JPH10129698A - 容器用栓構造物 - Google Patents
容器用栓構造物Info
- Publication number
- JPH10129698A JPH10129698A JP8284348A JP28434896A JPH10129698A JP H10129698 A JPH10129698 A JP H10129698A JP 8284348 A JP8284348 A JP 8284348A JP 28434896 A JP28434896 A JP 28434896A JP H10129698 A JPH10129698 A JP H10129698A
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- Japan
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- plug
- filter
- container
- plug structure
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Abstract
(57)【要約】
【課題】半導体製造分野、医療分野等高純度な品質が要
求される薬液の容器用栓構造物を提供する。 【解決手段】内栓、フィルター、フィルター押さえ及び
外栓から構成される栓構造物であり、内栓と外栓が嵌合
されており、内栓にガス抜き孔があり、該孔を覆うフィ
ルター及び該フィルターを固定するためのフィルター押
さえが装着されており、且つ該栓構造物を容器本体に装
着した時、フィルター押さえの上側面と相向かう外栓の
内側面の距離が1mm以下で、且つ該上側面と該内側面
が接触しないことを特徴とする栓構造物。
求される薬液の容器用栓構造物を提供する。 【解決手段】内栓、フィルター、フィルター押さえ及び
外栓から構成される栓構造物であり、内栓と外栓が嵌合
されており、内栓にガス抜き孔があり、該孔を覆うフィ
ルター及び該フィルターを固定するためのフィルター押
さえが装着されており、且つ該栓構造物を容器本体に装
着した時、フィルター押さえの上側面と相向かう外栓の
内側面の距離が1mm以下で、且つ該上側面と該内側面
が接触しないことを特徴とする栓構造物。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造分野、医
療分野等高純度な品質が要求される薬液の容器用栓構造
物に関する。
療分野等高純度な品質が要求される薬液の容器用栓構造
物に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体製造分野では半導体を形成するシ
リコンウエハの処理を始め多くの工程で、過酸化水素
水、硫酸、ふっ酸、アンモニア水等、種々の高純度薬液
が使用されている。これらの薬液には半導体の歩留まり
低下を引き起こす不純物、微粒子が極めて少ない高純度
な品質が要求される。例えば要求される品質は各金属不
純物の含有量は1.0重量ppb未満、0.2μm以上
の微粒子が100個/ml以下と厳しい。さらには、各
金属不純物0.1重量ppb未満、0.1μm以上の微
粒子が100個/ml以下という極めて高い品質が近年
要求されつつある。したがって、これらの薬液の品質を
保持し輸送、保存するためには不純物、微粒子の発生が
ない容器が要求される。これらの問題を解決するために
本発明者らは高純度過酸化水素水用容器として特開平7
−62161号公報で高純度過酸化水素水の品質を保持
できる容器を開示した。一方、容器には薬液の充填、抜
き出しを行なうため栓を装着する。この場合、栓におけ
る薬液接液部分からの不純物、微粒子の発生がない材質
を用いるのはもちろん、栓の脱着における不純物溶出、
微粒子発生がないことが必要である。これらのために本
発明者らは特開平7−237650号公報で電子工業薬
品の容器用栓構造物を開示した。
リコンウエハの処理を始め多くの工程で、過酸化水素
水、硫酸、ふっ酸、アンモニア水等、種々の高純度薬液
が使用されている。これらの薬液には半導体の歩留まり
低下を引き起こす不純物、微粒子が極めて少ない高純度
な品質が要求される。例えば要求される品質は各金属不
純物の含有量は1.0重量ppb未満、0.2μm以上
の微粒子が100個/ml以下と厳しい。さらには、各
金属不純物0.1重量ppb未満、0.1μm以上の微
粒子が100個/ml以下という極めて高い品質が近年
要求されつつある。したがって、これらの薬液の品質を
保持し輸送、保存するためには不純物、微粒子の発生が
ない容器が要求される。これらの問題を解決するために
本発明者らは高純度過酸化水素水用容器として特開平7
−62161号公報で高純度過酸化水素水の品質を保持
できる容器を開示した。一方、容器には薬液の充填、抜
き出しを行なうため栓を装着する。この場合、栓におけ
る薬液接液部分からの不純物、微粒子の発生がない材質
を用いるのはもちろん、栓の脱着における不純物溶出、
微粒子発生がないことが必要である。これらのために本
発明者らは特開平7−237650号公報で電子工業薬
品の容器用栓構造物を開示した。
【0003】薬液として過酸化水素水を使用した場合に
は、自己分解しガスを発生する。このため、高純度薬液
としてこれを用い密閉系の容器に充填し放置した場合、
容器内が加圧状態になり、最悪の場合容器が破裂してし
まう恐れがある。このため、図1に示すように付属する
内栓1にガス抜き孔3を設けて容器内が加圧にならない
ようにしている。すなわち発生したガスはガス抜き孔
3、図5もしくは図6に示す内栓の外栓側の面に施され
ている溝10を通り、容器外部へ放出される。また、高
純度な品質を保つため、ガス抜き孔3全面にガスを通過
できるシート状のフィルター4を装着することでガス抜
き孔3を通して外部からの異物混入を防止する処置が施
されている。しかしながら、フィルターが内栓から外れ
ないようにフィルター押さえ5が付いているものの、振
動、過酸化水素水の分解による容器内での急激な圧力上
昇等が生じた場合、これと共にフィルターまでもが外れ
てしまい、その結果、ガス抜き孔3を通して外部からの
異物混入が生じ、高純度な品質を保てないことが多かっ
た。
は、自己分解しガスを発生する。このため、高純度薬液
としてこれを用い密閉系の容器に充填し放置した場合、
容器内が加圧状態になり、最悪の場合容器が破裂してし
まう恐れがある。このため、図1に示すように付属する
内栓1にガス抜き孔3を設けて容器内が加圧にならない
ようにしている。すなわち発生したガスはガス抜き孔
3、図5もしくは図6に示す内栓の外栓側の面に施され
ている溝10を通り、容器外部へ放出される。また、高
純度な品質を保つため、ガス抜き孔3全面にガスを通過
できるシート状のフィルター4を装着することでガス抜
き孔3を通して外部からの異物混入を防止する処置が施
されている。しかしながら、フィルターが内栓から外れ
ないようにフィルター押さえ5が付いているものの、振
動、過酸化水素水の分解による容器内での急激な圧力上
昇等が生じた場合、これと共にフィルターまでもが外れ
てしまい、その結果、ガス抜き孔3を通して外部からの
異物混入が生じ、高純度な品質を保てないことが多かっ
た。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は半導体製造用
等極めて高純度な品質を要求される薬液の容器用栓構造
物を提供することにある。
等極めて高純度な品質を要求される薬液の容器用栓構造
物を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明者らは鋭意努力の
結果、ガス抜き孔を持ち、かつ外部からの異物混入が一
切ない栓構造物を見いだした。すなわち、本発明は、内
栓、フィルター、フィルター押さえ及び外栓から構成さ
れる栓構造物であり、内栓と外栓が嵌合されており、内
栓にガス抜き孔があり、該孔を覆うフィルター及び該フ
ィルターを固定するためのフィルター押さえが装着され
ており、且つ該栓構造物を容器本体に装着した時、フィ
ルター押さえの上側面と相向かう外栓の内側面の距離が
1mm以下で、且つ該上側面と該内側面が接触しないこ
とを特徴とする栓構造物である。
結果、ガス抜き孔を持ち、かつ外部からの異物混入が一
切ない栓構造物を見いだした。すなわち、本発明は、内
栓、フィルター、フィルター押さえ及び外栓から構成さ
れる栓構造物であり、内栓と外栓が嵌合されており、内
栓にガス抜き孔があり、該孔を覆うフィルター及び該フ
ィルターを固定するためのフィルター押さえが装着され
ており、且つ該栓構造物を容器本体に装着した時、フィ
ルター押さえの上側面と相向かう外栓の内側面の距離が
1mm以下で、且つ該上側面と該内側面が接触しないこ
とを特徴とする栓構造物である。
【0006】
【発明の実施の形態】これは、図2に示すような構造を
持ち、フィルターがいかなる時も外れない栓構造物であ
る。すなわち、内栓1、外栓2、フィルター4及びフィ
ルター押さえ5からなる。内栓1にはガス抜き孔3が設
けられている。また、ガス抜き孔3を通して外部からの
異物の混入を防止するためガス抜き孔3全面を覆うよう
にシート状のフィルター4が設けられている。容器内部
と外部とはフィルター4を介してのみ、ガスの流通があ
るようになっている。さらにはフィルター4の内栓1か
らの脱落を防止するためにフィルター押さえ5が装着さ
れている。また、フィルター4、フィルター押さえ5は
内栓1の薬液に対し非接液面側、すなわち外栓側に装着
される。
持ち、フィルターがいかなる時も外れない栓構造物であ
る。すなわち、内栓1、外栓2、フィルター4及びフィ
ルター押さえ5からなる。内栓1にはガス抜き孔3が設
けられている。また、ガス抜き孔3を通して外部からの
異物の混入を防止するためガス抜き孔3全面を覆うよう
にシート状のフィルター4が設けられている。容器内部
と外部とはフィルター4を介してのみ、ガスの流通があ
るようになっている。さらにはフィルター4の内栓1か
らの脱落を防止するためにフィルター押さえ5が装着さ
れている。また、フィルター4、フィルター押さえ5は
内栓1の薬液に対し非接液面側、すなわち外栓側に装着
される。
【0007】フィルター押さえ5は栓構造物を容器本体
2に装着した時点で1mm以下の距離aで外栓内側面6
と相向かい合っている。このため、輸送等による振動や
容器内部で急激な圧力上昇が生じてもフィルター押さえ
5の外栓側の面7は外栓内側に接触し外れない。よっ
て、フィルター4は内栓1に常に保持され、ガス抜き孔
3を通しての外部からの異物混入は一切なく、その結
果、高純度な品質を常に保つことができる。フィルター
押さえ5の形状に制限はない。しかしながら、図2に示
すような内栓1の一部を覆うようなキャップ型のフィル
ター押さえ5が内栓1へのフィルター4、フィルター押
さえ5の組み込み時の容易さで好ましい。さらには図3
に示すような内栓1に挿入しはめ込む円筒型がより好ま
しい。円筒型の場合、キャップ型に比べ、その構造上、
より大きな振動や急激な圧力上昇に耐えられる。
2に装着した時点で1mm以下の距離aで外栓内側面6
と相向かい合っている。このため、輸送等による振動や
容器内部で急激な圧力上昇が生じてもフィルター押さえ
5の外栓側の面7は外栓内側に接触し外れない。よっ
て、フィルター4は内栓1に常に保持され、ガス抜き孔
3を通しての外部からの異物混入は一切なく、その結
果、高純度な品質を常に保つことができる。フィルター
押さえ5の形状に制限はない。しかしながら、図2に示
すような内栓1の一部を覆うようなキャップ型のフィル
ター押さえ5が内栓1へのフィルター4、フィルター押
さえ5の組み込み時の容易さで好ましい。さらには図3
に示すような内栓1に挿入しはめ込む円筒型がより好ま
しい。円筒型の場合、キャップ型に比べ、その構造上、
より大きな振動や急激な圧力上昇に耐えられる。
【0008】距離aを1mm以下に保つために外栓内側
面6の形状、フィルター押さえ5の外栓側の面7の形状
に制限はない。すなわち、一例を挙げると、図4のよう
に示す外栓内側面6に凸部を設け、距離aを1mm以下
に保っても良い。距離aは1mm以下ならば本発明の目
的は達成できる。しかしながら、次に示す理由で距離a
は0mmより大きいこと、すなわち、フィルター押さえ
の外栓側の面とそれに相向かい合う外栓内側が接触して
いないことがより好ましい。使用する栓構造物として、
容器本体に装着されない状態では、内栓は外栓に固着さ
れず自由に回る構造となっているものがより好ましい。
このとき、容器本体に当該栓構造物を装着するために外
栓をねじ込む場合、内栓は外栓に固定されていないため
内栓は外栓とともには回転せず、容器本体に押し込まれ
る形で装着される。このため、内栓を容器本体との接触
による異物発生は最小限に抑えられる。この場合、距離
aが0mm、すなわちフィルター押さえの外栓側の面と
外栓の内側が接触していると、フィルター押さえ5が外
栓2と共に回転してしまい、フィルタ押さえ5とフィル
ター4の接触面8もしくはフィルター4と内栓1の図3
に示す接触面9が擦れ、微粒子が発生する可能性があ
る。その結果、この微粒子が容器本体中の薬液に混入し
てしまい高度に品質を保持できなくなる。しかしなが
ら、非接触ならばそのようなことはない。
面6の形状、フィルター押さえ5の外栓側の面7の形状
に制限はない。すなわち、一例を挙げると、図4のよう
に示す外栓内側面6に凸部を設け、距離aを1mm以下
に保っても良い。距離aは1mm以下ならば本発明の目
的は達成できる。しかしながら、次に示す理由で距離a
は0mmより大きいこと、すなわち、フィルター押さえ
の外栓側の面とそれに相向かい合う外栓内側が接触して
いないことがより好ましい。使用する栓構造物として、
容器本体に装着されない状態では、内栓は外栓に固着さ
れず自由に回る構造となっているものがより好ましい。
このとき、容器本体に当該栓構造物を装着するために外
栓をねじ込む場合、内栓は外栓に固定されていないため
内栓は外栓とともには回転せず、容器本体に押し込まれ
る形で装着される。このため、内栓を容器本体との接触
による異物発生は最小限に抑えられる。この場合、距離
aが0mm、すなわちフィルター押さえの外栓側の面と
外栓の内側が接触していると、フィルター押さえ5が外
栓2と共に回転してしまい、フィルタ押さえ5とフィル
ター4の接触面8もしくはフィルター4と内栓1の図3
に示す接触面9が擦れ、微粒子が発生する可能性があ
る。その結果、この微粒子が容器本体中の薬液に混入し
てしまい高度に品質を保持できなくなる。しかしなが
ら、非接触ならばそのようなことはない。
【0009】なお、本発明における栓構造物を使用する
容器に充填される薬液において、例えば過酸化水素水に
ついて、濃度に制限はないが通常5〜60重量%のもの
が用いられる。以上のことから本発明による栓構造物を
用いることにより薬液の高度な品質を保持できる。本発
明による構造以外の部分の栓構造物の形状に関しては図
2〜6に示す形には限定されない。
容器に充填される薬液において、例えば過酸化水素水に
ついて、濃度に制限はないが通常5〜60重量%のもの
が用いられる。以上のことから本発明による栓構造物を
用いることにより薬液の高度な品質を保持できる。本発
明による構造以外の部分の栓構造物の形状に関しては図
2〜6に示す形には限定されない。
【0010】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を詳細に説明す
るが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるも
のでない。なお、不純物の指標としてのNa分析はIC
PーMS(Incductive Coupling-Mass spectrometor
y)、微粒子量はレーザー光散乱を利用する方式によっ
た。 実施例1 容量が1Lである容器内を窒素により加圧できるように
容器を細工した。その容器に図2に示す栓構造物を装着
した。なお、図2における距離aは表1に示す距離であ
った。続いて、瞬間的に容器内をゲージ圧0.2kg/
cm2 にし、続いて常圧に戻す行為を10回繰り返し
た。その後栓構造物を容器からはずし、目視で観察し
て、フィルターのずれ、ゆがみの有無を確認した。得ら
れた結果を表1に示す。すべての栓構造物においてフィ
ルターのずれ、ゆがみはなかった。 比較例1 距離aが表1に示す距離である栓構造物を用いた以外は
実施例1と同様に行なった。得られた結果を表1に示
す。すべての栓構造物においてフィルターのずれ、ゆが
みが認められた。
るが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるも
のでない。なお、不純物の指標としてのNa分析はIC
PーMS(Incductive Coupling-Mass spectrometor
y)、微粒子量はレーザー光散乱を利用する方式によっ
た。 実施例1 容量が1Lである容器内を窒素により加圧できるように
容器を細工した。その容器に図2に示す栓構造物を装着
した。なお、図2における距離aは表1に示す距離であ
った。続いて、瞬間的に容器内をゲージ圧0.2kg/
cm2 にし、続いて常圧に戻す行為を10回繰り返し
た。その後栓構造物を容器からはずし、目視で観察し
て、フィルターのずれ、ゆがみの有無を確認した。得ら
れた結果を表1に示す。すべての栓構造物においてフィ
ルターのずれ、ゆがみはなかった。 比較例1 距離aが表1に示す距離である栓構造物を用いた以外は
実施例1と同様に行なった。得られた結果を表1に示
す。すべての栓構造物においてフィルターのずれ、ゆが
みが認められた。
【0011】 表1 距離a(mm) フィルターのずれ、ゆがみの有無 ──────────────────────────── 実施例1 0.1 なし 0.5 なし 1 なし 比較例1 2 あり 5 あり ────────────────────────────
【0012】実施例2 容量が20Lである容器に高純度過酸化水素水を充填し
図2に示す栓構造物の着脱を20回繰り返した。このと
きの図2における距離aは表2に示す距離であった。そ
の後、高純度過酸化水素水中の微粒子増加量を測定し
た。得られた結果を表2に示す。微粒子増加量はすべて
の栓構造物使用時において多くなかった。 比較例2 距離aが表2に示す距離である栓構造物を用いた以外は
実施例2と同様に行なった。得られた結果を表2に示
す。微粒子増加量は実施例2の栓構造物使用時と比較し
て多かった。
図2に示す栓構造物の着脱を20回繰り返した。このと
きの図2における距離aは表2に示す距離であった。そ
の後、高純度過酸化水素水中の微粒子増加量を測定し
た。得られた結果を表2に示す。微粒子増加量はすべて
の栓構造物使用時において多くなかった。 比較例2 距離aが表2に示す距離である栓構造物を用いた以外は
実施例2と同様に行なった。得られた結果を表2に示
す。微粒子増加量は実施例2の栓構造物使用時と比較し
て多かった。
【0013】 表2 距離a (mm) 微粒子増加量(0.2μm以上)個/ml ──────────────────────────────────── 実施例2 0.1 10 0.5 10 比較例2 外栓内側とフィルタ 80 押さえが接触 ────────────────────────────────────
【0014】実施例3 容量が20Lである容器に高純度過酸化水素水を充填し
図2に示す栓構造物を装着した。このときの図2におけ
る距離aは表3に示す距離であった。続いて室温で室内
にこれらを1年間放置した。その後、放置による過酸化
水素水中のNa増加量、微粒子増加量を測定した。得ら
れた結果を表3に示す。Na増加量、微粒子増加量共に
少なかった。 比較例3 図2における距離aが表3に示す距離である栓構造物を
用いた以外は実施例3と同様に行なった。得られた結果
を表3に示す。Na増加量、微粒子増加量共に多かっ
た。
図2に示す栓構造物を装着した。このときの図2におけ
る距離aは表3に示す距離であった。続いて室温で室内
にこれらを1年間放置した。その後、放置による過酸化
水素水中のNa増加量、微粒子増加量を測定した。得ら
れた結果を表3に示す。Na増加量、微粒子増加量共に
少なかった。 比較例3 図2における距離aが表3に示す距離である栓構造物を
用いた以外は実施例3と同様に行なった。得られた結果
を表3に示す。Na増加量、微粒子増加量共に多かっ
た。
【0015】 表3 距離a(mm) Na増加量ppb 微粒子増加量(0.2 μm以上)個/ml ──────────────────────────────────── 実施例3 1 0.05> 30 0.5 0.05> 30 比較例3 2 0.6 400 5 0.6 400 ────────────────────────────────────
【0016】実施例4 図2および図3の栓構造物を用い、圧力をゲージ圧0.
4kg/cm2 にした以外は実施例1と同様に行なっ
た。なお、各10本づつ行なった。得られた結果を表4
に示す。なお、距離aは0.5mmであった。図3に示
す栓構造物の方が図2に示す栓構造物よりもフィルター
のずれは少なかった。
4kg/cm2 にした以外は実施例1と同様に行なっ
た。なお、各10本づつ行なった。得られた結果を表4
に示す。なお、距離aは0.5mmであった。図3に示
す栓構造物の方が図2に示す栓構造物よりもフィルター
のずれは少なかった。
【0017】表4 栓構造物 フィルターのずれ(10本中) ──────────────────────── 図2 2本 図3 なし ────────────────────────
【0018】
【発明の効果】本発明によれば高純度な薬液の品質を保
持できる容器用栓構造物を提供することができる。
持できる容器用栓構造物を提供することができる。
【図1】従来の栓構造物
【図2】本発明の栓構造物
【図3】本発明の栓構造物
【図4】本発明の栓構造物
【図5】本発明の内栓構造物
【図6】本発明の内栓構造物
各図に共通して、 1:内栓 2:外栓 3:ガス抜き孔 4:フィルター 5:フィルター押さえ 6:外栓内側面 7:フィルター押さえの外栓側の面 8:フィルター押さえとフィルターの接触面 9:フィルターと内栓の接触面 10:内栓の外栓側の面に施されている溝
Claims (3)
- 【請求項1】 内栓、フィルター、フィルター押さえ及
び外栓から構成される栓構造物であり、内栓と外栓が嵌
合されており、内栓にガス抜き孔があり、該孔を覆うフ
ィルター及び該フィルターを固定するためのフィルター
押さえが装着されており、且つ該栓構造物を容器本体に
装着した時、フィルター押さえの上側面と相向かう外栓
の内側面の距離が1mm以下で、且つ該上側面と該内側
面が接触しないことを特徴とする栓構造物。 - 【請求項2】 請求項1記載の栓構造物と容器本体から
なる薬液用容器。 - 【請求項3】 外栓と内栓が固着されていないことを特
徴とする請求項1記載の栓構造物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8284348A JPH10129698A (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | 容器用栓構造物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8284348A JPH10129698A (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | 容器用栓構造物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10129698A true JPH10129698A (ja) | 1998-05-19 |
Family
ID=17677425
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8284348A Pending JPH10129698A (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | 容器用栓構造物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10129698A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4598932B2 (ja) * | 2000-08-28 | 2010-12-15 | 日本ビニロン株式会社 | キャップ |
WO2017095073A1 (ko) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | 성보연 | 용기마개 조립체 |
US10604306B2 (en) | 2015-11-30 | 2020-03-31 | Dae Suck KANG | Assembled container cap |
JP2023102970A (ja) * | 2022-01-13 | 2023-07-26 | 荒木工業株式会社 | 容器用キャップ構造体およびこれを用いた容器 |
-
1996
- 1996-10-25 JP JP8284348A patent/JPH10129698A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4598932B2 (ja) * | 2000-08-28 | 2010-12-15 | 日本ビニロン株式会社 | キャップ |
WO2017095073A1 (ko) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | 성보연 | 용기마개 조립체 |
US10604306B2 (en) | 2015-11-30 | 2020-03-31 | Dae Suck KANG | Assembled container cap |
JP2023102970A (ja) * | 2022-01-13 | 2023-07-26 | 荒木工業株式会社 | 容器用キャップ構造体およびこれを用いた容器 |
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Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060407 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060517 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061011 |