JPH10101470A - 重量のある設備部分を持ち上げ、旋回させかつ回転させるための装置 - Google Patents
重量のある設備部分を持ち上げ、旋回させかつ回転させるための装置Info
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- JPH10101470A JPH10101470A JP9186176A JP18617697A JPH10101470A JP H10101470 A JPH10101470 A JP H10101470A JP 9186176 A JP9186176 A JP 9186176A JP 18617697 A JP18617697 A JP 18617697A JP H10101470 A JPH10101470 A JP H10101470A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/30—Mechanisms for rotating or moving either the melt or the crystal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ロックゲートチャンバと坩堝との間に配置さ
れた、坩堝を上方に向かって閉鎖し得るカバーを、真空
チャンバから持ち上げて、その後に旋回させ、さらに掃
除目的のために回転させることができるようにする。 【解決手段】 位置固定的な部分１５によって保持され
たピン２６と、該ピンを取り囲む回転可能なスリーブ２
４と、該スリーブに不動に配置された突起３４，３４′
と、該突起によって保持されたピン３６，３６′と、該
ピンを中心にして旋回可能な、ケーシング３５のスリー
ブ部分２８とが設けられており、ケーシング３５に、ス
リーブ部分２８に対して平行に延びかつスリーブ部分２
８から間隔を置いて配置されたねじ山付ピン３７が支承
されており、該ねじ山付ピンがナット３８と協働し、該
ナットが、スリーブ２４に保持されており、しかもスリ
ーブ部分２８が、カバー５に固く結合されたピン２７を
取り囲んでいる。
れた、坩堝を上方に向かって閉鎖し得るカバーを、真空
チャンバから持ち上げて、その後に旋回させ、さらに掃
除目的のために回転させることができるようにする。 【解決手段】 位置固定的な部分１５によって保持され
たピン２６と、該ピンを取り囲む回転可能なスリーブ２
４と、該スリーブに不動に配置された突起３４，３４′
と、該突起によって保持されたピン３６，３６′と、該
ピンを中心にして旋回可能な、ケーシング３５のスリー
ブ部分２８とが設けられており、ケーシング３５に、ス
リーブ部分２８に対して平行に延びかつスリーブ部分２
８から間隔を置いて配置されたねじ山付ピン３７が支承
されており、該ねじ山付ピンがナット３８と協働し、該
ナットが、スリーブ２４に保持されており、しかもスリ
ーブ部分２８が、カバー５に固く結合されたピン２７を
取り囲んでいる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、重量のある設備部
分、特に結晶引上げ設備の真空釜のカバーを持ち上げ、
旋回させかつ回転させるための装置であって、設備の位
置固定的な部分によって保持された、鉛直方向に延びる
アームまたはピンが設けられている形式のものに関す
る。
分、特に結晶引上げ設備の真空釜のカバーを持ち上げ、
旋回させかつ回転させるための装置であって、設備の位
置固定的な部分によって保持された、鉛直方向に延びる
アームまたはピンが設けられている形式のものに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】結晶を引き上げるための装置は通常、金
属管または金属成形材から成るフレームまたは支持枠組
を有している。このフレームには引上げプロセスのため
に必要となる構成要素、たとえば真空チャンバ、ロック
ゲート、ロックゲートチャンバ、引上げエレメント等が
取り付けられている。
属管または金属成形材から成るフレームまたは支持枠組
を有している。このフレームには引上げプロセスのため
に必要となる構成要素、たとえば真空チャンバ、ロック
ゲート、ロックゲートチャンバ、引上げエレメント等が
取り付けられている。
【０００３】そこで、鉛直な２つのガイドコラムから成
る、坩堝なしのゾーン溶融のための装置が知られている
（ＤＥ１２９０１１７）。両ガイドコラムは架台に固定
されていて、上部で横方向ステーによって互いに結合さ
れている。これらの横方向ステーは、互いに相対的にか
つ位置固定的な加熱装置に対して相対的に移動可能なア
ームを保持しており、このアームはロッド保持装置を備
えている。この場合、このアームはディファレンシャル
ギヤに連結されている。前記両ガイドコラムは、ねじ山
を介して上部では横方向ステーに、下部では架台にそれ
ぞれ固定された２つの支持機構を備えており、両支持機
構はガイドコラムに対して相対的にかつ互いに相対的に
斜めに延びている。この場合、両ガイドコラムは、同じ
高さを有する各１つの撓みジョイントを介して架台に結
合されており、この撓みジョイントは、前記支持機構の
側に向かって開いたスリットの形で形成されている。
る、坩堝なしのゾーン溶融のための装置が知られている
（ＤＥ１２９０１１７）。両ガイドコラムは架台に固定
されていて、上部で横方向ステーによって互いに結合さ
れている。これらの横方向ステーは、互いに相対的にか
つ位置固定的な加熱装置に対して相対的に移動可能なア
ームを保持しており、このアームはロッド保持装置を備
えている。この場合、このアームはディファレンシャル
ギヤに連結されている。前記両ガイドコラムは、ねじ山
を介して上部では横方向ステーに、下部では架台にそれ
ぞれ固定された２つの支持機構を備えており、両支持機
構はガイドコラムに対して相対的にかつ互いに相対的に
斜めに延びている。この場合、両ガイドコラムは、同じ
高さを有する各１つの撓みジョイントを介して架台に結
合されており、この撓みジョイントは、前記支持機構の
側に向かって開いたスリットの形で形成されている。
【０００４】この公知の装置は、極めて大きな結晶を引
き上げるための設備のためには不適当である。なぜなら
ば、このような大きな装置の個々の構成部分は過度に大
きな容積と重量とを有していて、しかも公知の支持枠体
に組み込むためにはオペレータにとって極端に接近し難
いからである。
き上げるための設備のためには不適当である。なぜなら
ば、このような大きな装置の個々の構成部分は過度に大
きな容積と重量とを有していて、しかも公知の支持枠体
に組み込むためにはオペレータにとって極端に接近し難
いからである。
【０００５】さらに、減じられた圧力で真空または保護
ガス下に、坩堝内に存在する溶融液から単結晶を引き上
げるための装置が既に公知である（ＤＥ１９５３８８５
７．７）。この公知の装置では、坩堝が、ベースフレー
ムに支持された真空チャンバ内で坩堝支持ピンに配置さ
れていて、加熱エレメントの熱放射線によって加熱可能
である。この場合、溶融液の上方には引上げエレメント
が設けられており、この引上げエレメントを用いて、溶
融液表面から上方に向かって結晶を、ベースフレームに
対して側方で旋回可能なロックゲートチャンバにまで引
出し可能である。この公知の装置ではさらに分離装置が
設けられており、この分離装置は結晶と引上げエレメン
トとの間に設けられていて、結晶と引上げエレメントと
の分離を可能にする。この場合、ベースフレームは、支
持体によって支持されたプラットホームから形成されて
おり、真空チャンバを保持する、ほぼ方形の前記プラッ
トホームの４つの角隅のうちの３つに、各１つの別の脚
部が支持されている。これら３つの、鉛直方向に延びる
脚部は同じ長さを有していて、その上端部は一緒になっ
て、直角三角形を形成しかつ水平方向に延びるフレーム
によって保持されている。この場合、このフレームから
プラットホームに向かって投影された面は、ほぼプラッ
トホーム面の一方の半部を取り囲むように描かれる。前
記脚部のうちの少なくとも１つの脚部は横桁または旋回
アームに支承されており、この旋回アームにはロックゲ
ートチャンバが固定されている。このロックゲートチャ
ンバは前記脚部に対して平行に、ほぼ真空チャンバのカ
バーにまで延びている。
ガス下に、坩堝内に存在する溶融液から単結晶を引き上
げるための装置が既に公知である（ＤＥ１９５３８８５
７．７）。この公知の装置では、坩堝が、ベースフレー
ムに支持された真空チャンバ内で坩堝支持ピンに配置さ
れていて、加熱エレメントの熱放射線によって加熱可能
である。この場合、溶融液の上方には引上げエレメント
が設けられており、この引上げエレメントを用いて、溶
融液表面から上方に向かって結晶を、ベースフレームに
対して側方で旋回可能なロックゲートチャンバにまで引
出し可能である。この公知の装置ではさらに分離装置が
設けられており、この分離装置は結晶と引上げエレメン
トとの間に設けられていて、結晶と引上げエレメントと
の分離を可能にする。この場合、ベースフレームは、支
持体によって支持されたプラットホームから形成されて
おり、真空チャンバを保持する、ほぼ方形の前記プラッ
トホームの４つの角隅のうちの３つに、各１つの別の脚
部が支持されている。これら３つの、鉛直方向に延びる
脚部は同じ長さを有していて、その上端部は一緒になっ
て、直角三角形を形成しかつ水平方向に延びるフレーム
によって保持されている。この場合、このフレームから
プラットホームに向かって投影された面は、ほぼプラッ
トホーム面の一方の半部を取り囲むように描かれる。前
記脚部のうちの少なくとも１つの脚部は横桁または旋回
アームに支承されており、この旋回アームにはロックゲ
ートチャンバが固定されている。このロックゲートチャ
ンバは前記脚部に対して平行に、ほぼ真空チャンバのカ
バーにまで延びている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、冒頭
で述べた形式の装置を改良して、ロックゲートチャンバ
と、シリコンを溶融させるための坩堝との間に配置され
た、坩堝を上方に向かって閉鎖し得るカバーを、真空チ
ャンバから持ち上げ、その後に旋回させ、さらに掃除目
的のために回転させることのできるような装置を提供す
ることである。さらに、この装置は廉価に製造可能であ
って、最小限のスペースしか必要とせず、しかもカバー
を当該装置から正確に規定された終端位置へ移動させた
い場合には調節可能となることが望ましい。
で述べた形式の装置を改良して、ロックゲートチャンバ
と、シリコンを溶融させるための坩堝との間に配置され
た、坩堝を上方に向かって閉鎖し得るカバーを、真空チ
ャンバから持ち上げ、その後に旋回させ、さらに掃除目
的のために回転させることのできるような装置を提供す
ることである。さらに、この装置は廉価に製造可能であ
って、最小限のスペースしか必要とせず、しかもカバー
を当該装置から正確に規定された終端位置へ移動させた
い場合には調節可能となることが望ましい。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の構成では、当該設備の位置固定的な部分によ
って保持された、鉛直方向に延びるピンと、該ピンを取
り囲みかつ該ピンに回転可能に被せられたスリーブと、
該スリーブに不動に配置された、該スリーブから水平方
向に延びる突起と、該突起によって保持されかつ該突起
に対して直交する方向に延びるピンと、該ピンを中心に
して旋回可能な、ケーシングのスリーブ部分とが設けら
れており、ケーシングに、前記スリーブ部分に対して平
行に延びかつ前記スリーブ部分から間隔を置いて配置さ
れた、ハンドレバーを備えたねじ山付ピンが支承されて
おり、該ねじ山付ピンがナットと協働し、該ナットが、
前記スリーブに保持されており、しかも前記スリーブ部
分が、当該設備部分またはカバーに固く結合されたピン
を取り囲んでいるようにした。
に本発明の構成では、当該設備の位置固定的な部分によ
って保持された、鉛直方向に延びるピンと、該ピンを取
り囲みかつ該ピンに回転可能に被せられたスリーブと、
該スリーブに不動に配置された、該スリーブから水平方
向に延びる突起と、該突起によって保持されかつ該突起
に対して直交する方向に延びるピンと、該ピンを中心に
して旋回可能な、ケーシングのスリーブ部分とが設けら
れており、ケーシングに、前記スリーブ部分に対して平
行に延びかつ前記スリーブ部分から間隔を置いて配置さ
れた、ハンドレバーを備えたねじ山付ピンが支承されて
おり、該ねじ山付ピンがナットと協働し、該ナットが、
前記スリーブに保持されており、しかも前記スリーブ部
分が、当該設備部分またはカバーに固く結合されたピン
を取り囲んでいるようにした。
【０００８】
【発明の効果】本発明によれば、ロックゲートチャンバ
と、シリコンを溶融させるための坩堝との間に配置され
た、坩堝を上方に向かって閉鎖し得るカバーを、真空チ
ャンバから持ち上げて、その後に旋回させ、さらに掃除
目的のために回転させることができる。当該装置は廉価
に製造可能であり最小限のスペースしか必要とせず、し
かもカバーを当該装置から正確に規定された終端位置へ
移動させることができるように調節可能である。
と、シリコンを溶融させるための坩堝との間に配置され
た、坩堝を上方に向かって閉鎖し得るカバーを、真空チ
ャンバから持ち上げて、その後に旋回させ、さらに掃除
目的のために回転させることができる。当該装置は廉価
に製造可能であり最小限のスペースしか必要とせず、し
かもカバーを当該装置から正確に規定された終端位置へ
移動させることができるように調節可能である。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
面につき詳しく説明する。
面につき詳しく説明する。
【００１０】図１に示した装置では、格子管フレームと
して形成された４脚式のベースフレーム１が設けられて
いる。このベースフレーム１からは３つのコラム１５，
１５′，１５′′がロックゲート２を越えて上方へ突出
している。ベースフレーム１には三角形の閉鎖フレーム
３が螺合されている。この閉鎖フレーム３には引上げ送
り装置４（ロッド送り装置またはロープ送り装置）が装
着されている。真空釜のカバー５と、ロックゲート弁６
と、ロックゲート２とは、支持体７によってベースフレ
ーム１の横方向結合材８に支承されている。同じく磁石
１０または磁石１０の昇降装置９も横方向結合材８に支
持されている。この横方向結合材８は、当該設備の保守
目的または掃除目的のために磁石１０を降下させること
ができるように配置構成されている。坩堝送り装置１１
はベースフレーム１の下側の横方向結合材１２に支持さ
れている。カバー５とロックゲート弁６とロックゲート
２とは、ベローズ１３を用いて引上げ送り装置４および
坩堝送り装置１１とは振動技術的に分離されているの
で、これらの釜構成部分（カバー５とロックゲート弁６
とロックゲート２）において生じる振動または位置変化
が引上げ過程に対して不都合な影響を与えることはな
い。
して形成された４脚式のベースフレーム１が設けられて
いる。このベースフレーム１からは３つのコラム１５，
１５′，１５′′がロックゲート２を越えて上方へ突出
している。ベースフレーム１には三角形の閉鎖フレーム
３が螺合されている。この閉鎖フレーム３には引上げ送
り装置４（ロッド送り装置またはロープ送り装置）が装
着されている。真空釜のカバー５と、ロックゲート弁６
と、ロックゲート２とは、支持体７によってベースフレ
ーム１の横方向結合材８に支承されている。同じく磁石
１０または磁石１０の昇降装置９も横方向結合材８に支
持されている。この横方向結合材８は、当該設備の保守
目的または掃除目的のために磁石１０を降下させること
ができるように配置構成されている。坩堝送り装置１１
はベースフレーム１の下側の横方向結合材１２に支持さ
れている。カバー５とロックゲート弁６とロックゲート
２とは、ベローズ１３を用いて引上げ送り装置４および
坩堝送り装置１１とは振動技術的に分離されているの
で、これらの釜構成部分（カバー５とロックゲート弁６
とロックゲート２）において生じる振動または位置変化
が引上げ過程に対して不都合な影響を与えることはな
い。
【００１１】ベースフレーム１の、上方に向かって延長
されたコラム１５，１５′，１５′′には、種々異なる
機能エレメント、たとえばロックゲート２およびロック
ゲート弁６またはカバー５ならびに結晶ネックに用いら
れる分離機構、結晶に用いられれう収容装置のための特
殊に形成されたハンドリング装置１６、釜部分および／
または真空釜１４内部のホットゾーン部分のためのハン
ドリング装置１７を組み込むことができる。
されたコラム１５，１５′，１５′′には、種々異なる
機能エレメント、たとえばロックゲート２およびロック
ゲート弁６またはカバー５ならびに結晶ネックに用いら
れる分離機構、結晶に用いられれう収容装置のための特
殊に形成されたハンドリング装置１６、釜部分および／
または真空釜１４内部のホットゾーン部分のためのハン
ドリング装置１７を組み込むことができる。
【００１２】図２に示した、カバー５を持ち上げ、旋回
させかつ回転させるための持上げ・旋回・回転装置１８
は、結晶引上げ装置の位置固定的な部分、つまりコラム
１５に結合されている。引上げプロセスの間、カバー５
はその上下に位置する構成部分、つまりロックゲート弁
６と真空釜１４との間に締付け固定されている。設備中
心に対してカバー５を正確に位置決めするためのセンタ
リングピン１９は、持上げ・旋回・回転装置１８とは反
対の側に位置している。
させかつ回転させるための持上げ・旋回・回転装置１８
は、結晶引上げ装置の位置固定的な部分、つまりコラム
１５に結合されている。引上げプロセスの間、カバー５
はその上下に位置する構成部分、つまりロックゲート弁
６と真空釜１４との間に締付け固定されている。設備中
心に対してカバー５を正確に位置決めするためのセンタ
リングピン１９は、持上げ・旋回・回転装置１８とは反
対の側に位置している。
【００１３】カバー５の上方に位置する構成部分、つま
りロックゲート弁６とロックゲートチャンバ２０とが持
ち上げられた後に、レバー２１（または択一的にハンド
ル）をロック位置Ａからロック位置Ｂへ運動させて、カ
バー５を旋回支点Ｃを中心にして傾動させることができ
る。レバー２１の回転はねじ山付ピン３７において所定
の軸方向移動距離を生ぜしめる。なぜならば、ねじ山付
ピン３７が、位置固定的なナット３８内へねじ込まれる
か、もしくはこのナット３８から引き出されるからであ
る。
りロックゲート弁６とロックゲートチャンバ２０とが持
ち上げられた後に、レバー２１（または択一的にハンド
ル）をロック位置Ａからロック位置Ｂへ運動させて、カ
バー５を旋回支点Ｃを中心にして傾動させることができ
る。レバー２１の回転はねじ山付ピン３７において所定
の軸方向移動距離を生ぜしめる。なぜならば、ねじ山付
ピン３７が、位置固定的なナット３８内へねじ込まれる
か、もしくはこのナット３８から引き出されるからであ
る。
【００１４】カバー５の僅かな傾斜位置に基づき、シー
ルリング２３は全周にわたって自由になり、センタリン
グピン１９はセンタリング保持装置から十分な距離だけ
引き出されている。
ルリング２３は全周にわたって自由になり、センタリン
グピン１９はセンタリング保持装置から十分な距離だけ
引き出されている。
【００１５】次いで、コラム１５を取り囲む、滑り軸受
けを備えたスリーブ２４と、スラスト軸受け（支持軸受
け）２５と、ピン２６とから形成される旋回軸線Ｄを中
心にしてカバー５を作業範囲から旋回させることができ
る。
けを備えたスリーブ２４と、スラスト軸受け（支持軸受
け）２５と、ピン２６とから形成される旋回軸線Ｄを中
心にしてカバー５を作業範囲から旋回させることができ
る。
【００１６】しかし掃除作業を容易にするためには、ち
ょうナット２９を緩めることによってカバー５をその横
方向軸線Ｑを中心にして回転させることも可能である。
このことは回転支点Ｅを中心にして行われる。この場
合、ピン２７がスリーブ部分２８に支承されていて、ね
じ山付ピン２２によって横方向軸線Ｑにおける移動を防
止されている。このねじ山付ピン２２はスリーブ部分２
８に設けられた滑子案内に案内されている。この滑子案
内またはスリーブ部分２８に設けられた、ねじ山付ピン
２２を案内する半径方向溝（円周の約９０゜）は、付加
的に回転角度を制限している。ちょうナット２９は円錐
状の突設部を有しており、前記半径方向溝は両端部に、
対応する凹設部を有しているので、ちょうナット２９の
締付け時では各終端位置が位置固定される。ちょうナッ
ト２９は完全な引抜きを防止されている。
ょうナット２９を緩めることによってカバー５をその横
方向軸線Ｑを中心にして回転させることも可能である。
このことは回転支点Ｅを中心にして行われる。この場
合、ピン２７がスリーブ部分２８に支承されていて、ね
じ山付ピン２２によって横方向軸線Ｑにおける移動を防
止されている。このねじ山付ピン２２はスリーブ部分２
８に設けられた滑子案内に案内されている。この滑子案
内またはスリーブ部分２８に設けられた、ねじ山付ピン
２２を案内する半径方向溝（円周の約９０゜）は、付加
的に回転角度を制限している。ちょうナット２９は円錐
状の突設部を有しており、前記半径方向溝は両端部に、
対応する凹設部を有しているので、ちょうナット２９の
締付け時では各終端位置が位置固定される。ちょうナッ
ト２９は完全な引抜きを防止されている。
【００１７】カバー５へのピン２７の結合は位置調整ね
じ３０，３１によって形成される。位置調整ねじ３０の
ための長孔により、当該設備の位置固定的な部分、つま
り真空釜１４に対するカバー５の位置を調節することが
できる。
じ３０，３１によって形成される。位置調整ねじ３０の
ための長孔により、当該設備の位置固定的な部分、つま
り真空釜１４に対するカバー５の位置を調節することが
できる。
【図１】結晶引上げ装置の斜視図である。
【図２】図１に示した結晶引上げ装置の真空釜のカバー
を持ち上げ、旋回させ、かつ回転させるための装置の部
分的な断面図である。
を持ち上げ、旋回させ、かつ回転させるための装置の部
分的な断面図である。
【図３】図２に示した装置のケーシング部分の正面図で
ある。
ある。
１ ベースフレーム、 ２ ロックゲート、 ３ 閉鎖
フレーム、 ４ 引上げ送り装置、 ５ カバー、 ６
ロックゲート弁、 ７ 支持部、 ８ 横方向結合
材、 ９ 昇降装置、 １０ 磁石、 １１ 坩堝送り
装置、 １２ 下側の横方向結合材、 １３ ベロー
ズ、 １４ 真空釜、 １５，１５′，１５′′ コラ
ム、 １６，１７ ハンドリング装置、 １８ 持上げ
・旋回・回転装置、 １９ センタリングピン、 ２０
ロックゲートチャンバ、 ２１ レバー、 ２２ ね
じ山付ピン、 ２３ シールリング、 ２４ スリー
ブ、 ２５ スラスト軸受け、 ２６ ピン、 ２７
ピン、 ２８ スリーブ部分、２９ ちょうナット、
３０，３１ 位置調整ねじ、 ３２，３３ ホルダ、３
４，３４′ 突起、 ３５ ケーシング、 ３６，３
６′ ピン、 ３７ ねじ山付ピン、 ３８ ナット
フレーム、 ４ 引上げ送り装置、 ５ カバー、 ６
ロックゲート弁、 ７ 支持部、 ８ 横方向結合
材、 ９ 昇降装置、 １０ 磁石、 １１ 坩堝送り
装置、 １２ 下側の横方向結合材、 １３ ベロー
ズ、 １４ 真空釜、 １５，１５′，１５′′ コラ
ム、 １６，１７ ハンドリング装置、 １８ 持上げ
・旋回・回転装置、 １９ センタリングピン、 ２０
ロックゲートチャンバ、 ２１ レバー、 ２２ ね
じ山付ピン、 ２３ シールリング、 ２４ スリー
ブ、 ２５ スラスト軸受け、 ２６ ピン、 ２７
ピン、 ２８ スリーブ部分、２９ ちょうナット、
３０，３１ 位置調整ねじ、 ３２，３３ ホルダ、３
４，３４′ 突起、 ３５ ケーシング、 ３６，３
６′ ピン、 ３７ ねじ山付ピン、 ３８ ナット
Claims (4)
- 【請求項１】 結晶引上げ設備の真空釜（１４）のカバ
ー（５）のような重量のある設備部分を持ち上げ、旋回
させかつ回転させるための装置であって、当該設備の位
置固定的な部分（１５）によって保持された、鉛直方向
に延びるピン（２６）と、該ピン（２６）を取り囲みか
つ該ピン（２６）に回転可能に被せられたスリーブ（２
４）と、該スリーブ（２４）に不動に配置された、水平
方向に延びる突起（３４，３４′）と、該突起（３４，
３４′）によって保持されかつ該突起（３４，３４′）
に対して直交する方向に延びるピン（３６，３６′）
と、該ピン（３６，３６′）を中心にして旋回可能な、
ケーシング（３５）のスリーブ部分（２８）とが設けら
れており、ケーシング（３５）に、前記スリーブ部分
（２８）に対して平行に延びかつ前記スリーブ部分（２
８）から間隔を置いて配置された、ハンドレバー（２
１）を備えたねじ山付ピン（３７）が支承されており、
該ねじ山付ピン（３７）がナット（３８）と協働し、該
ナット（３８）が、前記スリーブ（２４）に保持されて
おり、しかも前記スリーブ部分（２８）が、当該設備部
分またはカバー（５）に固く結合されたピン（２７）を
取り囲んでいることを特徴とする、重量のある設備部分
を持ち上げ、旋回させかつ回転させるための装置。 - 【請求項２】 ケーシング（３５）の前記スリーブ部分
（２８）によって取り囲まれた前記ピン（２７）が、前
記スリーブ部分（２８）の孔内でグリップナットまたは
ちょうナット（２９）によって位置固定可能であり、こ
の目的のために前記ピン（２７）が、半径方向に延びる
ねじ山付ピン（２２）を備えており、該ねじ山付ピン
（２２）が、前記スリーブ部分（２８）に設けられたス
リットまたは滑子案内に案内されていて、前記ちょうナ
ット（２９）によって前記スリーブ部分（２８）に対し
て締付け固定可能である、請求項１記載の装置。 - 【請求項３】 ケーシング（３５）の前記スリーブ部分
（２８）によって保持された前記ピン（２７）が、前記
カバー（５）の縁部分とねじ締結されており、ねじ締結
機構（３０，３１）が、位置調整の目的で、前記ピン
（２７）のピン長手方向軸線Ｑ（横方向軸線）に対する
前記カバー（５）の僅かな傾動運動Ｋを可能にする、請
求項１または２記載の装置。 - 【請求項４】 前記突起（３４，３４′）に傾動可能に
支承されたケーシング（３５，２８）が、ほぼ鉛直方向
に延びるアームを有しており、該アームの自由端部に、
前記ねじ山付ピン（３７）が回転可能ではあるが移動不
能に支承されており、該ねじ山付ピン（３７）がナット
（３８）と協働し、該ナット（３８）が前記スリーブ
（２４）に保持されている、請求項１から３までのいず
れか１項記載の装置。
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