JPH1016245A - 液体噴射記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 長尺化された液体噴射記録ヘッドの天板にお
いて、予じめ加工された複数のインク流路溝に対して複
数のインク吐出口を精度良く規定位置に加工することが
できる記録ヘッドの製造方法を提供する。 【解決手段】 インク流路溝２を複数のブロックに分割
してブロック毎に一度にレーザ加工して全本数のインク
流路溝２を形成した長尺化された記録ヘッドの天板１に
おいて、インク流路溝２の隣接したブロック（ｎ、ｎ＋
１ブロック）のそれぞれの略中央に位置するインク流路
溝を対物レンズ１０，１０によって観察して基準位置を
検出し、この検出結果に基づいて天板１の傾きを調整
し、インク流路溝の隣接したブロックにまたがって複数
のインク吐出口を１つのブロックとして一度にレーザ加
工し、この基準位置の検出、調整およびブロック毎のイ
ンク吐出口の加工を繰り返して全てのインク吐出口を加
工して、天板１を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液体噴射記録装置
等に使用される長尺化された液体噴射記録ヘッドにおい
て、インク吐出口を精度良く規定位置に加工することが
できる液体噴射記録ヘッドの製造方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】液体噴射記録装置等に使用される液体噴
射記録ヘッドは、半導体製造技術を用いて形成された複
数の吐出エネルギー発生素子を所定の間隔をおいて配設
した素子基板と、インクを吐出する複数のインク吐出口
を形成した吐出口プレートを一体的に有し、インク吐出
口にそれぞれ連通する複数のインク流路溝が形成された
天板とからなり、吐出エネルギー発生素子とインク吐出
口およびインク流路溝とを正確に位置合わせした状態
で、素子基板と天板を組み合わせ接合されており、吐出
エネルギー発生素子によりインク流路溝内のインクに吐
出エネルギーを付与することによってインク吐出口から
インクを噴射させて印字記録を行なうように構成されて
いる。そして印字精度として約３６０ｄｐｉ（dotts p
er inch）の高精度を達成するために、約４．５ｍｍの
範囲に６４個のインク吐出口を等間隔に配列しなければ
ならず、この際の配設ピッチは約７０μｍと微細な値に
なる。そこで、このような微小間隔のインク吐出口の形
成には、レーザ加工装置等の超精密加工装置が用いら
れ、吐出口プレートに所定の高精度で加工されている。
レーザ加工装置において、インク吐出口を加工形成する
天板を位置決めステージに取り付け、レーザ発振器から
発生されたレーザ光をレーザマスクを介して天板に照射
することによって、インク吐出口を加工することがで
き、その際インク吐出口の加工位置は予め形成されてい
るインク流路溝を基準として位置決めしている。

【０００３】ところで、液体噴射記録ヘッドにおいて
は、１２８ノズル、２５６ノズル、１４０４ノズル、あ
るいはＡ４幅に対応するもの等の長尺化に進む傾向にあ
り、ある程度長尺化された液体噴射記録ヘッドを構成す
る天板においては、レーザ加工装置を用いて複数のイン
ク流路溝を一度に加工し、この一度に加工された複数の
インク流路溝のうち両端に位置するインク流路溝を観察
して基準位置を検出して位置決めした後に、複数のイン
ク吐出口をレーザ加工している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例えば
１４０４ノズルあるいはＡ４幅に対応するもの等のよう
に特に長尺化された液体噴射記録ヘッドにおいては、図
４に示すように、吐出エネルギー発生素子３１が３６０
ｄｐｉの密度にて１２８個設けられている素子基板３０
が１１個並列されて基台３２の表面上に接着固定され、
これに対応すべく、インク吐出口７の密度が同じく３６
０ｄｐｉで吐出口数１４０４を有する天板１を、インク
流路溝およびインク吐出口７が吐出エネルギー発生素子
３１に対応するように組み合わせて液体噴射記録ヘッド
を構成しており、このように長尺化された液体噴射記録
ヘッドの製造に上記のような記録ヘッドの製造方法を採
用して、複数のインク流路溝を全て一度に加工すること
は問題があるために、インク流路溝を複数のブロックに
分割してブロック毎にインク流路溝を一度に加工してい
る。

【０００５】ところで、これらの複数のブロックに分割
して加工されたインク流路溝は、加工精度や誤差等の問
題から、ブロック毎に吐出口プレートからの位置に差が
生じ、その結果インク吐出口の加工の基準とする基準位
置にも差が生じることとなり、この状態で、インク流路
溝の各ブロック毎に基準位置を観察し、検出して、その
検出結果に基づいて各ブロック毎にインク吐出口を加工
すると、インク吐出口の縦方向の加工位置においてブロ
ック毎に段差が付いてしまい、特にインク流路溝のブロ
ックの継ぎ目にはインク吐出口の縦方向の大きな段差が
生じてしまうという未解決な課題があった。

【０００６】そこで、本発明は、上記従来技術の有する
未解決な課題に鑑みてなされたものであって、吐出口プ
レートからインク流路溝までの距離がブロック毎にばら
ついていたとしても、インク吐出口の位置を常に正確な
規定位置に加工することができる液体噴射記録ヘッドの
製造方法を実現することを目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法は、複数の
吐出エネルギー発生素子が形成されている素子基板上
に、各吐出エネルギー発生素子に対応する複数のインク
流路溝およびインク吐出口をレーザ加工装置を用いて加
工した天板を取り付けて、液体噴射記録ヘッドを組み立
てる液体噴射記録ヘッドの製造方法において、複数本の
インク流路溝を１つのブロックとして一度にレーザ加工
する工程を複数回繰り返して全本数のインク流路溝を形
成し、複数のブロックに分割して加工されたインク流路
溝の隣接したブロックにまたがって１つのブロックとし
て複数のインク吐出口を一度にレーザ加工し、このブロ
ック毎のインク吐出口の加工を複数回繰り返して全ての
インク吐出口を加工し、前記天板を形成することを特徴
とする。

【０００８】また、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造
方法は、複数の吐出エネルギー発生素子が形成されてい
る基板上に、各吐出エネルギー発生素子に対応する複数
のインク流路溝およびインク吐出口をレーザ加工装置を
用いて加工した天板を取り付けて、液体噴射記録ヘッド
を組み立てる液体噴射記録ヘッドの製造方法において、
複数本のインク流路溝を１つのブロックとして一度にレ
ーザ加工する工程を複数回繰り返して全本数のインク流
路溝を形成し、複数のブロックに分割して加工されたイ
ンク流路溝の隣接したブロックのそれぞれ略中央に位置
するインク流路溝を観察して基準位置を検出し、基準位
置の検出結果に基づいて高さ方向の傾きを調整し、前記
隣接したインク流路溝のブロックにまたがって複数のイ
ンク吐出口を１つのブロックとして一度にレーザ加工
し、基準位置の検出、調整およびブロック毎のインク吐
出口の加工を複数回繰り返して全てのインク吐出口を加
工し、前記天板を形成することを特徴とする。

【０００９】そして、本発明の液体噴射記録ヘッドの製
造方法は、１つのブロックとして一度に加工するインク
吐出口の数は、１つのブロックとして一度に加工するイ
ンク流路溝の本数と同数であることが望ましく、さらに
隣接したインク流路溝のブロックにまたがって複数個の
インク吐出口を一度に加工する際に、それぞれのブロッ
クに加工するインク吐出口の個数は同数であることが望
ましい。

【００１０】

【作用】長尺化された液体噴射記録ヘッドにおいて、そ
の天板のインク流路溝およびインク吐出口の加工に際し
て、インク流路溝を複数のブロックに分割してブロック
毎に加工したインク流路溝における隣接したブロックに
またがって１つのブロックとして複数のインク吐出口を
一度に加工し、このブロック毎のインク吐出口の加工を
繰り返して全てのインク吐出口を加工するようになした
ことにより、加工されたインク流路溝に加工上の精度や
誤差等の関係でブロック毎にばらつきがあったとして
も、インク吐出口の縦方向の加工位置がばらつくことな
く、さらにインク流路溝のブロックの継ぎ目にインク吐
出口の縦方向の段差が生じることなく、インク吐出口を
正確な規定位置に加工形成することができる。

【００１１】そして、ブロック毎に分割されて加工され
た複数のインク流路溝における隣接したブロックのそれ
ぞれの略中央に位置するインク流路溝を観察して基準位
置を検出して、その検出結果に基づいて天板の傾きを調
整し、隣接するブロックにまたがって、１ブロック内の
インク流路溝の数と同数の複数のインク吐出口を１ブロ
ックとして加工し、この１ブロック毎のインク吐出口の
加工を繰り返して全てのインク吐出口を加工するように
なしたことにより、インク流路溝のブロックの継ぎ目に
インク吐出口の縦方向の段差が生じることなく、さらに
インク吐出口をばらつくことなく規定位置に正確に加工
することができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。図１は、液体噴射記録ヘッドの天板１に
加工されたインク流路溝２に合わせてインク吐出口を形
成するための位置決めをする際の模式図であり、図２は
図１で示した天板１を右方向から見た図であり、インク
流路溝２およびその基準線５がばらついている状態を示
す。

【００１３】インク吐出口をレーザ加工するに際して、
天板１は、図１に示すように、水平面に対して１０度の
角度をなすように固定され、予め加工されたインク流路
溝２は吐出口プレート４を透して対物レンズ１０で観察
される。インク吐出口の加工位置を決めるｚ軸方向の基
準は、インク流路溝２の先端部３を吐出口プレート４上
へｘ軸方向に投影した位置が基準位置２０として検出さ
れる。

【００１４】本実施例においては、液体噴射記録ヘッド
の天板１は、インク吐出口の密度が３６０ｄｐｉ（吐出
口ピッチ７０．５μｍ）で、そして吐出口数１４０４を
有する長尺なものとし、インク流路溝２は１２８本を１
ブロックとしてレーザ加工装置を用いて一度に加工し、
全部で１１ブロック加工する。この加工の際の加工精度
や誤差等の関係により図２に示すようにブロック毎のイ
ンク流路溝の基準線５に段差等のばらつきが生じてい
る。

【００１５】次に、本発明の製造方法に基づくインク吐
出口の加工について説明するに、図３は、一度に１２８
個のインク吐出口を加工する際の位置決め時の模式図で
あり（なお、図３におけるインク流路溝２に付した数字
は説明の便宜上付したものである。）、一対の対物レン
ズ１０，１０の一方の対物レンズ１０にて、ｎブロック
の６５本目のインク流路溝２の基準線５を観察し、他方
の対物レンズ１０でｎ＋１ブロックの６４本目のインク
流路溝２の基準線５を観察する。２つの対物レンズ１０
で観察したそれぞれの基準線５が、同じ高さ（ｚ軸方
向）になるように天板１の傾きを調整して、ｎブロック
の６５本目のインク流路溝２からｎ＋１ブロックの６４
本目のインク流路溝２までの１２８本のインク流路溝に
対応した１２８個のインク吐出口をレーザ加工する。こ
の操作を繰り返すことによって天板１に各インク流路溝
２に対応した全てのインク吐出口を形成する。したがっ
て、インク流路溝２の加工に際しての加工精度や誤差等
の関係によって、インク流路溝の先端部から吐出口プレ
ートまでの距離が各ブロック毎にばらつきがあり、基準
線に各ブロック毎の段差やばらつきがあったとしても、
インク吐出口の位置は、インク流路溝のブロックの継ぎ
目にインク吐出口の縦方向の段差が生じることがなく、
さらにインク吐出口の位置がばらつくことなく、規定位
置に正確にインク吐出口を加工することができる。

【００１６】そして前記のように加工形成された天板１
は、図４に示すように、素子基板に対して位置合わせさ
れて液体噴射記録ヘッドを形成する。素子基板３０には
吐出エネルギー発生素子３１が所定の位置に３６０ｄｐ
ｉの密度にて１２８個設けられており、この素子基板３
０には外部からの電気信号により任意のタイミングで吐
出エネルギー発生素子３１を駆動させる信号パッドおよ
びその駆動のための電力等を供給するための電力パッド
等が設けられている。この素子基板３０は基台３２の表
面上に１１個並列されて接着固定されている。そして天
板１は、そのインク流路溝２およびインク吐出口が基台
３２上に並べられた素子基板３０の吐出エネルギー発生
素子３１と所定の位置関係になるように位置合わせされ
て基台に結合され、長尺の液体噴射記録ヘッドを製造す
る。

【００１７】次に、本発明の製造方法により製造された
液体噴射記録ヘッドを適用した液体噴射記録装置につい
て図５を参照して説明する。

【００１８】図５において、１０１ａ〜１０１ｄはそれ
ぞれ、ライン型の液体噴射記録ヘッド（以下、「ヘッ
ド」ともいう。）であり、これらはホルダ１０２により
矢印Ｘ方向（図５）に所定の間隔を持って互いに平行に
固定支持されている。各ヘッド１０１ａ〜１０１ｄの下
面には矢印Ｙ方向（図５）に沿って、１列に１６吐出口
／ｍｍの間隔で３４５６個の吐出口が下向きに設けられ
ており、これにより２１６ｍｍ幅の記録が可能となって
いる。

【００１９】これらのヘッド１０１ａ〜１０１ｄは熱エ
ネルギーを用いて記録液を吐出する方式のものであり、
ヘッドドライバー１２０によって吐出制御されている。

【００２０】なお、前記ヘッド１０１ａ〜１０１ｄおよ
びホルダ１０２を含めてヘッドユニットが構成され、該
ヘッドユニットはヘッド移動手段１２４により、上下方
向に移動されるようになっている。

【００２１】また、前記ヘッド１０１ａ〜１０１ｄに対
応してその下部に隣接して配置されたキャップ１０３ａ
〜１０３ｄはそれぞれ内部にスポンジ等のインク吸収部
材を有する。

【００２２】前記キャップ１０３ａ〜１０３ｄは不図示
のホルダにより固定支持されており、該ホルダおよびキ
ャップ１０３ａ〜１０３ｄを含んでキャップユニットが
構成され、該キャップユニットはキャップ移動手段１２
５により矢印Ｘ方向（図５）に移動されるようになって
いる。

【００２３】各ヘッド１０１ａ〜１０１ｄにはそれぞ
れ、インクタンク１０４ａ〜１０４ｄからインク供給チ
ューブ１０５ａ〜１０５ｄを通じてシアン、マゼンタ、
イエロー、ブラックの各色のインクが供給され、カラー
記録を可能としている。

【００２４】また、このインク供給はヘッド吐出口の毛
細管現象を利用しており、各インクタンク１０４ａ〜１
０４ｄの液面は吐出口位置より一定距離だけ低く設定さ
れている。

【００２５】ベルト１０６は被記録材である記録紙１２
７を搬送するためのものであって帯電可能なシームレス
ベルトからなる。

【００２６】ベルト１０６は駆動ローラ１０７、アイド
ルローラ１０９，１０９ａおよびテンションローラ１１
０により所定の経路に引きまわされており、前記駆動ロ
ーラ１０７に接続され、モータードライバー１２１によ
り駆動されるベルト駆動モーター１０８により、走行さ
れる。

【００２７】また、ベルト１０６はヘッド１０１ａ〜１
０１ｄの吐出口の直下において矢印Ｘ方向（図５）に走
行し、ここでは固定支持部材１２６により、下側のブレ
を抑制されている。

【００２８】ベルト１０６の図示下方には、ベルト１０
６の表面に付着している紙粉等を除去するクリーニング
ユニット１１７が配設されている。

【００２９】前記ベルト１０６を帯電させる帯電器１１
２は、帯電器ドライバー１２２により、ＯＮ、ＯＦＦさ
れ、この帯電による静電的吸着力により、記録紙１２７
をベルト１０６に吸着する。

【００３０】帯電器１１２の前後には前記アイドルロー
ラ１０９，１０９ａと共同して搬送記録紙１２７をベル
ト１０６に押し付けるためのピンチローラ１１１，１１
１ａが配置されている。

【００３１】給紙カセット１１３内の記録紙１２７は給
紙ローラ１１６の回転により１枚ずつ送り出され、モー
タードライバー１２３により駆動される搬送ローラ１１
４およびピンチローラ１１５により矢印Ｘ方向（図５）
に山形ガイド１１３へと搬送される。該山形ガイド１１
３は記録紙１２７のたわみを許容する山形のスペースを
有する。

【００３２】記録の終了した記録紙１２７は排紙トレイ
１１８に排出される。

【００３３】前記ヘッドドライバー１２０、ヘッド移動
手段１２４、キャップ移動手段１２５、モータードライ
バー１２１，２２３および帯電器ドライバー１２２はす
べて制御回路１１９により制御される。

【００３４】本発明は、特に液体噴射記録方式の中で熱
エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記録を行な
う、いわゆるインクジェット記録方式の記録ヘッド、記
録装置において、優れた効果をもたらすものである。

【００３５】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行なうものが好ましい。この記録方
式は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれ
にも適用可能である。

【００３６】この記録方式を簡単に説明すると、記録液
（インク）が保持されているシートや液流路に対応して
配置されている吐出エネルギー発生素子である電気熱変
換体に駆動回路より吐出信号を供給する、つまり、記録
情報に対応して記録液（インク）に核沸騰現象を越え、
膜沸騰現象を生じるような急速な温度上昇を与えるため
の少なくとも一つの駆動信号を印加することによって、
熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜
沸騰を生じさせる。このように記録液（インク）から電
気熱変換体に付与する駆動信号に一対一に対応した気泡
を形成できるため、特にオンデマンド型の記録法には有
効である。この気泡の成長、収縮により吐出口を介して
記録液（インク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を
形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適
切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特に応答性に優
れた記録液（インク）の吐出が達成でき、より好まし
い。このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４
４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に
記載されているようなものが適している。なお、上記熱
作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３
１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、さ
らに優れた記録を行なうことができる。

【００３７】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液流路、電気熱変換
体を組み合わせた構成（直線状液流路又は直角液流路）
の他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書に開示されているように、熱
作用部が屈曲する領域に配置された構成を持つものにも
本発明は有効である。

【００３８】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出口とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
を有するものにおいても本発明は有効である。

【００３９】さらに、本発明が有効に利用される記録ヘ
ッドとしては、記録装置が記録可能である被記録媒体の
最大幅に対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッド
がある。

【００４０】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。

【００４１】また、記録ヘッドに対する回復手段や予備
的な補助手段を付加することは、記録装置を一層安定に
することができるので好ましいものである。これらを具
体的に挙げれば、記録ヘッドに対しての、キャッピング
手段、クリーニング手段、加圧または吸引手段、電気熱
変換体或はこれとは別の加熱素子、あるいはこれらの組
み合わせによる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行な
う予備吐出モード手段を付加することも安定した記録を
行なうために有効である。

【００４２】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録
ヘッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせ
で構成したものかのいずれでもよいが、異なる色の複色
カラーまたは、混色によるフルカラーの少なくとも一つ
を備えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００４３】本発明において、上述した各インクにたい
して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行する
ものである。

【００４４】さらに加えて、本発明のインクジェット記
録装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器
の画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と
組み合わせた複写装置、さらには送受信機能を有するフ
ァクシミリ装置の形態を採るものであってもよい。

【００４５】以上説明した本発明の実施例においては、
インクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で
固化するインクであって、室温で軟化もしくは液体とな
るもの、或いは、インクジェットにおいて一般的に行な
われている温度調整の温度範囲である３０℃以上７０℃
以下の温度範囲で軟化もしくは液体となるものでもよ
い。すなわち、使用記録信号付与時にインクが液状をな
すものであればよい。加えて、積極的に熱エネルギーに
よる昇温をインクの固形状態から液体状態への態変化の
エネルギーとして使用せしめることで防止するか、また
は、インクの蒸発防止を目的として放置状態で固化する
インクを用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの
記録信号に応じた付与によってインクが液化してインク
液状として吐出するものや記録媒体に到達する時点では
すでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギーによ
って初めて液化する性質のインク使用も本発明には適用
可能である。このような場合インクは、特開昭５４−５
６８４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報
に記載されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に
液状または固形物として保持された状態で、電気熱変換
体に対して対向するような形態としてもよい。本発明に
おいては、上述した各インクに対して最も有効なもの
は、上述した膜沸騰方式を実行するものである。

【００４６】

【発明の効果】本発明は、前述のように構成されている
ので、インク流路溝の加工に際しての加工精度や誤差等
の関係によって、インク流路溝から吐出口プレートまで
の距離が各ブロック毎にばらつきがあり、基準線に各ブ
ロック毎の段差やばらつきがあったとしても、インク流
路溝のブロックの継ぎ目にインク吐出口の縦方向段差が
生じることがなく、複数のインク吐出口はばらつくこと
なく、常に正確な規定位置に加工することができ、歩留
りを向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】液体噴射記録ヘッドの天板に加工されたインク
流路溝に合わせてインク吐出口を形成するための位置決
めをする際の、天板と対物レンズの配置を示す断面的模
式図である。

【図２】インク流路溝の基準線のばらつきを説明するた
めの、図１で示した天板を右方向から見た図である。

【図３】対物レンズによりインク流路溝について基準位
置を観察する態様を示す模式的斜視図である。

【図４】長尺化された液体噴射記録ヘッドの構成を示す
模式的斜視図である。

【図５】本発明の製造方法により製造された液体噴射記
録ヘッドを適用した液体噴射記録装置の斜視図である。

【符号の説明】

１ 天板 ２ インク流路溝 ４ 吐出口プレート ５ 基準線 １０ 対物レンズ ２０ 基準位置 ３０ 素子基板 ３１ 吐出エネルギー発生素子 ３２ 基台

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小野 敬之 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の吐出エネルギー発生素子が形成さ
   れている素子基板上に、各吐出エネルギー発生素子に対
   応する複数のインク流路溝およびインク吐出口をレーザ
   加工装置を用いて加工した天板を取り付けて、液体噴射
   記録ヘッドを組み立てる液体噴射記録ヘッドの製造方法
   において、 複数本のインク流路溝を１つのブロックとして一度にレ
   ーザ加工する工程を複数回繰り返して全本数のインク流
   路溝を形成し、 複数のブロックに分割して加工されたインク流路溝の隣
   接したブロックにまたがって１つのブロックとして複数
   のインク吐出口を一度にレーザ加工し、 このブロック毎のインク吐出口の加工を複数回繰り返し
   て全てのインク吐出口を加工し、前記天板を形成するこ
   とを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 複数の吐出エネルギー発生素子が形成さ
   れている素子基板上に、各吐出エネルギー発生素子に対
   応する複数のインク流路溝およびインク吐出口をレーザ
   加工装置を用いて加工した天板を取り付けて、液体噴射
   記録ヘッドを組み立てる液体噴射記録ヘッドの製造方法
   において、 複数本のインク流路溝を１つのブロックとして一度にレ
   ーザ加工する工程を複数回繰り返して全本数のインク流
   路溝を形成し、 複数のブロックに分割して加工されたインク流路溝の隣
   接したブロックのそれぞれ略中央に位置するインク流路
   溝を観察して基準位置を検出し、 基準位置の検出結果に基づいて高さ方向の傾きを調整
   し、 前記隣接したインク流路溝のブロックにまたがって複数
   のインク吐出口を１つのブロックとして一度にレーザ加
   工し、 基準位置の検出、調整およびブロック毎のインク吐出口
   の加工を複数回繰り返して全てのインク吐出口を加工
   し、前記天板を形成することを特徴とする液体噴射記録
   ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】 １つのブロックとして一度に加工するイ
   ンク吐出口の数は、１つのブロックとして一度に加工す
   るインク流路溝の本数と同数であることを特徴とする請
   求項１または２記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
4. 【請求項４】 隣接したインク流路溝のブロックにまた
   がって複数個のインク吐出口を一度に加工する際に、そ
   れぞれのブロックに加工するインク吐出口の個数は同数
   であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１
   項記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。