JP4513059B2 - Icテスタ - Google Patents

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Description

本発明は、ICテスタに関し、詳しくは照度分布が均一で且つ小型軽量化を図ったICテスタに関する。
従来技術において、撮像素子の検査においては、検査対象物、製造メーカーにより検査項目が異なるが、撮像素子検査装置用の光源への主な要求仕様には次のようなものがある。
1.被検査撮像素子に照射する光量を高速に変更できること。
2.被検査撮像素子に照射する光の色(相関色温度)を高速に変更できること。
3.被検査撮像素子の撮像面全体にわたって均一な照度分布を持つこと(照度分布)。
4.可視光全体にわたって分光的に抜けがないこと(分光分布)。
5.照度の経時変化、温度変化を補償できること。
6.ランプの寿命が長いこと。
7.多数個測定時における、測定部毎の補正が出来ること(色、光量)。
8.被検査撮像素子の飽和輝度を超える十分な光量が得られること。
9.所望のF値で検査できること。
10.本体の小型軽量はもとより、休眠ユニット(チェンジキットなど)の保管スペースが小さいこと。
11.品種交換が容易且つ安定し、その都度調整が発生しないこと。
上記の要求仕様を達成することができる光源装置として、[1]ハロゲンランプを用いた検査用光源装置、[2]LEDランプを用いた簡易型検査用光源装置がある。以下、夫々について、図面を参照して説明する。
[1]ハロゲンランプを用いた検査用光源装置
ハロゲンランプを用いた検査用光源装置は、ハロゲンランプを光源に用いフィルタを機構的に切り替えるもので、それは図4に示すように、ハロゲンランプ110と、ハロゲンランプ110からの光線を平行光線にする第1レンズ111と、絞り112と、第1レンズ111を通過した光線に対して光量を調整するための第1モータ113で回転させND(ニュートラルデンシティ)フィルタが配置されている第1NDフィルタ114と、第3モータ115で回転するカラーフィルタ116と、カラーフィルタ116を通過した光線に対して照度を均一にする照度均一化素子117と、照度均一化素子117で照度が均一にされた光線の光量を調節するための第2モータ118で回転する第2NDフィルタ119と、第2NDフィルタ119で光量が調節された光線に対して被検査撮像素子121上で結像させるための第2レンズ120とから大略構成されている。
第1NDフィルタ114は第1モータ113で回転する円盤上には回転対象に透過率の異なるNDフィルタが配置されている。第2NDフィルタ119は第2モータ118で回転するようになっていて、構造は第1NDフィルタ114と同一である。カラーフィルタ116は第3モータ115で回転する円盤上に回転対象に色の異なるフィルタが配置されている。
このような構成からなるハロゲンランプを用いた検査用光源装置において、ハロゲンランプ110から出射した光束を第1レンズ111でほぼ平行光にし、第1NDフィルタ114の絞り112で光束を制限し、照度均一化素子117で照度分布を均一にした後、第2レンズ120で被検査撮像素子121に照射する。
[2]LEDランプを用いた簡易型検査用光源装置
LEDランプを用いた簡易型検査用光源装置は、LEDランプ直近に透過拡散板を具備した光源であり、それは図5に示すように、LEDランプR(131)とLEDランプG(132)とLEDランプB(133)の3個のLEDランプを一組にして複数組配列して形成された光源135と、光源135からの光束を透過させて拡散させる透過拡散板136と、透過拡散板136を介した光源135と反対方向に位置した被検査撮像素子137とから大略構成されている。
このような構成からなるLEDランプを用いた簡易型検査用光源装置は、先ず、ほぼ光度が等しいLEDランプR(131)、LEDランプG(132)、LEDランプB(133)をそれぞれ同一個数、平面上に対象に配置して発光させ、この配置したLEDランプの光軸上に擦りガラス又は乳白色のアクリル等でできた透過拡散板136を配置することで、各LEDランプの光束はこの透過拡散板136に入射し、被検査撮像素子137側からみれば、この透過拡散板136が拡散光源のようにみえ、被検査撮像素子137に好みの色のついた光を照射することができる。
特開平10−142294号公報(第2頁 第3図)
しかし、従来技術で説明した[1]ハロゲンランプを用いた検査用光源装置の場合は、図4に示すように、ハロゲンランプ110は駆動電流を変化させると光束と同時に色温度が変化する。従って、光量だけの変更にはフィルタを使わなければならない。従来例では第1NDフィルタ114と第2NDフィルタ119をそれぞれ第1モータ113と第2モータ118を用いて回転させて光量を変化させるが、機械的な動作のため切替時間は100msec程度が限度である。色温度の切替の場合も同じような時間が必要である。検査の高速化が要求される用途ではこの切替時間は許容されない時間である。
又、ハロゲンランプ111の寿命(ランプが点灯しなくなるまでの時間)は2000時間程度であるが、通常はそこまで達する前に光束が低下したり、色温度が変化してしまうため通常は2週間から1ヶ月程度でランプを交換している。交換に要する時間は装置が停止してしまい検査作業が止まるという問題がある。
又、被検査撮像素子121に照射される光量の確認のために、定期的に被検査撮像素子121の位置に照度計を用いて照度を確認する必要がある。
更に、ハロゲンランプ111という構造上、大量の発熱が発生するため、ハロゲンランプ111の冷却と、テストシステムへの断熱を図るためにもランプハウス構造は大型になり、光源の冷却、など装置の小型化には向かず、装置価格も高額になる。
[2]LEDランプを用いた簡易型検査用光源の場合は、図5に示すように、この光源135は簡易的な光源である。R、G、BのLED131、132、133からの光束を透過拡散板136を用いて空間的に合成し擬似白色光にしているが、図6に示すように、分光分布はそれぞれ局所的(R、G、Bの波長域)にしか光が存在しないことになるため、分光分布が抜けている波長部分で起きる不具合を検出できないという問題がある。
又、透過拡散板136を用いて光束を空間的に合成しているが、照度分布や色ムラを少なくするためには透過拡散板136と各LEDランプ131、132、133の距離や透過拡散板136と被検査撮像素子137の距離を十分に取る必要があるが、そうすると光量が低下しすぎるため、実用上は照度分布をある程度犠牲にしなければならない。また、照度分布を対象にするためにはLEDランプR(131)、LEDランプG(132)、LEDランプB(133)をそれぞれ同一個数、対象に配置する必要があり、それぞれの光度も同一程度のものを選定する必要がある。
又、被検査撮像素子137に照射される光量とそれぞれの確認のために、定期的に被検査撮像素子137の位置に照度計を置いて照度を確認する必要がある。
多数個同時測定においては、透過拡散板136による照度分布の均一化を図っている点から、局所的な制御は不可能で、光軸の中心の被検査撮像素子137と最外の被検査撮像素子137では主光軸の倒れ、照度分布による局所的に似た輝度強度の傾きなど、同時測定の条件を合わせこむことは叶わず正確な測定はできない。
図7は、上記のハロゲンランプ検査用光源装置を用いた従来のICテスタの一例を示す構成図である。
図7において、テストヘッド143は、測定信号152の授受を行いウェハー149の被検査素子の試験を行う。テストヘッド143には、スコープホール142が設けられ、必要に応じこのスコープホール142内にカメラや顕微鏡(図示せず)などを設置して撮像素子の状態をモニタする。
パフォーマンスボード145は、テストヘッド143に設けられたポゴピン144aにより電気的に接続され、テストヘッド143と測定信号152の授受を行う。
コンタクトリング146は、円筒形状に形成され、ポゴピン144bを備え、このポゴピン144bによりパフォーマンスボード145と電気的に接続され、測定信号152を中継する。
プローブカード147は、コンタクトリング146に備えられたポゴピン144cでコンタクトリング146と電気的に接続される。また、プローブカード147は、プローブ148を備え、このプローブ148によりウェハー149の被検査素子と電気的に接続される。
プローバー150は、ウェハー149を移動させて位置決めを行うと共にプローブカード147のプローブ148をウェハー149上の被検査素子の電極に接触させる。
導光部材141は、上記の検査用光源装置の一部を示したものであって、この導光部材141の一端は、スコープホール142、パフォーマンスボード145を通り、コンタクトリング146の空洞内まで挿入され、ハロゲンランプ(図示せず)の光を検査光151としてウェハー149の被検査素子に照射する。被検査素子は、検査光151の照射により信号を出力する。この信号が測定信号152としてプローブカード147、コンタクトリング146、パフォーマンスボード145を介してテストヘッド143に送られ、テストヘッド143に接続された図示しないテスタ本体でこの測定信号152を解析して、被検査素子の検査を行う。テスタ本体は、信号測定器、信号発生器、電源およびコントローラなどを備えている。また、検査用光源装置は、別途設けられた図示しない光源用制御装置により制御される。
このような被検査撮像素子のウェハーレベルの検査では、基準光に対して電気信号の測定を行う。基準光はテストヘッド143のスコープホール142を使って検査光をウェハー149上に照射する構造で、テストヘッド143を用いないでワイヤーで電気信号を引き出しているシステムでは光源のサイズ制限はないが、テストヘッド143を用いたシステムではスコープホール142の直径や深さが導光部材を含む光源装置のサイズの制限となる。また、近年、スコープホールを持たないテストヘッドの要求もあり、これに対応できる光源がないのが実情である。
本発明は、このような従来の検査用光源装置およびICテスタが有していた問題を解決しようとするものであり、照度分布が均一でありながら色度・光量がコントロール可能で、超小型のパッケージに集約した光源ユニットにより、アプリケーション一体型の検査用光源装置およびICテスタを実現することを目的とする。
上記課題を解決するために、本願発明のICテスタは、次に示す構成にしたことである。
(1)ICテスタは、撮像素子を試験するICテスタであって、信号の授受を行い試験を行うテストヘッドと、前記テストヘッドと電気的に接続し、該テストヘッドと信号の授受を行うパフォーマンスボードと、前記パフォーマンスボードと電気的に接続され、円筒形状に形成されたコンタクトリングと、前記コンタクトリングと電気的に接続し、プローブにより前記撮像素子と電気的に接続するプローブカードとからなり、前記コンタクトリング内に、前記撮像素子方向に光線を照射する光源ユニットを備えたことである。
(2)前記光源ユニットは、異なる分光輝度分布を持つ複数の発光素子と、前記複数の発光素子による光束を概ね同一照度分布となるように合成する光学系を具備し、前記複数の発光素子は、RGBの3原色の発光素子の他に、白色発光素子からなり、前記白色発光素子には可視光の波長域において連続して均一な輝度強度が得られるよう設計された誘電体多層膜フィルタを組み合わせて、分光輝度分布的に均一な白色が得られるようにしたことを特徴とする(1)に記載のICテスタ。
(3)前記複数の発光素子は、相対的に光量の少ない発光素子を複数設置し、各波長帯域の分光輝度分布が概ね同一強度になるようにしたことを特徴とする(2)に記載のICテスタ。
(4)前記複数の発光素子からの出射光は、入射光をその内部のみを伝導するように形成されたガラス又はプラスチック等の透明多角柱の一方の端面に入射し、前記透明多角柱の他方の端面からの出射光を、前記撮像素子に照射するようにしたことを特徴とする(1)、(2)又は(3)に記載のICテスタ。
(5)前記透明多角柱の出射端面の像を少なくとも1つ以上の結像レンズを用いて、前記撮像素子上に結像するようにしたことを特徴とする(4)に記載のICテスタ。
(6)前記透明多角柱を折り曲げた屈曲部には全反射するように金属又は誘電体を蒸着した照度均一化素子を具備し、前記コンタクトリング内に収納が可能なサイズに構成したことを特徴とする(4)に記載のICテスタ。
(7)前記透明多角柱の入射端面の近傍にチップタイプLEDを密集して実装したプリント基板を配置したことを特徴とする(4)に記載のICテスタ。
(8)前記光源ユニットの光量、分光分布が前記撮像素子毎に応じて設定できるようにしたことを特徴とする(1)に記載のICテスタ。
(9)前記光源ユニットは、前記コンタクトリングに設けた位置決めピンによって位置決めされ、且つ調整しないで交換可能にしたことを特徴とする(1)に記載のICテスタ。
(10)前記照度均一化素子は、内面に反射面を向けた平面鏡で形成したことを特徴とする(6)に記載のICテスタ。
(11)前記発光素子が発光ダイオードであることを特徴とする(1)に記載のICテスタ。
本発明のICテスタは、複数の発光素子がRGBの3原色の発光素子の他に、白色発光素子からなり、この白色発光素子には可視光の波長域において連続して均一な輝度強度が得られるよう設計された誘電体多層膜フィルタを組み合わせたことにより、分光輝度分布的に均一な白色が得られると共に、コンタクトリング内に位置決めして収容できるようにしたことで小型化を図り且つ調整不要な光源ユニットを実現できる。
次に、本願発明に係る検査用光源装置及びICテスタの実施例について、図面を参照して説明する。
(実施例1)
本願発明の検査用光源装置はウェハーに生成された撮像素子を試験するICテスタに具現化される。
図1は、本発明の検査用光源装置およびICテスタの一実施例を示す構成図である。
図1において、テストヘッド11は、測定信号30の授受や制御信号31で光源の制御をして撮像素子16の試験を行う。テストヘッド11には、スコープホール28が設けられ、必要に応じこのスコープホール28内にカメラや顕微鏡(図示せず)などを設置して撮像素子の状態をモニタする。
パフォーマンスボード13は、テストヘッド11に設けられたポゴピン12aにより電気的に接続され、テストヘッド11と測定信号30や制御信号31の授受を行う。
コンタクトリング14は、円筒形状に形成され、ポゴピン12bを備え、このポゴピン12bによりパフォーマンスボード13と電気的に接続され、測定信号30を中継する。
光源ユニット18は、コンタクトリング14内に収められ、パフォーマンスボード13とポゴピン19で電気的に接続され、ウェハー15の撮像素子16方向に光線を照射する。
プローブカード17は、コンタクトリング14に備えられたポゴピン12cでコンタクトリング14と電気的に接続される。また、プローブカード17は、プローブ26を備え、このプローブ26によりウェハー15の撮像素子16と電気的に接続される。
プローバー27は、ウェハー15を移動させて位置決めを行うと共にプローブカード17のプローブ26をウェハー15上の撮像素子16の電極に接触させる。
光源ユニット18は、テストヘッド11からの制御信号31により光量や色などの照射条件が設定され、被検査対象である撮像素子16にその条件の光線を照射する。撮像素子16は、この光線を受けて信号を出力し、この信号が測定信号30としてプローブカード17、コンタクトリング14、パフォーマンスボード13を介してテストヘッド11に送られ、テストヘッド11に接続された図示しないテスタ本体でこの測定信号30を解析して、被検査対象の検査を行う。また、光源ユニット18の照射条件の設定もテスタ本体で行われる。テスタ本体は、信号測定器、信号発生器、電源およびコントローラなどを備えている。
光源ユニット18は、コンタクトリング14内に設けた位置決めピン20で位置決めされ、且つ調整しないで交換可能な構成になっている。
この光源ユニット18は、異なる分光輝度分布を持つ複数の発光素子と、この複数の発光素子による光束を概ね同一照度分布となるように合成する光学系とを具備した構成になっている。
複数の発光素子は、発光ダイオードであり、発光輝度分布の異なる1種類以上のチップタイプLED21をプリント基板22に表面実装にて可能な限り密集させて実装する、このチップタイプLED21は発光輝度分布が2波長若しくは3波長発光可能なパッケージLEDであってもよい。
密集して実装したチップタイプLED21に接する程度近傍に照度均一化素子23を配置し、発光光束が照度均一化素子23に導かれるようにする。より多くの光束を導く為に透明樹脂又は透明接着剤などでその空間を充填してもよい。
プリント基板22には通常R(赤色)、G(緑色)、B(青色)の3原色を実装し、3原色の発光輝度強度を任意に設定することで所望の照明色を得られるものとする。又、RGBのように特定波長に一つのピークを持つLEDの他に、可視光領域で分光輝度分布が連続的な白色チップタイプLED(白色発光素子)をプリント基板22に実装する。可視光領域で分光輝度に抜けがないため、特定の波長で起きる欠陥を見落とすことがない。分光輝度分布に抜けがない光としてこのままで良いが、一般的に白色チップタイプLEDは分光輝度分布が460nm付近にピーク波長のある青色発光を黄色の蛍光体を光らすことで擬似的に白色を得ている為、その分光分布強度が均一ではない。連続的に均一な分光輝度分布が得られるように波長ごとに透過率を設計した色フィルタや誘電体多層膜フィルタと組み合わせることで、分光輝度分布が均一な連続光が得られる。このように、RGB3原色から作られる白色光と白色チップタイプLEDに補正フィルタを組み合わせて得られる白色光を同時に発光させることで、被検査撮像素子16の飽和輝度を超える十分な光量が得られる。
光学系は、拡散板25と、コ字型形状に形成された透明多角柱からなる照度均一化素子23と、レンズ24とからなる。
照度均一化素子23は、入射光をその内部のみを伝導するように形成され、全面を研磨したガラス又はプラスチック等の透明多角柱、所謂、ライトパイプであり、内面に反射面を向けた平面鏡で形成されている。実施例においては多角柱であるが円柱でもよい。
この場合、入射端面から入った光束は柱の側面で反射を繰り返し、出射端面では光束の分布が空間的に均一になる。装置のサイズに規定が無い場合、ストレート形状で製作するのがコスト的に有利であることから均一化に必要な長さを確保している(当然、ストレートな構造であっても良い。)。図1では折り曲げとなるコーナーは45度で構成しているが特に指定はない。折曲部では円柱、角柱内部の全反射が期待できないことから、屈曲部には全反射するように金属蒸着又は誘電体を蒸着して全反射する構造となっている。又、図1では「コ」の字型をしているが、[L]や更に複雑な多段折り曲げなど必要な長さを確保するうえで最適な形状を選択できるようになっている。均一化に必要な長さとは断面寸法に対して、15倍程度以上が目安になるが、発光部の分布などにより状況は異なるため、チップタイプLED21と照度均一化素子23の間に拡散板13若しくは集光効率の改善が図られるボールレンズを入れるなど照度均一化素子23の補助的機能を持たせ、全長の短縮を図った構造となっている。
また、チップタイプLEDには、RGB3原色と白色という少ない種類が用いられるので、発光面積が小さくなり、これに応じて照度均一化素子の断面寸法をも小さくでき、照度均一化素子の全長を短くすることが可能となる。
これにより、光源ユニットの小型化が可能となり、コンタクトリング14内に設置することができる。従って、スコープホールが光源ユニットのサイズに影響を及ぼすことがなくなるばかりでなく、スコープホールのないICテスタにも対応させられる。
また、光束の分布が均一となった照度均一化素子23の出射端の先に、出射端を被検査撮像素子16に結像する性能を有するレンズ24を配置し、均一面を結像照射することで光量のロスが最小で、照度分布が非常に良い照明が得られる。このレンズ24は変倍、絞り可変であっても良いが、サイズ的には制限があることから、所望する照明サイズになるよう設計された倍率に固定し、且つケラレの発生しないレンズ24内部に絞りを具備することで所望のF値での検査光が得られるレンズとする。又、このレンズ24は非常に小型でありながら、明るいレンズであることが求められることから、変倍、絞り可変機構は有さず、シンプルな鏡筒でレンズ、絞り(一定の穴径を有した円盤)を保持した形態となる。被検査撮像素子16の品種毎に設計された鏡筒と絞り径で1品種1光源対応としている。
上記構成が、被検査撮像素子16が1つ毎に1つ並ぶことにより、4個同時測定においては4個並列の構成となる。ここで、所望する照明サイズに対しレンズ径が小型になれば図1に示すとおり照明エリアは隣接して得られる。
このような構造をした光源ユニット18は、コンタクトリング14から出ている位置決めピン20に対し位置決めされる。コンタクトリング14は予めウェハー15との位置関係が正確に出されているため、光源ユニット18をコンタクトリング14に対して位置決めすることで品種毎によって被検査撮像素子16との位置情報は確保される。即ち、光源ユニット18の光量、分光分布がウェハー15に生成された撮像素子16毎に応じて設定されたものを、位置決めピン20に対して位置決めすることのみで、その他の調整等を不要にして品種毎の検査を行うことができるのである。
光源ユニット18のテストヘッド側(図1では上側)には電源供給及び電圧測定用にポゴピン19を備え、測定の際のマザーボードとなるパフォーマンスボード13に対して電気的接続を取っている。また、パフォーマンスボード13も同様にポゴピン12でテストヘッド11に対して電気的な接続を取っていることからテスタから光源のコントロールが可能となり、一元管理が可能となることで操作性、信頼性が大幅に向上する。フラットケーブルなどで光源ユニット18からケーブル引出しも可能であるが、コンタクトリング14の周辺は非常に複雑で高密集であることからケーブル引き回しも容易でない。
図2は、レンズの径が大きいため、被検査撮像素子16を隣接した照明エリアが得られないときのものを示したもので、レンズ24の先端にもう一つの集光レンズ26を設けることで周辺の照射光を中央に寄せ集めることで隣接が可能になる。
図3は、従来の3つの装置と、本発明のLEDランプ装置内蔵型の光源装置とを、寿命、色切替速度、照度分布、分光分布、光量、経時変化、価格、小型軽量、F値可変、隣接測定、測定部毎補正、品種交換性について比較したものを一覧表示したもので、この表から判るように、本発明の光源装置は、隣接測定に弱みがあるが、これは図2に示す集光レンズ26を使用することで解決でき、特に小型軽量の点で従来の光源装置に比べて勝っていることが理解できる。
このような構成からなる光源装置及びICテスタにおいては、下記に示すような様々な効果を得ることができる。
1.LEDランプの寿命はハロゲンランプの100倍以上、理論的には10年程度あるため、実質的にはランプ交換は不要となる。
2.光量、色温度の切替時間がフィルタ切替のものに対して1/1000以下である。
3.可視光領域で分光輝度分布に抜けがないため、特定の波長で起きる欠陥を見落とすことがない。
4.インデックスタイムに各LEDの光量をモニタし、光量に変化があった場合にはすぐにフィードバックすることが可能であり、ランプ切れの検出もできる。
5.生産性が大幅に改善され、隣接出来ずに1つ飛ばしで照明した場合に対し、最大150パーセントの生産効率となる。これはハロゲンランプのフィルタ切替え時間削減よりはるかに生産性向上につながる。
6.光源装置がテストヘッドと一体となればテスタが有している測定系や制御系などを利用することにより電圧や電流などの高精度測定や制御が可能で、新たに測定系を備える必要がなくなる。パフォーマンスボードを中継して電気的な系統を統一できれば、「テスタ」+「プローバー」+「光源」の構成が「テスタ」+「プローバー」となり、テストシステムの小型化、メンテナンスの一元化などを達成することができる。
7.被検査撮像素子の撮像面全体にわたって均一な照度分布が得られる。
8.照度の経時変化、温度変化を補償できる。
9.多数個測定の被検査撮像素子それぞれに対し、分光分布、光量の補正が出来る。
10.被検査撮像素子の飽和輝度を超える十分な光量が得られる。
11.所望のF値で検査が出来る。
12.本体の小型軽量はもとより、休眠ユニット(チェンジキットなど)の保管スペースが小さくなり、クリーンルーム内の省スペース化に寄与することができる。
13.品種毎に光源ユニットとして正確に精度出ししたユニットの交換で済むため、誰にでも交換が容易安定した性能が得られ、その都度の調整も発生しない。
14.拡散板を使ったLED光源では拡散性と光量のバランスをとるため、小型といってもコンタクトリング内に収納できるサイズには出来ず、テストヘッドとのスペースの遣り繰りが発生し、品種毎の設計上双方に制限が発生する。内蔵サイズに出来ることでアプリケーション対応が可能になる。
以上説明した本発明の光源装置に使用されている光学系は超小型ながら、F値可変と、分光分布の切替え、光量の設定が行える高機能と照度分布、分光分布が均一という高性能を併せ持ちながら、超小型のヘッドであることから、画像検査装置の光源、ラボユースに展開が可能である。
また、RGB3原色から作られる白色光と白色LEDに補正フィルタを組み合わせて得られる白色光を同時に発光させることで、被検査撮像素子の飽和輝度を超える十分な光量が得られる光源装置を提供することができる。
本発明の検査用光源装置およびICテスタの一実施例を示す構成図である。 本発明の集光レンズを加えた光源装置の一例を略示的に示した説明図である。 従来の光源装置と本発明の光源装置との特徴を比較して一覧表示した図である。 従来技術におけるハロゲンランプを用いた光源装置の一例を略示的に示した説明図である。 従来技術におけるLEDランプを用いた簡易型検査用光源装置の一例を略示的に示した説明図である。 RGBの波長をグラフ表示した図である。 従来のICテスタの一例を示した構成図である。
符号の説明
11 テストヘッド
12a ポゴピン
12b ポゴピン
12c ポゴピン
13 パフォーマンスボード
14 コンタクトリング
15 ウェハー
16 撮像素子
17 プローブカード
18 液晶ユニット
19 ポゴピン
20 位置決めピン
21 チップタイプLED
22 プリント基板
23 照度均一化素子
24 レンズ
25 拡散板
26 集光レンズ。
27 プローバ−

Claims (11)

  1. 撮像素子を試験するICテスタであって、
    信号の授受を行い試験を行うテストヘッドと、
    前記テストヘッドと電気的に接続し、該テストヘッドと信号の授受を行うパフォーマンスボードと、
    前記パフォーマンスボードと電気的に接続され、円筒形状に形成されたコンタクトリングと、
    前記コンタクトリングと電気的に接続し、プローブにより前記撮像素子と電気的に接続するプローブカードとからなり、
    前記コンタクトリング内に、前記撮像素子方向に光線を照射する光源ユニットを備えたことを特徴とするICテスタ。
  2. 前記光源ユニットは、異なる分光輝度分布を持つ複数の発光素子と、前記複数の発光素子による光束を概ね同一照度分布となるように合成する光学系を具備し、
    前記複数の発光素子は、RGBの3原色の発光素子の他に、白色発光素子からなり、
    前記白色発光素子には可視光の波長域において連続して均一な輝度強度が得られるよう設計された誘電体多層膜フィルタを組み合わせて、分光輝度分布的に均一な白色が得られるようにしたことを特徴とする請求項1に記載のICテスタ。
  3. 前記複数の発光素子は、相対的に光量の少ない発光素子を複数設置し、各波長帯域の分光輝度分布が概ね同一強度になるようにしたことを特徴とする請求項2に記載のICテスタ。
  4. 前記複数の発光素子からの出射光は、入射光をその内部のみを伝導するように形成されたガラス又はプラスチック等の透明多角柱の一方の端面に入射し、前記透明多角柱の他方の端面からの出射光を、前記撮像素子に照射するようにしたことを特徴とする請求項1、
    2又は3に記載のICテスタ。
  5. 前記透明多角柱の出射端面の像を少なくとも1つ以上の結像レンズを用いて、前記撮像素子上に結像するようにしたことを特徴とする請求項4に記載のICテスタ。
  6. 前記透明多角柱を折り曲げた屈曲部には全反射するように金属又は誘電体を蒸着した照度均一化素子を具備し、前記コンタクトリング内に収納が可能なサイズに構成したことを特徴とする請求項4に記載のICテスタ。
  7. 前記透明多角柱の入射端面の近傍にチップタイプLEDを密集して実装したプリント基板を配置したことを特徴とする請求項4に記載のICテスタ。
  8. 前記光源ユニットの光量、分光分布が前記撮像素子毎に応じて設定できるようにしたことを特徴とする請求項1に記載のICテスタ。
  9. 前記光源ユニットは、前記コンタクトリングに設けた位置決めピンによって位置決めされ、且つ調整しないで交換可能にしたことを特徴とする請求項1に記載のICテスタ。
  10. 前記照度均一化素子は、内面に反射面を向けた平面鏡で形成したことを特徴とする請求項6に記載のICテスタ。
  11. 前記発光素子が発光ダイオードであることを特徴とする請求項1に記載のICテスタ。
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