JPH10154674A - 基板処理装置およびスクラブ洗浄部材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】基板を良好に洗浄でき、しかもスクラブ洗浄手
段の寿命を延ばすことができる基板処理装置を提供す
る。 【解決手段】スクラブ部材40は、スポンジ部41およびブ
ラシ部42の２種類の部材で構成されている。スポンジ部
41は、スクラブ部材40の中心を通る十字状の領域43に配
設され、ブラシ部42は、十字状の領域43以外の領域に配
設されている。すなわち、ウエハＷの中心に対応する部
分にはスポンジ部41が配設され、ウエハＷの周縁部に対
応する部分にはブラシ部42が配設されている。洗浄液
は、スクラブ部材40の中心に配設されたノズル30から吐
出される。 【効果】ウエハＷの周縁部、ウエハＷの端面およびウエ
ハＷを保持する部材にブラシの毛先が及ぶから、これら
の部分を良好にスクラブ洗浄できる。また、洗浄液の吐
出圧によるブラシの変形がほとんどないから、ブラシの
耐久性が向上する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ、液
晶表示装置用ガラス基板およびＰＤＰ（プラズマ・ディ
スプレイ・パネル）基板のような各種の基板に対して処
理を施すための基板処理装置、および基板処理装置に用
いられるスクラブ洗浄部材に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程には、半導体ウエ
ハ（以下、単に「ウエハ」という。）の表面に成膜やエ
ッチングなどの処理を繰り返し施して微細パターンを形
成していく工程が含まれる。微細加工のためにはウエハ
自体の表面およびウエハ表面に形成された薄膜の表面を
清浄に保つ必要があるから、必要に応じてウエハの洗浄
が行われる。たとえば、ウエハやその表面上に形成され
た薄膜を研磨材を用いて研磨した後には、研磨材がウエ
ハ表面に残留しているから、この研磨材を除去するため
の洗浄が必要である。

【０００３】ウエハ表面に残留している研磨材の除去の
ためのウエハ洗浄処理には、一般に、スクラブ洗浄装置
が用いられる。スクラブ洗浄装置は、ウエハを周縁部に
て挾持するチャック部材が備えられたスピンチャック
と、チャック部材に挾持されているウエハをスクラブす
るためのスクラブ部材が取り付けられたヘッド部と、こ
のヘッド部を鉛直軸回りに回転させる回転駆動部と、ウ
エハの表面に対して洗浄液を吐出するノズルとを含む。

【０００４】スクラブ洗浄時、チャック部材により挾持
されているウエハとスクラブ部材の当接面とが互いに押
しつけられて、ヘッド部が回転駆動部によって高速回転
させられるとともに、ノズルから洗浄液が吐出される。
これにより、ウエハがスクラブ洗浄される。スクラブ部
材として代表的なものには、ＰＶＡ(poly-vinyl alcoho
l)などで構成されたスポンジ状部材とナイロンなどで構
成されたブラシ状部材とがある。

【０００５】スポンジ状部材をスクラブ部材として使用
する装置では、スポンジ状部材の当接面積がウエハの表
面積に比べて小さくされる。これは、スポンジ状部材の
当接面積を大きくすると当接面の面精度が十分にとれず
に、ウエハの洗浄が不均一になるからである。したがっ
て、このような装置は、通常、いわゆる自公転式として
構成され、ウエハの上面を洗浄するために用いられる。
また、この装置では、ウエハ表面に斜めから洗浄液が供
給されるような位置にノズルが設けられる。

【０００６】ブラシ状部材をスクラブ部材として使用す
る装置では、ブラシの毛先があまり揃っていなくても、
ブラシ状部材の当接面とウエハとを互いに押しつければ
ブラシは寝るから、当接面の面精度はそれほど必要では
ない。したがって、この装置では、ブラシ状部材の当接
面積はウエハの表面積とほぼ同じにすることができる。
そのため、このような装置は、通常、いわゆる自転式と
して構成され、ウエハの下面を洗浄するために用いられ
る。また、この装置では、当接面のほぼ中央部にノズル
が設けられている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、スポンジ状部
材およびブラシ状部材のいずれにもそれぞれ固有の問題
があり、いずれの部材をスクラブ部材として使用する場
合でも、ウエハを良好に洗浄することは困難である。表
１は、スポンジ状部材およびブラシ状部材をスクラブ部
材として用いる場合における諸性能を比較したものであ
る。表１において、「〇」は良好であることを示し、
「△」はあまり良好でないことを示し、「×」はほぼ不
可能であることを示している。

【０００８】

【表１】

【０００９】「除去率」とは、ウエハ表面上のパーティ
クルの除去率のことである。ブラシ状部材のパーティク
ル除去率があまり良くないのは、ブラシ間に隙間が空い
ているからであると考えられる。「耐久性」に関し、ブ
ラシ状部材があまり良くないのは、ブラシ状部材がスク
ラブ部材として用いられる場合、ブラシ状部材のほぼ中
心部にノズルが配置されるからである。すなわち、使用
頻度が増加するにつれて、洗浄液の吐出圧によってブラ
シ部材のほぼ中央部のブラシが寝た状態に変形する。こ
の状態ではブラシがウエハ表面に届かずにウエハをスク
ラブ洗浄できないから、交換を要することになる。

【００１０】「周辺除去」とは、ウエハの周縁部のパー
ティクルの除去のことである。「周辺除去」に関しスポ
ンジ状部材があまり良くないのは、ウエハの周縁部を残
すような形でしかウエハの表面を洗浄することができな
いからである。すなわち、ウエハの周縁部を良好に洗浄
しようとするとスポンジ状部材をウエハの周縁部に直接
当てる必要があるが、この場合、高速回転しているスポ
ンジ状部材の側面とウエハを周縁部で保持しているチャ
ック部材とが擦れ、スポンジ状部材の側面が磨耗するお
それがある。したがって、スポンジ状部材の寿命を考え
ると、ウエハの周縁部を犠牲にせざるを得ない。

【００１１】これに対して、ブラシ状部材ではブラシが
寝るから、側面がチャック部材に擦れるようにブラシを
設けなくても、ブラシの毛先をウエハの周縁部に直接当
てることができる。したがって、ブラシの劣化をほとん
ど問題にせずに、ウエハの周縁部を良好に洗浄できる。
「端面除去」に関し、ブラシ状部材はブラシが寝るから
ウエハの端面にまでブラシが回り込む。したがって、ウ
エハの端面をも洗浄できる。しかし、スポンジ状部材を
ウエハの端面に当てることはできないから、ウエハの端
面を洗浄することはできない。

【００１２】「チャック部材」とは、チャック部材を洗
浄できるかどうかということである。ブラシ状部材では
ブラシが寝るからチャック部材にまでブラシが届き、チ
ャック部材を洗浄できるのに対して、前述のようにスポ
ンジ状部材ではスポンジをチャック部材に直接当てるこ
とはできないから、チャック部材を洗浄することはでき
ない。このような比較をしているのは、チャック部材に
もパーティクルが付着するおそれがあり、これを除去で
きる方が好ましいからである。

【００１３】「面精度」に関しては、前述のとおりであ
るから、省略する。このように、スポンジ状部材および
ブラシ状部材をそれぞれ単独でスクラブ部材として使用
する場合には、各部材の固有の問題によりウエハを良好
に洗浄することができない。一方、表１を見ると、ウエ
ハの周縁部におけるスクラブ部材の性能（「周辺除
去」、「端面除去」および「チャック部材」）に関して
はブラシ状部材の方が良く、その他の性能（「除去率」
および「耐久性」）に関してはスポンジ状部材の方が良
いことがわかる。

【００１４】本出願人は、この点に着目し、スポンジ状
部材とブラシ状部材との２種類の部材を有するスクラブ
部材であれば、ウエハを良好に洗浄でき、しかもスクラ
ブ部材の寿命を延ばすことができることを見出した。本
発明は、前述の技術的背景に鑑みてなされたもので、ウ
エハなどの基板を良好に洗浄でき、しかもスクラブ洗浄
手段の寿命を延ばすことができる基板処理装置、および
基板処理装置に用いられるスクラブ洗浄部材を提供する
ことを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の請求項１記載の発明は、基板を保持するための基板保
持手段と、この基板保持手段に保持された基板に洗浄液
を供給するための洗浄液供給手段と、少なくとも中央付
近に設けられたスポンジ状部材と、少なくとも周縁部に
設けられたブラシ状部材とを有し、前記基板保持手段に
保持された基板をスクラブ洗浄するためのスクラブ洗浄
手段と、このスクラブ洗浄手段を前記基板保持手段に保
持された基板に対してほぼ垂直な軸回りに回転させるた
めの回転駆動手段とを含むことを特徴とする基板処理装
置である。

【００１６】請求項４記載の発明は、基板保持手段に保
持された基板に洗浄液を供給して基板をスクラブ洗浄す
る機能を有する基板処理装置に用いられ、前記基板に対
してほぼ垂直な軸回りに回転可能なスクラブ洗浄部材で
あって、少なくとも中央付近に設けられたスポンジ状部
材と、少なくとも周縁部に設けられたブラシ状部材とを
含むことを特徴とするスクラブ洗浄部材である。

【００１７】本発明では、少なくとも周縁部にブラシ状
部材が配設されるから、基板の周縁部および基板の端面
にブラシ状部材を当てることができる。そのため、基板
の周縁部および基板の端面のパーティクルを確実に除去
できる。また、たとえば請求項２記載の発明のように、
基板を周縁部で保持するチャック部材が備えられる場合
には、チャック部材にもブラシ状部材を当てることがで
きるから、チャック部材のパーティクル除去をも確実に
除去できる。

【００１８】また、少なくとも中央付近にはスポンジ状
部材が配設されるから、スポンジ状部材を基板に密着さ
せることができる。そのため、基板のパーティクルを確
実に除去できる。さらに、たとえば請求項３記載の発明
のように、スクラブ洗浄手段のほぼ回転中心から洗浄液
を供給する場合であっても、洗浄液の供給圧によるスポ
ンジ状部材の変形はブラシ状部材ほどではないから、耐
久性の向上を図ることができる。さらにまた、スポンジ
状部材を大型のものにする必要もないから、面精度を十
分に出すことができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下では、本発明の実施の形態
を、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発
明の一実施形態の基板処理装置であるウエハ洗浄装置の
基本的な構成を示す側面図であり、その一部を断面で表
している。この装置は、ウエハＷを水平に保持した状態
でこのウエハＷの下面をスクラブ洗浄するためのもの
で、ウエハＷを当該ウエハＷの端面に接触して挾持する
ための一対の端面支持ハンド１０，１１と、端面支持ハ
ンド１０，１１によって挾持された状態のウエハＷの下
面をスクラブ洗浄するためのスクラブ洗浄装置２０とを
備えている。

【００２０】一対の端面支持ハンド１０，１１は、図２
に示すように、ウエハＷの端面形状に対応して円弧状に
湾曲した支持面１０ａ，１１ａをそれぞれ有している。
この各支持面１０ａ，１１ａが相対向するように端面支
持ハンド１０，１１が配設されている。各支持面１０
ａ，１１ａには、それぞれ、４つの挾持爪１０ｂ，１１
ｂが間隔をあけて取り付けられている。これらの挾持爪
１０ｂ，１１ｂによりウエハＷが挾持される。

【００２１】端面支持ハンド１０，１１は、それぞれ、
ウエハＷの中心に近接する方向およびウエハＷの中心か
ら離反する方向に変位することができるように構成され
ている。これにより、図示しない搬送アームによって搬
送されてきた洗浄前のウエハＷを一対の端面支持ハンド
１０，１１で挾持したり、洗浄後のウエハＷを搬送アー
ムに渡すときにウエハＷの挾持状態を解放したりするこ
とができる。

【００２２】また、端面支持ハンド１０，１１は、それ
ぞれ、昇降可能に構成されている。これにより、搬送ア
ームから受け取ったウエハＷをスクラブ洗浄できるよう
にスクラブ洗浄装置２０に近づけたり、洗浄後のウエハ
Ｗを搬送アームに渡すためにスクラブ洗浄装置２０から
遠ざけたりすることができる。さらに、端面支持ハンド
１０，１１は、それぞれ、平面的な円運動ができるよう
に構成されている。これにより、スクラブ洗浄時、ウエ
ハＷの下面を万遍なくスクラブすることができる。

【００２３】図３は、スクラブ洗浄装置２０の平面図で
あり、図４は図３のIV-IV 断面図である。スクラブ洗浄
装置２０は、ウエハＷの下面をスクラブするためのスク
ラブ部材４０が上面のほぼ全体に配設されたヘッド部２
１と、ヘッド部２１の下部にボルト２２によって連結さ
れた円筒状の回転軸２３とを備えている。回転軸２３
は、円筒状の固定軸２４の内壁面に配置された軸受２５
によって軸支されており、回転駆動部２６によってウエ
ハＷの中心を通る中心軸Ｏまわりに回転可能にされてい
る。スクラブ洗浄時、回転軸２３は回転駆動部２６によ
って回転される。これに伴って、ヘッド部２１も回転す
る。

【００２４】固定軸２４の内壁面には、回転軸２３の外
壁面と摺接するリップシール２７が嵌め込まれている。
リップシール２７は、軸受２５から漏れるオイルを堰き
止めたり軸受２５で発生するパーティクルを外部に漏ら
さないようにするためのものであり、また、洗浄液の雰
囲気が軸受２５に侵入して軸受２５が錆びるのを防止す
るためのものである。

【００２５】回転軸２３の内部には、支持管２８が固定
配置されている。支持管２８の内部には、スクラブ部材
４０の一部であるスポンジ部４１に形成された凹部４１
ａまで延びている洗浄液パイプ２９が設けられている。
洗浄パイプ２９は、ＰＦＡ(Tetra-fluoro-ethylene・pe
rfluoro-alkyl-vinylether copolymer) などの樹脂で構
成されている。洗浄パイプ２９には、その下端側から図
外の洗浄液タンクからの洗浄液が供給されるようになっ
ている。洗浄液としては、純水やアンモニアなどが用い
られる。洗浄液パイプ２９の上端部は開口しており、洗
浄液タンクから洗浄液パイプ２９に供給されてきた洗浄
液を吐出するノズル３０として機能する。すなわち、ヘ
ッド部２１の上面に配設されたスクラブ部材４０のほぼ
中心にノズル３０が配設されている。

【００２６】洗浄液パイプ２９とスポンジ部４１との間
は摺接しており、スクラブ洗浄時にスポンジ部４１が回
転することによりシールとして機能するようになってい
る。なお、参照符号３１は、ヘッド部２１の下部に取り
付けられ、回転軸２３および固定軸２４の上部付近を保
護するためのカバーである。ヘッド部２１は、円板状の
第１ベース部２１ａと、第１ベース部２１ａの上面にボ
ルト３２によって連結され、塩化ビニールなどで構成さ
れた円板状の第２ベース部２１ｂとを含む。第２ベース
部２１ｂの上面のほぼ全体に配設されているスクラブ部
材４０の上端面の直径は、ウエハＷの直径とほぼ同じ大
きさに設定されている。これにより、スクラブ洗浄時、
ウエハＷの下面をスクラブ部材４０の上端面に押しつけ
た場合、ウエハＷの下面全体にスクラブ部材４０が当た
るようになっている。

【００２７】スクラブ部材４０は、スポンジ部４１とブ
ラシ部４２とに分かれている。より具体的には、ヘッド
部２１の上面のうちヘッド部２１の中心を通る十字状の
領域４３にスポンジ部４１が設けられており、ヘッド部
２１の上面のうち十字状の領域４３を除く領域にブラシ
部４２が設けられている。言い換えれば、少なくともヘ
ッド部２１の中心付近にはスポンジ部４１が配設され、
少なくともヘッド部２１の周縁部にはブラシ部４２が配
設されている。さらに言えば、ウエハＷの中心付近に対
応する部分にはスポンジ部４１が配設され、ウエハＷの
周縁部に対応する部分にはブラシ部４２が配設されてい
る。

【００２８】ブラシ部４２は、第２ベース部２１ｂに植
立された複数本のブラシからなる。ブラシの材質として
は、ナイロンやモヘアなどが採用される。モヘアとは、
アクリルとレーヨンとを１対１に配合して製造されたも
のである。スポンジ部４１は、ＰＶＡ(poly-vinyl alco
hol)などのスポンジ材で構成され、十字状に一体成形さ
れている。このように、十字状に構成すれば、ウエハＷ
を広範囲に効率よく洗浄でき、大きな円形状に構成する
よりも面精度を必要としない。スポンジ部４１の下部か
らは、一体形成された突出部４１ｂが水平方向に突出し
ている。第２ベース部２１ｂの十字状の領域４３には、
スポンジ部４１の形状に対応する十字状の嵌込穴３３が
形成されており、その下部には幅がさらに広くされた段
差部３４が形成されている。スポンジ部４１は、段差部
３４に突出部４１ｂが入り込んだ状態で嵌込穴３３に嵌
め込まれている。

【００２９】スポンジ部４１の中心部には、平面視にお
いて円形の凹部４１ａが形成されており、この凹部４１
ａによりノズル３０が外部空間に臨んでいる。凹部４１
ａの周囲には、ノズル３０から吐出される洗浄液をウエ
ハＷの周縁部に向けて広げるための４つのＶ溝４４が形
成されている。スポンジ部４１のヘッド部２１の上面か
らの高さは、ブラシ部４２のヘッド部２１の上面からの
高さに比べて所定の長さΔｄだけ低くされている。すな
わち、スクラブ洗浄時には、スクラブ部材４０にウエハ
Ｗが所定の押し込み量だけ押しつけられるために、この
押し込み量に対応する長さΔｄだけスポンジ部４１をブ
ラシ部４２よりも低くしている。

【００３０】スポンジ部の４つの端部４１ｃとヘッド部
２１の周縁部との間には、所定の間隔ｒが空けられてい
る。間隔ｒが空けられている理由は、次のとおりであ
る。スクラブ洗浄時、端面支持ハンド１０，１１がウエ
ハＷを含む平面内で円運動させられ、図５に示すよう
に、ウエハＷの中心がスクラブ洗浄装置２０の中心部で
あるノズル３０を中心にした同心円状の軌跡５０を描く
ように、ウエハＷが円運動される。このような洗浄の仕
方をするのは、ノズル３０に対応するウエハＷの下面の
中心にもスクラブ部材４０を当てるためである。したが
って、二点鎖線で示すように、ウエハＷの周縁部がヘッ
ド部２１の中心側にずれる。そのため、前述のような間
隔ｒを空けることで、ウエハＷの周縁部がヘッド部２１
の中心側にずれても、スポンジ部４１がウエハＷの周縁
部近傍にまでしか及ばないようにし、スポンジ部４１と
ウエハＷを挾持している端面支持ハンド１０，１１の挾
持爪１０ｂ，１１ｂとの接触を防止している。

【００３１】スクラブ洗浄時、ウエハＷを挾持した端面
支持ハンド１０，１１が下方に降ろされ、ウエハＷがス
クラブ部材４０の上端面に押しつけられる。このときの
押し込み量は、たとえば１(mm)である。その結果、スク
ラブ部材４０の周縁部にまで配設されているブラシの毛
先がウエハＷによって曲げられる。これにより、ブラシ
の毛先は、ウエハＷの周縁部に及ぶのはもちろん、図６
に示すように、ウエハＷの端面およびウエハＷを挾持し
ている端面支持ハンド１０，１１の挾持爪１０ｂ，１１
ｂまで及ぶ。また、ウエハＷは、図７に示すように、点
接触により挾持爪１０ｂ，１１ｂに挾持されているか
ら、挾持爪１０ｂ，１１ｂ近傍のウエハＷの端面のほと
んどにもブラシの毛先が及ぶ。一方、ブラシ部４２とス
ポンジ部４１との高低差である長さΔｄは前記押し込み
量に相当するから、スポンジ部はウエハＷの下面に密着
する。

【００３２】その後、回転軸２３が回転駆動部２６によ
って回転され、これに伴ってヘッド部２１も回転する。
その結果、スクラブ部材４０も回転する。このときの回
転数は、たとえば300(rpm)である。また、ノズル３０か
ら吐出された洗浄液は、ウエハＷの下面中心部に供給さ
れるとともに、Ｖ溝４４によりウエハＷの周縁部に向け
て広がっていく。その結果、ウエハＷの下面がブラシ部
４２およびスポンジ部４１でスクラブ洗浄されるととも
に、ウエハＷの端面および挾持爪１０ｂ，１１ｂがブラ
シ部４２によってスクラブ洗浄される。これにより、ウ
エハＷの周縁部、ウエハＷの端面および挾持爪１０ｂ，
１１ｂに付着しているパーティクルが除去される。

【００３３】以上のようなスクラブ洗浄は、端面支持ハ
ンド１０，１１をウエハＷを含む平面内で円運動させな
がら行われる。端面支持ハンド１０，１１が円運動され
ると、スポンジ部４１がウエハＷの周縁部近傍まで及
ぶ。すなわち、ウエハＷの下面のうち周縁部を除くほと
んどの部分をスポンジ部４１でスクラブ洗浄できる。し
たがって、ブラシのみによるスクラブ洗浄の場合に比べ
てウエハＷの下面のパーティクルの除去を確実に行うこ
とができる。

【００３４】以上のように本実施形態のスクラブ洗浄装
置２０によれば、ウエハＷの中心部に対応する部分にス
ポンジ部４１を配設し、ウエハＷの周縁部に対応する部
分にブラシ部４２を配設しているから、各部材を各々単
独でスクラブ部材とする場合の長所をすべて生かすこと
ができる。そのため、ウエハＷの下面周縁部を含む下面
全体、ウエハＷの端面および挾持爪１０ｂ，１１ｂのパ
ーティクルを確実に除去でき、また面精度を十分に出す
ことができるから、ウエハＷの下面を良好にスクラブ洗
浄できる。また、洗浄液の吐出圧によるスクラブ部材４
０の変形もほとんどないから、スクラブ部材４０の耐久
性も向上する。

【００３５】本発明の実施の一形態の説明は以上のとお
りであるが、本発明は前述の実施形態に限定されるもの
ではない。たとえば前記実施形態では、本発明をウエハ
Ｗの下面をスクラブ洗浄する装置に適用する場合を例に
とっているが、本発明は、たとえばウエハＷの上面をス
クラブ洗浄する装置にも適用できる。図８は、ウエハＷ
の上面をスクラブ洗浄するための装置の構成を示す側面
図であり、図９は、この装置を簡略化して示す平面図で
ある。この装置は、ウエハＷを挾持するためのチャック
機構６０と、ウエハＷの上面をスクラブ洗浄するための
スクラブ洗浄装置７０とを含む。チャック機構６０は、
ベース部６１と、ベース部６１の下部に連結され、回転
可能に設けられた回転体６２と、ベース部６１の上面の
少なくとも３箇所に配置され、ウエハＷを周縁部にて挾
持するチャックピン６３とを含む。

【００３６】スクラブ洗浄装置７０は、図９に示すよう
に、いわゆる自公転式のもので、軸７１を中心にして揺
動可能で、かつ上下方向の昇降自在なアーム７２と、ア
ーム７２の先端の下部に取り付けられ、軸７３を中心に
して回転可能な回転ヘッド部７４と、ウエハＷの上面に
向けて洗浄液を斜めから吐出するノズル７５とを含む。
回転ヘッド部７４の下面には、スポンジ部７６およびブ
ラシ部７７を有するスクラブ部材７８が設けられてい
る。スポンジ部７６およびブラシ部７７は、前記実施形
態と同じ形態（図３参照）で配設されている。

【００３７】スクラブ洗浄時、チャック機構６０の回転
体６２が回転させられる。その結果、チャックピン６３
に挾持されているウエハＷが回転する。また、スクラブ
洗浄装置７０の回転ヘッド部７４が回転させられ、これ
に伴ってスクラブ部材７８も回転する。この状態におい
てスクラブ洗浄装置７０のアーム７２が揺動される。こ
れにより、回転中のウエハＷを中心から周縁部まで繰り
返しスキャンされる。さらに、以上の動作が行われてい
る間、ノズル７５から洗浄液がウエハＷに向けて吐出さ
れる。これにより、ウエハＷの上面のスクラブ洗浄が達
成される。

【００３８】スクラブ部材７８がウエハＷの周縁部まで
スキャンされたとき、スクラブ部材７８の周縁部はブラ
シ部７７であるから、スポンジ部７６とチャックピン６
３との機械的な干渉はほとんどない。一方、ブラシ部７
７のブラシの毛先は、ウエハＷの端面およびチャックピ
ン６３にまで及ぶ。また、チャック機構６０でもウエハ
Ｗは点接触により挾持されるから、チャックピン６３近
傍のウエハＷの端面のほとんどにもブラシの毛先が及
ぶ。そのため、ウエハＷの上面周縁部を含む上面全体、
ウエハＷの端面およびチャックピン６３のパーティクル
を確実に除去できる。

【００３９】このように、ウエハＷの上面をスクラブ洗
浄する場合であっても、前記実施形態と同様に、ウエハ
Ｗの上面を良好にスクラブ洗浄できるとともに、スクラ
ブ部材７６の耐久性も向上する。また、ウエハＷの上面
をスクラブ洗浄する装置において、チャックピン６３に
てウエハＷの周縁部を挾持する代わりに、たとえばウエ
ハＷの下面中心部を真空吸着によって保持するようにし
てもよい。この場合、ウエハＷを保持する機構とウエハ
Ｗの端面とが接触することはないから、図１０に示すよ
うに、ウエハＷの端面全体にブラシの毛先が及ぶ。した
がって、ウエハＷの端面を一層良好にスクラブ洗浄でき
る。

【００４０】さらに、この場合、スポンジ部７６の端部
と回転ヘッド部７４の周縁部との間に所定の間隔をあけ
ずに、スポンジ部７６の端部を回転ヘッド部７４の周縁
部にまで延ばしてもよい。このようにしても、スポンジ
部７６の端部と基板保持機構とが機械的に干渉すること
がないからである。この構成によれば、洗浄力の高いス
ポンジ部７６がウエハＷに当たる面積が増えるから、洗
浄力の向上を図ることができる。

【００４１】さらに、前記実施形態では、ヘッド部２１
の中心を通る十字状の領域４３にスポンジ部４１を配設
する場合を例にとっているが、たとえば図１１に示すよ
うに、ヘッド部２１と同心円の領域８０にスポンジ部８
１を配設するようにしてもよい。また、図１２に示すよ
うに、ヘッド部２１の中心を通る直線状の領域８２にス
ポンジ部８３を配設するようにしてもよく、図１３に示
すように、ヘッド部２１の中心に対応する円領域を含む
複数の円領域８４にそれぞれスポンジ部８５を配設する
ようにしてもよい。さらに、図１４に示すように、ヘッ
ド部２１の中心を含む渦巻き状の領域８６にスポンジ部
８７を配設するようにしてもよい。要は、ヘッド部２１
の中心部付近にスポンジ部が配設され、ヘッド部２１の
周縁部にブラシ部が配設されるようなものであればよ
い。

【００４２】なお、図１４に示すような構成であれば、
ヘッド部２１の回転に伴って洗浄液を周縁部に導くこと
ができるから、パーティクルおよび不要な洗浄液を迅速
に振り切らせることができる。また、前記実施形態で
は、ヘッド部２１に対してスポンジ部４１が嵌め込まれ
るようにして固定される場合について説明しているが、
スポンジ部４１をヘッド部２１に対して耐液性のある接
着剤等で直接接着して固定してもよい。

【００４３】さらにまた、前記実施形態では、ウエハＷ
の洗浄が行われる場合について説明しているが、本発明
は、液晶表示装置要ガラス基板など他の各種の基板の洗
浄に対して広く適用することができる。その他、特許請
求の範囲に記載された範囲内で種々の設計変更を施すこ
とが可能である。

【００４４】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、少なくと
も中央付近にはスポンジ状部材を配設し、少なくとも周
縁部にはブラシ状部材を配設しているから、各部材をそ
れぞれ単独で用いる場合における長所をすべて生かすこ
とができる。そのため、基板を良好に洗浄できるととも
に、スクラブ洗浄手段の寿命を延ばすことができる。ま
た、基板の周縁部を保持するチャック部材が備えられる
場合でも、チャック部材にまでブラシ状部材が及ぶか
ら、チャック部材をも良好に洗浄できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態の基板処理装置であるウエ
ハ洗浄装置の構成を示す側面図である。

【図２】端面支持ハンドの構成を示す図である。

【図３】スクラブ洗浄装置の平面図である。

【図４】スクラブ洗浄装置の断面図である。

【図５】ウエハの円運動について説明するための図であ
る。

【図６】ブラシ部の毛先がウエハを挾持する挾持爪にま
で及ぶことを示す図である。

【図７】ブラシ部の毛先が挾持爪で挾持されている部分
付近のウエハの端面にまで及ぶことを示す図である。

【図８】本発明の他の実施形態の基板処理装置であるウ
エハ洗浄装置の構成を示す側面図である。

【図９】スクラブ洗浄装置の構成を示す平面図である。

【図１０】ブラシ部の毛先がウエハの端面にまで及ぶこ
とを示す図である。

【図１１】スクラブ部材の配設パターンの他の例を示す
図である。

【図１２】同じく、スクラブ部材の配設パターンの他の
例を示す図である。

【図１３】同じく、スクラブ部材の配設パターンの他の
例を示す図である。

【図１４】同じく、スクラブ部材の配設パターンの他の
例を示す図である。

【符号の説明】 １０，１１ 端面支持ハンド １０ｂ，１１ｂ 挾持爪 ２０ スクラブ洗浄装置 ２６ 回転駆動部 ３０ ノズル ４０ スクラブ部材 ４１ スポンジ部 ４２ ブラシ部 ６０ チャック機構 ６３ チャックピン ７０ スクラブ洗浄装置 ７３ 回転軸 ７５ ノズル ７６ スポンジ部 ７７ ブラシ部 ７８ スクラブ部材 ８１，８３，８５，８７ スポンジ部 Ｏ 中心軸 Ｗ ウエハ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板を保持するための基板保持手段と、 この基板保持手段に保持された基板に洗浄液を供給する
   ための洗浄液供給手段と、 少なくとも中央付近に設けられたスポンジ状部材と、少
   なくとも周縁部に設けられたブラシ状部材とを有し、前
   記基板保持手段に保持された基板をスクラブ洗浄するた
   めのスクラブ洗浄手段と、 このスクラブ洗浄手段を前記基板保持手段に保持された
   基板に対してほぼ垂直な軸回りに回転させるための回転
   駆動手段とを含むことを特徴とする基板処理装置。
2. 【請求項２】前記基板保持手段は、基板を周縁部で保持
   するチャック部材を含むものであることを特徴とする請
   求項１記載の基板処理装置。
3. 【請求項３】前記洗浄液供給手段は、前記スクラブ洗浄
   手段のほぼ回転中心から洗浄液を供給するものであるこ
   とを特徴とする請求項１または請求項２記載の基板処理
   装置。
4. 【請求項４】基板保持手段に保持された基板に洗浄液を
   供給して基板をスクラブ洗浄する機能を有する基板処理
   装置に用いられ、前記基板に対してほぼ垂直な軸回りに
   回転可能なスクラブ洗浄部材であって、少なくとも中央
   付近に設けられたスポンジ状部材と、少なくとも周縁部
   に設けられたブラシ状部材とを含むことを特徴とするス
   クラブ洗浄部材。