JPH10141867A - 熱処理治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 連続炉等に被処理物を多段配列して搬入する
際に、安定した段積み構造を構築しうる熱処理治具を提
供する。 【解決手段】 セラミック質からなるプレート１に設け
られた孔１ａに、セラミック質からなる支柱２の凸部２
ｂを接合して成る構造体２１が、プレート１を貫通して
突出した凸部２ｂの先端を嵌合部として、また、凸部２
ｂと反対側の支柱２の端部に形成された凹部２ｃを被嵌
合部として、隣接する他の構造体２１と嵌合する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、板状コンデンサ等
の熱処理を行う際に使用する治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１８は、従来の熱処理治具を用いて、
熱処理前の被処理物を多段配列した状態を示す正面図で
ある。この熱処理治具は、支柱１１と、支柱１１を介し
て積み重ねられた複数のプレート８とから形成されてい
る。上記の熱処理治具を用いて、板状コンデンサ等を複
数枚積み重ねたユニット９を熱処理する場合、まず、台
板１０上に四角形のプレート８を置き、その上に所定の
数だけ（図は２ユニットのみを示しているが実際はもっ
と多数である。）ユニット９を載置する。次に、円筒状
のセラミックチューブからなる支柱１１をプレート８の
四隅に置き、その上にさらにプレート８を載せて、ユニ
ット９を所定の数だけ載置する。以下同様にしてプレー
ト８を多段積みした構成とし、これを台板１０ごと連続
炉等に搬入して、大量のユニット９を一度に熱処理す
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
従来の熱処理治具では、支柱１１がプレート８の四隅に
載置され、その上から上段のプレート８が載せられるだ
けの構造であるため、連続炉等の炉内を搬送されると
き、支柱１１がずれ動いて所定位置から外れ、プレート
８及びそれに載置されているユニット９が崩れることが
ある。このような事態を避けるため、支柱１１の一端と
プレート８とを接着することもできるが、支柱１１の端
部の小さな接着部面積では強い接着力を得るには不十分
なため、熱処理中又はハンドリング若しくはユニット９
の取出し時に接着がはがれ易い。接着がはがれると、上
記と同様に、搬送時にプレート８及びユニット９が崩れ
ることがある。また、最下段のプレート８が下に凸にな
るように反った場合、プレート８の安定性が悪くなり、
台板１０上で回転等をしやすくなる。従って、このよう
な場合はプレート８を多段に積むことができないので、
一度に１プレート分のユニット数しか熱処理できなくな
る。

【０００４】上記のような従来の問題点に鑑み、本発明
は、安定した段積み構造を構築しうる熱処理治具を提供
することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の熱処理治具は、
被処理物が載置されるプレートを、支柱を介して複数段
積み重ねてなる熱処理治具であって、所定の位置に孔が
形成されたプレートと、プレートの孔にその一部が嵌入
し、他の一部がプレートの下面から突出するような態様
でプレートに嵌合された支柱とからなる構造体を複数段
積み重ねることにより形成されており、かつ、各構造体
が隣接する他の構造体と互いに嵌合する嵌合部及び被嵌
合部を備え、一つの構造体の嵌合部が隣接する構造体の
被嵌合部に嵌合し、これが繰り返されることにより構造
体が複数段積み重ねられていることを特徴とするもので
ある。上記のような構成においては、各構造体の嵌合部
は隣接する他の構造体の被嵌合部に嵌合して段積みされ
るので、安定した段積み構造が得られる。また、プレー
トの下面から支柱の一部が突出し、これによりプレート
を支えているので、熱処理治具全体を載置する台板の表
面と最下段のプレートの下面との間に隙間ができる。従
って、最下段のプレートが下に凸に反った場合にも同プ
レートの下面が台板の表面に触れないので、安定性を維
持することができる。

【０００６】上記のように構成された熱処理治具におい
て、構造体を構成する支柱の一端側には他の部分（大径
部）より径の小さい小径部が形成されているとともに、
他端側（大径部側）の端面には凹部が形成されており、
かつ、小径部の、プレートの孔を貫通して突出した部分
が嵌合部となり、かつ、大径部側の端面に形成された凹
部が被嵌合部となっているように構成しても良い。この
ように構成した場合は、プレートの孔を貫通して突出し
た各構造体の嵌合部が、隣接する他の構造体に形成され
た凹部を被嵌合部として、これに嵌合して段積みされる
ので、安定した段積み構造が得られる。

【０００７】また、上記の熱処理治具において、支柱の
小径部がプレートの孔を上面側から下面側に貫通すると
ともに、下面側に突出した部分が嵌合部となり、かつ、
プレートの上面側に突出した大径部側の端面に形成され
た凹部が被嵌合部となっているように構成しても良い。
このように構成した場合は、プレートを貫通してその下
面側に突出した支柱の小径部の一部が、隣接する他の支
柱の、プレートの上面側に突出した大径部側の端面に形
成された凹部に嵌合して段積みされるので、安定した段
積み構造が得られる。

【０００８】また、上記の熱処理治具において、支柱の
小径部がプレートの孔を下面側から上面側に貫通すると
ともに、上面側に突出した部分が嵌合部となり、かつ、
支柱の大径部がプレートの下面側に突出して台座となっ
ているとともに、大径部側の端面に形成された凹部が被
嵌合部となっているように構成しても良い。このように
構成した場合は、プレートの孔を貫通してその上面側へ
突出した支柱の小径部の一部が、隣接する他の支柱の、
プレートの下面側に突出した大径部側の端面に形成され
た凹部に嵌合して段積みされるので、安定した段積み構
造が得られる。

【０００９】また、上記の熱処理治具において、支柱の
両端側に、中央部より径が小さく、軸方向の長さがプレ
ートの厚みより小さい小径部が形成されているととも
に、小径部をプレートの孔に嵌入させたときに孔と小径
部端面とから形成される凹部が被嵌合部となり、かつ、
支柱の他端側の小径部が嵌合部となっているように構成
しても良い。この場合、支柱の一方の小径部がプレート
の孔に嵌入し、嵌入した小径部を除く、残りの支柱の部
分がプレートの下面から突出する。このように構成した
場合は、プレートの孔に挿入された小径部が、その孔と
共に形成する凹部に、隣接する他の支柱の小径部が挿入
されて段積みされる。すなわち、プレートの厚みを利用
して、互いに隣接する２つの小径部を孔の中で対向させ
るように配置した段積み構造である。これにより、安定
した段積み構造が得られる。

【００１０】また、上記各熱処理治具において、プレー
トと支柱との接合部に接着剤を介在させることもでき
る。これによって、プレートと支柱とのより確実な接合
状態が得られる。

【００１１】また、上記のように接着剤を用いた熱処理
治具においては、プレートと支柱とが互いに近似した熱
膨張係数を有するセラミックから形成されたものである
ことが好ましい。熱膨張が同程度であることにより、接
着部分に過度な力が働かないため、接着のはがれを防止
することができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】

《実施形態１》図１は、本発明の第１の実施形態による
熱処理治具を示す正面図であって、該熱処理治具を用い
て被処理物９（例えば板状コンデンサを複数枚積み重ね
たユニットであり、以下ユニット９という。）を多段配
列した状態を示している。本実施形態の熱処理治具を構
成するプレート１は図２に示すように四角形の平面形状
を有しており、四隅に孔１ａが設けられている。プレー
ト１の寸法は、例えば、２５０×２５０ｍｍで、厚さが
２〜４ｍｍである。また、孔１ａは例えば、直径１０〜
１５ｍｍである。プレート１の材質はアルミナ、ムライ
ト、ＭｇＯ、ＺｒＯ₂、ＳｉＣ等である。プレート１の
表面は、必要に応じてＺｒＯ₂等によりコーティングさ
れている。

【００１３】図３の（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）はそれぞ
れ、支柱２の平面図、正面図及び底面図である。支柱２
はプレート１と同一の材料から成り、円柱状のスペーサ
部２ａの一端から、より小径の円柱状の凸部２ｂがスペ
ーサ部２ａと同軸的に設けられ、他端には例えば座ぐり
加工により凹部２ｃが形成されている。各部の寸法の一
例を挙げると、スペーサ部２ａは直径が１５〜２０ｍｍ
で、高さが１０〜２０ｍｍである。凸部２ｂは直径が１
０〜１５ｍｍで、高さが４〜６ｍｍである。また、凹部
２ｃは内径が１０〜１５ｍｍで、深さが２ｍｍ程度であ
る。

【００１４】図４に示すように、支柱２の凸部２ｂは、
プレート１の上面から孔１ａに挿入され、接着剤による
接着層６の部分で固着される。接着層６はスペーサ部２
ａの端面とプレート１との接触部及び、凸部２ｂの外周
面と孔１ａの内周面との接触部に設けられるため、接着
面積が大きく、強固な固着状態が得られる。このように
して、プレート１の四隅に支柱２を固定した熱処理治具
の構造体２１が得られる。なお、接着剤は、熱膨張係数
が支柱２と同等なものを用いる。これにより、高温の炉
内で熱膨張しても、接着部のはがれを生じない。

【００１５】次に、熱処理治具の構造体２１を台板１０
上に段積みする手順を説明する。まず、図５に示すよう
に台板１０上に、ユニット９が載置された（又は後で載
置される）構造体２１を台板１０上に置く。支柱２の凸
部２ｂはプレート１の厚さより長いため、凸部２ｂの先
端部がプレート１の下面より下に出ることになり、この
部分（４箇所）がプレート１を支える。従って、プレー
ト１の下面は台板１０に触れない。これにより、プレー
ト１が下に凸に反ったとしても、その変位が凸部２ｂの
プレート１下面からの突出長の範囲内であれば、プレー
ト１が台板１０の表面に触れることはないので、プレー
ト１の載置状態が不安定になることはない。次に、図６
に示すように、上段の構造体２１を、各支柱２の凸部２
ｂの先端が、下段の対応する支柱２の凹部２ｃにそれぞ
れ嵌合するように載せる。同様にして３段目を載せる
と、図１に示す状態となる。このように、段ごとに各支
柱２の凸部２ｂの先端が、下段の対応する支柱２の凹部
２ｃにそれぞれ嵌合するように構造体２１が積み重ねら
れるので、水平方向の位置ずれを生じず、安定した段積
み構造が得られる。

【００１６】なお、上記第１の実施形態においては、図
３の（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）に示すような円柱状を基
調とした形状の支柱２を用いたが、同図の（ｄ）、
（ｅ）及び（ｆ）に示すような角柱状を基調とした支柱
３を用いても良い。この場合は、スペーサ部３ａが四角
柱であり、凸部３ｂがスペーサ部３ａより一辺の長さが
短い四角柱である。また、凹部３ｃは、凸部３ｂを嵌合
させるべく凸部３ｂより若干大きい四角形の孔とする。
また、プレート１の孔１ａ（図２）も凸部３ｂに合わせ
た四角形の孔にすることはいうまでもない。

【００１７】また、上記第１の実施形態の支柱２（又は
支柱３）とプレート１との構造体２１を上下（天地）逆
にした段積み構造も同様に実施可能である。

【００１８】図７は上記第１の実施形態の構成に加え
て、台板１０上に突起部１２を設けた実施例である。こ
のように突起部１２を設けることにより、最下段のプレ
ート１の下面側に突出した凸部２ｂに依存することな
く、プレート１を台板１０から浮上した状態で支持する
ことが可能となり、さらに信頼性を向上させることがで
きる。

【００１９】《実施形態２》図８は、第２の実施形態に
よる熱処理治具を用いてユニット９を多段配列した状態
を示す部分正面図である。本実施形態のプレート１は第
１の実施形態のプレート１（図２）と同様に、その平面
形状が四角形状であり、四隅に孔１ａが設けられてい
る。プレート１の寸法、孔１ａの径、及び、プレート１
の材質は第１の実施形態と同様である。本実施形態では
第１の実施形態とは異なる形状の支柱４を用いる。

【００２０】図９の（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）はそれぞ
れ、支柱４の平面図、正面図及び底面図である。支柱４
はプレート１と同一の材料から成り、円柱状の嵌挿部４
ａの一端から、より大径の円柱状の台座部４ｂが嵌挿部
４ａと同軸的に設けられ、台座部４ｂには例えば座ぐり
加工により凹部４ｃが形成されている。嵌挿部４ａは直
径が１０〜１５ｍｍで、高さが１０〜３０ｍｍである。
台座部４ｂの寸法は直径が１０〜２０ｍｍで、高さが４
ｍｍ程度である。また、凹部４ｃは内径が１０〜１５ｍ
ｍで、深さが２ｍｍ程度である。

【００２１】図１０に示すように、支柱４の嵌挿部４ａ
は、プレート１の下面から孔１ａに挿入され、接着剤に
よる接着層６の部分で固着される。接着層６は台座部４
ｂの上端面とプレート１との接触部及び、嵌挿部４ａの
外周面と孔１ａの内周面との接触部に設けられるため、
接着面積が大きく、強固な固着状態が得られる。このよ
うにして、プレート１の四隅に支柱４を固定した熱処理
治具の構造体２２が得られる。なお、接着剤は、第１の
実施形態と同様に、熱膨張係数が支柱４と同等なものを
用いる。これにより、高温の炉内で熱膨張しても、接着
部のはがれを生じない。

【００２２】次に、上記の構造体２２を台板１０上に段
積みする手順を説明する。まず、図１１に示すように台
板１０上に、ユニット９が載置された（又は後で載置さ
れる）構造体２２を台板１０上に置く。全部で４箇所の
台座部４ｂによりプレート１は安定して支えられ、台座
部４ｂの高さ分の隙間がプレート１の下面と台板１０と
の間に保たれる。従って、プレート１の下面は台板１０
に触れない。これにより、プレート１が下に凸に反った
としても、その変位が台座部４ｂの高さの範囲内であれ
ば、プレート１が台板１０の表面に触れることはないの
で、プレート１の載置状態が不安定になることはない。
次に、図１２に示すように、上段の構造体２２の各支柱
４の凹部４ｃが、下段の対応する支柱２の嵌挿部４ａの
先端にそれぞれ嵌合するように載せる。同様にして３段
目を載せると、図８に示す状態となる。このように、段
ごとに各支柱４の凹部４ｃが、対応する下段の嵌挿部４
ａの先端とそれぞれ嵌合するように積み重ねられるの
で、水平方向に位置ずれを起こすことがないため、プレ
ート１が崩れることがない。しかも、プレート１の孔１
ａより大きな径の台座部４ｂによりプレート１を支えて
いるため、万一接着層６における接着がはがれた場合で
も、プレート１は脱落せず、段積み構造は崩れない。

【００２３】なお、上記第２の実施形態においては、図
９の（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）に示すような円柱状を基
調とした形状の支柱４を用いたが、第１の実施形態にお
いて図３に基づいて述べたように、角柱状を基調とした
支柱を用いても良い。

【００２４】また、上記第２の実施形態の支柱４とプレ
ート１との構造体２２を上下（天地）逆にした段積み構
造も同様に実施可能である。

【００２５】《実施形態３》図１３は、第３の実施形態
による熱処理治具を用いてユニット９を多段配列した状
態を示す部分正面図である。本実施形態のプレート１は
第１の実施形態のプレート１（図２）と同様に、その平
面形状が四角形状であり、四隅に孔１ａが設けられてい
る。プレート１の寸法、孔１ａの径、及び、プレート１
の材質は第１の実施形態と同様である。本実施形態では
第１及び第２の実施形態とは異なる形状の支柱５を用い
る。

【００２６】図１４の（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ、支
柱５の平面図（又は底面図）及び正面図である。支柱５
はプレート１と同一の材料から成り、円柱状のスペーサ
部５ａの両端から、スペーサ部５ａより小径の円柱状の
凸部５ｂがスペーサ部５ａと同軸的に設けられている。
スペーサ部５ａの寸法は直径が１５〜２０ｍｍで、高さ
が１０〜２０ｍｍである。凸部５ｂは直径が１０〜１５
ｍｍで、高さはプレート１の厚みの約半分である。

【００２７】図１５に示すように、支柱５の凸部５ｂ
は、プレート１の下面から孔１ａに挿入され、接着剤に
よる接着層６の部分で固着される。接着層６はスペーサ
部５ａの上端面とプレート１との接触部及び、上方の凸
部５ｂの外周面と孔１ａの内周面との接触部に設けられ
るため、接着面積が大きく、強固な固着状態が得られ
る。このようにして、プレート１の四隅に支柱５を固定
した熱処理治具の構造体２３が得られる。なお、接着剤
は、第１の実施形態と同様に、熱膨張係数が支柱５と同
等なものを用いる。これにより、高温の炉内で熱膨張し
ても、接着部のはがれを生じない。

【００２８】次に、上記の構造体２３を台板１０上に段
積みする手順を説明する。まず、図１６に示すように台
板１０上に、ユニット９が載置された（又は後で載置さ
れる）構造体２３を台板１０上に置く。全部で４箇所に
取り付けられた支柱５によりプレート１を支えることに
より、プレート１の下面は台板１０より十分に高い位置
に安定して支持され、プレート１の下面は台板１０には
触れない。これにより、プレート１が下に凸に反ったと
しても、プレート１が台板１０の表面に触れることはな
いので、プレート１の載置状態が不安定になることはな
い。また、このとき、支柱５の上方側の凸部５ｂは孔１
ａの下半分に嵌挿されて固着されているので、プレート
１の孔１ａの内周面と当該凸部５ｂの上端面とにより、
プレート１の厚さの約半分を深さとした凹部Ａが形成さ
れている。

【００２９】次に、図１７に示すように、上段の構造体
２３の各支柱５の下端側の凸部５ｂが、下段の対応する
凹部Ａ（プレート１の孔１ａ）にそれぞれ嵌合するよう
に載せる。これにより、上段の凸部５ｂの下端面がプレ
ート１の孔１ａ内で下段の凸部５ｂの上端面と対向した
状態で、上段の構造体２３が保持される。同様にして３
段目を載せると、図１３に示す状態となる。このよう
に、段ごとに各支柱５の凸部５ｂが、対応する凹部Ａ
（プレート１の孔１ａ）にそれぞれ嵌合するように積み
重ねられることにより、水平方向に位置ずれを起こすこ
とがないため、プレート１が崩れることがない。

【００３０】なお、上記第３の実施形態においては、図
１４の（ａ）及び（ｂ）に示すような円柱状を基調とし
た形状の支柱５を用いたが、第１の実施形態において図
３に基づいて述べたように、角柱状を基調とした支柱を
用いても良い。

【００３１】また、上記第３の実施形態の支柱５とプレ
ート１との構造体２３を上下（天地）逆にした段積み構
造も同様に実施可能である。但し、その場合は、最下段
のプレート１より下部に支柱５が突出しないため、台板
１０上に突起部等を設けて最下段のプレート１と台板１
０の表面との間に隙間を作る必要がある。

【００３２】なお、上記各実施形態においては、プレー
ト１の四隅に支柱（３〜６）を設けた構成としたが、四
隅以外の箇所に設けても良く、また、支柱の数はプレー
ト１の大きさに応じて適宜増減しうることはいうまでも
ない。また、プレート１は四角形としたが、他の形状で
あっても良い。

【００３３】

【発明の効果】以上のように構成された本発明は以下の
効果を奏する。本発明の熱処理治具は、所定の位置に孔
が形成されたプレートと、プレートの孔にその一部が嵌
入し、他の一部がプレートの下面から突出するような態
様でプレートに嵌合された支柱とからなる構造体を複数
段積み重ねることにより形成されており、かつ、各構造
体が隣接する他の構造体と互いに嵌合する嵌合部及び被
嵌合部を備え、一つの構造体の嵌合部が隣接する構造体
の被嵌合部に嵌合し、これが繰り返されることにより構
造体が複数段積み重ねられる構成としたので、各構造体
の嵌合部は隣接する他の構造体の被嵌合部に嵌合して段
積みされ、安定した段積み構造が得られる。また、プレ
ートの下面から支柱の一部が突出し、これによりプレー
トを支えているので、熱処理治具全体を載置する台板の
表面と最下段のプレートの下面との間に隙間ができる。
従って、最下段のプレートが下に凸に反った場合にも同
プレートの下面が台板の表面に触れないので、安定性を
維持することができる。

【００３４】また、上記の熱処理治具において、支柱の
小径部がプレートの孔を下面側から上面側に貫通すると
ともに、上面側に突出した部分が嵌合部となり、かつ、
支柱の大径部がプレートの下面側に突出して台座となっ
ているとともに、大径部側の端面に形成された凹部が被
嵌合部となっているように構成した場合は、プレートの
孔を貫通してその上面側へ突出した支柱の小径部の一部
が、隣接する他の支柱の、プレートの下面側に突出した
大径部側の端面に形成された凹部に嵌合して段積みされ
るので、安定した段積み構造が得られる。また、大径部
が台座となってプレートを支えているため、支柱とプレ
ートとの接着等を前提とせずに、安定した段積み構造を
構築できる。従って、例えば、互いに接着した支柱とプ
レートとを用いて段積みした場合であって、その後に接
着がはがれてもプレートが脱落することはなく、安定し
た段積み構造が維持される。

【００３５】また、プレートと支柱とを、互いに近似し
た熱膨張係数を有するセラミックにより形成した場合
は、両者を接着剤により接着している場合において温度
変化があっても、接着のはがれが生じにくい。従って、
プレートと支柱との固着状態が安定して保たれるので、
段積み構造も安定して維持される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態による熱処理治具を段
積みした構造を示す断面図である。

【図２】各実施形態に共通のプレートの平面図である。

【図３】第１の実施形態における支柱を示す図であり、
（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は底面図であ
る。（ｄ）、（ｅ）及び（ｆ）はそれぞれ他の支柱を示
す平面図、正面図及び底面図である。

【図４】第１の実施形態におけるプレートと支柱との接
合段階の状態を示す部分断面図である。

【図５】第１の実施形態における１段目の構造体の設置
状態を示す部分断面図である。

【図６】第１の実施形態における２段目の構造体の設置
状態を示す部分断面図である。

【図７】本発明の第１の実施形態における熱処理治具の
他の構造を示す部分断面図である。

【図８】本発明の第２の実施形態による熱処理治具を段
積みした構造を示す部分断面図である。

【図９】第２の実施形態における支柱を示す図であり、
（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は底面図であ
る。

【図１０】第２の実施形態におけるプレートと支柱との
接合段階の状態を示す部分断面図である。

【図１１】第２の実施形態における１段目の構造体の設
置状態を示す部分断面図である。

【図１２】第２の実施形態における２段目の構造体の設
置状態を示す部分断面図である。

【図１３】本発明の第３の実施形態による熱処理治具を
段積みした構造を示す部分断面図である。

【図１４】第３の実施形態における支柱を示す図であ
り、（ａ）は平面図又は底面図、（ｂ）は正面図であ
る。

【図１５】第３の実施形態におけるプレートと支柱との
接合段階の状態を示す部分断面図である。

【図１６】第３の実施形態における１段目の構造体の設
置状態を示す部分断面図である。

【図１７】第３の実施形態における２段目の構造体の設
置状態を示す部分断面図である。

【図１８】従来の熱処理治具を段積みした構造を示す断
面図である。

【符号の説明】

１ プレート １ａ 孔 ２ 支柱 ２ａ スペーサ部 ２ｂ 凸部 ２ｃ 凹部 ３ 支柱 ３ａ スペーサ部 ３ｂ 凸部 ３ｃ 凹部 ４ 支柱 ４ａ 嵌挿部 ４ｂ 台座部 ４ｃ 凹部 ５ 支柱 ５ａ スペーサ部 ５ｂ 凸部 ６ 接着層 ９ ユニット １０ 台板 ２１，２２，２３ 構造体

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被処理物が載置されるプレートを、支柱を
   介して複数段積み重ねてなる熱処理治具であって、 所定の位置に孔が形成されたプレートと、プレートの孔
   にその一部が嵌入し、他の一部がプレートの下面から突
   出するような態様でプレートに嵌合された支柱とからな
   る構造体を複数段積み重ねることにより形成されてお
   り、かつ、 各構造体が隣接する他の構造体と互いに嵌合する嵌合部
   及び被嵌合部を備え、一つの構造体の嵌合部が隣接する
   構造体の被嵌合部に嵌合し、これが繰り返されることに
   より構造体が複数段積み重ねられていることを特徴とす
   る熱処理治具。
2. 【請求項２】前記構造体を構成する支柱の一端側には他
   の部分（大径部）より径の小さい小径部が形成されてい
   るとともに、他端側（大径部側）の端面には凹部が形成
   されており、かつ、 前記小径部の、前記プレートの孔を貫通して突出した部
   分が前記嵌合部となり、かつ、前記大径部側の端面に形
   成された凹部が被嵌合部となっていることを特徴とする
   請求項１記載の熱処理治具。
3. 【請求項３】前記支柱の小径部が前記プレートの孔を上
   面側から下面側に貫通するとともに、下面側に突出した
   部分が前記嵌合部となり、かつ、前記プレートの上面側
   に突出した大径部側の端面に形成された凹部が被嵌合部
   となっていることを特徴とする請求項２記載の熱処理治
   具。
4. 【請求項４】前記支柱の小径部が前記プレートの孔を下
   面側から上面側に貫通するとともに、上面側に突出した
   部分が前記嵌合部となり、かつ、前記支柱の大径部が前
   記プレートの下面側に突出して台座となっているととも
   に、大径部側の端面に形成された凹部が被嵌合部となっ
   ていることを特徴とする請求項２記載の熱処理治具。
5. 【請求項５】前記支柱の両端側に、中央部より径が小さ
   く、軸方向の長さが前記プレートの厚みより小さい小径
   部が形成されているとともに、前記小径部を前記プレー
   トの孔に嵌入させたときに前記孔と小径部端面とから形
   成される凹部が被嵌合部となり、かつ、支柱の他端側の
   小径部が嵌合部となっていることを特徴とする請求項１
   記載の熱処理治具。
6. 【請求項６】前記プレートと前記支柱との接合部に接着
   剤を介在させたことを特徴とする請求項１、２、３、４
   又は５記載の熱処理治具。
7. 【請求項７】前記プレート及び前記支柱が、互いに近似
   した熱膨張係数を有するセラミックから形成されたもの
   であることを特徴とする請求項６記載の熱処理治具。