JPH101371A - 焼結用セッター - Google Patents

焼結用セッター

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Publication number
JPH101371A
JPH101371A JP8175685A JP17568596A JPH101371A JP H101371 A JPH101371 A JP H101371A JP 8175685 A JP8175685 A JP 8175685A JP 17568596 A JP17568596 A JP 17568596A JP H101371 A JPH101371 A JP H101371A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
setter
sintering
moldings
lead titanate
titanate zirconate
Prior art date
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Pending
Application number
JP8175685A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshihiro Kawakami
祥広 川上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokin Corp
Original Assignee
Tokin Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 結晶粒の肥大が発生せず、粒径が均一でばら
つきの少ない焼結体が得られ、割れにくい焼結用セッタ
ーを提供すること。 【解決手段】 チタン酸ジルコン酸鉛系セラミクスの成
形体を積載する焼結用セッター4を、成形体よりPbが
0〜0.15の範囲で少なく、Zr/Tiの比が0〜0.
4の範囲で大きい組成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、焼結の際、チタン
酸ジルコン酸鉛系セラミクス(以下、PZT系セラミク
スと称す。)の成形体を積載する焼結用セッターに関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】従来、PZT系セラミクスの焼結は、図
1に示すように、焼結用セッター4上に成形体1を積載
し、Al23等からなる外枠及び蓋を用いて密閉して行
っていた。この焼結用セッター4には、焼結温度やコス
トを考慮して、Al23、ZrO2、MgO等の組成の
ものを使用していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、焼結用
セッターと接触している成形体3が焼結用セッターと反
応し、焼結体の結晶粒が肥大し、圧電特性が劣化する欠
点があった。また、熱的性質の違いから、セッターが割
れやすいという欠点があった。
【0004】本発明の目的は、上記の欠点を解決し、結
晶粒の肥大が発生せず、粒径が均一でばらつきの少ない
焼結体が得られ、割れにくい焼結用セッターを提供する
ことにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、PZT系セラ
ミクスの成形体を焼結する際、焼結用セッターの組成
を、成形体とほぼ同様なものにしたものである。
【0006】即ち、本発明は、チタン酸ジルコン酸鉛系
セラミクスの成形体を積載するチタン酸ジルコン酸鉛か
らなる焼結用セッターにおいて、前記成形体よりPbが
0〜0.15の範囲で少なく、Zr/Tiの比が0〜0.
4の範囲で大きい組成を有することを特徴とする焼結用
セッターである。
【0007】焼結用セッターの組成を、成形体とほぼ同
様なものにすることにより、焼結用セッターとの反応が
なくなり、均一でばらつきの少ないセラミクスの焼結体
を得ることができる。また、成形体と焼結用セッターと
の熱的性質の差が緩和され、焼結用セッターが割れにく
くなる。
【0008】
【実施例】以下に本発明の実施例を示す。
【0009】組成がPb[(Mn1/3Sb2/30.08Zr
0.41Ti0.51]O3になるように、高純度の原料を、秤
量し、その粉末をボールミルにて24時間湿式混合し、
ろ過、乾燥後、850℃で仮焼して粉砕し、得られた粉
末にバインダーを添加して造粒した。その顆粒を1.1
ton/cm2の圧力で乾式プレスし、50×15×2
mmの形状の成形体を得た。
【0010】焼成用セッターとして、表1の組成の8種
類を使用した。
【0011】
【表1】
【0012】また、比較例として、緻密質Al23、M
gO、多孔質ZrO2の3種類を使用した。
【0013】次に、図1に示すように、成形体1をジル
コニアを敷粉として、焼結用セッター4の上に10段重
ねて積載した。
【0014】上記方法にて焼結用セッター上に積載した
成形体を、緻密質Al23の外枠及び蓋を用いて密閉
し、焼結炉で1200℃で2時間保持し焼結した。その
焼結用セッターと接触している焼結体(接触品)と接触
していない焼結体(非接触品)をそれぞれ鏡面研磨し、
塩酸とフッ酸をエッチング液にして粒界をエッチング
し、光学顕微鏡にて1000倍の倍率で写真を撮り、結
晶粒の大きさを測定し評価した。これらの接触品及び非
接触品の結晶粒径を測定した結果を表1に示す。
【0015】表1に示したように、従来の焼結用セッタ
ーでは、接触品の結晶粒が他のものよりも肥大化してい
るのがわかる。
【0016】本発明により、接触品の結晶粒が非接触品
と同等な大きさになり、肥大による特性不良が解決され
る。
【0017】
【発明の効果】本発明によれば、結晶粒の肥大が発生せ
ず、粒径が均一でばらつきの少ない焼結体が得られ、割
れにくい焼結用セッターを提供することができた。
【図面の簡単な説明】
【図1】焼結用セッター上に成形体が積載されている状
態を示す斜視図。
【符号の説明】
1 (PZT系セラミクスの)成形体 2 焼結用セッターと接触していない成形体 3 焼結用セッターと接触している成形体 4 焼結用セッター

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 チタン酸ジルコン酸鉛系セラミクスの成
    形体を積載するチタン酸ジルコン酸鉛からなる焼結用セ
    ッターにおいて、前記成形体よりPbが0〜0.15の
    範囲で少なく、Zr/Tiの比が0〜0.4の範囲で大
    きい組成を有することを特徴とする焼結用セッター。
JP8175685A 1996-06-14 1996-06-14 焼結用セッター Pending JPH101371A (ja)

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JP8175685A JPH101371A (ja) 1996-06-14 1996-06-14 焼結用セッター

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JP8175685A JPH101371A (ja) 1996-06-14 1996-06-14 焼結用セッター

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