JPH10122422A - 流体制御弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 流体制御弁において、弁の開閉状態を適切に
表示することで誤操作を防止する。 【解決手段】 流体通路１２，１３を有する弁本体１１
に流体通路１２を囲繞する弁座１５及びダイヤフラム１
８を設ける一方、弁本体１１内に弁棒１９を軸方向移動
自在に支持して先端部にダイヤフラム１８を変形させて
弁座１５に密着することで流体通路１２，１３を閉止可
能なスラストパッド２３を装着し、弁棒１９の基端部に
ハンドル２４を連結してこのハンドル２４の回転により
ねじ係合１６ａ，１９ａによって弁棒１９を移動可能と
し、弁本体１１に第１表示部２７ｆを有する第１インジ
ケータ２７と第２表示部２９ｆを有する第２インジケー
タ２９とを互いに相対回転自在に装着する一方、ハンド
ル２４にその回動位置に応じて第１表示部２７ｅあるい
は第２表示部２９ｅのいずれか一方が表示される表示窓
３１を設けると共にハンドル２４に第２インジケータ２
９を回動させる係合突起２４ａを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体の流れを開閉
制御するための流体制御弁に関し、特に、半導体製造装
置などの工業用ガス供給ラインに用いられてその開閉状
態を表示する表示機構に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体の製造装置にあっては、シリコン
ウェーハの表面に形成されているフォトレジスタパター
ンをマスクとしてその下の薄膜を所望の形状となるよう
に除去するエッチング処理が行われる。そして、このエ
ッチング処理が行うためには複数種類の工業用ガスが必
要であり、この半導体製造装置には工業用ガス供給ライ
ンが設けられている。

【０００３】図８に半導体製造装置などの工業用ガス供
給ラインに用いられる従来の流体制御弁の断面を示す。

【０００４】図８に示すように、弁本体001にはガス流
体が流通する前後一対のガス流路002，003が形成される
と共に、このガス流路002，003と直交するように弁棒支
持孔004が形成されており、ガス流路002，003の各端部
がこの弁棒支持孔004に連通している。そして、ガス流
路002と弁棒支持孔004との連通部にはこのガス流路002
を囲繞するようにリング状の弁座シート005が固定され
ている。また、弁本体001の弁棒支持孔004には筒状のボ
ンネット006が嵌合され、このボンネット006はボンネッ
トナット007によって弁本体001に固定されている。そし
て、弁本体001の弁棒支持孔004の奥部にはダイヤフラム
008が装着され、このボンネット006の先端部によって外
周部が保持されている。

【０００５】ボンネット006内にはスリーブ009を介して
弁棒010が挿入され、上端部がＥリング011が係止されて
いる。そして、弁棒010の先端部には上下一対の嵌合部0
12，013が形成されると共にその間にＯリング014が装着
され、ボンネット006の内周面に軸方向移動自在に嵌合
している。また、スリーブ009の下端と嵌合部012との間
にはスプリング015が介装されている。そして、この弁
棒010の先端部とダイヤフラム008との間のボンネット00
6内にはスラストパッド016が嵌入されている。一方、ス
リーブ009は外周面がボンネット006の内周面とねじ部01
7によって螺合しており、且つ、上端部はボンネット006
の外部に突出しており、ここにハンドル017が固定ピン0
18によって取付けられている。

【０００６】また、ボンネット006の外周部にはインジ
ケータ019が固定されており、このインジケータ019のフ
ランジ部019aには「OPEN」と「SHUT」と記載された表示
部020a，020bが設けられている。一方、ハンドル017の
上面部にはネームプレート021が固定され、このネーム
プレート021には表示窓021aが形成されている。

【０００７】従って、図８に示すように、弁棒010が上
方位置にあって、ダイヤフラム008が弁座シート005から
離間した位置では、ガス流路002と003は開放（流通）状
態にあって、ネームプレート021の表示窓021aには「OPE
N」の表示部020aが表示され、ガス流体はガス流路002か
ら003に流れることができる。この状態から、ハンドル0
17を回動してスリーブ009とボンネット006とのねじ部に
より、スリーブ009と共に弁棒010を下方に移動させる。
すると、弁棒010の先端部のスラストパッド014がダイヤ
フラム008を押し下げ変形させることで、このダイヤフ
ラム008が弁座シート005に密着し、ガス流路002を閉じ
る。このとき、ハンドル017と共にネームプレート021が
回動し、表示窓021aと「SHUT」の表示部020bが位置適合
して表示され、ガス流体はガス流路002から003に流れる
ことができなくなる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】このような従来の流体
制御弁にあっては、ハンドル017を回動して弁棒010を軸
方向に移動することで、スラストパッド014を介してダ
イヤフラム008と弁座シート005とを密着、あるいは、離
間してガス流路002，003の開閉操作を行っている。そし
て、この弁の開放位置と閉止位置とで、ハンドル017は
所定角度位置で停止し、このとき、表示窓021aと表示部
020a「OPEN」、あるいは、表示窓021aと表示部020b「SH
UT」とが位置適合して表示されるようになっている。

【０００９】ところで、前述したように、ガス流路00
2，003の閉止時には、図９に示すように、弁棒010は下
端位置に移動し、この弁棒010は嵌合部012を介してスプ
リング015の付勢力によって下方に押され、スラストパ
ッド014を介してダイヤフラム008が弁座シート005に常
時押しつけられて密着している。このように弁閉止時に
は弁座シート005に常時所定の圧力が作用していること
から、弁座シート005はプラスチック材であり、図９に
二点鎖線で示すように、長期の使用によって変形してし
まう。そのため、ダイヤフラム008と弁座シート005との
密着位置が変形量Ｓだけ下方にずれることとなる。する
と、ハンドル017における弁閉止の角度位置が回動方向
にずれ、このハンドル017における弁閉止の角度位置で
は、表示窓021aと「SHUT」の表示部020bとが位置が適合
せず、弁閉止位置を適切に表示することができないとい
う問題がある。

【００１０】また、高圧ガスを流動する管にこの流体制
御弁を設けた場合、ガス圧によって弁の開閉動作力、即
ち、ハンドルの回動操作力が大きなものとなり、作業者
は表示窓021aの表示を頼りにハンドル操作を終了し、弁
開閉操作を行っている。そのため、前述したように、弁
座シート005が長期の使用によって変形し、ダイヤフラ
ム008と弁座シート005とが密着して閉止状態となるハン
ドル017の角度位置がずれると、このハンドル017の表示
窓021aと「SHUT」の表示部020bとが適合した位置では、
完全な弁閉止位置ではないため、ハンドル操作をここで
終了すると弁は閉止されず、作業者による誤操作を発生
する虞がある。

【００１１】本発明はこのような問題を解決するもので
あって、弁の開閉状態を適切に表示することで誤操作を
防止した流体制御弁を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めの本発明の流体制御弁は、流体が流通する流体通路及
び該流体通路に連通する弁棒支持孔を有する弁本体と、
前記流体通路を囲繞するように設けられた弁座と、前記
弁棒支持孔内に軸方向移動自在に支持されると共に基端
部が前記弁本体外部に位置して先端部が前記流体通路に
臨む弁棒と、該弁棒の先端部に装着されて前記弁座に密
着することで前記流体通路を閉止可能な弁体と、前記弁
本体外部に位置した前記弁棒の基端部に連結されたハン
ドルと、該ハンドルの回転によって前記弁棒を前記弁棒
支持孔内にて軸方向移動される移動機構とを具えた流体
制御弁において、前記弁本体に第１表示部を有する第１
インジケータと第２表示部を有する第２インジケータと
を互いに相対回転自在に装着する一方、前記ハンドルに
その回動位置に応じて前記第１表示部あるいは前記第２
表示部のいずれか一方が表示される表示窓を設けると共
に、前記ハンドルあるいは前記弁棒に前記第２インジケ
ータを一方方向に回動させる回動部を設けたことを特徴
とするものである。

【００１３】従って、作業者がハンドルを回動すると、
移動機構によってこのハンドルと共に弁棒が弁棒支持孔
内で軸方向一方に移動し、弁棒の先端部に装着された弁
体が弁座に密着することで、流体通路を閉止することと
なり、このとき、ハンドルの表示窓と第２インジケータ
の第２表示部との位置が適合して表示され、流体通路の
閉止状態が確認される。一方、この流体通路の閉止状態
から作業者がハンドルを前述とは逆方向に回動すると、
移動機構によってこのハンドルと共に弁棒が弁棒支持孔
内で軸方向他方に移動し、弁棒の先端部に装着された弁
体が弁座から離間することで、流体通路を開放すること
となり、このとき、ハンドルの表示窓と第１インジケー
タの第１表示部との位置が適合して表示され、流体通路
の開放状態が確認される。そして、弁座が長期の使用に
よって変形し、弁体による流体通路の閉止位置がずれ、
ハンドルにおける閉止角度位置がずれると、このハンド
ルの閉止方向の回動に伴って回動部が第２インジケータ
を一方方向に回動させることとなり、この第２インジケ
ータはハンドルに追従して位置が変更され、弁体による
流体通路の閉止位置では、ハンドルの表示窓と第２イン
ジケータの第２表示部との位置は確実に適合して表示さ
れ、作業者による誤操作の発生は抑制される。

【００１４】また、本発明の流体制御弁は、前記第１イ
ンジケータと前記第２インジケータは互いに相対回転自
在で且つ前記弁本体に対して回動自在であり、前記ハン
ドルあるいは前記弁棒に前記第１インジケータを一方方
向に回動させる第１回動部を設けると共に、前記第２イ
ンジケータを他方方向に回動させる第２回動部を設けた
ことを特徴とするものである。

【００１５】従って、弁体の開放位置に弁座が設けられ
ている場合であっても、この弁座が長期の使用によって
変形し、弁体による流体通路の開放位置がずれ、ハンド
ルにおける開放角度位置がずれても、このハンドルの開
放方向の回動に伴って第１回動部が第１インジケータを
他方方向に回動させることとなり、この第１インジケー
タはハンドルに追従して位置が変更され、弁体による流
体通路の開放位置では、ハンドルの表示窓と第１インジ
ケータの第１表示部との位置は確実に適合して表示され
る。

【００１６】

【本発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の
実施形態を詳細に説明する。

【００１７】図１に本発明の第１実施形態に係る流体制
御弁を表す断面、図２に流体制御弁の表示部分を表すハ
ンドルの平面視、図３に第１インジケータの概略、図４
に第２インジケータの概略を示す。

【００１８】本実施形態の流体制御弁において、図１及
び図２に示すように、弁本体１１にはガス流体が流通す
る前後一対のガス流路１２，１３が形成されると共に、
このガス流路１２，１３と直交するように弁棒支持孔１
４が形成されており、ガス流路１２，１３は連通路１２
ａ，１３ａを介してこの弁棒支持孔１４に連通してい
る。そして、ガス流路１２と弁棒支持孔１４との連通部
にはこのガス流路１２を囲繞するようにリング状の弁座
シート１５が固定されている。また、弁本体１１の弁棒
支持孔１４には筒状のボンネット１６が嵌合され、この
ボンネット１６はボンネットナット１７によって弁本体
１１に固定されている。そして、弁本体１１の弁棒支持
孔１４の奥部にはダイヤフラム１８が装着され、このダ
イヤフラム１８はボンネット１６の先端部によって外周
部が保持されている。

【００１９】また、ボンネット１６内には弁棒１９が挿
入され、基端部がボンネット１６から外方に突出してい
る。そして、弁棒１９の先端部には上下一対の嵌合部２
０，２１が形成されると共にその間にＯリング２２が装
着され、ボンネット１６の内周面に軸方向移動自在に嵌
合している。そして、この弁棒１９の先端部の嵌合部２
１とダイヤフラム１８との間のボンネット１６内にはス
ラストパッド２３が嵌入されており、弁棒１９の下降に
よってこのスラストパッド２３を押し下げることで、ス
ラストパッド２３の前面部がダイヤフラム１８を押圧変
形して弁座シート１５に密着することができる。

【００２０】更に、弁棒１９は外周面に雄ねじ部１９ａ
が形成される一方、ボンネット１６の内周面には雌ねじ
部１６ａが形成され、この雄ねじ部１９ａと雌ねじ部１
６ａが螺合している。そして、この弁棒１９の基端部に
はハンドル２４が嵌合してナット２５によって一体回転
可能に固結され、キャップ２６によって隠蔽されてい
る。また、ハンドル２４の下面には係合突起２４ａが一
体に形成されている。更に、ボンネット１６の上端外周
部には第１インジケータ２７が固定ピン２８によって固
定されると共に、この第１インジケータ２７の内周部に
は第２インジケータ２９が回転自在に嵌合している。一
方、ハンドル２４の上面部にはネームプレート３０が固
定され、このネームプレート３０には透明の表示窓３１
が形成されている。

【００２１】この第１インジケータ２７は、図３に詳細
に示すように、円筒部２７ａの上部にフランジ部２７ｂ
が一体に形成されて構成されている。この円筒部２７ａ
の内周面は軸方向に沿って傾斜面２７ｃが形成されると
共に、その下部に周方向に沿って嵌合溝２７ｄが形成さ
れ、また、取付孔２７ｅが穿設されている。そして、フ
ランジ部２７ｂの上面には「OPEN」と記載された表示部
２７ｆが設けられている。一方、第２インジケータ２９
は、図４に詳細に示すように、円筒部２９ａの上部に扇
形状の鍔部２９ｂが一体に形成されて構成されている。
この円筒部２９ａには軸方向に沿った切欠２９ｃが４ヵ
所にわたって形成されると共に、その下部外周面に周方
向に沿って嵌合突起２９ｄが形成され、また、円筒部２
９ａの下部には内方に突出する係止突起２９ｅが形成さ
れている。そして、鍔部２９ｂの上面には「SHUT」と記
載された表示部２９ｆが設けられている。

【００２２】従って、第１インジケータ２７はボンネッ
ト１６の上端外周部に嵌合して固定ピン２８によって固
定されている。そして、第２インジケータ２９はこの第
１インジケータ２７の内周部に上方から挿入され、嵌合
突起２９ｄが嵌合溝２７ｄに嵌合することで取付けら
れ、周方向回転自在となっている。そして、ハンドル２
４、第１インジケータ２７、第２インジケータ２９を組
み付け後、このハンドル２４を弁閉止方向に回動して弁
棒１９を弁閉止位置に移動することで、ハンドル２４の
係合突起２４ａが第２インジケータ２９の係止突起２９
ｅに当接してこの第２インジケータ２９を弁閉止方向に
回動し、この第２インジケータ２９の表示部２９ｆは弁
閉止位置に位置決めされることとなる。なお、第１イン
ジケータ２７の表示部２７ｆはボンネット１６への固定
時に弁開放位置に位置決めされる。そのため、ハンドル
２４の開放位置ではネームプレート３０の表示窓３１と
第１インジケータ２７の表示部２７ｆ「OPEN」とが一致
し、ハンドル２４の閉止位置ではネームプレート３０の
表示窓３１と第２インジケータ２９の表示部２９ｆ「SH
UT」とが一致する。

【００２３】このように構成された本実施形態の流体制
御弁にあって、弁開放状態では、弁棒１９が上方位置に
あってダイヤフラム１８が弁座シート１５から離間した
位置にあるので、ガス流路１２と１３は流通しており、
ネームプレート３０の表示窓３１には第１インジケータ
２７の表示部２７ｆ「OPEN」が表示されており、ガス流
体はガス流路１２から１３に流れることができる。

【００２４】そして、この弁開放状態から、図１に示す
ように、ハンドル２４と共に弁棒１９を回動し、雄ねじ
部１９ａ及び雌ねじ部１６ａの螺合関係によって弁棒１
９をボンネット１６に対して下方に移動させる。する
と、弁棒１９は先端側のスラストパッド２３を押し下
げ、このスラストパッド２３がダイヤフラム１８を押し
下げ変形させることで、このダイヤフラム１８が弁座シ
ート１５に密着し、ガス流路１２を閉じることができ
る。このとき、ハンドル２４と共にネームプレート３０
が同方向に回動することで、ネームプレート３０の表示
窓３１には第２インジケータ２９の表示部２９ｆ「SHU
T」が表示されることとなり、ガス流体がガス流路１２
から１３に流れることができなくなる。

【００２５】そして、長期の使用によって弁座シート１
５が変形し、スラストパッド２３によってダイヤフラム
１８を弁座シート１５に密着させる位置がずれ、ハンド
ル２４における閉止角度位置がずれることがある。本実
施形態の場合、ハンドル２４を弁閉止方向に回転して締
め込んでいくと、このハンドル２４の係合突起２４ａが
第２インジケータ２９の係止突起２９ｅを介してこの第
２インジケータ２９を同方向に回動し、追従して位置が
変更されることとなる。従って、ハンドル２４を回動し
てスラストパッド２３（ダイヤフラム１８）を弁座シー
ト１５が変形した位置まで移動させることで、第２イン
ジケータ２９の表示部２９ｆはその位置が弁閉止位置に
変更されることとなる。そのため、ハンドル２４の表示
窓３１と第２インジケータ２９の表示部２９ｆとは、常
にスラストパッド２３（ダイヤフラム１８）が弁座シー
ト１５に密着したガス流路１２，１３の閉止位置で適合
して表示されることとなり、作業者による誤操作の発生
は防止される。

【００２６】図５に本発明の第２実施形態に係る流体制
御弁を表す断面を示す。

【００２７】本実施形態の流体制御弁において、図５に
示すように、弁本体４１にはガス流体が流通する前後一
対のガス流路４２，４３が形成されると共に、このガス
流路４２，４３と直交するように弁棒支持孔４４が形成
されており、ガス流路４２，４３は連通路４２ａ，４３
ａを介してこの弁棒支持孔４４に連通している。そし
て、弁棒支持孔４４にはこのガス流路４２を囲繞するよ
うにリング状の弁座４５が形成されている。また、弁本
体４１には弁棒支持孔４４に連通するようにフランジ部
材４６を介して筒状のボンネット４７が嵌合され、この
ボンネット４７はボンネットナット４８によって弁本体
４１に固定されている。

【００２８】また、ボンネット４７内には弁棒４９が挿
入され、基端部がボンネット４７から外方に突出してい
る。そして、弁棒４９の中間部には嵌合部５０が形成さ
れると共にＯリング５１が装着され、ボンネット４７の
内周面に軸方向移動自在に嵌合している。そして、この
弁棒４９の先端部にはフランジ部材４６に軸移動自在に
嵌合するディスクホルダ５２が固結され、このディスク
ホルダ５２の先端部にディスク５３が固定されており、
弁棒４９の下降によってこのディスクホルダ５２と共に
ディスク５３を押し下げることで、このディスク５３の
前面部が弁座４５に密着することができる。なお、フラ
ンジ部材４６とディスクホルダ５２との間にはベローズ
５４が装着され、流体の外部漏れを防止している。

【００２９】更に、弁棒４９の嵌合部５０は外周面に雄
ねじ部５０ａが形成される一方、ボンネット４７の内周
面には雌ねじ部４７ａが形成され、この雄ねじ部５０ａ
と雌ねじ部４７ａが螺合している。そして、この弁棒４
９の基端部にはハンドル５５が嵌合してナット５６によ
って一体回転可能に固結され、キャップ５７によって隠
蔽されている。また、ハンドル５５の下面には係合突起
５５ａが一体に形成されている。更に、ボンネット４７
の上端外周部には第１インジケータ５８が固定ピン５９
によって固定されると共に、この第１インジケータ５８
の内周部には第２インジケータ６０が回転自在に嵌合し
ている。一方、ハンドル５５の上面部にはネームプレー
ト６１が固定され、このネームプレート６１には透明の
表示窓６２が形成されている。

【００３０】この第１インジケータ５８には嵌合溝５８
ｄが形成され、上面に「OPEN」と記載された表示部５８
ｆが設けられる一方、第２インジケータ６０には嵌合突
起６０ｄが形成されると共に係止突起６０ｅが形成さ
れ、上面に「SHUT」と記載された表示部６０ｆが設けら
れている。

【００３１】従って、第１インジケータ５８はボンネッ
ト４７の上端外周部に嵌合して固定ピン５９によって固
定されている。そして、第２インジケータ６０はこの第
１インジケータ５８の内周部に上方から挿入され、嵌合
突起６０ｄが嵌合溝５８ｄに嵌合することで取付けら
れ、周方向回転自在となっている。そして、ハンドル５
５、第１インジケータ５８、第２インジケータ６０を組
み付け後、このハンドル５５を弁閉止方向に回動して弁
棒４９を弁閉止位置に移動することで、ハンドル５５の
係合突起５５ａが第２インジケータ６０の係止突起６０
ｅに当接してこの第２インジケータ６０を弁閉止方向に
回動し、この第２インジケータ６０の表示部６０ｆは弁
閉止位置に位置決めされることとなる。なお、第１イン
ジケータ５８の表示部５８ｆはボンネット４７への固定
時に弁開放位置に位置決めされる。そのため、ハンドル
５５の開放位置ではネームプレート６１の表示窓６２と
第１インジケータ５８の表示部５８ｆ「OPEN」とが一致
し、ハンドル５５の閉止位置ではネームプレート６１の
表示窓６２と第２インジケータ６０の表示部６０ｆ「SH
UT」とが一致する。

【００３２】このように構成された本実施形態の流体制
御弁にあって、弁開放状態では、弁棒４９が上方位置に
あってディスク５３が弁座４５から離間した位置にある
ので、ガス流路４２と４３は流通しており、ネームプレ
ート６１の表示窓６２には第１インジケータ５８の表示
部５８ｆ「OPEN」が表示されており、ガス流体はガス流
路４２から４３に流れることができる。

【００３３】そして、この弁開放状態から、ハンドル５
５と共に弁棒４９を回動し、雄ねじ部５０ａ及び雌ねじ
部４７ａの螺合関係によって弁棒４９をボンネット４７
に対して下方に移動させる。すると、弁棒４９は先端側
のディスク５３が弁座４５に密着し、ガス流路４２を閉
じることができる。このとき、ハンドル５５と共にネー
ムプレート６１が同方向に回動することで、ネームプレ
ート６１の表示窓６２には第２インジケータ６０の表示
部６０ｆ「SHUT」が表示されることとなり、ガス流体が
ガス流路４２から４３に流れることができなくなる。

【００３４】そして、長期の使用によってディスク５３
の前面部が変形し、ディスク５３が弁座４５に密着する
位置がずれ、ハンドル５５における閉止角度位置がずれ
ることがある。本実施形態の場合、ハンドル５５を弁閉
止方向に回転して締め込んでいくと、このハンドル５５
の係合突起５５ａが第２インジケータ６０の係止突起６
０ｅを介してこの第２インジケータ６０を同方向に回動
し、追従して位置が変更されることとなる。従って、ハ
ンドル５５を回動して変形したディスク５３が弁座４５
に密着する位置まで移動させることで、第２インジケー
タ６０の表示部６０ｆはその位置が弁閉止位置に変更さ
れることとなる。そのため、ハンドル５５の表示窓６２
と第２インジケータ６０の表示部６０ｆとは、常にディ
スク５３が弁座４５に密着したガス流路４２，４３の閉
止位置で適合して表示されることとなり、作業者による
誤操作の発生は防止される。

【００３５】図６に本発明の第３実施形態に係る流体制
御弁を表す断面、図７に流体制御弁の表示部分の概略を
示す。

【００３６】本実施形態の流体制御弁は、開閉表示部以
外は前述した第１実施形態とほぼ同様の構成となってお
り、なお、同様の機能を有する部材には同一の符号を付
して重複する説明は省略する。

【００３７】本実施形態の流体制御弁において、図６に
示すように、弁棒１９の基端部にはハンドル７１が嵌合
してナット７２によって一体回転可能に固結され、キャ
ップ７３によって隠蔽されている。また、ハンドル７１
の下面には係合突起７１ａが一体に形成されている。更
に、ボンネット１６の上端外周部には第１インジケータ
７４が回転自在に嵌合し、この第１インジケータ７４の
内周部には第２インジケータ７５が回転自在に嵌合して
いる。一方、ハンドル７１の上面部にはネームプレート
７６が固定され、このネームプレート７６には透明の表
示窓７７が形成されている。

【００３８】この第１インジケータ７４は、図７に詳細
に示すように、円筒部７４ａの上部にフランジ部７４ｂ
が一体に形成されて構成されている。この円筒部７４ａ
には軸方向に沿った切欠７４ｃが４ヵ所にわたって形成
されると共に、その下部が内方に折曲して嵌合部７４ｄ
が形成されている。そして、フランジ部７４ｂには扇形
状の係止突起７４ｅが形成されると共に、上面に「OPE
N」と記載された表示部７４ｆが設けられている。一
方、第２インジケータ７５も、第１インジケータ７４と
同様に、円筒部７５ａの上部に扇形状の鍔部７５ｂが一
体に形成されて構成されている。この円筒部７５ａには
軸方向に沿った切欠７５ｃが４ヵ所にわたって形成され
ると共に、その下部が内方に折曲して嵌合部７５ｄが形
成されている。そして、フランジ部７５ｂには係止突起
７５ｅが形成されると共に、上面に「SHUT」と記載され
た表示部７５ｆが設けられている。

【００３９】従って、第１インジケータ７４はボンネッ
ト１６の上端外周部に嵌合部７４ｄが嵌合して周方向回
転自在となっている。そして、第２インジケータ７５は
この第１インジケータ７４の内側で位置するようにボン
ネット１６の上端外周部に嵌合部７５ｄが嵌合して周方
向回転自在となっている。そして、ハンドル７１、第１
インジケータ７４、第２インジケータ７５を組み付け
後、まず、このハンドル７１を弁開放方向に回動して弁
棒１９を弁開放位置に移動することで、ハンドル７１の
係合突起７１ａが第１インジケータ７４の係止突起７４
ｅに当接してこの第１インジケータ７１を弁開放方向に
回動し、この第１インジケータ７４の表示部７４ｆは弁
開放位置に位置決めされることとなる。次に、このハン
ドル７１を弁閉止方向に回動して弁棒１９を弁閉止位置
に移動することで、ハンドル７１の係合突起７１ａが第
２インジケータ７５の係止突起７５ｅに当接してこの第
２インジケータ７５を弁閉止方向に回動し、この第２イ
ンジケータ７５の表示部７５ｆは弁閉止位置に位置決め
されることとなる。そのため、ハンドル７１の開放位置
ではネームプレート７６の表示窓７７と第１インジケー
タ７４の表示部７４ｆ「OPEN」とが一致し、ハンドル７
１の閉止位置ではネームプレート７６の表示窓７７と第
２インジケータ７５の表示部７５ｆ「SHUT」とが一致す
る。

【００４０】このように構成された本実施形態の流体制
御弁にあって、図６に示すように、弁開放状態では、弁
棒１９が上方位置にあってダイヤフラム１８が弁座シー
ト１５から離間した位置にあるので、ガス流路１２と１
３は流通しており、ネームプレート７６の表示窓７７に
は第１インジケータ７４の表示部７４ｆ「OPEN」が表示
されており、ガス流体はガス流路１２から１３に流れる
ことができる。

【００４１】そして、この弁開放状態から、ハンドル７
１と共に弁棒１９を回動し、雄ねじ部１９ａ及び雌ねじ
部１６ａの螺合関係によって弁棒１９をボンネット１６
に対して下方に移動させる。すると、弁棒１９は先端側
のスラストパッド２３を押し下げ、このスラストパッド
２３がダイヤフラム１８を押し下げ変形させることで、
このダイヤフラム１８が弁座シート１５に密着し、ガス
流路１２を閉じることができる。このとき、ハンドル７
１と共にネームプレート７６が同方向に回動すること
で、ネームプレート７６の表示窓７７には第２インジケ
ータ７５の表示部７５ｆ「SHUT」が表示されることとな
り、ガス流体がガス流路１２から１３に流れることがで
きなくなる。

【００４２】そして、長期の使用によって弁座シート１
５が変形し、スラストパッド２３によってダイヤフラム
１８を弁座シート１５に密着させる位置がずれ、ハンド
ル７１における閉止角度位置がずれることがある。本実
施形態の場合、ハンドル７１を弁閉止方向に回転して締
め込んでいくと、このハンドル７１の係合突起７１ａが
第２インジケータ７５の係止突起７５ｅを介してこの第
２インジケータ７５を同方向に回動し、追従して位置が
変更されることとなる。従って、ハンドル７１を回動し
てスラストパッド２３（ダイヤフラム１８）を弁座シー
ト１５が変形した位置まで移動させることで、第２イン
ジケータ７５の表示部７５ｆはその位置が弁閉止位置に
変更されることとなる。そのため、ハンドル７１の表示
窓７７と第２インジケータ７５の表示部７５ｆとは、常
にスラストパッド２３（ダイヤフラム１８）が弁座シー
ト１５に密着したガス流路１２，１３の閉止位置で適合
して表示されることとなり、作業者による誤操作の発生
は防止される。

【００４３】また、長期の使用によって弁開放位置にお
ける弁棒１９の嵌合部２０とボンネット１６との接触部
が摩耗し、この弁開放位置がずれ、ハンドル７１におけ
る開放角度位置がずれることがある。本実施形態の場
合、ハンドル７１を弁開放方向に回転して締め込んでい
くと、このハンドル７１の係合突起７１ａが第１インジ
ケータ７４の係止突起７４ｅを介してこの第１インジケ
ータ７４を同方向に回動し、追従して位置が変更される
こととなる。従って、ハンドル７１を回動して弁棒１９
を弁開放位置まで移動させることで、第１インジケータ
７４の表示部７４ｆはその位置が弁開放位置に変更され
ることとなる。そのため、ハンドル７１の表示窓７７と
第１インジケータ７５の表示部７４ｆとは、常に弁開放
位置で適合して表示されることとなり、作業者による誤
操作の発生は防止される。

【００４４】なお、上述の実施形態において、本発明の
流体制御弁を各種の制御弁に適用して説明したが、この
実施形態に限定されるものではない。例えば、弁の閉止
位置と開放位置の両方に弁座を有するものにおいても適
用することができ、この場合、「OPEN」表示部を有する
第１インジケータと「SHUT」表示部を有する第２インジ
ケータとの両方を回動自在に装着することで、前述した
ものと同等の作用効果を得ることができる。

【００４５】

【発明の効果】以上、実施形態において詳細に説明した
ように本発明の流体制御弁によれば、流体が流通する流
体通路を有する弁本体にこの流体通路を囲繞するように
弁座を設ける一方、弁本体の弁棒支持孔内に弁棒を軸方
向移動自在に支持して先端部に弁座に密着することで流
体通路を閉止可能な弁体を装着する一方、弁棒の基端部
にハンドルを連結してこのハンドルの回転により移動機
構を介して弁棒を移動可能とし、弁本体に第１表示部を
有する第１インジケータと第２表示部を有する第２イン
ジケータとを互いに相対回転自在に装着する一方、ハン
ドルにその回動位置に応じて第１表示部あるいは第２表
示部のいずれか一方が表示される表示窓を設けると共に
ハンドルあるいは弁棒に第２インジケータを一方方向に
回動させる回動部を設けたので、弁座が長期の使用によ
って変形し、弁体による流体通路の閉止位置がずれてハ
ンドルにおける閉止角度位置がずれても、このハンドル
の閉止方向の回動に伴って回動部が第２インジケータを
一方方向に回動させることとなり、この第２インジケー
タはハンドルに追従して位置が変更され、弁体による流
体通路の閉止位置ではハンドルの表示窓と第２インジケ
ータの第２表示部との位置を確実に適合して表示するこ
とができ、作業者による誤操作の発生を防止することが
できる。

【００４６】また、本発明の流体制御弁によれば、第１
インジケータと第２インジケータを互いに相対回転自在
で且つ弁本体に対して回動自在とし、ハンドルあるいは
弁棒に第１インジケータを一方方向に回動させる第１回
動部を設けると共に第２インジケータを他方方向に回動
させる第２回動部を設けたので、弁体の開放位置に弁座
が設けられている場合であっても、この弁座が長期の使
用によって変形し、弁体による流体通路の開放位置がず
れてハンドルにおける開放角度位置がずれても、このハ
ンドルの開放方向の回動に伴って第１回動部が第１イン
ジケータを他方方向に回動させることとなり、この第１
インジケータはハンドルに追従して位置が変更され、弁
体による流体通路の開放位置ではハンドルの表示窓と第
１インジケータの第１表示部との位置を確実に適合して
表示することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係る流体制御弁を表す
断面図である。

【図２】流体制御弁の表示部分を表すハンドルの平面図
である。

【図３】第１インジケータの概略図である。

【図４】第２インジケータの概略図である。

【図５】本発明の第２実施形態に係る流体制御弁を表す
断面図である。

【図６】本発明の第３実施形態に係る流体制御弁を表す
断面図である。

【図７】流体制御弁の表示部分の概略図である。

【図８】従来の流体制御弁の断面図である。

【図９】従来の流体制御弁における弁閉止状態を表す要
部断面図である。

【符号の説明】

１１，４１ 弁本体 １２，１３，４２，４３ ガス流路 １４，４４ 弁棒支持孔 １５ 弁座シート １６，４７ ボンネット １６ａ，４７ａ 雌ねじ部（移動機構） １８ ダイヤフラム（弁体） １９，４９ 弁棒 １９ａ，５０ａ 雄ねじ部（移動機構） ２３ スラストパッド ２４，５５，７１ ハンドル ２４ａ，５５ａ，７１ａ 係合突起（回動部） ２７，５８，７４ 第１インジケータ ２７ｆ，５８ｆ，７４ｆ 表示部 ２９，６０，７５ 第２インジケータ ２９ｅ，６０ｅ，７４ｅ，７５ｅ 係止突起 ２９ｆ，６０ｆ，７５ｆ 表示部 ３１，６２，７７ 表示窓 ４５ 弁座 ５３ ディスク（弁体） ５４ ベローズ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体が流通する流体通路及び該流体通路
   に連通する弁棒支持孔を有する弁本体と、前記流体通路
   を囲繞するように設けられた弁座と、前記弁棒支持孔内
   に軸方向移動自在に支持されると共に基端部が前記弁本
   体外部に位置して先端部が前記流体通路に臨む弁棒と、
   該弁棒の先端部に装着されて前記弁座に密着することで
   前記流体通路を閉止可能な弁体と、前記弁本体外部に位
   置した前記弁棒の基端部に連結されたハンドルと、該ハ
   ンドルの回転によって前記弁棒を前記弁棒支持孔内にて
   軸方向移動される移動機構とを具えた流体制御弁におい
   て、前記弁本体に第１表示部を有する第１インジケータ
   と第２表示部を有する第２インジケータとを互いに相対
   回転自在に装着する一方、前記ハンドルにその回動位置
   に応じて前記第１表示部あるいは前記第２表示部のいず
   れか一方が表示される表示窓を設けると共に、前記ハン
   ドルあるいは前記弁棒に前記第２インジケータを一方方
   向に回動させる回動部を設けたことを特徴とする流体制
   御弁。
2. 【請求項２】 請求項１記載の流体制御弁において、前
   記第１インジケータと前記第２インジケータは互いに相
   対回転自在で且つ前記弁本体に対して回動自在であり、
   前記ハンドルあるいは前記弁棒に前記第１インジケータ
   を一方方向に回動させる第１回動部を設けると共に、前
   記第２インジケータを他方方向に回動させる第２回動部
   を設けたことを特徴とする流体制御弁。