JPH10148614A - 三次元温度・濃度計測装置 - Google Patents
三次元温度・濃度計測装置Info
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- JPH10148614A JPH10148614A JP30939296A JP30939296A JPH10148614A JP H10148614 A JPH10148614 A JP H10148614A JP 30939296 A JP30939296 A JP 30939296A JP 30939296 A JP30939296 A JP 30939296A JP H10148614 A JPH10148614 A JP H10148614A
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- fluorescence
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Abstract
(57)【要約】
【課題】時間的に変化する対象にも適用でき、瞬時に対
象の三次元的現象解析を行なえる三次元温度・濃度計測
装置を提供すること。 【解決手段】レーザ光１７を二本以上に分離し、分離さ
れた各レーザ光１７ａ〜１７ｄに光路差を設けることに
より各レーザ光１７ａ〜１７ｄに照射時間差を設け、さ
らに各レーザ光１７ａ〜１７ｄをシート状にし照射位置
をずらしながら三次元的に測定場Ａに照射する照射手段
（１〜５）と、各レーザ光１７ａ〜１７ｄから発生する
蛍光の中で、それぞれが特定の一つのレーザ光から発生
する蛍光のみを検出する複数の検出手段１０ａ〜１０ｄ
と、これら検出手段１０ａ〜１０ｄで検出された照射時
間の異なる複数のレーザ光による蛍光を各々分離して計
測することで生じる複数の二次元断面分布を組み合わせ
て、測定場Ａの三次元的な温度及び濃度を計測する計測
手段（１１）と、を具備。
象の三次元的現象解析を行なえる三次元温度・濃度計測
装置を提供すること。 【解決手段】レーザ光１７を二本以上に分離し、分離さ
れた各レーザ光１７ａ〜１７ｄに光路差を設けることに
より各レーザ光１７ａ〜１７ｄに照射時間差を設け、さ
らに各レーザ光１７ａ〜１７ｄをシート状にし照射位置
をずらしながら三次元的に測定場Ａに照射する照射手段
（１〜５）と、各レーザ光１７ａ〜１７ｄから発生する
蛍光の中で、それぞれが特定の一つのレーザ光から発生
する蛍光のみを検出する複数の検出手段１０ａ〜１０ｄ
と、これら検出手段１０ａ〜１０ｄで検出された照射時
間の異なる複数のレーザ光による蛍光を各々分離して計
測することで生じる複数の二次元断面分布を組み合わせ
て、測定場Ａの三次元的な温度及び濃度を計測する計測
手段（１１）と、を具備。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光を用いた
三次元温度・濃度計測装置に関する。
三次元温度・濃度計測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図８は、従来の一般的なレーザ誘起蛍光
法（ＬＩＦ：Ｌａｓｅｒ Ｉｎｄｕｃｅｄ Ｆｌｕｏｒ
ｅｓｃｅｎｃｅ）を用いた温度・濃度解析装置の構成を
示す図である。ＬＩＦでは、計測分子が有している吸収
線と同一な周波数を持つレーザ光で測定場を照射する必
要があるため、励起用パルスレーザ１で色素レーザ等の
波長可変レーザ２を発振させ、計測分子の電子エネルギ
ー差に対応した波長のレーザ光１７を出力させる。
法（ＬＩＦ：Ｌａｓｅｒ Ｉｎｄｕｃｅｄ Ｆｌｕｏｒ
ｅｓｃｅｎｃｅ）を用いた温度・濃度解析装置の構成を
示す図である。ＬＩＦでは、計測分子が有している吸収
線と同一な周波数を持つレーザ光で測定場を照射する必
要があるため、励起用パルスレーザ１で色素レーザ等の
波長可変レーザ２を発振させ、計測分子の電子エネルギ
ー差に対応した波長のレーザ光１７を出力させる。
【０００３】レーザ光１７はビームエキスパンダ６にて
シート状のレーザ光１７ａにされた後、測定場Ａに照射
される。励起された計測分子から生じる蛍光は、レンズ
８で集光され、ＣＣＤカメラ１０で計測される。同期ラ
イン２０は、励起用パルスレーザ１の発振とＣＣＤカメ
ラ１０を同期させるラインである。ＣＣＤカメラ１０か
ら出力された信号はコンピュータ１１へ転送され、コン
ピュータ１１で温度、濃度が解析される。
シート状のレーザ光１７ａにされた後、測定場Ａに照射
される。励起された計測分子から生じる蛍光は、レンズ
８で集光され、ＣＣＤカメラ１０で計測される。同期ラ
イン２０は、励起用パルスレーザ１の発振とＣＣＤカメ
ラ１０を同期させるラインである。ＣＣＤカメラ１０か
ら出力された信号はコンピュータ１１へ転送され、コン
ピュータ１１で温度、濃度が解析される。
【０００４】図９は、従来の三次元計測法を説明するた
めの図である。従来、ＬＩＦを用いて三次元分布を計測
する場合、図９に示すようにミラー１８ａ，１８ｂなど
を用いて測定場Ａ上のレーザ照射位置を順次ずらし、各
レーザ光照射断面１７ａ，１７ｂをＣＣＤカメラを用い
て計測し、これら各断面の二次元分布を組み合わせ三次
元分布を求めていた。
めの図である。従来、ＬＩＦを用いて三次元分布を計測
する場合、図９に示すようにミラー１８ａ，１８ｂなど
を用いて測定場Ａ上のレーザ照射位置を順次ずらし、各
レーザ光照射断面１７ａ，１７ｂをＣＣＤカメラを用い
て計測し、これら各断面の二次元分布を組み合わせ三次
元分布を求めていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述したＬＩＦを用い
た三次元計測法のように、ミラーなどを用いてレーザ照
射位置を順次ずらして各レーザ光照射断面をＣＣＤカメ
ラを用いて計測する方法は、各断面における計測に時間
差が生じるため、時間的に変化する対象には適用できな
かった。本発明の目的は、時間的に変化する対象にも適
用でき、瞬時に対象の三次元的現象解析を行なえる三次
元温度・濃度計測装置を提供することにある。
た三次元計測法のように、ミラーなどを用いてレーザ照
射位置を順次ずらして各レーザ光照射断面をＣＣＤカメ
ラを用いて計測する方法は、各断面における計測に時間
差が生じるため、時間的に変化する対象には適用できな
かった。本発明の目的は、時間的に変化する対象にも適
用でき、瞬時に対象の三次元的現象解析を行なえる三次
元温度・濃度計測装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、本発明の三次元温度・濃度計測装置は
以下の如く構成されている。本発明の三次元温度・濃度
計測装置は、レーザ光を測定場に入射し、三次元で温度
及び濃度を計測する三次元温度・濃度計測装置におい
て、前記レーザ光を二本以上に分離し、分離された各レ
ーザ光に光路差を設けることにより前記各レーザ光に照
射時間差を設け、さらに前記各レーザ光をシート状にし
照射位置をずらしながら三次元的に前記測定場に照射す
る照射手段と、前記各レーザ光から発生する蛍光の中
で、それぞれが特定の一つのレーザ光から発生する蛍光
のみを検出する複数の検出手段と、これら検出手段で検
出された照射時間の異なる複数のレーザ光による蛍光を
各々分離して計測することで生じる複数の二次元断面分
布を組み合わせて、前記測定場の三次元的な温度及び濃
度を計測する計測手段と、から構成されている。
達成するために、本発明の三次元温度・濃度計測装置は
以下の如く構成されている。本発明の三次元温度・濃度
計測装置は、レーザ光を測定場に入射し、三次元で温度
及び濃度を計測する三次元温度・濃度計測装置におい
て、前記レーザ光を二本以上に分離し、分離された各レ
ーザ光に光路差を設けることにより前記各レーザ光に照
射時間差を設け、さらに前記各レーザ光をシート状にし
照射位置をずらしながら三次元的に前記測定場に照射す
る照射手段と、前記各レーザ光から発生する蛍光の中
で、それぞれが特定の一つのレーザ光から発生する蛍光
のみを検出する複数の検出手段と、これら検出手段で検
出された照射時間の異なる複数のレーザ光による蛍光を
各々分離して計測することで生じる複数の二次元断面分
布を組み合わせて、前記測定場の三次元的な温度及び濃
度を計測する計測手段と、から構成されている。
【０００７】上記手段を講じた結果、次のような作用が
生じる。本発明の三次元温度・濃度計測装置は、三次元
的に測定場に照射された各レーザ光から発生する蛍光の
中で、特定の一つのレーザ光から発生する蛍光のみを検
出し、それら照射時間の異なる複数のレーザ光による蛍
光を各々分離して計測することで生じる複数の二次元断
面分布を組み合わせて、前記測定場の三次元的な温度及
び濃度を計測するので、前記二次元断面分布を四断面組
み合わせることで短い時間で三次元情報を得ることが可
能になる。よって各断面における計測に時間差がほぼ生
じなくなるため、時間的に変化する対象にも当該計測装
置を適用でき、ＬＩＦ法を用いた三次元濃度、温度計測
が可能となり、例えばボイラー、エンジン、タービンな
どの燃焼場、流れ場等の三次元的現象を解析することが
可能になる。
生じる。本発明の三次元温度・濃度計測装置は、三次元
的に測定場に照射された各レーザ光から発生する蛍光の
中で、特定の一つのレーザ光から発生する蛍光のみを検
出し、それら照射時間の異なる複数のレーザ光による蛍
光を各々分離して計測することで生じる複数の二次元断
面分布を組み合わせて、前記測定場の三次元的な温度及
び濃度を計測するので、前記二次元断面分布を四断面組
み合わせることで短い時間で三次元情報を得ることが可
能になる。よって各断面における計測に時間差がほぼ生
じなくなるため、時間的に変化する対象にも当該計測装
置を適用でき、ＬＩＦ法を用いた三次元濃度、温度計測
が可能となり、例えばボイラー、エンジン、タービンな
どの燃焼場、流れ場等の三次元的現象を解析することが
可能になる。
【０００８】
（第１の実施の形態） 図１は、本発明の第１の実施の形態に係るＬＩＦ計測法
を用いた三次元温度・濃度計測装置の構成を示す図であ
る。励起用パルスレーザ１から波長可変レーザ（色素レ
ーザ等）２が発振される。波長設定装置３は、レーザ波
長が測定分子（原子）の吸収線波長に一致するよう、波
長可変レーザ２をコントロールする。ビームスプリッタ
ー４及びミラー５は、各レーザ光１７ａ〜１７ｄに例え
ば１０ｍの光路差（ビームスプリッター４とミラー５の
間隔を５ｍとした時、３０ｎｓの時間差に対応）を設け
てレーザ光を４本に分離し、各レーザ光１７ａ〜１７ｄ
をビームエキスパンダー６を用いてシート状にして照射
位置をずらしながら三次元的に測定場Ａへ照射する。
を用いた三次元温度・濃度計測装置の構成を示す図であ
る。励起用パルスレーザ１から波長可変レーザ（色素レ
ーザ等）２が発振される。波長設定装置３は、レーザ波
長が測定分子（原子）の吸収線波長に一致するよう、波
長可変レーザ２をコントロールする。ビームスプリッタ
ー４及びミラー５は、各レーザ光１７ａ〜１７ｄに例え
ば１０ｍの光路差（ビームスプリッター４とミラー５の
間隔を５ｍとした時、３０ｎｓの時間差に対応）を設け
てレーザ光を４本に分離し、各レーザ光１７ａ〜１７ｄ
をビームエキスパンダー６を用いてシート状にして照射
位置をずらしながら三次元的に測定場Ａへ照射する。
【０００９】測定場Ａから生じる蛍光は、シート状レー
ザ光面に直交する方向にフィルター７ａ，７ｂを介して
それぞれレンズ８ａ，８ｂで集光される。光路差を設け
た各レーザ光から発生する蛍光はそれぞれビームスプリ
ッター９ａ，９ｂで分割され、高速シャッターが可能な
４台のＣＣＤカメラ１０ａ〜１０ｄに入射される。
ザ光面に直交する方向にフィルター７ａ，７ｂを介して
それぞれレンズ８ａ，８ｂで集光される。光路差を設け
た各レーザ光から発生する蛍光はそれぞれビームスプリ
ッター９ａ，９ｂで分割され、高速シャッターが可能な
４台のＣＣＤカメラ１０ａ〜１０ｄに入射される。
【００１０】タイミングユニット１２は、各ＣＣＤカメ
ラ１０ａ〜１０ｄが４本のレーザ光の中の一つのレーザ
光から発生する蛍光のみを検出するよう、各ＣＣＤカメ
ラ１０ａ〜１０ｄのシャッタータイミング及び露光時間
をコントロールする。このように、照射時間の異なるレ
ーザ光１７ａ〜１７ｄによる蛍光を各々分離し、各レー
ザ光が照射されている断面の蛍光分布がそれぞれＣＣＤ
カメラ１０ａ〜１０ｄで計測される。各計測結果はコン
ピュータ１１に転送され、温度、濃度の三次元分布（二
次元分布を四断面組み合わせたもの）が解析される。
ラ１０ａ〜１０ｄが４本のレーザ光の中の一つのレーザ
光から発生する蛍光のみを検出するよう、各ＣＣＤカメ
ラ１０ａ〜１０ｄのシャッタータイミング及び露光時間
をコントロールする。このように、照射時間の異なるレ
ーザ光１７ａ〜１７ｄによる蛍光を各々分離し、各レー
ザ光が照射されている断面の蛍光分布がそれぞれＣＣＤ
カメラ１０ａ〜１０ｄで計測される。各計測結果はコン
ピュータ１１に転送され、温度、濃度の三次元分布（二
次元分布を四断面組み合わせたもの）が解析される。
【００１１】このような構成により、四断面の二次元温
度・濃度情報から、１μｓ（μｓ＝１０-6秒）程度以下
の短い時間で瞬間的に三次元情報を得ることが可能にな
る。 （第２の実施の形態）図２は、本発明の第２の実施の形
態に係るＬＩＦ計測法を用いた三次元温度・濃度計測装
置の構成を示す図である。図２には、二台のレーザ装置
を用いた構成が示されている。基本構成は図１と同様で
あり、図１と同一な部分には同一符号を付してある。
度・濃度情報から、１μｓ（μｓ＝１０-6秒）程度以下
の短い時間で瞬間的に三次元情報を得ることが可能にな
る。 （第２の実施の形態）図２は、本発明の第２の実施の形
態に係るＬＩＦ計測法を用いた三次元温度・濃度計測装
置の構成を示す図である。図２には、二台のレーザ装置
を用いた構成が示されている。基本構成は図１と同様で
あり、図１と同一な部分には同一符号を付してある。
【００１２】二台のレーザ装置Ｌａ，Ｌｂは、それぞれ
励起用レーザ１ａと波長可変レーザ２ａ、励起用レーザ
１ｂと波長可変レーザ２ｂからなる。これら二台のレー
ザ装置Ｌａ，Ｌｂにより、計８本のレーザ光が測定場Ａ
に入射する。
励起用レーザ１ａと波長可変レーザ２ａ、励起用レーザ
１ｂと波長可変レーザ２ｂからなる。これら二台のレー
ザ装置Ｌａ，Ｌｂにより、計８本のレーザ光が測定場Ａ
に入射する。
【００１３】レーザ装置Ｌａからは、波長ａのレーザ光
が照射され４本のシート状レーザー光２５ａ〜２５ｄに
分割され、同様にレーザ装置Ｌｂからは、波長ｂのレー
ザ光が照射され４本のシート状レーザー光２６ａ〜２６
ｄに分割される。これら８本のシート状レーザー光を測
定場Ａへ照射する際、シート状レーザー光２５ａ〜２５
ｄとシート状レーザー光２６ａ〜２６ｄが測定場Ａ上で
交互に配置されるようにする。
が照射され４本のシート状レーザー光２５ａ〜２５ｄに
分割され、同様にレーザ装置Ｌｂからは、波長ｂのレー
ザ光が照射され４本のシート状レーザー光２６ａ〜２６
ｄに分割される。これら８本のシート状レーザー光を測
定場Ａへ照射する際、シート状レーザー光２５ａ〜２５
ｄとシート状レーザー光２６ａ〜２６ｄが測定場Ａ上で
交互に配置されるようにする。
【００１４】波長ａのレーザ光からは蛍光ｋａが、波長
ｂのレーザ光からは蛍光ｋｂが発生する。これら二つの
蛍光ｋａ，ｋｂを受光するために、シート状レーザー光
面に直交し相対する方向に二組の受光光学系が配置され
ている。
ｂのレーザ光からは蛍光ｋｂが発生する。これら二つの
蛍光ｋａ，ｋｂを受光するために、シート状レーザー光
面に直交し相対する方向に二組の受光光学系が配置され
ている。
【００１５】一方の受光光学系は、集光レンズ８ａ、ビ
ームスプリッター９ｃ，９ｄ、ミラー２４ｃ，２４ｄ、
波長ａの蛍光ｋａを通すフィルター２３ａ、波長ｂの蛍
光ｋｂを通すフィルター７ａ、シート状レーザ光２５
ａ，２６ａからの蛍光を受光するＣＣＤカメラ１０ｃ、
シート状レーザー光２５ｂ，２６ｂからの蛍光を受光す
るＣＣＤカメラ１０ｄから構成される。
ームスプリッター９ｃ，９ｄ、ミラー２４ｃ，２４ｄ、
波長ａの蛍光ｋａを通すフィルター２３ａ、波長ｂの蛍
光ｋｂを通すフィルター７ａ、シート状レーザ光２５
ａ，２６ａからの蛍光を受光するＣＣＤカメラ１０ｃ、
シート状レーザー光２５ｂ，２６ｂからの蛍光を受光す
るＣＣＤカメラ１０ｄから構成される。
【００１６】同様に他方の受光光学系は、集光レンズ８
ｂ、ビームスプリッター９ａ，９ｂ、ミラー２４ａ，２
４ｂ、波長ａの蛍光ｋａを通すフィルター２３ｂ、波長
ｂの蛍光ｋｂを通すフィルター７ｂ、シート状レーザー
光２５ｃ，２６ｃからの蛍光を受光するＣＣＤカメラ１
０ｂ、シート状レーザー光２５ｄ，２６ｄからの蛍光を
受光するＣＣＤカメラ１０ａから構成される。
ｂ、ビームスプリッター９ａ，９ｂ、ミラー２４ａ，２
４ｂ、波長ａの蛍光ｋａを通すフィルター２３ｂ、波長
ｂの蛍光ｋｂを通すフィルター７ｂ、シート状レーザー
光２５ｃ，２６ｃからの蛍光を受光するＣＣＤカメラ１
０ｂ、シート状レーザー光２５ｄ，２６ｄからの蛍光を
受光するＣＣＤカメラ１０ａから構成される。
【００１７】蛍光ｋａ及び蛍光ｋｂは、ＣＣＤカメラの
受光面の異なった領域に受光されるようにビームスプリ
ッター、ミラー及びＣＣＤカメラを調整し、一組の受光
光学系により四断面、二組の受光光学系を用いることに
より合計８断面の温度、濃度分布が計測される。これら
のデータはコンピュータ１１に転送され、三次元温度、
濃度分布が解析される。ＯＨ計測例では、レーザ波長ａ
が３０９ｎｍ、レーザ波長ｂが２６８ｎｍ、フィルター
７ａ、７ｂとして３０５〜３２０ｎｍのみを透過する特
性を有するもの、フィルター２３ａ，２３ｂとして２８
０〜３００ｎｍのみを透過する特性を有するものを使用
すれば良い。
受光面の異なった領域に受光されるようにビームスプリ
ッター、ミラー及びＣＣＤカメラを調整し、一組の受光
光学系により四断面、二組の受光光学系を用いることに
より合計８断面の温度、濃度分布が計測される。これら
のデータはコンピュータ１１に転送され、三次元温度、
濃度分布が解析される。ＯＨ計測例では、レーザ波長ａ
が３０９ｎｍ、レーザ波長ｂが２６８ｎｍ、フィルター
７ａ、７ｂとして３０５〜３２０ｎｍのみを透過する特
性を有するもの、フィルター２３ａ，２３ｂとして２８
０〜３００ｎｍのみを透過する特性を有するものを使用
すれば良い。
【００１８】図３は、上記フィルターの特性と上記ＣＣ
Ｄカメラの特性を示す図である。図３の（ａ）には、フ
ィルター７（７ａ，７ｂ）の透過領域とフィルター２３
（２３ａ，２３ｂ）の透過領域が示されており、フィル
ター７の透過領域にはレーザ装置Ｌａから出力されるレ
ーザ光から発生する蛍光スペクトルａが示されており、
フィルター２３の透過領域にはレーザ装置Ｌｂから出力
されるレーザ光から発生する蛍光スペクトルｂが示され
ている。また図３の（ｂ）には、ＣＣＤカメラの受光部
におけるフィルター７を透過した信号光の結像エリア画
面１０１と、フィルター２３を透過した信号光の結像エ
リア画面１０２が示されている。
Ｄカメラの特性を示す図である。図３の（ａ）には、フ
ィルター７（７ａ，７ｂ）の透過領域とフィルター２３
（２３ａ，２３ｂ）の透過領域が示されており、フィル
ター７の透過領域にはレーザ装置Ｌａから出力されるレ
ーザ光から発生する蛍光スペクトルａが示されており、
フィルター２３の透過領域にはレーザ装置Ｌｂから出力
されるレーザ光から発生する蛍光スペクトルｂが示され
ている。また図３の（ｂ）には、ＣＣＤカメラの受光部
におけるフィルター７を透過した信号光の結像エリア画
面１０１と、フィルター２３を透過した信号光の結像エ
リア画面１０２が示されている。
【００１９】以下、上記した一組の受光光学系により四
断面の蛍光を計測する方法を述べる。上記第１の実施の
形態では、一台のＣＣＤカメラにて一断面の蛍光を受光
していたが、本第２の実施の形態では、図３の（ｂ）に
示すように異なる二断面からの異なる波長の蛍光を一台
のＣＣＤカメラにて受光し、その際ＣＣＤカメラの受光
面が二分割され、ある断面の波長ａの蛍光ｋａと別断面
の波長ｂの蛍光ｋｂが受光できる光学系をなしている。
断面の蛍光を計測する方法を述べる。上記第１の実施の
形態では、一台のＣＣＤカメラにて一断面の蛍光を受光
していたが、本第２の実施の形態では、図３の（ｂ）に
示すように異なる二断面からの異なる波長の蛍光を一台
のＣＣＤカメラにて受光し、その際ＣＣＤカメラの受光
面が二分割され、ある断面の波長ａの蛍光ｋａと別断面
の波長ｂの蛍光ｋｂが受光できる光学系をなしている。
【００２０】図４は、本第２の実施の形態に係るＣＣＤ
カメラによる蛍光受光を説明するための図である。以
下、図４に示すＣＣＤカメラ１０ｃにて受光する際の異
なる二断面からの蛍光受光の状況を述べる。ＣＣＤカメ
ラ１０ｃは、シート状レーザー光２５ａと２６ａの断面
からの蛍光を受光する。なお、シート状レーザー光２５
ａと２６ａは、図２に示したタイミングユニット１２か
らの同期信号により、それぞれレーザ装置Ｌａ，レーザ
装置Ｌｂから同時に照射され、かつ同一光路長であるの
で同一時刻に計測断面に照射される。
カメラによる蛍光受光を説明するための図である。以
下、図４に示すＣＣＤカメラ１０ｃにて受光する際の異
なる二断面からの蛍光受光の状況を述べる。ＣＣＤカメ
ラ１０ｃは、シート状レーザー光２５ａと２６ａの断面
からの蛍光を受光する。なお、シート状レーザー光２５
ａと２６ａは、図２に示したタイミングユニット１２か
らの同期信号により、それぞれレーザ装置Ｌａ，レーザ
装置Ｌｂから同時に照射され、かつ同一光路長であるの
で同一時刻に計測断面に照射される。
【００２１】波長ａのシート状レーザー光２５ａによる
断面からの蛍光ｋａは、集光レンズ８ａにより集光さ
れ、ビームスプリッター９ｃにより二方向に分割され
る。ビームスプリッター９ｃを透過した波長ａの蛍光ｋ
ａはミラー３０ｂにより光路が変更され、波長ａを透過
させるフィルター７ａに達する。フィルター７ａを透過
した蛍光ｋａは、ビームスプリッター９ｄで二方向に分
割され、その中の透過光がＣＣＤカメラ１０ｃの受光面
の半分の領域に集光される。他方、ビームスプリッター
９ｃにより反射された波長ａの蛍光ｋａは、波長ｂを透
過させるフィルター２３ａにより遮断され、透過できな
い。
断面からの蛍光ｋａは、集光レンズ８ａにより集光さ
れ、ビームスプリッター９ｃにより二方向に分割され
る。ビームスプリッター９ｃを透過した波長ａの蛍光ｋ
ａはミラー３０ｂにより光路が変更され、波長ａを透過
させるフィルター７ａに達する。フィルター７ａを透過
した蛍光ｋａは、ビームスプリッター９ｄで二方向に分
割され、その中の透過光がＣＣＤカメラ１０ｃの受光面
の半分の領域に集光される。他方、ビームスプリッター
９ｃにより反射された波長ａの蛍光ｋａは、波長ｂを透
過させるフィルター２３ａにより遮断され、透過できな
い。
【００２２】次に、波長ｂのシート状レーザー光２６ａ
による断面からの蛍光ｋｂは、集光レンズ８ａにより集
光され、ビームスプリッター９ｃにより二方向に分割さ
れる。ビームスプリッター９ｃにより反射された波長ｂ
の蛍光ｋｂは、波長ｂを透過させるフィルター２３ａに
達する。フィルター２３ａを透過した蛍光は、ミラー３
０ａにより光路が変更されビームスプリッター９ｄに達
し、二方向に分割される。ビームスプリッター９ｄによ
り反射された波長ｂの蛍光ｋｂは、ＣＣＤカメラ１０ｃ
の受光面の残り半分の領域に集光される。他方、ビーム
スプリッター９ｃを透過した波長ｂの蛍光ｋｂは、ミラ
ー３０ｂにより光路が変更され、波長ａを透過させるフ
ィルター７ａに達するが、フィルター７ａにより遮断さ
れ、透過できない。
による断面からの蛍光ｋｂは、集光レンズ８ａにより集
光され、ビームスプリッター９ｃにより二方向に分割さ
れる。ビームスプリッター９ｃにより反射された波長ｂ
の蛍光ｋｂは、波長ｂを透過させるフィルター２３ａに
達する。フィルター２３ａを透過した蛍光は、ミラー３
０ａにより光路が変更されビームスプリッター９ｄに達
し、二方向に分割される。ビームスプリッター９ｄによ
り反射された波長ｂの蛍光ｋｂは、ＣＣＤカメラ１０ｃ
の受光面の残り半分の領域に集光される。他方、ビーム
スプリッター９ｃを透過した波長ｂの蛍光ｋｂは、ミラ
ー３０ｂにより光路が変更され、波長ａを透過させるフ
ィルター７ａに達するが、フィルター７ａにより遮断さ
れ、透過できない。
【００２３】ＣＣＤカメラ１０ｃは、タイミングユニッ
ト１２によりシート状レーザー光２５ａと２６ａの照射
時刻と同期して作動している。なお図示はしていない
が、ＣＣＤカメラ１０ｄにもビームスプリッター９ｄに
より反射された波長ａの蛍光ｋａおよび透過した波長ｂ
の蛍光ｋｂが集光されるが、同期信号がないので動作し
ない。
ト１２によりシート状レーザー光２５ａと２６ａの照射
時刻と同期して作動している。なお図示はしていない
が、ＣＣＤカメラ１０ｄにもビームスプリッター９ｄに
より反射された波長ａの蛍光ｋａおよび透過した波長ｂ
の蛍光ｋｂが集光されるが、同期信号がないので動作し
ない。
【００２４】図５は、本第２の実施の形態に係るＣＣＤ
カメラによる蛍光受光を説明するための図である。以
下、図５に示すＣＣＤカメラ１０ｄにて受光する際の異
なる二断面からの蛍光受光の状況を述べる。ＣＣＤカメ
ラ１０ｄは、シート状レーザー光２５ｂと２６ｂの断面
からの蛍光を受光する。なお、シート状レーザー光２５
ｂと２６ｂは、図２に示したタイミングユニット１２か
らの同期信号により、それぞれレーザ装置Ｌａ，レーザ
装置Ｌｂから同時に照射され、かつ同一光路長であるの
で同一時刻に計測断面に照射される。
カメラによる蛍光受光を説明するための図である。以
下、図５に示すＣＣＤカメラ１０ｄにて受光する際の異
なる二断面からの蛍光受光の状況を述べる。ＣＣＤカメ
ラ１０ｄは、シート状レーザー光２５ｂと２６ｂの断面
からの蛍光を受光する。なお、シート状レーザー光２５
ｂと２６ｂは、図２に示したタイミングユニット１２か
らの同期信号により、それぞれレーザ装置Ｌａ，レーザ
装置Ｌｂから同時に照射され、かつ同一光路長であるの
で同一時刻に計測断面に照射される。
【００２５】波長ａのシート状レーザー光２５ｂによる
断面からの蛍光ｋａは、集光レンズ８ａにより集光さ
れ、ビームスプリッター９ｃにより二方向に分割され
る。ビームスプリッター９ｃを透過した波長ａの蛍光ｋ
ａはミラー３０ｂにより光路が変更され、波長ａを透過
させるフィルター７ａに達する。フィルター７ａを透過
した蛍光は、ビームスプリッター９ｄで二方向に分割さ
れ、その中の反射光がＣＣＤカメラ１０ｄの受光面の半
分の領域に集光される。他方、ビームスプリッター９ｃ
により反射された波長ａの蛍光ｋａは、波長ｂの透過さ
せるフィルター２３ａにより遮断され、透過できない。
断面からの蛍光ｋａは、集光レンズ８ａにより集光さ
れ、ビームスプリッター９ｃにより二方向に分割され
る。ビームスプリッター９ｃを透過した波長ａの蛍光ｋ
ａはミラー３０ｂにより光路が変更され、波長ａを透過
させるフィルター７ａに達する。フィルター７ａを透過
した蛍光は、ビームスプリッター９ｄで二方向に分割さ
れ、その中の反射光がＣＣＤカメラ１０ｄの受光面の半
分の領域に集光される。他方、ビームスプリッター９ｃ
により反射された波長ａの蛍光ｋａは、波長ｂの透過さ
せるフィルター２３ａにより遮断され、透過できない。
【００２６】次に、波長ｂのシート状レーザー光２６ｂ
による断面からの蛍光ｋｂは、集光レンズ８ａにより集
光され、ビームスプリッター９ｃにより二方向に分割さ
れる。ビームスプリッター９ｃにより反射された波長ｂ
の蛍光ｋｂは、波長ｂを透過させるフィルター２３ａに
達する。フィルター２３ａを透過した蛍光は、ミラー３
０ａにより光路が変更されビームスプリッター９ｄに達
し、二方向に分割される。ビームスプリッター９ｄを透
過した波長ｂの蛍光ｋｂは、ＣＣＤカメラ１０ｄの受光
面の残り半分の領域に集光される。他方、ビームスプリ
ッター９ｃを透過した波長ｂの蛍光ｋｂは、ミラー３０
ｂにより光路が変更され、波長ａを透過させるフィルタ
ー７ａに達するが、フィルター７ａにより遮断され、透
過できない。
による断面からの蛍光ｋｂは、集光レンズ８ａにより集
光され、ビームスプリッター９ｃにより二方向に分割さ
れる。ビームスプリッター９ｃにより反射された波長ｂ
の蛍光ｋｂは、波長ｂを透過させるフィルター２３ａに
達する。フィルター２３ａを透過した蛍光は、ミラー３
０ａにより光路が変更されビームスプリッター９ｄに達
し、二方向に分割される。ビームスプリッター９ｄを透
過した波長ｂの蛍光ｋｂは、ＣＣＤカメラ１０ｄの受光
面の残り半分の領域に集光される。他方、ビームスプリ
ッター９ｃを透過した波長ｂの蛍光ｋｂは、ミラー３０
ｂにより光路が変更され、波長ａを透過させるフィルタ
ー７ａに達するが、フィルター７ａにより遮断され、透
過できない。
【００２７】ＣＣＤカメラ１０ｄは、タイミングユニッ
ト１２によりシート状レーザー光２５ｂと２６ｂの照射
時刻と同期して作動している。なお図示はしていない
が、ＣＣＤカメラ１０ｃにもビームスプリッター９ｄを
透過した波長ａの蛍光ｋａおよび反射した波長ｂの蛍光
ｋｂが集光されるが、同期信号がないので動作しない。
同様な動作が、図２に示す測定場Ａを挟んだ反対側の光
学系およびＣＣＤカメラ１０ａ，１０ｂでも行なわれて
いる。
ト１２によりシート状レーザー光２５ｂと２６ｂの照射
時刻と同期して作動している。なお図示はしていない
が、ＣＣＤカメラ１０ｃにもビームスプリッター９ｄを
透過した波長ａの蛍光ｋａおよび反射した波長ｂの蛍光
ｋｂが集光されるが、同期信号がないので動作しない。
同様な動作が、図２に示す測定場Ａを挟んだ反対側の光
学系およびＣＣＤカメラ１０ａ，１０ｂでも行なわれて
いる。
【００２８】このように１台のＣＣＤカメラの受光面を
二分割し受光できるような光学系を構成したことによ
り、４台のＣＣＤカメラにて８断面の温度・濃度の三次
元分布を瞬時に解析することが可能になった。
二分割し受光できるような光学系を構成したことによ
り、４台のＣＣＤカメラにて８断面の温度・濃度の三次
元分布を瞬時に解析することが可能になった。
【００２９】図６は、本発明の実施の形態に係る三次元
温度・濃度計測の原理を示す図である。レーザ装置（図
６では不図示）から出力されるレーザ光１７ａをビーム
スプリッター９等を使用して数本（図６では、レーザ光
１７ａ，１７ｂ，１７ｃの３本）に分離し、各レーザ光
に数ｍ〜数十ｍの光路差Ｌを設けることにより、各レー
ザ光に照射時間差を付け、各レーザ光をシート状にして
照射位置をずらしながら三次元的に計測場Ａに照射する
（図中レーザ１７ａ〜１７ｃ）。
温度・濃度計測の原理を示す図である。レーザ装置（図
６では不図示）から出力されるレーザ光１７ａをビーム
スプリッター９等を使用して数本（図６では、レーザ光
１７ａ，１７ｂ，１７ｃの３本）に分離し、各レーザ光
に数ｍ〜数十ｍの光路差Ｌを設けることにより、各レー
ザ光に照射時間差を付け、各レーザ光をシート状にして
照射位置をずらしながら三次元的に計測場Ａに照射する
（図中レーザ１７ａ〜１７ｃ）。
【００３０】レーザ光１７ａとレーザ光１７ｂでは、ミ
ラー３０とビームスプリッター９との間の距離（Ｌ）に
よりレーザ光の伝搬距離に差（２Ｌ）が生じる。レーザ
光の速度は３×１０8 （ｍ／ｓ）であるため、レーザ光
１７ａとレーザ光１７ｂが計測場Ａに照射される時間に
２Ｌ／Ｃ（Ｃ：光速）の差が生じる。
ラー３０とビームスプリッター９との間の距離（Ｌ）に
よりレーザ光の伝搬距離に差（２Ｌ）が生じる。レーザ
光の速度は３×１０8 （ｍ／ｓ）であるため、レーザ光
１７ａとレーザ光１７ｂが計測場Ａに照射される時間に
２Ｌ／Ｃ（Ｃ：光速）の差が生じる。
【００３１】図７の（ａ）は、ＣＣＤカメラ１０ａ〜１
０ｃのシャッタータイミングのチャート図である。図７
の（ａ）に示すように、各レーザ光１７ａ〜１７ｃから
発生する蛍光を、高速シャッターが可能なＣＣＤカメラ
１０ａ〜１０ｃを使用し、数本のレーザ光の中の一つの
レーザ光から発生する蛍光のみを検出するよう、ＣＣＤ
カメラ１０ａ〜１０ｃの各シャッタータイミング２１ａ
〜２１ｃ及び露光時間τをコントロールする。そして、
照射時間の異なるレーザ光１７ａ〜１７ｃによる蛍光を
各々分離してＣＣＤカメラ１０ａ〜１０ｃを用いて計測
し、各レーザ光が照射されている断面の蛍光分布を計測
する。図７の（ｂ）には、ＣＣＤカメラ１０ａ〜１０ｃ
により得られた各画像２２ａ〜２２ｃが示されている。
０ｃのシャッタータイミングのチャート図である。図７
の（ａ）に示すように、各レーザ光１７ａ〜１７ｃから
発生する蛍光を、高速シャッターが可能なＣＣＤカメラ
１０ａ〜１０ｃを使用し、数本のレーザ光の中の一つの
レーザ光から発生する蛍光のみを検出するよう、ＣＣＤ
カメラ１０ａ〜１０ｃの各シャッタータイミング２１ａ
〜２１ｃ及び露光時間τをコントロールする。そして、
照射時間の異なるレーザ光１７ａ〜１７ｃによる蛍光を
各々分離してＣＣＤカメラ１０ａ〜１０ｃを用いて計測
し、各レーザ光が照射されている断面の蛍光分布を計測
する。図７の（ｂ）には、ＣＣＤカメラ１０ａ〜１０ｃ
により得られた各画像２２ａ〜２２ｃが示されている。
【００３２】レーザ光の速度は３×１０8 （ｍ／ｓ）で
あるため、レーザ光に数ｍ〜数十ｍの光路差を設けるこ
とにより、レーザ光が測定場に照射される時間に十数ｎ
ｓ（ｎｓ＝１０-9秒）〜数十ｎｓの時間差が生じる。各
レーザ光から発生する蛍光は、高速シャッターが可能な
ＣＣＤカメラを使用することで、それぞれを分離して計
測することが可能になる。レーザ光を測定場に数十本入
射しても、一番早く測定場に入射されるレーザ光と一番
遅いレーザ光との時間差は１μｓ（μｓ＝１０-6秒）程
度であり、エンジン、ボイラ、タービンなどに表れる流
体的現象の変化（数十μ以上）と比べ十分に速いため、
光路差を付けた複数のレーザ光から発生する蛍光から得
られる二次元温度・濃度情報は時間的に同一とみなして
良く、瞬間的に三次元情報を得ることが可能になる。
あるため、レーザ光に数ｍ〜数十ｍの光路差を設けるこ
とにより、レーザ光が測定場に照射される時間に十数ｎ
ｓ（ｎｓ＝１０-9秒）〜数十ｎｓの時間差が生じる。各
レーザ光から発生する蛍光は、高速シャッターが可能な
ＣＣＤカメラを使用することで、それぞれを分離して計
測することが可能になる。レーザ光を測定場に数十本入
射しても、一番早く測定場に入射されるレーザ光と一番
遅いレーザ光との時間差は１μｓ（μｓ＝１０-6秒）程
度であり、エンジン、ボイラ、タービンなどに表れる流
体的現象の変化（数十μ以上）と比べ十分に速いため、
光路差を付けた複数のレーザ光から発生する蛍光から得
られる二次元温度・濃度情報は時間的に同一とみなして
良く、瞬間的に三次元情報を得ることが可能になる。
【００３３】なお、本発明は上記各実施の形態のみに限
定されず、要旨を変更しない範囲で適時変形して実施で
きる。 （実施の形態のまとめ）実施の形態に示された構成およ
び作用効果をまとめると次の通りである。
定されず、要旨を変更しない範囲で適時変形して実施で
きる。 （実施の形態のまとめ）実施の形態に示された構成およ
び作用効果をまとめると次の通りである。
【００３４】実施の形態に示された三次元温度・濃度計
測装置は、レーザ光１７を測定場Ａに入射し、三次元で
温度及び濃度を計測する三次元温度・濃度計測装置にお
いて、前記レーザ光１７を二本以上に分離し、分離され
た各レーザ光１７ａ〜１７ｄに光路差を設けることによ
り前記各レーザ光１７ａ〜１７ｄに照射時間差を設け、
さらに前記各レーザ光１７ａ〜１７ｄをシート状にし照
射位置をずらしながら三次元的に前記測定場Ａに照射す
る照射手段（１，２，３，４，５）と、前記各レーザ光
１７ａ〜１７ｄから発生する蛍光の中で、それぞれが特
定の一つのレーザ光から発生する蛍光のみを検出する複
数の検出手段１０ａ〜１０ｄと、これら検出手段１０ａ
〜１０ｄで検出された照射時間の異なる複数のレーザ光
による蛍光を各々分離して計測することで生じる複数の
二次元断面分布を組み合わせて、前記測定場Ａの三次元
的な温度及び濃度を計測する計測手段（１１）と、から
構成されている。
測装置は、レーザ光１７を測定場Ａに入射し、三次元で
温度及び濃度を計測する三次元温度・濃度計測装置にお
いて、前記レーザ光１７を二本以上に分離し、分離され
た各レーザ光１７ａ〜１７ｄに光路差を設けることによ
り前記各レーザ光１７ａ〜１７ｄに照射時間差を設け、
さらに前記各レーザ光１７ａ〜１７ｄをシート状にし照
射位置をずらしながら三次元的に前記測定場Ａに照射す
る照射手段（１，２，３，４，５）と、前記各レーザ光
１７ａ〜１７ｄから発生する蛍光の中で、それぞれが特
定の一つのレーザ光から発生する蛍光のみを検出する複
数の検出手段１０ａ〜１０ｄと、これら検出手段１０ａ
〜１０ｄで検出された照射時間の異なる複数のレーザ光
による蛍光を各々分離して計測することで生じる複数の
二次元断面分布を組み合わせて、前記測定場Ａの三次元
的な温度及び濃度を計測する計測手段（１１）と、から
構成されている。
【００３５】このように上記三次元温度・濃度計測装置
においては、三次元的に測定場Ａに照射された各レーザ
光１７ａ〜１７ｄから発生する蛍光の中で、特定の一つ
のレーザ光から発生する蛍光のみを検出し、それら照射
時間の異なる複数のレーザ光による蛍光を各々分離して
計測することで生じる複数の二次元断面分布を組み合わ
せて、前記測定場Ａの三次元的な温度及び濃度を計測す
るので、前記二次元断面分布を四断面組み合わせること
で短い時間で三次元情報を得ることが可能になる。よっ
て各断面における計測に時間差がほぼ生じなくなるた
め、時間的に変化する対象にも当該計測装置を適用で
き、ＬＩＦ法を用いた三次元濃度、温度計測が可能とな
り、例えばボイラー、エンジン、タービンなどの燃焼
場、流れ場等の三次元的現象を解析することが可能にな
る。
においては、三次元的に測定場Ａに照射された各レーザ
光１７ａ〜１７ｄから発生する蛍光の中で、特定の一つ
のレーザ光から発生する蛍光のみを検出し、それら照射
時間の異なる複数のレーザ光による蛍光を各々分離して
計測することで生じる複数の二次元断面分布を組み合わ
せて、前記測定場Ａの三次元的な温度及び濃度を計測す
るので、前記二次元断面分布を四断面組み合わせること
で短い時間で三次元情報を得ることが可能になる。よっ
て各断面における計測に時間差がほぼ生じなくなるた
め、時間的に変化する対象にも当該計測装置を適用で
き、ＬＩＦ法を用いた三次元濃度、温度計測が可能とな
り、例えばボイラー、エンジン、タービンなどの燃焼
場、流れ場等の三次元的現象を解析することが可能にな
る。
【００３６】
【発明の効果】本発明によれば、時間的に変化する対象
にも適用でき、瞬時に対象の三次元的現象解析を行なえ
る三次元温度・濃度計測装置を提供できる。
にも適用でき、瞬時に対象の三次元的現象解析を行なえ
る三次元温度・濃度計測装置を提供できる。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るＬＩＦ計測法
を用いた三次元温度・濃度計測装置の構成を示す図。
を用いた三次元温度・濃度計測装置の構成を示す図。
【図２】本発明の第２の実施の形態に係るＬＩＦ計測法
を用いた三次元温度・濃度計測装置の構成を示す図。
を用いた三次元温度・濃度計測装置の構成を示す図。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係るフィルターの
特性とＣＣＤカメラの特性を示す図。
特性とＣＣＤカメラの特性を示す図。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係るＣＣＤカメラ
による蛍光受光を説明するための図。
による蛍光受光を説明するための図。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係るＣＣＤカメラ
による蛍光受光を説明するための図。
による蛍光受光を説明するための図。
【図６】本発明の実施の形態に係る三次元温度・濃度計
測の原理を示す図。
測の原理を示す図。
【図７】本発明の実施の形態に係る図であり、（ａ）は
ＣＣＤカメラのシャッタータイミングのチャート図、
（ｂ）はＣＣＤカメラにより得られた各画像を示す図。
ＣＣＤカメラのシャッタータイミングのチャート図、
（ｂ）はＣＣＤカメラにより得られた各画像を示す図。
【図８】従来の一般的なレーザ誘起蛍光法を用いた温度
・濃度解析装置の構成を示す図。
・濃度解析装置の構成を示す図。
【図９】従来の三次元計測法を説明するための図。
１…励起用パルスレーザ ２…波長可変レーザ ３…波長設定装置 ４…ビームスプリッター ５…ミラー ６…ビームエキスパンダー ７ａ，７ｂ…フィルター ８ａ，８ｂ…レンズ ９…ビームスプリッター ９ａ〜９ｄ…ビームスプリッター １０ａ〜１０ｄ…ＣＣＤカメラ １１…コンピュータ １２…タイミングユニット Ｌａ，Ｌｂ…レーザ装置 Ａ…測定場 １７…レーザ光 １７ａ〜１７ｄ…レーザ光 ２３ａ，２３ｂ…フィルター ２４ａ〜２４ｄ…ミラー ２５ａ〜２５ｄ…シート状レーザー光 ２６ａ〜２６ｄ…シート状レーザー光 ３０…ミラー ３０ａ，３０ｂ…ミラー
Claims (1)
- 【請求項１】レーザ光を測定場に入射し、三次元で温度
及び濃度を計測する三次元温度・濃度計測装置におい
て、 前記レーザ光を二本以上に分離し、分離された各レーザ
光に光路差を設けることにより前記各レーザ光に照射時
間差を設け、さらに前記各レーザ光をシート状にし照射
位置をずらしながら三次元的に前記測定場に照射する照
射手段と、 前記各レーザ光から発生する蛍光の中で、それぞれが特
定の一つのレーザ光から発生する蛍光のみを検出する複
数の検出手段と、 これら検出手段で検出された照射時間の異なる複数のレ
ーザ光による蛍光を各々分離して計測することで生じる
複数の二次元断面分布を組み合わせて、前記測定場の三
次元的な温度及び濃度を計測する計測手段と、 を具備したことを特徴とするた三次元温度・濃度計測装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30939296A JP3377706B2 (ja) | 1996-11-20 | 1996-11-20 | 三次元温度・濃度計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30939296A JP3377706B2 (ja) | 1996-11-20 | 1996-11-20 | 三次元温度・濃度計測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10148614A true JPH10148614A (ja) | 1998-06-02 |
| JP3377706B2 JP3377706B2 (ja) | 2003-02-17 |
Family
ID=17992468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30939296A Expired - Fee Related JP3377706B2 (ja) | 1996-11-20 | 1996-11-20 | 三次元温度・濃度計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3377706B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002050614A (ja) * | 2000-08-03 | 2002-02-15 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
| JP2012145365A (ja) * | 2011-01-07 | 2012-08-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガスの温度及び成分濃度計測装置 |
| JP2015045614A (ja) * | 2013-08-29 | 2015-03-12 | 日本電信電話株式会社 | 空間温度推定方法および装置 |
| CN104568214A (zh) * | 2015-01-26 | 2015-04-29 | 上海交通大学 | 光致等离子体三维温度场的测量装置和测量方法 |
| JP2018530736A (ja) * | 2016-08-24 | 2018-10-18 | アカデミー オブ オプト−エレクトロニクス，チャイニーズ アカデミー オブ サイエンシズ | マルチパルスレーザー誘起プラズマスペクトル分析機器を採用して鉄鋼サンプル成分を検出する方法 |
-
1996
- 1996-11-20 JP JP30939296A patent/JP3377706B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002050614A (ja) * | 2000-08-03 | 2002-02-15 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
| JP2012145365A (ja) * | 2011-01-07 | 2012-08-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガスの温度及び成分濃度計測装置 |
| JP2015045614A (ja) * | 2013-08-29 | 2015-03-12 | 日本電信電話株式会社 | 空間温度推定方法および装置 |
| CN104568214A (zh) * | 2015-01-26 | 2015-04-29 | 上海交通大学 | 光致等离子体三维温度场的测量装置和测量方法 |
| JP2018530736A (ja) * | 2016-08-24 | 2018-10-18 | アカデミー オブ オプト−エレクトロニクス，チャイニーズ アカデミー オブ サイエンシズ | マルチパルスレーザー誘起プラズマスペクトル分析機器を採用して鉄鋼サンプル成分を検出する方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3377706B2 (ja) | 2003-02-17 |
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