JPH10142294A - 半導体テスタ装置 - Google Patents
半導体テスタ装置Info
- Publication number
- JPH10142294A JPH10142294A JP29371796A JP29371796A JPH10142294A JP H10142294 A JPH10142294 A JP H10142294A JP 29371796 A JP29371796 A JP 29371796A JP 29371796 A JP29371796 A JP 29371796A JP H10142294 A JPH10142294 A JP H10142294A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- camera
- alignment mark
- moving means
- scope hole
- handler
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐振性が良好で視認性が高いデバイス用のカ
メラを具備した半導体テスタ装置を提供するにある。 【解決手段】 テストヘッド本体に設けられたスコープ
ホールに挿入され測定されるデバイスのアライメントマ
ークを読み取るカメラを具備する半導体テスタ装置にお
いて、前記スコープホールに設けられ前記カメラが取付
られ前記アライメントマークが設けられている面に平行
な一方方向に前記カメラが移動可能にされた第１のカメ
ラ移動手段と、前記スコープホールに設けられ前記カメ
ラが取付られ前記アライメントマークが設けられている
面に平行であって前記一方方向に直交する方向に前記カ
メラが移動可能にされ前記第１のカメラ移動手段と協同
可能にされた第２のカメラ移動手段とを具備したことを
特徴とする半導体テスタ装置である。
メラを具備した半導体テスタ装置を提供するにある。 【解決手段】 テストヘッド本体に設けられたスコープ
ホールに挿入され測定されるデバイスのアライメントマ
ークを読み取るカメラを具備する半導体テスタ装置にお
いて、前記スコープホールに設けられ前記カメラが取付
られ前記アライメントマークが設けられている面に平行
な一方方向に前記カメラが移動可能にされた第１のカメ
ラ移動手段と、前記スコープホールに設けられ前記カメ
ラが取付られ前記アライメントマークが設けられている
面に平行であって前記一方方向に直交する方向に前記カ
メラが移動可能にされ前記第１のカメラ移動手段と協同
可能にされた第２のカメラ移動手段とを具備したことを
特徴とする半導体テスタ装置である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、耐振性が良好で視
認性が高いデバイス用のカメラを具備した半導体テスタ
装置に関するものである。
認性が高いデバイス用のカメラを具備した半導体テスタ
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来より一般に使用されている
従来例の構成説明図で、例えば、日本ベンチヤー工業株
式会社が平成６年１０月に発行したカタログ「ＴＡＢオ
ートハンドラ［ＴＡＶ−１０１シリーズ］」に示されて
いる。
従来例の構成説明図で、例えば、日本ベンチヤー工業株
式会社が平成６年１０月に発行したカタログ「ＴＡＢオ
ートハンドラ［ＴＡＶ−１０１シリーズ］」に示されて
いる。
【０００３】図において、１は、テストヘッド本体であ
る。２は、パフォーマンスボードである。パフォーマン
スボード２は、テストヘッド本体１とテストヘッド用の
コンタクトピン３により電気的に接続されている。パフ
ォーマンスボード２は客先毎に実装部品が異なる。
る。２は、パフォーマンスボードである。パフォーマン
スボード２は、テストヘッド本体１とテストヘッド用の
コンタクトピン３により電気的に接続されている。パフ
ォーマンスボード２は客先毎に実装部品が異なる。
【０００４】４は一端がパフォーマンスボード２に接続
され、他端がプローブカード５に接続された信号中継部
である。プローブカード５はデバイス毎に異なるため、
デバイス毎に用意される。
され、他端がプローブカード５に接続された信号中継部
である。プローブカード５はデバイス毎に異なるため、
デバイス毎に用意される。
【０００５】６はプローブカード５に設けられたプロー
ブである。７は、ハンドラである。ハンドラ７には、デ
バイス受け８が設けられ、デバイス受け８上には、テス
トされるデバイスＡが配置される。
ブである。７は、ハンドラである。ハンドラ７には、デ
バイス受け８が設けられ、デバイス受け８上には、テス
トされるデバイスＡが配置される。
【０００６】ハンドラ７は、各ハンドラメーカによって
構造が異なる。更に、デバイスＡのテスト条件を一定の
温度条件に保つために、デバイス受け８は、ハンドラ７
の内部に配置される。
構造が異なる。更に、デバイスＡのテスト条件を一定の
温度条件に保つために、デバイス受け８は、ハンドラ７
の内部に配置される。
【０００７】９は、テストヘッド本体１に設けられたス
コープホール１１に、挿入されたデバイス用のカメラで
ある。１２は、一端がカメラ９に接続され、他端がハン
ドラ７に接続されたカメラ用のアームである。
コープホール１１に、挿入されたデバイス用のカメラで
ある。１２は、一端がカメラ９に接続され、他端がハン
ドラ７に接続されたカメラ用のアームである。
【０００８】以上の構成において、デバイス用のカメラ
９は、ハンドラ７の操作時に使用されるために、ハンド
ラ７部分の製作担当であるハンドラメーカーは、ハンド
ラ７の本体部分よりアーム１２を使用して、スコープホ
ール１１にカメラ９を挿入して、デバイスＡのアライメ
ントマークを読み取る。
９は、ハンドラ７の操作時に使用されるために、ハンド
ラ７部分の製作担当であるハンドラメーカーは、ハンド
ラ７の本体部分よりアーム１２を使用して、スコープホ
ール１１にカメラ９を挿入して、デバイスＡのアライメ
ントマークを読み取る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、アーム１２が長くなり、外部振動に
より簡単にカメラ９がブレてしまい、デバイスＡのアラ
イメントマークを読み取る事が困難である。本発明は、
この問題点を解決するものである。
な装置においては、アーム１２が長くなり、外部振動に
より簡単にカメラ９がブレてしまい、デバイスＡのアラ
イメントマークを読み取る事が困難である。本発明は、
この問題点を解決するものである。
【００１０】本発明の目的は、耐振性が良好で視認性が
高いデバイス用のカメラを具備した半導体テスタ装置を
提供するにある。
高いデバイス用のカメラを具備した半導体テスタ装置を
提供するにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、 （１）テストヘッド本体に設けられたスコープホールに
挿入され測定されるデバイスのアライメントマークを読
み取るカメラを具備する半導体テスタ装置において、前
記スコープホールに設けられ前記カメラが取付られ前記
アライメントマークが設けられている面に平行な一方方
向に前記カメラが移動可能にされた第１のカメラ移動手
段と、前記スコープホールに設けられ前記カメラが取付
られ前記アライメントマークが設けられている面に平行
であって前記一方方向に直交する方向に前記カメラが移
動可能にされ前記第１のカメラ移動手段と協同可能にさ
れた第２のカメラ移動手段とを具備したことを特徴とす
る半導体テスタ装置。 （２）前記デバイス用カメラとしてＣＣＤカメラを具備
したことを特徴とする請求項１記載の半導体テスタ装
置。を構成したものである。
に、本発明は、 （１）テストヘッド本体に設けられたスコープホールに
挿入され測定されるデバイスのアライメントマークを読
み取るカメラを具備する半導体テスタ装置において、前
記スコープホールに設けられ前記カメラが取付られ前記
アライメントマークが設けられている面に平行な一方方
向に前記カメラが移動可能にされた第１のカメラ移動手
段と、前記スコープホールに設けられ前記カメラが取付
られ前記アライメントマークが設けられている面に平行
であって前記一方方向に直交する方向に前記カメラが移
動可能にされ前記第１のカメラ移動手段と協同可能にさ
れた第２のカメラ移動手段とを具備したことを特徴とす
る半導体テスタ装置。 （２）前記デバイス用カメラとしてＣＣＤカメラを具備
したことを特徴とする請求項１記載の半導体テスタ装
置。を構成したものである。
【００１２】
【作用】以上の構成において、デバイス用カメラは、ス
コープホール、パフォーマンスボード、信号中継部品の
それぞれに設けられた孔を通して、デバイスのアライメ
ントマークに焦点を合すことができる。
コープホール、パフォーマンスボード、信号中継部品の
それぞれに設けられた孔を通して、デバイスのアライメ
ントマークに焦点を合すことができる。
【００１３】従って、プルーブ６の先端とデバイスのリ
ード部の位置が合うことになる。そして、カメラは、第
１のカメラ移動手段と第２のカメラ移動手段とに取付ら
れているので、カメラは、スコープホール内の所定平面
の全ての位置に容易に移動できる。以下、実施例に基づ
き詳細に説明する。
ード部の位置が合うことになる。そして、カメラは、第
１のカメラ移動手段と第２のカメラ移動手段とに取付ら
れているので、カメラは、スコープホール内の所定平面
の全ての位置に容易に移動できる。以下、実施例に基づ
き詳細に説明する。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施例の要部
構成説明図で、テストヘッド本体１にハンドラ７が接続
された状態を示す。図２は図１の要部詳細平面図であ
る。図において、図３と同一記号の構成は同一機能を表
わす。以下、図３と相違部分のみ説明する。
構成説明図で、テストヘッド本体１にハンドラ７が接続
された状態を示す。図２は図１の要部詳細平面図であ
る。図において、図３と同一記号の構成は同一機能を表
わす。以下、図３と相違部分のみ説明する。
【００１５】２１は、スコープホール１１に設けられ、
カメラ９が取付られ、デバイスＡのアライメントマーク
が設けられている面に平行な一方方向Ｘに、カメラが移
動可能にされた第１のカメラ移動手段である。
カメラ９が取付られ、デバイスＡのアライメントマーク
が設けられている面に平行な一方方向Ｘに、カメラが移
動可能にされた第１のカメラ移動手段である。
【００１６】２２は、スコープホール１１に設けられ、
カメラ９が取付られ、デバイスＡのアライメントマーク
が設けられている面に平行であって、前記一方方向Ｘに
直交する方向Ｙに、カメラ９が移動可能にされ、第１の
カメラ移動手段２１と協同可能にされた第２のカメラ移
動手段である。なお、この場合は、カメラ９はＣＣＤカ
メラが使用されている。
カメラ９が取付られ、デバイスＡのアライメントマーク
が設けられている面に平行であって、前記一方方向Ｘに
直交する方向Ｙに、カメラ９が移動可能にされ、第１の
カメラ移動手段２１と協同可能にされた第２のカメラ移
動手段である。なお、この場合は、カメラ９はＣＣＤカ
メラが使用されている。
【００１７】以上の構成において、ＣＣＤカメラ９はス
コープホール１１、パフォーマンスボード２、信号中継
部品４のそれぞれに設けられた孔を通して、デバイスＡ
のアライメントマークに焦点をあわすことができる長焦
点を有する。ここで、アライメントマークとは、デバイ
スＡが載せられた基準点であり、ＣＣＤカメラ９を見な
がら、アライメントマークをハンドラ７の基準点に合わ
せる。
コープホール１１、パフォーマンスボード２、信号中継
部品４のそれぞれに設けられた孔を通して、デバイスＡ
のアライメントマークに焦点をあわすことができる長焦
点を有する。ここで、アライメントマークとは、デバイ
スＡが載せられた基準点であり、ＣＣＤカメラ９を見な
がら、アライメントマークをハンドラ７の基準点に合わ
せる。
【００１８】従って、プルーブ６の先端とデバイスＡの
リード部の位置が合うことになる。そして、ＣＣＤカメ
ラ９は、第１のカメラ移動手段２１と第２のカメラ移動
手段２２とに取付けられているので、ＣＣＤカメラ９
は、スコープホール１１内の所定平面の全ての位置に容
易に移動可能である。
リード部の位置が合うことになる。そして、ＣＣＤカメ
ラ９は、第１のカメラ移動手段２１と第２のカメラ移動
手段２２とに取付けられているので、ＣＣＤカメラ９
は、スコープホール１１内の所定平面の全ての位置に容
易に移動可能である。
【００１９】この結果、ＣＣＤカメラ９が、テストヘッ
ド本体１のスコープホール１１内に設けられ、スコープ
ホール１１内の所定平面の全ての位置に移動可能にした
ので、従来例の様なカメラ用アームが不要となるので、
外部振動の影響が受け難くなり、安定した状態で、アラ
イメントマークをモニタできるＣＣＤカメラ９を具備す
る半導体テスタ装置が得られる。
ド本体１のスコープホール１１内に設けられ、スコープ
ホール１１内の所定平面の全ての位置に移動可能にした
ので、従来例の様なカメラ用アームが不要となるので、
外部振動の影響が受け難くなり、安定した状態で、アラ
イメントマークをモニタできるＣＣＤカメラ９を具備す
る半導体テスタ装置が得られる。
【００２０】また、スコープホール１１上部の空間が、
制約なしに自由に使用出来る様になる。従って、カード
の拡張等が容易に出来る様になる。また、ＣＣＤカメラ
９が使用されれば、カメラを容易に小型化出来、全体構
成を小型化出来る半導体テスタ装置が得られる。
制約なしに自由に使用出来る様になる。従って、カード
の拡張等が容易に出来る様になる。また、ＣＣＤカメラ
９が使用されれば、カメラを容易に小型化出来、全体構
成を小型化出来る半導体テスタ装置が得られる。
【００２１】なお、前述の実施例においては、ハンドラ
７を使用すると説明したが、プローバにも適用出来るこ
とは勿論である。また、前述の実施例においては、カメ
ラ９はＣＣＤカメラよりなると説明したが、これに限る
ことはなく。要するに、アライメントマークをモニタで
きるカメラであればよい。
７を使用すると説明したが、プローバにも適用出来るこ
とは勿論である。また、前述の実施例においては、カメ
ラ９はＣＣＤカメラよりなると説明したが、これに限る
ことはなく。要するに、アライメントマークをモニタで
きるカメラであればよい。
【００２２】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の第
１請求項によれば、デバイス用カメラが、テストヘッド
本体のスコープホール内に設けられ、スコープホール内
の所定平面の全ての位置に移動可能にしたので、従来例
の様なカメラ用アームが不要となるので、外部振動の影
響が受け難くなり、安定した状態で、アライメントマー
クをモニタできるカメラを具備する半導体テスタ装置が
得られる。
１請求項によれば、デバイス用カメラが、テストヘッド
本体のスコープホール内に設けられ、スコープホール内
の所定平面の全ての位置に移動可能にしたので、従来例
の様なカメラ用アームが不要となるので、外部振動の影
響が受け難くなり、安定した状態で、アライメントマー
クをモニタできるカメラを具備する半導体テスタ装置が
得られる。
【００２３】また、スコープホール１１上部の空間が、
制約なしに自由に使用出来る様になる。従って、カード
の拡張等が容易に出来る様になる。本発明の第２請求項
によれば、ＣＣＤカメラが用いられたので、カメラを容
易に小型化出来、全体構成を小型化出来る半導体テスタ
装置が得られる。
制約なしに自由に使用出来る様になる。従って、カード
の拡張等が容易に出来る様になる。本発明の第２請求項
によれば、ＣＣＤカメラが用いられたので、カメラを容
易に小型化出来、全体構成を小型化出来る半導体テスタ
装置が得られる。
【００２４】従って、本発明によれば、耐振性が良好で
視認性が高いデバイス用のカメラを具備した半導体テス
タ装置を実現することが出来る。
視認性が高いデバイス用のカメラを具備した半導体テス
タ装置を実現することが出来る。
【図１】本発明の一実施例の構成説明図である。
【図２】図１の要部詳細説明図である。
【図３】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
１ テストヘッド本体 ２ パフォーマンスボード ３ コンタクトピン ４ 信号中継部 ５ プローブカード ６ プローブ ７ ハンドラ ８ デバイス受け ９ デバイス用のカメラ １１ スコープホール ２１ 第１のカメラ移動手段 ２２ 第２のカメラ移動手段 Ａ デバイス
Claims (2)
- 【請求項１】テストヘッド本体に設けられたスコープホ
ールに挿入され測定されるデバイスのアライメントマー
クを読み取るカメラを具備する半導体テスタ装置におい
て、 前記スコープホールに設けられ前記カメラが取付られ前
記アライメントマークが設けられている面に平行な一方
方向に前記カメラが移動可能にされた第１のカメラ移動
手段と、 前記スコープホールに設けられ前記カメラが取付られ前
記アライメントマークが設けられている面に平行であっ
て前記一方方向に直交する方向に前記カメラが移動可能
にされ前記第１のカメラ移動手段と協同可能にされた第
２のカメラ移動手段とを具備したことを特徴とする半導
体テスタ装置。 - 【請求項２】前記デバイス用カメラとしてＣＣＤカメラ
を具備したことを特徴とする請求項１記載の半導体テス
タ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29371796A JPH10142294A (ja) | 1996-11-06 | 1996-11-06 | 半導体テスタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29371796A JPH10142294A (ja) | 1996-11-06 | 1996-11-06 | 半導体テスタ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10142294A true JPH10142294A (ja) | 1998-05-29 |
Family
ID=17798338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29371796A Ceased JPH10142294A (ja) | 1996-11-06 | 1996-11-06 | 半導体テスタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10142294A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006064441A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Yokogawa Electric Corp | 検査用光源装置及びｉｃテスタ |
| JP2017162919A (ja) * | 2016-03-08 | 2017-09-14 | ボンドテック株式会社 | アライメント装置 |
-
1996
- 1996-11-06 JP JP29371796A patent/JPH10142294A/ja not_active Ceased
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006064441A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Yokogawa Electric Corp | 検査用光源装置及びｉｃテスタ |
| JP4513059B2 (ja) * | 2004-08-25 | 2010-07-28 | 横河電機株式会社 | Ｉｃテスタ |
| JP2017162919A (ja) * | 2016-03-08 | 2017-09-14 | ボンドテック株式会社 | アライメント装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A045 | Written measure of dismissal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045 Effective date: 20040223 |