KR101196720B1 - 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치 - Google Patents

다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치의 챔버를 구성하는 미들베젤에 설치되어 탑베젤을 승강시키는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치에 있어서, 미들베젤측에 수직방향으로 회전가능하게 설치되는 구동부;와, 상기 구동부의 구동에 의해 승강하는 승강부재; 및, 상기 승강부재와 상기 탑베젤의 사이를 연결하는 브라켓;을 포함하며, 상기 브라켓은 챔버 내부에 압력이 상승하면 압력에 의해 미들베젤의 상측으로부터 이격될 수 있도록 승강부재의 상단부에 분리 가능하게 안착되는 것을 특징으로 한다.

Description

다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치{LIFTING DEVICE OF TOP VESSEL FOR POLYCRYSTLINE SILICON INGOT PRODUCING APPARATUS}
본 발명은 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 챔버의 내부에 이상압력이 발생하는 경우 탑베젤이 미들베젤로부터 자동으로 개방되도록 함으로써 챔버의 폭발을 방지할 수 있는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치에 관한 것이다.
태양전지는 깨끗한 석유 대체 에너지원으로서, 소규모인 가정용으로부터 대규모인 발전 시스템까지의 넓은 분야에서 그 실용화가 기대되고 있다. 태양전지는 사용원료의 종류에 따라 결정계, 아모퍼스계, 화합물계 등으로 분류되고, 그 중에서도 현재 시장에 유통되고 있는 것의 대부분은 결정계 실리콘 태양전지이다. 이 결정계 실리콘 태양전지는 또한 단결정형과 다결정형으로 분류되고 있다. 단결정 실리콘 태양전지는 기판의 품질이 좋기 때문에 변환 효율의 고효율화가 용이하다는 장점을 갖는 반면, 기판의 제조비용이 높다는 단점을 갖는다.
이것에 대하여 다결정 실리콘 태양전지는 종래부터 시장에 유통되어 왔지만, 최근, 그 수요는 증가하고 있어, 보다 저비용으로 높은 변환 효율이 요구되고 있다. 이러한 요구에 대처하기 위해서는 다결정 실리콘 기판의 저비용화, 고품질화가 필요하고, 특히, 고순도의 실리콘 잉곳을 수율 좋게 제조하는 것이 요구되고 있다.
다결정 실리콘 잉곳 제조장치(10)는 도 1과 같이 탑베젤(11)과 미들베젤(12)과 바텀베젤(13)로 이루어지는 챔버의 내부공간에서 실리콘 원료를 가열 용해한 다음, 냉각 고화시켜 실리콘 융액이 상측방향으로 결정화 되도록 하는 방법이 일반적으로 사용되고 있다.
또한, 상기 탑베젤(11)은 미들베젤(12)측에 고정되는 승강장치(14)의 구동에 의해 미들베젤(12)의 상측 개구부를 개폐하는데, 이러한 승강장치(14)의 구동전달을 위한 구조를 살펴보면, 도 2에서 도시하는 바와 같이 상기 탑베젤(11)측에 고정되는 브라켓(11a)이 구동부(14a)의 스크류(14b)와 맞물려 승강하는 승강부재(14c)에 볼트와 같은 체결부재(S)로 고정 결합된다.
이러한 종래의 다결정 실리콘 잉곳 제조장치(10)는 실리콘 융액을 수용하는 주형의 파손 등에 의해 실리콘 융액이 주형의 하부로 흘러내리면 고온의 실리콘 융액이 주형 하부의 냉각플레이트 또는 바텀베젤(13)을 파손시키게 되는데, 상기 냉각플레이트나 바텀베젤(13)의 내측에는 냉각수가 순환하고 있으므로, 냉각수가 실리콘 융액에 의해 기화되면서 팽창하게 된다.
그런데 상기 챔버를 구성하는 탑베젤(11)은 미들베젤(12)의 상부에 밀착된 상태로 유지하며 승강장치(14)의 구동부(14a)의 구동에 의해서만 이동하도록 되어 있으므로 챔버 내부의 압력이 급격히 상승하면 챔버가 폭발하는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 챔버 내부에 이상압력이 발생하는 경우 탑베젤이 미들베젤로부터 이격되면서 이상압력을 자동으로 배출할 수 있는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치을 제공함에 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 다결정 실리콘 잉곳 제조장치의 챔버를 구성하는 미들베젤에 설치되어 탑베젤을 승강시키는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치에 있어서, 미들베젤측에 수직방향으로 회전가능하게 설치되는 구동부;와, 상기 구동부의 구동에 의해 승강하는 승강부재; 및, 상기 승강부재와 상기 탑베젤의 사이를 연결하는 브라켓;을 포함하며, 상기 브라켓은 챔버 내부에 압력이 상승하면 압력에 의해 미들베젤의 상측으로부터 이격될 수 있도록 승강부재의 상단부에 분리 가능하게 안착되는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치에 의해 달성된다.
여기서, 상기 승강부재는 안착부에서 상측을 향해 돌출되는 연결핀이 형성되고, 상기 브라켓은 승강부재의 안착부와 접촉하는 저면부에 상기 연결핀이 삽입되는 핀홀이 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 구동부는 구동모터와, 상기 구동모터에 의해 회전하는 스크류를 포함하고, 상기 승강부재는 상기 스크류에 맞물리도록 결합되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 구동부와 브라켓의 사이에 마련되어 상기 브라켓의 승강을 안내하는 안내부재를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 브라켓은 내부에 상기 구동부의 스크류가 배치되도록 상기 승강부재의 상단부에 연결되는 제1중공축이 형성되고, 상기 안내부재는 내측에 상기 제1중공축이 배치되도록 하단부가 상기 미들베젤측에 고정되는 제2중공축과, 상기 제2중공축의 내측면에 마련되어 상기 제1중공축의 외측면에 접촉하는 부시가 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제1중공축은 하단부 외주면에 제1스토퍼가 돌출 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 부시는 탑베젤의 이동영역의 최상단 위치에서 제1스토퍼가 간섭되는 위치에 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제2중공축은 하단부 내주면에 상기 제1스토퍼가 간섭되는 제2스토퍼가 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 탑베젤과 미들베젤의 사이에 배치되어 구동부에 의해 승강하는 승강부재의 상측에 탑베젤과 상기 승강부재 사이에 배치되는 브라켓이 분리 가능하게 안착되도록 하는 구성을 통해, 챔버 내부에 탑베젤의 하중 이상의 이상압력이 발생하는 경우 탑베젤에 연결된 브라켓이 승강부재로부터 분리되면서 미들베젤의 상측으로부터 탑베젤이 이격되도록 함으로써 챔버 내부의 이상압력을 자동으로 배출할 수 있는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치가 제공된다.
또한, 제1중공축의 외측을 감싸는 제2중공축의 내측면에 부시와 제2스토퍼가 이격 배치되도록 하고, 상기 이격된 공간 내에 제1중공축의 외측면으로 돌출 형성되는 제1스토퍼가 배치되도록 함으로써 탑베젤 측에 연결되는 제1중공축의 상,하 방향으로의 이동영역을 제한할 수 있는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치가 제공된다.
도 1은 종래 다결정 실리콘 잉곳 제조장치의 개략구성도,
도 2는 도 1의 "A"부분 확대단면도,
도 3은 본 발명 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치의 사시도,
도 4는 본 발명 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치의 분해사시도,
도 5는 본 발명 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치의 조립상태를 나타내는 단면도,
도 6은 도 4의 "B"부분 확대도,
도 7은 본 발명 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치의 승강작용을 나타내는 작용단면도,
도 8은 본 발명이 적용된 잉곳 제조장치의 탑베젤이 이상압력에 의해 미들베젤로부터 분리되는 상태를 나타내는 도면이고,
도 9는 도 8의 "C"부분 확대단면도이다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치에 대하여 상세하게 설명한다.
첨부도면 중 도 3은 본 발명 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치의 사시도이고, 도 4는 본 발명 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치의 분해사시도이다.
상기 도면에서 도시하는 바와 같은 본 발명 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치는 미들베젤(12)측에 고정 설치되는 구동부(110)와, 상기 구동부(110)의 구동에 의해 승강하는 승강부재(120)와, 상기 승강부재(120)의 수직방향으로의 이동을 안내하는 안내부재(140)와, 상기 승강부재(120)와 탑베젤(11) 사이에 배치되는 브라켓(130)을 포함하여 구성된다.
상기 구동부(110)는 미들베젤(12)의 일측에 설치되는 구동모터(111)와, 미들베젤(12)의 일측에 수직방향으로 배치되는 스크류(112)와, 상기 스크류(112)를 정역방향으로 회전시키도록 미들베젤(12)에 고정설치되는 구동모터(111)가 형성된다.
상기 승강부재(120)는 상기 스크류(112)가 삽입되도록 중앙에 수직방향으로 형성되는 관통홀(121)과, 하단부 외측에 돌출 형성된 플랜지부의 상측면에 형성되는 안착부(122)와, 상기 안착부(122)의 저면으로부터 관통 설치되어 안착부(122)의 상측에 수직방향으로 돌출되는 연결핀(123)이 형성된다. 상기 스크류(112)와 관통홀(121)의 결합면에는 스크류(112)의 회전에 의해 상기 승강부재(120)가 스크류(112)를 따라 승강하도록 서로 맞물리는 나선이 각각 형성된다.
또한, 상기 연결핀(123)은 안착부(122)의 상측면에서 수직방향으로 돌출되는 것으로, 나선이 형성된 부분이 승강부재(120)에 체결고정되고, 나선이 형성되지 않은 부분은 안착부(122)의 상측으로 노출된다.
상기 브라켓(130)은 탑베젤(11)의 일측에 고정되는 연결부(131)와, 내부에 상기 구동부(110)의 스크류(112)가 배치되도록 하단부가 상기 승강부재(120)의 상단부에 연결되고 상단부는 상기 연결부(131)에 고정되는 제1중공축(132)과, 상기 승강부재(120)의 안착부(122)와 접촉하는 제1중공부의 저면부에 형성되어 상기 연결핀(123)이 삽입되는 핀홀(133)과, 상기 제1중공축(132)의 하단부 외주면에 돌출되는 제1스토퍼(134)가 형성된다.
상기와 같이 탑베젤(11)에 고정되는 브라켓(130)의 하단부가 승강부재(120)의 안착부(122)에 안착된 상태에서, 나선이 형성되지 않은 연결핀(123)이 핀홀(133)에 단순히 삽입된 상태로 결합되어 있으므로, 수직방향으로 분리가능하게 연결된 상태를 유지하는 것과 동시에, 스크류(112)가 회전하는 과정에서 승강부재(120)가 제1중공축(132) 측에 결합된 상태를 유지할 수 있도록 한다.
상기 안내부재(140)는 상기 구동부(110)와 브라켓(130)의 사이에 마련되어 상기 브라켓(130)의 수직방향 이동을 안내하는 것으로, 내측에 상기 제1중공축(132)이 삽입되도록 제1중공축(132)을 감싸는 형태로 배치되고 하단부가 상기 미들베젤(12)측에 고정되는 제2중공축(141)과, 상기 제2중공축(141)의 내측면에 형성되어 상기 제1중공축(132)의 외측면에 접촉하는 부시(142)와, 탑베젤(11)의 이동영역의 하단부에서 상기 제1스토퍼(134)가 간섭되도록 상기 제2중공축(141)의 하단부 내주면에 돌출되는 제2스토퍼(143)가 형성된다.
한편, 상기 부시(142)는 제2중공축(141)의 내측에 다수 마련되는 것이 바람직하며, 다수의 부시(142) 중 하단부에 배치되는 부시(142)는 며 탑베젤(11)의 이동영역의 상단부에서 상기 제1스토퍼(134)가 간섭되는 위치에 형성된다.
또한, 상기 제2스토퍼(143)는 제1스토퍼(134)와의 간섭시 충격을 흡수할 수 있도록 완충기능을 제공할 수 있는 재질로 이루어지는 것도 바람직할 것이다.
지금부터는 상술한 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치의 제1실시예의 조립상태에 대하여 설명한다.
첨부도면 중 도 5는 본 발명 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치의 조립상태를 나타내는 단면도이고, 도 6은 도 4의 "B"부분 확대도이다.
구동부(110)의 구동모터(111)는 미들베젤(12)의 외측면에 고정설치되고, 상기 구동모터(111)에 의해 축방향으로 회전하는 스크류(112)는 미들베젤(12)의 외측에 수직방향으로 설치된다.
상기 승강부재(120)는 중앙의 관통홀(121)로 상기 스크류(112)가 삽입되도록 하여 스크류(112)의 회전방향에 따라 스크류(112)를 따라 수직방향으로 이동하도록 배치된다.
상기 브라켓(130)의 제1중공축(132)은 내측에 스크류(112)가 삽입되도록 수직방향으로 배치되면서 하단부가 상기 승강부재(120)의 안착부(122)에 안착되고, 상기 안착부(122)에 수직방향으로 돌출 형성된 연결핀(123)이 제1중공축(132)의 하단부에 형성된 핀홀(133)에 삽입되면서 승강부재(120)와 분리가능하게 결합된다. 또한, 상기 제1중공축(132)의 상단부에 고정되는 연결부(131)는 탑베젤(11)의 외측면에 고정된다.
상기 안내부재(140)의 제2중공축(141)은 상기 제1중공축(132)의 외측을 감싸도록 배치되며, 상기 미들베젤(12) 측에 고정설치되고, 내측면에 형성되는 부시(142)가 상기 제1중공축(132)의 외측면에 접촉되면서 제1중공축(132)의 수직방향으로의 이동을 안내한다.
특히, 상기 제1중공축(132)의 하단부 외측에 돌출 형성되는 제1스토퍼(134)는 상기 탑베젤(11)의 이동영역의 상단부에서 제2중공축(141)의 내측에 형성된 부시(142)에 간섭되면서 탑베젤(11)의 상측으로의 이동이 제한되고, 상기 탑베젤(11)의 이동영역의 하단부에서 제2중공축(141)의 하단부 내측에 형성된 제2스토퍼(143)에 간섭되면서 탑베젤(11)의 하측으로의 이동이 제한된다.
이하에서는 본 발명 다결정 실리콘 잉곳 제조장치의 탑베젤 승강장치의 승강작용에 대하여 설명한다.
첨부도면 중 도 7은 본 발명 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치의 승강작용을 나타내는 작용단면도이다.
구동모터(111)가 탑베젤(11)을 상승시키는 방향으로 구동하면 스크류(112)가 회전하면서, 스크류(112)와 나선으로 맞물려 있는 승강부재(120)가 스크류(112) 상에서 상측방향으로 이동하게 된다.
상기 승강부재(120)의 안착부(122)에 하단부가 지지되는 제1중공축(132)은 승강부재(120)의 상승시 승강부재(120)와 함께 상승하게 되며, 제1중공축(132)의 외측을 감싸는 제2중공축(141)의 내측면에 형성된 부시(142)가 상기 제1중공축(132)의 외측면에 접촉되어 있으므로, 제1중공축(132)의 수직방향으로의 이동이 안내된다.
상기 제1중공축(132)의 상승에 대하여 제1중공축(132)의 상단부와 탑베젤(11)은 연결부(131)에 의해 연결되어 있으므로, 상기와 같은 승강부재(120)의 상승에 의해 탑베젤(11)이 상측방향으로 이동하여 미들베젤(12)의 상단부로부터 이격된다.
특히, 제2중공축(141)의 내측면에 다수 형성된 부시(142) 중 하단부에 형성된 부시(142)는 탑베젤(11)의 이동영역의 상단부에 대응되는 위치에 형성되어 있으므로, 제1중공축(132)의 하단부에서 외측방향으로 돌출되도록 형성된 제1스토퍼(134)가 상기 부시(142)에 간섭되면서 탑베젤(11)의 상측방향으로의 이동이 제한된다.
마찬가지로, 구동모터(111)가 탑베젤(11)을 하강시키는 방향으로 구동하면, 승강부재(120)가 스크류(112)를 따라 하측방향으로 이동하게 되는데, 이때에는 상기 탑베젤(11)의 자중에 의해 브라켓(130)의 제1중공축(132) 하단부가 승강부재(120)의 안착부(122)에 안착되어 있으므로, 승강부재(120)가 하강하면 탑베젤(11)이 하측방향으로 이동하면서 미들베젤(12)의 상측을 마감한다.
또한, 탑베젤(11)의 이동영역의 하단부에 대응되는 위치에서는 제1중공축(132)의 하단부 외측면에 돌출 형성된 제1스토퍼(134)가 제2중공축(141)의 하단부 내측면에 형성된 제2스토퍼(143)에 간섭되면서 탑베젤(11)의 하측방향으로의 이동이 제한된다.
한편, 챔버 내부의 이상압력에 의해 미들베젤(12)의 상측으로부터 탑베젤(11)이 이격되는 상태를 살펴보면 다음과 같다.
첨부도면 중 도 8은 본 발명이 적용된 잉곳 제조장치의 탑베젤이 이상압력에 의해 미들베젤로부터 분리되는 상태를 나타내는 도면이고, 도 9는 도 8의 "C"부분 확대단면도이다.
먼저, 도 8의 (a)는 미들베젤(12)의 상,하부가 탑베젤(11)과 바텀베젤(13)에 의해 마감되어 내부에 핫존을 형성하는 챔버를 구성한 상태의 정면도로서, 챔버가 조립된 상태에서 실리콘 융액의 유출에 의해 베젤의 내측면이 파손되어 냉각수가 기화되는 경우, 챔버 내부의 압력이 급격하게 상승하게 된다. 챔버 내부에서 이상압력이 발생하여 탑베젤(11)을 들어올리는 방향으로 힘이 작용하게 되면, 도 8의 (b)와 같이 미들베젤(12)의 상측으로부터 탑베젤(11)이 상측방향으로 들어올려지면서 압력이 배출되므로 챔버가 폭발하는 것이 방지된다.
상기와 같이 챔버 내부압력에 의해 탑베젤(11)이 미들베젤(12)의 상측으로부터 이격되는 과정을 살펴보면 다음과 같다.
도 9와 같이 상기 브라켓(130)의 제1중공축(132)은 하단부가 상기 승강부재(120)의 안착부(122)에 안착되고, 상기 안착부(122)에 수직방향으로 돌출 형성된 연결핀(123)이 제1중공축(132)의 하단부에 형성된 핀홀(133)에 삽입되면서 승강부재(120)와 분리가능하게 결합되어 있다.
이러한 상태에서 챔버 내부에 이상압력이 발생하여 탑베젤(11)의 하부로부터 상측방향으로의 탑베젤(11)을 들어올리는 힘이 작용하게 되면, 탑베젤(11)의 자중보다 큰 압력이 발생하는 순간 탑베젤(11)이 미들베젤(12)의 상측으로부터 이격되면서 이격된 사이공간으로 압력이 배출되고, 탑베젤(11)을 들어올리는 압력이 해제되면 다시 하측방향으로 이동한다.
즉, 미들베젤(12)의 일측에 수직방향으로 배치된 제1중공축(132)의 상단부가 연결부(131)에 의해 탑베젤(11)에 연결되어 있는 상태에서, 상기 제1중공축(132)의 하단부는 승강부재(120)의 안착부(122)의 상측면에 안착 지지되어 있으므로, 탑베젤(11)의 하부에서 상측방향으로 들어올리는 힘이 작용하게 되면, 승강부재(120)의 안착부(122)로부터 상기 제1중공축(132)의 하단부가 분리된다.
상기와 같이 구동부(110)의 구동에 의해 상하방향으로 이동하는 승강부재(120)와 탑베젤(11)측에 연결되는 브라켓(130)이 분리가능하게 결합되고, 탑베젤(11)의 하중에 의해 제1중공축(132)의 하단부가 승강부재(120)의 안착부(122)에 지지된 상태를 유지하므로 정상적인 상태에서는 승강부재(120)의 승강에 따라 브라켓(130)이 상하방향으로 이동하게 되나, 상술한 바와 같이 챔버 내부의 이상압력에 의해 탑베젤(11)이 상측방향으로 들어올려지는 힘이 작용하는 경우에는 상기 승강부재(120)로부터 브라켓(130)이 분리되면서 탑베젤(11)이 미들베젤(12)로부터 이격되어 챔버 내부의 이상압력을 배출시킨다.
또한, 상기 이상압력에 의해 제1중공축(132)이 상승하는 과정에서 안내부재(140)에 의해 상하방향으로의 이동이 안내되는 것과 동시에, 제2중공축(141)의 내측에 형성된 부시(142)에 제1중공축(132)의 제1스토퍼(134)가 간섭되면서 상측방향으로의 이동이 제한되므로, 챔버 내부에 급격한 이상압력이 발생하는 경우 탑베젤(11)이 무리하게 상승하면서 제2중공축(141)으로부터 제1중공축(132)이 이탈하는 것이 방지된다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
110:구동부, 111:구동모터, 112:스크류, 120:승강부재, 121:관통홀,
122:안착부, 123:연결핀, 130:브라켓, 131:연결부, 132:제1중공축,
133:핀홀, 134:제1스토퍼, 140:안내부재, 141:제2중공축, 142:부시,
143:제2스토퍼

Claims (8)

  1. 다결정 실리콘 잉곳 제조장치의 챔버를 구성하는 미들베젤에 설치되어 탑베젤을 승강시키는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치에 있어서,
    미들베젤측에 수직방향으로 회전가능하게 설치되는 구동부;
    상기 구동부의 구동에 의해 승강하는 승강부재; 및,
    상기 승강부재와 상기 탑베젤의 사이를 연결하는 브라켓;을 포함하며,
    상기 브라켓은 챔버 내부에 압력이 상승하면 압력에 의해 미들베젤의 상측으로부터 이격될 수 있도록 승강부재의 상단부에 분리 가능하게 안착되는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 승강부재는 안착부에서 상측을 향해 돌출되는 연결핀이 형성되고, 상기 브라켓은 승강부재의 안착부와 접촉하는 저면부에 상기 연결핀이 삽입되는 핀홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 구동부는 구동모터와, 상기 구동모터에 의해 회전하는 스크류를 포함하고, 상기 승강부재는 상기 스크류에 맞물리도록 결합되는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 구동부와 브라켓의 사이에 마련되어 상기 브라켓의 승강을 안내하는 안내부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 브라켓은 내부에 상기 구동부의 스크류가 배치되도록 상기 승강부재의 상단부에 연결되는 제1중공축이 형성되고,
    상기 안내부재는 내측에 상기 제1중공축이 배치되도록 하단부가 상기 미들베젤측에 고정되는 제2중공축과, 상기 제2중공축의 내측면에 마련되어 상기 제1중공축의 외측면에 접촉하는 부시가 형성되는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제1중공축은 하단부 외주면에 제1스토퍼가 돌출 형성되는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 부시는 탑베젤의 이동영역의 상단부에서 제1스토퍼가 간섭되는 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 제2중공축은 하단부 내주면에 탑베젤의 이동영역의 하단부에서 제1스토퍼가 간섭되는 제2스토퍼가 형성되는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 잉곳 제조장치용 탑베젤 승강장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS5710321A (en) 1980-06-23 1982-01-19 Nec Corp Method for opening cap of vacuum vessel
EP0416187A2 (en) 1989-09-06 1991-03-13 Henny Penny Corporation A single handle lid opening, closing and locking mechanism for a large capacity pressure cooker
JPH10101470A (ja) 1996-07-13 1998-04-21 Leybold Syst Gmbh 重量のある設備部分を持ち上げ、旋回させかつ回転させるための装置
JPH1137625A (ja) 1997-07-11 1999-02-12 Oorand:Kk 連続搬送式食品処理装置

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