そして、ジンバルスプリング46の支持ステージ58に形成された、スライダ6を点支持するための半球状のピボット34は、ロードビーム48の荷重ステージ54のほぼ中央に点接触している。また、スライダ6は記録媒体にABS面を向けた状態でジンバルスプリング46の支持ステージ58に接着されている。
【0052】
このように構成された磁気ヘッド支持機構44は、図7の(C)、(D)に示したように、磁気ヘッドアンロード状態ではスライダ6は、ジンバルスプリング46の支持ステージ58に形成されたピボット34を介してロードスプリング10の荷重ステージ54によって押下され、記録媒体側に傾いている。
一方、磁気ヘッドロード時にはスライダ6が記録媒体の表面上にわずかな隙間を形成して浮上した状態となり、スライダ6は記録媒体の表面とほぼ平行になる。このとき、支持ステージ58のピボット34が荷重ステージ54を上方に押し返してピボット34の高さに相当する量だけ荷重ビーム52を上方に撓ませ、その結果、荷重ビーム52の弾性力による押圧荷重がスライダ6に作用する。
【0053】
また、この磁気ヘッドロード状態でも、本実施例では、ロードビーム48は、その材質や寸法、さらにはサイドレール42によって十分な剛性が得られるため、記録媒体の表面に対してほぼ平行な状態を維持する。そして、ジンバルスプリング46の中央舌部56も、図2の(D)に示した磁気ヘッド支持機構2のロード時の場合と同様、記録媒体に対してほぼ平行な状態となる。
【0054】
次に、本発明の第2の本実施例について説明する。
図8の(A)、(B)、(C)、(D)は、本発明の第2の実施例を示す分解平面図、平面図、断面側面図、ならびに部分拡大断面側面図である。図中、図7などと同一の要素には同一の符号が付されている。
図8に示した磁気ヘッド支持機構45が、図7の磁気ヘッド支持機構44と基本的に異なるのは、磁気ヘッド支持機構44におけるロードビーム48の枠部60が排除されている点であり、磁気ヘッド支持機構45では、ロードビーム64の先端に、荷重ビーム66おおび荷重ステージ68から成る荷重舌部70が突設されている。また、ジンバルスプリング72は、ジンバルスプリング46などに比べ幅の狭い形状に形成されている。
【0055】
したがって、磁気ヘッド支持機構45では、その先端部の幅はジンバルスプリング72の幅で決るため、非常に狭くすることができ、その結果、磁気ヘッドを円盤状の記録媒体の中心に近い箇所にまでシークさせることが可能となり、記録媒体上の有効なデータ領域の拡大を図る場合に有利である。
なお、磁気ヘッド支持機構45では、荷重舌部70を囲む枠部が存在しないため、外部から衝撃などが加わった場合、ジンバルスプリング72の跳躍は、荷重舌部70によってのみ抑制されることになる。したがって、荷重舌部70、特に荷重ビーム66の寸法はやや短くするか、幅をやや広く設定してスプリングレートを上げ、ジンバルスプリング72の跳躍を抑える作用を高めておくことが望ましい。
【0056】
次に、本発明の第3の実施例について説明する。
図9の(A)、(B)、(C)、ならびに(D)は、それぞれ本発明の第3の実施例を示す分解平面図、平面図、断面側面図、ならびに部分拡大断面側面図である。図中、図7などと同一の要素には同一の符号が付されている。
第3の実施例の磁気ヘッド支持機構74は、特にコンタクトスライダを搭載する場合に有効であり、磁気ヘッド支持機構74が、上記磁気ヘッド支持機構44などと異なるのは、ロードビーム76が第1および第2の荷重舌部78、80を備え、ジンバルスプリング82が中央舌部94とともに外部舌部84を備えている点である。
【0057】
この実施例の磁気ヘッド支持機構74では、ロードビーム76の荷重舌部は、ロードビーム76の基部側における開口22の縁部より突出する第1の荷重舌部78と、ロードビーム76の先端部側における開口22の縁部より突出する第2の荷重舌部80とから成り、第1の荷重舌部78は第1の荷重ビーム86と幅広の第1の荷重ステージ88とにより構成され、第2の荷重舌部80は第2の荷重ビーム90と幅広の第2の荷重ステージ92とにより構成されている。
【0058】
一方、ジンバルスプリング82は、本実施例では、上記実施例のようにTタイプフレクシャ構造ではなく、十字タイプのフレクシャ構造を有している。すなわち、ジンバルスプリング82に形成された中央舌部94である支持ステージ96は、ジンバルスプリング82に形成された開口98の、ロードビーム76の基部と反対側の縁部よりロードビーム76の基部方向に突出して形成されている。そして、この中央舌部94とは別に、ジンバルスプリング82の開口98の外側に中央舌部94に対立して延在する外部舌部84、すなわち支持ステージ100が形成されている。
【0059】
ロードビーム76の開口22よりやや基部側の箇所には開口36が形成され、一方、ジンバルスプリング82の、ロードビーム12の基部側の箇所には開口38が形成されている。そして、ジンバルスプリング82は、その開口38がロードビーム76の開口36に一致するようにロードビーム76に対して位置合わせされ、図9の(A)および(B)に示した3箇所の溶接点40で例えばレーザスポット溶接を行ってロードビーム76に接合されている。
この状態で、支持ステージ96は第1の荷重ステージ88のほぼ真下に位置し、支持ステージ100は第2の荷重ステージ92のほぼ真下に位置している。
第1および第2の荷重ステージ88、92のほぼ中央には下方に突出するピボット34がそれぞれ形成され、支持ステージ96、100はピボット34を介して第1および第2の荷重ステージ88、92により下方に付勢されている。
【0060】
この磁気ヘッド支持機構74には、コンタクトスライダ102が搭載され、コンタクトスライダ102は、ジンバルスプリング82の支持ステージ96、100の下面に、両ステージにまたがって接着固定されている。コンタクトスライダ102の下面には、ロードビーム76の基部側の端部にリードディングパッド104が取り付けられ、一方、反対側の端部にはトレーリングパッド106が取り付けられている。磁気ヘッドロード時には、これらリードディングパッド104およびトレーリングパッド106は記録媒体の表面上を摺動する。
【0061】
図9の(C)に示したように、第1および第2の荷重舌部78、80やジンバルスプリング82などの寸法を適切に設定することで、2つのピボット34はそれぞれリードディングパッド104およびトレーリングパッド106のほぼ真上の位置に配置されている。したがって、本実施例の磁気ヘッド支持機構74では、コンタクトスライダ102は第1および第2の荷重舌部78、80により安定に付勢され、記録媒体表面に対する良好な摺動動作を実現できる。
【0062】
なお、本実施例の磁気ヘッド支持機構74では、第1および第2の荷重舌部78、80の寸法を相互に異なるものとすることで、リードディングパッド104およびトレーリングパッド106にそれぞれ加わる荷重を調整することができ、リードディングパッド104およびトレーリングパッド106の記録媒体表面に対する接触荷重を個別に適切な大きさとなるように設定することができる。
【0063】
次に、第4の実施例について説明する。
図10の(A)、(B)、(C)、ならびに(D)は、それぞれ本発明の第4の実施例を示す分解平面図、平面図、断面側面図、ならびに部分拡大断面側面図である。図中、図7などと同一の要素には同一の符号が付されている。
図10に示した磁気ヘッド支持機構108が、図7に示した磁気ヘッド支持機構44と異なるのは、ロードビーム110の荷重舌部50が開口22内の反対側の縁部より突出形成されている点である。
すなわち、磁気ヘッド支持機構108では、ロードビーム110の荷重舌部50は、ロードビーム110の先端側における開口22の縁部より開口22の内側に突出して形成されている。荷重舌部50は、荷重ビーム52と荷重ステージ54とから成り、ロードビーム12の中心線C(図10の(B))上に延在し、この中心線Cに関して対称となっている。
【0064】
このように、荷重舌部50が、開口22内においてロードビーム110の先端側の縁部から突出しているため、開口22を囲む枠部60の側部112は、サイドレール42より先端側ではスプリングとして作用し、荷重ビーム52と同様の機能を果す。したがって、図10の(D)などに示したように、荷重舌部50だけでなく、枠部60の上記側部112も撓み、ジンバルスプリング46に搭載されたスライダ6は、荷重舌部50および枠部60の側部112の弾性により下方に付勢される。
【0065】
その結果、磁気ヘッド支持機構108では、ロードビーム110によるスライダ6に対する付勢力は、磁気ヘッド支持機構44に比べて小さくなり、スプリングレートをきわめて小さく設定できるため、スライダ6が、ニアコンタクトスライダやコンタクトスライダ102であって、数十mgfの超軽荷重が要求されるような場合に有利となる。
【0066】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、磁気ヘッドを搭載したスライダと、中央舌部の下面側に前記スライダが固定されたジンバルスプリングと、弾性を有する帯板から成り前記ジンバルスプリングを保持するロードビームとを含む磁気ヘッド支持機構であって、前記ロードビームの先端部には、ロードビーム本体とほぼ同一方向に延在しロードビーム本体より幅が狭く可撓性を有して磁気ヘッドロード時に弾性変形する荷重舌部が形成され、ロードビーム本体は、前記磁気ヘッドロード時に撓まない程度の剛性を有し、前記ジンバルスプリングは前記ロードビーム先端部の下面側に取り付けられ、磁気ヘッドのアンロード時は前記ジンバルスプリングの前記中央舌部が前記ロードビームの前記荷重舌部により下方へ押下され、磁気ヘッドのロード時は前記中央舌部を介して前記荷重舌部を押し返すと同時に該荷重舌部の上方への弾性変形に見合う押圧荷重で前記中央舌部を下方に付勢する構成とした。
【0067】
したがって、本発明の磁気ヘッド支持機構では、スライダ押圧荷重は、ロードビームの先端部に形成した荷重舌部の寸法などにより設定できるため、高記録密度化を図るべくスライダ押圧荷重を軽荷重に設定した場合でも、ロードビーム本体の剛性を確保することができ、高速シークによるデータアクセスの高速化を実現できる。
【0068】
また、本発明の磁気ヘッド支持機構では、衝撃加速度が加わった場合、従来の磁気ヘッド支持機構のように荷重曲げ部を軸としてロードビーム全体が跳躍するのではなく、剛なるロードビームの先端部に形成された荷重舌部がその付け根を軸として跳躍する。したがって、スライダ押圧荷重を軽荷重に設定した場合でも媒体離脱加速度が大きくなるように設計でき、耐衝撃性に優れた磁気ヘッド支持機構を実現できる。
さらに、仮に過度の衝撃が加わりスライダが記録媒体から跳躍した場合でも、従来の磁気ヘッド支持機構のように荷重曲げ部から先が跳躍し記録媒体に衝突する場合と異なり、ロードビーム先端部の荷重舌部のみが跳躍し、衝突することになるので、衝突エネルギは小さく、記録媒体やスライダが受けるダメージは軽微となる。
【0069】
そして、本発明の磁気ヘッド支持機構では、荷重舌部は小型に形成できるため、荷重舌部にバンプは形成されにくく、また、仮に荷重舌部にバンプが形成されたとしても、ロードビーム本体やジンバルスプリングはその影響をほとんど受けない。したがって、ロードビームの荷重曲げ部が変形して捻れ振動を起しやすい従来の磁気ヘッド支持機構のように、スライダのオフトラック振動が大きくなるといった問題は発生せず、良好な振動特性が得られるため、広いサーボ帯域を確保してデータアクセスのいっそうの高速化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)は本発明による磁気ヘッド支持機構の一例を示す斜視図、(B)は分解斜視図、(C)は平面図である。
【図2】(A)はアンロード時の図1の磁気ヘッド支持機構を示す断面側面図、(B)はアンロード時の磁気ヘッド支持機構の先端部を詳しく示す部分断面側面図、(C)はロード時の磁気ヘッド支持機構を示す断面側面図、(D)はロード時の磁気ヘッド支持機構の先端部を詳しく示す部分断面側面図である。
【図3】実施の形態例の磁気ヘッド支持機構の伝達特性を従来の磁気ヘッド支持機構と比較して示すグラフである。
【図4】実施の形態例の磁気ヘッド支持機構のSwayモードを示す振動モード図である。
【図5】(A)ないし(J)は、本発明の実施の形態例の磁気ヘッド支持機構に衝撃が加わった場合の応答を数値シミュレーションで求めた結果を示す時刻歴応答図である。
【図6】数値シミュレーションで用いた衝撃加速度を示すグラフである。
【図7】(A)、(B)、(C)、ならびに(D)は、それぞれ本発明の第1の実施例の磁気ヘッド支持機構を示す分解平面図、平面図、断面側面図、ならびに部分拡大断面側面図である。
【図8】(A)、(B)、(C)、ならびに(D)は、それぞれ本発明の第2の実施例の磁気ヘッド支持機構を示す分解平面図、平面図、断面側面図、ならびに部分拡大断面側面図である。
【図9】(A)、(B)、(C)、ならびに(D)は、それぞれ本発明の第3の実施例の磁気ヘッド支持機構を示す分解平面図、平面図、断面側面図、ならびに部分拡大断面側面図である。
【図10】(A)、(B)、(C)、ならびに(D)は、それぞれ本発明の第4の実施例の磁気ヘッド支持機構を示す分解平面図、平面図、断面側面図、ならびに部分拡大断面側面図である。
【図11】(A)、(B)、(C)、ならびに(D)は、従来の磁気ヘッド支持機構の一例を示す斜視図、部分拡大図、平面図、ならびに分解平面図である。
【図12】(A)は2ピース型の磁気ヘッド支持機構の一例を示す斜視図、(B)は断面側面図である。
【図13】磁気ヘッド支持機構の位置決め動作の例を示す説明図である。
【図14】(A)はアンロード時の従来の磁気ヘッド支持機構を示す側面図、(B)はロード時の磁気ヘッド支持機構を示す側面図、(C)は荷重曲げ部を詳しく示す部分拡大側面図である。
【図15】(A)、(B)、(C)は、同一構造の従来の磁気ヘッド支持機構の荷重曲げ部に、それぞれ異なるバンプ形状を設定してシーク方向振動特性を実際に測定した結果を示すグラフである。
【図16】(A)から(I)は、記録媒体上にロードされた2ピース型の磁気ヘッド支持機構に外部衝撃荷重が加わったときの磁気ヘッド支持機構の跳躍挙動を数値シミュレーションし、結果を時刻歴応答で示した説明図である。
【符号の説明】
2……磁気ヘッド支持機構、4……磁気ヘッド、6……スライダ、8……中央舌部、10……ジンバルスプリング、12……ロードビーム、14……ロードビーム本体、16……荷重舌部、18……スペーサ、20……取り付け穴、22……開口、24……荷重ビーム、26……荷重ステージ、28……支持ステージ、32……開口、34……ピボット、36……開口、38……開口、40……溶接点、42……サイドレール、44……磁気ヘッド支持機構、45……磁気ヘッド支持機構、46……ジンバルスプリング、48……ロードビーム、50……荷重舌部、52……荷重ビーム、54……荷重ステージ、56……中央舌部、58……支持ステージ、60……枠部、62……外周部、64……ロードビーム、66……荷重ビーム、68……荷重ステージ、70……荷重舌部、72……ジンバルスプリング、74……磁気ヘッド支持機構、76……ロードビーム、78……第1の荷重舌部、80……第2の荷重舌部、82……ジンバルスプリング、84……外部舌部、86……第1の荷重ビーム、88……第1の荷重ステージ、90……第2の荷重ビーム、92……第2の荷重ステージ、94……中央舌部、96……支持ステージ、98……開口、100……支持ステージ、102……コンタクトスライダ、104……リードディングパッド、106……トレーリングパッド、108……磁気ヘッド支持機構、110……ロードビーム、112……側部、202……磁気ヘッド支持機構、204……ロードビーム、206……ジンバルスプリング、208……スライダ、210……スペーサ、212……サイドレール、214……ピボット、216……支持ステージ、218……磁気ヘッド、220……信号線チューブ、222……部、224……磁気ヘッド支持機構、226……ロードビーム、228……信号線パターン、230……ポジショナ機構、232……ロードビーム、234……スライダ、236……荷重曲げ部、238……バンプ、240……磁気記録媒体、242……装置カバー。
Claims (14)
- 磁気ヘッドを搭載したスライダと、中央舌部の下面側に前記スライダが固定されたジンバルスプリングと、弾性を有する帯板から成り前記ジンバルスプリングを保持するロードビームとを含む磁気ヘッド支持機構であって、
前記ロードビームの先端部には、ロードビーム本体とほぼ同一方向に延在しロードビーム本体より幅が狭く可撓性を有して磁気ヘッドロード時に弾性変形する荷重舌部が形成され、
ロードビーム本体は、前記磁気ヘッドロード時に撓まない程度の剛性を有し、
前記ジンバルスプリングは前記ロードビーム先端部の下面側に取り付けられ、磁気ヘッドのアンロード時は前記ジンバルスプリングの前記中央舌部が前記ロードビームの前記荷重舌部により下方へ押下され、磁気ヘッドのロード時は前記中央舌部を介して前記荷重舌部を押し返すと同時に該荷重舌部の上方への弾性変形に見合う押圧荷重で前記中央舌部を下方に付勢する、
ことを特徴とする磁気ヘッド支持機構。 - 前記ロードビームは先端部に開口を有し、前記ロードビームの前記荷重舌部は前記開口の縁部より前記開口の内側に突出して形成されていることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド支持機構。
- 前記ロードビームの前記荷重舌部は、前記開口の、前記ロードビーム基部側の縁部より突出していることを特徴とする請求項2記載の磁気ヘッド支持機構。
- 前記ロードビームの前記荷重舌部は、前記開口の、前記ロードビーム先端部側の縁部より突出していることを特徴とする請求項2記載の磁気ヘッド支持機構。
- 前記開口は前記ロードビームとほぼ同じ方向に延在していることを特徴とする請求項2記載の磁気ヘッド支持機構。
- 前記ジンバルスプリングに形成された前記中央舌部は、前記ジンバルスプリングに形成された開口の、前記ロードビームの基部と反対側の縁部より前記ロードビームの基部方向に突出して形成されていることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド支持機構。
- 前記ロードビームの前記荷重舌部は、前記開口の、前記ロードビーム基部側の縁部より突出する第1の荷重舌部と、前記開口の、前記ロードビーム先端部側の縁部より突出する第2の荷重舌部とから成り、
前記ジンバルスプリングに形成された前記中央舌部は、前記ジンバルスプリングに形成された前記開口の、前記ロードビームの基部と反対側の縁部より前記ロードビームの基部方向に突出して形成され、
前記ジンバルスプリングは、前記ジンバルスプリングの前記開口の外側に前記中央舌部に対立して延在する外部舌部を有し、
前記中央舌部は前記第1の荷重舌部により下方に付勢され、前記外部舌部は前記第2の荷重舌部により下方に付勢されていることを特徴とする請求項2記載の磁気ヘッド支持機構。 - 前記ロードビームの前記荷重舌部の先端部は、前記荷重舌部の基部より幅広に形成されていることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド支持機構。
- 前記ジンバルスプリングの前記中央舌部の先端部は、前記中央舌部の基部より幅広に形成されていることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド支持機構。
- 前記ロードビームの前記荷重舌部は、先端部の下面側に突起を有し、前記ロードビームの前記荷重舌部は前記突起を介して前記ジンバルスプリングの前記中央舌部を付勢していることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド支持機構。
- 前記ジンバルスプリングの前記中央舌部は、先端部の上面側に突起を有し、前記ジンバルスプリングの前記中央舌部は前記突起を介して前記ロードビームにより付勢されていることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド支持機構。
- 前記ロードビームの前記荷重舌部は、前記突起の高さに対応する量だけ上方に撓むことで前記ジンバルスプリングの前記中央舌部に対する付勢力を生成することを特徴とする請求項10または11に記載の磁気ヘッド支持機構。
- 前記ロードビームの両側部は、側部に沿って延在するレール状に折り曲げられていることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド支持機構。
- 前記ジンバルスプリングは、前記ロードビームの基部側の端部において前記ロードビームに接合されていることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド支持機構。
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