JPH10116886A - 試料保持方法及び露光装置 - Google Patents

試料保持方法及び露光装置

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JPH10116886A JP28930596A JP28930596A JPH10116886A JP H10116886 A JPH10116886 A JP H10116886A JP 28930596 A JP28930596 A JP 28930596A JP 28930596 A JP28930596 A JP 28930596A JP H10116886 A JPH10116886 A JP H10116886A
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