JP2001330648A - テストヘッド - Google Patents
テストヘッドInfo
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- JP2001330648A JP2001330648A JP2000147992A JP2000147992A JP2001330648A JP 2001330648 A JP2001330648 A JP 2001330648A JP 2000147992 A JP2000147992 A JP 2000147992A JP 2000147992 A JP2000147992 A JP 2000147992A JP 2001330648 A JP2001330648 A JP 2001330648A
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- contact pin
- test head
- rotating arm
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
- G01R31/2889—Interfaces, e.g. between probe and tester
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 不要時に接触ピン部に外力が作用するのを防
止することができるテストヘッドを提供する。 【解決手段】 コンタクトピン６ｂが使用位置Ａに位置
するときには、突起部１４ｄ，１４ｅが係合溝１２ｅ，
１２ｆと係合して、回転アーム１２が使用位置Ａで保持
される。回転アーム１２をＤ方向に回転するときには、
回転アーム１２に外力を加えると、付勢部材１４ｆ，１
４ｇの付勢力に抗して突起部１４ｄ，１４ｅが係合溝１
２ｅ，１２ｆから後退する。このために、突起部１４
ｄ，１４ｅと係合溝１２ｅ，１２ｆとの係合状態が解除
されて、回転アーム１２がＤ方向に回転可能になる。コ
ンタクトピン６ｂが収納位置Ｂに位置付けられると、突
起部１４ｄ，１４ｅが係合溝１２ｄ，１２ｅと係合し
て、回転アーム１２が収納位置Ｂで保持される。
止することができるテストヘッドを提供する。 【解決手段】 コンタクトピン６ｂが使用位置Ａに位置
するときには、突起部１４ｄ，１４ｅが係合溝１２ｅ，
１２ｆと係合して、回転アーム１２が使用位置Ａで保持
される。回転アーム１２をＤ方向に回転するときには、
回転アーム１２に外力を加えると、付勢部材１４ｆ，１
４ｇの付勢力に抗して突起部１４ｄ，１４ｅが係合溝１
２ｅ，１２ｆから後退する。このために、突起部１４
ｄ，１４ｅと係合溝１２ｅ，１２ｆとの係合状態が解除
されて、回転アーム１２がＤ方向に回転可能になる。コ
ンタクトピン６ｂが収納位置Ｂに位置付けられると、突
起部１４ｄ，１４ｅが係合溝１２ｄ，１２ｅと係合し
て、回転アーム１２が収納位置Ｂで保持される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、試験に必要な信
号を被測定デバイスに伝達するボードを装着してこの測
定デバイスを試験するテストヘッドに関する。
号を被測定デバイスに伝達するボードを装着してこの測
定デバイスを試験するテストヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来のテストヘッドを分解した
状態を示す斜視図である。従来のテストヘッド１０１
は、図５に示すように、テストヘッド本体１０２と、パ
フォーマンスボード１０３と、クランプリング１０４
と、スペーサリング１０５と、コンタクトピン１０６
と、コンタクトピンブロック１０７と、ベースリング１
０８とを備えている。このような従来のテストヘッド１
０１では、被測定デバイスの進歩に伴って、測定に必要
な信号線数や信号種類が増加するために、コンタクトピ
ン１０６の本数も増加する必要がある。
状態を示す斜視図である。従来のテストヘッド１０１
は、図５に示すように、テストヘッド本体１０２と、パ
フォーマンスボード１０３と、クランプリング１０４
と、スペーサリング１０５と、コンタクトピン１０６
と、コンタクトピンブロック１０７と、ベースリング１
０８とを備えている。このような従来のテストヘッド１
０１では、被測定デバイスの進歩に伴って、測定に必要
な信号線数や信号種類が増加するために、コンタクトピ
ン１０６の本数も増加する必要がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のテスト
ヘッド１０１では、図５に示すように、コンタクトピン
ブロック１０７の取付エリアの実装密度が高いために、
この取付エリア内にコンタクトピン１０６を増設するこ
とが困難である。その結果、従来のテストヘッド１０１
では、コンタクトピン１０６の本数を増加する場合に
は、ベースリング１０８の外側に増設する必要がある。
この場合には、既存のコンタクトピン１０６に対応する
標準サイズのパフォーマンスボード１０３と、この標準
サイズのパフォーマンスボード１０３よりも外形が大き
い増設対応のパフォーマンスボードとを共存させて、両
方を使用可能にする必要がある。しかし、標準サイズの
パフォーマンスボード１０３を装着した場合には、増設
したコンタクトピン部分が露出した状態となるために、
パフォーマンスボードの交換時、デバック時、プローバ
やハンドラとの接続時などに増設したコンタクトピンと
接触するおそれがある。
ヘッド１０１では、図５に示すように、コンタクトピン
ブロック１０７の取付エリアの実装密度が高いために、
この取付エリア内にコンタクトピン１０６を増設するこ
とが困難である。その結果、従来のテストヘッド１０１
では、コンタクトピン１０６の本数を増加する場合に
は、ベースリング１０８の外側に増設する必要がある。
この場合には、既存のコンタクトピン１０６に対応する
標準サイズのパフォーマンスボード１０３と、この標準
サイズのパフォーマンスボード１０３よりも外形が大き
い増設対応のパフォーマンスボードとを共存させて、両
方を使用可能にする必要がある。しかし、標準サイズの
パフォーマンスボード１０３を装着した場合には、増設
したコンタクトピン部分が露出した状態となるために、
パフォーマンスボードの交換時、デバック時、プローバ
やハンドラとの接続時などに増設したコンタクトピンと
接触するおそれがある。
【０００４】この発明の課題は、不要時に接触ピン部に
外力が作用するのを防止することができるテストヘッド
を提供することである。
外力が作用するのを防止することができるテストヘッド
を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、以下のよう
な解決手段により、前記課題を解決する。なお、この発
明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これ
に限定するものではない。請求項１の発明は、試験に必
要な信号を被測定デバイスに伝達するボード（３ｂ）を
装着して、この被測定デバイスを試験するテストヘッド
であって、前記ボードと電気的に接触する接触ピン部
（６ｂ）と、前記接触ピン部を収納する収納部（１０）
と、前記収納部外で使用する使用位置（Ａ）と前記収納
部内に収納する収納位置（Ｂ）とに、前記接触ピン部の
位置を変更する位置変更手段（１１）とを含むテストヘ
ッド（１）である。
な解決手段により、前記課題を解決する。なお、この発
明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これ
に限定するものではない。請求項１の発明は、試験に必
要な信号を被測定デバイスに伝達するボード（３ｂ）を
装着して、この被測定デバイスを試験するテストヘッド
であって、前記ボードと電気的に接触する接触ピン部
（６ｂ）と、前記接触ピン部を収納する収納部（１０）
と、前記収納部外で使用する使用位置（Ａ）と前記収納
部内に収納する収納位置（Ｂ）とに、前記接触ピン部の
位置を変更する位置変更手段（１１）とを含むテストヘ
ッド（１）である。
【０００６】請求項２の発明は、請求項１に記載のテス
トヘッドにおいて、前記接触ピン部は、既設の接触ピン
部の取付領域（８ａ）外に増設されていることを特徴と
するテストヘッドである。
トヘッドにおいて、前記接触ピン部は、既設の接触ピン
部の取付領域（８ａ）外に増設されていることを特徴と
するテストヘッドである。
【０００７】請求項３の発明は、請求項１又は請求項２
に記載のテストヘッドにおいて、前記位置変更手段は、
前記接触ピン部を支持するとともに、前記使用位置と前
記収納位置との間で回転する回転アーム（１２）と、前
記回転アームを回転自在に支持する支持軸（１３）と、
前記使用位置及び／又は前記収納位置に前記接触ピン部
が位置するように、前記回転アームを保持する保持機構
部（１４）とを含むことを特徴とするテストヘッドであ
る。
に記載のテストヘッドにおいて、前記位置変更手段は、
前記接触ピン部を支持するとともに、前記使用位置と前
記収納位置との間で回転する回転アーム（１２）と、前
記回転アームを回転自在に支持する支持軸（１３）と、
前記使用位置及び／又は前記収納位置に前記接触ピン部
が位置するように、前記回転アームを保持する保持機構
部（１４）とを含むことを特徴とするテストヘッドであ
る。
【０００８】請求項４の発明は、請求項３に記載のテス
トヘッドにおいて、前記保持機構部は、前記回転アーム
の係合溝（１２ｄ，１２ｅ，１２ｆ）と係合する突起部
（１４ｄ，１４ｅ）と、前記突起部を前記係合溝に付勢
する付勢部材（１４ｆ，１４ｇ）とを含み、前記付勢部
材は、前記回転アームに外力が作用すると、前記係合溝
と前記突起部とが係合を解除するように縮むことを特徴
とするテストヘッドである。
トヘッドにおいて、前記保持機構部は、前記回転アーム
の係合溝（１２ｄ，１２ｅ，１２ｆ）と係合する突起部
（１４ｄ，１４ｅ）と、前記突起部を前記係合溝に付勢
する付勢部材（１４ｆ，１４ｇ）とを含み、前記付勢部
材は、前記回転アームに外力が作用すると、前記係合溝
と前記突起部とが係合を解除するように縮むことを特徴
とするテストヘッドである。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施形態についてさらに詳しく説明する。図１は、こ
の発明の実施形態に係るテストヘッドを分解した状態を
示す斜視図である。図２は、この発明の実施形態に係る
テストヘッドからパフォーマンスボードを取り外した状
態を示す平面図である。図３は、図２のIII-III線で切
断した状態を示す断面図である。図４は、この発明の実
施形態に係るテストヘッドの位置変更手段の断面図であ
る。
の実施形態についてさらに詳しく説明する。図１は、こ
の発明の実施形態に係るテストヘッドを分解した状態を
示す斜視図である。図２は、この発明の実施形態に係る
テストヘッドからパフォーマンスボードを取り外した状
態を示す平面図である。図３は、図２のIII-III線で切
断した状態を示す断面図である。図４は、この発明の実
施形態に係るテストヘッドの位置変更手段の断面図であ
る。
【００１０】テストヘッド１は、図示しない被測定デバ
イス（Device Under Test（ＤＵＴ））を試験する装置
である。テストヘッド１は、図１及び図２に示すよう
に、テストヘッド本体２と、パフォーマンスボード３
ａ，３ｂと、クランプリング４と、スペーサリング５
と、コンタクトピン６ａ，６ｂと、コンタクトピンブロ
ック７，９と、ベースリング８と、図３に示すように、
収納部１０と、位置変更手段１１とを備えている。テス
トヘッド１は、半導体ウェーハ上に形成されたＩＣやＬ
ＳＩなどの電極にプローブ針（触針）を接触させて検査
するプローバや、組立後の被測定デバイスをテストシス
テムに供給してテスト結果に基づいて分類し収納するハ
ンドラに、クランプリング４側を対向させて搭載され
る。
イス（Device Under Test（ＤＵＴ））を試験する装置
である。テストヘッド１は、図１及び図２に示すよう
に、テストヘッド本体２と、パフォーマンスボード３
ａ，３ｂと、クランプリング４と、スペーサリング５
と、コンタクトピン６ａ，６ｂと、コンタクトピンブロ
ック７，９と、ベースリング８と、図３に示すように、
収納部１０と、位置変更手段１１とを備えている。テス
トヘッド１は、半導体ウェーハ上に形成されたＩＣやＬ
ＳＩなどの電極にプローブ針（触針）を接触させて検査
するプローバや、組立後の被測定デバイスをテストシス
テムに供給してテスト結果に基づいて分類し収納するハ
ンドラに、クランプリング４側を対向させて搭載され
る。
【００１１】テストヘッド本体２は、試験に必要な信号
（テスト信号）を被測定デバイスに送信する部分であ
る。テストヘッド本体２は、図１及び図２に示すよう
に、被測定デバイスを検査するときに使用する顕微鏡覗
き孔２ａと、図２及び図３に示すように、筐体の一部を
構成するテストヘッドカバー２ｂと、テストヘッドカバ
ー２ｂに形成された開口部２ｃと、テストヘッドカバー
２ｂ内に設置されたベース２ｄとを備えている。テスト
ヘッド本体２は、顕微鏡覗き孔２ａに対して放射状に配
置されたピンエレクトロニクスカード２ｅを多数収納す
る。
（テスト信号）を被測定デバイスに送信する部分であ
る。テストヘッド本体２は、図１及び図２に示すよう
に、被測定デバイスを検査するときに使用する顕微鏡覗
き孔２ａと、図２及び図３に示すように、筐体の一部を
構成するテストヘッドカバー２ｂと、テストヘッドカバ
ー２ｂに形成された開口部２ｃと、テストヘッドカバー
２ｂ内に設置されたベース２ｄとを備えている。テスト
ヘッド本体２は、顕微鏡覗き孔２ａに対して放射状に配
置されたピンエレクトロニクスカード２ｅを多数収納す
る。
【００１２】パフォーマンスボード３ａ，３ｂは、試験
に必要な信号を被測定デバイスに伝達するボードであ
る。パフォーマンスボード３ａ，３ｂは、被測定デバイ
ス側とテストヘッド本体２側との間で信号の受け渡しが
可能なようにこれらの間に配置される。パフォーマンス
ボード３ａ，３ｂは、図示しないテストヘッド本体側パ
ッド端子と、プローバ側パッド端子と、これらを電気的
に接続する配線パターンなどを備えている。図２に示す
ように、パフォーマンスボード３ａは、既設のコンタク
トピン６ａにのみ対応可能なように標準サイズに形成さ
れており、パフォーマンスボード３ｂは、増設されたコ
ンタクトピン６ｂにも対応可能なように、パフォーマン
スボード３ａよりも外形が僅かに大きく形成されてい
る。
に必要な信号を被測定デバイスに伝達するボードであ
る。パフォーマンスボード３ａ，３ｂは、被測定デバイ
ス側とテストヘッド本体２側との間で信号の受け渡しが
可能なようにこれらの間に配置される。パフォーマンス
ボード３ａ，３ｂは、図示しないテストヘッド本体側パ
ッド端子と、プローバ側パッド端子と、これらを電気的
に接続する配線パターンなどを備えている。図２に示す
ように、パフォーマンスボード３ａは、既設のコンタク
トピン６ａにのみ対応可能なように標準サイズに形成さ
れており、パフォーマンスボード３ｂは、増設されたコ
ンタクトピン６ｂにも対応可能なように、パフォーマン
スボード３ａよりも外形が僅かに大きく形成されてい
る。
【００１３】図１に示すクランプリング４は、パフォー
マンスボード３ａ，３ｂをコンタクトピン６ａ，６ｂに
押し付けるための部材である。クランプリング４は、ベ
ースリング８に装着されて、パフォーマンスボード３
ａ，３ｂをベースリング８との間でクランプする。スペ
ーサリング５は、パフォーマンスボード３ａ，３ｂとク
ランプリング４とを電気的に絶縁するための部材であ
る。スペーサリング５は、パフォーマンスボード３ａ，
３ｂとクランプリング４との間に挟み込まれる。
マンスボード３ａ，３ｂをコンタクトピン６ａ，６ｂに
押し付けるための部材である。クランプリング４は、ベ
ースリング８に装着されて、パフォーマンスボード３
ａ，３ｂをベースリング８との間でクランプする。スペ
ーサリング５は、パフォーマンスボード３ａ，３ｂとク
ランプリング４とを電気的に絶縁するための部材であ
る。スペーサリング５は、パフォーマンスボード３ａ，
３ｂとクランプリング４との間に挟み込まれる。
【００１４】図１〜図３に示すコンタクトピン６ａは、
パフォーマンスボード３ａ，３ｂと電気的に接触する接
触ピンであり、コンタクトピン６ｂは、パフォーマンス
ボード３ｂと電気的に接触する接触ピンである。コンタ
クトピン６ａは、パフォーマンスボード３ａ，３ｂのテ
ストヘッド本体側パッド端子と電気的に接触し、コンタ
クトピン６ｂは、パフォーマンスボード３ｂのテストヘ
ッド本体側パッド端子と電気的に接触する。コンタクト
ピン６ａ，６ｂは、図示しないケーブルを介してピンエ
レクトロニクスカード２ｅに接続されている。
パフォーマンスボード３ａ，３ｂと電気的に接触する接
触ピンであり、コンタクトピン６ｂは、パフォーマンス
ボード３ｂと電気的に接触する接触ピンである。コンタ
クトピン６ａは、パフォーマンスボード３ａ，３ｂのテ
ストヘッド本体側パッド端子と電気的に接触し、コンタ
クトピン６ｂは、パフォーマンスボード３ｂのテストヘ
ッド本体側パッド端子と電気的に接触する。コンタクト
ピン６ａ，６ｂは、図示しないケーブルを介してピンエ
レクトロニクスカード２ｅに接続されている。
【００１５】コンタクトピンブロック７は、コンタクト
ピン６ａを固定する部材である。コンタクトピンブロッ
ク７は、図１に示すように、顕微鏡覗き孔２ａに対して
放射状にベースリング８に取り付けられている。ベース
リング８は、コンタクトピンブロック７を固定する部材
である。ベースリング８は、テストヘッド本体２に取り
付けられている。ベースリング８は、図３に示すよう
に、既設のコンタクトピン６ａ及びコンタクトピンブロ
ック７を取り付けるための取付領域８ａを備えている。
ピン６ａを固定する部材である。コンタクトピンブロッ
ク７は、図１に示すように、顕微鏡覗き孔２ａに対して
放射状にベースリング８に取り付けられている。ベース
リング８は、コンタクトピンブロック７を固定する部材
である。ベースリング８は、テストヘッド本体２に取り
付けられている。ベースリング８は、図３に示すよう
に、既設のコンタクトピン６ａ及びコンタクトピンブロ
ック７を取り付けるための取付領域８ａを備えている。
【００１６】コンタクトピンブロック９は、コンタクト
ピン６ｂを固定する部材である。コンタクトピンブロッ
ク９は、図３に示すように、取付領域７ａ外に増設され
ており、図１及び図２に示すように、ベースリング８の
外側に等間隔で４箇所に増設されている。コンタクトピ
ンブロック９は、図３に示すように、コンタクトピン６
ｂを取り付ける取付領域９ａを備えている。
ピン６ｂを固定する部材である。コンタクトピンブロッ
ク９は、図３に示すように、取付領域７ａ外に増設され
ており、図１及び図２に示すように、ベースリング８の
外側に等間隔で４箇所に増設されている。コンタクトピ
ンブロック９は、図３に示すように、コンタクトピン６
ｂを取り付ける取付領域９ａを備えている。
【００１７】図１〜図３に示す収納部１０は、コンタク
トピン６ｂを収納する部分である。収納部１０は、テス
トヘッドカバー２ｂとベース２ｄとの間に形成された空
間部分である。収納部１０は、図１及び図２に示すよう
に、テストヘッド本体２内に４箇所形成されている。
トピン６ｂを収納する部分である。収納部１０は、テス
トヘッドカバー２ｂとベース２ｄとの間に形成された空
間部分である。収納部１０は、図１及び図２に示すよう
に、テストヘッド本体２内に４箇所形成されている。
【００１８】図３及び図４に示す位置変更手段１１は、
収納部１０外で使用する使用位置Ａと収納部１０内に収
納する収納位置Ｂとに、コンタクトピン６ｂの位置を変
更する装置である。位置変更手段１１は、図４に示すよ
うに、回転アーム１２と、支持軸１３と、保持機構部１
４とを備えている。
収納部１０外で使用する使用位置Ａと収納部１０内に収
納する収納位置Ｂとに、コンタクトピン６ｂの位置を変
更する装置である。位置変更手段１１は、図４に示すよ
うに、回転アーム１２と、支持軸１３と、保持機構部１
４とを備えている。
【００１９】回転アーム１２は、コンタクトピン６ｂを
支持するとともに、使用位置Ａと収納位置Ｂとの間で回
転する部材である。回転アーム１２は、一方の端部にコ
ンタクトピンブロック９を固定する固定部１２ａが形成
されており、他方の端部に貫通孔１２ｂが形成されてい
る。回転アーム１２は、貫通孔１２ｂが形成されている
側の端面に、この貫通孔１２ｂを中心とする円弧状の摺
動面１２ｃが形成されており、この摺動面１２ｃには等
間隔でテーパ状の係合溝（インデックス溝）１２ｄ，１
２ｅ，１２ｆが形成されている。
支持するとともに、使用位置Ａと収納位置Ｂとの間で回
転する部材である。回転アーム１２は、一方の端部にコ
ンタクトピンブロック９を固定する固定部１２ａが形成
されており、他方の端部に貫通孔１２ｂが形成されてい
る。回転アーム１２は、貫通孔１２ｂが形成されている
側の端面に、この貫通孔１２ｂを中心とする円弧状の摺
動面１２ｃが形成されており、この摺動面１２ｃには等
間隔でテーパ状の係合溝（インデックス溝）１２ｄ，１
２ｅ，１２ｆが形成されている。
【００２０】支持軸１３は、回転アーム１２を回転自在
に支持する部材である。支持軸１３は、回転アーム１２
の貫通孔１２ｂに挿入されている。支持軸１３は、図３
に示すように、コンタクトピン６ｂ及びコンタクトピン
ブロック９の重心位置Ｇと水平方向において距離Ｘだけ
オフセットするように、図４に示す支持ブロック１４ａ
に固定されている。
に支持する部材である。支持軸１３は、回転アーム１２
の貫通孔１２ｂに挿入されている。支持軸１３は、図３
に示すように、コンタクトピン６ｂ及びコンタクトピン
ブロック９の重心位置Ｇと水平方向において距離Ｘだけ
オフセットするように、図４に示す支持ブロック１４ａ
に固定されている。
【００２１】保持機構部１４は、コンタクトピン６ｂが
使用位置Ａ及び収納位置Ｂに位置するように、回転アー
ム１２を保持する装置である。保持機構部１４は、回転
アーム１２の回転位置を決定するインデックスプランジ
ャなどである。保持機構部１４は、支持ブロック１４ａ
と、収納孔１４ｂ，１４ｃと、突起部１４ｄ，１４ｅ
と、付勢部材１４ｆ，１４ｇとを備えている。
使用位置Ａ及び収納位置Ｂに位置するように、回転アー
ム１２を保持する装置である。保持機構部１４は、回転
アーム１２の回転位置を決定するインデックスプランジ
ャなどである。保持機構部１４は、支持ブロック１４ａ
と、収納孔１４ｂ，１４ｃと、突起部１４ｄ，１４ｅ
と、付勢部材１４ｆ，１４ｇとを備えている。
【００２２】支持ブロック１４ａは、使用位置Ａと収納
位置Ｂとの間で回転アーム１２が回転するように、この
回転アーム１２の回転範囲を規制する部材である。支持
ブロック１４ａは、支持軸１３を中心として略９０度以
内で回転アーム１２が回転可能なように略Ｌ字状に形成
されている。支持ブロック１４ａは、回転アーム１２が
摺動面１２ｃを接触させながら回転可能なようにガイド
する。支持ブロック１４ａは、図３に示すように、ベー
ス２ｄを介してテストヘッド本体２内に固定されてい
る。支持ブロック１４ａは、図４に示すように、収納孔
１４ｂ，１４ｃを備えている。
位置Ｂとの間で回転アーム１２が回転するように、この
回転アーム１２の回転範囲を規制する部材である。支持
ブロック１４ａは、支持軸１３を中心として略９０度以
内で回転アーム１２が回転可能なように略Ｌ字状に形成
されている。支持ブロック１４ａは、回転アーム１２が
摺動面１２ｃを接触させながら回転可能なようにガイド
する。支持ブロック１４ａは、図３に示すように、ベー
ス２ｄを介してテストヘッド本体２内に固定されてい
る。支持ブロック１４ａは、図４に示すように、収納孔
１４ｂ，１４ｃを備えている。
【００２３】収納孔１４ｂは、突起部１４ｄ及び付勢部
材１４ｆを収納する部分であり、収納孔１４ｃは、突起
部１４ｅ及び付勢部材１４ｇを収納する部分である。収
納孔１４ｂ，１４ｃは、図３及び図４に示すように、水
平方向及び垂直方向に形成されている。
材１４ｆを収納する部分であり、収納孔１４ｃは、突起
部１４ｅ及び付勢部材１４ｇを収納する部分である。収
納孔１４ｂ，１４ｃは、図３及び図４に示すように、水
平方向及び垂直方向に形成されている。
【００２４】突起部１４ｄは、回転アーム１２の係合溝
１２ｄ，１２ｅと係合するボールであり、突起部１４ｅ
は、回転アーム１２の係合溝１２ｅ，１２ｆと係合する
ボールである。突起部１４ｄ，１４ｅは、図４に示すよ
うに、テーパ状の係合溝１２ｄ，１２ｅ，１２ｆに先端
部が僅かに嵌まり込むために、コンタクトピン６ｂの繰
り返し位置再現性が良好になる。
１２ｄ，１２ｅと係合するボールであり、突起部１４ｅ
は、回転アーム１２の係合溝１２ｅ，１２ｆと係合する
ボールである。突起部１４ｄ，１４ｅは、図４に示すよ
うに、テーパ状の係合溝１２ｄ，１２ｅ，１２ｆに先端
部が僅かに嵌まり込むために、コンタクトピン６ｂの繰
り返し位置再現性が良好になる。
【００２５】付勢部材１４ｆ，１４ｇは、係合溝１２
ｄ，１２ｅ，１２ｆに突起部１４ｄ，１４ｅを付勢する
ばねなどである。付勢部材１４ｆ，１４ｇは、回転アー
ム１２に外力が作用すると、係合溝１２ｄ，１２ｅ，１
２ｆと突起部１４ｄ，１４ｅとが係合を解除するように
縮む。
ｄ，１２ｅ，１２ｆに突起部１４ｄ，１４ｅを付勢する
ばねなどである。付勢部材１４ｆ，１４ｇは、回転アー
ム１２に外力が作用すると、係合溝１２ｄ，１２ｅ，１
２ｆと突起部１４ｄ，１４ｅとが係合を解除するように
縮む。
【００２６】次に、この発明の実施形態に係るテストヘ
ッドの動作を説明する。図４に示すように、コンタクト
ピン６ｂが使用位置Ａに位置するときには、突起部１４
ｄが係合溝１２ｅと係合するとともに、突起部１４ｅが
係合溝１２ｆと係合して、回転アーム１２が使用位置Ａ
で保持される。パフォーマンスボード３ｂをコンタクト
ピン６ｂに押し付けて装着すると、コンタクトピン６ｂ
及びコンタクトピンブロック９にはＣ方向のモーメント
が作用する。しかし、コンタクトピン６ｂ及びコンタク
トピンブロック９の重心位置Ｇと支持軸１３の中心と
は、水平方向において距離Ｘだけオフセットしている。
その結果、回転アーム１２の側面が支持ブロック１４ａ
の側面と接触して、コンタクトピン６ｂ及びコンタクト
ピンブロック９は、Ｃ方向への回転が規制される。
ッドの動作を説明する。図４に示すように、コンタクト
ピン６ｂが使用位置Ａに位置するときには、突起部１４
ｄが係合溝１２ｅと係合するとともに、突起部１４ｅが
係合溝１２ｆと係合して、回転アーム１２が使用位置Ａ
で保持される。パフォーマンスボード３ｂをコンタクト
ピン６ｂに押し付けて装着すると、コンタクトピン６ｂ
及びコンタクトピンブロック９にはＣ方向のモーメント
が作用する。しかし、コンタクトピン６ｂ及びコンタク
トピンブロック９の重心位置Ｇと支持軸１３の中心と
は、水平方向において距離Ｘだけオフセットしている。
その結果、回転アーム１２の側面が支持ブロック１４ａ
の側面と接触して、コンタクトピン６ｂ及びコンタクト
ピンブロック９は、Ｃ方向への回転が規制される。
【００２７】回転アーム１２をＤ方向に回転するときに
は、回転アーム１２に外力を加えると、付勢部材１４
ｆ，１４ｇの付勢力に抗して突起部１４ｄ，１４ｅが係
合溝１２ｅから後退する。このために、付勢部材１４
ｆ，１４ｇが縮み、突起部１４ｄ，１４ｅと係合溝１２
ｅ，１２ｆとの係合状態が解除されて、回転アーム１２
がＤ方向に回転可能になる。
は、回転アーム１２に外力を加えると、付勢部材１４
ｆ，１４ｇの付勢力に抗して突起部１４ｄ，１４ｅが係
合溝１２ｅから後退する。このために、付勢部材１４
ｆ，１４ｇが縮み、突起部１４ｄ，１４ｅと係合溝１２
ｅ，１２ｆとの係合状態が解除されて、回転アーム１２
がＤ方向に回転可能になる。
【００２８】コンタクトピン６ｂが収納位置Ｂに位置付
けられると、突起部１４ｄ，１４ｆが係合溝１２ｄ，１
２ｅと係合して、回転アーム１２が収納位置Ｂで保持さ
れる。このときに、回転アーム１２の側面が支持ブロッ
ク１４ａの側面と接触して、コンタクトピン６ｂ及びコ
ンタクトピンブロック９は、Ｄ方向への回転が規制され
る。なお、コンタクトピン６ｂの位置を収納位置Ｂから
使用位置Ａに変更する動作も、コンタクトピン６ｂの位
置を使用位置Ａから収納位置Ｂに変更する動作と略同様
である。
けられると、突起部１４ｄ，１４ｆが係合溝１２ｄ，１
２ｅと係合して、回転アーム１２が収納位置Ｂで保持さ
れる。このときに、回転アーム１２の側面が支持ブロッ
ク１４ａの側面と接触して、コンタクトピン６ｂ及びコ
ンタクトピンブロック９は、Ｄ方向への回転が規制され
る。なお、コンタクトピン６ｂの位置を収納位置Ｂから
使用位置Ａに変更する動作も、コンタクトピン６ｂの位
置を使用位置Ａから収納位置Ｂに変更する動作と略同様
である。
【００２９】この発明の実施形態に係るテストヘッドに
は、以下に記載するような効果がある。 （１） この実施形態では、コンタクトピン６ｂを収納
部１０外で使用する使用位置Ａと、コンタクトピン６ｂ
を収納部１０内に収納する収納位置Ｂとに、このコンタ
クトピン６ｂの位置を位置変更手段１１が変更する。こ
のために、必要時にはコンタクトピン６ｂを簡単に使用
状態にすることができるとともに、不要時にはコンタク
トピン６ｂを簡単に収納状態にすることができる。
は、以下に記載するような効果がある。 （１） この実施形態では、コンタクトピン６ｂを収納
部１０外で使用する使用位置Ａと、コンタクトピン６ｂ
を収納部１０内に収納する収納位置Ｂとに、このコンタ
クトピン６ｂの位置を位置変更手段１１が変更する。こ
のために、必要時にはコンタクトピン６ｂを簡単に使用
状態にすることができるとともに、不要時にはコンタク
トピン６ｂを簡単に収納状態にすることができる。
【００３０】（２） この実施形態では、コンタクトピ
ン６ｂが既設のコンタクトピン６ａの取付領域７ａ外に
増設されている。このために、パフォーマンスボード３
ａ，３ｂの交換時、デバック時、プローバやハンドラと
の接続時などにコンタクトピン６ｂと接触することで外
力が加わり、コンタクトピン６ｂを損傷するのを防止す
ることができる。
ン６ｂが既設のコンタクトピン６ａの取付領域７ａ外に
増設されている。このために、パフォーマンスボード３
ａ，３ｂの交換時、デバック時、プローバやハンドラと
の接続時などにコンタクトピン６ｂと接触することで外
力が加わり、コンタクトピン６ｂを損傷するのを防止す
ることができる。
【００３１】（３） この実施形態では、コンタクトピ
ン６ｂを支持する回転アーム１２が使用位置Ａと収納位
置Ｂとの間で回転するとともに、使用位置Ａ及び収納位
置Ｂにコンタクトピン６ｂが位置するように、回転アー
ム１２を保持機構部１４が保持する。このために、コン
タクトピン６ｂを収納部１０内に回転収納方式によって
簡単に収納することができる。
ン６ｂを支持する回転アーム１２が使用位置Ａと収納位
置Ｂとの間で回転するとともに、使用位置Ａ及び収納位
置Ｂにコンタクトピン６ｂが位置するように、回転アー
ム１２を保持機構部１４が保持する。このために、コン
タクトピン６ｂを収納部１０内に回転収納方式によって
簡単に収納することができる。
【００３２】（４） この実施形態では、回転アーム１
２に外力が作用すると、係合溝１２ｄ，１２ｅ，１２ｆ
と突起部１４ｄ，１４ｅとが係合を解除するように付勢
部材１４ｆ，１４ｇが縮まる。このために、複雑なロッ
ク機構を必要とせずに、回転アーム１２の回転位置を位
置決めすることができる。その結果、コンタクトピン６
ｂを使用位置Ａに簡単に設置したり収納位置Ｂに簡単に
収納することができる。
２に外力が作用すると、係合溝１２ｄ，１２ｅ，１２ｆ
と突起部１４ｄ，１４ｅとが係合を解除するように付勢
部材１４ｆ，１４ｇが縮まる。このために、複雑なロッ
ク機構を必要とせずに、回転アーム１２の回転位置を位
置決めすることができる。その結果、コンタクトピン６
ｂを使用位置Ａに簡単に設置したり収納位置Ｂに簡単に
収納することができる。
【００３３】この発明は、以上説明した実施形態に限定
するものではなく、種々の変形又は変更が可能であり、
これらもこの発明の範囲内である。例えば、この実施形
態では、増設されたコンタクトピン６ｂを収納する場合
を例に挙げて説明したが、この発明は、既設のコンタク
トピン６ａを収納する場合についても適用することがで
きる。また、この実施形態では、図４に示すように、保
持機構部１４を２つ設置した場合を例に挙げて説明した
が、いずれか一方を省略してもよい。
するものではなく、種々の変形又は変更が可能であり、
これらもこの発明の範囲内である。例えば、この実施形
態では、増設されたコンタクトピン６ｂを収納する場合
を例に挙げて説明したが、この発明は、既設のコンタク
トピン６ａを収納する場合についても適用することがで
きる。また、この実施形態では、図４に示すように、保
持機構部１４を２つ設置した場合を例に挙げて説明した
が、いずれか一方を省略してもよい。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明による
と、収納部外で使用する使用位置と収納部内に収納する
収納位置とに接触ピン部の位置を変更するので、不要時
に接触ピン部に外力が作用するのを防止することができ
る。
と、収納部外で使用する使用位置と収納部内に収納する
収納位置とに接触ピン部の位置を変更するので、不要時
に接触ピン部に外力が作用するのを防止することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施形態に係るテストヘッドを分解
した状態を示す斜視図である。
した状態を示す斜視図である。
【図２】この発明の実施形態に係るテストヘッドからパ
フォーマンスボードを取り外した状態を示す平面図であ
る。
フォーマンスボードを取り外した状態を示す平面図であ
る。
【図３】図２のIII-III線で切断した状態を示す断面図
である。
である。
【図４】この発明の実施形態に係るテストヘッドの位置
変更手段の断面図である。
変更手段の断面図である。
【図５】図５は、従来のテストヘッドを分解した状態を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
１ テストヘッド ２ テストヘッド本体 ３ａ，３ｂ パフォーマンスボード ４ クランプリング ５ スペーサリング ６ａ，６ｂ コンタクトピン ７，９ コンタクトピンブロック４ｂ 底面 ８ 取付領域 １０ 収納部 １１ 位置変更手段 １２ 回転アーム １２ｄ，１２ｅ，１２ｆ 係合溝 １３ 支持軸 １４ 保持機構部 １４ｄ，１４ｅ 突起部 １４ｆ，１４ｇ 付勢部材 Ａ 使用位置 Ｂ 収納位置
Claims (4)
- 【請求項１】 試験に必要な信号を被測定デバイスに伝
達するボードを装着して、この被測定デバイスを試験す
るテストヘッドであって、 前記ボードと電気的に接触する接触ピン部と、 前記接触ピン部を収納する収納部と、 前記収納部外で使用する使用位置と前記収納部内に収納
する収納位置とに、前記接触ピン部の位置を変更する位
置変更手段と、 を含むテストヘッド。 - 【請求項２】 請求項１に記載のテストヘッドにおい
て、 前記接触ピン部は、既設の接触ピン部の取付領域外に増
設されていること、 を特徴とするテストヘッド。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載のテストヘ
ッドにおいて、 前記位置変更手段は、 前記接触ピン部を支持するとともに、前記使用位置と前
記収納位置との間で回転する回転アームと、 前記回転アームを回転自在に支持する支持軸と、 前記使用位置及び／又は前記収納位置に前記接触ピン部
が位置するように、前記回転アームを保持する保持機構
部とを含むこと、 を特徴とするテストヘッド。 - 【請求項４】 請求項３に記載のテストヘッドにおい
て、 前記保持機構部は、 前記回転アームの係合溝と係合する突起部と、 前記突起部を前記係合溝に付勢する付勢部材とを含み、 前記付勢部材は、前記回転アームに外力が作用すると、
前記係合溝と前記突起部とが係合を解除するように縮む
こと、 を特徴とするテストヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000147992A JP3770051B2 (ja) | 2000-05-19 | 2000-05-19 | テストヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000147992A JP3770051B2 (ja) | 2000-05-19 | 2000-05-19 | テストヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001330648A true JP2001330648A (ja) | 2001-11-30 |
| JP3770051B2 JP3770051B2 (ja) | 2006-04-26 |
Family
ID=18654093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000147992A Expired - Fee Related JP3770051B2 (ja) | 2000-05-19 | 2000-05-19 | テストヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3770051B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007113986A (ja) * | 2005-10-19 | 2007-05-10 | Yokogawa Electric Corp | Ｉｃテスタ |
| JP2009510463A (ja) * | 2005-10-04 | 2009-03-12 | ローデ ウント シュワルツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディット ゲゼルシャフト | 切替装置を備えたプローブ |
-
2000
- 2000-05-19 JP JP2000147992A patent/JP3770051B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009510463A (ja) * | 2005-10-04 | 2009-03-12 | ローデ ウント シュワルツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディット ゲゼルシャフト | 切替装置を備えたプローブ |
| JP2012068258A (ja) * | 2005-10-04 | 2012-04-05 | Rohde & Schwarz Gmbh & Co Kg | 切替装置を備えたプローブ |
| JP2007113986A (ja) * | 2005-10-19 | 2007-05-10 | Yokogawa Electric Corp | Ｉｃテスタ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3770051B2 (ja) | 2006-04-26 |
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