JPH0991998A - 半導体記憶装置 - Google Patents
半導体記憶装置Info
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- JPH0991998A JPH0991998A JP7266223A JP26622395A JPH0991998A JP H0991998 A JPH0991998 A JP H0991998A JP 7266223 A JP7266223 A JP 7266223A JP 26622395 A JP26622395 A JP 26622395A JP H0991998 A JPH0991998 A JP H0991998A
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- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/04—Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
- G11C29/08—Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
- G11C29/12—Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
- G11C29/46—Test trigger logic
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- G11C29/18—Address generation devices; Devices for accessing memories, e.g. details of addressing circuits
- G11C29/30—Accessing single arrays
- G11C29/34—Accessing multiple bits simultaneously
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
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- G11C29/38—Response verification devices
Landscapes
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
- Dram (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の入出力端子を有するメモリ装置のテス
トを行う場合の同測数の制限を緩和し、メモリテストの
生産性を改善する。 【解決手段】 メモリアレイ11の入出力パッドI/O
1〜I/O16は端から4個ずつグループ化され、各グ
ループに対応してそれぞれテスト回路14−1等を設け
る。入出力パッドI/O1,I/O5,I/O9,I/
O13のみがICテスタの図示しないテストデータ端子
に接続され、他の入出力パッドは未接続とする。テスト
回路14−1は、装置がテストモードに入ったことを検
出するためのテストモード検出回路21と、一の入出力
パッドI/O1から入力されたデータを4つのメモリセ
ルに書き込むテストモード書込回路22−1〜22−4
と、4つのメモリセルからデータを読み出したデータが
一致しているか否かを判定する一致回路23と、その判
定結果を入出力パッドI/O1に出力するデータ出力回
路24とを備える。
トを行う場合の同測数の制限を緩和し、メモリテストの
生産性を改善する。 【解決手段】 メモリアレイ11の入出力パッドI/O
1〜I/O16は端から4個ずつグループ化され、各グ
ループに対応してそれぞれテスト回路14−1等を設け
る。入出力パッドI/O1,I/O5,I/O9,I/
O13のみがICテスタの図示しないテストデータ端子
に接続され、他の入出力パッドは未接続とする。テスト
回路14−1は、装置がテストモードに入ったことを検
出するためのテストモード検出回路21と、一の入出力
パッドI/O1から入力されたデータを4つのメモリセ
ルに書き込むテストモード書込回路22−1〜22−4
と、4つのメモリセルからデータを読み出したデータが
一致しているか否かを判定する一致回路23と、その判
定結果を入出力パッドI/O1に出力するデータ出力回
路24とを備える。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はDRAM(Dynamic R
andom Access Memory)等の半導体記憶装置に係り、特に
複数の入出力端子を備えた半導体記憶装置に関する。
andom Access Memory)等の半導体記憶装置に係り、特に
複数の入出力端子を備えた半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、DRAMをはじめとする半導体
記憶装置(以下、メモリ製品という。)のテストは、I
Cテスタと呼ばれる試験装置によって行われるが、1つ
のメモリ製品のテストには数100秒という長い時間を
要するので、生産性の向上のためには、1台のテスタに
よって同時にテストできる製品数(以下、同測数とい
う。)を多くする必要がある。同測数は、ICテスタが
備えている、/RAS,/CAS,/WE信号等の制御
信号やアドレス信号のためのピン数(以下、制御・アド
レス数という。)、およびデータ入出力用の入出力端子
のピン数(以下、入出力数という。)に依存するので、
従来は、ICテスタに多くのピン数を備えさせることで
同測数を確保してきた。この場合、メモリ製品の入出力
端子数が少ない場合(1または4)には、主として、I
Cテスタの制御・アドレス数を如何に多くするかによっ
て同測数が定まっていた。
記憶装置(以下、メモリ製品という。)のテストは、I
Cテスタと呼ばれる試験装置によって行われるが、1つ
のメモリ製品のテストには数100秒という長い時間を
要するので、生産性の向上のためには、1台のテスタに
よって同時にテストできる製品数(以下、同測数とい
う。)を多くする必要がある。同測数は、ICテスタが
備えている、/RAS,/CAS,/WE信号等の制御
信号やアドレス信号のためのピン数(以下、制御・アド
レス数という。)、およびデータ入出力用の入出力端子
のピン数(以下、入出力数という。)に依存するので、
従来は、ICテスタに多くのピン数を備えさせることで
同測数を確保してきた。この場合、メモリ製品の入出力
端子数が少ない場合(1または4)には、主として、I
Cテスタの制御・アドレス数を如何に多くするかによっ
て同測数が定まっていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年、
メモリ製品に対する広ワード化(多ビット化)の要求に
伴い、8、16または32個の入出力端子を備えたメモ
リ製品が一般化してきた。このようにメモリ製品の入出
力端子が多数となると、同測数を律するのは、ICテス
タの制御・アドレス数というよりも、むしろ、ICテス
タの入出力数になる。例えば、入出力数が72のICテ
スタによって4ピンの入出力端子をもつメモリ製品をテ
ストする場合の同測数は18個であるが、16ピンの入
出力端子をもつメモリ製品の場合の同測数はわずか4個
となる。このため、生産性が著しく低下するという問題
があった。
メモリ製品に対する広ワード化(多ビット化)の要求に
伴い、8、16または32個の入出力端子を備えたメモ
リ製品が一般化してきた。このようにメモリ製品の入出
力端子が多数となると、同測数を律するのは、ICテス
タの制御・アドレス数というよりも、むしろ、ICテス
タの入出力数になる。例えば、入出力数が72のICテ
スタによって4ピンの入出力端子をもつメモリ製品をテ
ストする場合の同測数は18個であるが、16ピンの入
出力端子をもつメモリ製品の場合の同測数はわずか4個
となる。このため、生産性が著しく低下するという問題
があった。
【0004】これに対し、ICテスタの入出力数をさら
に増大させて同測数を確保することも考えられるが、こ
れではICテスタ自体が大型化し、装置コストの上昇と
いう問題を生ずる。また、入出力数を増大させるのにも
限界があるため、将来メモリ製品の入出力端子数がさら
に増大した場合に対応できないという問題もある。
に増大させて同測数を確保することも考えられるが、こ
れではICテスタ自体が大型化し、装置コストの上昇と
いう問題を生ずる。また、入出力数を増大させるのにも
限界があるため、将来メモリ製品の入出力端子数がさら
に増大した場合に対応できないという問題もある。
【0005】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、複数の入出力端子を有するメモリ装
置のテスト等を行う場合の同測数の制限を緩和し、メモ
リテストの生産性を改善することができる半導体記憶装
置を提供することにある。
ので、その目的は、複数の入出力端子を有するメモリ装
置のテスト等を行う場合の同測数の制限を緩和し、メモ
リテストの生産性を改善することができる半導体記憶装
置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の半導体記
憶装置は、データ入出力用の複数の入出力端子と、これ
らの入出力端子のうちの一の入出力端子から入力された
データを複数のメモリセルに書き込む書込手段と、前記
複数のメモリセル各々からデータを読み出し、それらの
データが一致しているか否か、および一致している場合
の一致データを判定する判定手段と、この判定手段によ
る判定結果を前記一の入出力端子に出力する出力手段と
を備え、前記入出力端子のうちの一部の入出力端子のみ
を使用してすべてのメモリセルのテストを行うように構
成したものである。
憶装置は、データ入出力用の複数の入出力端子と、これ
らの入出力端子のうちの一の入出力端子から入力された
データを複数のメモリセルに書き込む書込手段と、前記
複数のメモリセル各々からデータを読み出し、それらの
データが一致しているか否か、および一致している場合
の一致データを判定する判定手段と、この判定手段によ
る判定結果を前記一の入出力端子に出力する出力手段と
を備え、前記入出力端子のうちの一部の入出力端子のみ
を使用してすべてのメモリセルのテストを行うように構
成したものである。
【0007】この半導体記憶装置では、複数の入出力端
子のうちの一の入出力端子を介して複数のメモリセルに
同時にデータ書込みが行われると共に、これらのメモリ
セルから同時に読み出したデータそれぞれが一致してい
るか否か、および一致している場合の一致データが判定
され、その判定結果が前記一の入出力端子から出力され
る。これにより、一部の入出力端子のみを使用してすべ
てのメモリセルのテストが可能となる。
子のうちの一の入出力端子を介して複数のメモリセルに
同時にデータ書込みが行われると共に、これらのメモリ
セルから同時に読み出したデータそれぞれが一致してい
るか否か、および一致している場合の一致データが判定
され、その判定結果が前記一の入出力端子から出力され
る。これにより、一部の入出力端子のみを使用してすべ
てのメモリセルのテストが可能となる。
【0008】請求項2記載の半導体記憶装置は、請求項
1記載の半導体記憶装置において、さらに、メモリセル
をテストするためのテストモードへの移行を検出するテ
ストモード検出手段を備えている。この半導体記憶装置
では、テストモード検出手段によってテストモード移行
が検出された後、上記のようなメモリセルテストが行わ
れる。
1記載の半導体記憶装置において、さらに、メモリセル
をテストするためのテストモードへの移行を検出するテ
ストモード検出手段を備えている。この半導体記憶装置
では、テストモード検出手段によってテストモード移行
が検出された後、上記のようなメモリセルテストが行わ
れる。
【0009】請求項3記載の半導体記憶装置は、請求項
2記載の半導体記憶装置において、前記テストモード検
出手段が、メモリセルへの読み書き制御に使用する制御
信号を入力するための1または複数のピンおよびアドレ
ス信号を入力するための特定のピンに与えられた信号が
所定の条件を満たしたことをもってテストモードへの移
行を検出するように構成したものである。この半導体記
憶装置では、テストモードへの移行は、一または複数の
制御信号およびアドレス信号の一部が所定条件を満たし
たときに行われる。
2記載の半導体記憶装置において、前記テストモード検
出手段が、メモリセルへの読み書き制御に使用する制御
信号を入力するための1または複数のピンおよびアドレ
ス信号を入力するための特定のピンに与えられた信号が
所定の条件を満たしたことをもってテストモードへの移
行を検出するように構成したものである。この半導体記
憶装置では、テストモードへの移行は、一または複数の
制御信号およびアドレス信号の一部が所定条件を満たし
たときに行われる。
【0010】請求項4記載の半導体記憶装置は、請求項
3記載の半導体記憶装置において、前記前記テストモー
ド検出手段がテストモードへの移行を検出するための所
定の条件が、ライトイネーブル信号が活性化した状態で
カラム・アドレス・ストローブ信号がロウ・アドレス・
ストローブ信号よりも早く活性化するCASビフォアR
AS状態において特定の2つのアドレスラインに所定デ
ータがセットされたこと、であるように構成したもので
ある。この半導体記憶装置では、制御信号およびアドレ
ス信号の特定の組合せ条件によってテストモードへ移行
する。
3記載の半導体記憶装置において、前記前記テストモー
ド検出手段がテストモードへの移行を検出するための所
定の条件が、ライトイネーブル信号が活性化した状態で
カラム・アドレス・ストローブ信号がロウ・アドレス・
ストローブ信号よりも早く活性化するCASビフォアR
AS状態において特定の2つのアドレスラインに所定デ
ータがセットされたこと、であるように構成したもので
ある。この半導体記憶装置では、制御信号およびアドレ
ス信号の特定の組合せ条件によってテストモードへ移行
する。
【0011】請求項5記載の半導体記憶装置は、請求項
3記載の半導体記憶装置において、前記テストモード検
出手段が、制御信号用のピンおよびアドレス信号用のピ
ンのうち特定のピンに通常電圧以上の高電圧が印加され
たことをもってテストモードへの移行を検出するように
構成したものである。この半導体記憶装置では、特定ピ
ンに印加される電圧レベルによってテストモードへ移行
する。
3記載の半導体記憶装置において、前記テストモード検
出手段が、制御信号用のピンおよびアドレス信号用のピ
ンのうち特定のピンに通常電圧以上の高電圧が印加され
たことをもってテストモードへの移行を検出するように
構成したものである。この半導体記憶装置では、特定ピ
ンに印加される電圧レベルによってテストモードへ移行
する。
【0012】
【実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面を参照
して具体的に説明する。
して具体的に説明する。
【0013】図1は本発明の一実施の形態に係る半導体
記憶装置の要部構成を表すものである。ここでは、DR
AM装置を例に説明する。
記憶装置の要部構成を表すものである。ここでは、DR
AM装置を例に説明する。
【0014】このDRAM装置は、多数のメモリセルか
らなる16ビット構成のメモリアレイ11と、メモリア
レイ11の各構成ビットごとに設けられたメインアンプ
M1〜M16と、各構成ビットごとのデータ入出力のた
めの入出力パッドI/O1〜I/O16と、メインアン
プM1〜M16と入出力パッドI/O1〜I/O16と
の間を結ぶ入出力バス12上にそれぞれ設けられた入出
力バッファ13−1〜13−16と、4つのテスト回路
14−1〜14−4とを備えている。なお、ここではテ
スト回路14−1のみを図示し、他は省略している。入
出力パッドI/O1〜I/O16は端から4個ずつグル
ープ化され、これらの各グループに対応してテスト回路
14−1〜14−4が設けられている。そして、各グル
ープの代表としての入出力パッドI/O1,I/O5,
I/O9,I/O13のみがICテスタのテストデータ
端子(図示せず)に接続され、他の入出力パッドは未接
続となっている。
らなる16ビット構成のメモリアレイ11と、メモリア
レイ11の各構成ビットごとに設けられたメインアンプ
M1〜M16と、各構成ビットごとのデータ入出力のた
めの入出力パッドI/O1〜I/O16と、メインアン
プM1〜M16と入出力パッドI/O1〜I/O16と
の間を結ぶ入出力バス12上にそれぞれ設けられた入出
力バッファ13−1〜13−16と、4つのテスト回路
14−1〜14−4とを備えている。なお、ここではテ
スト回路14−1のみを図示し、他は省略している。入
出力パッドI/O1〜I/O16は端から4個ずつグル
ープ化され、これらの各グループに対応してテスト回路
14−1〜14−4が設けられている。そして、各グル
ープの代表としての入出力パッドI/O1,I/O5,
I/O9,I/O13のみがICテスタのテストデータ
端子(図示せず)に接続され、他の入出力パッドは未接
続となっている。
【0015】第1の入出力パッドグループを構成する出
力パッドI/O1〜I/O4については、テスト回路1
4−1が設けられている。このテスト回路14−1は、
入出力バッファ13−1に接続されたテストモード検出
回路21と、入力側が入出力バッファ13−1に共通接
続されると共に出力側がそれぞれメインアンプM1〜M
4に接続されたテストモード書込回路22−1〜22−
4と、入力側がそれぞれメインアンプM1〜M4に接続
された一致回路23と、一の入力側が一致回路23の出
力側に接続され他の入力側がメインアンプM1に接続さ
れると共に出力側が入出力バッファ13−1に接続され
たデータ出力回路24とを備えている。
力パッドI/O1〜I/O4については、テスト回路1
4−1が設けられている。このテスト回路14−1は、
入出力バッファ13−1に接続されたテストモード検出
回路21と、入力側が入出力バッファ13−1に共通接
続されると共に出力側がそれぞれメインアンプM1〜M
4に接続されたテストモード書込回路22−1〜22−
4と、入力側がそれぞれメインアンプM1〜M4に接続
された一致回路23と、一の入力側が一致回路23の出
力側に接続され他の入力側がメインアンプM1に接続さ
れると共に出力側が入出力バッファ13−1に接続され
たデータ出力回路24とを備えている。
【0016】テストモード検出回路21には、メモリア
レイ11に入力されるべきアドレス信号15の一部(A
0,A1)および制御信号(/RAS,/CAS,/W
E)が分岐して入力されるようになっており、これらの
信号が所定の条件を満たしたときに本DRAM装置がテ
ストモードに入ったことを検出するようになっている。
テストモード書込回路22−1〜22−4は、いずれも
入出力パッドI/O1からの入力データをメモリアレイ
11の4つのメモリセルに同時に書き込むためのバッフ
ァドライバである。一致回路23は、メモリアレイ11
の4つのメモリセルから読み出したデータが一致してい
るか否かを判定して判定信号を出力するためのもので、
例えば後述するような回路(図2)で構成される。デー
タ出力回路24は、一致回路23からの判定信号を基に
入出力バッファ13−1にテスト結果を出力するための
もので、例えば後述するような回路(図3)で構成され
る。
レイ11に入力されるべきアドレス信号15の一部(A
0,A1)および制御信号(/RAS,/CAS,/W
E)が分岐して入力されるようになっており、これらの
信号が所定の条件を満たしたときに本DRAM装置がテ
ストモードに入ったことを検出するようになっている。
テストモード書込回路22−1〜22−4は、いずれも
入出力パッドI/O1からの入力データをメモリアレイ
11の4つのメモリセルに同時に書き込むためのバッフ
ァドライバである。一致回路23は、メモリアレイ11
の4つのメモリセルから読み出したデータが一致してい
るか否かを判定して判定信号を出力するためのもので、
例えば後述するような回路(図2)で構成される。デー
タ出力回路24は、一致回路23からの判定信号を基に
入出力バッファ13−1にテスト結果を出力するための
もので、例えば後述するような回路(図3)で構成され
る。
【0017】図2は、図1における一致回路23の構成
を表すものである。この図に示すように、一致回路23
は、メインアンプM1,M2の出力を入力とするEX−
NOR(排他的論理和の否定)回路31と、メインアン
プM3,M4の出力を入力とするEX−NOR回路32
と、EX−NOR回路31,32の出力を入力とするア
ンド回路33とを備えている。そして、アンド回路33
は、メインアンプM1〜4の出力がすべて“0”または
“1”で一致したときには、判定信号34として“1”
を出力すると共に、それ以外の場合には“0”を出力す
るようになっている。
を表すものである。この図に示すように、一致回路23
は、メインアンプM1,M2の出力を入力とするEX−
NOR(排他的論理和の否定)回路31と、メインアン
プM3,M4の出力を入力とするEX−NOR回路32
と、EX−NOR回路31,32の出力を入力とするア
ンド回路33とを備えている。そして、アンド回路33
は、メインアンプM1〜4の出力がすべて“0”または
“1”で一致したときには、判定信号34として“1”
を出力すると共に、それ以外の場合には“0”を出力す
るようになっている。
【0018】図3は、図1におけるデータ出力回路24
の構成を表すものである。このデータ出力回路24は、
判定信号34が入力される入力端子41に直列接続され
たインバータ42,43と、ゲートが共にインバータ4
3の出力端に接続されソースが共に電源に接続されたP
MOSトランジスタ44,45と、メインアンプM1の
出力端に接続されたインバータ48と、インバータ48
の出力端に並列接続されたインバータ49,50と、イ
ンバータ49の出力端に接続されたインバータ51と、
ゲートがインバータ50の出力端に接続されドレインが
電源に接続されたNMOSトランジスタ53と、ゲート
がインバータ51の出力端に接続されソースが接地され
たNMOSトランジスタ52とを備えている。PMOS
トランジスタ44のドレインはインバータ50の入力端
に接続され、PMOSトランジスタ45のドレインはイ
ンバータ51の入力端に接続されている。NMOSトラ
ンジスタ52のドレインはNMOSトランジスタ53の
ソースに接続されると共に出力端54に接続されてい
る。
の構成を表すものである。このデータ出力回路24は、
判定信号34が入力される入力端子41に直列接続され
たインバータ42,43と、ゲートが共にインバータ4
3の出力端に接続されソースが共に電源に接続されたP
MOSトランジスタ44,45と、メインアンプM1の
出力端に接続されたインバータ48と、インバータ48
の出力端に並列接続されたインバータ49,50と、イ
ンバータ49の出力端に接続されたインバータ51と、
ゲートがインバータ50の出力端に接続されドレインが
電源に接続されたNMOSトランジスタ53と、ゲート
がインバータ51の出力端に接続されソースが接地され
たNMOSトランジスタ52とを備えている。PMOS
トランジスタ44のドレインはインバータ50の入力端
に接続され、PMOSトランジスタ45のドレインはイ
ンバータ51の入力端に接続されている。NMOSトラ
ンジスタ52のドレインはNMOSトランジスタ53の
ソースに接続されると共に出力端54に接続されてい
る。
【0019】なお、他の(第2〜第4)入出力パッドグ
ループを構成する入出力パッドI/O5〜I/O8、I
/O9〜I/O12、I/O13〜I/O16について
も、それぞれに対応してテスト回路14−2,14−
3,14−4が設けられているが、いずれもテスト回路
14−1と同様の構成であるので、説明を省略する。
ループを構成する入出力パッドI/O5〜I/O8、I
/O9〜I/O12、I/O13〜I/O16について
も、それぞれに対応してテスト回路14−2,14−
3,14−4が設けられているが、いずれもテスト回路
14−1と同様の構成であるので、説明を省略する。
【0020】次に、以上のような構成のDRAM装置の
動作を説明する。
動作を説明する。
【0021】テストモード検出回路21は、CASビフ
ォアRAS状態において特定の2つのアドレスラインに
所定データがセットされると、これを検出してテストモ
ードに入る。より具体的には、図4に示すように、2つ
のアドレス信号A0,A1(同図(d),(e))がそ
れぞれ“0”,“1”にセットされ、かつ/WE信号お
よび/CAS信号(同図(b),(c))がアクティブ
状態(“L”レベル)である場合において、/RAS信
号(同図(a))がT1のタイミングでアクティブ状態
(“L”レベル)に変化すると、テストモード検出回路
21はこれを検出して、本DRAM装置がテストモード
に移行したことを認識する。
ォアRAS状態において特定の2つのアドレスラインに
所定データがセットされると、これを検出してテストモ
ードに入る。より具体的には、図4に示すように、2つ
のアドレス信号A0,A1(同図(d),(e))がそ
れぞれ“0”,“1”にセットされ、かつ/WE信号お
よび/CAS信号(同図(b),(c))がアクティブ
状態(“L”レベル)である場合において、/RAS信
号(同図(a))がT1のタイミングでアクティブ状態
(“L”レベル)に変化すると、テストモード検出回路
21はこれを検出して、本DRAM装置がテストモード
に移行したことを認識する。
【0022】次に、図示しないICテスタから入出力パ
ッドI/O1にテストデータとして“0”または“1”
が入力されると、このデータは入出力バッファ13−1
およびテストモード書込回路22−1〜22−4を介し
てメインアンプM1〜M4に入力され、メモリアレイ1
1の4つのメモリセルに同時に書き込まれる。
ッドI/O1にテストデータとして“0”または“1”
が入力されると、このデータは入出力バッファ13−1
およびテストモード書込回路22−1〜22−4を介し
てメインアンプM1〜M4に入力され、メモリアレイ1
1の4つのメモリセルに同時に書き込まれる。
【0023】同様にして、入出力パッドI/O5,9,
13からそれぞれ入力されたテストデータは、それぞれ
対応するようにしてテスト回路14−5,14−9,1
4−13(図示せず)の各テストモード書込回路により
各4つのメモリセルに同時に書き込まれる。なお、入出
力パッドI/O1,5,9,13からそれぞれ同時に入
力されるテストデータ(“0”または“1”)はすべて
同一であってもよいし、異なっていてもよい。
13からそれぞれ入力されたテストデータは、それぞれ
対応するようにしてテスト回路14−5,14−9,1
4−13(図示せず)の各テストモード書込回路により
各4つのメモリセルに同時に書き込まれる。なお、入出
力パッドI/O1,5,9,13からそれぞれ同時に入
力されるテストデータ(“0”または“1”)はすべて
同一であってもよいし、異なっていてもよい。
【0024】メモリセルへのテストデータ書込みが終了
すると、今度はその書き込んだデータの読み出しを行
う。メモリアレイ11の4つのメモリセルから読み出さ
れたデータは、メインアンプM1〜M4を介して一致回
路23に入力される。一致回路23は、読み出された4
つのデータの一致・不一致を判定し、その判定結果をデ
ータ出力回路24に出力する。より具体的には、読み出
したデータがすべて“0”または“1”で一致したとき
には、判定信号34として“1”を出力すると共に、そ
れ以外の場合には“0”を出力する。
すると、今度はその書き込んだデータの読み出しを行
う。メモリアレイ11の4つのメモリセルから読み出さ
れたデータは、メインアンプM1〜M4を介して一致回
路23に入力される。一致回路23は、読み出された4
つのデータの一致・不一致を判定し、その判定結果をデ
ータ出力回路24に出力する。より具体的には、読み出
したデータがすべて“0”または“1”で一致したとき
には、判定信号34として“1”を出力すると共に、そ
れ以外の場合には“0”を出力する。
【0025】一致回路23による判定の結果、4つのデ
ータが一致した場合には、図3のデータ出力回路24の
入力端子41に判定信号“1”が入力されるため、PM
OSトランジスタ44,45は共にオフとなる。このと
き、4つのデータがすべて“1”で一致したとすると、
メインアンプM1からデータ“1”が入力されるため、
トランジスタ52,53は、それぞれオフ、オンとな
り、出力端子54から“1”が出力される。一方、4つ
のデータがすべて“0”で一致したとすると、メインア
ンプM1からデータ“0”が入力されるため、トランジ
スタ52,53は、それぞれオン、オフとなり、出力端
子54から“0”が出力される。
ータが一致した場合には、図3のデータ出力回路24の
入力端子41に判定信号“1”が入力されるため、PM
OSトランジスタ44,45は共にオフとなる。このと
き、4つのデータがすべて“1”で一致したとすると、
メインアンプM1からデータ“1”が入力されるため、
トランジスタ52,53は、それぞれオフ、オンとな
り、出力端子54から“1”が出力される。一方、4つ
のデータがすべて“0”で一致したとすると、メインア
ンプM1からデータ“0”が入力されるため、トランジ
スタ52,53は、それぞれオン、オフとなり、出力端
子54から“0”が出力される。
【0026】一方、4つのデータが不一致の場合には、
図3のデータ出力回路24の入力端子41に判定信号
“0”が入力されるため、PMOSトランジスタ44,
45は共にオンとなる。これにより、NMOSトランジ
スタ52,53は共にオフとなり、出力端子54は高イ
ンピーダンス状態となる。
図3のデータ出力回路24の入力端子41に判定信号
“0”が入力されるため、PMOSトランジスタ44,
45は共にオンとなる。これにより、NMOSトランジ
スタ52,53は共にオフとなり、出力端子54は高イ
ンピーダンス状態となる。
【0027】データ出力回路24から出力された結果デ
ータは、入出力バッファ13−1を介して入出力パッド
I/O1から出力される。ICテスタ(図示せず)は、
結果データを基に、テスト対象の4つのメモリセルの良
否を判定する。すなわち、結果データが“1”のとき
は、データ“1”を書き込んだ4つのメモリセルからす
べて“1”が読み出されていて書込データと読出データ
とが一致していると判断する。結果データが“0”のと
きは、データ“0”を書き込んだ4つのメモリセルから
すべて“0”が読み出されていて書込データと読出デー
タとが一致していると判断する。結果データが高インピ
ーダンス状態のときは、データの不一致、すなわちメモ
リエラー(書込エラーまたは読出エラー)が発生したも
のと判断する。
ータは、入出力バッファ13−1を介して入出力パッド
I/O1から出力される。ICテスタ(図示せず)は、
結果データを基に、テスト対象の4つのメモリセルの良
否を判定する。すなわち、結果データが“1”のとき
は、データ“1”を書き込んだ4つのメモリセルからす
べて“1”が読み出されていて書込データと読出データ
とが一致していると判断する。結果データが“0”のと
きは、データ“0”を書き込んだ4つのメモリセルから
すべて“0”が読み出されていて書込データと読出デー
タとが一致していると判断する。結果データが高インピ
ーダンス状態のときは、データの不一致、すなわちメモ
リエラー(書込エラーまたは読出エラー)が発生したも
のと判断する。
【0028】同様にして、他のテスト回路14−2〜1
4−4からも、それぞれ4つのメモリセルに関する結果
データが出力されて、それぞれ入出力パッドI/O5,
9,13からICテスタへと出力され、ICテスタは、
この結果データを基に、それぞれテスト対象の4つのメ
モリセルの良否を判定する。
4−4からも、それぞれ4つのメモリセルに関する結果
データが出力されて、それぞれ入出力パッドI/O5,
9,13からICテスタへと出力され、ICテスタは、
この結果データを基に、それぞれテスト対象の4つのメ
モリセルの良否を判定する。
【0029】このようにして、本実施の形態では、16
の入出力パッドのうちの4つのみを使用してすべてのメ
モリセルのテストを行うことにより、チップ(メモリ製
品)としての良否判定を行うことができる。このため、
16ビットという多ビット構成のDRAM装置に対して
も、ICテスタによる同測数を効果的に増大させること
ができる。
の入出力パッドのうちの4つのみを使用してすべてのメ
モリセルのテストを行うことにより、チップ(メモリ製
品)としての良否判定を行うことができる。このため、
16ビットという多ビット構成のDRAM装置に対して
も、ICテスタによる同測数を効果的に増大させること
ができる。
【0030】なお、本実施の形態では、アドレス信号A
0,A1が所定値の組合せにセットされていることを前
提にCASビフォアRAS状態に移行したことをもって
テストモード移行条件としたが、本発明はこれに限定さ
れるものではなく、特定信号(例えば/RAS,/CA
S,/WE,/OE等の制御信号やアドレス信号の少な
くとも1つ)を通常の電源電圧(3〜5V)以上の電圧
(例えば10V)にすることでテストモード移行条件と
すようにしてもよい。この場合は、その特定信号のみを
メモリアレイ11のほかテストモード検出回路21にも
入力されるようにすれば足りる。
0,A1が所定値の組合せにセットされていることを前
提にCASビフォアRAS状態に移行したことをもって
テストモード移行条件としたが、本発明はこれに限定さ
れるものではなく、特定信号(例えば/RAS,/CA
S,/WE,/OE等の制御信号やアドレス信号の少な
くとも1つ)を通常の電源電圧(3〜5V)以上の電圧
(例えば10V)にすることでテストモード移行条件と
すようにしてもよい。この場合は、その特定信号のみを
メモリアレイ11のほかテストモード検出回路21にも
入力されるようにすれば足りる。
【0031】また、本発明は16ビット構成のDRAM
装置に限定されるものではない。例えば、8ビット構成
の場合には、入出力パッドI/O1,3,5,7の4つ
を使用し、1つの入出力パッドによって2つのメモリセ
ルのテストを行うように構成すればよく、また、32ビ
ット構成の場合には、入出力パッドI/O1,9,1
7,25の4つを使用し、1つの入出力パッドによって
8つのメモリセルのテストを行うように構成すればよ
い。
装置に限定されるものではない。例えば、8ビット構成
の場合には、入出力パッドI/O1,3,5,7の4つ
を使用し、1つの入出力パッドによって2つのメモリセ
ルのテストを行うように構成すればよく、また、32ビ
ット構成の場合には、入出力パッドI/O1,9,1
7,25の4つを使用し、1つの入出力パッドによって
8つのメモリセルのテストを行うように構成すればよ
い。
【0032】さらに、本発明はDRAM装置に限定され
るものではなく、その他の半導体記憶装置、例えばSR
AM装置、ROM装置、EEPROM、フラッシュメモ
リ等にも適用できることはいうまでもない。
るものではなく、その他の半導体記憶装置、例えばSR
AM装置、ROM装置、EEPROM、フラッシュメモ
リ等にも適用できることはいうまでもない。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように本発明の半導体記憶
装置によれば、複数の入出力端子のうちの一の入出力端
子を介して複数のメモリセルに同時にデータ書込みを行
うと共に、これらのメモリセルから同時に読み出したデ
ータの一致を判定し、その判定結果を前記一の入出力端
子から出力するようにしたので、一部の入出端子のみを
使用してすべてのメモリセルのテストが可能となる。こ
れにより、ICテスタでメモリ製品のテストを行う場合
の同測数が増大し、多ビット構成のメモリ製品の検査に
要するコストを低減でき、生産性を向上することができ
る。
装置によれば、複数の入出力端子のうちの一の入出力端
子を介して複数のメモリセルに同時にデータ書込みを行
うと共に、これらのメモリセルから同時に読み出したデ
ータの一致を判定し、その判定結果を前記一の入出力端
子から出力するようにしたので、一部の入出端子のみを
使用してすべてのメモリセルのテストが可能となる。こ
れにより、ICテスタでメモリ製品のテストを行う場合
の同測数が増大し、多ビット構成のメモリ製品の検査に
要するコストを低減でき、生産性を向上することができ
る。
【図1】本発明の一実施の形態に係る半導体記憶装置の
構成を表す図である。
構成を表す図である。
【図2】図1における一致回路の構成を表す回路図であ
る。
る。
【図3】図1におけるデータ出力回路の構成を表す回路
図である。
図である。
【図4】テストモード移行条件を表すタイミング図であ
る。
る。
11 メモリアレイ 12 入出力バス 13−1〜13−16 入出力バッファ 14−1 テスト回路 I/O1〜I/O16 入出力パッド M1〜M16 メインアンプ 21 テストモード検出回路 22−1〜22−4 テストモード書込回路 23 一致回路 24 データ出力回路
Claims (5)
- 【請求項1】 データ入出力用の複数の入出力端子と、 これらの入出力端子のうちの一の入出力端子から入力さ
れたデータを複数のメモリセルに書き込む書込手段と、 前記複数のメモリセル各々からデータを読み出し、それ
らのデータが一致しているか否か、および一致している
場合の一致データを判定する判定手段と、 この判定手段による判定結果を前記一の入出力端子に出
力する出力手段とを備え、 前記入出力端子のうちの一部の入出力端子のみを使用し
てすべてのメモリセルのテストを行うようにしたことを
特徴とする半導体記憶装置。 - 【請求項2】 さらに、メモリセルをテストするための
テストモードへの移行を検出するテストモード検出手段
を備えたことを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装
置。 - 【請求項3】 前記テストモード検出手段は、メモリセ
ルへの読み書き制御に使用する制御信号を入力するため
の1または複数のピンおよびアドレス信号を入力するた
めの特定のピンに与えられた信号が所定の条件を満たし
たことをもってテストモードへの移行を検出することを
特徴とする請求項2記載の半導体記憶装置。 - 【請求項4】 前記テストモード検出手段がテストモー
ドへの移行を検出するための所定の条件は、ライトイネ
ーブル信号が活性化した状態でカラム・アドレス・スト
ローブ信号がロウ・アドレス・ストローブ信号よりも早
く活性化するCASビフォアRAS状態において特定の
2つのアドレスラインに所定データがセットされたこ
と、であることを特徴とする請求項3記載の半導体記憶
装置。 - 【請求項5】 前記テストモード検出手段は、前記制御
信号用のピンおよびアドレス信号用のピンのうち、特定
のピンに通常電圧以上の高電圧が印加されたことをもっ
てテストモードへの移行を検出することを特徴とする請
求項3記載の半導体記憶装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7266223A JPH0991998A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | 半導体記憶装置 |
KR1019960039154A KR970018600A (ko) | 1995-09-20 | 1996-09-10 | 반도체 기억장치 |
US08/715,069 US5717643A (en) | 1995-09-20 | 1996-09-19 | Semiconductor memory device with testing function |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7266223A JPH0991998A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | 半導体記憶装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0991998A true JPH0991998A (ja) | 1997-04-04 |
Family
ID=17427982
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7266223A Pending JPH0991998A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | 半導体記憶装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5717643A (ja) |
JP (1) | JPH0991998A (ja) |
KR (1) | KR970018600A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6301678B1 (en) | 1998-05-06 | 2001-10-09 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Test circuit for reducing test time in semiconductor memory device having multiple data input/output terminals |
JP2003086000A (ja) * | 2001-09-10 | 2003-03-20 | Sharp Corp | 半導体記憶装置およびその試験方法 |
KR20030032827A (ko) * | 2001-10-18 | 2003-04-26 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 반도체 장치 |
JP2006079780A (ja) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Renesas Technology Corp | 半導体記憶装置 |
US7114108B2 (en) | 2001-01-26 | 2006-09-26 | Samsung Eelctronics Co., Ltd. | Semiconductor test system and method for effectively testing a semiconductor device having many pins |
KR100660538B1 (ko) * | 2004-06-30 | 2006-12-22 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 장치 |
JP2007087019A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の設計装置、設計方法及びプログラム |
JP2007272982A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体記憶装置およびその検査方法 |
JP2009070456A (ja) * | 2007-09-12 | 2009-04-02 | Renesas Technology Corp | 半導体記憶装置 |
KR100935645B1 (ko) * | 2001-10-25 | 2010-01-07 | 삼성전자주식회사 | 테스트 어레이 및 어레이 테스트 방법 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5862146A (en) * | 1997-04-15 | 1999-01-19 | Texas Instruments Incorporated | Process of testing memory parts and equipment for conducting the testing |
US6009026A (en) * | 1997-07-28 | 1999-12-28 | International Business Machines Corporation | Compressed input/output test mode |
US5926422A (en) * | 1997-10-02 | 1999-07-20 | Texas Instruments Incorporated | Integrated circuit memory device having current-mode data compression test mode |
KR100480568B1 (ko) * | 1997-10-27 | 2005-09-30 | 삼성전자주식회사 | 고전압검출부,및이를구비한반도체메모리장치와반도체메모리장치의모드구별방법 |
KR100265764B1 (ko) * | 1998-02-02 | 2000-10-02 | 윤종용 | 다수군의 데이터 입출력 채널들 중 어느 일군이 선택되어 테스트되는 반도체 메모리장치 |
US5933378A (en) | 1998-02-26 | 1999-08-03 | Micron Technology, Inc. | Integrated circuit having forced substrate test mode with improved substrate isolation |
KR100425444B1 (ko) * | 2001-03-27 | 2004-03-30 | 삼성전자주식회사 | 칩 선택회로를 구비하는 반도체 메모리장치 및 칩선택신호 발생 방법 |
JP2003168300A (ja) * | 2001-11-29 | 2003-06-13 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
US7298895B2 (en) * | 2003-04-15 | 2007-11-20 | Eastman Kodak Company | Method for automatically classifying images into events |
US6865297B2 (en) * | 2003-04-15 | 2005-03-08 | Eastman Kodak Company | Method for automatically classifying images into events in a multimedia authoring application |
US8078618B2 (en) | 2006-01-30 | 2011-12-13 | Eastman Kodak Company | Automatic multimode system for organizing and retrieving content data files |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5228000A (en) * | 1990-08-02 | 1993-07-13 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Test circuit of semiconductor memory device |
JP2812004B2 (ja) * | 1991-06-27 | 1998-10-15 | 日本電気株式会社 | スタティック型ランダムアクセスメモリ装置 |
JPH07312100A (ja) * | 1994-05-17 | 1995-11-28 | Seiko Instr Inc | 半導体メモリ集積回路 |
-
1995
- 1995-09-20 JP JP7266223A patent/JPH0991998A/ja active Pending
-
1996
- 1996-09-10 KR KR1019960039154A patent/KR970018600A/ko not_active Application Discontinuation
- 1996-09-19 US US08/715,069 patent/US5717643A/en not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6301678B1 (en) | 1998-05-06 | 2001-10-09 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Test circuit for reducing test time in semiconductor memory device having multiple data input/output terminals |
US7114108B2 (en) | 2001-01-26 | 2006-09-26 | Samsung Eelctronics Co., Ltd. | Semiconductor test system and method for effectively testing a semiconductor device having many pins |
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KR100935645B1 (ko) * | 2001-10-25 | 2010-01-07 | 삼성전자주식회사 | 테스트 어레이 및 어레이 테스트 방법 |
KR100660538B1 (ko) * | 2004-06-30 | 2006-12-22 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 장치 |
JP2006079780A (ja) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Renesas Technology Corp | 半導体記憶装置 |
JP2007087019A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の設計装置、設計方法及びプログラム |
JP4593414B2 (ja) * | 2005-09-21 | 2010-12-08 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体装置の設計装置、設計方法及びプログラム |
JP2007272982A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体記憶装置およびその検査方法 |
JP2009070456A (ja) * | 2007-09-12 | 2009-04-02 | Renesas Technology Corp | 半導体記憶装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR970018600A (ko) | 1997-04-30 |
US5717643A (en) | 1998-02-10 |
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